CN117446498A - 运送装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供运送装置，适于谋求通过直线移动机构使其移动的构造部的行驶性的稳定化。本发明的运送装置(A1)具备：固定底座(1)；回转底座(2)，被支承为可相对于固定底座(1)绕着垂直状的回转轴线(Os)回转；直线移动机构(3)，被支承于回转底座(2)；和第1臂(4A)，被支承于直线移动机构(3)，通过直线移动机构(3)的工作而沿着在第1方向上延伸的水平直线状的移动行程(GL)移动，直线移动机构(3)包含：第1驱动机构，用于对第1臂(4A)传递驱动力；和一个第1导轨(32A)，能移动地支承第1臂(4A)，且在所述第1方向上延伸，第1臂(4A)以悬臂状被支承于一个第1导轨(32A)。

Description

运送装置

技术领域

本发明涉及运送装置，更详细地，涉及能直线状运送工件的运送装置。

背景技术

在运送装置当中，存在具有沿着直线状的移动行程使手移动的机构(直线移动机构)的运送装置。这样的运送装置例如在半导体制造装置的制造工序或液晶显示面板的制造工序中，多用作对各处理室的晶片或玻璃基板等薄板状的工件的运入或运出用。

作为运送这样的薄板状的工件的运送装置，例如有下述的专利文献1公开的运送装置。该运送装置具备：固定底座；回转底座，可回转地被支承于固定底座；直线移动机构，被支承于回转底座；和一对手，分别被支承于直线移动机构。直线移动机构具有分别驱动一对手的一对驱动机构(例如传送带驱动机构)，若驱动机构进行驱动，则使手在水平方向上直线移动。由此，能沿着水平直线状的移动行程分别地运送保持于一对手的薄板状工件。

直线移动机构具有分别能移动地支承一对手的导轨。一对手各自被支承于2条导轨。在各手被支承于2条导轨的结构中，该手的支承状态稳定。另一方面，为了使被2条导轨支承的手沿着水平直线状的移动行程滑动行驶，需要调整2条导轨的平行度，在滑动行驶上要求高的精度。此外，为了使一对手滑动行驶，需要4条导轨。这会招致重量以及成本的增加，尚有改善的余地。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2008-272847号公报

发明内容

本发明根据这样的事情而想出，主要课题在于，提供适于谋求通过直线移动机构而使得移动的构造部的行驶性的稳定化的运送装置。

为了解决上述的课题，在本发明中，采用如下的技术手段。

由本发明提供的运送装置具备：固定底座；回转底座，被支承为可相对于所述固定底座绕着垂直状的回转轴线回转；直线移动机构，被支承于所述回转底座；和第1臂，被支承于所述直线移动机构，通过所述直线移动机构的工作沿着在第1方向上延伸的水平直线状的移动行程移动，所述直线移动机构包含：第1驱动机构，用于对所述第1臂传递驱动力；和一个第1导轨，能移动地支承所述第1臂，且在所述第1方向上延伸，所述第1臂悬臂状地被支承于所述一个第1导轨。

在优选的实施方式中，还具备：第2臂，被支承于所述直线移动机构，通过所述直线移动机构的工作而沿着在所述第1方向上延伸的所述移动行程移动，所述直线移动机构包含：第2驱动机构，用于对所述第2臂传递驱动力；和一个第2导轨，能移动地支承所述第2臂，且在所述第1方向上延伸，所述一个第1导轨和所述一个第2导轨在与铅垂方向以及所述第1方向双方正交的第2方向上隔离配置，所述第2臂悬臂状地被支承于所述一个第2导轨。

在优选的实施方式中，能在所述第1臂安装第1末端执行器，所述第1臂以及所述第1末端执行器的重心即第1重心位置设定成在观察所述第1方向时、在所述铅垂方向上与所述一个第1导轨重叠。

在优选的实施方式中，能在所述第2臂安装第2末端执行器，所述第2臂以及所述第2末端执行器的重心即第2重心位置设定成在观察所述第1方向时、在所述铅垂方向上与所述一个第2导轨重叠。

在优选的实施方式中，所述第1驱动机构包含：第1驱动轴，沿着水平轴线配置；多个第1滑轮，包含安装于所述第1驱动轴的第1驱动滑轮；和第1输出传送带，沿着垂直面内绕挂在所述多个第1滑轮，在沿着所述移动行程的平行线的给定的区间进行往复移动，所述第2驱动机构包含：第2驱动轴，沿着水平轴线配置；多个第2滑轮，包含安装于所述第2驱动轴的第2驱动滑轮；和第2输出传送带，沿着垂直面内绕挂在所述多个第2滑轮，在沿着所述移动行程的平行线的给定的区间进行往复移动，所述直线移动机构包含：第1连结构件，将所述第1臂以及所述第1输出传送带连结；和第2连结构件，将所述第2臂以及所述第2输出传送带连结。

发明效果

本发明所涉及的运送装置具备：固定底座；回转底座，被支承为可相对于固定底座绕着垂直状的回转轴线回转；直线移动机构，被支承于回转底座；和第1臂，被支承于直线移动机构。第1臂通过直线移动机构的工作而沿着在第1方向上延伸的水平直线状的移动行程移动。直线移动机构具备：用于对第1臂传递驱动力的第1驱动机构A；能移动地支承第1臂且在第1方向上延伸的一个第1导轨，第1臂悬臂状地被支承于一个第1导轨。根据这样的结构，第1臂由于被单一的第1导轨支承而滑动行驶，因此，与例如在2条导轨被支承的情况不同，不需要导轨的平行度的调整等。因此，能谋求通过直线移动机构使移动的构造部的行驶性的稳定化。

本发明的其他特征以及优点会通过参考附图在以下进行的详细的说明而得以明确。

附图说明

图1是表示本发明所涉及的运送装置的一例的整体立体图。

图2是表示图1所示的运送装置的使用例的立体图。

图3是图2所示的运送装置的俯视图。

图4是沿着图3的IV-IV线的截面图。

图5是沿着图4的V-V线的部分截面图。

图6是沿着图4的VI-VI线的部分截面图。

图7是图4的部分放大图。

符号说明

A1：运送装置、1：固定底座、2：回转底座、3：直线移动机构、32A：第1导轨、32B：第2导轨、33A：第1驱动机构、33B：第2驱动机构、335a：第1驱动滑轮、336a：第2驱动滑轮、337A：第1输出传送带、337B：第2输出传送带、34a、34b：区间、35A：第1连结构件、35B：第2连结构件、4A：第1臂、4B：第2臂、5A：第1末端执行器、5B：第2末端执行器、C1：第1重心位置、C2：第2重心位置、GL：移动行程、Os：回转轴线、O1：水平轴线、x：第1方向、y：第2方向、z：铅垂方向。

具体实施方式

以下参考附图来具体说明本发明的优选的实施方式。

图1～图7表示本发明所涉及的运送装置的一例。如图1～图4所示那样，运送装置A1具备：固定底座1；回转底座2，被支承为能相对于该固定底座1绕着垂直状的回转轴线Os回转；直线移动机构3，被支承于回转底座2；和第1臂4A以及第2臂4B，分别被支承于直线移动机构3。图2表示运送装置A1的使用状态的一例。在运送装置A1安装有第1末端执行器5A、第2末端执行器5B以及工件用组件。本实施方式的运送装置A1例如用于运送薄板状的玻璃基板。详细后述，但在运送装置A1中，构成为在第1臂4A以及第2臂4B等不受或几乎不受作为工件(运送对象物)的玻璃基板的重量载荷。

如图4清晰示出的那样，固定底座1具备：外壳10，具有大致圆柱状的外形，具备底壁部11、圆筒状的侧壁部12和顶板壁13。在顶板壁13形成中心开口13A。

在固定底座1的内部支承升降底座14。升降底座14具有：圆筒部141，具有比中心开口13A小径的外径，在上下方向上具有给定的尺寸；和外向凸缘部142，形成于该圆筒部141的下端。在外壳10的侧壁部12的内壁安装有多个上下方向的直线导轨15，并且设于升降底座14的外向凸缘部142的多个引导构件16被支承为相对于直线导轨15能上下方向滑动移动。由此，升降底座14能相对于固定底座1在上下方向上在给定范围内移动，这时，升降底座14的圆筒部141的上部从外壳10的中心开口13A出没。

在固定底座1的顶板壁13与升降底座14的外向凸缘部142之间连结有该包围升降底座14的圆筒部141而配置的波纹管17的两端。该波纹管17无关乎升降底座14的上下方向的移动地将固定底座1的顶板壁13与升降底座14的外向凸缘部142之间气密密封。

在固定底座1的内部此外在波纹管17的外侧配置有滚珠丝杆机构18，该滚珠丝杆机构18由配置在铅垂方向z上进行旋转的螺杆轴181、和与该螺杆轴181螺合且贯通装固定于升降底座14的外向凸缘部142的螺帽构件182构成。螺杆轴181通过绕挂在安装于其下端的滑轮183的传送带184而与电动机M1联接，通过该电动机M1的驱动而向正反方向旋转。通过如此地旋转螺杆轴181，来使升降底座14升降。

如图4所示那样，回转底座2具备：圆筒轴21；与其上方一体相连的上板22。圆筒轴21在升降底座14的圆筒部141的内部能经由轴承231以回转轴线Os为中心旋转地被支承。在圆筒部141与圆筒轴21之间此外介于其间地安装有位于比轴承231更上位的密封机构232。密封机构232将比该密封机构232更上方的空间和比密封机构232更下方的升降底座14的内侧空间遮蔽，来保持气密性。在圆筒轴21的下端一体地形成滑轮211，在该滑轮211、与安装于在圆筒部141内被支承的电动机M2的输出轴的滑轮之间绕挂传送带241。由此，若使电动机M2驱动，则回转底座2绕着回转轴线Os回转。

如图4所示那样，在回转底座2的圆筒轴21，沿着回转轴线Os同轴状地插通用于对后述的第1驱动机构33A以及第2驱动机构33B传递驱动力的第1传动轴25以及第2传动轴26。第1传动轴25被设为圆筒状的轴，在圆筒轴21的内侧经由轴承233能旋转地被支承。第2传动轴26在第1传动轴25的内侧经由轴承234能旋转地被支承。第2传动轴26的下端与在圆筒部141内被支承的电动机M4的输出轴连结。此外，在第2传动轴26的上端设有锥齿轮。另一方面，在第1传动轴25的下端设有滑轮251，在该滑轮251、与安装于在圆筒部141内被支承的电动机M3的输出轴的滑轮之间绕挂传送带242。在第1传动轴25的上端设有锥齿轮。

直线移动机构3用于将第1臂4A以及第2臂4B沿着在第1方向x上延伸的水平直线状的移动行程GL进行运送。如图4所示那样，直线移动机构3包含：引导构件31；设于该引导构件31上的第1导轨32A以及第2导轨32B；对第1臂4A以及第2臂4B传递水平方向的驱动力的第1驱动机构33A以及第2驱动机构33B；和第1连结构件35A以及第2连结构件35B。

引导构件31形成具有在水平方向上延伸的纵长轴线(移动行程GL)的俯视观察长矩形状，并且具备底壁311、侧壁312、中壁313以及盖部314。该引导构件31此外固定于回转底座2的上板22，若使回转底座2回转，则随着其一起进行回转。引导构件31的底壁311与回转底座2的上板22之间被未图示的密封构件气密密封。在本实施方式中，在引导构件31的合适位置，第1导轨32A以及第2导轨32B各固定配置一个。

第1导轨32A以及第2导轨32B分别在第1方向x上延伸。如图4所示那样，第1导轨32A和第2导轨32B在与第1方向x(与图4的纸面正交的方向)以及铅垂方向z双方正交的第2方向y上隔离配置。第1导轨32A配置于第2方向y的一侧(图中左侧)，第2导轨32B配置于第2方向y的另一侧(图中右侧)。

第1臂4A经由第1滑动件321A被支承于第1导轨32A。第1臂4A具有衔接部41a以及主部42a。衔接部41a固定于第1滑动件321A。主部42a与衔接部41a相连，配置于引导构件31的外部。主部42a绕过工件用组件7的侧方(图4的图中左侧)而形成。图示的第1臂4A经由第1滑动件321A悬臂状地被支承于一个第1导轨32A。第1臂4A例如包含具有适度的强度的金属材料。

第1臂4A(衔接部41a)贯通形成于盖部314的侧面的狭缝314a，在衔接部41a设有第1连结构件35A。第1连结构件35A贯通形成于侧壁312的狭缝312a并与后述的第1驱动机构33A的第1输出传送带337A连结。由此，第1连结构件35A将第1臂4A以及第1输出传送带337A连结。

第2臂4B经由第2滑动件321B被支承于第2导轨32B。第2臂4B具有衔接部41b以及主部42b。衔接部41b固定于第2滑动件321B。主部42b与衔接部41b相连，配置于引导构件31的外部。图示的第2臂4B经由第2滑动件321B悬臂状地被支承于一个第2导轨32B。第2臂4B例如包含具有适度的强度的金属材料。

第2臂4B贯通形成于盖部314的上表面的狭缝314b，在衔接部41b设有第2连结构件35B。第2连结构件35B与后述的第2驱动机构33B的第2输出传送带337B连结。由此，第2连结构件35B将第2臂4B以及第2输出传送带337B连结。

如图1、图2、图4等所示那样，第1臂4A(主部42a)的前端部和第2臂4B(主部42b)在俯视观察(铅垂方向z方向观察)下重叠。第1臂4A(主部42a)的前端部相对于第2臂4B(主部42b)位于铅垂方向z上的上方。

第1驱动机构33A以及第2驱动机构33B用于使第1臂4A以及第2臂4B个别地沿着移动行程GL移动。第1驱动机构33A以及第2驱动机构33B由于具有基本同样的结构，因此，以下具体说明第1驱动机构33A的结构，对于第2驱动机构33B适宜省略说明。

如图4、图5所示那样，第1驱动机构33A具备传动轴331a、第1驱动轴332a、第1锥齿轮机构333A、减速机构334、第1驱动滑轮335a、滑轮335b～335g和第1输出传送带337A，收容在引导构件31内。传动轴331a通过引导构件31，被支承为能绕着与回转轴线Os正交的水平轴线O1旋转。在传动轴331a的一端(图中右侧)设有锥齿轮，该锥齿轮与设于第1传动轴25的上端的锥齿轮啮合。第1锥齿轮机构333A由第1传动轴25的上端的锥齿轮以及传动轴331a的一端的锥齿轮构成，用于将绕着第1传动轴25的回转轴线Os的旋转在变换成绕着水平轴线O1的旋转的基础上传递到第1驱动滑轮335a。传动轴331a的另一端与减速机构334的输入轴连结。

第1驱动轴332a通过引导构件31被支承为能绕着水平轴线O1旋转。第1驱动轴332a的一端与减速机构334的输出轴连结。在第1驱动轴332a的另一端(图中左侧)设有第1驱动滑轮335a。此外，在第1驱动轴332a与引导构件31之间介于其间地安装密封机构338。通过该密封机构338，从引导构件31的内部经由回转底座2而连通的升降底座14的内侧空间相对于外部被气密密封。另外，也可以根据在传动轴331a与第1驱动轴332a之间设置未图示的联轴器接头。

如图5所示那样，滑轮335b～335g在引导构件31内分别被支承为能绕着给定的水平轴线旋转。第1输出传送带337A对于第1驱动滑轮335a以及滑轮335b～335g(将它们一并称作多个第1滑轮)沿着垂直面内绕挂。滑轮335b、335c设于引导构件31的长边方向(沿着移动行程GL的方向)的两端部近旁。另一方面，滑轮335d、335e、335f、335g设于第1驱动滑轮335a的近旁，这当中的滑轮335f、335g配置于第1输出传送带337A的外侧，且按压该第1输出传送带337A。由此，对第1输出传送带337A赋予适度的张力。作为第1输出传送带337A，例如适合地使用定时传送带。

通过这样的结构，若使电动机M3驱动，则电动机M3的旋转驱动力经由传送带242、第1传动轴25传递到第1驱动机构33A。在该第1驱动机构33A中，通过第1锥齿轮机构333A从绕着回转轴线Os的旋转向绕着水平轴线O1的旋转地变换旋转的轴方向，并且，在通过减速机构334减速的基础上使第1驱动滑轮335a旋转。伴随该第1驱动滑轮335a的旋转而第1输出传送带337A在给定的垂直面内往复移动。

滑轮335b、335c沿着移动行程GL的平行线配置。并且，图5中位于第1输出传送带337A中的滑轮335b、335c的下方的区域成为与移动行程GL平行的区间34a，第1输出传送带337A构成为能在该区间34a中往复移动。在第1输出传送带337A中的上述区间34a的给定部位连结一端与第1臂4A的衔接部41a连结的第1连结构件35A的另一端。由此，第1臂4A通过第1驱动机构33A的驱动而悬臂状地被支承于一个第1导轨32A并沿着移动行程GL水平滑动行驶。

如图4、图6所示那样，第2驱动机构33B具备传动轴331b、第2驱动轴332b、第2锥齿轮机构333B、减速机构334、第2驱动滑轮336a、滑轮336b～336g和第2输出传送带337B，收容在引导构件31内。传动轴331b以及第2驱动轴332b夹着回转轴线Os配置在与第1驱动机构33A的传动轴331a以及第1驱动轴332a相反的一侧，通过引导构件31而被支承为能绕着水平轴线O1旋转。在传动轴331b的一端(图中左侧)设有锥齿轮，该锥齿轮与设于第2传动轴26的上端的锥齿轮啮合。第2锥齿轮机构333B由第2传动轴26的上端的锥齿轮以及传动轴331b的一端的锥齿轮构成，用于将绕着第2传动轴26的回转轴线Os的旋转在变换成绕着水平轴线O1的旋转的基础上传递到第2驱动滑轮336a。传动轴331b的另一端与减速机构334的输入轴连结。

第2驱动轴332b通过引导构件31被支承为能绕着水平轴线O1旋转。第2驱动轴332b的一端与减速机构334的输出轴连结。在第2驱动轴332b的另一端(图中右侧)设有第2驱动滑轮336a。

如图6所示那样，滑轮336b～336g在引导构件31内分别被支承为能绕着给定的水平轴线旋转。滑轮336b～336g的配置与第1驱动机构33A中的滑轮335b～335g的配置上下翻转。第2输出传送带337B对第2驱动滑轮336a以及滑轮336b～336g(将它们一并称作多个21滑轮)沿着垂直面内而绕挂。滑轮336b、336c设于引导构件31的长边方向(沿着移动行程GL的方向)的两端部近旁。另一方面，滑轮336d、336e、336f、336g设于第2驱动滑轮336a的近旁，这当中的滑轮336f、336g配置于第2输出传送带337B的外侧，且按压该第2输出传送带337B。由此，对第2输出传送带337B赋予适度的张力。作为第2输出传送带337B，例如适合地使用定时传送带。

若使电动机M4驱动，则将电动机M4的旋转驱动力经由第2传动轴26传递到第2驱动机构33B。在该第2驱动机构33B中，通过第2锥齿轮机构333B从绕着回转轴线Os的旋转向绕着水平轴线O1的旋转地变换旋转的轴方向，在通过减速机构334减速的基础上使第2驱动滑轮336a旋转。伴随该第2驱动滑轮336a的旋转，第2输出传送带337B在给定的垂直面内往复移动。

滑轮335b、335c沿着移动行程GL的平行线配置。并且，图6中位于第2输出传送带337B中的滑轮336b、336c的上方的区域成为与移动行程GL平行的区间34b，第2输出传送带337B构成为能在该区间34b往复移动。在第2输出传送带337B中的上述区间34b的给定部位连结一端与第2臂4B的衔接部41b连结的第2连结构件35B的另一端。由此，第2臂4B通过第2驱动机构33B的驱动被悬臂状地支承于一个第2导轨32B并沿着移动行程GL水平滑动行驶。

图2～图4所示的第1末端执行器5A能拆装地安装于第1臂4A，用于将后述的工件8从工件用组件7内运入到位于第1方向x的一侧(图3的左侧)的未图示的处理室或加载互锁室等，此外，用于将工件8从未图示的处理室或加载互锁室等运出到工件用组件7内。第1末端执行器5A具有安装部51a以及一对前端部52a，是这些安装部51a与一对前端部52a之间以二股状的叉部连结的结构。安装部51a例如由金属制的板材构成，安装在第1臂4A(主部42a)的前端部的正下方。第1末端执行器5A配置成其整体大致沿着水平面。详细的图示说明省略，但在前端部52a的合适位置设有用于卡止工件8的卡止部。

第2末端执行器5B能拆装地安装于第2臂4B，用于将工件8从工件用组件7内运入到未图示的处理室或加载互锁室等，此外，用于将工件8从未图示的处理室或加载互锁室等运出到工件用组件7内。第2末端执行器5B具有与第1末端执行器5A同样的结构。第2末端执行器5B具有安装部51b以及一对前端部52b，是这些安装部51b以及一对前端部52b之间以二股状的叉部连结的结构。安装部51b例如由金属制的板材构成，安装于第2臂4B(主部42b)的前端部的正上方。第2末端执行器5B配置成其整体大致沿着水平面。在第2末端执行器5B中，也与第1末端执行器5A同样地，在前端部52b的合适位置设有用于卡止工件8的卡止部(图示略)。

另外，还能将第1末端执行器5A设为向处理室等的运入用，将第2末端执行器5B设为从处理室等的运出用。还能反过来，将第2末端执行器5B设为向处理室等的运入用，将第1末端执行器5A设为从处理室等的运出用。

如图2等所示那样，第1末端执行器5A以及第2末端执行器5B在俯视观察(铅垂方向z視)上相互重叠。第1末端执行器5A相对于第2末端执行器5B位于铅垂方向z上的上方。第1末端执行器5A经由第1臂4A被支承于一个第1导轨32A的同时沿着移动行程GL水平地滑动行驶。第2末端执行器5B经由第2臂4B被支承于一个第2导轨32B的同时沿着移动行程GL水平地滑动行驶。

工件用组件7在工件8的运送时受到该工件8的重量载荷。如图1所示那样，在引导构件31的盖部314的合适位置设有台座6。在图示的示例中，一对台座6在第2方向y上隔离配置。各台座6例如设为截面矩形状，在第1方向x上延伸。工件用组件7安装于一对台座6，经由该一对台座6被支承于引导构件31。

如图2～图4所示那样，工件用组件7具备侧壁70以及支承板71。侧壁70在第2方向y上隔离地成对配置。支承板71在俯视观察(铅垂方向z观察)下配置在被一对侧壁70所夹的区域。该支承板71在铅垂方向z上隔开间隔设于上下2层，上下各层的支承板71配置成大致沿着水平面。另外，在图示的示例中，上层的支承板71由在第2方向y上一排延伸的一个矩形板状部构成，下层的支承板71由在第2方向y上隔离的2个矩形板状部构成。图3是透过工件用组件7的图，以想象线表征工件用组件7。

第1末端执行器5A在将工件8从工件用组件7内运入到未图示的处理室等时，此外在将工件8从未图示的处理室等运出时，进入工件用组件7的上层的支承板71的正上方。第2末端执行器5B在将工件8从工件用组件7内运入到未图示的处理室等时，此外在将工件8从未图示的处理室等运出时，进入工件用组件7的下层的支承板71与上层的支承板71之间。

如图3、图4所示那样，由运送装置A1运送的工件8能配置在工件用组件7内。由第1末端执行器5A从工件用组件7内运入到未图示的处理室等的工件8载置于工件用组件7的上层的支承板71。由第2末端执行器5B从工件用组件7内运入到未图示的处理室等的工件8载置于工件用组件7的下层的支承板71。

在本实施方式中，工件8例如是液晶显示面板用的玻璃基板。工件8是矩形板状。详细的图示说明进行概括，但在工件8的合适位置设有卡止部。设于工件8的卡止部是卡止在设于第1末端执行器5A(第2末端执行器5B)的前端部52a(前端部52b)的上述卡止部的结构。例如，第1末端执行器5A(第2末端执行器5B)侧的卡止部具有销，工件8侧的卡止部具有卡止孔。通过在该卡止孔嵌插上述销，工件8侧的卡止部卡止在第1末端执行器5A(第2末端执行器5B)侧的卡止部。通过第1末端执行器5A(第2末端执行器5B)卡止工件8，此外，该卡止的解除能通过升降底座14的升降动作来进行。另外，图3、图4是通过工件8的图，以想象线表征工件8。

在由第1末端执行器5A以及第2末端执行器5B将工件8对工件用组件7运入运出的过程中，使工件8在支承板71上滑动的同时沿着移动行程GL移动。该支承板71的上表面部优选包含低摩擦的材料，以使得工件8的滑动阻力变小。例如，可以用低摩擦的材料构成支承板71整体，此外，也可以用低摩擦的材料(例如钼镀覆等)对支承板71的表面(至少上表面)进行涂层。

在由第1末端执行器5A以及第2末端执行器5B将工件8对工件用组件7运入运出的过程中，以及在将工件8配置于工件用组件7内的状态下，引导构件31经由工件用组件7接受工件8的重量载荷。因此，在工件8的运送时，工件8的重量载荷不会加在第1末端执行器5A以及第2末端执行器5B和支承它们的第1臂4A以及第2臂4B。

在本实施方式中，如图2～图4、图7所示那样，在第1臂4A设有重物44a。此外，如图4、图6、图7所示那样，在第2臂4B设有重物44b。在图示的示例中，重物44a设于第1臂4A中的主部42a的前端部。重物44b设于第2臂4B中的衔接部41b的下部。

如图7所示那样，通过在第1臂4A设置重物44a，第1臂4A以及第1末端执行器5A的重心即第1重心位置C1在观察第1方向x时，在铅垂方向z上与第1导轨32A重叠。因此，通过设置重物44a，第1臂4A以及第1末端执行器5A的重心即第1重心位置C1被适宜设定成在观察第1方向x时在铅垂方向z上与第1导轨32A重叠。另外，设置重物44a的情况下的第1臂4A以及第1末端执行器5A的原本的重心位置C10与第1重心位置C1相比更向第2方向y的一侧(图中左侧)偏倚。

如图7所示那样，通过在第2臂4B设置重物44b，第2臂4B以及第2末端执行器5B的重心即第2重心位置C2在观察第1方向x时，在铅垂方向z上与第2导轨32B重叠。因此，通过设置重物44b，第2臂4B以及第2末端执行器5B的重心即第2重心位置C2被适宜设定成在观察第1方向x时，在铅垂方向z上与第2导轨32B重叠。另外，不设重物44b的情况下的第2臂4B以及第2末端执行器5B的原本的重心位置C20与第2重心位置C2相比更向第2方向y的一侧(图中左侧)偏倚。

接下来说明本实施方式的作用。

运送装置A1具备：固定底座1；回转底座2，被支承为相对于固定底座1能绕着垂直状的回转轴线Os回转；直线移动机构3，被支承于回转底座2；和第1臂4A，被支承于直线移动机构3。第1臂4A通过直线移动机构3的工作而沿着在第1方向x上延伸的水平直线状的移动行程GL移动。直线移动机构3具备：用于对第1臂4A传递驱动力的第1驱动机构33A；和能移动地支承第1臂4A且在第1方向x上延伸的一个第1导轨32A，第1臂4A悬臂状地被支承于一个第1导轨32A。根据这样的结构，第1臂4A由于被单一的第1导轨32A支承而进行滑动行驶，因此，与例如被支承于2条导轨的情况不同，不需要导轨的平行度的调整等。因此，能谋求通过直线移动机构3使移动的构造部(第1臂4A以及第1末端执行器5A)的行驶性的稳定化。

运送装置A1具备被支承于直线移动机构3的第2臂4B，该第2臂4B通过直线移动机构3的工作而沿着在第1方向x上延伸的水平直线状的移动行程GL移动。直线移动机构3具备：用于对第2臂4B传递驱动力的第2驱动机构33B；和能移动地支承第2臂4B且在第1方向x上延伸的一个第2导轨32B。第1导轨32A和第2导轨32B在第2方向y(与铅垂方向z以及第1方向x双方正交的方向)上隔离配置，第2臂4B悬臂状地被支承于一个第2导轨32B。根据这样的结构，第2臂4B由于被单一的第2导轨32B支承而滑动行驶，因此，与例如被支承于2条导轨的情况不同。不需要导轨的平行度的调整等。因此，能谋求通过直线移动机构3使移动的构造部(前述的第1臂4A以及第1末端执行器5A、和第2臂4B以及第2末端执行器5B)的行驶性的稳定化。此外，由于为了使一对第1臂4A以及第2臂4B滑动行驶而仅用2条导轨(第1导轨32A以及第2导轨32B)即足够，因此，能谋求直线移动机构3的小型化和轻量化。

在本实施方式中，第1臂4A以及第1末端执行器5A的重心即第1重心位置C1设定成在观察第1方向x时在铅垂方向z上与第1导轨32A重叠。根据这样的结构，能减少作用于第1导轨32A的转矩负荷，谋求将第1臂4A等悬臂支承的第1导轨32A的长寿命化。此外，关于第2臂4B以及第2末端执行器5B的重心即第2重心位置C2，也是设定成在观察第1方向x时，在铅垂方向z上与第2导轨32B重叠。根据这样的结构，能减少作用于第2导轨32B的转矩负荷，能谋求将第2臂4B等悬臂支承的第2导轨32B的长寿命化。

第1驱动机构33A(第2驱动机构33B)分别由传送带式驱动机构构成。此外，第1臂4A(第2臂4B)经由第1连结构件35A(第2连结构件35B)与第1输出传送带337A(第2输出传送带337B)相连。根据这样的结构，例如即使在伴随工件8的大型化而将第1臂4A(第2臂4B)的移动距离延长的情况下，也能通过将第1导轨32A(第2导轨32B)、以及第1输出传送带337A(第2输出传送带337B)长条化来容易地应对。为此，能合适地避免因第1臂4A(第2臂4B)的移动距离变大而直线移动机构3重量化。进而，第1臂4A(第2臂4B)被支承于一个第1导轨32A(一个第2导轨32B)。由此，与第1臂4A(第2臂4B)被支承于2条导轨的情况不同，能抑制滑动行驶时的曲折。

以上说明了本发明的实施方式，但本发明的范围并不限定于上述的实施方式，在记载于各权利要求的事项的范围内的所有变更全都包含在本发明的范围内。

在上述实施方式中，第1驱动机构33A(第2驱动机构33B)具备第1锥齿轮机构333A(第2驱动机构33B)以及减速机构334来构成，第1驱动机构33A(第2驱动机构33B)的具体的结构能进行种种变更。只要能将电动机M3(电动机M4)的驱动力作为绕着水平轴线O1的旋转而输出即可。此外，在上述实施方式中，第1驱动轴332a以及第2驱动轴332b被支承为能绕着共通的水平轴线O1旋转，但第1驱动轴332a以及第2驱动轴332b也可以被支承为能绕着相互不同的水平轴线旋转。

本发明所涉及的运送装置的运送对象物即工件并不限定于上述实施方式的玻璃基板。此外，在上述实施方式中，是在工件用组件7内工件8在支承板71上直接滑动的结构，但也可以是其他结构。例如，也可以构成为在工件用组件设置支承工件的辊，在将工件对工件用组件运入运出时，在上述辊上滑动。此外，也可以构成为在工件用组件以及工件的合适位置设置永磁铁，通过该永磁铁的反作用力而工件在工件用组件内磁浮起。

Claims (5)

1.一种运送装置，包含：

固定底座；

回转底座，被支承为可相对于所述固定底座绕着垂直状的回转轴线回转；

直线移动机构，被支承于所述回转底座；和

第1臂，被支承于所述直线移动机构，通过所述直线移动机构的工作而沿着在第1方向上延伸的水平直线状的移动行程移动，

所述直线移动机构包含：

第1驱动机构，用于对所述第1臂传递驱动力；和

一个第1导轨，能移动地支承所述第1臂，且在所述第1方向上延伸，

所述第1臂以悬臂状被支承于所述一个第1导轨。

2.根据权利要求1所述的运送装置，其中，

所述运送装置还具备：

第2臂，被支承于所述直线移动机构，通过所述直线移动机构的工作而沿着在所述第1方向上延伸的所述移动行程移动，

所述直线移动机构包含：

第2驱动机构，用于对所述第2臂传递驱动力；和

一个第2导轨，能移动地支承所述第2臂，且在所述第1方向上延伸，

所述一个第1导轨和所述一个第2导轨在与铅垂方向以及所述第1方向双方正交的第2方向上隔离配置，

所述第2臂以悬臂状被支承于所述一个第2导轨。

3.根据权利要求2所述的运送装置，其中，

能在所述第1臂安装第1末端执行器，

所述第1臂以及所述第1末端执行器的重心即第1重心位置设定成在所述第1方向上观察时在所述铅垂方向上与所述一个第1导轨重叠。

4.根据权利要求3所述的运送装置，其中，

能在所述第2臂安装第2末端执行器，

所述第2臂以及所述第2末端执行器的重心即第2重心位置设定成在所述第1方向上观察时在所述铅垂方向上与所述一个第2导轨重叠。

5.根据权利要求2～4中任一项所述的运送装置，其中，

所述第1驱动机构包含：

第1驱动轴，沿着水平轴线配置；

多个第1滑轮，包含安装于所述第1驱动轴的第1驱动滑轮；和

第1输出传送带，沿着垂直面内绕挂在所述多个第1滑轮，在沿着所述移动行程的平行线的给定的区间进行往复移动，

所述第2驱动机构包含：

第2驱动轴，沿着水平轴线配置；

多个第2滑轮，包含安装于所述第2驱动轴的第2驱动滑轮；和

第2输出传送带，沿着垂直面内绕挂在所述多个第2滑轮，在沿着所述移动行程的平行线的给定的区间进行往复移动，

所述直线移动机构包含：

第1连结构件，将所述第1臂以及所述第1输出传送带连结；和

第2连结构件，将所述第2臂以及所述第2输出传送带连结。