CN117105538A - 镀膜玻璃及其制备方法、夹层玻璃 - Google Patents

镀膜玻璃及其制备方法、夹层玻璃 Download PDF

Info

Publication number
CN117105538A
CN117105538A CN202311017339.8A CN202311017339A CN117105538A CN 117105538 A CN117105538 A CN 117105538A CN 202311017339 A CN202311017339 A CN 202311017339A CN 117105538 A CN117105538 A CN 117105538A
Authority
CN
China
Prior art keywords
layer
zrox
coated glass
equal
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202311017339.8A
Other languages
English (en)
Inventor
曹晖
张洁林
卢国水
陈国富
王泽龙
福原康太
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuyao Glass Industry Group Co Ltd
Original Assignee
Fuyao Glass Industry Group Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuyao Glass Industry Group Co Ltd filed Critical Fuyao Glass Industry Group Co Ltd
Priority to CN202311017339.8A priority Critical patent/CN117105538A/zh
Publication of CN117105538A publication Critical patent/CN117105538A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B17/00—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres
    • B32B17/06—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material
    • B32B17/10—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin
    • B32B17/10005—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing
    • B32B17/1055—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing characterized by the resin layer, i.e. interlayer
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B17/00—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres
    • B32B17/06—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material
    • B32B17/10—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin
    • B32B17/10005—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing
    • B32B17/1055—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing characterized by the resin layer, i.e. interlayer
    • B32B17/10678—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing characterized by the resin layer, i.e. interlayer comprising UV absorbers or stabilizers, e.g. antioxidants
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B17/00—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres
    • B32B17/06—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material
    • B32B17/10—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin
    • B32B17/10005—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing
    • B32B17/1055—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing characterized by the resin layer, i.e. interlayer
    • B32B17/10761—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing characterized by the resin layer, i.e. interlayer containing vinyl acetal
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B17/00—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres
    • B32B17/06—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material
    • B32B17/10—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin
    • B32B17/10005—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing
    • B32B17/1055—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing characterized by the resin layer, i.e. interlayer
    • B32B17/1077—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing characterized by the resin layer, i.e. interlayer containing polyurethane
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/06—Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
    • B32B27/08—Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/30—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising vinyl (co)polymers; comprising acrylic (co)polymers
    • B32B27/306—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising vinyl (co)polymers; comprising acrylic (co)polymers comprising vinyl acetate or vinyl alcohol (co)polymers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B33/00—Layered products characterised by particular properties or particular surface features, e.g. particular surface coatings; Layered products designed for particular purposes not covered by another single class
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B7/00—Layered products characterised by the relation between layers; Layered products characterised by the relative orientation of features between layers, or by the relative values of a measurable parameter between layers, i.e. products comprising layers having different physical, chemical or physicochemical properties; Layered products characterised by the interconnection of layers
    • B32B7/04—Interconnection of layers
    • B32B7/12—Interconnection of layers using interposed adhesives or interposed materials with bonding properties
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3618—Coatings of type glass/inorganic compound/other inorganic layers, at least one layer being metallic
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3626—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer one layer at least containing a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3644—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the metal being silver
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3649—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer made of metals other than silver
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/10—Properties of the layers or laminate having particular acoustical properties
    • B32B2307/102—Insulating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/30—Properties of the layers or laminate having particular thermal properties
    • B32B2307/304—Insulating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/40—Properties of the layers or laminate having particular optical properties
    • B32B2307/402—Coloured
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/50—Properties of the layers or laminate having particular mechanical properties
    • B32B2307/584—Scratch resistance
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/70—Other properties
    • B32B2307/71—Resistive to light or to UV
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2605/00—Vehicles
    • B32B2605/003—Interior finishings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21—Oxides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21—Oxides
    • C03C2217/23—Mixtures
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21—Oxides
    • C03C2217/23—Mixtures
    • C03C2217/231—In2O3/SnO2
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/25—Metals
    • C03C2217/251—Al, Cu, Mg or noble metals
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/25—Metals
    • C03C2217/251—Al, Cu, Mg or noble metals
    • C03C2217/252—Al
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/25—Metals
    • C03C2217/251—Al, Cu, Mg or noble metals
    • C03C2217/253—Cu
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/25—Metals
    • C03C2217/251—Al, Cu, Mg or noble metals
    • C03C2217/254—Noble metals
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/25—Metals
    • C03C2217/251—Al, Cu, Mg or noble metals
    • C03C2217/254—Noble metals
    • C03C2217/255—Au
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/25—Metals
    • C03C2217/257—Refractory metals
    • C03C2217/258—Ti, Zr, Hf
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/25—Metals
    • C03C2217/257—Refractory metals
    • C03C2217/259—V, Nb, Ta
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/25—Metals
    • C03C2217/257—Refractory metals
    • C03C2217/26—Cr, Mo, W
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/25—Metals
    • C03C2217/261—Iron-group metals, i.e. Fe, Co or Ni
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/25—Metals
    • C03C2217/268—Other specific metals
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/25—Metals
    • C03C2217/27—Mixtures of metals, alloys
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00—Methods for coating glass
    • C03C2218/10—Deposition methods
    • C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
    • C03C2218/154—Deposition methods from the vapour phase by sputtering
    • C03C2218/156—Deposition methods from the vapour phase by sputtering by magnetron sputtering

Abstract

本申请提供一种镀膜玻璃及其制备方法、夹层玻璃，所述镀膜玻璃包括第一基板及镀膜结构，所述镀膜结构设置在所述第一基板的至少一个表面上，所述镀膜结构包括至少一个功能叠层和至少一个ZrOx层，每个所述功能叠层包括金属层和两个介质层，所述金属层位于两个所述介质层之间，所述ZrOx层位于所述介质层背离所述金属层的一侧，其中x满足1＜x≤2，所述ZrOx层的折射率n满足范围：2.00≤n≤2.18。本申请提供的技术方案能够提高镀膜玻璃上的镀膜结构的硬度，从而提升镀膜玻璃的抗划伤能力和耐加工性能。

Description

镀膜玻璃及其制备方法、夹层玻璃
技术领域
本申请涉及玻璃技术领域，尤其涉及一种镀膜玻璃及其制备方法、夹层玻璃。
背景技术
镀膜玻璃是指利用气相沉积技术在玻璃基板的表面上形成特殊功能的涂层或膜层，气相沉积技术又分为化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)。在实际产品中，可以利用物理气相沉积技术制造包含1-4个银层的镀膜玻璃，由于银层具有反射红外线和导电性好等特点，包含银层的镀膜玻璃可以用作隔热玻璃或电加热玻璃。隔热玻璃被安装到交通工具上时可以防止太阳光中的可见光之外的光线、特别是红外线进入内部空间，进而明显降低空调能耗以及提高驾驶员和乘客的热舒适性。电加热玻璃的温度可随着通过电流而升高，进而实现防止起雾或除雾、除霜、除冰等功能，提高驾驶安全性。
镀膜玻璃在制造用作机动车上的隔热玻璃或电加热玻璃时，还需要经过至少500℃的高温热处理和弯曲成型，例如汽车玻璃的烘弯工艺、压制弯曲工艺等，这就要求镀膜玻璃上的涂层或膜层不仅要满足光学性能和外观质量的要求，还要具有较高的机械性能、热稳定性和化学稳定性。传统的包含银层的镀膜玻璃的机械性能较差，特别是包括3-4个银层的镀膜玻璃的膜层的硬度较低，在后续的运输、储存、搬运、加工过程中容易被硬物划伤，使得耐加工能力较差。
发明内容
本申请提供一种镀膜玻璃及其制备方法、夹层玻璃，能够提高镀膜玻璃上的镀膜结构的硬度，从而提升镀膜玻璃的抗划伤能力和耐加工性能。
第一方面，本申请提供一种镀膜玻璃，所述镀膜玻璃包括：
第一基板；及
镀膜结构，所述镀膜结构设置在所述第一基板的至少一个表面上，所述镀膜结构包括至少一个功能叠层和至少一个ZrOx层，每个所述功能叠层包括金属层和两个介质层，所述金属层位于两个所述介质层之间，所述ZrOx层位于所述介质层背离所述金属层的一侧，其中x满足1＜x≤2，所述ZrOx层的折射率n满足范围：2.00≤n≤2.18。
可以理解的是，本申请提供的ZrOx层的折射率n的范围在2.00≤n≤2.18之间，本申请采用折射率n的范围在2.00≤n≤2.18之间的ZrOx层可以提升镀膜结构的硬度，从而提升镀膜玻璃的抗划伤能力和耐加工性能，避免镀膜玻璃在后续的运输、储存、搬运、加工过程中容易被硬物划伤。
一种可能的实施方式中，所述镀膜结构的铅笔硬度大于或等于9H。
一种可能的实施方式中，所述金属层的材料选自银、金、铜、铝、铂金中的任意一种金属或金属合金，所述金属层的物理厚度为5nm～20nm。
一种可能的实施方式中，所述介质层的材料选自Zn、Mg、Sn、Ti、Nb、Zr、Ni、In、Al、Ce、W、Mo、Sb、Bi中的至少一种金属或金属合金的氧化物，所述介质层的物理厚度为5nm～30nm。
一种可能的实施方式中，所述镀膜结构包括依次层叠设置的最内附着层、第一功能叠层和最外保护层，所述最内附着层和所述最外保护层中的至少一个包括所述ZrOx层。
一种可能的实施方式中，所述镀膜结构包括依次层叠设置的最内附着层、第一功能叠层、第一中间层、第二功能叠层和最外保护层，所述最内附着层、所述第一中间层和所述最外保护层中的至少一个包括所述ZrOx层。
一种可能的实施方式中，所述镀膜结构包括依次层叠设置的最内附着层、第一功能叠层、第一中间层、第二功能叠层、第二中间层、第三功能叠层和最外保护层，所述最内附着层、所述第一中间层、所述第二中间层和所述最外保护层中的至少一个包括所述ZrOx层。
一种可能的实施方式中，所述镀膜结构包括依次层叠设置的最内附着层、第一功能叠层、第一中间层、第二功能叠层、第二中间层、第三功能叠层、第三中间层、第四功能叠层和最外保护层，所述最内附着层、所述第一中间层、所述第二中间层、所述第三中间层和所述最外保护层中的至少一个包括所述ZrOx层。
一种可能的实施方式中，所述最内附着层包括一个物理厚度为10nm～40nm的所述ZrOx层。
一种可能的实施方式中，所述最外保护层包括一个物理厚度为5nm～35nm的所述ZrOx层。
一种可能的实施方式中，所述第一中间层、所述第二中间层和所述第三中间层中的至少一个包括一个物理厚度为30nm～70nm的所述ZrOx层。
一种可能的实施方式中，所述最外保护层的具体结构为：TiOx层/ZnSnOx层/所述ZrOx层。
一种可能的实施方式中，所述ZrOx层的消光系数k小于或等于0.0001。
第二方面，本申请提供一种夹层玻璃，包括第二基板、粘结层和根据以上所述的镀膜玻璃，所述粘结层连接于所述第二基板与所述镀膜玻璃之间，所述镀膜结构位于所述第一基板和所述第二基板之间。
一种可能的实施方式中，所述第一基板为透明玻璃或超透明玻璃，所述透明玻璃的总铁含量小于或等于0.1％，所述透明玻璃的可见光透过率大于或等于80％；所述超透明玻璃的总铁含量小于或等于0.015％，所述超透明玻璃的可见光透过率大于或等于90％。
第三方面，本申请提供一种镀膜玻璃的制备方法：
提供第一基板：
在所述第一基板的至少一个表面上通过磁控溅射工艺形成镀膜结构；
所述镀膜结构包括至少一个功能叠层和至少一个ZrOx层，每个所述功能叠层包括金属层和两个介质层，所述金属层位于所述两个介质层之间，任一所述ZrOx层形成于所述介质层背离所述金属层的一侧，其中x满足1＜x≤2，所述ZrOx层的折射率n满足范围：2.00≤n≤2.18。
一种可能的实施方式中，磁控溅射所述ZrOx层的靶材电源为高功率脉冲磁控溅射电源，磁控溅射所述ZrOx层的靶材为ZrOy陶瓷靶，其中y满足1.4≤y＜2。
附图说明
为了更清楚地说明本申请的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以如这些附图获得其他的附图。
图1是本申请实施例提供的夹层玻璃的结构示意图；
图2是图1所示的镀膜玻璃的第一种实施方式的剖面结构示意图；
图3是图1所示的镀膜玻璃的第二种实施方式的剖面结构示意图；
图4是图1所示的镀膜玻璃的第三种实施方式的剖面结构示意图；
图5是图1所示的镀膜玻璃的第四种实施方式的剖面结构示意图；
图6是本申请实施例提供的一种镀膜玻璃的制备方法的流程示意图。
具体实施方式
为了方便理解，首先对本申请的实施例所涉及的术语进行解释。
和/或：仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。
多个：是指两个或多于两个。
连接：应做广义理解，例如，A与B连接，可以是A与B直接相连，也可以是A与B通过中间媒介间接相连。
化学式中x和y的取值：有明确定义的，以定义的范围为准。未明确定义的，可以根据磁控溅射工艺中以化学计量方式、亚化学计量方式或超化学计量方式沉积等进行确定。
高温热处理：至少500℃的高温热处理，例如生产汽车玻璃的自重弯曲工艺或压制弯曲工艺等。
下面将结合附图，对本申请的具体实施方式进行清楚地描述。
请参阅图1，图1是本申请实施例提供的夹层玻璃1000的结构示意图。夹层玻璃1000包括镀膜玻璃1001、粘结层1002和第二基板1003。粘结层1002连接于第二基板1003与镀膜玻璃1001之间。镀膜玻璃1001包括第一基板100和镀膜结构200。镀膜结构200设置在第一基板100的至少一个表面上。示例性的，镀膜结构200位于第一基板100和第二基板1003之间，即第一基板100设有镀膜结构200的一侧与粘结层1002连接。镀膜结构200的铅笔硬度大于或等于9H，从而提升镀膜玻璃1001的抗划伤能力和耐加工性能。
需说明的是，图1的目的仅在于示意性的描述镀膜玻璃1001、粘结层1002和第二基板1003的连接关系，并非是对各个设备的连接位置、具体构造及数量做具体限定。而本申请实施例示意的结构并不构成对夹层玻璃1000的具体限定。在本申请另一些实施例中，夹层玻璃1000可以包括比图1所示更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者拆分某些部件，或者不同的部件布置。图1所示的部件可以以硬件，软件或软件和硬件的组合实现。
在本申请中，夹层玻璃1000可以安装到车辆上用作前挡玻璃、边窗玻璃、后挡玻璃或天窗玻璃等。镀膜结构200包括至少一个功能叠层和至少一个ZrOx层，每个功能叠层包括金属层和两个介质层，金属层位于两个介质层之间，任一ZrOx层与任一金属层不直接接触，也即为，ZrOx层位于介质层背离金属层的一侧，任一ZrOx层与其最邻近的金属层之间至少设置有一个介质层。其中x满足1＜x≤2，ZrOx层的折射率n满足范围：2.00≤n≤2.18。其中，金属层、介质层和ZrOx层可以分别通过磁控溅射工艺形成。
金属层具有反射红外线和导电性好等特点，包含金属层的镀膜结构200使镀膜玻璃1001及夹层玻璃1000具有隔热功能，进而明显降低空调能耗以及提高驾驶员和乘客的热舒适性。根据实际应用的需要，镀膜结构200中的金属层的数量可以举例为一个、两个、三个、四个、五个甚至更多个。一种可能的实施方式中，镀膜结构200也可以作为透明导电膜使用，此时的夹层玻璃1000通电后具有电加热功能，因此能够升高夹层玻璃1000的温度，进而实现防止起雾或除雾、除霜、除冰等功能，提高驾驶安全性。示例性的，夹层玻璃1000的通电电压可以是12V～380V。其中，金属层的材料选自银、金、铜、铝、铂金中的任意一种金属或金属合金，具体可举例为Ag、AgCu合金、AgIn合金等，金属层的物理厚度为5nm～20nm。其中，介质层的材料选自Zn、Mg、Sn、Ti、Nb、Zr、Ni、In、Al、Ce、W、Mo、Sb、Bi中的至少一种金属或金属合金的氧化物，具体可举例为AZO、NbOx、TiOx、ZnAlOx、ZnOx、SnOx、ZnSnOx等，介质层的物理厚度为5nm～30nm。在一些实施方式中，金属层和任一介质层之间还可以沉积有阻挡层(未示出)，阻挡层的材料为Ti、NiCr、Nb等，阻挡层的物理厚度小于或等于5nm，阻挡层与金属层直接接触，主要用于防止金属层在磁控溅射过程中与氧化反应气体接触以及改进镀膜结构200的光学性能等。
第一基板100和第二基板1003均可以为透明玻璃或超透明玻璃(超白玻璃)。透明玻璃的总铁含量小于或等于0.1％，透明玻璃的可见光透过率大于或等于80％。超透明玻璃中的氧化铁(Fe2O3)含量较低，超透明玻璃的可见光透过率大于或等于90％。按重量百分比计算，第一基板100和第二基板1003可以包含0～0.1％的氧化铁(Fe2O3)，例如第一基板100和第二基板1003中氧化铁(Fe2O3)的含量小于或等于0.09％、小于或等于0.08％、小于或等于0.07％、小于或等于0.05％、小于或等于0.04％、小于或等于0.03％、小于或等于0.02％、小于或等于0.015％或小于或等于0.01％，甚至第一基板100和第二基板1003可以基本不含有氧化铁(Fe2O3)。示例性的，第一基板100和第二基板1003可以为钠钙硅超透明玻璃、硼硅酸玻璃或高铝玻璃等。
粘结层1002用于连接第一基板100与第二基板1003，以提高夹层玻璃1000的结构强度，使其满足更多场景的安全标准和法规要求。粘结层1002的材质可以是聚乙烯醇缩丁醛(PVB)、乙烯醋酸乙烯酯(EVA)、热塑性聚氨酯弹性体(TPU)或离子型聚合物膜(SGP)等。示例性的，粘结层1002可以为单层结构或多层结构，多层结构可以举例有双层结构、三层结构、四层结构、五层结构等。粘结层1002还可以具有其他功能，例如设置至少一个着色区用作阴影带从而降低太阳光对人眼的干扰，或者增添红外线吸收剂从而具有防晒或隔热功能，或者增添紫外线吸收剂从而具有隔紫外线功能，又或者多层结构的至少一层的增塑剂含量更高从而具有隔音功能。
第一种可能的实施方式中，请参阅图2，图2是图1所示的镀膜玻璃1001的第一种实施方式的剖面结构示意图。镀膜结构200仅具有一个功能叠层，具体包括依次层叠设置的最内附着层210、第一功能叠层220和最外保护层290，最内附着层210和最外保护层290中的至少一个包括ZrOx层。
第二种可能的实施方式中，请参阅图3，图3是图1所示的镀膜玻璃1001的第二种实施方式的剖面结构示意图。镀膜结构200具有两个功能叠层，具体包括依次层叠设置的最内附着层210、第一功能叠层220、第一中间层260、第二功能叠层230和最外保护层290，最内附着层210、第一中间层260和最外保护层290中的至少一个包括ZrOx层。
第三种可能的实施方式中，请参阅图4，图4是图1所示的镀膜玻璃1001的第三种实施方式的剖面结构示意图。镀膜结构200具有三个功能叠层，具体包括依次层叠设置的最内附着层210、第一功能叠层220、第一中间层260、第二功能叠层230、第二中间层270、第三功能叠层240和最外保护层290，最内附着层210、第一中间层260、第二中间层270和最外保护层290中的至少一个包括ZrOx层。
第四种可能的实施方式中，请参阅图5，图5是图1所示的镀膜玻璃1001的第四种实施方式的剖面结构示意图。镀膜结构200具有四个功能叠层，具体包括依次层叠设置的最内附着层210、第一功能叠层220、第一中间层260、第二功能叠层230、第二中间层270、第三功能叠层240、第三中间层280、第四功能叠层250和最外保护层290，最内附着层210、第一中间层260、第二中间层270、第三中间层280和最外保护层290中的至少一个包括ZrOx层。
在图2、图3、图4和图5中，最内附着层210直接沉积在第一基板100的表面上，用于减少或防止碱金属离子从玻璃扩散到镀膜结构200中，还可以增加镀膜结构200与第一基板100的表面之间的附着力，以及有助于调节镀膜结构200的机械性能、光学性能和高温热处理性能。最内附着层210为第一基板100的表面和第一功能叠层220之间的所有膜层，最内附着层210可以单一膜层，也可以由多个子膜层构成。在一些实施方式中，最内附着层210可以包括一个物理厚度为10nm～40nm的ZrOx层。在另一些实施方式中，最内附着层210的材料也可以选自Si、Zn、Mg、Sn、Ti、Nb、Zr、Ni、In、Al、Ce、W、Mo、Sb、Bi中的至少一种元素的氧化物、氮化物或氮氧化物，具体可举例为SiAlZrNx、NbOx、SiNx、ZnSnOx、SiZrNx等。
第一功能叠层220包括依次层叠设置的第一介质层221、第一金属层222和第二介质层223，第一介质层221沉积在最内附着层210上，第一介质层221和第二介质层223主要用于保护第一金属层222免受碱金属离子、氧气等的破坏，第一介质层221还作为第一金属层222的结晶种子层以提高其沉积致密度。第二功能叠层230包括依次层叠设置的第三介质层231、第二金属层232和第四介质层233，第三介质层231和第四介质层233主要用于保护第二金属层232免受碱金属离子、氧气等的破坏，第三介质层231还作为第二金属层232的结晶种子层以提高其沉积致密度。第三功能叠层240包括依次层叠设置的第五介质层241、第三金属层242和第六介质层243，第五介质层241和第六介质层243主要用于保护第三金属层242免受碱金属离子、氧气等的破坏，第五介质层241还作为第三金属层242的结晶种子层以提高其沉积致密度。第四功能叠层250包括依次层叠设置的第七介质层251、第四金属层252和第八介质层253，第七介质层251和第八介质层253主要用于保护第四金属层252免受碱金属离子、氧气等的破坏，第七介质层251还作为第四金属层252的结晶种子层以提高其沉积致密度。
在图3、图4和图5中，镀膜结构200包括至少两个功能叠层，在相邻两个功能叠层之间设置有中间层，即第一中间层260、第二中间层270、第三中间层280，第一中间层260位于第二介质层223和第三介质层231之间，第二中间层270位于第四介质层233和第五介质层241之间，第三中间层280位于第六介质层243和第七介质层251之间。这些中间层可以提高镀膜结构200的平整度以及改善反射颜色，这些中间层可以为单一膜层，也可以由多个子膜层构成。在一些实施方式中，第一中间层260、第二中间层270和第三中间层280中的至少一个包括一个物理厚度为30nm～70nm的ZrOx层，ZrOx层具有较高的硬度，能够提高镀膜结构200的硬度，从而提升镀膜玻璃的抗划伤能力和耐加工性能。在另一些实施方式中，第一中间层260、第二中间层270和第三中间层280的材料也可以选自Si、Zn、Mg、Sn、Ti、Nb、Zr、Ni、In、Al、Ce、W、Mo、Sb、Bi中的至少一种元素的氧化物、氮化物或氮氧化物，具体可举例为ZrNx、SiOx、SiOxNy、SiAlZrNx、SiZrNx、SiNx、SiZrOx、SiAlZrOx、ZnSnOx、AZO、ITO等。
在图2、图3、图4和图5中，最外保护层290沉积在最远离第一基板100的功能叠层的外侧，图2中的最外保护层290沉积在第一功能叠层220的远离第一基板100的一侧，图3中的最外保护层290沉积在第二功能叠层230的远离第一基板100的一侧，图4中的最外保护层290沉积在第三功能叠层240的远离第一基板100的一侧，图5中的最外保护层290沉积在第四功能叠层250的远离第一基板100的一侧，最外保护层290主要用于保护功能叠层中的金属层免受腐蚀和机械损伤，以及有助于调节镀膜结构200的机械性能、光学性能和高温热处理性能。最外保护层290为镀膜结构200中的最远离第一基板100的功能叠层的外侧的所有膜层，最外保护层290可以为单一膜层，也可以由多个子膜层构成。其中，最外保护层290的厚度可以在5nm～70nm之间(包括端点值5nm和70nm)。
在一些实施方式中，最外保护层290可以包括一个物理厚度为5nm～35nm的ZrOx层。在另一些实施方式中，最内附着层210的材料也可以选自Si、Zn、Mg、Sn、Ti、Nb、Zr、Ni、In、Al、Ce、W、Mo、Sb、Bi中的至少一种元素的氧化物、氮化物或氮氧化物，具体可举例为ZrNx、SiOx、SiOxNy、SiAlZrNx、SiZrNx、SiNx、SiZrOx、SiAlZrOx等。
还有一些实施方式中，最外保护层290包含三个子膜层，其具体结构可以为：TiOx层291/ZnSnOx层292/ZrOx层293，TiOx层291的物理厚度小于或等于20nm，ZnSnOx层292的物理厚度小于或等于20nm，采用TiOx层291/ZnSnOx层292/ZrOx层293的结构可以使镀膜结构200具有更优的热延展性能，在高温热处理过程中能够保证镀膜结构200不开裂。
另一些实施方式中，最外保护层290包含两个子膜层，其具体结构可以为：TiOx层291/ZnSnOx层292。TiOx层291的物理厚度小于或等于20nm，ZnSnOx层292的物理厚度小于或等于20nm。
本申请还提供一种镀膜玻璃1001的制备方法，请参阅图6，图6是本申请实施例提供的一种镀膜玻璃1001的的制备方法的流程示意图。该制备方法包括：
S100：提供第一基板100。
S200：在第一基板100的至少一个表面上通过磁控溅射工艺形成镀膜结构200；镀膜结构200包括至少一个功能叠层和至少一个ZrOx层，每个功能叠层包括金属层和两个介质层，金属层位于两个介质层之间，任一ZrOx层形成于介质层背离金属层的一侧，其中x满足1＜x≤2，ZrOx层的折射率n满足范围：2.00≤n≤2.18(包括端点值2.00和2.18)。
在本申请中，磁控溅射ZrOx层的靶材电源为高功率脉冲磁控溅射电源(HiPIMS)，磁控溅射ZrOx层的靶材为ZrOy陶瓷靶，其中y满足1.4≤y＜2。采用HiPIMS电源磁控溅射得到的ZrOx层的折射率n＝2.00～2.18，使获得的镀膜结构200的铅笔硬度大于或等于9H。折射率n具体可举例为2.00、2.01、2.02、2.03、2.04、2.05、2.06、2.07、2.08、2.09、2.10、2.11、2.12、2.13、2.14、2.15、2.16、2.17、2.18等，优选ZrOx层的折射率n＝2.05～2.15。
对比例1-6和实施例1-12
本申请准备2.1mm厚的透明玻璃基板，通过磁控溅射工艺在透明玻璃基板的表面上沉积对比例1-4和实施例1-12的膜层结构，并测量对比例1-3和实施例1-12的镀膜玻璃测试样品在高温热处理前的铅笔硬度，以及测量对比例2-4和实施例1-12的ZrOx层在高温热处理后的折射率n和消光系数k，将测量结果计入表1中。
对比例1：透明玻璃基板/Ag层。
对比例2：透明玻璃基板/Ag层/DLC层，磁控溅射DLC层的靶材为石墨靶，工艺气体为Ar，靶材电源为高功率脉冲磁控溅射电源(HiPIMS)，占空比为5％～17％。
对比例3：透明玻璃基板/Ag层/AZO层，磁控溅射AZO层的靶材为AZO陶瓷靶，工艺气体为Ar和O2，靶材电源为中频磁控溅射电源(MF)，占空比为100％。
对比例4-6：透明玻璃基板/Ag层/ZrOx层，磁控溅射ZrOx层的靶材为ZrOy陶瓷靶(y＝1.4)，工艺气体为Ar和O2，靶材电源为中频磁控溅射电源(MF)，占空比为100％。
实施例1-12：透明玻璃基板/Ag层/ZrOx层，磁控溅射ZrOx层的靶材为ZrOy陶瓷靶(y＝1.4)，工艺气体为Ar和O2，靶材电源为高功率脉冲磁控溅射电源(HiPIMS)，占空比为5％～17％。
其中，磁控溅射对比例1-4和实施例1-12的Ag层的靶材为银金属靶，工艺气体为Ar，靶材电源为直流电源(DC)。
表1：对比例1-4和实施例1-12的镀膜玻璃测试样品的测量结果
从表1中可以看出，对比例1的Ag层的硬度较差，对比例2通过在Ag层上沉积DLC层(HiPIMS)可以显著提升膜层硬度，对比例3通过在Ag层上沉积AZO层(MF)未见明显提升膜层硬度，对比例4通过在Ag层上沉积ZrOx层(MF)未见明显提升膜层硬度，对比例5-6通过在Ag层上沉积ZrOx层(MF)可以显著提升膜层硬度，甚至可以提升至8H。
与对比例1-6相比，实施例1-12通过采用高功率脉冲磁控溅射电源(HiPIMS)作为靶材电源，可以将膜层硬度进一步提升至大于9H，显然ZrOx层(HiPIMS)比DLC层、AZO层甚至ZrOx层(MF)都具有更高的单层硬度，ZrOx层(HiPIMS)更有利于在镀膜结构200的最内附着层、第一中间层、第二中间层、第三中间层和最外保护层中使用。
一般来说，中频磁控溅射电源(MF)在工作时的占空比基本为100％，即MF电源对靶材不间断作用，而高功率脉冲磁控溅射电源(HiPIMS)在工作时的占空比为5％～17％，即HiPIMS电源对靶材作用时间较短，当沉积相同材料时，在相同工艺条件下，HiPIMS电源的溅射速率通常低于MF电源的溅射速率，但从对比例4-6和实施例1-12对比来看，在ZrOx材料上出现了相反的情况，这是由于ZrOx材料的导电性差和难电离相关，MF电源较难以将靶材完全电离，在溅射过程中往往出现电压不稳定、靶材打火花、打弧报警严重等问题。与对比例4-6采用MF电源沉积ZrOx层相比，实施例1-12采用HiPIMS电源沉积ZrOx层的溅射速率提高了21.9％～68％，溅射速率的提高有利于材料的应用，大大节约了材料应用所需的腔位、阴极、电源等成本。
从表1中还可以看出，采用MF电源沉积的ZrOx层(MF)的折射率n大于2.2、消光系数k＞0.001，而采用HiPIMS电源沉积的ZrOx层(HiPIMS)更低的折射率n＝2.00～2.18，更具体地n＝2.06～2.12，以及更低的消光系数k≤0.0001，甚至k≤0.00005。也就是说，采用HiPIMS电源沉积ZrOx层(HiPIMS)改变了ZrOx层(HiPIMS)的致密性，进而改变了ZrOx层(HiPIMS)的折射率n和消光系数k，有利于扩大ZrOx层(HiPIMS)的应用范围。由此可见，在镀膜结构200中采用ZrOx层(HiPIMS)，不仅能够提高镀膜结构200的膜层硬度，提升镀膜玻璃的抗划伤能力和耐加工性能，还更有利于进行膜系设计以及调节镀膜结构200对不同波长光线的透过率、反射率、吸收率等光学性能。
对比例7-10和实施例13-16
本申请准备2.1mm厚的透明玻璃基板，通过磁控溅射工艺在透明玻璃基板的表面上沉积对比例7-10和实施例13-16的镀膜结构200，该镀膜结构200具有三个功能叠层，具体包括依次层叠设置的最内附着层210、第一功能叠层220、第一中间层260、第二功能叠层230、第二中间层270、第三功能叠层240和最外保护层290，最内附着层210、第一中间层260、第二中间层270和最外保护层290中的至少一个包括ZrOx层(HiPIMS)。
测量对比例7-10的镀膜结构200在高温热处理前后的方块电阻R、铅笔硬度和酒精擦拭实验结果，将测量结果计入表2中。
表2：对比例7-10的镀膜玻璃1001的测量结果
测量实施例13-16的镀膜结构200在高温热处理前后的方块电阻R、铅笔硬度和酒精擦拭实验结果，将测量结果计入表3中。
表3：实施例13-16的镀膜玻璃1001的测量结果
从表2中可以看出，对比例7-10中的镀膜结构200的最内附着层210、第一功能叠层220、第一中间层260、第二功能叠层230、第二中间层270和第三功能叠层240均一致，仅最外保护层290不同。具体地，对比例7使用中频磁控溅射电源(MF)沉积ZrOx层(n＝2.26)作为最外保护层290中的最远离第一基板100的子膜层，镀膜结构200在高温热处理前的铅笔硬度为8H，在高温热处理后的铅笔硬度为9H。对比例8使用中频磁控溅射电源(MF)沉积SiNx层(n＝2.13)作为最外保护层290中的最远离第一基板100的子膜层，镀膜结构200在高温热处理前的铅笔硬度为3H，在高温热处理后的铅笔硬度为4H。对比例9使用中频磁控溅射电源(MF)沉积SiZrNx层(n＝2.17)作为最外保护层290中的最远离第一基板100的子膜层，镀膜结构200在高温热处理前的铅笔硬度为5H，在高温热处理后的铅笔硬度为3H。对比例10使用中频磁控溅射电源(MF)沉积SiZrOx层(n＝1.59)作为最外保护层290中的最远离第一基板100的子膜层，镀膜结构200在高温热处理前的铅笔硬度为7H，在高温热处理后的铅笔硬度为6H。由此可见，对比例1-4的镀膜结构200在经过高温热处理后的方块电阻R均能够降低，且在高温热处理前后的酒精擦拭均满足要求，说明镀膜结构200的膜系设计合理。但是，对比例3和对比例4的镀膜结构200在经过高温热处理后的铅笔硬度降低，说明对比例3和对比例4的最外保护层无法满足生产汽车玻璃的自重弯曲工艺或压制弯曲工艺等的使用要求。对比例2的镀膜结构200在经过高温热处理后的铅笔硬度可以提高至4H，该硬度仍然较低，在后续的运输、储存、搬运、加工过程中还是容易被硬物划伤，使得耐加工能力较差。
从表3中可以看出，实施例13使用高功率脉冲磁控溅射电源(HiPIMS)沉积ZrOx层(n＝2.10)作为最外保护层290中的最远离第一基板100的子膜层，镀膜结构200在高温热处理前的铅笔硬度大于9H，在高温热处理后的铅笔硬度大于9H。
与对比例7-10相比，实施例13的镀膜结构200在高温热处理前的铅笔硬度大于对比例7-10的镀膜结构200在高温热处理前的铅笔硬度，说明实施例13的镀膜结构200在高温热处理前也具有足够的硬度来满足异地加工的需求。实施例14使用高功率脉冲磁控溅射电源(HiPIMS)沉积ZrOx层(n＝2.08)作为第一中间层和第二中间层，镀膜结构200在高温热处理前的铅笔硬度大于9H，在高温热处理后的铅笔硬度大于9H。实施例15使用高功率脉冲磁控溅射电源(HiPIMS)沉积ZrOx层(n＝2.09)作为最内附着层210并同时使用高功率脉冲磁控溅射电源(HiPIMS)沉积ZrOx层(n＝2.10)作为最外保护层290中的最远离第一基板100的子膜层，镀膜结构200在高温热处理前的铅笔硬度大于9H，在高温热处理后的铅笔硬度大于9H。实施例16使用高功率脉冲磁控溅射电源(HiPIMS)沉积ZrOx层(n＝2.09)作为最内附着层210，使用高功率脉冲磁控溅射电源(HiPIMS)沉积ZrOx层(n＝2.08)作为第一中间层和第二中间层，以及使用高功率脉冲磁控溅射电源(HiPIMS)沉积ZrOx层(n＝2.10)作为最外保护层290中的最远离第一基板100的子膜层，镀膜结构200在高温热处理前的铅笔硬度大于9H，在高温热处理后的铅笔硬度大于9H。
在表3中，实施例13-16的镀膜结构200在经过高温热处理后的方块电阻R均能够降低至小于或等于1.1Ω/□，且在高温热处理前后的酒精擦拭均满足要求，以及在高温热处理前后的铅笔硬度均大于9H，证明了使用高功率脉冲磁控溅射电源(HiPIMS)不仅可以促进ZrOy陶瓷靶电离来提高溅射速率，同时制备的ZrOx层具有结构致密、表面光滑等优点，能够提高镀膜结构的硬度，提升了具有实施例13-16的镀膜结构200的镀膜玻璃的抗划伤能力和耐加工性能，而且能够在后续的运输、储存、搬运、加工过程中防止镀膜结构200被硬物划伤，有利于满足异地加工的需求。
对比例11-12和实施例17-20
本申请准备2.1mm厚的透明玻璃基板，通过磁控溅射工艺在透明玻璃基板的表面上沉积对比例11-12和实施例17-20的镀膜结构200，该镀膜结构200具有四个功能叠层，具体包括依次层叠设置的最内附着层210、第一功能叠层220、第一中间层260、第二功能叠层230、第二中间层270、第三功能叠层240、第三中间层280、第四功能叠层250和最外保护层290，最内附着层210、第一中间层260、第二中间层270、第三中间层280和最外保护层290中的至少一个包括ZrOx层(HiPIMS)。
测量对比例11-12和实施例17的镀膜结构200在高温热处理前后的方块电阻R、铅笔硬度和酒精擦拭实验结果，将测量结果计入表4中。
表4：对比例11-12和实施例17的镀膜玻璃1001的测量结果
测量实施例18-20的镀膜结构200在高温热处理前后的方块电阻R、铅笔硬度和酒精擦拭实验结果，将测量结果计入表5中。
表5：实施例18-20的镀膜玻璃1001的测量结果
从表4和表5中可以看出：
对比例11使用中频磁控溅射电源(MF)沉积SiZrNx层(n＝2.17)作为最外保护层290中的最远离第一基板100的子膜层，镀膜结构200在高温热处理前的铅笔硬度为5H，在高温热处理后的铅笔硬度为6H。
对比例12使用中频磁控溅射电源(MF)沉积ZrOx层(n＝2.26)作为最外保护层290中的最远离第一基板100的子膜层，镀膜结构200在高温热处理前的铅笔硬度为8H，在高温热处理后的铅笔硬度为8H。
实施例17使用高功率脉冲磁控溅射电源(HiPIMS)沉积ZrOx层(n＝2.10)作为最外保护层290中的最远离第一基板100的子膜层，镀膜结构200在高温热处理前的铅笔硬度大于9H，在高温热处理后的铅笔硬度大于9H。
实施例18使用高功率脉冲磁控溅射电源(HiPIMS)沉积ZrOx层(n＝2.08)作为第一中间层、第二中间层和第三中间层，镀膜结构200在高温热处理前的铅笔硬度大于9H，在高温热处理后的铅笔硬度大于9H。
实施例19使用高功率脉冲磁控溅射电源(HiPIMS)沉积ZrOx层(n＝2.09)作为最内附着层210并同时使用高功率脉冲磁控溅射电源(HiPIMS)沉积ZrOx层(n＝2.10)作为最外保护层290中的最远离第一基板100的子膜层，镀膜结构200在高温热处理前的铅笔硬度大于9H，在高温热处理后的铅笔硬度大于9H。
实施例20使用高功率脉冲磁控溅射电源(HiPIMS)沉积ZrOx层(n＝2.09)作为最内附着层210，使用高功率脉冲磁控溅射电源(HiPIMS)沉积ZrOx层(n＝2.08)作为第一中间层、第二中间层和第三中间层，以及使用高功率脉冲磁控溅射电源(HiPIMS)沉积ZrOx层(n＝2.10)作为最外保护层290中的最远离第一基板100的子膜层，镀膜结构200在高温热处理前的铅笔硬度大于9H，在高温热处理后的铅笔硬度大于9H。
与对比例11和对比例12相比，实施例17-20的镀膜结构200在高温热处理前的铅笔硬度大于对比例11-12的镀膜结构200在高温热处理前的铅笔硬度，说明实施例17-20的镀膜结构200在高温热处理前也具有足够的硬度来满足异地加工的需求。
在表4和表5中，实施例17-20的镀膜结构200在经过高温热处理后的方块电阻R均能够降低至小于或等于0.9Ω/□，且在高温热处理前后的酒精擦拭均满足要求，以及在高温热处理前后的铅笔硬度均大于9H，证明了使用高功率脉冲磁控溅射电源(HiPIMS)不仅可以促进ZrOy陶瓷靶电离来提高溅射速率，同时制备的ZrOx层具有结构致密、表面光滑等优点，能够提高镀膜结构的硬度，提升了具有实施例17-20的镀膜结构200的镀膜玻璃的抗划伤能力和耐加工性能，而且能够在后续的运输、储存、搬运、加工过程中防止镀膜结构200被硬物划伤，有利于满足异地加工的需求。
以上对本申请实施例进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。

Claims (17)

1.一种镀膜玻璃，其特征在于，所述镀膜玻璃包括：
第一基板；及
镀膜结构，所述镀膜结构设置在所述第一基板的至少一个表面上，所述镀膜结构包括至少一个功能叠层和至少一个ZrOx层，每个所述功能叠层包括金属层和两个介质层，所述金属层位于两个所述介质层之间，所述ZrOx层位于所述介质层背离所述金属层的一侧，其中x满足1＜x≤2，所述ZrOx层的折射率n满足范围：2.00≤n≤2.18。
2.根据权利要求1所述的镀膜玻璃，其特征在于，所述镀膜结构的铅笔硬度大于或等于9H。
3.根据权利要求1所述的镀膜玻璃，其特征在于，所述金属层的材料选自银、金、铜、铝、铂金中的任意一种金属或金属合金，所述金属层的物理厚度为5nm～20nm。
4.根据权利要求1所述的镀膜玻璃，其特征在于，所述介质层的材料选自Zn、Mg、Sn、Ti、Nb、Zr、Ni、In、Al、Ce、W、Mo、Sb、Bi中的至少一种金属或金属合金的氧化物，所述介质层的物理厚度为5nm～30nm。
5.根据权利要求1所述的镀膜玻璃，其特征在于，所述镀膜结构包括依次层叠设置的最内附着层、第一功能叠层和最外保护层，所述最内附着层和所述最外保护层中的至少一个包括所述ZrOx层。
6.根据权利要求1所述的镀膜玻璃，其特征在于，所述镀膜结构包括依次层叠设置的最内附着层、第一功能叠层、第一中间层、第二功能叠层和最外保护层，所述最内附着层、所述第一中间层和所述最外保护层中的至少一个包括所述ZrOx层。
7.根据权利要求1所述的镀膜玻璃，其特征在于，所述镀膜结构包括依次层叠设置的最内附着层、第一功能叠层、第一中间层、第二功能叠层、第二中间层、第三功能叠层和最外保护层，所述最内附着层、所述第一中间层、所述第二中间层和所述最外保护层中的至少一个包括所述ZrOx层。
8.根据权利要求1所述的镀膜玻璃，其特征在于，所述镀膜结构包括依次层叠设置的最内附着层、第一功能叠层、第一中间层、第二功能叠层、第二中间层、第三功能叠层、第三中间层、第四功能叠层和最外保护层，所述最内附着层、所述第一中间层、所述第二中间层、所述第三中间层和所述最外保护层中的至少一个包括所述ZrOx层。
9.根据权利要求5-8任意一项所述的镀膜玻璃，其特征在于，所述最内附着层包括一个物理厚度为10nm～40nm的所述ZrOx层。
10.根据权利要求5-8任意一项所述的镀膜玻璃，其特征在于，所述最外保护层包括一个物理厚度为5nm～35nm的所述ZrOx层。
11.根据权利要求6-8任意一项所述的镀膜玻璃，其特征在于，所述第一中间层、所述第二中间层和所述第三中间层中的至少一个包括一个物理厚度为30nm～70nm的所述ZrOx层。
12.根据权利要求5-8任意一项所述的镀膜玻璃，其特征在于，所述最外保护层的具体结构为：TiOx层/ZnSnOx层/所述ZrOx层。
13.根据权利要求1所述的镀膜玻璃，其特征在于，所述ZrOx层的消光系数k小于或等于0.0001。
14.一种夹层玻璃，其特征在于，包括第二基板、粘结层和根据权利要求1-13任一项所述的镀膜玻璃，所述粘结层连接于所述第二基板与所述镀膜玻璃之间，所述镀膜结构位于所述第一基板和所述第二基板之间。
15.根据权利要求14所述的夹层玻璃，其特征在于，所述第一基板为透明玻璃或超透明玻璃，所述透明玻璃的总铁含量小于或等于0.1％，所述透明玻璃的可见光透过率大于或等于80％；所述超透明玻璃的总铁含量小于或等于0.015％，所述超透明玻璃的可见光透过率大于或等于90％。
16.一种镀膜玻璃的制备方法，其特征在于：
提供第一基板：
在所述第一基板的至少一个表面上通过磁控溅射工艺形成镀膜结构；
所述镀膜结构包括至少一个功能叠层和至少一个ZrOx层，每个所述功能叠层包括金属层和两个介质层，所述金属层位于所述两个介质层之间，任一所述ZrOx层形成于所述介质层背离所述金属层的一侧，其中x满足1＜x≤2，所述ZrOx层的折射率n满足范围：2.00≤n≤2.18。
17.根据权利要求16所述的镀膜玻璃的制备方法，其特征在于，磁控溅射所述ZrOx层的靶材电源为高功率脉冲磁控溅射电源，磁控溅射所述ZrOx层的靶材为ZrOy陶瓷靶，其中y满足1.4≤y＜2。
CN202311017339.8A 2023-08-11 2023-08-11 镀膜玻璃及其制备方法、夹层玻璃 Pending CN117105538A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202311017339.8A CN117105538A (zh) 2023-08-11 2023-08-11 镀膜玻璃及其制备方法、夹层玻璃

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202311017339.8A CN117105538A (zh) 2023-08-11 2023-08-11 镀膜玻璃及其制备方法、夹层玻璃

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN117105538A true CN117105538A (zh) 2023-11-24

Family

ID=88803149

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202311017339.8A Pending CN117105538A (zh) 2023-08-11 2023-08-11 镀膜玻璃及其制备方法、夹层玻璃

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN117105538A (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2183102B1 (en) Vehicle transparency
EP1910242B1 (en) Heatable windshield
US5902505A (en) Heat load reduction windshield
JP4310872B2 (ja) ガラス積層体、機能性透明物品およびその製造方法
JP5851495B2 (ja) 太陽光制御板ガラス
US7638184B2 (en) Laminated glass for vehicle window
US4782216A (en) Electrically heatable laminated window
AU600848B2 (en) Electrically heatable laminated window
EP1923362B1 (en) Infrared reflective glass plate and laminated glass for vehicle window
CN102807330B (zh) 一种高红外反射的低辐射镀膜玻璃及其夹层玻璃制品
EP4361113A1 (en) Coated glass and laminated glass
CN102786231B (zh) 一种可热处理的低辐射镀膜玻璃及其夹层玻璃制品
JP2000129464A (ja) 薄膜積層体を備えた透明基板
JP2008511529A (ja) 赤外線および／または太陽光線を反射する薄膜積層体および加熱手段を備えた積層板ガラス
EP3948370A1 (en) Coating for a heads-up display with low visible light reflectance
JP2003507305A (ja) 窓ガラス
JP3226953B2 (ja) 積層ガラス構造
CN217265466U (zh) 一种含有晶态银层的低辐射镀膜夹层玻璃
JPH10182192A (ja) 断熱ガラス
CN117105538A (zh) 镀膜玻璃及其制备方法、夹层玻璃
CN114043787B (zh) 一种低辐射复合玻璃及天窗
CN117164249A (zh) 镀膜玻璃及其制备方法、夹层玻璃
CN117645417A (zh) 镀膜玻璃及其制备方法、夹层玻璃
CN117601524A (zh) 镀膜玻璃及其制备方法、夹层玻璃
CN117567046A (zh) 镀膜玻璃及其制备方法、夹层玻璃

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination