CN117251381A - 用于匀胶显影系统的软件虚拟系统、调试方法及存储介质 - Google Patents
用于匀胶显影系统的软件虚拟系统、调试方法及存储介质 Download PDFInfo
- Publication number
- CN117251381A CN117251381A CN202311514440.4A CN202311514440A CN117251381A CN 117251381 A CN117251381 A CN 117251381A CN 202311514440 A CN202311514440 A CN 202311514440A CN 117251381 A CN117251381 A CN 117251381A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- software
- debugging
- spin
- ethercat
- tool
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 238000003860 storage Methods 0.000 title claims abstract description 8
- 238000004088 simulation Methods 0.000 claims abstract description 36
- 230000004044 response Effects 0.000 claims abstract description 21
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000003292 glue Substances 0.000 claims description 17
- 238000011161 development Methods 0.000 claims description 12
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 10
- 238000013507 mapping Methods 0.000 claims description 5
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 claims 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F11/00—Error detection; Error correction; Monitoring
- G06F11/36—Preventing errors by testing or debugging software
- G06F11/362—Software debugging
- G06F11/3648—Software debugging using additional hardware
- G06F11/3652—Software debugging using additional hardware in-circuit-emulation [ICE] arrangements
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F9/00—Arrangements for program control, e.g. control units
- G06F9/06—Arrangements for program control, e.g. control units using stored programs, i.e. using an internal store of processing equipment to receive or retain programs
- G06F9/44—Arrangements for executing specific programs
- G06F9/455—Emulation; Interpretation; Software simulation, e.g. virtualisation or emulation of application or operating system execution engines
- G06F9/45504—Abstract machines for programme code execution, e.g. Java virtual machine [JVM], interpreters, emulators
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F9/00—Arrangements for program control, e.g. control units
- G06F9/06—Arrangements for program control, e.g. control units using stored programs, i.e. using an internal store of processing equipment to receive or retain programs
- G06F9/44—Arrangements for executing specific programs
- G06F9/455—Emulation; Interpretation; Software simulation, e.g. virtualisation or emulation of application or operating system execution engines
- G06F9/45533—Hypervisors; Virtual machine monitors
- G06F9/45558—Hypervisor-specific management and integration aspects
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F9/00—Arrangements for program control, e.g. control units
- G06F9/06—Arrangements for program control, e.g. control units using stored programs, i.e. using an internal store of processing equipment to receive or retain programs
- G06F9/44—Arrangements for executing specific programs
- G06F9/455—Emulation; Interpretation; Software simulation, e.g. virtualisation or emulation of application or operating system execution engines
- G06F9/45533—Hypervisors; Virtual machine monitors
- G06F9/45558—Hypervisor-specific management and integration aspects
- G06F2009/45595—Network integration; Enabling network access in virtual machine instances
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Software Systems (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Debugging And Monitoring (AREA)
Abstract
本发明提供了用于匀胶显影系统的软件虚拟系统、调试方法及存储介质，软件虚拟系统包括：软件平台运行机，软件平台运行机装有EtherCAT主站板卡；调试虚拟机，调试虚拟机通过网线、串口与软件平台运行机通信连接，调试虚拟机装有EtherCAT仿真工具、串口/TCP调试工具；EtherCAT仿真工具用于虚拟化EtherCAT网络并可二次开发读写模拟信号的反馈；串口/TCP调试工具可进行延时自动应答以使匀胶显影系统内的部件及时响应。这样可以在匀胶显影软件平台在无硬件的情况下，项目能够正常运行，验证软件功能逻辑问题，硬件组合是否与软件适配，节约硬件成本，提前发现软件问题,缩短真机调试时间,提升软件质量，根据机型虚拟配置,模拟现场问题，修改调试软件问题,减少售后问题。
Description
技术领域
本发明涉及软件平台调试技术领域，具体而言，涉及一种用于匀胶显影系统的软件虚拟系统、调试方法以及存储介质。
背景技术
一般匀胶显影软件平台调试需要在实际硬件上运行，才能正常使用调试工具对代码进行跟踪和分析，经常受到各种限制和约束，部分硬件未组装完成或不适配，导致设备调试周期长，难以排查软件逻辑问题，造成人力、硬件成本高。并且软件调度算法经常修改以适应客户对产能要求，借现场作业设备难度大，得不到有效的验证。现场问题无法模拟，如胶泵喷胶量异常，代码逻辑反复修改几次，使得软件问题突显。
基于此，申请人提出一种用于匀胶显影系统的软件虚拟系统、调试方法以及存储介质来解决上述技术问题。
发明内容
本发明解决的问题是软件调度算法经常修改以适应客户对产能要求，借现场作业设备难度大，得不到有效的验证。现场问题无法模拟，如胶泵喷胶量异常，代码逻辑反复修改几次，使得软件问题突显。
为解决上述问题，本发明提供一种用于匀胶显影系统的软件虚拟系统，包括：软件平台运行机，所述软件平台运行机装有EtherCAT主站板卡；调试虚拟机，所述调试虚拟机通过网线、串口与所述软件平台运行机通信连接，所述调试虚拟机装有EtherCAT仿真工具、串口/TCP调试工具；所述EtherCAT仿真工具用于虚拟化EtherCAT网络并可二次开发读写模拟信号的反馈；所述串口/TCP调试工具可进行延时自动应答以使匀胶显影系统内的部件及时响应。
与现有技术相比，采用本方案所能达到的技术效果：通过在一台调试虚拟机上装有EtherCAT仿真工具、串口/TCP调试工具，并通过该调试虚拟机与软件平台运行机通过网线、串口连接以使两者通讯连接；通过EtherCAT仿真工具用于虚拟化EtherCAT网络并可二次开发读写模拟信号的反馈；串口/TCP调试工具可进行延时自动应答以使匀胶显影系统内的部件及时响应，这样可以在匀胶显影软件平台在无硬件的情况下，项目能够正常运行，验证软件功能逻辑问题，硬件组合是否与软件适配，节约硬件成本，提前发现软件问题,缩短真机调试时间,提升软件质量，根据机型虚拟配置,模拟现场问题，修改调试软件问题,减少售后问题。
在本实施例中，所述串口/TCP调试工具可进行延时自动应答包括预先导入所述匀胶显影系统内的部件工作指令的平均时间，而后操作人员在软件平台运行机上输入延时时间。
采用该技术方案后的技术效果为，通过上述的串口/TCP调试工具可模拟实际运行时的匀胶显影系统内的部件工作响应指令时间，具体采用将实际运行时的匀胶显影系统内的部件工作响应指令时间的经验值提前导入，从而完成模拟；而操作人员也可在软件平台运行机上输入延时时间进行手动设置延时时间。
在本实施例中，所述延时时间的设置范围为100~1000ms。
采用该技术方案后的技术效果为，延时时间的范围可选，以应对不同工作环境下的匀胶显影系统。
在本实施例中，当所述串口/TCP调试工具需要模拟胶量喷胶时，需要预先导入现场喷胶数据生成拟合曲线。
采用该技术方案后的技术效果为，为了更进一步模拟匀胶显影系统各个部件的动作，需要模拟胶量喷胶量，通过预先导入之前现场喷胶数据生成的拟合曲线经验值，从而进行模拟，以更符合匀胶显影系统的实际运行。
一种用于匀胶显影系统的软件虚拟调试方法，包括所述的用于匀胶显影系统的软件虚拟系统，所述调试方法包括：S10:用户将软件平台运行机与调试虚拟机通讯连接；S20:根据设计文档，建立耦合器电气块，并添加不同型号的部件模块；S30:将设计文档中的耦合器电气块以及不同型号的部件模块点位导入，并通过EtherCAT仿真工具的二次开发映射至调试虚拟机中；S40:在EtherCAT仿真工具的二次开发中对PDO输入检测，读取到指定的指令，并根据部件指令时间进行延时反馈。
采用该技术方案后的技术效果为，为了保证在不使用硬件的情况下，采用软件虚拟调试方式进行调试，采用上述的调试方法，根据实际情况，建立不同型号的部件模块，如电机的型号有很多种，不同型号的电机采用不同的模块，并将上述模块点位导入，通过仿真工具的二次开发映射至调试虚拟机中；最后通过读取到的指令，进行延时反馈。
在本实施例中，所述S10:用户将软件平台运行机与调试虚拟机通讯连接，包括通过将从站描述文件导入至EtherCAT仿真工具后，以使软件平台运行机识别从站信息。
采用该技术方案后的技术效果为，EtherCAT仿真工具具有主站和从站，通过将从站的描述文件导入至仿真工具后，让软件平台的运行机识别从站信息以此来达到通讯连接的目的。
在本实施例中，所述建立耦合器电气块包括建立耦合器DI/DO/AI/AO电气块，所述添加不同型号的部件模块包括添加不同型号的电机模块、阀岛模块、流量计模块。
采用该技术方案后的技术效果为，耦合器DI/DO/AI/AO电气块为控制系统中的数字量输入、数字量输出、模拟量输入、模拟量输出，通过上述的模拟量输入可使得被控对象模拟量转换成计算机能够识别的数字信号，诸如将温度、压力等变成数字信号；通过数字量输入可将只有两种状态的开关量信号转换成计算机可识别的信号，诸如电机开关、限位开关等，这样可使得匀胶显影系统内的部件均通过数字量输入或者模拟量输入，并最后相应输出，达到控制系统控制的目的。
在本实施例中，所述将设计文档中的耦合器电气块以及不同型号的部件模块点位导入，包括耦合器电器块、阀岛模块、流量计模块的点位导入。
采用该技术方案后的技术效果为，通过将耦合器电气块以及不同型号的部件模块点位导入以使控制系统能够控制上述的部件，以达到控制系统模拟匀胶显影系统的目的。
一种存储介质，包括所述的一种用于匀胶显影系统的软件虚拟系统，还包括：控制器，用于模拟信号的反馈；仿真模块，用于虚拟化EtherCAT网络。
采用该技术方案后的技术效果为，能够达到上述任一实施例所产生的技术效果，在此不再赘述。
附图说明
图1为本发明一种用于匀胶显影系统的软件虚拟系统的调试组合示意图；
图2为本发明一种用于匀胶显影系统的软件调试方法的流程图；
图3为本发明的串口/TCP调试工具示意图。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。
本发明提供一种用于匀胶显影系统的软件虚拟系统，如图1-3所示，包括：软件平台运行机，所述软件平台运行机装有EtherCAT主站板卡；调试虚拟机，所述调试虚拟机通过网线、串口与所述软件平台运行机通信连接，所述调试虚拟机装有EtherCAT仿真工具、串口/TCP调试工具；所述EtherCAT仿真工具用于虚拟化EtherCAT网络并可二次开发读写模拟信号的反馈；所述串口/TCP调试工具可进行延时自动应答以使匀胶显影系统内的部件及时响应。
