CN117225072B - 一种电池用膜渣分离系统 - Google Patents
一种电池用膜渣分离系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN117225072B CN117225072B CN202311517449.0A CN202311517449A CN117225072B CN 117225072 B CN117225072 B CN 117225072B CN 202311517449 A CN202311517449 A CN 202311517449A CN 117225072 B CN117225072 B CN 117225072B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- membrane
- liquid
- box
- filter screen
- baffle plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000926 separation method Methods 0.000 title claims abstract description 74
- 239000012528 membrane Substances 0.000 title claims abstract description 63
- 239000002893 slag Substances 0.000 title description 29
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 93
- 239000003814 drug Substances 0.000 claims abstract description 34
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims abstract description 26
- 238000004064 recycling Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000013049 sediment Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 36
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 26
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 abstract description 35
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 10
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 10
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 10
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 abstract description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 238000005086 pumping Methods 0.000 abstract description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 14
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 4
- 238000001802 infusion Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02W—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
- Y02W30/00—Technologies for solid waste management
- Y02W30/50—Reuse, recycling or recovery technologies
- Y02W30/84—Recycling of batteries or fuel cells
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
本申请属于光伏行业硅片清洗领域，尤其涉及一种电池用膜渣分离系统，包括去膜主槽以及为去膜主槽提供药液的去膜副槽，去膜主槽上通过进液管连接有分离盒，分离盒的底部远离进液管的位置设置有通口，分离盒内设置有位于通口处的过滤网；振动机构连接在分离盒上用于振动过滤网；隔离漏斗一端罩设在位于分离盒外的过滤网上，隔离漏斗上设置有隔离网，隔离漏斗上罩设有回收桶，回收桶上设置有用于将回收桶内液体抽至去膜副槽内的循环泵，隔离漏斗的底部设置有用于回收膜渣的回收管。本申请通过挡板、过滤网、隔离网振动装置的设置提高膜渣分离效果和效率，通过隔离漏斗、回收桶将分离出的药液进行回收，提高去膜药液循环利用率。
Description
技术领域
本申请属于光伏行业硅片清洗领域，尤其涉及一种电池用膜渣分离系统。
背景技术
在光伏电池生产过程中，硅片需要采用化学气相沉积法、物理气相沉积法在硅片正面和背面沉淀形成薄膜，然后在硅片上镀金属栅线，然后对具有金属栅线的硅片进行去膜处理。
在硅片的去膜过程中，通常实用药液对硅片表面进行冲洗，冲洗过程中膜渣从硅片表面脱落混在药液中流出，但是膜渣混在药液中后，难以从药液中分离出来，一般的滤网是的药液中的膜渣过滤不充分，药液浪费现象严重。
发明内容
本发明要解决的技术问题是：现有的膜渣分离技术，膜渣分离不充分，药液浪费现象严重。
为此，本发明提供一种电池用膜渣分离系统。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种电池用膜渣分离系统，包括
去膜主槽，所述去膜主槽内设置有输送工件的输送组件，所述去膜主槽内连接有多个喷液管道，所述喷液管道位于滚轮的上下两侧，所述喷压管道上沿其轴向设置有多个喷嘴，相邻所述喷液管道上的喷嘴交错设置；
去膜副槽，所述去膜副槽用于向喷液管道输送碱性药液；
分离盒，所述分离盒与去膜主槽之间连接有进液，所述分离盒的底部远离进液管的位置设置有通口，所述分离盒内设置有位于通口处的过滤网；
振动机构，所述振动机构连接在分离盒上，所述振动机构用于振动过滤网；
隔离漏斗，所述隔离漏斗端口较大的一端罩设在位于分离盒外的过滤网上，所述隔离漏斗的侧壁上设置有隔离网，所述隔离漏斗上罩设有回收桶，所述回收桶位于去膜副槽内，所述回收桶上设置有用于将回收桶内液体抽至去膜副槽内的循环泵，所述隔离漏斗的底部设置有用于回收膜渣的回收管。
通过采用上述技术方案，通过过滤网、隔离网四层过滤对膜渣进行隔离并集中收集；通过隔离漏斗、回收桶将分离出的药液进行回收，提高去膜药液循环利用率，通过振动过滤网，减小提高膜渣混合液通过过滤网的速度，减小膜渣阻塞过滤网的可能性，提高膜渣分离效果和效率。
进一步地，所述喷液管道位于滚轮的上下两侧，所述喷液管道上沿其轴向设置有多个喷嘴，相邻所述喷液管道上的喷嘴交错设置。
进一步地，所述分离盒内还设置有第一挡板和第二挡板，所述第一挡板位于第二挡板靠近进液管的一侧，所述第一挡板上和第二挡板上均设置有滤孔，第一挡板上的滤孔孔径大于第二挡板上的滤孔。
进一步地，所述分离盒内设置有喷淋组件，所述喷淋组件包括喷淋管和喷淋嘴，所述喷淋管的长度方向沿分离盒的延伸方向设置，所述喷淋管相互平行设置有多个，所述喷淋管之间通过连通管连接，所述喷淋嘴沿喷淋管的长度在喷淋管上设置有多个，同一个所述喷淋管上的喷淋嘴的朝向一致，所述喷淋嘴朝向过滤网喷液。
通过采用上述技术方案，通过朝向过滤网喷淋液体，可以加速膜渣混合液通过过滤网的速度，提高过滤效率。
进一步地，所述第一挡板、第二挡板与分离盒可拆卸连接。
进一步地，所述去膜副槽内设置有恒温加热器，所述恒温加热器对去膜副槽内的碱性药液加热并对其进行保温。
进一步地，所述去膜副槽内的碱性药液的温度为50°。
进一步地，所述分离盒上设置有开口，所述分离盒上铰接有用于遮蔽开口的密封盖板。
进一步地，所述分离盒的顶部设置有回液管，所述回液管与去膜主槽连通。
本发明的有益效果是，本申请简化了原有膜渣分离工艺，通过第一挡板、第二挡板、过滤网、隔离网四层过滤对膜渣进行隔离并集中收集；通过隔离漏斗、回收桶将分离出的药液进行回收，提高去膜药液循环利用率，通过朝向过滤网喷淋以及振动过滤网，减小提高膜渣混合液通过过滤网的速度，减小膜渣阻塞过滤网的可能性，提高过滤效果和效率，提高去膜药液循环利用率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明中电池用膜渣分离系统的整体结构示意图。
图2是本发明中去膜主槽与分离盒之间位置关系的示意图。
图3是本发明中膜渣分离模组的整体结构示意图。
图4是本发明中分离盒与内溢流盒之间位置关系的示意图。
图5是本发明中整体结构示意图。
图中：1、去膜主槽；2、去膜副槽；3、膜渣分离模组；4、膜渣收集模组；5、进料口；6、喷液管道；7、增压泵；30、分离盒；31、内溢流盒；311、进液管；312、回液管；32、密封盖板；33、过滤网；34、振动机构；35、隔离漏斗；351、隔离网；36、第一挡板；37、第二挡板；38、喷淋组件；381、喷淋管；382、喷淋嘴；39、出液口；40、收集箱；41、回收泵；42、回收管；43、回收桶。
具体实施方式
现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
一种电池用膜渣分离系统，包括去膜主槽1、去膜副槽2、膜渣分离模组3以及膜渣收集模组4。膜渣分离模组3、去膜主槽1均设置在去膜副槽2的上方，膜渣收集模组4设置在去膜副槽2的一侧，去膜主槽1位于膜渣分离模组3远离膜渣收集模组4的一侧，渣液回收模组设置在去膜副槽2的一侧。
去膜主槽1的纵截面设置为直角梯形，去膜主槽1为其纵截面的直角梯形沿水平方向拉伸形成的壳体，去膜主槽1的斜面远离去膜副槽2设置，去膜主槽1截面较长的底边靠近膜渣分离模组3设置。去膜主槽1的沿其拉伸方向的两端分别设置有进料口5和出料口，去膜主槽1内设置有输送组件，输送组件为滚轮，滚轮用于将产品从进料口5朝向出料口输送。
去膜主槽1内连接有多个上喷液管道6和下喷液管，上喷液管道6和下喷液管分别位于滚轮的上下两侧。多个喷液管道6沿去膜主槽1截面直角梯形的高排列，喷液管道6的轴向沿直角梯形的拉伸方向设置，喷压管道上沿其轴向设置有多个喷嘴，相邻喷液管道6上的喷嘴交错设置，喷嘴的朝向可以调节。去膜主槽1的顶部连接有多个设备抽风管。
去膜副槽2内设置有碱性药液，去膜副槽2内设置有恒温加热器，恒温加热器将去膜副槽2内的碱性药液加热至50度并使其维持该温度。去膜副槽2与喷液管道6之间连接有输液管，去膜副槽2上还设置有增压泵7，增压泵7与输液管相连，增压泵7用于将去膜副槽2内的碱性药液通过输液管输至喷液管道6内并通过喷嘴喷出。
膜渣分离模组3包括分离盒30、内溢流盒31、密封盖板32、冲淋组件、过滤网33、振动机构34、隔离漏斗35。分离盒30位于去膜主槽1的一侧并靠近去膜主槽1的底部设置。
分离盒30纵截面设置为直角梯形，分离盒30为其纵截面的直角梯形沿水平方向拉伸形成的壳体，分离盒30的斜面设置为开口并远离去膜副槽2设置，分离盒30的斜面上铰接有密封盖板32，密封盖板32可以为透明材质，分离盒30截面较长的底边靠近去膜主槽1设置，内溢流盒31设置在分离盒30内，内溢流盒31在分离盒30内形成初滤空间，内溢流盒31的截面设置为L形，其竖直部与分离盒30内靠近去膜主槽1的侧壁连接，其竖直部朝向去膜副槽2设置并与分离盒30的底部连接，分离盒30与去膜主槽1之间连接有进液管311，进液管311与初滤空间连通，去膜主槽1与内溢流盒31之间连接有内溢流盒31水平部的底部与分离盒30的底部间隔设置，内溢流盒31的顶部设置有检修口，内溢流盒31上通过螺栓安装有用于盖设检修口的检修盖板。
内溢流盒31内可拆卸连接有第一挡板36和第二挡板37，第一挡板36和第二挡板37相互平行间隔设置，第一挡板36靠近去膜主槽1设置，第一挡板36和第二挡板37与检修口相对，并插设在内溢流盒31内，从而便于定期打开密封盖板32、检修盖板将第一挡板36、第二挡板37取出进行清洁。第一挡板36上和第二挡板37上均设置有滤孔，第一挡板36上的滤孔孔径大于第二挡板37上的滤孔，进液管311位于第一挡板36远离第二挡板37的一侧。内溢流盒31的水平部朝向分离盒30底部的侧壁上设置有出液口39，出液口39位于第二挡板37远离第一挡板36的一侧。
内溢流盒31的顶部连接有回液管312，回液管312贯穿分离盒30并与去膜主槽1连通。
过滤网33倾斜设置，过滤网33较高的一端位于内溢流盒31的下方且位于出液口39靠近第二挡板37的一侧，分离盒30的底部设置有通口，过滤网33的另一端贯穿通口并延伸至分离盒30外。
喷淋组件38包括喷淋管381和喷淋嘴382，喷淋管381的长度方向沿分离盒30的延伸方向设置，本实施例中喷淋管381设置有两个，两个喷淋管381相互平行设置且位于过滤网33上方，喷淋管381之间通过连通管连接，喷淋嘴382沿喷淋管381的长度在喷淋管381上设置有多个，同一个喷淋管381上的喷淋嘴382的朝向一致，喷淋嘴382朝向过滤网33喷液。
振动机构34连接在分离盒30上，振动机构34用于振动过滤网33，使得阻塞在过滤网33孔隙中的膜渣从过滤网33中抖动出来，减小过滤网33被阻塞的可能性，提高过滤效率。
隔离漏斗35端口较大的一端罩设在位于分离盒30外的过滤网33上，隔离漏斗35的侧壁上设置有过滤口，过滤口内设置有隔离网351，隔离网351与隔离漏斗35通过螺栓可拆卸安装。膜渣收集模组4包括收集箱40、回收泵41，隔离漏斗35的底部连接有回收管42，回收管42远离隔离漏斗35的一端与收集箱40连接，回收管42上连接有回收泵41。隔离漏斗35上罩设有回收桶43，回收桶43位于去膜副槽2内，回收桶43上设置有用于将回收桶43内液体抽至去膜副槽2内的循环泵。
本实施例的实施原理为：
首先硅片通过滚轮进入去膜主槽1，副槽内的碱性药液加热至50度后通过增压泵7、喷液管道6输送至喷嘴，喷嘴将碱性药液均匀喷洒在产品上下表面，去除产品表面膜；膜溶于药液后流至去膜主槽1内，并通过进液管311流入内溢流盒31内，膜渣与药液的混合溶液漫过内部溢流盒的第一挡板36，之后通过第二挡板37，第一挡板36和第二挡板37上的滤孔对膜渣进行初次过滤，当内溢流盒31内的液体来不及流出时，内溢流盒31内的液体通过回液管312回到去膜主槽1内。
经过初次过滤的混合液通过出液口39到达过滤网33，混合液通过过滤网33时膜渣留在膜渣过滤网33上，过滤网33振动机构34产生振动，振落膜渣至隔离漏斗35；膜渣在隔离漏斗35中静置一段时间，通过隔离漏斗35两侧隔离网351过滤掉其中残存的药液；当隔离漏斗35中的膜渣达到设计存储量时，回收泵41启动将膜渣回收至收集箱40内。隔离漏斗35中过滤出的药液储存在回收桶43内，当回收桶43内的药液达到一定量时，循环泵开始工作，抽此药液至去膜副槽2，以达到循环使作的目的。
综上，本申请简化了原有膜渣分离工艺，通过第一挡板36、第二挡板37、过滤网33、隔离网351四层过滤对膜渣进行隔离并集中收集；通过隔离漏斗35、回收桶43将分离出的药液进行回收，提高去膜药液循环利用率，通过朝向过滤网33喷淋以及振动过滤网33，减小提高膜渣混合液通过过滤网33的速度，减小膜渣阻塞过滤网33的可能性，提高过滤效率。
以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要如权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (8)
1.一种电池用膜渣分离系统，其特征在于，包括
去膜主槽(1)，所述去膜主槽(1)内设置有输送工件的输送组件，所述去膜主槽(1)内连接有多个用于朝向工件喷射药液的喷液管道(6)；
去膜副槽(2)，所述去膜副槽(2)用于向喷液管道(6)输送碱性药液；
分离盒(30)，所述分离盒(30)与去膜主槽(1)之间连接有进液管(311)，所述分离盒(30)的底部远离进液管(311)的位置设置有通口，所述分离盒(30)内设置有位于通口处的过滤网(33)，分离盒（30）设置在去膜副槽（2）上方；
振动机构(34)，所述振动机构(34)连接在分离盒(30)上，所述振动机构(34)用于振动过滤网(33)；
隔离漏斗(35)，所述隔离漏斗(35)端口较大的一端罩设在位于分离盒(30)外的过滤网(33)上，所述隔离漏斗(35)的侧壁上设置有隔离网(351)，所述隔离漏斗(35)上罩设有回收桶(43)，所述回收桶(43)位于去膜副槽(2)内，所述回收桶(43)上设置有用于将回收桶(43)内液体抽至去膜副槽(2)内的循环泵，所述隔离漏斗(35)的底部设置有用于回收膜渣的回收管(42)；
所述分离盒(30)内设置有喷淋组件(38)，所述喷淋组件(38)包括喷淋管(381)和喷淋嘴(382)，所述喷淋管(381)的长度方向沿分离盒(30)的延伸方向设置，所述喷淋管(381)相互平行设置有多个，所述喷淋管(381)之间通过连通管连接，所述喷淋嘴(382)沿喷淋管(381)的长度在喷淋管(381)上设置有多个，同一个所述喷淋管(381)上的喷淋嘴(382)的朝向一致，所述喷淋嘴(382)朝向过滤网(33)喷液。
2.根据权利要求1所述的电池用膜渣分离系统，其特征在于，所述喷液管道(6)位于滚轮的上下两侧，所述喷液管道(6)上沿其轴向设置有多个喷嘴，相邻所述喷液管道(6)上的喷嘴交错设置。
3.根据权利要求1所述的电池用膜渣分离系统，其特征在于，所述分离盒(30)内还设置有第一挡板(36)和第二挡板(37)，所述第一挡板(36)位于第二挡板(37)靠近进液管(311)的一侧，所述第一挡板(36)上和第二挡板(37)上均设置有滤孔，第一挡板(36)上的滤孔孔径大于第二挡板(37)上的滤孔。
4.根据权利要求3所述的电池用膜渣分离系统，其特征在于，所述第一挡板(36)、第二挡板(37)与分离盒(30)可拆卸连接。
5.根据权利要求1所述的电池用膜渣分离系统，其特征在于，所述去膜副槽(2)内设置有恒温加热器，所述恒温加热器对去膜副槽(2)内的碱性药液加热并对其进行保温。
6.根据权利要求5所述的电池用膜渣分离系统，其特征在于，所述去膜副槽(2)内的碱性药液的温度为50°。
7.根据权利要求3所述的电池用膜渣分离系统，其特征在于，所述分离盒(30)上设置有开口，所述分离盒(30)上铰接有用于遮蔽开口的密封盖板(32)。
8.根据权利要求3所述的电池用膜渣分离系统，其特征在于，所述分离盒(30)的顶部设置有回液管(312)，所述回液管(312)与去膜主槽(1)连通。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311517449.0A CN117225072B (zh) | 2023-11-15 | 2023-11-15 | 一种电池用膜渣分离系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311517449.0A CN117225072B (zh) | 2023-11-15 | 2023-11-15 | 一种电池用膜渣分离系统 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN117225072A CN117225072A (zh) | 2023-12-15 |
| CN117225072B true CN117225072B (zh) | 2024-03-12 |
Family
ID=89086544
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202311517449.0A Active CN117225072B (zh) | 2023-11-15 | 2023-11-15 | 一种电池用膜渣分离系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN117225072B (zh) |
Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001077066A (ja) * | 1999-09-07 | 2001-03-23 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法及び製造装置 |
| CN203574945U (zh) * | 2013-12-01 | 2014-04-30 | 孟建华 | 电路板退膜装置 |
| CN111346410A (zh) * | 2020-03-30 | 2020-06-30 | 广州兴森快捷电路科技有限公司 | 过滤清扫装置 |
| CN213643252U (zh) * | 2020-07-09 | 2021-07-09 | 东莞市固鸿精密科技有限公司 | 脱膜液储蓄槽及联动脱膜设备 |
| CN214348178U (zh) * | 2020-12-16 | 2021-10-08 | 库特勒自动化系统(苏州)有限公司 | 筛网振动式过滤机构 |
| CN113905519A (zh) * | 2021-09-14 | 2022-01-07 | 深圳市博致远电子有限公司 | 一种线路板退膜药水循环使用方法及循环系统 |
| CN216092641U (zh) * | 2021-11-11 | 2022-03-22 | 天元建设集团有限公司 | 一种混凝土余料绿色处理装置 |
| CN217247366U (zh) * | 2021-12-30 | 2022-08-23 | 艾华久禹(无锡)智能科技有限公司 | 一种电池片有机膜在线去膜渣系统 |
| CN115056061A (zh) * | 2022-08-17 | 2022-09-16 | 宿迁科姆达半导体科技有限公司 | 一种半导体晶圆研磨设备 |
| CN115090591A (zh) * | 2022-06-22 | 2022-09-23 | 江苏科沛达半导体科技有限公司 | 一种自循环式环保型半导体晶片清洗装置 |
| CN217677044U (zh) * | 2022-04-01 | 2022-10-28 | 宁波芯丰精密科技有限公司 | 一种废水处理系统及晶圆背面减薄装置 |
-
2023
- 2023-11-15 CN CN202311517449.0A patent/CN117225072B/zh active Active
Patent Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001077066A (ja) * | 1999-09-07 | 2001-03-23 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法及び製造装置 |
| CN203574945U (zh) * | 2013-12-01 | 2014-04-30 | 孟建华 | 电路板退膜装置 |
| CN111346410A (zh) * | 2020-03-30 | 2020-06-30 | 广州兴森快捷电路科技有限公司 | 过滤清扫装置 |
| CN213643252U (zh) * | 2020-07-09 | 2021-07-09 | 东莞市固鸿精密科技有限公司 | 脱膜液储蓄槽及联动脱膜设备 |
| CN214348178U (zh) * | 2020-12-16 | 2021-10-08 | 库特勒自动化系统(苏州)有限公司 | 筛网振动式过滤机构 |
| CN113905519A (zh) * | 2021-09-14 | 2022-01-07 | 深圳市博致远电子有限公司 | 一种线路板退膜药水循环使用方法及循环系统 |
| CN216092641U (zh) * | 2021-11-11 | 2022-03-22 | 天元建设集团有限公司 | 一种混凝土余料绿色处理装置 |
| CN217247366U (zh) * | 2021-12-30 | 2022-08-23 | 艾华久禹(无锡)智能科技有限公司 | 一种电池片有机膜在线去膜渣系统 |
| CN217677044U (zh) * | 2022-04-01 | 2022-10-28 | 宁波芯丰精密科技有限公司 | 一种废水处理系统及晶圆背面减薄装置 |
| CN115090591A (zh) * | 2022-06-22 | 2022-09-23 | 江苏科沛达半导体科技有限公司 | 一种自循环式环保型半导体晶片清洗装置 |
| CN115056061A (zh) * | 2022-08-17 | 2022-09-16 | 宿迁科姆达半导体科技有限公司 | 一种半导体晶圆研磨设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN117225072A (zh) | 2023-12-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108145522A (zh) | 一种机床切屑液处理装置及其处理方法 | |
| CN114849314A (zh) | 一种可在清洗时实现不中断过滤的连续式过滤方法 | |
| CN209109700U (zh) | 一种废旧锂电池金属回收装置 | |
| CN117225072B (zh) | 一种电池用膜渣分离系统 | |
| CN213160056U (zh) | 一种环保用垃圾焚烧尾气处理装置 | |
| CN217939347U (zh) | 一种可在清洗时实现不中断过滤的连续式过滤装置 | |
| CN211936213U (zh) | 一种旋风静电烟尘净化设备 | |
| CN210131505U (zh) | 一种粉末涂料制作用粉尘收集装置 | |
| CN211563937U (zh) | 一种用于氢油储油罐的清洗装置 | |
| CN210278759U (zh) | 一种工业废气处理用喷淋式反应塔 | |
| CN209531631U (zh) | 一种罐体清洗装置 | |
| CN109095716B (zh) | 一种含丝胶蛋白的生产废水处理系统 | |
| CN208162205U (zh) | 油管清洗装置 | |
| CN219419055U (zh) | 一种电池片去膜装置 | |
| CN221309831U (zh) | 一种nmp洗液纯化预处理装置 | |
| CN218011593U (zh) | 分子筛生产过程中母液过滤回收装置 | |
| CN219023581U (zh) | 一种退锡废液的滤液再生装置 | |
| CN218307134U (zh) | 一种用于硅生产的废气处理结构 | |
| CN213708441U (zh) | 一种冷却罐的贵金属收集系统 | |
| CN213408094U (zh) | 一种蒽醌尾气洗涤装置 | |
| CN212818604U (zh) | 一种冲版水循环处理装置 | |
| CN211246077U (zh) | 一种含氯硅烷废气的处理装置 | |
| CN212944386U (zh) | 一种smt贴片加工生产线用的清洗装置 | |
| CN218188441U (zh) | 一种危废活性炭工业废水连续处理装置 | |
| CN218025489U (zh) | 一种废水处理用低温蒸发装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |