CN117090974A - 用于12英寸晶圆半导体制造的清洗配液阀 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种用于12英寸晶圆半导体制造的清洗配液阀，包括主阀体组件和安装在主阀体组件上的n个配液阀组件，主阀体组件的主阀体设有位于轴向中央的开口向右的配液管路及设于左侧且与配液管路垂直贯通的进液管路；主阀体在配液管路侧设有n组配液阀安装孔组，配液阀安装孔组包括开口向上的配液阀芯槽、位于配液阀芯槽正下方且与配液阀芯槽贯通的第二配液管路和位于配液阀芯槽前方且与配液阀芯槽贯通的第二进液管路，第二进液管路从前侧与配液阀芯槽中下部贯通；第二配液管路向下与配液管路贯通。第一活塞与第一膜片控制主阀体启闭，配液阀组件的第二活塞与第二膜片控制配液阀启闭。该阀能同时实现超纯水输送及多种化学品的配液。
Description
技术领域
本发明涉及阀门领域，特别涉及一种用于半导体制造的清洗配液阀。
背景技术
目前国内半导体及光伏领域正在高速发展，而硅片是光伏发电的主要材料，半导体硅材料是最主要的元素半导体材料，因此光伏属于泛半导体行业。而半导体行业的不断发展使得各种强酸、强碱、强氧化性等介质的应用不断提高。在半导体制造领域，特别是芯片制造流程中，例如芯片的蚀刻工艺，其需要前处理：通过对材质表面的油污、灰尘、污垢及氧化膜喷油进行清除；然后压合（贴膜）：按要求双面涂布感光胶。再曝光：通过光掩膜紫外线曝光转移成像；再显影：曝光后对图案进行固化，暴露出腐蚀部分，并清除产品不需要的感光胶层；再干燥：清除感光胶使金属表面清洁，无黏连、杂质等；再蚀刻：通过蚀刻液对金属进行腐蚀，其过程涉及溶液的浓度、温度、压力、速度等参数；最后剥离（脱落作业）：蚀刻后残留的感光胶层采用酸碱中和法进行膨化，利用清水和超声波清洗多余的感光胶层；其工艺流程中几乎每一部都需要清洗操作，半导体的清洗操作需要匹配相应的阀组，同时满足超纯水输送及至少5种化学品配液的工艺需求，而传统管组系统的体积非常大，是采用五组阀路系统组合形成，为了配套国内自主研发高端12英寸晶圆清洗设备开发，急需相应的具有自主知识产权的清洗配液阀。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种能同时实现超纯水输送及多种化学品配液的用于12英寸晶圆半导体制造的清洗配液阀。
实现本发明目的的技术方案是提供一种用于12英寸晶圆半导体制造的清洗配液阀，包括主阀体组件和安装在主阀体组件上的n个配液阀组件，n≥2；
主阀体组件包括第一腔体、第一活塞、第一膜片和主阀体；主阀体是具有倒L形主管路的且具有右侧连接端和下侧连接端的阀体，主阀体整体呈长方体形，设有位于轴向中央的开口向右的配液管路及设于左侧且与配液管路垂直贯通的进液管路；主阀体的左下部设有矩形的缺口，缺口中央设有具有外螺纹的下侧连接端，下侧连接端内设有上下贯通的通孔即进液管路，主阀体的左部还设有开口向上的且与进液管路贯通的阀芯槽，阀芯槽的直径大于进液管路；主阀体的轴向中央设有向右开口的通孔即配液管路，配液管路从右侧与阀芯槽中下部贯通。主阀体在配液管路侧设有n组配液阀安装孔组，配液阀安装孔组包括开口向上的配液阀芯槽、位于配液阀芯槽正下方且与配液阀芯槽贯通的第二配液管路和位于配液阀芯槽前方且与配液阀芯槽贯通的第二进液管路，配液阀芯槽呈上大下小的倒圆台状而具有向下导流性且向下与配液管路贯通，配液阀芯槽的直径大于第二配液管路；第二进液管路从前侧与配液阀芯槽中下部贯通；第二配液管路向下与配液管路贯通。
第一膜片即主阀体阀芯，第一膜片安装在主阀体的阀芯槽处，第一活塞与第一膜片上下传动连接，第一腔体安装在主阀体上且位于阀芯槽的正上方，第一活塞与第一膜片受第一腔体支撑并导向限位；
每个配液阀组件包括第二腔体、第二活塞和第二膜片；第二膜片即配液阀阀芯，第二膜片安装在主阀体的相应配液阀芯槽处，第二活塞与第二膜片上下传动连接，第二腔体均安装在主阀体上且位于相应的配液阀芯槽的正上方，第二活塞与第二膜片受相应的第二腔体支撑并导向限位。
进一步的，主阀体的左部上端面边缘设有一圈方形的台阶部而形成第一腔体安装槽，且阀芯槽的上部外圈设有环形的第一膜片接插槽；
第一膜片是呈两端大中间小的三段状膜片，其中段呈杆状；下段呈渐大的盘状，且下段底面边缘具有环形的密封圈设计；上段呈渐大的盘状，且上段的上部呈圆台状，上段的中央设有开口向上的具有内螺纹的第一连接盲孔；上段与中段的连接处设有能上下弹性弯曲的喇叭状的第一弹性环部，第一弹性环部的外周设有环形的与第一膜片接插槽对应的第一接插部。
第一腔体呈与主阀体的左部对应的方型，其下端面边缘设有与第一腔体安装槽对应的台阶状的第一安装部，下端面中央设有第一连接颈部，第一连接颈部周向设有环形的开口向外的第一O型圈槽；第一腔体的上端面边缘设有一圈方形的台阶部而形成第一端盖安装槽；第一腔体设有上下贯通的四段状第一中央通孔，其中位于下方的第一段和第二段第一中央通孔的形状与第一膜片的第一弹性环部和圆台状的上部对应以使第一膜片的上部能向上插入、第一弹性环部能贴合；第一腔体的第三段第一中央通孔与第二段第一中央通孔的连接处设有向上延伸的第一活塞下导向圈；第四段第一中央通孔大于第三段第一中央通孔而使得第四段第一中央通孔与第三段第一中央通孔连接处呈台阶状。第一腔体的第二段第一中央通孔处的内壁设有与外界贯通的第一通气孔，第一腔体设有与第三段第一中央通孔贯通的第一气连接端。
第一活塞包括第一杆部和连接在第一杆部中央的盘状的第一限位部，第一杆部的上中部设有第二O型圈槽、下中部设有第五O型圈槽，第一限位部的周壁设有环形的第三O型圈槽，第一杆部的下端设有与第一连接盲孔对应的第一螺纹连接头，第一杆部设有开口向上的第一指示杆盲孔，第一指示杆盲孔具有内螺纹。第一限位部的直径与第一腔体的第四段第一中央通孔对应，第一杆部的下部的直径与第一活塞下导向圈的内径对应。
第一膜片由其第一接插部紧配合插入主阀体的的第一膜片接插槽中而安装在主阀体上，第一腔体由其第一安装部卡接在主阀体的第一腔体安装槽中而安装在主阀体上，且第一腔体的下端面压紧第一膜片的第一接插部；第一活塞的第一杆部穿过第一活塞下导向圈，第一活塞由其第一杆部的第一螺纹连接头旋合插入第一膜片的第一连接盲孔中而与第一膜片上下传动连接，第一限位部位于第一腔体的第四段第一中央通孔内且能在第四段第一中央通孔内上下滑动。
进一步的，主阀体组件还包括第一透明罩、第一端盖和第一指示杆；
第一端盖开口向下，其下端设有第二连接颈部，第二连接颈部周向设有环形的开口向外的第四O型圈槽，第一端盖的轴向中央设有环形的第一活塞上导向圈，第一端盖由于设置第一活塞上导向圈而具有上下贯通的第二中央通孔，第二中央通孔的上部设有内螺纹，第一活塞上导向圈的内径即第二中央通孔的孔径与第一杆部的上部的直径对应。第一端盖设有与其内部贯通的第二气连接端。
第一底座与主阀体的左下部的矩形的缺口的形状对应。
第一端盖由其第二连接颈部插入第一腔体内，且第一端盖的边缘插入第一端盖安装槽中，第一端盖的第一活塞上导向圈套在第一活塞的第一杆部的上中部；第一指示杆螺纹旋合在第一活塞的第一指示杆盲孔内并向上露出，第一透明罩螺纹旋合在第一端盖的第二中央通孔的内螺纹上部而安装在第一端盖上；第一底座套在主阀体的下侧连接端最上部，且位于主阀体的左下部的矩形的缺口内；通过紧固件将第一端盖、第一腔体、主阀体和第一底座连接在一起，从而将第一端盖、第一腔体、第一底座安装在主阀体上。
进一步的，主阀体组件还包括第一承口螺帽、第一密封套、第一底座、第一O型圈、第二O型圈、第三O型圈、第四O型圈和第五O型圈；
第一O型圈设置在第一O型圈槽内即密封于主阀体与第一腔体之间，第二O型圈设置在第二O型圈槽内即密封于第一腔体与第一活塞的第一杆部之间，第三O型圈设置在第三O型圈槽内即密封于第一腔体与第一活塞的第一限位部之间，第四O型圈设置在第四O型圈槽内即密封于第一腔体与第一端盖之间，第五O型圈设置在第五O型圈槽内即密封于第一活塞的第一杆部与第一端盖之间。两个第一密封套分别紧配合设置在主阀体的下侧连接端内和右侧连接端内，两个第一承口螺帽分别螺纹旋合在主阀体的下侧连接端外和右侧连接端外。
进一步的，主阀体组件还包括第一弹簧；第一弹簧套在第一腔体的第一活塞下导向圈外且位于第一腔体的第一活塞下导向圈与第三段第一中央通孔孔壁之间，第一弹簧对第一活塞的第一限位部下端面施力。
进一步的，主阀体组件还包括第一弹簧；第一弹簧套在第一端盖的第一活塞上导向圈外，第一弹簧对第一活塞的第一限位部上端面施力。
进一步的，主阀体在每个配液阀芯槽处的上端面均设有一圈方形的台阶部而形成第二腔体安装槽，且配液阀芯槽的上部外圈设有环形的第二膜片接插槽；每个第二配液管路的两侧均设有前后贯通的圆柱螺母孔。主阀体的前端面在每个第二进液管路的进端设有具有外螺纹的第二连接端；
主阀体组件还包括第二承口螺帽和第二密封套；第二承口螺帽和第二密封套的数量为n个，第二密封套分别紧配合设置在主阀体的相应第二连接端内，第二承口螺帽分别螺纹旋合在主阀体的第二连接端外。
第二膜片呈两端大中间小状，其上中段呈杆状；下段呈渐大的盘状，且下段底面边缘具有环形的密封圈设计；上段的中央设有开口向上的具有内螺纹的第二连接盲孔；上段外周设有能上下弹性弯曲的喇叭状的第二弹性环部，第二弹性环部的外周设有环形的与第二膜片接插槽对应的第二接插部。
第二腔体呈与主阀体的左部对应的方型，其下端面边缘设有与第二腔体安装槽对应的台阶状的第二安装部，下端面中央设有第三连接颈部，第三连接颈部周向设有环形的开口向外的第六O型圈槽；第二腔体的上端面边缘设有一圈方形的台阶部而形成第二端盖安装槽；第二腔体设有上下贯通的四段状第三中央通孔，其中位于下方的第一段和第二段第三中央通孔的形状与第二膜片的第二弹性环部和杆状的上部对应以使第二膜片的上部能向上插入、第二弹性环部能贴合；第二腔体的第三段第三中央通孔与第二段第三中央通孔的连接处设有向上延伸的第二活塞下导向圈；第四段第三中央通孔大于第三段第三中央通孔而使得第四段第三中央通孔与第三段第三中央通孔连接处呈台阶状。第二腔体的第二段第三中央通孔处的内壁设有与外界贯通的第二通气孔，第二腔体设有与第三段第三中央通孔贯通的第三气连接端。
第二活塞包括第二杆部和连接在第二杆部中央的盘状的第二限位部，第二杆部的上中部和下中部均设有第七O型圈槽，第二限位部的周壁设有环形的第八O型圈槽，第二杆部的下端设有与第二连接盲孔对应的第二螺纹连接头，第二杆部设有开口向上的第二指示杆盲孔，第二指示杆盲孔具有内螺纹。第二限位部的直径与第二腔体的第四段第三中央通孔对应，第二杆部的下部的直径与第二活塞下导向圈的内径对应。
第二膜片由其第二接插部紧配合插入主阀体的相应第二膜片接插槽中而安装在主阀体上，第二腔体由其第二安装部卡接在主阀体的第二腔体安装槽中而安装在主阀体上，且第二腔体的下端面压紧第二膜片的第二接插部；第二活塞的第二杆部穿过第二活塞下导向圈，第二活塞由其第二杆部的第二螺纹连接头旋合插入第二膜片的第二连接盲孔中而与第二膜片上下传动连接，第二限位部位于第二腔体的第四段第三中央通孔内且能在第四段第三中央通孔内上下滑动。
进一步的，每个配液阀组件还包括第二透明罩、第二端盖、第二指示杆、第六O型圈、两个第七O型圈、第八O型圈、第九O型圈、第二锥形盖、第二内六角圆柱头螺钉、第二弹垫、第二平垫、圆柱螺母 和第一锥形盖。
第二端盖开口向下，其下端设有第四连接颈部，第四连接颈部周向设有环形的开口向外的第九O型圈槽，第二端盖的轴向中央设有环形的第二活塞上导向圈，第二端盖由于设置第二活塞上导向圈而具有上下贯通的第四中央通孔，第四中央通孔的上部设有内螺纹，第二活塞上导向圈的内径即第四中央通孔的孔径与第二杆部的上部的直径对应。第二端盖设有与其内部贯通的第四气连接端。
第二端盖由其第四连接颈部插入第二腔体内，且第二端盖的边缘插入第二端盖安装槽中，第二端盖的第二活塞上导向圈套在第二活塞的第二杆部的上中部；第二指示杆螺纹旋合在第二活塞的第二指示杆盲孔内并向上露出，第二透明罩螺纹旋合在第二端盖的第四中央通孔的内螺纹上部而安装在第二端盖上；第六O型圈设置在第六O型圈槽内即密封于主阀体与第二腔体之间，一个第七O型圈设置在下方的第七O型圈槽内即密封于第二腔体与第二活塞的第二杆部之间，另一个第七O型圈设置在上方的第七O型圈槽内即密封于第二活塞的第二杆部与第二端盖之间，第八O型圈设置在第八O型圈槽内即密封于第二腔体与第二活塞的第二限位部之间，第九O型圈设置在第九O型圈槽内即密封于第二腔体与第二端盖之间。通过紧固件将第二端盖、第二腔体和主阀体连接在一起，从而将第二端盖及第二腔体安装在主阀体上，具体来讲，将两根第二内六角圆柱头螺钉分别穿过相应的第二弹垫、第二平垫后再穿过第二端盖、第二腔体左侧的前后角相应两个连接孔后穿过主阀体再旋合穿过位于主阀体的圆柱螺母孔内的相应圆柱螺母的相应螺孔，将另外两根第二内六角圆柱头螺钉分别穿过相应的第二弹垫、第二平垫后再穿过第二端盖、第二腔体右侧的前后角相应两个连接孔后穿过主阀体再旋合穿过位于主阀体的圆柱螺母孔内的相应圆柱螺母的相应螺孔，从而第二端盖及第二腔体安装在主阀体上，第二端盖的上方四角设置第二锥形盖遮蔽密封，主阀体的各圆柱螺母孔的前后开口处设置第一锥形盖以遮蔽。
进一步的，每个配液阀组件还包括第二弹簧。第二弹簧套在第二端盖的第二活塞上导向圈外，第二弹簧对第二活塞的第二限位部上端面施力。
进一步的，每个配液阀组件还包括第二弹簧；第二弹簧套在第二腔体的第二活塞下导向圈外且对第二活塞的第二限位部下端面施力。
本发明具有积极的效果：（1）本发明的用于12英寸晶圆半导体制造的清洗配液阀针对国内半导体12英寸晶圆清洗工艺需求，同时实现超纯水输送及多种化学品的配液，大大节省了阀门占用空间，大大节省配液系统的体积，外形体积仅为传统管路系统设计的五分之一，高度集成，占用空间较小，适用于半导体制造。
（2）本发明的用于12英寸晶圆半导体制造的清洗配液阀的主阀体是具有倒L形主管路的且具有右侧连接端和下侧连接端的阀体，主阀体整体呈长方体形，设有位于轴向中央的开口向右的配液管路及设于左侧且与配液管路垂直贯通的进液管路；主阀体在配液管路侧设有n组配液阀安装孔组，配液阀安装孔组包括开口向上的配液阀芯槽、位于配液阀芯槽正下方且与配液阀芯槽贯通的第二配液管路和位于配液阀芯槽前方且与配液阀芯槽贯通的第二进液管路，第二进液管路从前侧与配液阀芯槽中下部贯通；第二配液管路向下与配液管路贯通。主阀体的该设计将配液管路与第二配液管路通过一个阀体设计在一起，极大的减少了配液系统的体积，主阀体和配液阀分别通过相应的膜片和活塞传动控制启闭，较为灵活，在保证体积小的前提下，可灵活配置配液阀管路的使用数量及启闭数量，且配置较为方便，适用于半导体设计。
（3）本发明的用于12英寸晶圆半导体制造的清洗配液阀的主阀体的第一弹簧可以设置为第一弹簧套在第一端盖的第一活塞上导向圈外，第一弹簧对第一活塞的第一限位部上端面施力，配合采用第二气连接端p2，或设置为第一弹簧套在第一腔体的第一活塞下导向圈外且位于第一腔体的第一活塞下导向圈与第三段第一中央通孔孔壁之间，第一弹簧对第一活塞的第一限位部下端面施力，从而配合采用第一气连接端p1，来控制主阀体的启闭，同理，配液阀的第二弹簧也可以设置于第二活塞的第二限位部的上方或下方来控制配液阀的启闭，针对不同的使用场景，将第一弹簧和第二弹簧设置上方或下方，从而选择性使用第一气连接端p1或第二气连接端p2、第三气连接端p3或第四气连接端p4，以应对不同的制造场景需求，适应性较好。且通过更换位置可以增加使用寿命。
（4）本发明的用于12英寸晶圆半导体制造的清洗配液阀的通过较多数量的O型圈的设计，使得密封效果较好，利于应用于化学品的配液。
附图说明
图1为本发明的用于12英寸晶圆半导体制造的清洗配液阀的一种结构示意图（主视图）；
图2为图1的俯视图；
图3为本发明的用于12英寸晶圆半导体制造的清洗配液阀的一种立体结构示意图；
图4为图2的A-A面剖视图；
图5为图2的B-B面剖视图；
图6为图1的C-C面剖视图；
图7为图2的D-D面剖视图；
图8为主阀体的一种结构示意图；
图9为第一膜片的一种结构示意图。
上述附图中的标记如下：
第一透明罩101，第一端盖102，第二气连接端p2，第一指示杆103，第一腔体104，第一活塞下导向圈104-1，第一通气孔h1，第一气连接端p1，第一活塞105，第一膜片106，第一弹性环部106-1，主阀体107，阀芯槽107-1，配液阀芯槽107-2，第二连接端107-3，第一承口螺帽108，第一密封套109，第一底座110，第一O型圈111，第二O型圈112，第三O型圈113，第四O型圈114，第五O型圈115，第一弹簧116，第二承口螺帽117，第二密封套118，
第二透明罩201，第二端盖202，第四气连接端p4，第二指示杆203，第二腔体204，第二通气孔h2，第三气连接端p3，第二活塞205，第二膜片206，第二弹性环部206-1，第六O型圈207，第七O型圈208，第八O型圈209，第九O型圈210，第二弹簧211，第二锥形盖212，第二内六角圆柱头螺钉213，第二弹垫214，第二平垫215，圆柱螺母 216，第一锥形盖217。
具体实施方式
（实施例1）
见图1至图7，本实施例的用于12英寸晶圆半导体制造的清洗配液阀包括主阀体组件和安装在主阀体组件上的n个配液阀组件。
主阀体组件包括第一透明罩101、第一端盖102、第一指示杆103、第一腔体104、第一活塞105、第一膜片106、主阀体107、第一承口螺帽108、第一密封套109、第一底座110、第一O型圈111、第二O型圈112、第三O型圈113、第四O型圈114、第五O型圈115、第一弹簧116、第二承口螺帽117和第二密封套118。
见图8，主阀体107是具有倒L形主管路的且具有右侧连接端和下侧连接端的阀体，主阀体107整体呈长方体形，设有位于轴向中央的开口向右的配液管路及设于左侧且与配液管路垂直贯通的进液管路；主阀体107的左下部设有矩形的缺口，缺口中央设有具有外螺纹的下侧连接端，下侧连接端内设有上下贯通的通孔即进液管路，主阀体107的左部还设有开口向上的且与进液管路贯通的阀芯槽107-1，阀芯槽107-1的直径大于进液管路；主阀体107的左部上端面边缘设有一圈方形的台阶部而形成第一腔体安装槽，且阀芯槽107-1的上部外圈设有环形的第一膜片接插槽；主阀体107的轴向中央设有向右开口的通孔即配液管路，配液管路从右侧与阀芯槽107-1中下部贯通。主阀体107在配液管路侧设有n组配液阀安装孔组，n≥2，本实施例中主阀体107在配液管路侧设有5组配液阀安装孔组，配液阀安装孔组包括开口向上的配液阀芯槽107-2、位于配液阀芯槽107-2正下方且与配液阀芯槽107-2贯通的第二配液管路和位于配液阀芯槽107-2前方且与配液阀芯槽107-2贯通的第二进液管路，配液阀芯槽107-2呈上大下小的倒圆台状而具有向下导流性，配液阀芯槽107-2的直径大于第二配液管路；第二进液管路从前侧与配液阀芯槽107-2中下部贯通，主阀体107在每个配液阀芯槽107-2处的上端面均设有一圈方形的台阶部而形成第二腔体安装槽，且配液阀芯槽107-2的上部外圈设有环形的第二膜片接插槽；主阀体107的前端面在每个第二进液管路的进端设有具有外螺纹的第二连接端107-3；第二配液管路向下与配液管路贯通。每个第二配液管路的两侧均设有前后贯通的圆柱螺母孔。
见图9，第一膜片106即主阀体阀芯，第一膜片106是呈两端大中间小的三段状膜片，其中段呈杆状；下段呈渐大的盘状，且下段底面边缘具有环形的密封圈设计；上段呈渐大的盘状，且上段的上部呈圆台状，上段的中央设有开口向上的具有内螺纹的第一连接盲孔；上段与中段的连接处设有能上下弹性弯曲的喇叭状的第一弹性环部106-1，第一弹性环部106-1的外周设有环形的与第一膜片接插槽对应的第一接插部。
第一腔体104呈与主阀体107的左部对应的方型，其下端面边缘设有与第一腔体安装槽对应的台阶状的第一安装部，下端面中央设有第一连接颈部，第一连接颈部周向设有环形的开口向外的第一O型圈槽；第一腔体104的上端面边缘设有一圈方形的台阶部而形成第一端盖安装槽；第一腔体104设有上下贯通的四段状第一中央通孔，其中位于下方的第一段和第二段第一中央通孔的形状与第一膜片106的第一弹性环部106-1和圆台状的上部对应以使第一膜片106的上部能向上插入、第一弹性环部106-1能贴合；第一腔体104的第三段第一中央通孔与第二段第一中央通孔的连接处设有向上延伸的第一活塞下导向圈104-1；第四段第一中央通孔大于第三段第一中央通孔而使得第四段第一中央通孔与第三段第一中央通孔连接处呈台阶状。第一腔体104的第二段第一中央通孔处的内壁设有与外界贯通的第一通气孔h1，第一腔体104设有与第三段第一中央通孔贯通的第一气连接端p1。
第一活塞105包括第一杆部和连接在第一杆部中央的盘状的第一限位部，第一杆部的上中部设有第二O型圈槽、下中部设有第五O型圈槽，第一限位部的周壁设有环形的第三O型圈槽，第一杆部的下端设有与第一连接盲孔对应的第一螺纹连接头，第一杆部设有开口向上的第一指示杆盲孔，第一指示杆盲孔具有内螺纹。第一限位部的直径与第一腔体104的第四段第一中央通孔对应，第一杆部的下部的直径与第一活塞下导向圈104-1的内径对应。
第一端盖102开口向下，其下端设有第二连接颈部，第二连接颈部周向设有环形的开口向外的第四O型圈槽，第一端盖102的轴向中央设有环形的第一活塞上导向圈，第一端盖102由于设置第一活塞上导向圈而具有上下贯通的第二中央通孔，第二中央通孔的上部设有内螺纹，第一活塞上导向圈的内径即第二中央通孔的孔径与第一杆部的上部的直径对应。第一端盖102设有与其内部贯通的第二气连接端p2。
第一底座110与主阀体107的左下部的矩形的缺口的形状对应。
第一膜片106由其第一接插部紧配合插入主阀体107的的第一膜片接插槽中而安装在主阀体107上，第一腔体104由其第一安装部卡接在主阀体107的第一腔体安装槽中而安装在主阀体107上，且第一腔体104的下端面压紧第一膜片106的第一接插部；第一活塞105的第一杆部穿过第一活塞下导向圈104-1，第一活塞105由其第一杆部的第一螺纹连接头旋合插入第一膜片106的第一连接盲孔中而与第一膜片106上下传动连接，第一限位部位于第一腔体104的第四段第一中央通孔内且能在第四段第一中央通孔内上下滑动；第一端盖102由其第二连接颈部插入第一腔体104内，且第一端盖102的边缘插入第一端盖安装槽中，第一端盖102的第一活塞上导向圈套在第一活塞105的第一杆部的上中部；第一指示杆103螺纹旋合在第一活塞105的第一指示杆盲孔内并向上露出，第一透明罩101螺纹旋合在第一端盖102的第二中央通孔的内螺纹上部而安装在第一端盖102上；第一底座110套在主阀体107的下侧连接端最上部，且位于主阀体107的左下部的矩形的缺口内；第一弹簧116套在第一腔体104的第一活塞下导向圈104-1外且位于第一腔体104的第一活塞下导向圈104-1与第三段第一中央通孔孔壁之间，第一弹簧116对第一活塞105的第一限位部下端面施力。第一O型圈111设置在第一O型圈槽内即密封于主阀体107与第一腔体104之间，第二O型圈112设置在第二O型圈槽内即密封于第一腔体104与第一活塞105的第一杆部之间，第三O型圈113设置在第三O型圈槽内即密封于第一腔体104与第一活塞105的第一限位部之间，第四O型圈114设置在第四O型圈槽内即密封于第一腔体104与第一端盖102之间，第五O型圈115设置在第五O型圈槽内即密封于第一活塞105的第一杆部与第一端盖102之间。见图4，通过紧固件将第一端盖102、第一腔体104、主阀体107和第一底座110连接在一起，从而将第一端盖102、第一腔体104、第一底座110安装在主阀体107上。两个第一密封套109分别紧配合设置在主阀体107的下侧连接端内和右侧连接端内，两个第一承口螺帽108分别螺纹旋合在主阀体107的下侧连接端外和右侧连接端外。第二承口螺帽117和第二密封套118的数量为n个，第二密封套118分别紧配合设置在主阀体107的相应第二连接端107-3内，第二承口螺帽117分别螺纹旋合在主阀体107的第二连接端107-3外。
配液阀组件包括第二透明罩201、第二端盖202、第二指示杆203、第二腔体204、第二活塞205、第二膜片206、第六O型圈207、两个第七O型圈208、第八O型圈209、第九O型圈210、第二弹簧211、第二锥形盖212、第二内六角圆柱头螺钉213、第二弹垫214、第二平垫215、圆柱螺母 216和第一锥形盖217。
第二膜片206即配液阀阀芯，第二膜片206呈两端大中间小状，其上中段呈杆状；下段呈渐大的盘状，且下段底面边缘具有环形的密封圈设计；上段的中央设有开口向上的具有内螺纹的第二连接盲孔；上段外周设有能上下弹性弯曲的喇叭状的第二弹性环部206-1，第二弹性环部206-1的外周设有环形的与第二膜片接插槽对应的第二接插部。
第二腔体204呈与主阀体107的左部对应的方型，其下端面边缘设有与第二腔体安装槽对应的台阶状的第二安装部，下端面中央设有第三连接颈部，第三连接颈部周向设有环形的开口向外的第六O型圈槽；第二腔体204的上端面边缘设有一圈方形的台阶部而形成第二端盖安装槽；第二腔体204设有上下贯通的四段状第三中央通孔，其中位于下方的第一段和第二段第三中央通孔的形状与第二膜片206的第二弹性环部206-1和杆状的上部对应以使第二膜片206的上部能向上插入、第二弹性环部206-1能贴合；第二腔体204的第三段第三中央通孔与第二段第三中央通孔的连接处设有向上延伸的第二活塞下导向圈；第四段第三中央通孔大于第三段第三中央通孔而使得第四段第三中央通孔与第三段第三中央通孔连接处呈台阶状。第二腔体204的第二段第三中央通孔处的内壁设有与外界贯通的第二通气孔h2，第二腔体204设有与第三段第三中央通孔贯通的第三气连接端p3。
第二活塞205包括第二杆部和连接在第二杆部中央的盘状的第二限位部，第二杆部的上中部和下中部均设有第七O型圈槽，第二限位部的周壁设有环形的第八O型圈槽，第二杆部的下端设有与第二连接盲孔对应的第二螺纹连接头，第二杆部设有开口向上的第二指示杆盲孔，第二指示杆盲孔具有内螺纹。第二限位部的直径与第二腔体204的第四段第三中央通孔对应，第二杆部的下部的直径与第二活塞下导向圈的内径对应。
第二端盖202开口向下，其下端设有第四连接颈部，第四连接颈部周向设有环形的开口向外的第九O型圈槽，第二端盖202的轴向中央设有环形的第二活塞上导向圈，第二端盖202由于设置第二活塞上导向圈而具有上下贯通的第四中央通孔，第四中央通孔的上部设有内螺纹，第二活塞上导向圈的内径即第四中央通孔的孔径与第二杆部的上部的直径对应。第二端盖202设有与其内部贯通的第四气连接端p4。
第二膜片206由其第二接插部紧配合插入主阀体107的相应第二膜片接插槽中而安装在主阀体107上，第二腔体204由其第二安装部卡接在主阀体107的第二腔体安装槽中而安装在主阀体107上，且第二腔体204的下端面压紧第二膜片206的第二接插部；第二活塞205的第二杆部穿过第二活塞下导向圈，第二活塞205由其第二杆部的第二螺纹连接头旋合插入第二膜片206的第二连接盲孔中而与第二膜片206上下传动连接，第二限位部位于第二腔体204的第四段第三中央通孔内且能在第四段第三中央通孔内上下滑动；第二端盖202由其第四连接颈部插入第二腔体204内，且第二端盖202的边缘插入第二端盖安装槽中，第二端盖202的第二活塞上导向圈套在第二活塞205的第二杆部的上中部；第二指示杆203螺纹旋合在第二活塞205的第二指示杆盲孔内并向上露出，第二透明罩201螺纹旋合在第二端盖202的第四中央通孔的内螺纹上部而安装在第二端盖202上；第二弹簧211套在第二端盖202的第二活塞上导向圈外，第二弹簧211对第二活塞205的第二限位部上端面施力。第六O型圈207设置在第六O型圈槽内即密封于主阀体107与第二腔体204之间，一个第七O型圈208设置在下方的第七O型圈槽内即密封于第二腔体204与第二活塞205的第二杆部之间，另一个第七O型圈208设置在上方的第七O型圈槽内即密封于第二活塞205的第二杆部与第二端盖202之间，第八O型圈209设置在第八O型圈槽内即密封于第二腔体204与第二活塞205的第二限位部之间，第九O型圈210设置在第九O型圈槽内即密封于第二腔体204与第二端盖202之间。通过紧固件将第二端盖202、第二腔体204和主阀体107连接在一起，从而将第二端盖202及第二腔体204安装在主阀体107上，具体来讲，见图5，将两根第二内六角圆柱头螺钉213分别穿过相应的第二弹垫214、第二平垫215后再穿过第二端盖202、第二腔体204左侧的前后角相应两个连接孔后穿过主阀体107再旋合穿过位于主阀体107的圆柱螺母孔内的相应圆柱螺母216的相应螺孔，将另外两根第二内六角圆柱头螺钉213分别穿过相应的第二弹垫214、第二平垫215后再穿过第二端盖202、第二腔体204右侧的前后角相应两个连接孔后穿过主阀体107再旋合穿过位于主阀体107的圆柱螺母孔内的相应圆柱螺母216的相应螺孔，从而第二端盖202及第二腔体204安装在主阀体107上，第二端盖202的上方四角设置第二锥形盖212遮蔽密封，主阀体107的各圆柱螺母孔的前后开口处设置第一锥形盖217以遮蔽，起密封防止酸气腐蚀作用。
本实施例的用于12英寸晶圆半导体制造的清洗配液阀使用时，将主阀体107的进液管路与相应管道通过第一承口螺帽108和第一密封套109连接，将主阀体107的配液管路的右端开口与相应管道通过第一承口螺帽108和第一密封套109连接，将主阀体107的所有第二进液管路与相应管道通过第二承口螺帽117和第二密封套118连接，将第一气连接端p1、第二气连接端p2、第三气连接端p3及第四气连接端p4分别与气源的接口螺纹连接，气源通过第一气连接端p1和第二气连接端p2驱动第一活塞105动作、通过第三气连接端p3和第四气连接端p4驱动各第二活塞205缓慢动作，实现整个用于12英寸晶圆半导体制造的清洗配液阀的超纯水输送及n种化学品的配液操作，具体来讲，第一活塞105驱动第一膜片106上下运动，从而控制进液管路的启闭，通过第一透明罩101可以观察第一指示杆103的位置，来判断主阀体107处于开启还是闭合状态，图7所示的用于12英寸晶圆半导体制造的清洗配液阀的进液管路处于闭合状态，第一膜片106将液质通道封闭，实施进液管路的开启操控后，第一气连接端p1泄压，第一弹簧116的弹力推动第一活塞105带动第一膜片106向上运动，主阀体107打开，也可由第二气连接端p2进气辅助打开主阀体107；实施主阀体107的的闭合操控后，第一气连接端p1充气，使得第一活塞105克服第一弹簧116的弹力带动第一膜片106向下运动，主阀体107关闭，此时第二气连接端p2应处于泄压状态。同理，各配液阀组件采用同样的模式控制启闭，各第二活塞205驱动第二膜片206上下运动，从而控制进液管路的启闭，通过第二透明罩201可以观察第二指示杆203的位置，来判断各配液阀处于开启还是闭合状态，图7所示的用于12英寸晶圆半导体制造的清洗配液阀的各配液阀处于闭合状态，第二膜片206将液质通道封闭，实施相应配液阀的开启操控后，第四气连接端p4充气，使得第二活塞205克服第二弹簧211的弹力带动第二膜片206向上运动，相应配液阀开启，此时第三气连接端p3应处于泄压状态。实施相应配液阀的闭合操控后，第四气连接端p4泄压，使得第二弹簧211的弹力推动第二活塞205带动第二膜片206向下运动，相应配液阀关闭，也可由第三气连接端p3进气辅助打开相应配液阀。如图2所示，第一气连接端p1、第二气连接端p2、第三气连接端p3及第四气连接端p4的设计使得可根据使用场景的不同，将第一弹簧105和第二弹簧205设置上方或下方，从而选择性使用第一气连接端p1或第二气连接端p2、第三气连接端p3或第四气连接端p4，以应对不同的制造场景需求，适应性较好。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而这些属于本发明的精神所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之中。
Claims (10)
1.一种用于12英寸晶圆半导体制造的清洗配液阀，其特征在于：包括主阀体组件和安装在主阀体组件上的n个配液阀组件，n≥2；
主阀体组件包括第一腔体（104）、第一活塞（105）、第一膜片（106）和主阀体（107）；主阀体（107）是具有倒L形主管路的且具有右侧连接端和下侧连接端的阀体，主阀体（107）整体呈长方体形，设有位于轴向中央的开口向右的配液管路及设于左侧且与配液管路垂直贯通的进液管路；主阀体（107）的左下部设有矩形的缺口，缺口中央设有具有外螺纹的下侧连接端，下侧连接端内设有上下贯通的通孔即进液管路，主阀体（107）的左部还设有开口向上的且与进液管路贯通的阀芯槽（107-1），阀芯槽（107-1）的直径大于进液管路；主阀体（107）的轴向中央设有向右开口的通孔即配液管路，配液管路从右侧与阀芯槽（107-1）中下部贯通；主阀体（107）在配液管路侧设有n组配液阀安装孔组，配液阀安装孔组包括开口向上的配液阀芯槽（107-2）、位于配液阀芯槽（107-2）正下方且与配液阀芯槽（107-2）贯通的第二配液管路和位于配液阀芯槽（107-2）前方且与配液阀芯槽（107-2）贯通的第二进液管路，配液阀芯槽（107-2）呈上大下小的倒圆台状而具有向下导流性且向下与配液管路贯通，配液阀芯槽（107-2）的直径大于第二配液管路；第二进液管路从前侧与配液阀芯槽（107-2）中下部贯通；第二配液管路向下与配液管路贯通；
第一膜片（106）即主阀体阀芯，第一膜片（106）安装在主阀体（107）的阀芯槽（107-1）处，第一活塞（105）与第一膜片（106）上下传动连接，第一腔体（104）安装在主阀体（107）上且位于阀芯槽（107-1）的正上方，第一活塞（105）与第一膜片（106）受第一腔体（104）支撑并导向限位；
每个配液阀组件包括第二腔体（204）、第二活塞（205）和第二膜片（206）；第二膜片（206）即配液阀阀芯，第二膜片（206）安装在主阀体（107）的相应配液阀芯槽（107-2）处，第二活塞（205）与第二膜片（206）上下传动连接，第二腔体（204）均安装在主阀体（107）上且位于相应的配液阀芯槽（107-2）的正上方，第二活塞（205）与第二膜片（206）受相应的第二腔体（204）支撑并导向限。
2.根据权利要求1所述的用于12英寸晶圆半导体制造的清洗配液阀，其特征在于：
主阀体（107）的左部上端面边缘设有一圈方形的台阶部而形成第一腔体安装槽，且阀芯槽（107-1）的上部外圈设有环形的第一膜片接插槽；
第一膜片（106）是呈两端大中间小的三段状膜片，其中段呈杆状；下段呈渐大的盘状，且下段底面边缘具有环形的密封圈设计；上段呈渐大的盘状，且上段的上部呈圆台状，上段的中央设有开口向上的具有内螺纹的第一连接盲孔；上段与中段的连接处设有能上下弹性弯曲的喇叭状的第一弹性环部（106-1），第一弹性环部（106-1）的外周设有环形的与第一膜片接插槽对应的第一接插部；
第一腔体（104）呈与主阀体（107）的左部对应的方型，其下端面边缘设有与第一腔体安装槽对应的台阶状的第一安装部，下端面中央设有第一连接颈部，第一连接颈部周向设有环形的开口向外的第一O型圈槽；第一腔体（104）的上端面边缘设有一圈方形的台阶部而形成第一端盖安装槽；第一腔体（104）设有上下贯通的四段状第一中央通孔，其中位于下方的第一段和第二段第一中央通孔的形状与第一膜片（106）的第一弹性环部（106-1）和圆台状的上部对应以使第一膜片（106）的上部能向上插入、第一弹性环部（106-1）能贴合；第一腔体（104）的第三段第一中央通孔与第二段第一中央通孔的连接处设有向上延伸的第一活塞下导向圈（104-1）；第四段第一中央通孔大于第三段第一中央通孔而使得第四段第一中央通孔与第三段第一中央通孔连接处呈台阶状；第一腔体（104）的第二段第一中央通孔处的内壁设有与外界贯通的第一通气孔（h1），第一腔体（104）设有与第三段第一中央通孔贯通的第一气连接端（p1）；
第一活塞（105）包括第一杆部和连接在第一杆部中央的盘状的第一限位部，第一杆部的上中部设有第二O型圈槽、下中部设有第五O型圈槽，第一限位部的周壁设有环形的第三O型圈槽，第一杆部的下端设有与第一连接盲孔对应的第一螺纹连接头，第一杆部设有开口向上的第一指示杆盲孔，第一指示杆盲孔具有内螺纹；第一限位部的直径与第一腔体（104）的第四段第一中央通孔对应，第一杆部的下部的直径与第一活塞下导向圈（104-1）的内径对应；
第一膜片（106）由其第一接插部紧配合插入主阀体（107）的的第一膜片接插槽中而安装在主阀体（107）上，第一腔体（104）由其第一安装部卡接在主阀体（107）的第一腔体安装槽中而安装在主阀体（107）上，且第一腔体（104）的下端面压紧第一膜片（106）的第一接插部；第一活塞（105）的第一杆部穿过第一活塞下导向圈（104-1），第一活塞（105）由其第一杆部的第一螺纹连接头旋合插入第一膜片（106）的第一连接盲孔中而与第一膜片（106）上下传动连接，第一限位部位于第一腔体（104）的第四段第一中央通孔内且能在第四段第一中央通孔内上下滑动。
3.根据权利要求2所述的用于12英寸晶圆半导体制造的清洗配液阀，其特征在于：
主阀体组件还包括第一透明罩（101）、第一端盖（102）和第一指示杆（103）；
第一端盖（102）开口向下，其下端设有第二连接颈部，第二连接颈部周向设有环形的开口向外的第四O型圈槽，第一端盖（102）的轴向中央设有环形的第一活塞上导向圈，第一端盖（102）由于设置第一活塞上导向圈而具有上下贯通的第二中央通孔，第二中央通孔的上部设有内螺纹，第一活塞上导向圈的内径即第二中央通孔的孔径与第一杆部的上部的直径对应；第一端盖（102）设有与其内部贯通的第二气连接端（p2）；
第一底座（110）与主阀体（107）的左下部的矩形的缺口的形状对应；
第一端盖（102）由其第二连接颈部插入第一腔体（104）内，且第一端盖（102）的边缘插入第一端盖安装槽中，第一端盖（102）的第一活塞上导向圈套在第一活塞（105）的第一杆部的上中部；第一指示杆（103）螺纹旋合在第一活塞（105）的第一指示杆盲孔内并向上露出，第一透明罩（101）螺纹旋合在第一端盖（102）的第二中央通孔的内螺纹上部而安装在第一端盖（102）上；第一底座（110）套在主阀体（107）的下侧连接端最上部，且位于主阀体（107）的左下部的矩形的缺口内；通过紧固件将第一端盖（102）、第一腔体（104）、主阀体（107）和第一底座（110）连接在一起，从而将第一端盖（102）、第一腔体（104）、第一底座（110）安装在主阀体（107）上。
4.根据权利要求3所述的用于12英寸晶圆半导体制造的清洗配液阀，其特征在于：
主阀体组件还包括第一承口螺帽（108）、第一密封套（109）、第一底座（110）、第一O型圈（111）、第二O型圈（112）、第三O型圈（113）、第四O型圈（114）和第五O型圈（115）；
第一O型圈（111）设置在第一O型圈槽内即密封于主阀体（107）与第一腔体（104）之间，第二O型圈（112）设置在第二O型圈槽内即密封于第一腔体（104）与第一活塞（105）的第一杆部之间，第三O型圈（113）设置在第三O型圈槽内即密封于第一腔体（104）与第一活塞（105）的第一限位部之间，第四O型圈（114）设置在第四O型圈槽内即密封于第一腔体（104）与第一端盖（102）之间，第五O型圈（115）设置在第五O型圈槽内即密封于第一活塞（105）的第一杆部与第一端盖（102）之间；两个第一密封套（109）分别紧配合设置在主阀体（107）的下侧连接端内和右侧连接端内，两个第一承口螺帽（108）分别螺纹旋合在主阀体（107）的下侧连接端外和右侧连接端外。
5.根据权利要求3所述的用于12英寸晶圆半导体制造的清洗配液阀，其特征在于：主阀体组件还包括第一弹簧（116）；第一弹簧（116）套在第一腔体（104）的第一活塞下导向圈（104-1）外且位于第一腔体（104）的第一活塞下导向圈（104-1）与第三段第一中央通孔孔壁之间，第一弹簧（116）对第一活塞（105）的第一限位部下端面施力。
6.根据权利要求3所述的用于12英寸晶圆半导体制造的清洗配液阀，其特征在于：主阀体组件还包括第一弹簧（116）；第一弹簧（116）套在第一端盖（102）的第一活塞上导向圈外，第一弹簧（116）对第一活塞（105）的第一限位部上端面施力。
7.根据权利要求1至6之一所述的用于12英寸晶圆半导体制造的清洗配液阀，其特征在于：主阀体（107）在每个配液阀芯槽（107-2）处的上端面均设有一圈方形的台阶部而形成第二腔体安装槽，且配液阀芯槽（107-2）的上部外圈设有环形的第二膜片接插槽；每个第二配液管路的两侧均设有前后贯通的圆柱螺母孔；主阀体（107）的前端面在每个第二进液管路的进端设有具有外螺纹的第二连接端（107-3）；
主阀体组件还包括第二承口螺帽（117）和第二密封套（118）；第二承口螺帽（117）和第二密封套（118）的数量为n个，第二密封套（118）分别紧配合设置在主阀体（107）的相应第二连接端（107-3）内，第二承口螺帽（117）分别螺纹旋合在主阀体（107）的第二连接端（107-3）外；
第二膜片（206）呈两端大中间小状，其上中段呈杆状；下段呈渐大的盘状，且下段底面边缘具有环形的密封圈设计；上段的中央设有开口向上的具有内螺纹的第二连接盲孔；上段外周设有能上下弹性弯曲的喇叭状的第二弹性环部（206-1），第二弹性环部（206-1）的外周设有环形的与第二膜片接插槽对应的第二接插部；
第二腔体（204）呈与主阀体（107）的左部对应的方型，其下端面边缘设有与第二腔体安装槽对应的台阶状的第二安装部，下端面中央设有第三连接颈部，第三连接颈部周向设有环形的开口向外的第六O型圈槽；第二腔体（204）的上端面边缘设有一圈方形的台阶部而形成第二端盖安装槽；第二腔体（204）设有上下贯通的四段状第三中央通孔，其中位于下方的第一段和第二段第三中央通孔的形状与第二膜片（206）的第二弹性环部（206-1）和杆状的上部对应以使第二膜片（206）的上部能向上插入、第二弹性环部（206-1）能贴合；第二腔体（204）的第三段第三中央通孔与第二段第三中央通孔的连接处设有向上延伸的第二活塞下导向圈；第四段第三中央通孔大于第三段第三中央通孔而使得第四段第三中央通孔与第三段第三中央通孔连接处呈台阶状；第二腔体（204）的第二段第三中央通孔处的内壁设有与外界贯通的第二通气孔（h2），第二腔体（204）设有与第三段第三中央通孔贯通的第三气连接端（p3）；
第二活塞（205）包括第二杆部和连接在第二杆部中央的盘状的第二限位部，第二杆部的上中部和下中部均设有第七O型圈槽，第二限位部的周壁设有环形的第八O型圈槽，第二杆部的下端设有与第二连接盲孔对应的第二螺纹连接头，第二杆部设有开口向上的第二指示杆盲孔，第二指示杆盲孔具有内螺纹；第二限位部的直径与第二腔体（204）的第四段第三中央通孔对应，第二杆部的下部的直径与第二活塞下导向圈的内径对应；
第二膜片（206）由其第二接插部紧配合插入主阀体（107）的相应第二膜片接插槽中而安装在主阀体（107）上，第二腔体（204）由其第二安装部卡接在主阀体（107）的第二腔体安装槽中而安装在主阀体（107）上，且第二腔体（204）的下端面压紧第二膜片（206）的第二接插部；第二活塞（205）的第二杆部穿过第二活塞下导向圈，第二活塞（205）由其第二杆部的第二螺纹连接头旋合插入第二膜片（206）的第二连接盲孔中而与第二膜片（206）上下传动连接，第二限位部位于第二腔体（204）的第四段第三中央通孔内且能在第四段第三中央通孔内上下滑动。
8.根据权利要求7所述的用于12英寸晶圆半导体制造的清洗配液阀，其特征在于：每个配液阀组件还包括第二透明罩（201）、第二端盖（202）、第二指示杆（203）、第六O型圈（207）、两个第七O型圈（208）、第八O型圈（209）、第九O型圈（210）、第二锥形盖（212）、第二内六角圆柱头螺钉（213）、第二弹垫（214）、第二平垫（215）、圆柱螺母 （216）和第一锥形盖（217）；
第二端盖（202）开口向下，其下端设有第四连接颈部，第四连接颈部周向设有环形的开口向外的第九O型圈槽，第二端盖（202）的轴向中央设有环形的第二活塞上导向圈，第二端盖（202）由于设置第二活塞上导向圈而具有上下贯通的第四中央通孔，第四中央通孔的上部设有内螺纹，第二活塞上导向圈的内径即第四中央通孔的孔径与第二杆部的上部的直径对应；第二端盖（202）设有与其内部贯通的第四气连接端（p4）；
第二端盖（202）由其第四连接颈部插入第二腔体（204）内，且第二端盖（202）的边缘插入第二端盖安装槽中，第二端盖（202）的第二活塞上导向圈套在第二活塞（205）的第二杆部的上中部；第二指示杆（203）螺纹旋合在第二活塞（205）的第二指示杆盲孔内并向上露出，第二透明罩（201）螺纹旋合在第二端盖（202）的第四中央通孔的内螺纹上部而安装在第二端盖（202）上；第六O型圈（207）设置在第六O型圈槽内即密封于主阀体（107）与第二腔体（204）之间，一个第七O型圈（208）设置在下方的第七O型圈槽内即密封于第二腔体（204）与第二活塞（205）的第二杆部之间，另一个第七O型圈（208）设置在上方的第七O型圈槽内即密封于第二活塞（205）的第二杆部与第二端盖（202）之间，第八O型圈（209）设置在第八O型圈槽内即密封于第二腔体（204）与第二活塞（205）的第二限位部之间，第九O型圈（210）设置在第九O型圈槽内即密封于第二腔体（204）与第二端盖（202）之间；通过紧固件将第二端盖（202）、第二腔体（204）和主阀体（107）连接在一起，从而将第二端盖（202）及第二腔体（204）安装在主阀体（107）上，具体来讲，将两根第二内六角圆柱头螺钉（213）分别穿过相应的第二弹垫（214）、第二平垫（215）后再穿过第二端盖（202）、第二腔体（204）左侧的前后角相应两个连接孔后穿过主阀体（107）再旋合穿过位于主阀体（107）的圆柱螺母孔内的相应圆柱螺母（216）的相应螺孔，将另外两根第二内六角圆柱头螺钉（213）分别穿过相应的第二弹垫（214）、第二平垫（215）后再穿过第二端盖（202）、第二腔体（204）右侧的前后角相应两个连接孔后穿过主阀体（107）再旋合穿过位于主阀体（107）的圆柱螺母孔内的相应圆柱螺母（216）的相应螺孔，从而第二端盖（202）及第二腔体（204）安装在主阀体（107）上，第二端盖（202）的上方四角设置第二锥形盖（212）遮蔽密封，主阀体（107）的各圆柱螺母孔的前后开口处设置第一锥形盖（217）以遮蔽。
9.根据权利要求8所述的用于12英寸晶圆半导体制造的清洗配液阀，其特征在于：每个配液阀组件还包括第二弹簧（211）；第二弹簧（211）套在第二端盖（202）的第二活塞上导向圈外，第二弹簧（211）对第二活塞（205）的第二限位部上端面施力。
10.根据权利要求8所述的用于12英寸晶圆半导体制造的清洗配液阀，其特征在于：每个配液阀组件还包括第二弹簧（211）；第二弹簧（211）套在第二腔体（204）的第二活塞下导向圈外且对第二活塞（205）的第二限位部下端面施力。
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| CN117267408A (zh) * | 2023-11-23 | 2023-12-22 | 海普瑞(常州)洁净系统科技有限公司 | 用于半导体制造的零死水带旁通阀门 |
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