CN117052953A - 一种半导体用三联阀及其工作方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及阀门技术领域，具体涉及一种半导体用三联阀及其工作方法；本发明提供了一种半导体用三联阀，阀体内开设有一容纳腔，出水管固定在阀体侧壁，且出水管与容纳腔连通；若干进水管等间距固定在阀体上，且进水管与容纳腔连通；阀盘可升降的设置在容纳腔内，一个阀盘对应一个进水管，阀盘适于闭合进水管；调节止转部套设在阀盘外壁，调节止转部适于限位阀盘；其中，调节止转部适于防止阀盘相对驱动杆周向转动；调节部的外层活动端向下移动时适于闭合出水管；通过调节止转部的设置，能够避免流体冲击阀盘，导致阀盘相对驱动杆周向转动，提高了阀盘固定的稳定性。同时，调节止转部还能够对流体内的大颗粒杂质进行过滤，提高了阀体的使用寿命。

Description

一种半导体用三联阀及其工作方法

技术领域

本发明涉及阀门技术领域，具体涉及一种半导体用三联阀及其工作方法。

背景技术

半导体器件在生产过程中需要使用多种酸碱介质，常规的阀门为在阀体内不设置密封元件，容易使介质接触到阀门的活塞件，活塞件容易发生腐蚀，从而造成阀门漏液，影响半导体器件的生产；而活塞件多螺纹连接在驱动杆端部，驱动杆适于驱动活塞件竖直上下移动，以闭合或打开阀体；而流体介质在阀体内流动时，会不断的冲刷活塞件，导致活塞件发生转动，最终导致活塞件出现松动或脱落的情况发生。因此，研发一种半导体用三联阀及其工作方法是很有必要的。

发明内容

本发明的目的是提供一种半导体用三联阀及其工作方法。

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种半导体用三联阀，包括：

阀体、出水管、若干进水管、若干阀盘和若干调节止转部，所述阀体内开设有一容纳腔，所述出水管固定在所述阀体侧壁，且所述出水管与所述容纳腔连通；

若干所述进水管等间距固定在所述阀体上，且所述进水管与所述容纳腔连通；

所述阀盘可升降的设置在所述容纳腔内，一个阀盘对应一个进水管，所述阀盘适于闭合所述进水管；

所述调节止转部套设在所述阀盘外壁，所述调节止转部适于限位所述阀盘；其中，所述调节止转部适于防止所述阀盘相对驱动杆周向转动；

调节部的外层活动端向下移动适于闭合所述出水管。

作为优选，所述阀体内开设有若干活塞孔，所述活塞孔与所述容纳腔连通，一个活塞孔对应一个阀盘；

每个所述活塞孔内固定有一调节密封块，所述驱动杆可升降的设置在所述调节密封块内，且所述阀盘与所述驱动杆螺纹适配；

所述驱动杆适于驱动所述阀盘上下移动。

作为优选，所述阀盘下端一体设置有一波纹环，所述波纹环套设在所述驱动杆外壁，且所述波纹环下端固定在所述调节密封块上。

作为优选，所述调节止转部包括：外套筒、内套筒和联动件，所述联动件下端固定在所述调节密封块上，且所述联动件分别与所述内套筒和所述外套筒联动；

所述内套筒可升降的套设在所述波纹环外部；

所述外套筒可升降的套设在所述阀盘外壁，且所述外套筒与所述内套筒移动方向相反；

其中，所述外套筒适于限位所述阀盘，防止其周向转动；

阀盘向上移动时，所述内套筒同步向上移动，外套筒同步向下移动以闭合所述出水管；

阀盘向下移动时，所述外套筒同步向上移动，所述外套筒适于过滤拦截流体中的大颗粒杂质。

作为优选，所述联动件包括：固定套环、两限位盘和两调节齿盘，所述固定套环套设在所述波纹环外部，且所固定套环下端固定在所述调节密封块上；

两限位盘对称固定在所述固定套环外壁，且其中一个限位盘垂直固定在所述固定套环的上端部；

所述固定套环外壁对称开设有两容纳槽，所述容纳槽设置在两限位盘之间；

所述调节齿盘可转动的设置在所述容纳槽内，且所述调节齿盘分别与所述内套筒和所述外套筒联动。

作为优选，所述内套筒外壁对称固定有两内直线齿条，所述内直线齿条与所述调节齿盘互相啮合，内直线齿条上下移动时适于驱动所述调节齿盘周向转动。

作为优选，所述外套筒内壁对称固定有两外直线齿条，所述外直线齿条与所述调节齿盘互相啮合，调节齿盘周向转动时适于驱动所述外套筒竖直上下移动。

作为优选，所述外套筒内壁等间距固定有若干限位框，所述限位框沿所述外套筒轴向方向延伸；

所述阀盘外壁开设有若干与所述限位框相适配的滑槽，所述限位框可滑动的设置在所述滑槽内，且所述限位框与所述滑槽滑动密封。

作为优选，所述外套筒外壁开设有若干过滤孔，所述过滤孔设置在所述限位框内部。

作为优选，所述内套筒下端固定有一压缩弹簧，所述压缩弹簧下端固定在所述调节密封块上，所述压缩弹簧适于推动所述内套筒向上移动。

作为优选，所述内套筒上端固定有一插接块，所述阀盘下端开设有一与所述插接块相适配的插接槽，所述插接块适于插入所述插接槽内；

其中，阀盘向上移动时，压缩弹簧适于推动所述内套筒同步向上移动。

另一方面，本发明还提供了一种半导体用三联阀的工作方法，驱动杆驱动所述阀盘向下移动时，阀盘在逐渐向下移动的过程中，推动内套筒同步向下移动；

外套筒同步向上移动，至外套筒的上端与容纳腔的内顶壁抵接，经进水管进入的流体，适于通过所述外套筒流入所述容纳腔内，所述外套筒适于过滤流体内的大颗粒杂质；

流体自外套筒内部向容纳腔内流动的过程中，所述限位框起到限位阀盘的作用，防止阀盘被流体冲击后相对驱动杆发生周向转动；

内套筒套设在波纹环的外部，且内套筒底壁与调节密封块抵接，内套筒起到隔绝流动的流体持续冲刷波纹环的效果；

驱动杆驱动所述阀盘向上移动，以闭合所述进水管；压缩弹簧适于推动所述内套筒同步向上移动，压缩弹簧适于推动所述内套筒同步向上移动，至内套筒上端与阀盘底端抵接，以提高阀盘与容纳腔内顶壁的密封效果；

外套筒同步向下移动，所述外套筒适于闭合所述出水管。

本发明的有益效果是，本发明的一种半导体用三联阀，通过调节止转部的设置，能够避免流体冲击阀盘，导致阀盘相对驱动杆周向转动，提高了阀盘固定的稳定性。同时，调节止转部还能够对流体内的大颗粒杂质进行过滤，提高了阀体的使用寿命。

本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。

为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明的一种半导体用三联阀的优选实施例的立体图；

图2是本发明的阀体内部剖视图；

图3是本发明的阀盘和波纹环的立体图；

图4是本发明的波纹环的内部剖视图；

图5是本发明的调节止转部的立体图；

图6是本发明的调节止转部的内部剖视图。

图中：

1、阀体；10、容纳腔；11、活塞孔；12、调节密封块；13、驱动杆；

2、出水管；3、进水管；

4、阀盘；40、波纹环；41、滑槽；

5、调节止转部；51、外套筒；511、限位框；512、过滤孔；

52、内套筒；521、插接块；522、压缩弹簧；

53、联动件；531、固定套环；532、限位盘；533、调节齿盘。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一，如图1至图6所示，本发明提供了一种半导体用三联阀，包括：阀体1、出水管2、若干进水管3、若干阀盘4和若干调节止转部5，所述阀体1内开设有一容纳腔10，所述出水管2固定在所述阀体1侧壁，且所述出水管2与所述容纳腔10连通；所述阀体1为多阀结构，优选的，所述阀体1可以由三个阀组成，一个进水管3对应一个阀。出水管2设置阀体1对应中间的一个进水管3的侧壁。若干所述进水管3等间距固定在所述阀体1上，且所述进水管3与所述容纳腔10连通；流体经进水管3进水阀体1内后，所述容纳腔10适于连通各进水管3，所述阀盘4可升降的设置在所述容纳腔10内，一个阀盘4对应一个进水管3，所述阀盘4适于闭合所述进水管3；阀盘4的外径大于进水管3的内径；所述阀体1下端固定有一执行器，所述执行器适于驱动所述驱动杆13竖直上下移动；驱动杆13驱动所述阀盘4向上移动，至阀盘4与进水管3和容纳腔10的连通处的顶壁抵接时，所述阀盘4适于闭合并密封所述进水管3。所述调节止转部5套设在所述阀盘4外壁，所述调节止转部5适于限位所述阀盘4；其中，所述调节止转部5适于防止所述阀盘4相对驱动杆13周向转动；调节部的外层活动端向下移动适于闭合所述出水管2。通过调节止转部5的设置，能够避免流体冲击阀盘4，导致阀盘4相对驱动杆13周向转动，提高了阀盘4固定的稳定性。

参考附图2，为了便于控制阀盘4，所述阀体1内开设有若干活塞孔11，所述活塞孔11与所述容纳腔10连通，一个活塞孔11对应一个阀盘4；所述活塞孔11的内径大于所述阀盘4的外径，所述阀盘4适于通过所述活塞孔11插入所述容纳腔10内；每个所述活塞孔11内固定有一调节密封块12，所述驱动杆13可升降的设置在所述调节密封块12内，所述驱动杆13与所述调节密封块12滑动密封，且所述阀盘4与所述驱动杆13螺纹适配；所述驱动杆13适于驱动所述阀盘4上下移动。所述调节密封块12适于防止容纳腔10内的流体通过活塞孔11向外泄露；而所述驱动杆13适于驱动所述阀盘4在所述容纳腔10内竖直上下移动。

参考附图3，为了避免驱动杆13被腐蚀，所述阀盘4下端一体设置有一波纹环40，所述波纹环40套设在所述驱动杆13外壁，且所述波纹环40下端固定在所述调节密封块12上。所述波纹环40为柔性耐腐蚀材质，阀盘4上下移动，适于挤压所述波纹环40同步收缩或拉伸；波纹环40的设置，能够避免容纳腔10内的流体与驱动杆13接触，避免流体腐蚀驱动杆13。

参考附5和图6，所述调节止转部5包括：外套筒51、内套筒52和联动件53，所述联动件53下端固定在所述调节密封块12上，且所述联动件53分别与所述内套筒52和所述外套筒51联动；所述联动件53外壁开设有竖直槽，所述外套筒51内壁设置有一与所述竖直槽相适配的导向条，所述导向条沿所述外套筒51轴向设置，且所述导向条与所述竖直槽滑动密封；导向条和竖直槽的设置，能够避免所述外套筒51相对所述联动件53发生周向转动。所述内套筒52可升降的套设在所述波纹环40外部；所述内套筒52的内径大于所述波纹环40的外径；在阀盘4向下移动打开进水管3时，所述内套筒52上端与阀盘4底壁抵接，所述内套筒52下端与调节密封块12抵接，所述内套筒52起到隔离效果，防止容纳腔10内流动的流体冲刷波纹环40，提高了波纹环40的使用寿命。所述外套筒51可升降的套设在所述阀盘4外壁，且所述外套筒51与所述内套筒52移动方向相反；其中，所述外套筒51适于限位所述阀盘4，防止其周向转动；外套筒51内壁的限位框511适于限位所述阀盘4，防止其被流体冲刷发生周向转动，外套筒51的设置，能够防止阀盘4相对所述驱动杆13周向转动。阀盘4向上移动时，所述内套筒52同步向上移动，内套筒52的向上移动，适于带动所述调节齿盘533周向转动，调节齿盘533的周向转动，适于驱动所述外套筒51同步向下移动以闭合所述出水管2；阀盘4向上移动，适于闭合所述进水管3，而外套筒51向下移动，适于闭合所述出水管2。阀盘4向下移动时，所述外套筒51同步向上移动，所述外套筒51适于过滤拦截流体中的大颗粒杂质。

参考附图6，所述联动件53包括：固定套环531、两限位盘532和两调节齿盘533，所述固定套环531套设在所述波纹环40外部，且所固定套环531下端固定在所述调节密封块12上；所述固定套环531的内径大于所述内套筒52的外径，所述固定套环531适于支撑所述限位盘532；两限位盘532对称固定在所述固定套环531外壁，且其中一个限位盘532垂直固定在所述固定套环531的上端部；所述固定套环531外壁对称开设有两容纳槽，所述容纳槽设置在两限位盘532之间；所述调节齿盘533可转动的设置在所述容纳槽内，且所述调节齿盘533分别与所述内套筒52和所述外套筒51联动。所述限位盘532的内外圈的两侧分别开设有与所述内直线齿条和所述外直线齿条相适配的密封槽，所述密封槽内壁设置有密封件，所述内直线齿条和所述外直线齿条适于相对所述限位盘532上下移动，而所述密封件适于密封所述密封槽，以防止限位盘532上方的流体进入两限位盘532之间。

为了便于驱动内套筒52和外套筒51反向竖直移动，所述内套筒52外壁对称固定有两内直线齿条，所述内直线齿条与所述调节齿盘533互相啮合，内直线齿条上下移动时适于驱动所述调节齿盘533周向转动。所述外套筒51内壁对称固定有两外直线齿条，所述外直线齿条与所述调节齿盘533互相啮合，调节齿盘533周向转动时适于驱动所述外套筒51竖直上下移动。

为了便于限位阀盘4，所述外套筒51内壁等间距固定有若干限位框511，所述限位框511沿所述外套筒51轴向方向延伸；所述阀盘4外壁开设有若干与所述限位框511相适配的滑槽41，所述限位框511可滑动的设置在所述滑槽41内，且所述限位框511与所述滑槽41滑动密封。阀盘4竖直上下移动时，所述限位框511能够同步上下移动，限位框511侧壁适于插入所述滑槽41内，且滑槽41内壁与限位框511滑动密封；阀盘4向上移动，至阀盘4顶部与容纳腔10的内顶壁抵接，阀盘4适于闭合所述进水管3；此时，外套筒51向下移动，外套筒51位于阀盘4下部，此时，限位框511的上端仍在滑槽41内，限位框511与滑槽41的配合，能够避免进水管3内的流体通过滑槽41流入容纳腔10内。而当阀盘4向下移动时，外套筒51同步向上移动，外套筒51上端与容纳腔10内顶壁抵接，进水管3输入的流体通过所述外套筒51过滤后，适于流入所述容纳腔10内。优选的，所述外套筒51外壁开设有若干过滤孔512，所述过滤孔512设置在所述限位框511内部。过滤孔512能够过滤流体内大颗粒的杂质。

为了提高阀盘4对进水管3的密封性，所述内套筒52下端固定有一压缩弹簧522，所述压缩弹簧522下端固定在所述调节密封块12上，所述压缩弹簧522适于推动所述内套筒52向上移动。所述内套筒52上端固定有一插接块521，所述阀盘4下端开设有一与所述插接块521相适配的插接槽，所述插接块521适于插入所述插接槽内；其中，阀盘4向上移动时，压缩弹簧522适于推动所述内套筒52同步向上移动。插接块521的设置，使得所述内套筒52能够随阀盘4同步移动上下移动；而压缩弹簧522的设置，在阀盘4向下移动时，内套筒52适于挤压所述压缩弹簧522同步向下压缩，当阀盘4向上移动时，压缩弹簧522适于推动所述内套筒52同步向上移动，至阀盘4与容纳腔10内顶壁抵接，压缩弹簧522适于推动所述内套筒52与阀盘4的下端抵接，压缩弹簧522对阀盘4有推动力，从而能够提高阀盘4与容纳腔10内顶壁的密封性能。

实施例二，本实施例在实施例一的基础上，还提供了一种半导体用三联阀的工作方法，使用如实施例一所述的一种半导体用三联阀，具体机构与实施例一相同，此处不再赘述，具体的一种半导体用三联阀的工作方法如下：

驱动杆13驱动所述阀盘4向下移动时，阀盘4在逐渐向下移动的过程中，推动内套筒52同步向下移动；外套筒51同步向上移动，至外套筒51的上端与容纳腔10的内顶壁抵接，经进水管3进入的流体，适于通过所述外套筒51流入所述容纳腔10内，所述外套筒51适于过滤流体内的大颗粒杂质；流体自外套筒51内部向容纳腔10内流动的过程中，所述限位框511起到限位阀盘4的作用，防止阀盘4被流体冲击后相对驱动杆13发生周向转动；内套筒52套设在波纹环40的外部，且内套筒52底壁与调节密封块12抵接，内套筒52起到隔绝流动的流体持续冲刷波纹环40的效果；驱动杆13驱动所述阀盘4向上移动，以闭合所述进水管3；压缩弹簧522适于推动所述内套筒52同步向上移动，压缩弹簧522适于推动所述内套筒52同步向上移动，至内套筒52上端与阀盘4底端抵接，以提高阀盘4与容纳腔10内顶壁的密封效果；外套筒51同步向下移动，所述外套筒51适于闭合所述出水管2。

本申请中选用的各个器件（未说明具体结构的部件）均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。并且，本申请所涉及的软件程序均为现有技术，本申请不涉及对软件程序作出任何改进。

在本发明实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的系统、装置和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。

所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。

另外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。

以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (12)

1.一种半导体用三联阀，其特征在于，包括：

阀体（1）、出水管（2）、若干进水管（3）、若干阀盘（4）和若干调节止转部（5），所述阀体（1）内开设有一容纳腔（10），所述出水管（2）固定在所述阀体（1）侧壁，且所述出水管（2）与所述容纳腔（10）连通；

若干所述进水管（3）等间距固定在所述阀体（1）上，且所述进水管（3）与所述容纳腔（10）连通；

所述阀盘（4）可升降的设置在所述容纳腔（10）内，一个阀盘（4）对应一个进水管（3），所述阀盘（4）适于闭合所述进水管（3）；

所述调节止转部（5）套设在所述阀盘（4）外壁，所述调节止转部（5）适于限位所述阀盘（4）；其中，所述调节止转部（5）适于防止所述阀盘（4）相对驱动杆（13）周向转动；

调节部的外层活动端向下移动适于闭合所述出水管（2）。

2.如权利要求1所述的一种半导体用三联阀，其特征在于，

所述阀体（1）内开设有若干活塞孔（11），所述活塞孔（11）与所述容纳腔（10）连通，一个活塞孔（11）对应一个阀盘（4）；

每个所述活塞孔（11）内固定有一调节密封块（12），所述驱动杆（13）可升降的设置在所述调节密封块（12）内，且所述阀盘（4）与所述驱动杆（13）螺纹适配；

所述驱动杆（13）适于驱动所述阀盘（4）上下移动。

3.如权利要求2所述的一种半导体用三联阀，其特征在于，

所述阀盘（4）下端一体设置有一波纹环（40），所述波纹环（40）套设在所述驱动杆（13）外壁，且所述波纹环（40）下端固定在所述调节密封块（12）上。

4.如权利要求3所述的一种半导体用三联阀，其特征在于，

所述调节止转部（5）包括：外套筒（51）、内套筒（52）和联动件（53），所述联动件（53）下端固定在所述调节密封块（12）上，且所述联动件（53）分别与所述内套筒（52）和所述外套筒（51）联动；

所述内套筒（52）可升降的套设在所述波纹环（40）外部；

所述外套筒（51）可升降的套设在所述阀盘（4）外壁，且所述外套筒（51）与所述内套筒（52）移动方向相反；

其中，所述外套筒（51）适于限位所述阀盘（4），防止其周向转动；

阀盘（4）向上移动时，所述内套筒（52）同步向上移动，外套筒（51）同步向下移动以闭合所述出水管（2）；

阀盘（4）向下移动时，所述外套筒（51）同步向上移动，所述外套筒（51）适于过滤拦截流体中的大颗粒杂质。

5.如权利要求4所述的一种半导体用三联阀，其特征在于，

所述联动件（53）包括：固定套环（531）、两限位盘（532）和两调节齿盘（533），所述固定套环套设在所述波纹环（40）外部，且所固定套环（531）下端固定在所述调节密封块（12）上；

两限位盘（532）对称固定在所述固定套环（531）外壁，且其中一个限位盘（532）垂直固定在所述固定套环（531）的上端部；

所述固定套环（531）外壁对称开设有两容纳槽，所述容纳槽设置在两限位盘（532）之间；

所述调节齿盘（533）可转动的设置在所述容纳槽内，且所述调节齿盘（533）分别与所述内套筒（52）和所述外套筒（51）联动。

6.如权利要求5所述的一种半导体用三联阀，其特征在于，

所述内套筒（52）外壁对称固定有两内直线齿条，所述内直线齿条与所述调节齿盘（533）互相啮合，内直线齿条上下移动时适于驱动所述调节齿盘（533）周向转动。

7.如权利要求6所述的一种半导体用三联阀，其特征在于，

所述外套筒（51）内壁对称固定有两外直线齿条，所述外直线齿条与所述调节齿盘（533）互相啮合，调节齿盘（533）周向转动时适于驱动所述外套筒（51）竖直上下移动。

8.如权利要求7所述的一种半导体用三联阀，其特征在于，

所述外套筒（51）内壁等间距固定有若干限位框（511），所述限位框（511）沿所述外套筒（51）轴向方向延伸；

所述阀盘（4）外壁开设有若干与所述限位框（511）相适配的滑槽，所述限位框（511）可滑动的设置在所述滑槽内，且所述限位框（511）与所述滑槽滑动密封。

9.如权利要求8所述的一种半导体用三联阀，其特征在于，

所述外套筒（51）外壁开设有若干过滤孔（512），所述过滤孔（512）设置在所述限位框（511）内部。

10.如权利要求9所述的一种半导体用三联阀，其特征在于，

所述内套筒（52）下端固定有一压缩弹簧，所述压缩弹簧下端固定在所述调节密封块（12）上，所述压缩弹簧适于推动所述内套筒（52）向上移动。

11.如权利要求10所述的一种半导体用三联阀，其特征在于，

所述内套筒（52）上端固定有一插接块（521），所述阀盘（4）下端开设有一与所述插接块（521）相适配的插接槽，所述插接块（521）适于插入所述插接槽内；

其中，阀盘（4）向上移动时，压缩弹簧适于推动所述内套筒（52）同步向上移动。

12.一种半导体用三联阀的工作方法，其特征在于，使用如权利要求11所述的一种半导体用三联阀，

驱动杆（13）驱动所述阀盘（4）向下移动时，阀盘（4）在逐渐向下移动的过程中，推动内套筒（52）同步向下移动；

外套筒（51）同步向上移动，至外套筒（51）的上端与容纳腔（10）的内顶壁抵接，经进水管（3）进入的流体，适于通过所述外套筒（51）流入所述容纳腔（10）内，所述外套筒（51）适于过滤流体内的大颗粒杂质；

流体自外套筒（51）内部向容纳腔（10）内流动的过程中，所述限位框（511）起到限位阀盘（4）的作用，防止阀盘（4）被流体冲击后相对驱动杆（13）发生周向转动；

内套筒（52）套设在波纹环（40）的外部，且内套筒（52）底壁与调节密封块（12）抵接，内套筒（52）起到隔绝流动的流体持续冲刷波纹环（40）的效果；

驱动杆（13）驱动所述阀盘（4）向上移动，以闭合所述进水管（3）；压缩弹簧适于推动所述内套筒（52）同步向上移动，压缩弹簧适于推动所述内套筒（52）同步向上移动，至内套筒（52）上端与阀盘（4）底端抵接，以提高阀盘（4）与容纳腔（10）内顶壁的密封效果；

外套筒（51）同步向下移动，所述外套筒（51）适于闭合所述出水管（2）。