CN117214686A - 继电器测试装置及测试方法 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种继电器测试装置，该继电器测试装置包括：驱动电路、测试电路、采样电路以及处理模块。其中，驱动电路被配置为根据第一控制信号输出驱动电压至所述待测继电器，以驱动所述待测继电器进行导通或关断的动作；测试电路被配置为根据第二控制信号向待测继电器施加测试信号；采样电路与待测继电器相连接，被配置为采集待测继电器的测试反馈信号；处理模块与测试电路和所述采样电路连接，被配置为根据测试信号及测试反馈信号进行处理以得到测试结果。该继电器测试装置测试精准，兼容性好，同时驱动电路、测试电路、采样电路以及处理模块之间简单连接即可工作，结构简单，实现成本极低。

Description

继电器测试装置及测试方法

技术领域

本申请涉及继电器测试领域，尤其是涉及一种继电器测试系统及测试方法。

背景技术

继电器是一种应用广泛的基础电控制器件，在各种各样的电气设备、电力系统中发挥着重要作用。在晶圆测试中使用的测试机器内部存在很多精密继电器，用于控制测试芯片的测试回路，一旦继电器出现故障或失效，将会影响测试准确性。

继电器测试的专业设备成本高，使用不够方便；自制设备无法完全检出故障继电器，且使用较为局限。且大部分对晶圆测试机器内部继电器进行检测的方法因受现场电源布线的影响，无法利用晶圆测试机器内部自带的测试系统，使得检修工作量大，效率低。

发明内容

基于此，本申请实施例申请了一种继电器测试装置及其测试方法。

根据一些实施例，本申请提供了一种继电器测试装置，包括：

驱动电路，与待测继电器相连接；所述驱动电路根据第一控制信号输出驱动电压至所述待测继电器，以驱动所述待测继电器进行导通或关断的动作；

测试电路，与所述待测继电器相连接；所述测试电路根据第二控制信号向所述待测继电器施加测试信号；

采样电路，与所述待测继电器相连接，用于采集所述待测继电器的测试反馈信号；

处理模块，与所述测试电路和所述采样电路连接；所述处理模块根据所述测试信号及所述测试反馈信号进行处理以得到测试结果。

在本申请实施例中，继电器测试装置包括驱动电路、测试电路、采样电路以及处理模块；其中，驱动电路与待测继电器相连接并为待测继电器提供驱动电压，以使待测继电器导通或关断；测试电路与待测继电器相连接并根据第二控制信号向待测继电器施加测试信号；采样电路与待测继电器相连接并采集待测继电器的测试反馈信号；处理模块与测试电路和采样电路连接并根据测试信号及测试反馈信号进行处理以得到测试结果，从而实现对待测继电器的测试，结构简单清晰，易于实现。采样电路采集到测试反馈信号后，将测试反馈信号送往处理模块，处理模块能够根据测试反馈信号自动进行处理并得出测试结果，整个测试过程快捷且方便。本申请中由驱动电路输出的驱动电压以及由测试电路发出的测试信号分别由第一控制信号和第二控制信号进行控制，其输出值可调，使检测范围更广，效果更好，同时可调的驱动电压和测试信号输出值使继电器测试装置可以兼容各种参数继电器的测试。

