CN113217672A - 阀体结构及具有其的晶圆清洗系统 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种阀体结构及具有其的晶圆清洗系统。其中，阀体结构包括：阀座，具有进液口、出液口及过液口，过液口与喷液结构的喷液嘴连通；第一阀体组件，包括第一阀针，第一阀针设置在阀座内，以使进液口和过液口连通或断开连通；第二阀体组件，包括第二阀针，第二阀针可活动地设置在阀座内，以使出液口和过液口连通或断开连通；其中，当第一阀针运动至连通进液口与过液口的第一位置时，进入至进液口内的液体从过液口排出；当第二阀针运动至出液口与过液口连通、第一阀针运动至进液口与过液口断开连通时，缓存在喷液嘴内的液体被回吸至出液口内。本发明解决了现有技术中清洗液易残留在喷液嘴上的问题。

Description

阀体结构及具有其的晶圆清洗系统
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种阀体结构及具有其的晶圆清洗系统。
背景技术
目前，在半导体湿法清洗工艺中，通常将溶解在水中的臭氧O3作为清洗液对晶圆进行清洗。
然而，在晶圆清洗系统对晶圆完成清洗后，残留在喷液结构的喷液嘴上的清洗液会滴落在晶圆上，导致晶圆上产生缺陷，影响晶圆的良品率。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种阀体结构及具有其的晶圆清洗系统，以解决现有技术中清洗液易残留在喷液嘴上的问题。
为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种阀体结构，包括：阀座，具有进液口、出液口及过液口，过液口与喷液结构的喷液嘴连通；第一阀体组件，包括第一阀针，第一阀针可活动地设置在阀座内，以使进液口和过液口连通或断开连通；第二阀体组件，包括第二阀针，第二阀针可活动地设置在阀座内，以使出液口和过液口连通或断开连通；其中，当第一阀针运动至连通进液口与过液口的第一位置时，进入至进液口内的液体从过液口排出；当第二阀针运动至出液口与过液口连通、第一阀针运动至进液口与过液口断开连通时，缓存在喷液嘴内的液体被回吸至出液口内。
进一步地，阀座还具有第一阀腔及与第一阀腔连通的第一阀口，进液口通过第一阀口与过液口连通，第一阀针在第一阀腔内可活动地设置，以打开或关闭第一阀口。
进一步地，阀座还具有第二阀腔及与第二阀腔连通的第二阀口，过液口通过第二阀口与出液口连通，第二阀针在第二阀腔内可活动地设置，以打开或关闭第二阀口。
进一步地，阀座还具有：第一通道，第一通道的两端分别与进液口和第一阀口连通；第二通道，第二通道的两端分别与第一阀腔和过液口连通。
进一步地，阀座还具有：第三通道，第三通道的两端分别与第一阀腔和第二阀口连通；第四通道，第四通道的两端分别与第二阀腔和出液口连通。
进一步地，第二通道和第三通道分别位于第一阀腔的两侧，在第一阀针关闭第一阀口时，第二通道通过第一阀腔与第三通道连通。
进一步地，第一阀体组件还包括第一套筒和第一驱动部，第一套筒具有第一进气口；第一驱动部包括：第一活塞，第一活塞可升降地设置在第一套筒内，第一进气口位于第一活塞的下方；其中，气体通过第一进气口进入至第一套筒内，以推动第一活塞带动第一阀针朝向远离第一阀口的一侧运动，进而连通第一通道和第二通道；第一弹性件，第一弹性件位于第一套筒内，以用于向第一活塞施加朝向第一阀口运动的弹性力。
进一步地，阀体结构还包括：第一封堵件，可活动地设置在第一进气口处；第三驱动部，第三驱动部与第一封堵件连接，以驱动第一封堵件封堵或避让第一进气口。
进一步地，第一阀体组件还包括第二套筒和第二驱动部，第二套筒具有第二进气口；第二驱动部包括：第二活塞，第二活塞可升降地设置在第二套筒内，第二进气口位于第二活塞的下方；其中，气体通过第二进气口进入至第二套筒内，以推动第二活塞带动第二阀针朝向远离第二阀口的一侧运动；第二弹性件，第二弹性件位于第二套筒内，以用于向第二活塞施加朝向第二阀口运动的弹性力。
进一步地，阀体结构还包括：第二封堵件，可活动地设置在第二进气口处；第四驱动部，第四驱动部与第二封堵件连接，以驱动第二封堵件封堵或避让第二进气口。
根据本发明的另一方面，提供了一种晶圆清洗系统，包括基座、喷液结构、连通管道及阀体结构，基座用于承载晶圆，喷液结构通过连通管道与阀体结构的过液口连通，以用于向晶圆喷射清洗液；其中，阀体结构为上述的阀体结构。
应用本发明的技术方案，当需要喷液结构的喷液嘴向晶圆上喷射清洗液时，工作人员控制第一阀体组件和第二阀体组件，以使第一阀针运动至进液口与过液口连通、第二阀针处于初始状态或运动至出液口与过液口断开连通，则阀体结构处于送液状态，第一阀体组件将进入至进液口内的液体输送至过液口内，进入至过液口内的清洗液流入喷液结构内对晶圆进行清洗。待喷液结构即将对晶圆完成清洗时，工作人员控制第一阀体组件和第二阀体组件，以使第二阀针运动至出液口与过液口连通、第一阀针运动至进液口与过液口断开连通，则阀体结构处于液体回收状态，位于喷液嘴内的清洗液在第二阀体组件的作用下被回吸至出液口内，进而避免喷液嘴处残留清洗液而导致晶圆上产生缺陷，解决了现有技术中清洗液易残留在喷液嘴上的问题，提升了晶圆的良品率。
附图说明
构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：
图1示出了根据本发明的阀体结构的实施例的立体结构示意图；
图2示出了根据本发明的晶圆清洗系统的实施例的局部剖视图；以及
图3示出了现有技术中未对残留在喷液嘴上的清洗液进行处理与使用本申请中阀体结构对清洗液进行回吸后晶圆上产生的缺陷对比图。
其中，上述附图包括以下附图标记：
10、阀座；11、进液口；12、出液口；13、过液口；14、第一阀腔；15、第一阀口；16、第二阀腔；17、第二阀口；181、第一通道；182、第二通道；191、第三通道；192、第四通道；20、第一阀针；30、第二阀针；40、第一套筒；41、第一进气口；50、第一驱动部；51、第一活塞；52、第一弹性件；60、第二套筒；61、第二进气口；70、第二驱动部；71、第二活塞；72、第二弹性件；80、基座；90、喷液结构；100、连通管道；110、晶圆。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。
需要指出的是，除非另有指明，本申请使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。
在本发明中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下”通常是针对附图所示的方向而言的，或者是针对竖直、垂直或重力方向上而言的；同样地，为便于理解和描述，“左、右”通常是针对附图所示的左、右；“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内、外，但上述方位词并不用于限制本发明。
为了解决现有技术中清洗液易残留在喷液嘴上的问题，本申请提供了一种阀体结构及具有其的晶圆清洗系统。
如图1和图2所示，阀体结构包括阀座10、第一阀体组件及第二阀体组件。阀座10具有进液口11、出液口12及过液口13，过液口13与喷液结构90的喷液嘴连通。第一阀体组件包括第一阀针20，第一阀针20可活动地设置在阀座10内，以使进液口11和过液口13连通或断开连通。第二阀体组件包括第二阀针30，第二阀针30可活动地设置在阀座10内，以使出液口12和过液口13连通或断开连通。其中，当第一阀针20运动至连通进液口11与过液口13的第一位置时，进入至进液口11内的液体从过液口13排出；当第二阀针30运动至出液口12与过液口13连通、第一阀针20运动至进液口11与过液口13断开连通时，缓存在喷液嘴内的液体被回吸至出液口12内。
应用本实施例的技术方案，当需要喷液结构90的喷液嘴向晶圆110上喷射清洗液时，工作人员控制第一阀体组件和第二阀体组件，以使第一阀针20运动至进液口11与过液口13连通、第二阀针30处于初始状态或运动至出液口12与过液口13断开连通，则阀体结构处于送液状态，第一阀体组件将进入至进液口11内的液体输送至过液口13内，进入至过液口13内的清洗液流入喷液结构90内对晶圆110进行清洗。待喷液结构即将对晶圆110完成清洗时，工作人员控制第一阀体组件和第二阀体组件，以使第二阀针30运动至出液口12与过液口13连通、第一阀针20运动至进液口11与过液口13断开连通，则阀体结构处于液体回收状态，位于喷液嘴内的清洗液在第二阀体组件的作用下被回吸至出液口12内，进而避免喷液嘴处残留清洗液而导致晶圆110上产生缺陷，解决了现有技术中清洗液易残留在喷液嘴上的问题，提升了晶圆110的良品率。
如图2所示，阀座10还具有第一阀腔14及与第一阀腔14连通的第一阀口15，进液口11通过第一阀口15与过液口13连通，第一阀针20在第一阀腔14内可活动地设置，以打开或关闭第一阀口15。这样，通过控制第一阀针20避让第一阀口15即可实现进液口11与过液口13的连通、控制第一阀针20封堵第一阀口15即可实现进液口11与过液口13之间断开连通，以使工作人员对第一阀体组件的控制更加容易、简便，降低了控制难度。
具体地，当需要喷液结构90的喷液嘴向晶圆110上喷射清洗液时，控制第一阀针20上升至第一阀针20避让第一阀口15，此时进入至进液口11内的清洗液经由第一阀口15流入至过液口13内，并通过过液口13流入喷液结构90内对晶圆110进行清洗。待喷液结构即将对晶圆110完成清洗时，控制第一阀针20下降至第一阀针20的端部封堵第一阀口15，此时清洗液无法通过第一阀口15流入至过液口13内，阀体结构不能够向喷液结构90内输送清洗液。
在本实施例中，第一阀针20的端部呈圆锥状，第一阀口15的内表面为锥形面，在第一阀针20封堵第一阀口15时，第一阀针20的端部的外表面与锥形面相贴合，进而防止清洗液穿过第一阀口15。
如图2所示，阀座10还具有第二阀腔16及与第二阀腔16连通的第二阀口17，过液口13通过第二阀口17与出液口12连通，第二阀针30在第二阀腔16内可活动地设置，以打开或关闭第二阀口17。这样，通过控制第二阀针30避让第二阀口17即可实现出液口12与过液口13的连通、控制第二阀针30封堵第二阀口17即可实现出液口12与过液口13之间断开连通，以使工作人员对第二阀体组件的控制更加容易、简便，降低了控制难度。
具体地，当需要喷液结构90的喷液嘴向晶圆110上喷射清洗液时，控制第二阀针30下降至第二阀针30的端部封堵第二阀口17，此时清洗液无法通过第二阀口17流入至出液口12内，第二阀体组件未对清洗液进行回吸，第一阀体组件将进入至进液口11内的清洗液输送至过液口13内，清洗液通过过液口13流入喷液结构90内对晶圆110进行清洗。待喷液结构即将对晶圆110完成清洗时，控制第二阀针30上升至第二阀针30避让第二阀口17，此时位于喷液结构90和过液口13内的清洗液在第二阀体组件的回吸作用下经由第二阀口17流入至出液口12内，进而避免喷液结构90的喷液嘴处残留清洗液，提升了晶圆110的良品率。
在本实施例中，第二阀针30的端部呈圆锥状，第二阀口17的内表面为锥形面，在第二阀针30封堵第二阀口17时，第二阀针30的端部的外表面与锥形面相贴合，进而防止清洗液穿过第二阀口17。
如图2所示，阀座10还具有第一通道181和第二通道182。其中，第一通道181的两端分别与进液口11和第一阀口15连通。第二通道182的两端分别与第一阀腔14和过液口13连通。这样，上述设置确保进入至进液口11内的清洗液能够依次通过第一通道181、第一阀口15及第二通道182进入至过液口13内，提升了阀体结构内清洗液的流动可靠性，进一步确保清洗液能够被输送至喷液结构90内。
如图2所示，阀座10还具有第三通道191和第四通道192。其中，第三通道191的两端分别与第一阀腔14和第二阀口17连通。第四通道192的两端分别与第二阀腔16和出液口12连通。这样，上述设置确保被回吸的清洗液能够依次通过第一阀腔14、第三通道191及第四通道192进入至出液口12内，提升了阀体结构对清洗液的回吸可靠性，进一步避免喷液嘴上残留清洗液。
如图2所示，第二通道182和第三通道191分别位于第一阀腔14的两侧，在第一阀针20关闭第一阀口15时，第二通道182通过第一阀腔14与第三通道191连通。这样，上述设置确保位于过液口13内的清洗液能够在第二阀体组件的回吸作用下依次经由第一阀腔14、第三通道191及第四通道192进入至出液口12内。
具体地，待喷液结构对晶圆110完成清洗后，清洗液在第二阀体组件的回吸作用下依次通过过液口13、第一阀腔14、第三通道191及第四通道192进入至出液口12内，工作人员可对从出液口12排出的清洗液进行回收再利用，也能够避免清洗液浪费。
如图1和图2所示，第一阀体组件还包括第一套筒40和第一驱动部50，第一套筒40具有第一进气口41。第一驱动部50包括第一活塞51和第一弹性件52。第一活塞51可升降地设置在第一套筒40内，第一进气口41位于第一活塞51的下方。其中，气体通过第一进气口41进入至第一套筒40内，以推动第一活塞51带动第一阀针20朝向远离第一阀口15的一侧运动，进而连通第一通道181和第二通道182。第一弹性件52位于第一套筒40内，以用于向第一活塞51施加朝向第一阀口15运动的弹性力。这样，上述设置使得第一阀体组件为气动阀，进而降低了阀体结构的能耗。同时，上述设置使得工作人员对第一阀体组件的控制更加容易、简便，只需向第一进气口41内通入气体即可控制第一阀针20运动。
具体地，第一活塞51的下端与第一阀针20连接，第一活塞51的上端与第一弹性件52抵接。第一弹性件52的两端分别与第一活塞51和第一套筒40的内壁抵接。当需要喷液结构90的喷液嘴向晶圆110上喷射清洗液时，向第一进气口41内通入气体，气体推动第一活塞51带动第一阀针20上升，此时第一弹性件52被压缩，进液口11通过第一阀口15与过液口13连通，第一阀体组件将进入至进液口11内的清洗液输送至过液口13内，清洗液再通过过液口13流入喷液结构90内对晶圆110进行清洗。待喷液结构即将对晶圆110完成清洗时，停止向第一进气口41内通入气体，此时第一弹性件52进行弹性复位，以顶推第一活塞51带动第一阀针20下降，直至第一阀针20的端部封堵第一阀口15，则进液口11和过液口13断开连通，阀体组件停止向喷液结构90内输送清洗液。
可选地，阀体结构还包括第一封堵件和第三驱动部。其中，第一封堵件可活动地设置在第一进气口41处。第三驱动部与第一封堵件连接，以驱动第一封堵件封堵或避让第一进气口41。这样，上述设置使得工作人员向第一进气口41内供气或停止向第一进气口41内供气的操作更加容易、简便，降低了工作人员的操作难度。
具体地，当需要向第一进气口41内供气时，启动第三驱动部，第三驱动部驱动第一封堵件运动，以使第一封堵件避让第一进气口41；当不需要向第一进气口41内供气时，启动第三驱动部，第三驱动部驱动第一封堵件运动，以使第一封堵件封堵第一进气口41。
如图1和图2所示，第一阀体组件还包括第二套筒60和第二驱动部70，第二套筒60具有第二进气口61。第二驱动部70包括第二活塞71和第二弹性件72。第二活塞71可升降地设置在第二套筒60内，第二进气口61位于第二活塞71的下方。其中，气体通过第二进气口61进入至第二套筒60内，以推动第二活塞71带动第二阀针30朝向远离第二阀口17的一侧运动。第二弹性件72位于第二套筒60内，以用于向第二活塞71施加朝向第二阀口17运动的弹性力。这样，上述设置使得第二阀体组件为气动阀，进而降低了阀体结构的能耗。同时，上述设置使得工作人员对第二阀体组件的控制更加容易、简便，只需向第二进气口61内通入气体即可控制第二阀针30运动。
具体地，第二活塞71的下端与第二阀针30连接，第二活塞71的上端与第二弹性件72抵接。第二弹性件72的两端分别与第二活塞71和第二套筒60的内壁抵接。当需要喷液结构90的喷液嘴向晶圆110上喷射清洗液时，无需向第二进气口61内供气，此时第二弹性件72处于初始状态且在其自重下抵接第二活塞71，以使第二阀针30的端部封堵第二阀口17，则过液口13和出液口12断开连通，以确保进入至进液口11内的清洗液均从过液口13流出。待喷液结构即将对晶圆110完成清洗时，向第二进气口61内通入气体，气体推动第二活塞71带动第二阀针30上升，此时第二弹性件72被压缩，过液口13通过第二阀口17与出液口12连通，第二阀体组件将残留在喷液嘴上的清洗液回吸至过液口13内，进入至过液口13内的清洗液依次通过第一阀腔14和第二阀口17进入至出液口12内，以实现第二阀体组件对清洗液的回吸目的，避免清洗液在喷液嘴上残留。
可选地，阀体结构还包括第二封堵件和第四驱动部。其中，第二封堵件可活动地设置在第二进气口61处。第四驱动部与第二封堵件连接，以驱动第二封堵件封堵或避让第二进气口61。这样，上述设置使得工作人员向第二进气口61内供气或停止向第二进气口61内供气的操作更加容易、简便，降低了工作人员的操作难度。
具体地，当需要向第二进气口61内供气时，启动第四驱动部，第四驱动部驱动第二封堵件运动，以使第二封堵件避让第二进气口61；当不需要向第二进气口61内供气时，启动第四驱动部，第四驱动部驱动第二封堵件运动，以使第二封堵件封堵第二进气口61。
如图2所示，本申请还提供了一种晶圆清洗系统，包括基座80、喷液结构90、连通管道100及阀体结构，基座80用于承载晶圆110，喷液结构90通过连通管道100与阀体结构的过液口13连通，以用于向晶圆110喷射清洗液。其中，阀体结构为上述的阀体结构。
如图3所示，左边为现有技术中未对残留在喷液嘴上的清洗液进行处理而导致晶圆110上产生缺陷的缺陷采集图，右边为使用本实施例中阀体结构对清洗液进行回吸后晶圆110上产生缺陷的缺陷采集图，经左、右两张图进行对比可知：使用本实施例的晶圆清洗系统后，在晶圆110上几乎没有缺陷，而未对残留在喷液嘴上的清洗液进行处理时，在晶圆110的中部产生螺旋状的缺陷，因此，本实施例中的晶圆清洗系统提升了晶圆良品率。
从以上的描述中，可以看出，本发明上述的实施例实现了如下技术效果：
当需要喷液结构的喷液嘴向晶圆上喷射清洗液时，工作人员控制第一阀体组件和第二阀体组件，以使第一阀针运动至进液口与过液口连通、第二阀针处于初始状态或运动至出液口与过液口断开连通，则阀体结构处于送液状态，第一阀体组件将进入至进液口内的液体输送至过液口内，进入至过液口内的清洗液流入喷液结构内对晶圆进行清洗。待喷液结构即将对晶圆完成清洗时，工作人员控制第一阀体组件和第二阀体组件，以使第二阀针运动至出液口与过液口连通、第一阀针运动至进液口与过液口断开连通，则阀体结构处于液体回收状态，位于喷液嘴内的清洗液在第二阀体组件的作用下被回吸至出液口内，进而避免喷液嘴处残留清洗液而导致晶圆上产生缺陷，解决了现有技术中清洗液易残留在喷液嘴上的问题，提升了晶圆的良品率。
显然，上述所描述的实施例仅仅是本发明一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。
需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、工作、器件、组件和/或它们的组合。
需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施方式能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (11)

1.一种阀体结构，其特征在于，包括：
阀座(10)，具有进液口(11)、出液口(12)及过液口(13)，所述过液口(13)与喷液结构(90)的喷液嘴连通；
第一阀体组件，包括第一阀针(20)，所述第一阀针(20)可活动地设置在所述阀座(10)内，以使所述进液口(11)和所述过液口(13)连通或断开连通；
第二阀体组件，包括第二阀针(30)，所述第二阀针(30)可活动地设置在所述阀座(10)内，以使所述出液口(12)和所述过液口(13)连通或断开连通；
其中，当所述第一阀针(20)运动至连通所述进液口(11)与所述过液口(13)的第一位置时，进入至所述进液口(11)内的液体从所述过液口(13)排出；
当所述第二阀针(30)运动至所述出液口(12)与所述过液口(13)连通、所述第一阀针(20)运动至所述进液口(11)与所述过液口(13)断开连通时，缓存在所述喷液嘴内的液体被回吸至所述出液口(12)内。
2.根据权利要求1所述的阀体结构，其特征在于，所述阀座(10)还具有第一阀腔(14)及与所述第一阀腔(14)连通的第一阀口(15)，所述进液口(11)通过所述第一阀口(15)与所述过液口(13)连通，所述第一阀针(20)在所述第一阀腔(14)内可活动地设置，以打开或关闭所述第一阀口(15)。
3.根据权利要求2所述的阀体结构，其特征在于，所述阀座(10)还具有第二阀腔(16)及与所述第二阀腔(16)连通的第二阀口(17)，所述过液口(13)通过所述第二阀口(17)与所述出液口(12)连通，所述第二阀针(30)在所述第二阀腔(16)内可活动地设置，以打开或关闭所述第二阀口(17)。
4.根据权利要求3所述的阀体结构，其特征在于，所述阀座(10)还具有：
第一通道(181)，所述第一通道(181)的两端分别与所述进液口(11)和所述第一阀口(15)连通；
第二通道(182)，所述第二通道(182)的两端分别与所述第一阀腔(14)和所述过液口(13)连通。
5.根据权利要求4所述的阀体结构，其特征在于，所述阀座(10)还具有：
第三通道(191)，所述第三通道(191)的两端分别与所述第一阀腔(14)和所述第二阀口(17)连通；
第四通道(192)，所述第四通道(192)的两端分别与所述第二阀腔(16)和所述出液口(12)连通。
6.根据权利要求5所述的阀体结构，其特征在于，所述第二通道(182)和所述第三通道(191)分别位于所述第一阀腔(14)的两侧，在所述第一阀针(20)关闭所述第一阀口(15)时，所述第二通道(182)通过所述第一阀腔(14)与所述第三通道(191)连通。
7.根据权利要求4所述的阀体结构，其特征在于，所述第一阀体组件还包括第一套筒(40)和第一驱动部(50)，所述第一套筒(40)具有第一进气口(41)；所述第一驱动部(50)包括：
第一活塞(51)，所述第一活塞(51)可升降地设置在所述第一套筒(40)内，所述第一进气口(41)位于所述第一活塞(51)的下方；其中，气体通过所述第一进气口(41)进入至所述第一套筒(40)内，以推动所述第一活塞(51)带动所述第一阀针(20)朝向远离所述第一阀口(15)的一侧运动，进而连通所述第一通道(181)和所述第二通道(182)；
第一弹性件(52)，所述第一弹性件(52)位于所述第一套筒(40)内，以用于向所述第一活塞(51)施加朝向所述第一阀口(15)运动的弹性力。
8.根据权利要求7所述的阀体结构，其特征在于，所述阀体结构还包括：
第一封堵件，可活动地设置在所述第一进气口(41)处；
第三驱动部，所述第三驱动部与所述第一封堵件连接，以驱动所述第一封堵件封堵或避让所述第一进气口(41)。
9.根据权利要求3至8中任一项所述的阀体结构，其特征在于，所述第一阀体组件还包括第二套筒(60)和第二驱动部(70)，所述第二套筒(60)具有第二进气口(61)；所述第二驱动部(70)包括：
第二活塞(71)，所述第二活塞(71)可升降地设置在所述第二套筒(60)内，所述第二进气口(61)位于所述第二活塞(71)的下方；其中，气体通过所述第二进气口(61)进入至所述第二套筒(60)内，以推动所述第二活塞(71)带动所述第二阀针(30)朝向远离所述第二阀口(17)的一侧运动；
第二弹性件(72)，所述第二弹性件(72)位于所述第二套筒(60)内，以用于向所述第二活塞(71)施加朝向所述第二阀口(17)运动的弹性力。
10.根据权利要求9所述的阀体结构，其特征在于，所述阀体结构还包括：
第二封堵件，可活动地设置在所述第二进气口(61)处；
第四驱动部，所述第四驱动部与所述第二封堵件连接，以驱动所述第二封堵件封堵或避让所述第二进气口(61)。
11.一种晶圆清洗系统，其特征在于，包括基座(80)、喷液结构(90)、连通管道(100)及阀体结构，所述基座(80)用于承载晶圆(110)，所述喷液结构(90)通过所述连通管道(100)与所述阀体结构的过液口(13)连通，以用于向所述晶圆(110)喷射清洗液；其中，所述阀体结构为权利要求1至10中任一项所述的阀体结构。
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