CN117020943A - 玻璃基板夹具以及抛光系统 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及玻璃基板的加工技术领域，公开了一种玻璃基板夹具以及抛光系统，所述玻璃基板夹具包括夹具主体，所述夹具主体具有能够承载玻璃基板的承载面，所述夹具主体设置有腔室，所述承载面开设有与所述腔室相连通的吸附孔，所述腔室具有抽气孔，所述抽气孔构造为当对所述抽气孔进行抽真空时能够使得所述吸附孔吸附所述玻璃基板，所述玻璃基板夹具还包括设置在所述夹具主体的边缘处的供限定所述夹具主体的固定连接件穿过的安装孔，所述安装孔沿所述夹具主体的厚度方向延伸。通过设置安装孔，可实现玻璃基板夹具的稳固连接，使得玻璃基板夹具不易脱落，提高了作业安全性。
Description
技术领域
本发明涉及玻璃基板的加工技术领域，具体地涉及一种玻璃基板夹具以及抛光系统。
背景技术
在对玻璃基板进行抛光作业时，通常会将玻璃基板固定在治具上。目前，用于固定玻璃基板的治具通常利用胶水粘附在抛光装置的下盘，这样，利用胶水连接的玻璃基板的治具极易在抛光中脱落，且更换治具时除胶、拆卸安装大直径铝合金盘极其浪费人力。
发明内容
本发明的目的是为了克服现有技术存在的利用胶水连接的玻璃基板的治具极易在抛光中脱落的问题，提供一种玻璃基板夹具，该玻璃基板夹具具有安装孔，以供限定夹具主体的固定连接件穿过。
为了实现上述目的，本发明一方面提供一种玻璃基板夹具，所述玻璃基板夹具包括夹具主体，所述夹具主体具有能够承载玻璃基板的承载面，所述夹具主体设置有腔室，所述承载面开设有与所述腔室相连通的吸附孔，所述腔室具有抽气孔，所述抽气孔构造为当对所述抽气孔进行抽真空时能够使得所述吸附孔吸附所述玻璃基板，所述玻璃基板夹具还包括设置在所述夹具主体的边缘处的供限定所述夹具主体的固定连接件穿过的安装孔，所述安装孔沿所述夹具主体的厚度方向延伸。
上述技术方案，通过设置安装孔，可实现玻璃基板夹具的稳固连接，使得玻璃基板夹具不易脱落，提高了作业安全性。
优选地，所述夹具主体包括：
底座，所述底座构造有凹陷部；以及
盖板，所述盖板设置有沿所述盖板的厚度方向延伸的通孔，所述通孔形成为所述吸附孔，所述盖板盖设在所述底座上，所述盖板和所述底座共同围合形成所述腔室；其中：
所述安装孔设置在所述底座的边缘处。
优选地，所述底座设置有环绕所述凹陷部的安装槽，所述夹具主体包括装配在所述安装槽的密封件；和/或
所述底座的侧壁设置有允许能够限定所述底座的底座定位件穿过的定位孔，所述定位孔沿着横穿所述底座的方向延伸。
优选地，所述盖板包括盖设在所述底座上的第一盖板，所述第一盖板设置有与所述凹陷部相通的第一通孔，以形成所述吸附孔。
优选地，所述玻璃基板夹具包括定位结构，所述定位结构能够限定将所述第一盖板和所述底座相固定的盖板定位件；其中：
所述定位结构包括开设在所述第一盖板的供所述盖板定位件穿过的盖板定位孔，所述盖板定位孔沿所述第一盖板的厚度方向延伸；所述定位结构还包括设置在所述凹陷部的底部的定位柱，所述定位柱开设有沿所述底座的厚度方向延伸且供所述盖板定位件伸入的限位孔。
优选地，所述盖板包括覆盖在所述第一盖板上的第二盖板，所述第二盖板设置有沿所述第二盖板的厚度方向延伸的第二通孔，所述第二通孔与所述第一通孔相对应以形成相应的所述吸附孔，其中，所述第二盖板为柔性件。
优选地，所述第二盖板的背离所述第一盖板的面形成有能够容置所述玻璃基板的凹部，所述凹部的深度小于所述玻璃基板的厚度。
优选地，所述玻璃基板夹具包括设置在所述第一盖板和所述第二盖板之间的限位机构，所述限位机构包括限位凹槽和能够卡入所述限位凹槽的限位凸台，其中，所述限位凹槽设置在所述第一盖板上，所述限位凸台设置在所述第二盖板上，或者，所述限位凹槽设置在所述第二盖板上，所述限位凸台设置在所述第一盖板上。
优选地，所述承载面开设有多个所述吸附孔，多个所述吸附孔均匀分布在所述承载面。
本发明第二方面提供一种抛光系统，所述抛光系统中设置有本发明所提供的玻璃基板夹具。通过将上述玻璃基板夹具装配在抛光系统中，从而能够稳固的限定玻璃基板，有效提高抛光作业效率，并且在抛光的过程中，玻璃基板夹具不易脱落，提高了作业安全性。
附图说明
图1是本发明优选实施方式的玻璃基板夹具的横向剖面结构示意图；
图2是图1所示的玻璃基板夹具的剖面结构示意图；
图3是图2中A处所示的局部结构放大图；
图4是图1所示的玻璃基板夹具的底座的立体结构示意图；
图5是图4所示的底座的剖面结构示意图；
图6是图1所示的玻璃基板夹具的第一盖板的俯视结构示意图；
图7是图6所示的第一盖板的剖面结构示意图；
图8是图1所示的玻璃基板夹具的第二盖板的俯视结构示意图；
图9是图8所示的第二盖板的剖面结构示意图。
附图标记说明
10-玻璃基板夹具；12-夹具主体；120-腔室；121-底座；122-吸附孔；123-盖板；123a-第一盖板；110-第一通孔；112-盖板定位孔；113-盖板定位件；114-定位柱；116-限位孔；123b-第二盖板；130-第二通孔；124-凹陷部；125-抽气孔；126-安装槽；127-接头；128-定位孔；140-安装孔；18-限位机构；180-限位凹槽；182-限位凸台；20-玻璃基板。
具体实施方式
在本发明中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、左、右”通常是指结合附图和实际应用中所示的方位理解，“内、外”是指部件的轮廓的内、外。
本发明提供了一种玻璃基板夹具，结合图1和图2中所示，玻璃基板夹具10包括夹具主体12，夹具主体12具有能够承载玻璃基板20的承载面，夹具主体12设置有腔室120，承载面开设有与腔室120相连通的吸附孔122，腔室120具有抽气孔125，抽气孔125构造为当对抽气孔125进行抽真空时能够使得吸附孔122吸附所述玻璃基板20，玻璃基板夹具10还包括设置在夹具主体12的边缘处的供限定夹具主体12的固定连接件穿过的安装孔140，安装孔140沿夹具主体12的厚度方向延伸，可以理解的是，固定连接件如固定螺栓穿过安装孔140可将夹具主体12限定在待安装部件上，其中，可在待安装部件上设置与安装孔140相配合的配合孔，配合孔可供固定连接件通过，由此可实现夹具主体12与待安装部件之间的连接，例如，当将玻璃基板夹具10应用在抛光系统中时，可通过固定连接件将夹具主体12安装在抛光系统的下盘上。通过设置安装孔140，可实现玻璃基板夹具10的稳固连接，使得玻璃基板夹具10不易脱落，提高了作业安全性。此外，可在夹具主体12的边缘处设置多个安装孔140，多个安装孔140可均匀分布在夹具主体12的边缘处，以进一步提高玻璃基板夹具10的连接稳固性。需要说明的是，抛光系统包括彼此对置的上盘和下盘，玻璃基板夹具10可装配在下盘上，上盘设置有打磨条，以能够对玻璃基板20进行抛光作业。此外，还需要说明的是，对抽气孔125进行抽真空，可使得腔室120处于真空状态，由此，可使得吸附孔122能够吸附支撑在承载面上的玻璃基板20。
为了牢固吸附玻璃基板20，并使得玻璃基板20受力均匀，可在承载面上开设多个吸附孔122，多个吸附孔122可匀分布于承载面。
结合图2和图4中所示，夹具主体12可包括底座121，底座121可构造有凹陷部124；夹具主体12还可包括盖板123，可在盖板123上设置沿盖板123的厚度方向延伸的通孔，通孔可形成为吸附孔122，可在盖板123上开设多个通孔以分别与相应的吸附孔122对应，盖板123可盖设在底座121上，盖板123和底座121可共同围合形成腔室120；其中：安装孔140可设置在底座121的边缘处，这样，固定连接件如螺栓可穿过相应的安装孔140对底座121进行固定安装作业。需要说明的是，抽气孔125可设置在底座121的侧壁，并且抽气孔125构造为与腔室120流体连通，以当对抽气孔125进行抽真空时，可使得腔室120能够处于真空状态，其中，抽气孔125可沿着横穿底座121的方向延伸。此外，底座121可为金属件，如铝合金件。将夹具主体12设置成为分体件，可便于对各个部件进行相应的选材以满足对功能的需求，同时也便于对损坏的部件进行更换。
为了提高腔室120的密闭性，可在底座121上设置环绕凹陷部124的安装槽126，可以理解的是，安装槽126环绕在凹陷部124的外围，并可在安装槽126内装配密封件，例如，可在安装槽126内设置橡胶圈，这样，可提高腔室120的密闭性，由此可提高在对腔室120进行抽真空作业时腔室120内的真空度，相应的，可提高吸附孔122对玻璃基板20的吸附力。
此外，结合图4和图5中所示，可在底座121的侧壁设置允许能够限定底座121的底座定位件如紧固螺栓穿过的定位孔128，定位孔128可设置为沿着横穿底座121的方向延伸，可以理解的是，可在待安装部件如抛光系统的下盘上设置定位条，这样，能够限定底座121的底座定位件如紧固螺栓穿过的定位孔128以及定位条后能够将底座121限定在待安装部件如抛光系统的下盘上。通过设置定位孔128，可能够更好地将底座121限定在待安装部件如抛光系统的下盘上，进一步提高了整个玻璃夹板夹具10的连接稳固性。其中，可在底座121的侧壁设置多个定位孔128，多个定位孔128可均匀分布。
结合图2、图6和图7中所示，盖板123可包括盖设在底座121上的第一盖板123a，可在第一盖板123a上设置与凹陷部124相通的第一通孔110，以形成吸附孔122。为了降低成本，第一盖板123a可为纤维件，同时也便于对其进行打孔作业。
结合图4和图7中所示，玻璃基板夹具10可包括定位结构，定位结构能够限定将第一盖板123a和底座121相固定的盖板定位件113，可以理解的是，盖板定位件113如紧固螺栓可通过定位结构，并将第一盖板123a和底座121彼此固定。其中：定位结构可包括开设在第一盖板123a的供盖板定位件113穿过的盖板定位孔112，盖板定位孔112可沿第一盖板123a的厚度方向延伸；此外，还可在凹陷部124的底部设置定位柱114，相应的可在定位柱114上开设沿底座121的厚度方向延伸且供盖板定位件113伸入的限位孔116。通过定位结构，可使得第一盖板123a和底座121牢固地连接在一起。另外，可在第一盖板123a上设置多个均匀分布的盖板定位孔112，相应的，可在凹陷部124的底部设置分别与相应的盖板定位孔112相对应的多个定位柱114。
结合图2、图8和图9中所示，盖板123可包括覆盖在第一盖板123a上的第二盖板123b，可在第二盖板123b上设置沿第二盖板123b的厚度方向延伸的第二通孔130，第二通孔130可与第一通孔110相对应以形成相应的吸附孔122，可以理解的是，第二通孔130可与相应的第一通孔110共同形成相应的吸附孔122，其中，第二盖板123b为柔性件，可以理解的是，第二盖板123b的背离第一盖板123a的面可形成为承载面，这样，当玻璃基板20承载在第二盖板123b上时，第二盖板123b与玻璃基板20则为柔性接触，大大减少了对玻璃基板20的损伤。第二盖板123b可为硅橡胶件。其中，第二盖板123b可粘接在第一盖板123a上。可以理解的是，可在第一盖板123a和第二盖板123b之间设置粘接层以保证二者的固定连接。其中，粘接层的材料并不受到特别的限制，只要能够保证将上述二者粘接在一起即可。
为了较稳固的支撑玻璃基板20，可使得第二盖板123b的背离第一盖板123a的面可形成有能够容置玻璃基板20的凹部，其中，凹部的深度可设置为小于玻璃基板20的厚度，这样，玻璃基板20容置在凹部后，可超出凹部，从而保证了能够对玻璃基板20进行相应的作业如抛光作业。具体来讲，凹部的深度与玻璃基板20的厚度差值可为0.03-0.11mm。
结合图2和图3中所示，可在第一盖板123a和第二盖板123b之间设置限位机构18，限位机构18可包括限位凹槽180和能够卡入限位凹槽180的限位凸台182，具体来讲，限位凹槽180和能够卡入限位凹槽180的限位凸台182可分别设置在第一盖板123a和第二盖板123b彼此相对的面上，其中，限位凹槽180可设置在第一盖板123a上，限位凸台182可设置在第二盖板123b上，或者，限位凹槽180可设置在第二盖板123b上，限位凸台182可设置在第一盖板123a上。
此外，还可在底座121的边缘处设置溢流槽，以使得抛光液流出。
本发明还提供了一种抛光系统，抛光系统中设置有本发明所提供的玻璃基板夹具10，通过将上述玻璃基板夹具10装配在抛光系统中，从而能够稳固的限定玻璃基板20，有效提高抛光作业效率，并且在抛光的过程中，玻璃基板夹具10不易脱落，提高了作业安全性。需要说明的是，抛光系统包括彼此对置的上盘和下盘，玻璃基板夹具10可装配在下盘上，这样，玻璃基板20可限定在下盘上，而上盘设置有打磨条，以能够对玻璃基板20进行抛光作业。
以上结合附图详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于此。在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，包括各个具体技术特征以任何合适的方式进行组合。为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。但这些简单变型和组合同样应当视为本发明所公开的内容，均属于本发明的保护范围。
Claims (10)
1.玻璃基板夹具，其特征在于，所述玻璃基板夹具(10)包括夹具主体(12)，所述夹具主体(12)具有能够承载玻璃基板(20)的承载面，所述夹具主体(12)设置有腔室(120)，所述承载面开设有与所述腔室(120)相连通的吸附孔(122)，所述腔室(120)具有抽气孔(125)，所述抽气孔(125)构造为当对所述抽气孔(125)进行抽真空时能够使得所述吸附孔(122)吸附所述玻璃基板(20)，所述玻璃基板夹具(10)还包括设置在所述夹具主体(12)的边缘处的供限定所述夹具主体(12)的固定连接件穿过的安装孔(140)，所述安装孔(140)沿所述夹具主体(12)的厚度方向延伸。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板夹具，其特征在于，所述夹具主体(12)包括：
底座(121)，所述底座(121)构造有凹陷部(124)；以及
盖板(123)，所述盖板(123)设置有沿所述盖板(123)的厚度方向延伸的通孔，所述通孔形成为所述吸附孔(122)，所述盖板(123)盖设在所述底座(121)上，所述盖板(123)和所述底座(121)共同围合形成所述腔室(120)；其中：
所述安装孔(140)设置在所述底座(121)的边缘处。
3.根据权利要求2所述的玻璃基板夹具，其特征在于，所述底座(121)设置有环绕所述凹陷部(124)的安装槽(126)，所述夹具主体(12)包括装配在所述安装槽(126)的密封件；和/或
所述底座(121)的侧壁设置有允许能够限定所述底座(121)的底座定位件穿过的定位孔(128)，所述定位孔(128)沿着横穿所述底座(121)的方向延伸。
4.根据权利要求2所述的玻璃基板夹具，其特征在于，所述盖板(123)包括盖设在所述底座(121)上的第一盖板(123a)，所述第一盖板(123a)设置有与所述凹陷部(124)相通的第一通孔(110)，以形成所述吸附孔(122)。
5.根据权利要求4所述的玻璃基板夹具，其特征在于，所述玻璃基板夹具(10)包括定位结构，所述定位结构能够限定将所述第一盖板(123a)和所述底座(121)相固定的盖板定位件(113)；其中：
所述定位结构包括开设在所述第一盖板(123a)的供所述盖板定位件(113)穿过的盖板定位孔(112)，所述盖板定位孔(112)沿所述第一盖板(123a)的厚度方向延伸；所述定位结构还包括设置在所述凹陷部(124)的底部的定位柱(114)，所述定位柱(114)开设有沿所述底座(121)的厚度方向延伸且供所述盖板定位件(113)伸入的限位孔(116)。
6.根据权利要求4所述的玻璃基板夹具，其特征在于，所述盖板(123)包括覆盖在所述第一盖板(123a)上的第二盖板(123b)，所述第二盖板(123b)设置有沿所述第二盖板(123b)的厚度方向延伸的第二通孔(130)，所述第二通孔(130)与所述第一通孔(110)相对应以形成相应的所述吸附孔(122)，其中，所述第二盖板(123b)为柔性件。
7.根据权利要求6所述的玻璃基板夹具，其特征在于，所述第二盖板(123b)的背离所述第一盖板(123a)的面形成有能够容置所述玻璃基板(20)的凹部，所述凹部的深度小于所述玻璃基板的厚度。
8.根据权利要求6所述的玻璃基板夹具，其特征在于，所述玻璃基板夹具(10)包括设置在所述第一盖板(123a)和所述第二盖板(123b)之间的限位机构(18)，所述限位机构(18)包括限位凹槽(180)和能够卡入所述限位凹槽(180)的限位凸台(182)，其中，所述限位凹槽(180)设置在所述第一盖板(123a)上，所述限位凸台(182)设置在所述第二盖板(123b)上，或者，所述限位凹槽(180)设置在所述第二盖板(123b)上，所述限位凸台(182)设置在所述第一盖板(123a)上。
9.根据权利要求1-8中任意一项所述的玻璃基板夹具，其特征在于，所述承载面开设有多个所述吸附孔(122)，多个所述吸附孔(122)均匀分布在所述承载面。
10.抛光系统，其特征在于，所述抛光系统中设置有权利要求1-9中任意一项所述的玻璃基板夹具(10)。
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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