根据一些实施例，所述继电器测试装置还包括测试板，所述待测继电器设置于所述测试板，所述待测继电器通过所述测试板与所述驱动电路、所述测试电路以及所述采样电路连接。

在上述实施例提供的继电器测试装置中，可以通过测试板实现待测继电器与驱动电路、测试电路以及采样电路之间的连接，极大降低了测试所需成本。

根据一些实施例，所述继电器测试装置应用于晶圆测试系统；所述晶圆测试系统分别向所述驱动电路及所述测试电路提供所述第一控制信号及所述第二控制信号。

在上述实施例提供的继电器测试装置中，第一控制信号和第二控制信号均由晶圆测试系统提供，因此可以兼容各种晶圆测试系统的功率系统，可推广性强。

根据一些实施例，所述驱动电路、所述测试电路、所述采样电路以及所述处理模块集成于所述晶圆测试系统内。

根据一些实施例，所述测试信号包括测试电流；所述测试反馈信号包括所述待测继电器两端的电压；所述测试结果至少包括所述待测继电器的电阻值。

根据一些实施例，所述采样电路根据第三控制信号确定采集时间，以于所述采集时间采集所述待测继电器的测试反馈信号。

根据一些实施例，所述继电器测试装置应用于晶圆测试系统；所述晶圆测试系统向所述采样电路提供所述第三控制信号。

另一方面，本申请还提供了一种继电器测试方法，包括：

开始测试，驱动电路获取第一控制信号，并根据所述第一控制信号输出驱动电压至待测继电器，以驱动所述待测继电器进行工作；

测试电路获取第二控制信号，并根据所述第二控制信号向所述待测继电器施加测试电流；

采样电路采集所述待测继电器的测试反馈信号；

处理模块根据所述测试电流及所述测试反馈信号进行处理。

根据一些实施例，所述采样电路采集所述待测继电器的测试反馈信号，包括：

所述采样电路获取第三控制信号，并根据所述第三控制信号确定采集时间；

所述采样电路于所述采集时间采集所述待测继电器的测试反馈信号。

根据一些实施例，一种晶圆测试系统，包括继电器以及上述实施例中任一项所述的继电器测试装置。

本申请实施例提供的晶圆测试系统包括前述一些实施例中的继电器测试装置。前述继电器测试装置所能实现的技术效果，该晶圆测试系统也均能实现，此处不再详述。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或传统技术中的技术方案，下面将对实施例或传统技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为一实施例中提供的一种继电器测试装置的结构示意图；

图2为一实施例中提供的一种继电器测试装置的电路结构示意图；

图3为一实施例中提供的一种继电器测试方法流程示意图；

图4为一实施例中提供的一种继电器测试方法中步骤S200的流程示意图。

附图标记说明：

1、电流源；2、电压表；3、线圈；4、电压源；5、触点；6、待测继电器；7、测试板；8、处理模块；9、采样电路；10、驱动电路；11、测试电路；12、测试线。

具体实施方式

为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的实施例。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使本申请的公开内容更加透彻全面。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请。

应当明白，当元件或层被称为“位于...”、“与...相邻”或“连接到”其它元件或层时，其可以直接地在其它元件或层上、与之相邻或连接到其它元件或层，或者可以存在居间的元件或层。相反，当元件被称为“直接在...上”、“与...直接相邻”、“直接连接到”其它元件或层时，则不存在居间的元件或层。应当明白，尽管可使用术语第一、 第二、第三等描述各种元件、部件、区、层，这些元件、部件、区、层不应当被这些术语限制。这些术语仅仅用来区分一个元件、部件、区、层与另一个元件、部件、区、层。因此，在不脱离本申请教导之下，下面讨论的第一元件、部件、区、层可表示为第二元件、部件、区、层。

空间关系术语例如“在...下”、“在...下面”、“下面的”、“在...之下”、“在...之上”、“上面的”等，在这里可以用于描述图中所示的一个元件或特征与其它元件或特征的关系。应当明白，除了图中所示的取向以外，空间关系术语还包括使用和操作中的器件的不同取向。例如，如果附图中的器件翻转，描述为“在其它元件下面”或“在其之下”或“在其下”元件或特征将取向为在其它元件或特征“上”。因此，示例性术语“在...下面”和“在...下”可包括上和下两个取向。此外，器件也可以包括另外地取向(譬如，旋转90度或其它取向)，并且在此使用的空间描述语相应地被解释。

在此使用时，单数形式的“一”、“一个”和“所述/该”也可以包括复数形式，除非上下文清楚指出另外的方式。还应当理解的是，术语“包括/包含”或“具有”等指定所陈述的特征、整体、步骤、操作、组件、部分或它们的组合的存在，但是不排除存在或添加一个或更多个其他特征、整体、步骤、操作、组件、部分或它们的组合的可能性。同时，在本说明书中，术语“和/或”包括相关所列项目的任何及所有组合。

这里参考作为本申请的理想实施例(和中间结构)的示意图的横截面图来描述本申请的实施例，这样可以预期由于例如制造技术和/或容差导致的所示形状的变化。因此，本申请的实施例不应当局限于在此所示的区的特定形状，而是包括由于例如制造技术导致的形状偏差。例如，显示为矩形的封闭图形在实际生产中由于工艺制造方便，有时不会使用严格的矩形结构，有可能变为其他封闭图形，例如，封闭的棱形或其他形状。因此，图中显示的封闭图形实质上是示意性的，它们的形状并不表示封闭图形的实际形状，且并不限定本申请的范围。

继电器测试的专业设备成本高，使用不够方便；自制设备无法完全检出故障继电器，且使用较为局限。且大部分对晶圆测试机器内部继电器进行检测的方法因受现场电源布线的影响，无法利用晶圆测试机器内部自带的测试系统，使得检修工作量大，效率低。

鉴于上述现有技术中的不足之处，本申请提供一种继电器测试装置及其测试方法，可以有效实现成本低，操作方便以及效果好的继电器测试。其详细内容将在后续实施例中得以阐述。

一方面，本申请根据一些实施例，提供一种继电器测试装置。

请参阅图1以及图2，在一些实施例中，所述继电器测试装置具体可以包括：驱动电路10、测试电路11、采样电路9及处理模块8。

其中，驱动电路10与待测继电器6相连接，并被配置为根据第一控制信号输出驱动电压至待测继电器6，以驱动待测继电器6进行导通或关断的动作；测试电路11与待测继电器6相连接，并被配置为根据第二控制信号向待测继电器6施加测试信号；采样电路9与待测继电器6相连接，并被配置为采集待测继电器6的测试反馈信号；处理模块8与测试电路和采样电路9连接，可以根据测试信号及测试反馈信号进行处理以得到测试结果。

在上述实施例提供的继电器测试装置中，继电器测试装置包括驱动电路10、测试电路11、采样电路9以及处理模块8；其中，驱动电路10与待测继电器6相连接并为待测继电器6提供驱动电压，以使待测继电器6导通或关断；测试电路11与待测继电器6相连接并根据第二控制信号向待测继电器6施加测试信号；采样电路9与待测继电器6相连接并采集待测继电器6的测试反馈信号；处理模块8与测试电路11和采样电路9连接并根据测试信号及测试反馈信号进行处理以得到测试结果，从而实现对待测继电器6的测试，结构简单清晰，易于实现。采样电路9采集到测试反馈信号后，将测试反馈信号送往处理模块8，处理模块8能够根据测试反馈信号自动进行处理并得出测试结果，整个测试过程快捷且方便。在上述实施例提供的继电器测试装置中，由驱动电路10输出的驱动电压以及由测试电路11发出的测试信号分别由第一控制信号和第二控制信号进行控制，其输出值可调，使检测范围更广，效果更好，同时可调的驱动电压和测试信号输出值使继电器测试装置可以兼容各种参数继电器的测试。可以理解，采用上述实施例提供的继电器测试装置对待测继电器6进行测试的过程为自动化过程，因此采用上述实施例提供的继电器测试装置不仅有利于降低人为操作可能带来的错误，还有利于使测试更加方便可靠。

可以理解，在一些实施例中，待测继电器6内部包括线圈3和触点5，驱动电路10通过测试线12与待测继电器6中的线圈3的两端相连，当驱动电路10接收到第一控制信号时，驱动电路10开始或停止向线圈3输出驱动电压，以使待测继电器6中的触点5接通或是关断。测试电路11通过测试线12与待测继电器6触点5的两端相连，根据第二控制信号向待测继电器6的触点5两端施加测试信号，采样电路9通过测试线12与触点5两端相连，采集和测量待测继电器6测试期间的测试反馈信号，处理模块8获取测试反馈信号后进行计算从而评估待测继电器6的工作状态。

示例性地，如图2所示，驱动电路10可以包括但不仅限于电压源4；测试电路11可以包括但不仅限于电流源1，同时测试信号可以包括但不仅限于电流；采样电路9可以包括但不仅限于电压表2，同时测试反馈信号可以包括但不仅限于电压。电压源4通过接头和测试线12连接于待测继电器6的线圈3两端，电压源4受第一控制信号控制向线圈3两端加电压，继电器线圈3两端电压达到一定值后会产生磁场，磁场作用于继电器触点5，使触点5导通；如果电压源4不施加电压，则继电器触点5关断。电流源1通过接头和测试线12连接于触点5两端，电流源1根据第二控制信号向触点5两端输出电流，该电流在继电器两端产生电压，电压表2通过接头和测试线12与触点5两端相连，测试出电压值。处理模块8根据电压表2测试出的电压值，或是通过电压值计算出待测继电器6触点5两端的电阻值，进一步通过待测继电器6触点5两端的电阻值评估待测继电器6触点5的接通或是关断状态。

请继续参阅图1以及图2，在一些实施例中，继电器测试装置还包括测试板7，待测继电器6设置于测试板7，待测继电器6通过测试板7与驱动电路10、测试电路11以及采样电路9连接。

在上述实施例提供的继电器测试装置中，测试板7用作连接装置；也即，可以通过测试板7实现待测继电器6与驱动电路10、测试电路11以及采样电路9之间的连接，极大降低了测试所需成本。

本申请对于测试板7的形式并不做具体限定。作为示例，测试板7可以使用万能板制作而成。万能板是一种可按实际测试需求装插元器件及连线的印制电路板，万能板的使用门槛低，成本低廉；因此，采用万能板制成的测试板7使用方便且可以灵活拓展。

示例性地，在万能板上焊接继电器插座或测试钩，引出测试线12连接卡扣配合型连接器（Bayonet Nut Connector，简称BNC接头）。测试时，BNC接头分别与驱动电路10、测试电路11和采样电路9连接，继电器安装于测试板7的继电器插座或测试板7通过测试钩与待测继电器6连接。

请参阅图1，在一些实施例中，继电器测试装置应用于晶圆测试系统；晶圆测试系统分别向驱动电路10及测试电路11提供第一控制信号及第二控制信号。

在上述实施例提供的继电器测试装置中，第一控制信号和第二控制信号均由晶圆测试系统提供，因此可以兼容各种晶圆测试系统的功率系统，可推广性强。

作为示例，可以通过在晶圆测试系统中进行相关程序编写，向驱动电路10及测试电路11提供第一控制信号及第二控制信号以实现对驱动电压和测试电流输出的预先设定。如此，可以通过晶圆测试系统对第一控制信号和第二控制信号进行调控，第一控制信号和第二控制信号经过数模转换后即可控制电源驱动管，从而控制驱动电压和测试信号的输出数值。驱动电压和测试信号的可调性使本申请装置可以兼容各种参数继电器的测试，可推广性强。

请参阅图1，在一些实施例中，驱动电路10、测试电路11、采样电路9以及处理模块8集成于晶圆测试系统内。

在上述实施例中提供的继电器测试装置中，驱动电路10、测试电路11以及采样电路9均为巧妙借用晶圆测试系统中的相关组件，处理模块8也由晶圆测试系统中的固有处理器完成，无需额外增加部件，装置简易同时测试成本近乎为零。

示例性地，如图2所示，测试板7可以使用万能板制作而成，在万能板上焊接待测继电器6的插口或引出测试钩，然后在万能板上设计好电路布线，引出接线以及接头，接头连接晶圆测试系统。接头与晶圆测试系统相连，借用晶圆测试系统内部的电压源4，电压源4与外部测试板7组合形成了驱动电路10；借用晶圆测试系统内部的电流源1，电流源1与外部测试板7组合形成了测试电路11；借用晶圆测试系统内部的电压表2，电压表2与外部测试板7组合形成采集电路。由于晶圆测试系统本身就属于测试系统，所以其内部有与测试电路11和采样电路9相连接的处理器，且处理器本身就可以通过采集来自采样电路9的测试反馈数据进行计算，通过借用晶圆测试系统的处理器，组成本申请的处理模块8，实现对测试反馈信号的处理。本申请的继电器测试装置通过借用晶圆测试系统的组件加上测试板7，实现超低成本而又结果可靠的测试效果。

作为示例，测试板7可以为自制的测试板。如此，有利于进一步降低制作成本。

请参阅图1，在一些实施例中，测试信号包括测试电流；测试反馈信号包括待测继电器6两端的电压；测试结果至少包括待测继电器6的电阻值和/或电压值。

示例性地，如图2所示，电压源4输出电压至继电器线圈3两端，电流源1输出测试电流至继电器两端，电压表2采集继电器触点5两端的电压，处理器经过处理或计算得到待测继电器6的电阻值和/或电压值。

请参阅图1，在一些实施例中，采样电路9根据第三控制信号确定采集时间，以于采集时间采集所述待测继电器6的测试反馈信号。

请参阅图1，在一些实施例中，继电器测试装置应用于晶圆测试系统；晶圆测试系统向采样电路9提供第三控制信号。

在上述实施例中提供的继电器测试装置中，采样电路9的采集时间通过晶圆控制系统的第三控制信号确定。可以通过在晶圆测试系统中进行相关程序的编写，向采样电路9提供第三控制信号以实现对采集时刻的预先设定。如此，可以通过晶圆测试系统对第三控制信号的调控，从而控制采集电路9的工作时刻，实现精确的时间点采集。对待测继电器6进行某一时刻的继电器测试反馈信息采集，可以实现这一时刻的待测继电器6工作状态评估。这使继电器的故障检出率高，检测可靠，效果好。

示例性地，如图2所示，采样电路9包括但不仅限于电压表2。在晶圆控制系统中进行相关编程，预先设定第三控制信号的发出，同时晶圆测试系统内部会进行计时，到达设定的时刻晶圆测试系统会发出第三控制信号，第三控制信号经过数模转换后控制电压表2对晶圆测试系统内部的继电器电压进行电压测量，得出待测继电器6触点两端的电压值。

另一方面，本申请还根据一些实施例，提供一种继电器测试方法。该继电器测试方法可以应用于前述一些实施例中提供的继电器测试装置。

请参阅图3，在一些实施例中，所述继电器测试方法具体可以包括如下的步骤：

S100：驱动电路获取第一控制信号，并根据第一控制信号输出驱动电压至待测继电器，以驱动待测继电器进行工作。

S200：测试电路获取第二控制信号，并根据第二控制信号向待测继电器施加测试电流。

S300：采样电路采集待测继电器的测试反馈信号。

S400：处理模块根据测试电流及测试反馈信号进行处理，根据处理结果评估待测继电器的工作状态。

在上述实施例提供的继电器测试方法中，驱动电路为待测继电器提供驱动电压，以使待测继电器导通或关断；测试电路根据第二控制信号向待测继电器施加测试信号；采样电路采集待测继电器的测试反馈信号；处理模块根据测试信号及测试反馈信号进行处理以得到测试结果，从而实现对待测继电器的测试，流程简单且易于实现。采样电路采集到测试反馈信号后，将测试反馈信号送往处理模块，处理模块能够根据测试反馈信号自动进行处理并得出测试结果，整个测试过程快捷且方便。在上述实施例提供的继电器测试方法中，由驱动电路输出的驱动电压以及由测试电路发出的测试信号分别由第一控制信号和第二控制信号进行控制，其输出值可调，使检测范围更广，效果更好，同时可调的驱动电压和测试信号输出值使继电器测试装置可以兼容各种参数继电器的测试。

在一些实施例中，请参阅图4，步骤S300中所述采集电路采集待测继电器的测试反馈信号具体可以包括如下步骤：

S301：采样电路获取第三控制信号，并根据第三控制信号确定采集时间。

S302：采样电路于采集时间采集待测继电器的测试反馈信号。

在上述实施例提供的继电器测试方法中，采集电路收到第三控制信号后，在这一时刻对继电器进行测量，采集这一时刻的测试反馈信号，从而实现继电器在某一时刻的工作状态评估，这可以提高继电器的故障检出率，使检测的可靠性更高，效果更好。

为了更清楚地说明上述一些实施例中的制备方法，以下请结合图1至图4理解本申请的一些实施例。

在步骤S100中，如图1所示，驱动电路10获取第一控制信号，并根据第一控制信号输出驱动电压至待测继电器6，以驱动待测继电器6进行工作。

在上述实施例提供的继电器测试方法中，驱动电压的输出受第一控制信号控制，可以根据第一测试信号进行驱动电压的输出值的可调设置，驱动电压输出值可调使本申请的测试方法可以满足多种不同指标继电器的测试，提高了本申请的适用范围。

在步骤S200中，如图1所示，测试电路11获取第二控制信号，并根据第二控制信号向待测继电器6施加测试电流。

在上述实施例提供的继电器测试方法中，测试电流的输出受第二控制信号控制，可以根据第二控制信号进行测试电流输出值的可调设置，测试电流值可调一方面使本申请可以满足更多不同指标的继电器的测试，另一方面也拓宽了本申请的测试范围。

在步骤S300中，如图1所示，采样电路9采集待测继电器6的测试反馈信号。

在步骤S400中，如图1所示，处理模块8根据测试电流及测试反馈信号进行处理，根据处理结果评估待测继电器6的工作状态。

作为示例，处理器根据测试电流以及采集到的电压进行计算得到待测继电器6触点5两端的电阻。当待测继电器6接通时，若待测继电器6触点5两端的电阻值小于预设电阻阈值，和/或，将电压值与预设电压阈值进行比较，若待测继电器6触点5两端的电压值等于预设电压阈值，则认为待测继电器6导通；同时，当所述待测继电器6关断时，则将待测继电器6触点5两端的电阻值与预设电阻阈值进行比较，若被测继电器触点5两端的电阻值大于预设电阻阈值，和/或，将电压值与预设电压阈值进行比较，若待测继电器6触点5两端的电压值大于预设电压阈值，则认为待测继电器6关断。此时，接通待测继电器6和关断待测继电器6两部分均实验通过，即待测继电器6工作正常，否则，待测继电器6故障。

在步骤S300中，请参阅图1，采样电路9采集待测继电器6的测试反馈信号。

在一些实施例中，所述采样电路9采集待测继电器6的测试反馈信号，包括：采样电路9获取第三控制信号，并根据第三控制信号确定采集时间。作为示例，步骤S300具体可以表现为如下步骤S301~S302。

在步骤S301中，如图1所示，采样电路9获取第三控制信号，并根据第三控制信号确定采集时间。

在上述实施例提供的继电器测试方法中，采样电路9受第三控制信号控制，可以根据第三控制信号来自由设定反馈数据采集时间。这可以实现精确的时间点采集，以评估继电器在某一时刻的工作状态，提高继电器的故障检出率，使检测更加可靠。

示例性地，在晶圆控制系统中进行编程设置，预先设定好电压表2的电压采集时间点，在时间点到来时，向电压表2所在的采样电路9发送第三控制信号，电压表2根据第三控制信号进行测量，得到该时间点的待测继电器6电压信息。

在步骤S302中，如图1所示，采样电路9于采集时间采集待测继电器6的测试反馈信号。

需要注意的是，本申请实施例中的继电器测试装置均可用于实施对应的继电器测试方法，故而方法实施例与装置实施例之间的技术特征，在不产生冲突的前提下可以相互替换及补充，以使得本领域技术人员能够获悉本申请的技术内容。

再一方面，本申请还根据一些实施例，提供一种晶圆测试系统。

请参阅图1，在一些实施例中，晶圆测试系统包括继电器以及如上述实施例中任一项所述的继电器测试装置，所述继电器测试装置用于测试继电器。可以理解，前述继电器测试装置所能实现的技术效果，该晶圆测试系统也均能实现，此处不再详述。

在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”、“理想实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特征包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性描述不一定指的是相同的实施例或示例。

上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种继电器测试装置，其特征在于，包括：

驱动电路，与待测继电器相连接；所述驱动电路被配置为根据第一控制信号输出驱动电压至所述待测继电器，以驱动所述待测继电器进行导通或关断的动作；

测试电路，与所述待测继电器相连接；所述测试电路被配置为根据第二控制信号向所述待测继电器施加测试信号；

采样电路，与所述待测继电器相连接，被配置为采集所述待测继电器的测试反馈信号；

处理模块，与所述测试电路和所述采样电路连接；所述处理模块根据所述测试信号及所述测试反馈信号进行处理以得到测试结果。

2.根据权利要求1所述的继电器测试装置，其特征在于，所述继电器测试装置还包括测试板，所述待测继电器设置于所述测试板，所述待测继电器通过所述测试板与所述驱动电路、所述测试电路以及所述采样电路连接。

3.根据权利要求1所述的继电器测试装置，其特征在于，所述继电器测试装置应用于晶圆测试系统；所述晶圆测试系统分别向所述驱动电路及所述测试电路提供所述第一控制信号及所述第二控制信号。

4.根据权利要求3所述的继电器测试装置，其特征在于，所述驱动电路、所述测试电路、所述采样电路以及所述处理模块集成于所述晶圆测试系统内。

5.根据权利要求1所述的继电器测试装置，其特征在于，所述测试信号包括测试电流；所述测试反馈信号包括所述待测继电器两端的电压；所述测试结果至少包括所述待测继电器的电阻值和/或电压值。

6.根据权利要求1所述的继电器测试装置，其特征在于，所述采样电路根据第三控制信号确定采集时间，以于所述采集时间采集所述待测继电器的测试反馈信号。

7.根据权利要求6所述的继电器测试装置，其特征在于，所述继电器测试装置应用于晶圆测试系统；所述晶圆测试系统向所述采样电路提供所述第三控制信号。

8.一种继电器测试方法，其特征在于，包括：

驱动电路获取第一控制信号，并根据所述第一控制信号输出驱动电压至待测继电器，以驱动所述待测继电器进行工作；

测试电路获取第二控制信号，并根据所述第二控制信号向所述待测继电器施加测试电流；

采样电路采集所述待测继电器的测试反馈信号；

处理模块根据所述测试电流及所述测试反馈信号进行处理，根据处理结果评估待测继电器的工作状态（通过比较进行处理）。

9.根据权利要求8所述的继电器测试方法，其特征在于，所述采样电路采集所述待测继电器的测试反馈信号，包括：

所述采样电路获取第三控制信号，并根据所述第三控制信号确定采集时间；

所述采样电路于所述采集时间采集所述待测继电器的测试反馈信号。

10.一种晶圆测试系统，其特征在于，包括继电器；以及，

如权利要求1至7中任一项所述的继电器测试装置，所述继电器测试装置用于测试所述继电器。