CN117192324A - 探针检测台 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种探针检测台，所述探针检测台包括探针室、底部圆台以及探针圆台，所述探针室具有探针腔；所述底部圆台设置于所述探针腔的底部，所述底部圆台具有第一流道；所述探针圆台间隔设置于所述底部圆台背离所述探针腔的底部的一侧且连接所述底部圆台，所述探针圆台用于承载待检测器件，所述探针圆台具有第二流道，所述第二流道与所述第一流道连通，所述第一流道与所述第二流道用于流通冷媒，以对所述探针圆台进行降温。所述探针检测台对冷媒具有较高的利用率。

Description

探针检测台

技术领域

本申请涉及新能源技术领域，具体涉及一种探针检测台，其对冷媒具有较高的利用率。

背景技术

高低温真空探针检测台是一种用于信息科学与系统科学领域的工艺试验仪器，可用于不同环境下、不同温度条件下的半导体器件的电学表征和测量。为适应不同的检测条件，常见的为探针检测台提供低温的方式包括开循环式及闭循环式，开循环式即需要从外界不断向探针检测台内部加入冷媒，通过消耗冷媒达到制冷的作用，闭循环式即在探针检测台内部对冷媒进行压缩或使冷媒膨胀，使冷媒在探针检测台内部不断循环而达到制冷的作用。其中，采用开循环式对探针检测台进行降温的方式的测试温度可低至77K，因此，如何有效利用冷媒，提高对探针检测台的冷却效率是亟待解决的问题。

发明内容

鉴于此，本申请提供一种探针检测台，所述探针检测台对冷媒具有较高的利用率。

本申请提拱了一种探针检测台，所述探针检测台包括：探针室、底部圆台以及探针圆台，所述探针室具有探针腔；所述底部圆台设置于所述探针腔的底部，所述底部圆台具有第一流道；所述探针圆台间隔设置于所述底部圆台背离所述探针腔的底部的一侧且连接所述底部圆台，所述探针圆台用于承载待检测器件，所述探针圆台具有第二流道，所述第二流道与所述第一流道连通，所述第一流道与所述第二流道用于流通冷媒，以对所述探针圆台进行降温。

进一步地，所述探针检测台还包括多个支撑柱，所述多个支撑柱间隔设置于所述底部圆台与所述探针圆台之间，且每个所述支撑柱分别连接所述底部圆台与所述探针圆台，所述多个支撑柱中的至少部分具有第三流道，所述第三流道的一端连通所述第一流道，另一端连通所述第二流道。

进一步地，所述底部圆台包括依次层叠设置的第一安装件、第一加热件、底盘及第一冷却件，所述第一冷却件相较于所述第一安装件更远离所述探针圆台，所述第一安装件连接所述底盘，以使所述第一安装件、所述第一加热件、所述第一冷却件及所述底盘组装为一体，所述第一冷却件卡设于所述底盘背离所述第一安装件的一侧，所述第一冷却件具有所述第一流道。

进一步地，所述探针圆台包括依次层叠设置的样品台、第二冷却件、第二加热件及第二安装件，所述样品台相较于所述第二安装件更远离所述底部圆台，所述样品台用于承载待检测器件；所述第二冷却件具有所述第二流道，所述第二加热件用于对所述样品台进行加热，所述第二安装件连接所述第二冷却件，用于固定所述第二加热件。

进一步地，所述第二流道包括依次连通的冷媒进口、流通部及冷媒出口；所述流通部包括多个流通子部及多个转折子部，所述流通子部及所述转折子部依次交替连通，所述多个流通子部沿第一方向延伸，且沿第二方向依次间隔排布，所述冷媒出口连通所述第三流道，其中，所述第一方向与所述第二方向相交。

进一步地，所述探针圆台还包括温度传感器，所述温度传感器嵌设于所述第二冷却件，用于检测所述样品台的温度。

进一步地，所述探针检测台还包括冷媒管道，所述冷媒管道包括进液管及出液管，所述出液管套设于所述进液管的外周，所述进液管具有第四流道，所述第四流道连通所述第二流道，所述进液管与所述出液管围合成第五流道，所述第五流道连通所述第一流道。

进一步地，所述第四流道的横截面积为S1，所述第五流道的横截面积为S2，则满足关系式：0.65≤S1/S2≤1。

进一步地，所述探针检测台还包括第一管道连接件、第二管道连接件、第三管道连接件及第四管道连接件，所述第一管道连接件的一端连接所述第四流道，第二管道连接件的一端连接第二流道，所述第一管道连接件背离所述进液管的一端与所述第二管道连接件背离所述探针圆台的一端可拆卸连接；所述第三管道连接件的一端连接所述第一流道，第四管道连接件的一端连接第五流道，所述第三管道连接件背离所述底部圆台的一端与所述第四管道连接件背离所述出液管的一端可拆卸连接。

进一步地，所述探针检测台还包括：抽真空系统、冷媒罐以及控制装置，所述抽真空系统连通所述探针室，以调节所述探针腔的真空度；所述冷媒罐用于存储冷媒，所述冷媒罐连通所述第二流道，用于提供冷媒，以对所述探针腔进行冷却；所述控制装置连通所述冷媒罐，以控制将所述冷媒罐中的冷媒输送至所述第二流道的流速。

在本申请提供的探针检测台中，所述底部圆台具有第一流道，所述探针圆台具有第二流道，且所述第一流道与所述第二流道相互连通，当所述探针检测台应用于检测待检测器件在低温条件下的性能时，通过冷媒在所述第一流道与所述第二流道的流通，可对所述底部圆台及所述探针圆台进行散热，以降低所述底部圆台及所述探针圆台的温度，继而使所述探针台达到检测待检测器件所需要的温度。在本申请中，所述底部圆台具有第一流道，所述探针圆台具有第二流道，相较于只在探针圆台设置流道的方案，本申请的方案增长了所述冷媒在所述探针腔内流通的时间和路径，有利于提高对冷媒的利用率，使得所述冷媒既能带走所述底部圆台的热量，又能带走所述探针圆台的热量，有利于提高对所述探针腔进行降温的速度，提高对探针检测台的冷却效率。此外，当冷媒在所述底部圆台的第一流道流通且底部圆台的热量降低时，所述底部圆台可为所述探针腔提供保温功能，使得所述探针腔内的温度维持在较低的温度，继而有利于实现对所述探针圆台进行降温，使探针圆台的温度快速达到待检测器件的检测温度，以提高检测效率。进一步地，当所述冷媒自所述第二流道流向所述第一流道，温度较低的冷媒先在所述第二流道流通且对所述探针圆台进行降温，冷媒在吸收所述探针圆台的热量后温度增加，但仍可继续吸收热量，所述冷媒自所述第二流道流向所述第一流道，所述冷媒进一步吸收所述底部圆台的热量，既有利于合理配置冷媒，使冷媒充分吸收所述探针圆台的热量，以对所述探针圆台进行快速降温并使所述底部圆台保持在较低的温度以对所述探针腔进行保温，还能提高冷媒的利用率，避免冷媒直接从所述第二流道排出所述探针腔外而造成浪费，提高了所述冷媒的利用率以及冷媒对所述探针圆台进行降温的效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请一实施例的探针检测台的结构示意图；

图2为本申请一实施例的探针室的结构示意图；

图3为本申请一实施例的探针室的俯视结构示意图；

图4为图3中A-A方向的剖面结构示意图；

图5为本申请一实施例的探针检测台的俯视结构示意图；

图6为图5中B-B方向的剖面结构示意图；

图7为本申请一实施例的底部圆台的爆炸结构示意图；

图8为图4中C处的放大图；

图9为本申请一实施例的探针圆台的爆炸结构示意图；

图10为图4中D处的放大图；

图11为本申请一实施例的第二冷却件的结构示意图；

图12为本申请一实施例的第二冷却件的侧视结构示意图；

图13为图12中E-E方向的剖面结构示意图；

图14为本申请一实施例的冷媒管道、第一管道连接件及第四管道连接件的连接关系示意图；

图15为本申请又一实施例的冷媒管道、第一管道连接件及第四管道连接件的连接关系示意图；

图16为图15中F-F方向的剖面结构示意图；

图17为本申请一实施例的探针检测台的部分结构示意图。

附图标记说明：

100-探针检测台，110-探针室，111-探针腔，120-底部圆台，121-第一流道，122-第一安装件，123-第一加热件，124-第一冷却件，125-底盘，130-探针圆台，131-第二流道，1311-冷媒进口，1312-流通部，1313-冷媒出口，1314-流通子部，1315-转折子部，132-样品台，133-第二冷却件，1331-凹槽，134-第二加热件，135-第二安装件，136-温度传感器，140-支撑柱，141-第三流道，150-冷媒管道，151-进液管，1511-第四流道，152-出液管，1521-第五流道，160-第一管道连接件，170-第二管道连接件，180-第三管道连接件，190-第四管道连接件，210-抽真空系统，220-冷媒罐，230-控制装置，240-加热装置，250-探针组件，251-探针底座，252-探针臂，253-探针。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。

在本文中提及“实施例”或“实施方式”意味着，结合实施例或实施方式描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。

高低温真空探针检测台是一种用于信息科学与系统科学领域的工艺试验仪器，可用于不同环境下、不同温度条件下的半导体器件的电学表征和测量。常见的为探针检测台提供低温的方式包括开循环式及闭循环式，开循环式即需要从外界不断向探针检测台内部加入冷媒，通过消耗冷媒达到制冷的作用，闭循环式即在探针检测台内部对冷媒进行压缩或使冷媒膨胀，使冷媒在探针检测台内部不断循环而达到制冷的作用。开循环式探针检测台的测试温度可低至77K，闭循环式探针检测台的测试温度可低至4.2K，因此，如何有效利用冷媒，提高对探针检测台的冷却效率是亟待解决的问题。

请参见图1至图4，本申请提供了一种探针检测台100，所述探针检测台100包括：探针室110、底部圆台120以及探针圆台130，所述探针室110具有探针腔111；所述底部圆台120设置于所述探针腔111的底部，所述底部圆台120具有第一流道121；所述探针圆台130间隔设置于所述底部圆台120背离所述探针腔111的底部的一侧且连接所述底部圆台120，所述探针圆台130用于承载待检测器件（图未示），所述探针圆台130具有第二流道131，所述第二流道131与所述第一流道121连通，所述第一流道121与所述第二流道131用于流通冷媒（图未示），以对所述探针圆台130进行降温。

可以理解地，在所述探针腔111内，所述底部圆台120及所述探针圆台130间隔设置。

可以理解地，所述第二流道131与所述第一流道121流通，所述第一流道121与所述第二流道131用于流通冷媒，可以为，在一些实施例中，所述冷媒自所述第一流道121流通至所述第二流道131；在另一些实施例中，所述冷媒自所述第二流道131流通至所述第一流道121，当所述冷媒自所述第二流道131流通至所述第一流道121时，所述冷媒可充分降低所述探针圆台130的温度，以为待检测器件提供合适的检测温度。

可选地，所述冷媒可以为液氮、液氦等中的至少一种。

可选地，所述待检测器件可以为但不限于为晶圆、发光二极管、功率器件、电路板、液晶面板及太阳能电池片等。

可选地，所述探针检测台100可用于对晶圆进行射频测试，对发光二级管进行高温环境测试，对功率器件进行低电流测试，对电路板进行高压、大电流测试，对太阳能电池片进行辐射环境测试，还可用于对材料表面进行电阻率测试等。以上为本申请提供的探针检测台100的应用场景的举例，不应理解为对本申请实施例提供的探针检测台100的应用场景的限定。

可以理解地，在本实施例中，所述冷媒在所述第一流道121与所述第二流道131之间流通，以对所述探针圆台130进行降温，具体地，所述冷媒为液态冷媒，所述冷媒在第一流道121与第二流道131之间流通时发生汽化，吸收所述底部圆台120和所述探针圆台130的热量，以达到降低所述底部圆台120及所述探针圆台130的温度的目的。

在本申请实施例提供的探针检测台100中，所述底部圆台120具有第一流道121，所述探针圆台130具有第二流道131，且所述第一流道121与所述第二流道131相互连通，当所述探针检测台100应用于检测待检测器件在低温条件下的性能时，通过冷媒在所述第一流道121与所述第二流道131的流通，可对所述底部圆台120及所述探针圆台130进行散热，以降低所述底部圆台120及所述探针圆台130的温度，继而使所述探针台达到检测待检测器件所需要的温度。在本实施例中，所述底部圆台120具有第一流道121，所述探针圆台130具有第二流道131，相较于只在探针圆台130设置流道的方案，本申请的方案增长了所述冷媒在所述探针腔111内流通的时间和路径，有利于提高对冷媒的利用率，使得所述冷媒既能带走所述底部圆台120的热量，又能带走所述探针圆台130的热量，有利于提高对所述探针腔111进行降温的速度，提高对探针检测台100的冷却效率。此外，当冷媒在所述底部圆台120的第一流道121流通且底部圆台120的热量降低时，所述底部圆台120可为所述探针腔111提供保温功能，使得所述探针腔111内的温度维持在较低的温度，继而有利于实现对所述探针圆台130进行降温，使探针圆台130的温度快速达到待检测器件的检测温度，以提高检测效率。进一步地，当所述冷媒自所述第二流道131流向所述第一流道121，温度较低的冷媒先在所述第二流道131流通且对所述探针圆台130进行降温，冷媒在吸收所述探针圆台130的热量后温度增加，但仍可继续吸收热量，所述冷媒自所述第二流道131流向所述第一流道121，所述冷媒进一步吸收所述底部圆台120的热量，既有利于合理配置冷媒，使冷媒充分吸收所述探针圆台130的热量，以对所述探针圆台130进行快速降温并使所述底部圆台120保持在较低的温度以对所述探针腔111进行保温，还能提高冷媒的利用率，避免冷媒直接从所述第二流道131排出所述探针腔111外而造成浪费，提高了所述冷媒的利用率以及冷媒对所述探针圆台130进行降温的效率。

可以理解地，所述探针检测台100为所述探针腔111提供低温的方式为开循环式，即需要从外界不断向探针检测台100内部加入冷媒，通过消耗冷媒达到制冷的作用。

可选地，在一些实施例中，所述探针检测台100对所述待检测器件的检测温度T的范围为：77K≤T≤450K。具体地，所述探针检测台100对所述待检测器件进行检测的温度T的值可以为但不限于为77K、80K、85K、88K、100K、120K、140K、150K、180K、200K、220K、250K、280K、300K、320K、345K、360K、380K、400K、410K、430K、440K及450K等。

在本实施例中，所述探针检测台100对所述待检测器件的检测温度T满足范围77K≤T≤450K，所述探针检测台100对所述待检测器件的检测温度范围较广，有利于满足对不同的待检测器件的检测条件，提高所述探针检测台100的适用性。

请参见图5及图6，可选地，所述探针检测台100还包括探针组件250，所述探针组件250包括依次相连的探针底座251、探针臂252及探针253，部分所述探针臂252及所述探针253设置于所述探针腔111内，以实现对所述待检测器件进行检测。

在一些实施例中，所述探针检测台100还包括多个支撑柱140，所述多个支撑柱140间隔设置于所述底部圆台120与所述探针圆台130之间，且每个所述支撑柱140分别连接所述底部圆台120与所述探针圆台130，所述多个支撑柱140中的至少部分具有第三流道141，所述第三流道141的一端连通所述第一流道121，另一端连通所述第二流道131。

可以理解地，每个所述支撑柱140分别连接所述底部圆台120及所述探针圆台130，可以为，每个所述支撑柱140的相背两端分别连接所述底部圆台120及所述探针圆台130，以将所述探针圆台130设置于所述底部圆台120的上方。

在本申请术语中，“多个”指大于或等于两个，可以为两个、三个、四个或五个等。

可以理解地，所述多个支撑柱140中的至少部分具有第三流道141，可以为，所述多个支撑柱140中的至少一个或多个具有所述第三流道141。

可以理解地，所述第三流道141的一端连通所述第一流道121，另一端连通所述第二流道131，可以为，所述第三流道141的一端连通所述第一流道121，所述第三流道141背离所述第一流道121的一端连通所述第二流道131。

在本申请实施例中，所述多个支撑柱140间隔设置于所述底部圆台120与所述探针圆台130之间，以对所述探针圆台130进行支撑，使得所述探针圆台130间隔设置于所述底部圆台120背离所述探针腔111的一侧。此外，所述多个支撑柱140的至少部分具有第三流道141，且所述第三流道141的相背两端分别连通所述第一流道121及所述第二流道131，所述支撑柱140还具有连通所述第一流道121及所述第二流道131的作用，提高了对所述支撑柱140的利用率。当所述冷媒进入所述真空探针腔111时，所述冷媒可依次流通所述第二流道131、所述第三流道141以及所述第一流道121。所述冷媒在所述第二流道131内流通，以带走所述探针圆台130的热量，降低所述探针圆台130的温度。冷媒在吸收完所述探针圆台130的热量后温度增加，但仍可继续吸收热量，所述冷媒自所述第二流道131流向所述第三流道141，并流通至所述第一流道121，以吸收所述底部圆台120的热量，带走所述底部圆台120的热量，使得所述底部圆台120保持在较低的温度，以对所述探针腔111进行保温，还能提高冷媒的利用率，避免冷媒直接从所述第二流道131排出所述探针腔111外而造成浪费，提高了所述冷媒的利用率以及冷媒对所述探针圆台130进行降温的效率。

请参见图7及图8，在一些实施例中，所述底部圆台120包括依次层叠设置的第一安装件122、第一加热件123、底盘125及第一冷却件124，所述第一冷却件124相较于所述第一安装件122更远离所述探针圆台130，所述第一安装件122连接所述底盘125，以使所述第一安装件122、所述第一加热件123及所述底盘125组装为一体，所述第一冷却件124卡设于所述底盘125背离所述第一安装件122的一侧，所述第一冷却件124具有所述第一流道121。

在本实施例中，通过所述第一安装件122及所述底盘125的连接，以将所述第一安装件122、所述第一加热件123及所述底盘125组装为一体，使得所述第一加热件123稳固设置于所述底盘125，有利于所述底部圆台120与所述探针圆台130的连接。其中，所述第一冷却件124卡设于所述底盘125背离所述第一安装件122的一侧，所述第一冷却件124具有所述第一流道121，以供所述冷媒在所述第一冷却件124内流通并带走所述底部圆台120的热量，继而降低所述底部圆台120的温度，所述底部圆台120可为所述探针腔111提供保温功能，使得所述探针腔111内的温度维持在较低的温度，继而有利于实现对所述探针圆台130进行降温，使探针台的温度快速达到待检测器件的检测温度，以提高检测效率。此外，所述底部圆台120还包括第一加热件123，所述第一加热件123用于为所述底部圆台120进行加热，所述第一加热件123可用于对所述底部圆台120进行快速回温。当所述待检测器件的检测温度较高时，所述第一加热件123可对所述底部圆台120进行加热并使所述底部圆台120具有较高的温度，使得有利于为所述探针腔111提供较高的温度，便于快速提高所述探针圆台130的温度。所述底部圆台120包括第一加热件123及第一冷却件124，使得所述底部圆台120可根据所述待检测器件的检测温度进行加热或冷却，以使所述底部圆台120处于较高的温度或较低的温度，当所述底部圆台120设置于所述探针腔111时，所述底部圆台120能为所述探针腔111提供保温功能，使得所述探针腔111内的温度迅速提升或降低，以达到待检测器件的检测温度，有利于提高所述探针检测台100调节温度的效率，继而提高所述探针检测台100的检测效率。

请参见图9及图10，在一些实施例中，所述探针圆台130包括依次层叠设置的样品台132、第二冷却件133、第二加热件134及第二安装件135，所述样品台132相较于所述第二安装件135更远离所述底部圆台120，所述样品台132用于承载待检测器件；所述第二冷却件133具有所述第二流道131，所述第二加热件134用于对所述样品台132进行加热，所述第二安装件135连接所述第二冷却件133，用于固定所述第二加热件134。

在本实施例中，所述样品台132、所述第二冷却件133、所述第二加热件134及所述第二安装件135依次设置，当所述样品台132用于承载待检测器件时，所述第二冷却件133具有所述第二流道131且所述冷媒在所述第二流道131内流通，所述冷媒可吸收所述第二冷却件133的热量并带走所述第二冷却件133的热量，以对所述样品台132进行降温，使得所述样品台132可快速达到所述待检测器件的检测温度，以提高所述探针检测台100对所述待检测器件进行检测的检测效率。此外，所述探针圆台130还包括第二加热件134，所述第二加热件134可对所述样品台132进行加热，使得当所述待检测器件的检测温度较高时，所述样品台132可快速升温至所述待检测器件的检测温度，还可用于在对所述待检测器件检测完毕后进行快速回温。再者，所述第二安装件135连接所述第二冷却件133，以用于对所述第二加热件134进行固定，提高了所述第二加热件134组装于所述探针圆台130的结构稳定性。本申请实施例提供的探针圆台130包括所述第二加热件134及所述第二冷却件133，使得所述探针圆台130可根据所述待检测器件的检测温度对所述样品台132进行加热或冷却，以使所述样品台132达到所述待检测器件的检测温度，扩大了所述探针检测台100应用于检测待检测器件的适用范围。

请参见图11，可选地，在一些实施例中，所述第二冷却件133具有位于面向所述第二安装件135的表面的凹槽1331，所述第二加热件134位于所述凹槽1331内，所述第二安装件135通过螺丝、螺柱等紧固件固定于所述第二冷却件133。

可以理解地，所述第二冷却件133具有位于面向所述第二安装件135的表面的凹槽1331，可以为，所述第二冷却件133具有凹槽1331，所述凹槽1331凹陷于所述第二冷却件133面向所述第二安装件135的表面。

在本实施例中，所述第二冷却件133具有所述凹槽1331，所述凹槽1331具有收容空间，可用于收容所述第二加热件134，有利于节省所述探针圆台130在高度方向上的占用空间，继而有利于减小所述探针圆台130占用所述探针腔111的空间，提高所述探针腔111的利用率。所述第二安装件135与所述第二冷却件133固定连接，所述第二安装件135用于封闭所述凹槽1331，以将所述第二加热件134固定于所述凹槽1331内，提高了所述第二加热件134固定于所述探针圆台130的结构稳定性。

请参见图12及图13，在一些实施例中，所述第二流道131包括依次连通的冷媒进口1311、流通部1312及冷媒出口1313；所述流通部1312包括多个流通子部1314及多个转折子部1315，所述流通子部1314及所述转折子部1315依次交替连通，所述多个流通子部1314沿第一方向（如图13中X方向所示）延伸，且沿第二方向（如图13中Y方向所示）依次间隔排布，所述冷媒出口1313连通所述第三流道141，其中，所述第一方向与所述第二方向相交。

可选地，在一些实施例中，所述第一方向与所述第二方向垂直。

可选地，所述转折子部1315沿所述第二方向延伸。

在本实施例中，所述第二流道131包括依次连通的冷媒进口1311、流通部1312及冷媒出口1313，所述冷媒自所述冷媒进口1311进入所述流通部1312，并自所述冷媒出口1313流出所述流通部1312，以实现对所述第二冷却件133进行冷却并降温。此外，所述冷媒出口1313流通所述第三流道141，以将所述冷媒自所述第二流道131通过所述第三流道141输送至所述第一流道121，并对所述底部圆台120进行冷却散热。所述流通部1312包括多个流通子部1314及多个转折部，且所述流通子部1314及所述转折子部1315依次交替连通，则所述流通子部1314及所述转折子部1315呈现“几”字型的结构排列，当所述冷媒在交替连通的所述流通子部1314及所述转折子部1315之间流通时，所述冷媒在流通的过程中需要不断调整流动的方向，有利于增大所述冷媒在所述流通部1312流通时的阻力，延长所述冷媒在所述流通部1312内流通的时间，且所述冷媒与所述第二冷却件133的接触面积足够大，继而有利于所述冷媒吸收所述第二冷却件133的热量，最终实现对所述样品台132进行充分吸热，以降低所述第二冷却件133及所述样品台132的温度，提高所述冷媒对所述样品台132进行降温的效率。此外，所述多个流通子部1314沿第一方向延伸，且沿所述第二方向依次间隔排布，所述多个流通子部1314及所述转折部均匀分布于所述第二冷却件133内，使得当所述冷媒在所述多个流通子部1314及所述转折部中流通时，能均匀地对所述第二冷却件133进行散热，从而使所述第二冷却件133及所述样品台132的各个部位的温度较为均匀，避免因所述样品台132各个部位的温度分布不均匀而影响对待检测器件进行检测的精准性。

可选地，在一些实施例中，沿所述第二方向上，相邻的两个所述流通子部1314之间的间距L满足范围：10mm≤L≤20mm。具体地，沿所述第二方向上，相邻的两个所述流通子部1314之间的间距L的值可以为但不限于为10mm、10.5mm、11mm、11.5mm、12mm、12.5mm、13mm、13.5mm、14mm、14.5mm、15mm、15.5mm、16mm、16.5mm、17mm、17.5mm、18mm、18.5mm、19mm、19.5mm及20mm等。

在本实施例中，沿所述第二方向上，当相邻的两个所述流通子部1314之间的间距L满足范围：10mm≤L≤20mm时，相邻的两个所述流通子部1314之间的间距在合理的范围内，则沿所述第二方向上，所述流通子部1314的分布情况在合理的范围内，当冷媒自所述冷媒进口1311进入所述流通部1312时，所述冷媒在所述流通子部1314的停留时间较长，使得所述冷媒对所述第二冷却件133的热量及所述样品台132的热量进行充分吸收，提高了对所述第二冷却件133及所述样品台132进行散热的效率。此外，所述冷媒在所述流通子部1314与所述转折子部1315的交界处的阻力也在合理的范围内，既有利于所述冷媒对所述第二冷却件133及所述样品台132的热量进行充分吸收，又可避免因阻力过大而导致冷媒往相反的方向流动，保证了所述冷媒对所述样品台132进行冷却的效率。当相邻的两个所述流通子部1314之间的间距L的值大于20mm时，相邻的两个所述流通子部1314之间的间距过大，则沿所述第二方向上，所述流通子部1314的分布过于稀疏，所述流通子部1314的数量较少，使得当所述冷媒自所述冷媒进口1311进入所述流通部1312时，所述冷媒在所述流通子部1314流通的时间过短及路径过短，所述冷媒只对所述第二冷却件133的部分区域进行散热，所述第二冷却件133仍有大部分的区域的温度较高，降低了所述冷媒对所述第二冷却件133进行散热的效率，且使得所述冷媒对所述第二冷却件133的冷却不均匀，继而降低了所述对所述样品台132的冷媒效率，也导致了所述样品台132各个部位的温度分布不均匀而影响对待检测器件进行检测的精准性。当相邻的两个所述流通子部1314之间的间距L的值小于10mm时，相邻的两个所述流通子部1314之间的间距过小，则沿所述第二方向上，所述流通子部1314的分布过于密集，使得当所述冷媒自所述冷媒进口1311进入所述流通部1312时，所述冷媒在所述流通子部1314与所述转折子部1315的交界处的阻力过大，阻碍了所述冷媒在所述流通子部1314与所述转折子部1315之间传送的效率，所述冷媒可能因阻力过大而沿反方向流动，不利于所述冷媒对所述第二冷却件133及所述样品台132进行冷却散热，降低了所述冷媒对所述样品台132的冷却效率。

可选地，可通过冷压等方式在所述第二冷却件133压制所述冷媒进口1311、流通部1312及冷媒出口1313，通过冷压的方式的制备方法简单，便于节约所述第二冷却件133的加工成本。

在一些实施例中，所述探针圆台130还包括温度传感器136，所述温度传感器136嵌设于所述第二冷却件133，用于检测所述样品台132的温度。

在本实施例中，所述温度传感器136嵌设于所述第二冷却件133中，且所述第二冷却件133邻近所述样品台132设置，所述温度传感器136可对所述样品台132的温度进行检测，以检测所述样品台132的温度是否达到所述待检测器件的检测温度，有利于提高对所述待检测器件进行检测的准确性。

请参见图14至图16，在一些实施例中，所述探针检测台100还包括冷媒管道150，所述冷媒管道150包括进液管151及出液管152，所述出液管152套设于所述进液管151的外周，所述进液管151具有第四流道1511，所述第四流道1511连通所述第二流道131，所述进液管151与所述出液管152围合成第五流道1521，所述第五流道1521连通所述第一流道121。

在本实施例中，所述进液管151具有所述第四流道1511，且所述进液管151与所述出液管152围合成第五流道1521，则当向所述冷媒管道150输送冷媒时，所述冷媒自所述进液管151的所述第四流道1511流至所述第二冷却件133的第二流道131，以实现对所述第二冷却件133及所述样品台132进行散热，并自所述支撑柱140的第三流道141流通至所述第一冷却件124的第一流道121，以实现对所述第二冷却件133进行散热并对所述探针腔111进行保温，再自所述第一流道121回流至所述出液管152的第五流道1521，以流出所述探针检测台100。在这个过程中，所述冷媒的温度逐渐升高，且部分所述冷媒汽化为气体并沿着所述第二流道131、所述第一流道121、所述第五流道1521的方向流出所述探针检测台100，实现了对所述探针圆台130的冷却散热。进一步地，在本实施例中，所述出液管152套设于所述进液管151的外周，则当所述冷媒自所述第五流道1521流出所述探针检测台100时，大部分的冷媒已汽化为气体，部分冷媒的温度虽有升高，但仍低于室温，在所述第五流道1521内流通的冷媒可用于对所述进液管151进行保温，以使得自所述第四流道1511流入所述第二流道131的冷媒具有较低的温度，避免所述冷媒因室温的影响而提前汽化而造成浪费，提高了对所述冷媒的利用率，有利于所述冷媒充分吸收所述探针圆台130及所述底部圆台120的热量，降低所述探针圆台130及所述底部圆台120的温度，从而使所述底部圆台120为所述探针圆台130提供保温的作用，便于所述探针圆台130快速达到所述待检测器件的检测温度，以提高所述探针检测台100对所述待检测器件进行检测的效率。

在一些实施例中，所述第四流道1511的横截面积为S1，所述第五流道1521的横截面积为S2，则满足关系式：0.65≤S1/S2≤1。

可以理解地，所述第四流道1511的横截面积小于或等于所述第五流道1521的横截面积。

具体地，S1/S2的值可以为但不限于为0.65、0.68、0.69、0.7、0.72、0.74、0.76、0.78、0.8、0.82、0.85、0.88、0.89、0.9、0.92、0.94、0.96、0.98、0.99及1等。

在本实施例中，当所述第四流道1511的横截面积S1与所述第五流道1521的横截面积S2的比值满足关系式0.65≤S1/S2≤1时，所述第四流道1511的横截面积与所述第五流道1521的横截面积在合理的范围内。所述第四流道1511的横截面积在合理的范围内，使得自所述第四流道1511流入所述第二流道131的冷媒的量在合理的范围内，保证了向所述第二流道131输送充足的冷媒，以对所述探针圆台130及所述底部圆台120进行充分散热。此外，所述第五流道1521的横截面积在合理的范围内，当所述冷媒流经所述第二流道131及所述第一流道121时，液态的所述冷媒在充分吸收所述探针圆台130及所述底部圆台120的热量之后，大部分的冷媒已汽化为气体，在此过程中，气体的体积膨胀，汽化的冷媒仍能从所述第五流道1521舒畅地排出，且能对在所述第四流道1511流通的冷媒进行保温，也避免所述出液管152因压力过大而损坏，有利于充分利用所述第五流道1521且延长所述冷媒管道150的使用寿命。当所述第四流道1511的横截面积S1与所述第五流道1521的横截面积S2的比值小于0.65时，所述第四流道1511的横截面积过小或所述第五流道1521的横截面积过大。当所述第四流道1511的横截面积过小时，所述冷媒进入所述第二流道131的速度大大减小，使得降低了所述冷媒在所述第二流道131及所述第一流道121流通的量，继而降低了所述冷媒对所述探针圆台130及所述底部圆台120进行散热的效率；当所述第五流道1521的横截面积过大时，则所述进液管151及所述出液管152围合成的空间过大，一方面降低了在所述第五流道1521流通的冷媒对在所述第四流道1511流通的冷媒的保温效果，另一方面增加了所述出液管152的耗材，增加了所述冷媒管道150的耗材成本。当所述第四流道1511的横截面积S1与所述第五流道1521的横截面积S2的比值大于1时，所述第四流道1511的横截面积大于所述第五流道1521的横截面积。当所述冷媒流经所述第二流道131及所述第一流道121时，液态的所述冷媒在充分吸收所述探针圆台130及所述底部圆台120的热量之后，大部分的冷媒已汽化为气体，在此过程中，气体的体积膨胀，若所述第五流道1521的横截面积小于所述第四流道1511的横截面积，则不利于汽化的冷媒的排放，可能导致所述出液管152因压力过大而损坏，继而缩短了所述冷媒管道150的使用寿命。

请参见图15至图17，在一些实施例中，所述探针检测台100还包括第一管道连接件160、第二管道连接件170、第三管道连接件180及第四管道连接件190，所述第一管道连接件160的一端连接所述第四流道1511，第二管道连接件170的一端连接第二流道131，所述第一管道连接件160背离所述进液管151的一端与所述第二管道连接件170背离所述探针圆台130的一端可拆卸连接；所述第三管道连接件180的一端连接所述第一流道121，第四管道连接件190的一端连接第五流道1521，所述第三管道连接件180背离所述底部圆台120的一端与所述第四管道连接件190背离所述出液管152的一端可拆卸连接。

在本实施例中，所述第四流道1511、所述第一管道连接件160、所述第二管道连接件170，所述第二流道131、所述第三流道141、所述第一流道121、所述第三管道连接件180、所述第四管道连接件190及所述第五流道1521依次连通，当向所述探针腔111输入冷媒时，所述冷媒自所述第四流道1511、所述第一管道连接件160及所述第二管道连接件170流入所述第二流道131，以吸收所述探针圆台130的热量并对所述探针圆台130进行吸热，使得所述探针圆台130快速达到待检测器件的检测温度，以提高所述探针检测台100对所述待检测器件的检测效率。进一步地，冷媒自所述第二流道131、所述第三流道141进入所述第一流道121，以提高对所述冷媒的利用率，所述冷媒吸收所述底部圆台120的热量并对所述底部圆台120进行吸热，使得所述底部圆台120的温度降低，温度较低的所述底部圆台120能对所述探针腔111起到保温作用，便于所述探针圆台130快速达到所述待检测器件的检测温度，以提高所述探针检测台100对所述待检测器件进行检测的效率。再进一步地，所述冷媒在吸收所述探针圆台130及所述底部圆台120的热量之后，大部分的液态冷媒汽化为气体，少部分的液态冷媒及气体通过所述第三管道连接件180、所述第四管道连接件190及所述第五流道1521流出所述探针腔111。在本实施例中，所述第一管道连接件160背离所述进液管151的一端与所述第二管道连接件170背离所述探针圆台130的一端可拆卸连接，便于实现对所述第一管道连接件160及所述第二管道连接件170的安装和拆卸，以降低组装成本和维修成本。所述第三管道连接件180背离所述底部圆台120的一端与所述第四管道连接件190背离所述出液管152的一端可拆卸连接，便于实现对所述第三管道连接件180及所述第四管道连接件190的安装和拆卸，以降低组装成本和维修成本。

请参见图1，在一些实施例中，所述探针检测台100还包括：抽真空系统210、冷媒罐220以及控制装置230，所述抽真空系统210连通所述探针室110，以调节所述探针腔111的真空度；所述冷媒罐220用于存储冷媒，所述冷媒罐220连通所述第二流道131，用于提供冷媒，以对所述探针腔111进行冷却；所述控制装置230连通所述冷媒罐220，以控制将所述冷媒罐220中的冷媒输送至所述第二流道131的流速。

在本实施例中，所述探针检测台100包括抽真空系统210，当所述探针检测台100用于对待检测器件进行检测且所述待检测器件需要真空环境时，所述抽真空系统210可调节所述探针腔111的真空度，以使所述探针腔111达到真空环境，便于对所述待检测器件进行检测，提高对所述待检测器件进行检测的精准性。所述探针检测台100还包括冷媒罐220，所述冷媒罐220连通所述第二流道131并向所述第二流道131提供冷媒，具体地，所述冷媒罐220连通所述冷媒管道150的所述第四流道1511，并通过所述第一管道连接件160、所述第二管道连接件170将冷媒输送至所述第二流道131，以对所述探针圆台130进行冷却并降温。本申请实施例的控制装置230连通所述冷媒罐220，以控制将所述冷媒罐220中的冷媒输送至所述第二流道131的流速，使得当所述探针圆台130的温度达到所述待检测器件的检测温度时，可通过减小所述冷媒罐220中的冷媒输送至所述第二流道131的流速，以避免对所述冷媒造成浪费，提高对所述冷媒的利用率。当所述探针圆台130的温度远高于所述待检测器件的检测温度时，可通过增大所述冷媒罐220中的冷媒输送至所述第二流道131的流速，以使所述冷媒充分吸收所述探针圆台130及所述底部圆台120的热量，对所述探针圆台130及底部圆台120进行快速降温，使得所述探针圆台130的温度达到所述待检测器件的检测温度，以提高对所述待检测器件的检测效率。

可选地，所述探针检测台100还包括导通件（图未示），所述冷媒罐220与所述控制装置230通过所述导通件连通。

可选地，在一些实施例中，所述探针检测台100还包括加热装置240，所述加热装置240用于电连接所述第一加热件123及所述第二加热件134，以控制所述第一加热件123及所述第二加热件134进行加热或停止加热。

在本实施例中，所述加热装置240还用于电连接所述第一加热件123及所述第二加热件134，当所述探针检测台100用于检测待检测器件且所述待检测器件的温度较高时，所述加热装置240可控制所述第一加热件123及所述第二加热件134进行加热，以分别对所述底部圆台120及所述探针圆台130进行升温，所述底部圆台120可为所述探针腔111提供保温作用，有利于所述探针圆台130快速达到所述待检测器件的检测温度，以提高所述探针检测台100用于对待检测器件的检测效率。此外，当所述探针检测台100完成对所述待检测器件的检测时，所述加热装置240还可控制所述第一加热件123及所述第二加热件134进行加热，以使所述探针腔111迅速回温，便于后续对其它待检测器件的检测。再者，当所述探针圆台130的温度达到所述待检测器件的检测温度时，所述加热装置240还可控制所述第一加热件123及所述第二加热件134停止加热，以避免所述探针圆台130的温度过高而影响对所述待检测器件进行检测的精确性。

可选地，所述探针检测台100还包括线缆（图未示），所述加热装置240与所述第一加热件123通过线缆电连接，所述加热装置240与所述第二加热件134通过线缆电连接。

在本申请中提及“实施例”“实施方式”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现所述短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本申请所描述的实施例可以与其它实施例相结合。此外，还应该理解的是，本申请各实施例所描述的特征、结构或特性，在相互之间不存在矛盾的情况下，可以任意组合，形成又一未脱离本申请技术方案的精神和范围的实施例。

最后应说明的是，以上实施方式仅用以说明本申请的技术方案而非限制，尽管参照以上较佳实施方式对本申请进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本申请的技术方案进行修改或等同替换都不应脱离本申请技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种探针检测台，其特征在于，所述探针检测台包括：

探针室，所述探针室具有探针腔；

底部圆台，所述底部圆台设置于所述探针腔的底部，所述底部圆台具有第一流道；以及

探针圆台，所述探针圆台间隔设置于所述底部圆台背离所述探针腔的底部的一侧且连接所述底部圆台，所述探针圆台用于承载待检测器件，所述探针圆台具有第二流道，所述第二流道与所述第一流道连通，所述第一流道与所述第二流道用于流通冷媒，以对所述探针圆台进行降温。

2.根据权利要求1所述的探针检测台，其特征在于，所述探针检测台还包括多个支撑柱，所述多个支撑柱间隔设置于所述底部圆台与所述探针圆台之间，且每个所述支撑柱分别连接所述底部圆台与所述探针圆台，所述多个支撑柱中的至少部分具有第三流道，所述第三流道的一端连通所述第一流道，另一端连通所述第二流道。

3.根据权利要求1所述的探针检测台，其特征在于，所述底部圆台包括依次层叠设置的第一安装件、第一加热件、底盘及第一冷却件，所述第一冷却件相较于所述第一安装件更远离所述探针圆台，所述第一安装件连接所述底盘，以使所述第一安装件、所述第一加热件及所述底盘组装为一体，所述第一冷却件卡设于所述底盘背离所述第一安装件的一侧，所述第一冷却件具有所述第一流道。

4.根据权利要求2所述的探针检测台，其特征在于，所述探针圆台包括依次层叠设置的样品台、第二冷却件、第二加热件及第二安装件，所述样品台相较于所述第二安装件更远离所述底部圆台，所述样品台用于承载待检测器件；所述第二冷却件具有所述第二流道，所述第二加热件用于对所述样品台进行加热，所述第二安装件连接所述第二冷却件，用于固定所述第二加热件。

5.根据权利要求4所述的探针检测台，其特征在于，所述第二流道包括依次连通的冷媒进口、流通部及冷媒出口；所述流通部包括多个流通子部及多个转折子部，所述流通子部及所述转折子部依次交替连通，所述多个流通子部沿第一方向延伸，且沿第二方向依次间隔排布，所述冷媒出口连通所述第三流道，其中，所述第一方向与所述第二方向相交。

6.根据权利要求5所述的探针检测台，其特征在于，所述探针圆台还包括温度传感器，所述温度传感器嵌设于所述第二冷却件，用于检测所述样品台的温度。

7.根据权利要求2所述的探针检测台，其特征在于，所述探针检测台还包括冷媒管道，所述冷媒管道包括进液管及出液管，所述出液管套设于所述进液管的外周，所述进液管具有第四流道，所述第四流道连通所述第二流道，所述进液管与所述出液管围合成第五流道，所述第五流道连通所述第一流道。

8.根据权利要求7所述的探针检测台，其特征在于，所述第四流道的横截面积为S1，所述第五流道的横截面积为S2，则满足关系式：0.65≤S1/S2≤1。

9.根据权利要求8所述的探针检测台，其特征在于，所述探针检测台还包括第一管道连接件、第二管道连接件、第三管道连接件及第四管道连接件，所述第一管道连接件的一端连接所述第四流道，第二管道连接件的一端连接第二流道，所述第一管道连接件背离所述进液管的一端与所述第二管道连接件背离所述探针圆台的一端可拆卸连接；所述第三管道连接件的一端连接所述第一流道，第四管道连接件的一端连接第五流道，所述第三管道连接件背离所述底部圆台的一端与所述第四管道连接件背离所述出液管的一端可拆卸连接。

10.根据权利要求1至9任一项所述的探针检测台，其特征在于，所述探针检测台还包括：

抽真空系统，所述抽真空系统连通所述探针室，以调节所述探针腔的真空度；以及

冷媒罐，所述冷媒罐用于存储冷媒，所述冷媒罐连通所述第二流道，用于提供冷媒，以对所述探针腔进行冷却；以及

控制装置，所述控制装置连通所述冷媒罐，以控制将所述冷媒罐中的冷媒输送至所述第二流道的流速。