CN117147576A - 一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测方法及装置 - Google Patents

一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测方法及装置 Download PDF

Info

Publication number
CN117147576A
CN117147576A CN202310991616.9A CN202310991616A CN117147576A CN 117147576 A CN117147576 A CN 117147576A CN 202310991616 A CN202310991616 A CN 202310991616A CN 117147576 A CN117147576 A CN 117147576A
Authority
CN
China
Prior art keywords
light
defect
smooth surface
differential
light source
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202310991616.9A
Other languages
English (en)
Inventor
刘文涛
周杨
杜文豪
杜凯
余正涛
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Chongqing Funa Technology Co ltd
Original Assignee
Chongqing Funa Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Chongqing Funa Technology Co ltd filed Critical Chongqing Funa Technology Co ltd
Priority to CN202310991616.9A priority Critical patent/CN117147576A/zh
Publication of CN117147576A publication Critical patent/CN117147576A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8887—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques

Abstract

本发明涉及疵病检测技术领域，公开了一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测方法及装置，将至少两种不同波长的入射光分时段以同一入射角、同种光照强度照射至被测表面分别得到对应的散射光，并通过各自的所述散射光进入光学成像系统中形成对应的图像，将得到的不同图像进行对应的差分算法处理后得到的差分图像，并将所述差分图像用疵病检测算法进行运算呈现光学特征，所呈现的光学特征即为所述被测表面上的疵病。本发明适用于光滑面、平面和曲面上微小疵病的快速检测。

Description

一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测方法及装置
技术领域
本发明涉及疵病检测技术领域，具体涉及一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测方法及装置。
背景技术
光滑表面，如光学镜片、光学平面、超光滑金属反射面等表面的微小疵病可以对该光学器件的功能产生负面影响，如用于大功率激光器件的光学镜面或增益介质，表面微小疵病将严重降低该器件的功率阈值，一定数量和大小的光学镜片表面的疵病也会造成整个系统成像质量的下降，因此，精密光学器件表面微小瑕疵的检测对于保证器件的质量至关重要。目前这类检测大部分还是依赖人工检测来完成，也有通过机器视觉和激光散射扫描等。
人工检测的优点是可以根据观察到的缺陷，根据经验，判断出各种不同的疵病并对疵病进行归类，但是，人工检测的缺点也很明显，主要有以下几个：
a.人眼观察无法做到定量，也无法将检测到的疵病以数字化的方式记录下来，以便后续追踪和分析；
b.人工检测因人而异，很难做到高一致性、高重复性，且由于经验和能力的差异，造成漏检和误判；
c.对于一些较大的器件，必须借助治具将被检测器件置于检测员面前，通过转动被测器件，调换观察角度来检测表面瑕疵，效率低，强度大；
d.随这人工成本的不断提高，人工检测的费用也将不断上升；
e.一个熟练的检测员除了需要好的视力外，还需经过较长时间的培训才能上岗，无法做到快速的产能扩产。
机器视觉由于其分辨率的限制及光学成像的特性，只适合于检测一些较大的缺陷，且缺陷在整个图像中有较大的对比度的情况,对于光学镜面等光滑表面上的微小瑕疵，机器视觉法并不适用。
激光散射扫描法是根据表面不规则对激光的强散射原理来检测光滑表面的微小瑕疵的，但由于激光扫描限制了对于曲面检测的应用，因此只适合于光滑平面上微小瑕疵的检测，且对于表面有其他非瑕疵图案的被测件，由于图案本身的散射，容易造成误判。
发明内容
本发明提供一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测方法及装置，基于多种颜色光照，并通过图像差分处理获取被测表面上的微小瑕疵的方法，适用于光滑面、平面和曲面上微小疵病的快速检测。
本发明通过下述技术方案实现：
一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测方法，包括：
将至少两种不同波长的入射光分时段以同一入射角、同种光照强度照射至被测表面分别得到对应的散射光，并通过各自的所述散射光进入光学成像系统中形成对应的图像，将得到的不同图像进行对应的差分算法处理后得到的差分图像，并将所述差分图像用疵病检测算法进行运算呈现光学特征，所呈现的光学特征即为所述被测表面上的疵病，将所述差分图像作为疵病检测算法的输入，根据疵病算法得到被测表面上的各疵病特征及其在被测表面上的分布坐标。
作为优化，所述入射角的范围与需要检测的疵病的几何尺度有关，对于几何尺度在十几微米以下的疵病，所述入射角为大于60°，但小于90°，任意两个波长的绝对值差不小于140nm。
对于光滑表上的微小疵病，入射角越大，由疵病散射产生的光强相比于光滑表面散射产生的光强更强。
作为优化，若所述被测表面上有疵病，则所述散射光包括通过光滑表面得到的均匀杂散光以及通过疵病区域呈现局域增强的散射光；若所述被测表面上无疵病，则所述散射光只包括均匀杂散光。
如果被测表面由疵病，则该疵病所产生的局域增强的散射光对于两种不同颜色的入射光源所产生的散射强度是不同的，波长越短的光所产生的散射越强烈，因此所呈现的疵病图像更明亮，通过将两中不同波长散射产生的同一个被测表面上的图像进行差分处理，可以凸显出疵病特征，进而将疵病检测出来。
本发明还公开了一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测装置，用以实施上述的一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测方法，包括：
两个不同波长的光源；
光源放置机构，用于放置两个所述光源，且所述光源通过所述光源放置机构发出的入射光与被测表面之间形成的入射角大于角度阈值；
光源控制电路，用于控制两个所述光源的开关和光照强度；
光学成像系统，用于当光源发出的入射光照射至被测表面后，接收在被测表面上产生的散射光并形成相应的图像，所述光学成像系统设置在散射光传播路径上；
图像处理系统，用于将两个所述光源形成的图像数字化处理后进行差分处理并分析出疵病特征，然后通过图像的形式呈现疵病特征。
作为优化，两个不同波长的光源分别为红色LED灯和蓝色LED灯，或由其他光源产生的由足够波长差的照明光，波长差至少140nm。
作为优化，所述光源放置机构为一个与所述光源可拆卸连接的环形灯罩，两个所述光源分别交替安装在所述环形灯罩上。
作为优化，所述光源放置机构包括两个分别放置两个光源的环形灯罩以及一个分光片，两个环形灯罩分别放置在所述分光片的两侧，其中一个所述环形灯罩的光源发出的光透过分光片照射在被测表面上，另一个所述环形灯罩的光源发出的光经过所述分光片的反射照射在被测表面上，且两个所述光源发出的光与所述被测表面的入射角和光照强度相同。
作为优化，所述光源放置机构设有两个，两个所述光源放置机构以正交方向设置在所述被测表面的斜上方。
作为优化，所述光学成像系统包括用于接收光线的CCD或CMOS相机，或其他可以用于以数字化形式记录光学图像的器件。
本发明与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：
本发明基于多种颜色光照，并通过图像差分处理获取被测表面上的微小瑕疵的方法，适用于光滑面、平面和曲面上微小疵病的快速检测。
本发明可以为多于两种不同颜色的照明光源，如三种，四种，根据多种不同波长的光对于相同表面疵病的散射强度不同，并通过多重差分方法，可以更准确地检测出微小疵病。
附图说明
为了更清楚地说明本发明示例性实施方式的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。在附图中：
图1为本发明所述的一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测装置的工作原理示意图；
图2为通过图1的装置发出的两种入射光对被测表面照射后的散射光进入光学成像系统后的示意图(a)、(b)以及差分图(c)；
图3为图1的一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测装置开启红光光源的示意图；
图4为图1的一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测装置开启蓝光光源的示意图；
图5为开启红光光源后光学成像系统中呈现的被测表面的散射光的示意图；
图6为开启蓝光光源后光学成像系统中呈现的被测表面的散射光的示意图；
图7为图5和图6进行差分处理后的图像示意图；
图8为光源放置机构的结构示意图的其中一种实施例；
图9为光源放置机构的结构示意图的另一种实施例。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本发明作进一步的详细说明，本发明的示意性实施方式及其说明仅用于解释本发明，并不作为对本发明的限定。
同样的表面疵病，如划痕、麻点等，对于不同颜色的光的散射特性是不同的，散射强度在瑞利散射的条件下，与波长的四次方成反比：
Is～λ-4
其中，Is表示散射强度，λ表示光的波长。
瑞利散射的一个条件是被散射的结构在线度上小于或接近参与散射的光的波长，因此这种散射光强与波长的关系适用于一些细小的表面缺陷，特别是当被测表面本身是光滑，而由光滑表面所产生的主要是反射，散射相对于反射是非常小的。因此，利用光的散射的这个特性，可以非常有效地检测光滑或者超光滑表面上的一些微小的瑕疵，这也是目前用人眼来检测光滑和超光滑表面疵病的主要依据。
因此在不同波长的光照下，如果两种波长的入射光强相同，则短波长的光产生更强的散射，从而使得由疵病散射进入光学成像系统的光强更强，所生成的疵病图像也更亮。由于一般情况下，疵病的线度很小，因此由散射产生的光强所形成的像的亮度也会很弱，特别是当整个被测表面都被照明，各种杂散光可能进入光学系统，形成比较亮的背景，但对于杂散光来说，其强度与波长之间没有小颗粒或小线度散射所具有的波长与散射强度的关系，因此不同波长所产生的杂散光所成的背景可以通过将两种不同波长光分别照明被测表面后相减而有效去除，而小颗粒或小线度的散射由于与波长的四次方成反比，因此相减后由短波长产生的像仍然清晰。
因此，本实施例1的一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测方法，包括：
将至少两种不同波长的入射光分时段以同一入射角、同种光照强度照射至被测表面分别得到对应的散射光，并通过各自的所述散射光进入光学成像系统中形成对应的图像，将得到的不同图像进行对应的差分算法处理后得到的差分图像，并将所述差分图像用疵病检测算法进行运算呈现光学特征，所呈现的光学特征即为所述被测表面上的疵病，将所述差分图像作为疵病检测算法的输入，根据疵病算法得到被测表面上的各疵病特征及其在被测表面上的分布坐标。
本实施例中，入射角与需要检测的疵病的几何尺度有关，对于几何尺度在十几微米以下的疵病，所述入射角的范围为(60°,90°)，不同所述入射光之间的波长差值的最小绝对值大于140nm。
若所述被测表面上有疵病，则所述散射光包括通过光滑表面得到的均匀分布的杂散光以及通过疵病区域呈现局域增强的散射光；若所述被测表面上无疵病，则所述散射光只包括均匀分布的杂散光。如果被测表面由疵病，则该疵病所产生的局域增强的散射光对于两种不同验收的入射光源所产生的散射强度是不同的，波长越短的光所产生的散射越强烈，因此所呈现的疵病图像更明亮，通过将两中不同波长散射产生的同一个被测表面上的图像进行差分处理，可以凸显出疵病特征，进而将疵病检测出来。
接下来，以两种不同的光源来检测被测表面的微小疵病为例。
S1、将第一入射光以入射角大于角度阈值的方向照射至被测表面上得到第一散射光；
S2、所述第一散射光进入光学成像系统中形成第一图像；
S3、将第二入射光以入射角大于角度阈值的方向照射至被测表面上得到第二散射光，其中，所述第二入射光的入射角、光照强度与所述第一入射光的入射角、光照强度相同，且所述第二入射光与第一入射光的波长的差值的绝对值足够大，如大于140nm；
S4、所述第二散射光进入光学成像系统中形成第二图像；
S5、将所述第二图像与第一图像进行差分处理后得到的第三图像用疵病检测算法进行运算，所呈现的光学特征即为所述被测表面上的疵病，具体的，将第三图像作为疵病检测算法的输入，根据疵病算法得到被测表面上的各疵病特征及其在被测表面上的分布坐标。
若所述被测表面上有疵病，则所述第一散射光包括通过光滑表面得到的均匀分布杂散光以及通过疵病区域呈现局域增强的散射光；若所述被测表面上无疵病，则所述第一散射光只包括杂散光；若所述被测表面上有疵病，则所述第二散射光均包括通过光滑表面得到的均匀分布的杂散光以及通过疵病区域呈现局域增强的散射光；若所述被测表面上无疵病，则所述第二散射光只包括均匀分布的杂散光。
这样，由于光滑表面微小疵病的面形会严重偏离光滑表面本身，且呈现不规则性，因此角度越大，越有可能正入射到疵病表面局部的不规则处，产生强的散射，同时以大角度入射到光滑表面上，产生的均匀散射根据朗伯(Lambertian)分布，随角度的余弦分布，因此角度越大，进入光学成像系统的均匀散射光就越少，有利于抑制均匀散射光。
接下来，以第一入射光为红光，第二入射光为蓝光进行举例，如图1所示，采用两种不同波长的光源(红光光源和蓝光光源)以大角度均匀照射到一个光滑的被测表面上，调整光强，使得两种光源的背景光强一致，开启红光光源，被测表面疵病散射的光进入光学成像系统，采集与红光照明对应的一幅被测面图像，如图2中的(b)，然后关闭红光光源，开启蓝光光源，记录与蓝光光源对应的一幅被测面图像，如图2中的(a)，然后对两张图像进行差分处理得到相减后的图，如图2中的(c)，即图2中(a)，(b)分别为蓝光和红光照明时由一个玻璃镜片形成的两幅图像，(c)是将两幅图像相减后的图。
由图可见，红光和蓝光得到的图像进行差分运算后，一些由杂散光组成的背景光被基本消除了，剩下的一些微小的灰尘、缺陷及边缘散射成的像被增强了，因此该方法可有效抑制背景光，检测光滑表面微小的瑕疵。
实施例2还公开了一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测装置，用以实施实施例1的一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测方法，包括：
至少两个不同波长的光源；
光源放置机构，用于放置至少两个所述光源，且所述光源通过所述光源放置机构发出的入射光与被测表面之间形成的入射角大于角度阈值；
光源控制电路，用于控制两个所述光源的开关和光照强度；
光学成像系统，用于当光源发出的入射光照射至被测表面后，接收在被测表面上产生的散射光并形成相应的图像，所述光学成像系统设置在散射光传播路径上，可以理解为CCD相机或CMOS相机，或其他可以用于以数字话形式记录光学图像的器件；
图像处理系统，与光学成像系统电连接，用于将两个所述光源形成的图像数字化处理后进行差分处理并分析出疵病特征，然后传输给光学成像系统通过图像的形式呈现疵病特征。
接下来的光源均以两种为例，当然，环形灯罩与光源是可拆卸的，因此，一个环形灯罩可以分时段安装多种不同的光源。
至少两个不同波长的光源发出的光的波长之间的差值的绝对值不小于140nm，例如，两个不同波长的光源可以分别为红光LED灯和蓝光LED灯，为了获得大角度有效照明，光源放置机构为一个与光源可拆卸连接的环形灯罩，可以将照明用的红光LED灯和蓝光LED灯的灯珠交替安装在一个环形罩上，光源控制电路分别控制红光LED和蓝光LED的光强和开关，形成等光强差分照明。
实施例3还公开了一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测装置，为了实现在检测过程中快速切换不同的光源，同时保证不同波长光源照明的入射角，平行度等保持一致，搭建了一种光源放置机构，如图8所示，与实施例2不同的是，所述光源放置机构包括两个分别放置两个光源的环形灯罩以及一个分光片，两个环形灯罩分别放置在所述分光片的两侧，其中一个所述环形灯罩的光源发出的光透过分光片照射在被测表面上，另一个所述环形灯罩的光源发出的光经过所述分光片的反射照射在被测表面上，且两个所述光源发出的光与所述被测表面的入射角和光照强度相同。
该多色光差分光滑表面微小疵病光学检测装置进行检测的过程如图3、4所示，红光光源发出的光透过分光片入射至被测表面，蓝光光源发出的光通过分光片反射照射到被测表面。
如图3所示，首先开启红光光源，红光光源发出的红光通过分光片的透射入射至被测表面的某一区域，在被测表面的疵病区域以及光滑区域形成的散射光进入到光学成像系统中进行成像，如图5所示；
然后关闭红光光源，开启蓝光光源，蓝光光源发出的蓝光通过分光片的反射入射至同一被测表面区域，在被测表面的疵病区域以及光滑区域形成的散射光进入到光学成像系统中进行成像，如图6所示，图6可见，蓝光照射下被测表面边缘及一些细小额划痕和麻点更加清晰；
将图5和图6数字化后进行差分运算，获取被测表面的差分图像，如图7所示，然后对差分图像进行分析，确定疵病特征。
由图7可见，经过差分处理后，图像中的一些背景被明显抑制了，而边缘、划痕和麻点等更清晰了，由此可见，差分处理更有利于检测光滑表面上的微小瑕疵。
对于细小的划痕了疵病，照明的方向(入射光的方向)很关键，当照明方向与划痕的走向成正交时，散射效应最强，因此对应的疵病更易于观察和被采集到，因此，实施例4的检测装置，如图9所示，光源放置机构设有两个，两个所述光源放置机构以正交方向设置在所述被测表面的斜上方，这样可同时从两个正交的方向照明被测物体表面(如果只有一个方向的照明，则有可能照明的方向与划痕的走向相同，这样所产生的散射会很小，此时，如果有另一组光的照明方向与第一组正交(垂直)，也就与划痕正交，因此就可产生很强的散射，两组正交放置的照明光源可以保证对不同走向的划痕都可产生很强的散射)。
以上所述的具体实施方式，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施方式而已，并不用于限定本发明的保护范围，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测方法，其特征在于，包括：
将至少两种不同波长的入射光分时段以同一入射角、同种光照强度照射至被测表面分别得到对应的散射光，并通过各自的所述散射光进入光学成像系统中形成对应的图像，将得到的不同图像进行对应的差分算法处理后得到的差分图像，并将所述差分图像用疵病检测算法进行运算呈现光学特征，所呈现的光学特征即为所述被测表面上的疵病。
2.根据权利要求1所述的一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测方法，其特征在于，所述入射角的范围为(60°,90°)。
3.根据权利要求1所述的一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测方法，其特征在于，不同所述入射光之间的波长差值的最小绝对值大于140nm。
4.根据权利要求1所述的一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测方法，其特征在于，若所述被测表面上有疵病，则所述散射光包括通过光滑表面得到的均匀分布的杂散光以及通过疵病区域呈现局域增强的散射光；若所述被测表面上无疵病，则所述散射光只包括均匀分布的杂散光。
5.一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测装置，用以实施权利要求1-4任一所述的一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测方法，其特征在于，包括：
至少两个不同波长的光源；
光源放置机构，用于放置至少两个所述光源，且所述光源通过所述光源放置机构发出的入射光与被测表面之间形成的入射角大于角度阈值；
光源控制电路，用于控制两个所述光源的开关和光照强度；
光学成像系统，用于当光源发出的入射光照射至被测表面后，接收在被测表面上产生的散射光并形成相应的图像，所述光学成像系统设置在散射光传播路径上；
图像处理系统，用于将两个所述光源形成的图像数字化处理后进行差分处理并分析出疵病特征，然后通过图像的形式呈现疵病特征。
6.根据权利要求5所述的一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测装置，其特征在于，至少两个不同波长的光源发出的光的波长之间的差值的绝对值不小于140nm。
7.根据权利要求5所述的一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测装置，其特征在于，所述光源放置机构为一个与所述光源可拆卸连接的环形灯罩，至少两个所述光源分别交替安装在所述环形灯罩上。
8.根据权利要求5所述的一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测装置，其特征在于，所述光源放置机构包括两个分别放置与所述光源可拆卸连接的环形灯罩以及一个分光片，两个环形灯罩分别放置在所述分光片的两侧，其中一个所述环形灯罩的光源发出的光透过分光片照射在被测表面上，另一个所述环形灯罩的光源发出的光经过所述分光片的反射照射在被测表面上，且两个所述光源发出的光与所述被测表面的入射角。
9.根据权利要求8所述的一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测装置，其特征在于，所述光源放置机构设有两个，两个所述光源放置机构以正交方向设置在所述被测表面的斜上方。
10.根据权利要求5所述的一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测装置，其特征在于，所述光学成像系统包括用于接收光线的CCD或者CMOS相机，或者接收散射光并形成实时图片的探测器。
CN202310991616.9A 2023-08-08 2023-08-08 一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测方法及装置 Pending CN117147576A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202310991616.9A CN117147576A (zh) 2023-08-08 2023-08-08 一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测方法及装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202310991616.9A CN117147576A (zh) 2023-08-08 2023-08-08 一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测方法及装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN117147576A true CN117147576A (zh) 2023-12-01

Family

ID=88909053

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202310991616.9A Pending CN117147576A (zh) 2023-08-08 2023-08-08 一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测方法及装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN117147576A (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3423688B2 (ja) 移動表面の自動的な検査のための方法及び装置
JP4625716B2 (ja) 欠陥検査装置及び欠陥検査方法
US7760350B2 (en) Glazing inspection
US20210088443A1 (en) Apparatus and method for extracting low intensity photonic signals
WO2007100615A3 (en) High-sensitivity surface detection system and method
JP4550610B2 (ja) レンズ検査装置
KR20190122160A (ko) 용액에 잠겨있는 안과용 렌즈의 광학 배율 및 두께 검사 시스템 및 방법
JPH08128959A (ja) 光学的検査方法および光学的検査装置
KR20150099956A (ko) 렌즈 검사 장치
CN112129764A (zh) 偏振光源、表面缺陷检测方法和装置
TW201514471A (zh) 透明介質上之裝飾的檢查系統與方法
KR20120031835A (ko) 결함 검사장치
JPH06294749A (ja) 板ガラスの欠点検査方法
JP2947513B1 (ja) パターン検査装置
JP2017166903A (ja) 欠陥検査装置及び欠陥検査方法
KR20140065347A (ko) 외관 검사 장치 및 외관 검사 방법
JPS63165738A (ja) 透明基板用欠陥検査装置
CN117147576A (zh) 一种多色光差分光滑表面微小疵病光学检测方法及装置
JP2821460B2 (ja) 透明基板の傷検査装置
JP2004257776A (ja) 光透過体検査装置
KR100389967B1 (ko) 자동화 결함 검사 장치
JP3078784B2 (ja) 欠陥検査装置
KR20160032576A (ko) 고속 카메라 및 적외선 광학계를 이용한 이미지 분석 시스템 및 방법
TWM457889U (zh) 面板瑕疵檢測之裝置
JP2801916B2 (ja) 欠陥検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination