CN117438267A - 扫描电镜的样品防碰撞检测系统及扫描电镜 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种扫描电镜的样品防碰撞检测系统及扫描电镜，其中扫描电镜包括导电的样品舱和导电的位移台，位移台与样品舱绝缘，导电样品放置于位移台上且随位移台移动，样品舱、导电样品和位移台构成触发开关，系统包括：信号发生器，信号发生器与触发开关相连；其中，在扫描电镜控制位移台移动的过程中，在导电样品触碰样品舱时，触发开关导通，使信号发生器输出触碰信号。该系统能够快速、准确地判断导电样品是否与扫描电镜发生碰撞，进而提高扫描电镜的安全性。

Description

扫描电镜的样品防碰撞检测系统及扫描电镜
技术领域
本发明涉及扫描电镜技术领域，尤其涉及一种扫描电镜的样品防碰撞检测系统及扫描电镜。
背景技术
在扫描电子显微镜(以下简称扫描电镜)的工作流程中，会存在携带样品的位移台逐步移动的过程。由于样品的不规则，在位移台流程中容易出现样品触壁的情形，这可能导致样品或扫描电镜出现损坏，因此需要尽量避免。对此，相关技术中通常通过样品的形貌大小粗略估算最小安全距离，将此数据存储于控制系统内，再通过逻辑判断确定位移台是否达到安全距离，以确定扫描电镜是否出现样品触壁情况。然而，这类方法存在人员预估失误的可能性，因此准确性不高，导致扫描电镜的安全性也不高。
发明内容
本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明的第一个目的在于提出一种扫描电镜样品防碰撞检测系统，通过在系统中设置信号发生器，信号发生器与扫描电镜中样品舱、导电样品和位移台构成的触发开关相连，当导电样品触碰样品舱时，触发开关导通，使信号发生器输出触碰信号，系统可根据触碰信号确定扫描电镜出现碰撞问题，从而使系统能够快速、准确地判断导电样品是否与扫描电镜发生碰撞，提高了扫描电镜的安全性。
本发明的第二个目的在于提出一种扫描电镜。
为达到上述目的，本发明第一方面实施例提出了一种扫描电镜样品防碰撞检测系统，扫描电镜包括导电的样品舱和导电的位移台，位移台与样品舱绝缘，导电样品放置于位移台上且随位移台移动，样品舱、导电样品和位移台构成触发开关，系统包括：信号发生器，信号发生器与触发开关相连；其中，在扫描电镜控制位移台移动的过程中，在导电样品触碰样品舱时，触发开关导通，使信号发生器输出触碰信号。
根据本发明实施例的系统，通过在系统中设置信号发生器，信号发生器与扫描电镜中样品舱、导电样品和位移台构成的触发开关相连，当导电样品触碰样品舱时，触发开关导通，使信号发生器输出触碰信号，系统可根据触碰信号确定扫描电镜出现碰撞问题，从而使系统能够快速、准确地判断导电样品是否与扫描电镜发生碰撞，提高了扫描电镜的安全性。
根据本发明的一个实施例，系统还包括控制器，控制器与信号发生器相连，用于根据触碰信号发出触碰提示信息。
根据本发明的一个实施例，系统还包括开关电路，开关电路分别与信号发生器和扫描电镜相连，开关电路用于：在对导电样品防碰撞检测时，处于第一状态，以使信号发生器输出触碰信号至扫描电镜，以使扫描电镜控制位移台停止移动；在对导电样品碰撞测试时，处于第二状态，以使信号发生器停止输出触碰信号至扫描电镜，以使扫描电镜继续控制位移台移动。
根据本发明的一个实施例，系统还包括控制器，开关电路的第一输入端与信号发生器相连，开关电路的第二输入端与控制器相连，开关电路的输出端与扫描电镜相连，控制器用于：在对导电样品防碰撞检测时，输出第一使能信号以使开关电路处于第一状态；在对导电样品碰撞测试时，输出第二使能信号以使开关电路处于第二状态。
根据本发明的一个实施例，开关电路为逻辑门电路。
根据本发明的一个实施例，逻辑门电路为与门电路。
根据本发明的一个实施例，信号发生器包括触发器，触发器的触发端与触发开关相连，用于在触发开关导通时，输出触碰信号。
根据本发明的一个实施例，系统还包括控制器，控制器与触发器的复位端相连，用于在位移台移动前发送第一信号至触发器的复位端，以对触发器的输出端进行复位，并在位移台移动的过程中，发送第二信号至触发器的复位端，以使触发器处于工作状态，以在触发开关导通时，使触发器的输出端输出触碰信号。
根据本发明的一个实施例，控制器还用于在触碰信号解除后，发送第一信号至触发器的复位端，以对触发器的输出端进行复位，其中，在扫描电镜控制位移台反向移动预设距离后，触碰信号解除。
根据本发明的一个实施例，在触发器的触发端和复位端的电平信号分别为0和1时，触发器的输出端的电平信号跳变为0；在触发器的触发端和复位端的电平信号分别为1和0时，触发器的输出端的电平信号跳变为1；其中，当触发器的输出端的电平信号为1时，表示触发器的输出端输出触碰信号；当触发开关导通时，触发器的触发端的电平信号为1，否则为0。
根据本发明的一个实施例，触发器为D触发器。
根据本发明的一个实施例，信号发生器还包括：信号处理电路，信号处理电路分别与触发器的触发端和触发开关相连，用于生成与触发开关的开关状态相对应的电平信号，并输入触发器的触发端。
根据本发明的一个实施例，信号处理电路包括：第一电阻，第一电阻的一端与第一电源相连，第一电阻的另一端分别与触发开关的一端和触发器的触发端相连，触发开关的另一端接地。
根据本发明的一个实施例，信号处理电路包括：第一开关管，第一开关管的第一端接地，第一开关管的第二端与触发器的触发端相连，第一开关管的第二端还通过第二电阻与第一电源相连；第二开关管，第二开关管的第一端接地，第二开关管的第二端与第一开关管的第三端相连，第二开关管的第二端还通过第三电阻与第一电源相连；稳压管，稳压管的阴极接地，稳压管的阳极与第二开关管的第三端相连；二极管，二极管的阴极与稳压管的阳极相连，二极管的阳极与触发开关的一端相连，触发开关的另一端接地，二极管的阳极还通过第四电阻与第二电源相连。
为达到上述目的，本发明第二方面实施例提出了一种扫描电镜，包括：导电的样品舱和导电的位移台，位移台与样品舱绝缘，导电样品放置于位移台上且随位移台移动，样品舱、导电样品和位移台构成触发开关；前述的扫描电镜样品防碰撞检测系统，用于在扫描电镜控制位移台移动的过程中，对导电样品防碰撞检测或碰撞测试。
根据本发明实施例的扫描电镜，通过前述的扫描电镜样品防碰撞检测系统，使系统能够快速、准确地判断导电样品是否与扫描电镜发生碰撞，以便扫描电镜进行防碰撞检测或碰撞测试，有效提高了扫描电镜的安全性。
本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
图1为根据本发明一个实施例的扫描电镜样品防碰撞检测系统的结构示意图；
图2为根据本发明另一个实施例的扫描电镜样品防碰撞检测系统的结构示意图；
图3为根据本发明又一个实施例的信号发生器的结构示意图；
图4为根据本发明一个实施例的信号发生器的电路图；
图5为根据本发明一个实施例的扫描电镜的结构示意图。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
下面参考附图描述本发明实施例提出的扫描电镜的样品防碰撞检测系统及扫描电镜。
需要说明的是，本申请的扫描电镜样品防碰撞检测系统能够应用于多种扫描电镜中，下面以图1所示的扫描电镜100说明本申请的扫描电镜样品防碰撞检测系统200，参考图1所示，该扫描电镜100包括导电的样品舱110和导电的位移台120，位移台120与样品舱110绝缘，导电样品300放置于位移台120上且随位移台120移动，样品舱110、导电样品300和位移台120构成触发开关K，样品舱110上设有镜筒111，用户可通过镜筒111对导电样品300进行观测。
图1为根据本发明一个实施例的扫描电镜样品防碰撞检测系统的结构示意图，参考图1所示，该系统200包括：信号发生器210。
其中，信号发生器210与触发开关K相连；其中，在扫描电镜100控制位移台120移动的过程中，在导电样品300触碰样品舱110时，触发开关K导通，使信号发生器210输出触碰信号。
具体来说，参考图1所示，在位移台120的移动过程中，当导电样品300触碰到样品舱110时，位移台120可通过导电样品300和样品舱110发生电连接，也就是触发开关K导通，随后，信号发生器210可在触发开关K导通时输出触碰信号，随后信号发生器210通过输出端向扫描电镜100输出触碰信号。扫描电镜100可通过触碰信号确定导电样品300是否与样品舱110出现触碰，以便进行后续处理，例如，扫描电镜100可在收到触碰信号后控制位移台120停止移动，以避免位移台120继续移动，对导电样品300和扫描电镜100造成更大的损害，从而实现防碰撞功能。
在相关技术中，针对扫描电镜100和导电样品300的碰撞风险，相关技术通常会根据样品300的形貌大小粗略估算最小安全距离，将此数据存储于控制系统内，逻辑判断在位移台达到安全距离时停止前进，然而，该相关技术既存在人员预估失误的可能性，又存在样品可移动空间的浪费，因此安全性不高。而本发明实施例中，通过信号发生器210在两者碰撞时生成触碰信号，从而既能快速、准确地判断导电样品300是否与扫描电镜100发生碰撞，以便扫描电镜根据触碰信号进行后续处理，以提高扫描电镜的安全性；又能够避免因人员观测造成的样品可移动空间的浪费。同时，由于需要扫描电镜100进行观测的样品大多数需要处理成导电状态，因此本发明实施例的防碰撞检测系统200还具有适用场景广泛，适用性高的优势。
上述实施例中，通过在系统中设置信号发生器，信号发生器与扫描电镜中样品舱、导电样品和位移台构成的触发开关相连，当导电样品触碰样品舱时，触发开关导通，使信号发生器输出触碰信号，系统可根据触碰信号确定扫描电镜出现碰撞问题，从而使系统能够快速、准确地判断导电样品是否与扫描电镜发生碰撞，提高了扫描电镜的安全性。
在一些实施例中，参考图2所示，系统200还包括控制器220，控制器220与信号发生器210相连，用于根据触碰信号发出触碰提示信息。
具体来说，当导电样品300与样品舱110发生碰撞时，信号发生器210可向控制器220发送触碰信号。控制器220收到触碰信号后，可发出触碰提示信息，例如通过报警灯、报警提示音等方式，提示用户当前扫描电镜100出现触碰情况，以便用户作进一步处理，进而提高系统便捷性。
在一些实施例中，参考图3所示，系统200还包括开关电路230，开关电路230分别与信号发生器210和扫描电镜100相连，开关电路230用于：在对导电样品防碰撞检测时，处于第一状态，以使信号发生器210输出触碰信号至扫描电镜100，以使扫描电镜100控制位移台停止移动；在对导电样品碰撞测试时，处于第二状态，以使信号发生器210停止输出触碰信号至扫描电镜100，以使扫描电镜100继续控制位移台120移动。
进一步的，参考图3所示，系统200还包括控制器220，开关电路230的第一输入端与信号发生器210相连，开关电路230的第二输入端与控制器220相连，开关电路230的输出端与扫描电镜100相连，控制器220用于：在对导电样品防碰撞检测时，输出第一使能信号以使开关电路230处于第一状态；在对导电样品碰撞测试时，输出第二使能信号以使开关电路230处于第二状态。
进一步的，开关电路230为逻辑门电路。
具体来说，扫描电镜100的大部分应用场景中，为了避免扫描电镜和导电样品300碰撞而损坏导电样品300或扫描电镜100，检测过程会不允许两者出现碰撞情况，这类应用场景即为防碰撞检测。而在另一部分应用场景中，导电样品300需要与扫描电镜100进行碰撞，以检测导电样品300性质等，这类应用场景即为碰撞测试，在碰撞测试中，扫描电镜100和导电样品300碰撞后，位移台120还需要继续移动。为了使扫描电镜100能够应用于上述两种场景中，系统200中设置了开关电路230，开关电路230能够根据控制器220的发送的使能信号在第一状态和第二状态间切换，以使扫描电镜100能够进行防碰撞检测和碰撞测试，进而提高扫描电镜100的适用性。
开关电路230可为多种逻辑门电路，包括与门或门、与非门等，下面以开关电路230为与门电路为例，说明本发明实施例的开关电路的具体功能，当开关电路230为与门电路时，第一使能信号可为高电平、第二使能信号可为低电平、触碰信号可为高电平。当需要对导电样品300进行防碰撞检测时，控制器220输出高电平至开关电路230，以使开关电路230处于第一状态。在检测过程中，当导电样品300与样品舱110发生触碰时，信号发生器210输出高电平至开关电路230，此时由于开关电路230为与门电路，且第二输入端为高电平，因此开关电路230输出高电平至扫描电镜100，以使位移台120停止移动，从而避免导电样品300和扫描电镜100损坏。而当需要对导电样品300进行碰撞检测时，控制器220输出低电平至开关电路230，以使开关电路230处于第二状态。该情况下，当导电样品300与样品舱110发生触碰时，信号发生器210发出的触碰信号无法使开关电路230输出高电平，使信号发生器210停止输出触碰信号至扫描电镜100，位移台120能够继续运行，以使扫描电镜100能够进行碰撞测试。
在一些实施例中，参考图3所示，信号发生器210包括触发器211，触发器211的触发端与触发开关K相连，用于在触发开关K导通时，输出触碰信号。
具体来说，由于导电样品300的导电性能不确定，且当导电样品300与样品舱110发生碰撞时，碰撞点的接触面积、包括碰撞后导电样品300与样品舱110是否维持接触状态均不确定，故触发开关K的导通状态可能不稳定，信号发生器210输出的触碰信号可能无法时刻保持。在该情况下，如果仅使用单纯的接地电路作为信号发生器210，可能无法使信号发生器210发出稳定的触碰信号，系统200对导电样品300与样品舱110是否碰撞可能存在误判的问题。因此，本发明实施例的信号发生器210包括触发器211，触发器211在通过触发端接收到触发开关从断开变为导通状态后，立即通过输出端输出触碰信号至扫描电镜100，且当触发开关的导通状态发生波动时，维持输出触碰信号的状态，从而使系统200能够在导电样品300与样品舱110发生碰撞后，稳定输出触碰信号，进而提高系统的安全性。
进一步的，继续参考图3所示，系统200还包括控制器220，控制器220与触发器211的复位端R相连，用于在位移台120移动前发送第一信号至触发器的复位端R，以对触发器的输出端Q进行复位，并在位移台120移动的过程中，发送第二信号至触发器的复位端R，以使触发器处于工作状态，以在触发开关K导通时，使触发器211的输出端输出触碰信号。
进一步的，在触发器的触发端和复位端的电平信号分别为0和1时，触发器的输出端的电平信号跳变为0；在触发器的触发端和复位端的电平信号分别为1和0时，触发器的输出端的电平信号跳变为1；其中，当触发器的输出端的电平信号为1时，表示触发器的输出端输出触碰信号；当触发开关K导通时，触发器211的触发端的电平信号为1，否则为0。
进一步的，触发器211为D触发器。
具体来说，触发器211还具有复位功能，能够使系统200恢复对扫描电镜的防碰撞保护功能，从而提升系统的便捷性。下面以触发器211为D触发器时，说明本发明实施例的提醒100。D触发器的具体工作方式如下：
参考图3所示，D触发器包括三个端口，包括触发端S，复位端R和输出端Q，D触发器的具体原理在此不作展开，当触发开关导通时，触发器的触发端的电平信号为1，否则为0。在位移台120移动前，导电样品300和样品舱110未发生碰撞，此时D触发器的输出端信号可分为两种情况：一种情况下，D触发器尚未触发过，输出端Q输出电平信号为0；另一种情况下，D触发器已经触发过，此时由于D触发器的特性，输出端Q的电平信号稳定为1，在该情况下，如果位移台120进行移动，系统200无法实现对扫描电镜100的防碰撞保护。为避免上述的另一种情况，在位移台120移动前，控制器220向D触发器的复位端R输出电平信号1，此时，D触发器的输出端电平受触发端电平控制。由于此时位移台120尚未移动，因此不存在碰撞风险，触发端S信号为0，从而使输出端Q信号电平跳变为0，从而实现了对D触发器的输出端的置零功能，避免D触发器之前的输出端电平状态影响后续的碰撞检测，确保系统200对扫描电镜100的防碰撞保护功能正常。
当完成对D触发器的复位后，控制器220可在位移台120的移动过程中，发送电平信号0至D触发器的复位端R，以使D触发器处于工作状态，此时，D触发器的输出端电平状态仅取决于触发端电平状态。当触发开关K未导通时，触发端S和输出端Q的电平信号均为0，当导电样品300和样品舱110发生碰撞后，触发开关K导通，触发端S和输出端Q的电平信号同时变为1，D触发器输出触碰信号。由于此时复位端R电平信号为0，因此当输出端Q电平信号变为1后，触发端S的电平信号变化已经无法影响输出端Q的电平信号，从而使D触发器能够在导电样品300与样品舱110发生碰撞后稳定输出触碰信号。
此外，D触发器的复位功能还可应用在解除触碰信号后，具体方式如下：当收到触碰信号后，扫描电镜100可控制位移台120反向移动预设距离，以解除导电样品300和样品舱110的碰撞状态，位移台120具备了继续移动的条件。然而在信号发生器210中，由于D触发器的特性，D触发器依旧持续输出触碰信号，导致位移台120无法移动。此时控制器220可向D触发器的复位端R发送电平信号1，由于位移台120已经反向移动预设距离，导电样品300和样品舱110已经解除触碰状态，D触发器的触发端S的电平信号为0，因此D触发器的输出端将停止输出触碰信号，使D触发器能够恢复到工作状态，扫描电镜100也可以控制位移台120继续移动。
需要说明的是，触发器211也可为其他类型的触发器，将D触发器作为本发明实施例的触发器211是示例性的，不作为对本申请的限制。
在一些实施例中，参考图3所示，信号发生器210还包括：信号处理电路212，信号处理电路212分别与触发器211的触发端S和触发开关K相连，用于生成与触发开关K的开关状态相对应的电平信号，并输入触发器211的触发端S。
进一步的，信号处理电路212包括：第一电阻R1，第一电阻R1的一端与第一电源VCC相连，第一电阻R1的另一端分别与触发开关K的一端和触发器211的触发端S相连，触发开关K的另一端接地GND。
具体来说，参考图4所示，触发开关K关断状态对应的电平信号为1，触发开关K导通状态对应的电平信号为0。当触发开关K关断时，第一电源VCC可通过第一电阻R1连接到触发器211的触发端S，从而使触发端211接收到电平信号1，其中第一电源VCC的电压值可根据触发器211设置，例如，第一电源可为+5V。当触发开关K导通时，触发端211的触发端S可通过触发开关K接地GND，从而使触发器211的触发端S接收到电平信号0。由此，使信号处理电路实现了根据触发开关K的开关状态生成对应电平信号的功能。
在一些实施例中，参考图5所示，信号处理电路212包括：第一开关管Q1、第二电阻R2、第二开关管Q2、第三电阻R3、稳压管Z、二极管D和第四电阻R4。其中，第一开关管Q1的第一端接地GND，第一开关管Q1的第二端与触发器211的触发端S相连，第一开关管Q1的第二端还通过第二电阻R2与第一电源VCC相连；第二开关管Q2的第一端接地GND，第二开关管Q2的第二端与第一开关管Q1的第三端相连，第二开关管Q2的第二端还通过第三电阻R3与第一电源VCC相连；稳压管Z的阴极接地GND，稳压管Z的阳极与第二开关管Q2的第三端相连；二极管D的阴极与稳压管Z的阳极相连，二极管D的阳极与触发开关K的一端相连，触发开关K的另一端接地GND，二极管D的阳极还通过第四电阻R4与第二电源VEE相连。
具体来说，触发开关K关断状态对应的电平信号为1，触发开关K导通状态对应的电平信号为0，参考图5所示，第一开关管Q1可为NMOS管、第二开关管可为JEFT(场效应管)，第一开关管Q1和第二开关管Q2的第三端均为控制端，第一电源VCC可为正电压电源，例如，第一电源VCC可为5V，第二电源VEE可为负电压电源，例如，第二电源VEE可为-5V。当触发开关K关断时，接地端GND可通过稳压管Z、二极管D和第四电阻R4连接到第二电源VEE，其中，稳压管Z提供稳定压降和保护其他器件的作用，二极管D具有单向导通避免低电压影响位移台120的作用，第四电阻R4则具有限流作用。此时，通过选用合适的稳压管Z、二极管D和第三电阻R3，可使第二开关管Q2的第三端电压为-5v，从而使第二开关管Q2变为高阻态，此时，第一电源VCC可通过第三电阻R3、第二开关管Q2接地GND，此时第二电阻R2的压降可忽略，因此第一开关管Q1的第三端电压可为5V，第一开关管Q1导通；第一开关管Q1导通后，第一电源VCC还可通第二电阻R2、第一开关管Q1接地GND，第一开关管Q1的导通压降可忽略，因此触发器211的触发端S接地GND，触发端S电平信号为0。当触发开关K导通时，接地端GND可直接通过第四电阻R4连接到第二电源VEE，因此，二极管D的阳极电压变为0v，第二开关管Q2的第三端电压也变为0v，使第二开关管Q2导通，进而使第一开关管Q1的控制端的电压变为0v，第一开关管Q1关断，第一电源VCC可通过第二电阻R2连接到触发器211的触发端S，从而使触发端S电压变为5V，触发端S电平信号为1。由此，使信号处理电路实现了根据触发开关K的开关状态生成对应电平信号的功能，同时，相比与上述实施例的信号处理电路，本发明实施例的信号处理电路具有更高的准确性和可靠性，进而能够提高系统的可靠性。
可选的，为了提高信号处理电路212的可靠性，可在稳压管Z的阳极和二极管的阴极之间增加限流电阻，以及在触发开关K的一端和第四电阻R4之间增加限流电阻，以限制信号处理电路212运行时的电路电流，进而提高信号处理电路的可靠性。
综上所述，根据本发明实施例的扫描电镜样品防碰撞检测系统，通过在系统中设置信号发生器，信号发生器与扫描电镜中样品舱、导电样品和位移台构成的触发开关相连，当导电样品触碰样品舱时，触发开关导通，使信号发生器输出触碰信号，系统可根据触碰信号确定扫描电镜出现碰撞问题，从而使系统能够快速、准确地判断导电样品是否与扫描电镜发生碰撞，提高了扫描电镜的安全性；同时，通过在系统中设置控制器和开关电路，使系统能够根据测试情况开启或停止对扫描电镜的防碰撞检测功能，进而使扫描电镜能够进行防碰撞检测和碰撞测试，使系统的适用场景更为广泛；此外，通过在信号发生器中设置D触发器，使信号发生器具有了在触发开关导通后持续输出触碰信号的功能，以及受控制器控制的复位功能，从而提升了系统的便捷性，由此，使系统在防碰撞检测功能方面具有更高的准确性、适用性和便捷性。
对应上述实施例，本发明实施例还提供了一种扫描电镜，参考图5所示，该扫描电镜1000包括：导电的样品舱110和导电的位移台120，位移台120与样品舱110绝缘，导电样品300放置于位移台120上且随位移台移动，样品舱110、所述导电样品120和位移台130构成触发开关K；前述的扫描电镜样品防碰撞检测系统200，用于在扫描电镜1000控制位移台120移动的过程中，对导电样品300防碰撞检测或碰撞测试。
根据本发明实施例的扫描电镜，通过前述的扫描电镜样品防碰撞检测系统，能够使扫描电镜的防碰撞检测功能具有较高的准确性、适用性和便捷性，满足扫描电镜在各种应用场景下的安全需求和不同测试需求，从而提高了扫描电镜的安全性和便捷性。
需要说明的是，在流程图中表示或在此以其他方式描述的逻辑和/或步骤，例如，可以被认为是用于实现逻辑功能的可执行指令的定序列表，可以具体实现在任何计算机可读介质中，以供指令执行系统、装置或设备(如基于计算机的系统、包括处理器的系统或其他可以从指令执行系统、装置或设备取指令并执行指令的系统)使用，或结合这些指令执行系统、装置或设备而使用。就本说明书而言，"计算机可读介质"可以是任何可以包含、存储、通信、传播或传输程序以供指令执行系统、装置或设备或结合这些指令执行系统、装置或设备而使用的装置。计算机可读介质的更具体的示例(非穷尽性列表)包括以下：具有一个或多个布线的电连接部(电子装置)，便携式计算机盘盒(磁装置)，随机存取存储器(RAM)，只读存储器(ROM)，可擦除可编辑只读存储器(EPROM或闪速存储器)，光纤装置，以及便携式光盘只读存储器(CDROM)。另外，计算机可读介质甚至可以是可在其上打印所述程序的纸或其他合适的介质，因为可以例如通过对纸或其他介质进行光学扫描，接着进行编辑、解译或必要时以其他合适方式进行处理来以电子方式获得所述程序，然后将其存储在计算机存储器中。
应当理解，本发明的各部分可以用硬件、软件、固件或它们的组合来实现。在上述实施方式中，多个步骤或方法可以用存储在存储器中且由合适的指令执行系统执行的软件或固件来实现。例如，如果用硬件来实现，和在另一实施方式中一样，可用本领域公知的下列技术中的任一项或他们的组合来实现：具有用于对数据信号实现逻辑功能的逻辑门电路的离散逻辑电路，具有合适的组合逻辑门电路的专用集成电路，可编程门阵列(PGA)，现场可编程门阵列(FPGA)等。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (15)

1.一种扫描电镜样品防碰撞检测系统，其特征在于，所述扫描电镜包括导电的样品舱和导电的位移台，所述位移台与所述样品舱绝缘，导电样品放置于所述位移台上且随所述位移台移动，所述样品舱、所述导电样品和所述位移台构成触发开关，所述系统包括：
信号发生器，所述信号发生器与所述触发开关相连；其中，
在所述扫描电镜控制所述位移台移动的过程中，在所述导电样品触碰所述样品舱时，所述触发开关导通，使所述信号发生器输出触碰信号。
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括控制器，所述控制器与所述信号发生器相连，用于根据所述触碰信号发出触碰提示信息。
3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括开关电路，所述开关电路分别与所述信号发生器和所述扫描电镜相连，所述开关电路用于：
在对所述导电样品防碰撞检测时，处于第一状态，以使所述信号发生器输出所述触碰信号至所述扫描电镜，以使所述扫描电镜控制所述位移台停止移动；
在对所述导电样品碰撞测试时，处于第二状态，以使所述信号发生器停止输出所述触碰信号至所述扫描电镜，以使所述扫描电镜继续控制所述位移台移动。
4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述系统还包括控制器，所述开关电路的第一输入端与所述信号发生器相连，所述开关电路的第二输入端与所述控制器相连，所述开关电路的输出端与所述扫描电镜相连，所述控制器用于：
在对所述导电样品防碰撞检测时，输出第一使能信号以使所述开关电路处于第一状态；
在对所述导电样品碰撞测试时，输出第二使能信号以使所述开关电路处于第二状态。
5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述开关电路为逻辑门电路。
6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述逻辑门电路为与门电路。
7.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述信号发生器包括触发器，所述触发器的触发端与所述触发开关相连，用于在所述触发开关导通时，输出所述触碰信号。
8.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，所述系统还包括控制器，所述控制器与所述触发器的复位端相连，用于在所述位移台移动前发送第一信号至所述触发器的复位端，以对所述触发器的输出端进行复位，并在所述位移台移动的过程中，发送第二信号至所述触发器的复位端，以使所述触发器处于工作状态，以在所述触发开关导通时，使所述触发器的输出端输出所述触碰信号。
9.根据权利要求8所述的系统，其特征在于，所述控制器还用于在所述触碰信号解除后，发送所述第一信号至所述触发器的复位端，以对所述触发器的输出端进行复位，其中，在所述扫描电镜控制所述位移台反向移动预设距离后，所述触碰信号解除。
10.根据权利要求8所述的系统，其特征在于，
在所述触发器的触发端和复位端的电平信号分别为0和1时，所述触发器的输出端的电平信号跳变为0；
在所述触发器的触发端和复位端的电平信号分别为1和0时，所述触发器的输出端的电平信号跳变为1；
其中，当所述触发器的输出端的电平信号为1时，表示所述触发器的输出端输出所述触碰信号；当所述触发开关导通时，所述触发器的触发端的电平信号为1，否则为0。
11.根据权利要求7-10任一项所述的系统，其特征在于，所述触发器为D触发器。
12.根据权利要求10所述的系统，其特征在于，所述信号发生器还包括：信号处理电路，所述信号处理电路分别与所述触发器的触发端和所述触发开关相连，用于生成与所述触发开关的开关状态相对应的电平信号，并输入所述触发器的触发端。
13.根据权利要求12所述的系统，其特征在于，所述信号处理电路包括：
第一电阻，所述第一电阻的一端与第一电源相连，所述第一电阻的另一端分别与所述触发开关的一端和所述触发器的触发端相连，所述触发开关的另一端接地。
14.根据权利要求12所述的系统，其特征在于，所述信号处理电路包括：
第一开关管，所述第一开关管的第一端接地，所述第一开关管的第二端与所述触发器的触发端相连，所述第一开关管的第二端还通过第二电阻与第一电源相连；
第二开关管，所述第二开关管的第一端接地，所述第二开关管的第二端与所述第一开关管的第三端相连，所述第二开关管的第二端还通过第三电阻与所述第一电源相连；
稳压管，所述稳压管的阴极接地，所述稳压管的阳极与所述第二开关管的第三端相连；
二极管，所述二极管的阴极与所述稳压管的阳极相连，所述二极管的阳极与所述触发开关的一端相连，所述触发开关的另一端接地，所述二极管的阳极还通过第四电阻与第二电源相连。
15.一种扫描电镜，其特征在于，包括：
导电的样品舱和导电的位移台，所述位移台与所述样品舱绝缘，导电样品放置于所述位移台上且随所述位移台移动，所述样品舱、所述导电样品和所述位移台构成触发开关；
根据权利要求1-14任一项所述的扫描电镜样品防碰撞检测系统，用于在所述扫描电镜控制所述位移台移动的过程中，对所述导电样品防碰撞检测或碰撞测试。
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