软件平台运行机作为优选的是采用如图1所述的工控机（为其中一台电脑），其中在工控机中装有PCI板卡即为EtherCAT主站板卡。而另一台电脑为调试虚拟机，通过串口和网口与上述的电脑进行通信连接。采用EtherCAT仿真工具是专用虚拟化EtherCAT的软件，可进行二次开发读写PDO模拟信号反馈。
EtherCAT仿真工具为EC-Simulator是一款功能强大的实时EtherCAT 网络仿真软件。它能够通过模拟 EtherCAT 从站设备来虚拟化EtherCAT网络，使开发测试人员可以在没有真实的 EtherCAT 从站硬件设备的情况下运行 EtherCAT主站应用程序。EtherCAT 仿真可以通过物理网络适配器或虚拟方式实现，以实现完全模拟的机器设备设置。配置仿真实例时，可以无缝使用真实网络的 ENI 文件。EC-Simulator包含众多从站功能，可以模拟主从站之间的各类交互，例如对过程数据（PDO）进行响应，发送和接收服务数据（SDO），与从站堆栈进行交互等。这一切都可以通过C/C++或.NET编程语言提供的API来实现，从而将EtherCAT 数据连接到各种其他专业软件工具，以模拟现实网络。
而应用至匀胶显影系统中时，由于匀胶显影系统中的部分需要对控制系统的应答进行响应，而具体硬件在实际使用过程中需要响应时间。可通过串口/TCP调试工具进行延时自动应答以使匀胶显影系统内的部件及时响应以模拟正式的匀胶显影系统各个部件的实际运行情况，以在软件运行过程中及时发现问题，这样可以在匀胶显影软件平台在无硬件的情况下，项目能够正常运行，验证软件功能逻辑问题，硬件组合是否与软件适配，节约硬件成本，提前发现软件问题,缩短真机调试时间,提升软件质量，根据机型虚拟配置,模拟现场问题，修改调试软件问题,减少售后问题。
进一步优化，所述串口/TCP调试工具可进行延时自动应答包括预先导入所述匀胶显影系统内的部件工作指令的平均时间，而后操作人员在软件平台运行机上输入延时时间。
可见匀胶显影系统内部件之间在实际运作过程中响应时间的经验值作为数据预先导入至软件中，响应时间经验值可为平均时间，如电机平时工作时的响应时间平均值在5ms~20ms，即可将该响应时间预先导入，模拟真实响应时间，当然匀胶显影系统中的其他部件响应时间也可按照上述方法进行导入，从而模拟整个匀胶显影系统中的响应时间。且可以模拟真机陪跑一段时间，进而计算得出产能。
由于匀胶显影系统在处于不同工作环境下的，各个部件的响应时间并不相同，如采用单一固定的响应时间会与不同工作环境不适应，导致匀胶显影系统中各个部位工作方式或动作产生干涉等，通过人工输入延时时间可较好的适应不同工作环境所带来的影响，从而消除或减少上述影响，最终能够更加贴近不同环境下的匀胶显影系统各个部件的运行，便于软件的调试。
进一步优化，所述延时时间的设置范围为100~1000ms。
延时时间的范围可选，以应对不同工作环境下的匀胶显影系统。匀胶显影系统中的各个部件的相应时间不同，相对应的延时时间设置范围也不同，采用100~1000ms。
进一步优化，当所述串口/TCP调试工具需要模拟胶量喷胶时，需要预先导入现场喷胶数据生成拟合曲线。
为了更进一步模拟匀胶显影系统各个部件的动作，需要模拟胶量喷胶量，通过预先导入之前现场喷胶数据生成的拟合曲线经验值，从而进行模拟，以更符合匀胶显影系统的实际运行。例如之前现场喷胶为对晶圆表面做增粘处理，增粘处理的温度一般控制在50~180℃，晶圆上的温度起伏不能超过2℃，增粘时间一般为60S。同时腔体内的压力对增粘效果也有影响，优选粘腔中的压力有利于提高工艺洁净度，使得增粘处理晶圆后的颗粒数大幅度下降。而一般会有接触角（晶圆表面疏水性）与增粘烘烤温度、加热时间的变化曲线，从而反应喷胶数据。经过大量的变化曲线生产拟合曲线成为经验值导入至串口/TCP调试工具中，以更符合匀胶显影系统的实际运行。
本实施例中还提供一种用于匀胶显影系统的软件虚拟系统的调试方法，包括所述的用于匀胶显影系统的软件虚拟系统，所述调试方法包括：S10:用户将软件平台运行机与调试虚拟机通讯连接；S20:根据设计文档，建立耦合器电气块，并添加不同型号的部件模块；S30:将设计文档中的耦合器电气块以及不同型号的部件模块点位导入，并通过EtherCAT仿真工具的二次开发映射至调试虚拟机中；S40：在EtherCAT仿真工具的二次开发中对PDO输入检测，读取到指定的指令，并根据部件指令时间进行延时反馈。
ESI文件是EtherCAT从站描述文件，导入到仿真工具后，能让主站识别到从站信息，从而使得主站和从站进行通讯连接。
在匀胶显影系统平台中，根据不同环境对应不同的设计文档，相对应建立不同的耦合器电气块，并添加不同型号的部件模块；如电机的型号有很多种，比如伺服电机可以提供转速变化，或者正反转电机可以提供两个方向上的转动，不同型号的电机采用不同的模块，并将上述模块点位导入，通过仿真工具的二次开发映射至调试虚拟机中，其中二次开发映射可根据调试结果映射至调试虚拟机中，最后通过读取到的指令，进行延时反馈。以此达到不采用硬件的情况下实现软件的调节运行，模拟现场问题，减少售后问题。
进一步优化，所述S10:用户将软件平台运行机与调试虚拟机通讯连接，包括通过将从站描述文件导入至EtherCAT仿真工具后，以使软件平台运行机识别从站信息。
EtherCAT仿真工具具有主站和从站，通过将从站的描述文件导入至仿真工具后，让软件平台的运行机识别从站信息以此来达到通讯连接的目的。
进一步优化，所述建立耦合器电气块包括建立耦合器DI/DO/AI/AO电气块，所述添加不同型号的部件模块包括添加不同型号的电机模块、阀岛模块、流量计模块。
耦合器DI/DO/AI/AO电气块为控制系统中的数字量输入、数字量输出、模拟量输入、模拟量输出，通过上述的模拟量输入可使得被控对象模拟量转换成计算机能够识别的数字信号，诸如将温度、压力等变成数字信号；通过数字量输入可将只有两种状态的开关量信号转换成计算机可识别的信号，诸如电机开关、限位开关等，这样可使得匀胶显影系统内的部件均通过数字量输入或者模拟量输入，并最后相应输出，达到控制系统控制的目的。
进一步优化，所述将设计文档中的耦合器电气块以及不同型号的部件模块点位导入，包括耦合器电器块、阀岛模块、流量计模块的点位导入。
通过将耦合器电气块以及不同型号的部件模块点位导入以使控制系统能够控制上述的部件，以达到控制系统模拟匀胶显影系统的目的。
本实施例还包括一种存储介质，包括所述的一种用于匀胶显影系统的软件虚拟系统，还包括：控制器，用于模拟信号的反馈；仿真模块，用于虚拟化EtherCAT网络。
虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。
Claims (9)
1.一种用于匀胶显影系统的软件虚拟系统，其特征在于，包括：
软件平台运行机，所述软件平台运行机装有EtherCAT主站板卡；
调试虚拟机，所述调试虚拟机通过网线、串口与所述软件平台运行机通信连接，所述调试虚拟机装有EtherCAT仿真工具、串口/TCP调试工具；
所述EtherCAT仿真工具用于虚拟化EtherCAT网络并可二次开发读写模拟信号的反馈；
所述串口/TCP调试工具可进行延时自动应答以使匀胶显影系统内的部件及时响应。
2.根据权利要求1所述的一种用于匀胶显影系统的软件虚拟系统，其特征在于，所述串口/TCP调试工具可进行延时自动应答包括预先导入所述匀胶显影系统内的部件工作指令的平均时间，而后操作人员在软件平台运行机上输入延时时间。
3.根据权利要求2所述的一种用于匀胶显影系统的软件虚拟系统，其特征在于，所述延时时间的设置范围为100~1000ms。
4.根据权利要求1所述的一种用于匀胶显影系统的软件虚拟系统，其特征在于，当所述串口/TCP调试工具需要模拟胶量喷胶时，需要预先导入现场喷胶数据生成拟合曲线。
5.一种用于匀胶显影系统的软件虚拟调试方法，其特征在于，包括如权利要求1-4任一项所述的用于匀胶显影系统的软件虚拟系统，所述调试方法包括：
S10:用户将软件平台运行机与调试虚拟机通讯连接；
S20:根据设计文档，建立耦合器电气块，并添加不同型号的部件模块；
S30:将设计文档中的耦合器电气块以及不同型号的部件模块点位导入，并通过EtherCAT仿真工具的二次开发映射至调试虚拟机中；
S40:在EtherCAT仿真工具的二次开发中对PDO输入检测，读取到指定的指令，并根据部件指令时间进行延时反馈。
6.根据权利要求5所述的一种用于匀胶显影系统的软件虚拟调试方法，其特征在于，所述S10:用户将软件平台运行机与调试虚拟机通讯连接，包括通过将从站描述文件导入至EtherCAT仿真工具后，以使软件平台运行机识别从站信息。
7.根据权利要求5所述的一种用于匀胶显影系统的软件虚拟调试方法，其特征在于，所述建立耦合器电气块包括建立耦合器DI/DO/AI/AO电气块，所述添加不同型号的部件模块包括添加不同型号的电机模块、阀岛模块、流量计模块。
8.根据权利要求7所述的一种用于匀胶显影系统的软件虚拟调试方法，其特征在于，所述将设计文档中的耦合器电气块以及不同型号的部件模块点位导入，包括耦合器电器块、阀岛模块、流量计模块的点位导入。
9.一种存储介质，其特征在于，包括如权利要求1-4任一项所述的一种用于匀胶显影系统的软件虚拟系统，还包括：
控制器，用于模拟信号的反馈；仿真模块，用于虚拟化EtherCAT网络。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311514440.4A CN117251381B (zh) | 2023-11-15 | 2023-11-15 | 用于匀胶显影系统的软件虚拟系统、调试方法及存储介质 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311514440.4A CN117251381B (zh) | 2023-11-15 | 2023-11-15 | 用于匀胶显影系统的软件虚拟系统、调试方法及存储介质 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN117251381A true CN117251381A (zh) | 2023-12-19 |
| CN117251381B CN117251381B (zh) | 2024-03-15 |
Family
ID=89137182
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202311514440.4A Active CN117251381B (zh) | 2023-11-15 | 2023-11-15 | 用于匀胶显影系统的软件虚拟系统、调试方法及存储介质 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN117251381B (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117443681A (zh) * | 2023-12-20 | 2024-01-26 | 全南虔芯半导体有限公司 | 芯片制造用恒温匀胶系统 |
| CN117880117A (zh) * | 2024-03-12 | 2024-04-12 | 泉州华中科技大学智能制造研究院 | 一种用于虚拟调试的EtherCAT虚拟从站实现方法 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2790101A1 (en) * | 2013-04-10 | 2014-10-15 | ABB Technology AG | System and method for automated virtual commissioning of an industrial automation system |
| CN109799730A (zh) * | 2019-01-25 | 2019-05-24 | 东华大学 | 一种机电一体化仿真平台及其设计方法 |
| CN114488846A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-05-13 | 杭州电子科技大学 | 一种可编程控制器与虚拟工业机器人连接的开放式运动控制仿真实验方法 |
| CN114488843A (zh) * | 2020-11-13 | 2022-05-13 | 罗克韦尔自动化技术公司 | 工业网络通信仿真 |
| CN114880977A (zh) * | 2022-05-11 | 2022-08-09 | 北京百度网讯科技有限公司 | 软硬件联合仿真系统、方法、装置、设备和存储介质 |
| CN116125914A (zh) * | 2022-11-23 | 2023-05-16 | 湖南视比特机器人有限公司 | 基于真实生产线的仿真方法、仿真系统和仿真软件 |
| CN116595934A (zh) * | 2023-05-25 | 2023-08-15 | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 | 一种涂胶系统配置自动生成方法、电子装置及存储介质 |
-
2023
- 2023-11-15 CN CN202311514440.4A patent/CN117251381B/zh active Active
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2790101A1 (en) * | 2013-04-10 | 2014-10-15 | ABB Technology AG | System and method for automated virtual commissioning of an industrial automation system |
| CN109799730A (zh) * | 2019-01-25 | 2019-05-24 | 东华大学 | 一种机电一体化仿真平台及其设计方法 |
| CN114488843A (zh) * | 2020-11-13 | 2022-05-13 | 罗克韦尔自动化技术公司 | 工业网络通信仿真 |
| CN114488846A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-05-13 | 杭州电子科技大学 | 一种可编程控制器与虚拟工业机器人连接的开放式运动控制仿真实验方法 |
| CN114880977A (zh) * | 2022-05-11 | 2022-08-09 | 北京百度网讯科技有限公司 | 软硬件联合仿真系统、方法、装置、设备和存储介质 |
| CN116125914A (zh) * | 2022-11-23 | 2023-05-16 | 湖南视比特机器人有限公司 | 基于真实生产线的仿真方法、仿真系统和仿真软件 |
| CN116595934A (zh) * | 2023-05-25 | 2023-08-15 | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 | 一种涂胶系统配置自动生成方法、电子装置及存储介质 |
Non-Patent Citations (4)
| Title |
|---|
| A. GUILLERMO RAMIREZ ETC.: "Modeling and Evaluation of Paper Machine Coater Sections - Part 2: 2-Coater Section and Control Loops Bandwidths", 2018 IEEE IAS PULP, PAPER AND FOREST INDUSTRIES CONFERENCE (PPFIC) * |
| 周天沛;代洪;: "虚拟PLC仿真实验平台的设计", 工业仪表与自动化装置, no. 02 * |
| 周平 等: "封闭式匀胶显影设备的结构与技术优势", 中国战略新兴产业 * |
| 方称生;高伟强;胡泽华;: "基于EtherCAT高性能多轴数控系统平台研究", 电气传动, no. 02 * |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117443681A (zh) * | 2023-12-20 | 2024-01-26 | 全南虔芯半导体有限公司 | 芯片制造用恒温匀胶系统 |
| CN117443681B (zh) * | 2023-12-20 | 2024-03-12 | 全南虔芯半导体有限公司 | 芯片制造用恒温匀胶系统 |
| CN117880117A (zh) * | 2024-03-12 | 2024-04-12 | 泉州华中科技大学智能制造研究院 | 一种用于虚拟调试的EtherCAT虚拟从站实现方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN117251381B (zh) | 2024-03-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN117251381B (zh) | 用于匀胶显影系统的软件虚拟系统、调试方法及存储介质 | |
| CN108566323B (zh) | 一种T-Box自动化测试方法及系统 | |
| CN107885097B (zh) | 一种核电站模拟仪控系统dcs改造闭环验证系统及方法 | |
| CN108121216B (zh) | 一种基于数字化工厂的自动化车间虚拟调试方法 | |
| CN109740222B (zh) | 一种针对汽车网联化场景的测试装置和系统 | |
| US20100146487A1 (en) | Apparatus and method for application testing of embedded system | |
| CN108319549B (zh) | 一种测试系统及测试方法 | |
| CN105404568A (zh) | Can总线测试系统以及测试方法 | |
| CN109726061B (zh) | 一种SoC芯片的验证方法 | |
| US20170045865A1 (en) | Method for connecting an input/output interface of a tester equipped for control unit development | |
| JP2014517948A (ja) | クラスタ化シミュレーションネットワークの設定のためのシステムおよび方法 | |
| CN110611312B (zh) | 一种变电站间隔层全景数据在线模拟系统及方法 | |
| CN116125914A (zh) | 基于真实生产线的仿真方法、仿真系统和仿真软件 | |
| CN113064618B (zh) | 一种模拟新能源车辆符合性检测的系统及方法 | |
| CN103425055A (zh) | 一种半虚拟式的控制系统功能测试装置及方法 | |
| CN105810273A (zh) | 一种核电站虚拟盘台及虚拟盘台测试方法 | |
| US20210072720A1 (en) | Method For Facilitating Control System Testing And Simulation | |
| CN211652091U (zh) | 一种电动助力转向系统的测试设备 | |
| CN103576667A (zh) | 主控板的测试方法、装置及系统 | |
| CN111310313B (zh) | 基于iap的仿真模拟方法、装置以及晶圆清洗设备 | |
| CN105094021A (zh) | 一种基于arm嵌入式技术的plc协同控制装置 | |
| KR102050312B1 (ko) | Ｐｌｃ에 포함된 임베디드 ｃｐｕ를 이용한 시스템 간의 다중 통신 및 멀티 프로토콜 지원 방법, 장치 및 컴퓨터-판독가능 기록매체 | |
| CN106527342A (zh) | 基于pc运行的多种plc功能控制卡及其使用方法 | |
| CN111324045A (zh) | 一种仿真及实物结合的产线模拟系统及方法 | |
| CN201041705Y (zh) | 高炉槽下配、上料仿真装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |