CN116997883A - 触摸屏面板及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及触摸屏面板及其制造方法，其中，在电极层上形成黑色矩阵层之后形成黑色矩阵图案，并且使用黑色矩阵图案蚀刻电极层以形成电极图案。因此，触摸屏面板包括其中具有与电极图案相对应的图案的黑色矩阵设置在电极上的结构。

Description

触摸屏面板及其制造方法
技术领域
本发明涉及具有改善的可视性的触摸屏面板以及制造该触摸屏面板的方法。
背景技术
随着触摸输入类型作为下一输入类型而备受关注，试图将触摸输入类型引入更多种类的电子设备。因此，可以应用于各种环境并且可以精确地感测触摸的触摸传感器也在积极地研究和开发中。
触摸屏面板是将用户的屏幕触摸或手势识别为输入信息的设备，被安装并广泛使用在例如智能手机和平板电脑的个人移动电子设备上。触摸屏面板通常设置并在显示图像的设备(例如显示面板)附近使用，并且通常，用户对显示面板上显示的图像施加触摸输入。
触摸屏面板通常包括用于感测用户的触摸输入的触摸感测电极，并且由例如氧化铟锡(ITO)的透明导电材料制成的透明电极被用作触摸屏面板的触摸感测电极，使得用户看到显示在显示面板上的图像。
然而，用作触摸屏面板的触摸感测电极的ITO在柔性方面低于金属材料。因此，当将使用ITO作为触摸感测电极的材料的触摸屏面板应用于柔性显示设备时，在ITO中可能产生裂纹，因此触摸屏面板的不良品质可能是有问题的。此外，由于与金属材料相比，ITO具有高电阻值，所以当将使用ITO作为触摸感测电极的材料的触摸屏面板应用于大面积显示设备时，由于ITO的高电阻值，驱动触摸屏面板可能存在问题。此外，例如ITO的透明导电氧化物具有低透射率的另一个问题。
正在研究使用金属电极来解决这些问题的方法，但是存在这样的问题，即由于金属的反射率而在显示器中显示出电极图案，并且可视性相应地劣化。
同时，在韩国专利No.10-1022087中公开了一种结构，其中首先形成连接电极，然后形成绝缘膜和接触孔，并且在基板上形成第一感测图案和第二感测图案，但是由于使用了金属图案，存在可视性劣化的问题。此外，当形成图案时，通常通过光刻过程来执行图案化，但是存在过程步骤复杂的问题，例如需要单独去除感光性抗蚀剂。
发明内容
[技术问题]
本发明致力于解决上述现有技术的问题，并且本发明的目的是提供一种触摸屏面板以及制造该触摸屏面板的方法，该触摸屏面板可以简化过程，因为电极图案和黑色矩阵图案是通过大致同时蚀刻电极层和黑色矩阵层而形成的，因此，能够将与电极图案相对应的图案形态的黑色矩阵设置在电极上，并且由于电极图案和黑色矩阵图案在形状和尺寸上相同，所以能够改善金属电极的反射可视性。
然而，本发明的目的不限于上述目的，并且本领域技术人员将从以下描述中清楚地理解其他目的。
[技术方案]
为了实现这些目的，本发明提供了一种触摸屏面板，该触摸屏面板包括：基底；第一电极，所述第一电极在所述基底上以第一图案形态形成；绝缘层，所述绝缘层形成在形成有所述第一电极的所述基底上；以及第二电极，所述第二电极在所述绝缘层上以第二图案形态形成，其中，在从所述第一电极和所述第二电极中选择的一个或多个电极上形成与所述一个或多个电极相对应的图案形态的黑色矩阵。
此外，本发明提供了一种制造触摸屏面板的方法，所述方法包括：在基底上以第一图案形态形成第一电极的步骤；在形成有所述第一电极的所述基底上形成绝缘层的步骤；以及在所述绝缘层上以第二图案形态形成第二电极的步骤，其中，通过图案形成方法形成从所述第一电极和所述第二电极中选择的一个或多个电极，所述图案形成方法包括：形成电极层的步骤；在所述电极层上形成黑色矩阵层的步骤；通过图案化所述黑色矩阵层来形成黑色矩阵图案的步骤；以及通过使用所述黑色矩阵图案蚀刻所述电极层来形成与所述黑色矩阵图案相对应的图案形态的电极图案。
[有益效果]
本发明的触摸屏面板用于通过在电极上形成黑色矩阵而降低电极的反射率来改善可视性，以解决由于位于显示区域中的电极的反射率而显示出电极图案的问题。详细地，本发明可以提供一种触摸屏面板以及制造该触摸屏面板的方法，该触摸屏面板使得可以简化过程，因为在用于电极图案化的光刻中，通过使用黑色矩阵作为光致抗蚀剂而省略了去除光致抗蚀剂的过程，其中与电极图案相对应的图案形态的黑色矩阵设置在电极上，并且由于电极图案和黑色矩阵图案在形状和尺寸上相同而进一步改善了电极的反射可视性。
附图说明
图1是用于描述制造本发明的触摸屏面板的方法的流程图。
图2是用于描述在制造本发明的触摸屏面板的方法中制造电极图案和黑色矩阵图案的方法的流程图。
图3a至图3c是根据本发明的实施方式的触摸屏面板的截面图。
图4a至图4e是根据本发明的实施方式的与触摸屏面板的各个制造过程相对应的平面图和放大图。
图5是图4e中的区域A的截面I-II的截面图。
图6a至图6c是根据本发明的实施方式的用于描述具有在第二电极上形成第二黑色矩阵的结构的触摸屏面板的制造过程的截面图。
图7a至图7c是根据本发明的实施方式的用于描述具有在第一电极上形成第一黑色矩阵的结构的触摸屏面板的制造过程的截面图。
图8a至图8c是根据本发明的实施方式的用于描述具有第一黑色矩阵和第二黑色矩阵分别形成在第一电极和第二电极上的结构的触摸屏面板的制造过程的截面图。
图9示出了示出本发明的实施方式的和比较例的反射性颜色方案、即根据CuO分裂(CuO Split)的反射性色彩方案的色坐标。
附图中附图标记的含义如下。
100：基底
210：第一电极220：第二电极
300：绝缘层
410：第一黑色矩阵420：第二黑色矩阵
510、520：感光性抗蚀剂
600：保护层
具体实施方式
下文中，将参考附图更详细地描述本发明的实施方式。然而，本说明书的附图例示了优选实施方式，并有助于容易地理解本发明的精神以及上面描述的发明内容，因此本发明不应被解释为限于附图中的那些内容。此外，为了便于描述，一些部件可以在附图中被夸大、缩小或省略。此外，在附图中，为了清楚地描述本发明，将省略与描述无关的部件，并且在整个说明书中将使用相似的附图标记来描述相似的部件。
本文中使用的术语用于描述实施方式和实现示例，而不限制本发明。在说明书中，单数形式包括复数形式，除非在句子中另有特别说明。
本文中使用的术语“包括”和/或“包含”不排除存在或附加除所述部件、步骤、操作和/或元件之外的一个或多个其他部件、步骤、操作和/或元件。在整个说明书中，相同的附图标记指示相同的部件，并且为了便于描述，附图中所示的部件可以被夸大、缩小或省略。
在整个说明书中，当一个元件被称为“与”另一个元件“连接”时，它可以“直接连接”到该另一个元件，也可以“电连接”到其他元件，其中另一个元件介于其间。
在整个说明书中，当一个构件被设置在另一个构件“上”时，它不仅可以被设置为与该另一个构件接触，还可以被设置为与两个构件之间的另一个构件接触。
在说明书中，术语“大约”、“基本上”等被用作在所陈述的含义中提出固有制造和物质可允许误差时的值或接近这些值的含义，并且用于防止不择手段的侵权者不公平地使用陈述准确值或绝对值的事物来帮助理解本发明。
在本发明的整个说明书中使用的度的术语“步骤……”或“……的步骤”并不意味着“用于……的步骤”。
在本发明的整个说明书中，包括在马库什格式表述中的术语“其组合”是指从马库什形式表述中描述的一组组件中选择的一种或多种复合物或组合，并且是指包括从一组组件中选择的一个或多个组件。
在本发明的整个说明书中，术语“A和/或B”是指“A或B，或A和B”。
本发明的一个方面提供了一种触摸屏面板，该触摸屏面板包括：基底100；第一电极210，第一电极210在基底100上以第一图案形态形成；绝缘层300，绝缘层300形成在形成有第一电极210的基底100上；以及第二电极220，第二电极220在绝缘层300上以第二图案形态形成，其中，在从第一电极210和第二电极220中选择的一个或多个电极上形成与所述一个或多个电极相对应的图案形态的黑色矩阵410和420。
本发明的触摸屏面板用于通过在电极上形成黑色矩阵而降低电极的反射率来改善可视性，以解决由于电极的反射率而显示出电极图案的问题，本发明的触摸屏面板通过在电极上以与电极图案和黑色矩阵图案相同的形状和尺寸形成与电极图案相对应的图案形态的黑色矩阵，可以进一步改善可视性。
基底100可以使用例如玻璃或塑料的透明绝缘材料。
详细地说，基底可以使用具有优异的透明度、机械强度和热稳定性的膜。例如，由热塑性树脂制成的膜，所述热塑性树脂例如基于聚酯的树脂，例如聚对苯二甲酸乙二酯、聚间苯二甲酸乙二酯、聚萘二甲酸乙二酯、和聚对苯二甲酸丁二酯；基于纤维素的树脂，例如二乙酰纤维素和三乙酰纤维素；基于聚碳酸酯的树脂；基于丙烯酸的树脂，例如聚(甲基)丙烯酸甲酯和聚(甲基)丙烯酸乙酯；基于苯乙烯的树脂，例如聚苯乙烯和丙烯腈-苯乙烯共聚物；基于聚烯烃的树脂，例如聚乙烯、聚丙烯、具有基于环的或降冰片烯结构的聚烯烃、和乙烯-丙烯共聚物；氯乙烯树脂；基于酰胺的树脂，例如尼龙和芳香族聚酰胺；基于酰亚胺的树脂；基于聚醚砜的树脂；基于砜的树脂；基于聚醚醚酮的树脂；基于聚苯硫醚的树脂；基于乙烯醇的树脂；基于偏二氯乙烯的树脂；基于乙烯醇缩丁醛的树脂；基于烯丙基的树脂；基于聚甲醛的树脂；以及基于环氧的树脂，并且可以使用由热塑性树脂的共混物制成的膜。此外，还可以使用由热固性树脂制成的膜，例如基于(甲基)丙烯酸的树脂、基于氨基甲酸乙酯的树脂、基于丙烯酸氨基甲酸乙酯的树脂、基于环氧的树脂和基于硅的树脂，或者UV可固化树脂。
基底100的厚度可以适当地确定，但通常在可加工性方面(例如强度或操作便利性、薄度等)可以为0.1μm至500μm、更优选地可以为0.1μm至100μm。
此外，第一电极210和第二电极220可以使用任何材料而没有具体限制，只要它是金属或金属氧化物即可。例如，可以使用包括钼、银、铝、铜、钯、金、铂、锌、锡、钛的金属材料或其合金；或者选自氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)、氧化锌(ZnO)、氧化铟锌锡(IZTO)和氧化镉锡(CTO)的组的透明金属氧化物。
第一电极210以第一图案形态形成在基底100上，并且如图4a所示，第一图案可以是网格图案，并且详细地，如图4a的放大视图所示，第一图案可以由在第一方向上排列并且彼此连接成一个图案的多个第一电极图案组成。此外，参考图4e，第一电极210的图案可以彼此电连接并且在第一方向上形成，并且可以形成为独立的网格图案。
第二电极220以第二图案形态形成在绝缘层300上，并且第二图案可以是电连接相邻的第一电极图案的网格图案或者可以是条形连接图案。多个第二电极可以排列在与第一方向交叉的第二方向上，并且可以彼此不连接。例如，当第一方向是横向方向时，第二方向可以是纵向方向。
绝缘层300可以形成在第一电极图案之间、以及第一电极和第二电极之间。此外，如图4b所示，绝缘层300可以包括用于电连接第一电极和第二电极的接触孔。
作为绝缘层300的材料，可以不受限制地使用本领域已知的绝缘材料，并且例如，可以使用例如氧化硅的金属氧化物，或者包括基于丙烯酸的树脂的感光性树脂复合物或热固性树脂复合物。替选地，绝缘层300可以使用例如氧化硅(SiOx)的无机物质形成，并且在这种情况下，可以通过溅射等形成绝缘层300。
黑色矩阵410和420可以形成为与第一电极和/或第二电极上的电极的图案形状和尺寸相对应的黑色矩阵图案，以降低电极的反射率。当电极大于黑色矩阵时，电极的边缘被反射并且可视性劣化，而当黑色矩阵大于电极时，可视性可以由于黑色矩阵的尺寸而劣化。因此，可以通过制作电极和黑色矩阵的图案形状和尺寸(宽度)来进一步改善触摸面板屏幕的可视性。具体地，具有相同图案形状和宽度的第一黑色矩阵410可以形成在第一电极图案210上，如图3b所示，具有相同的图案形状和宽度的第二黑色矩阵420可以形成在第二电极图案220上，如在图3a中所示，并且具有相同图案形状和宽度的第一黑色矩阵410和具有相同图案形状和宽度的第二黑色矩阵420可以分别形成在第一电极图案210和第二电极图案220上。
此外，可以使用黑色感光性树脂复合物形成黑色矩阵，该黑色感光性树脂复合物包括着色剂、碱溶性树脂、多官能单体、光引发剂、表面活性剂、溶剂、通常在该领域中使用的其他添加剂等。
此外，如图5所示，本发明的触摸屏面板还可以包括保护层600。保护层600可以形成在形成有第二电极220图案和/或第二黑色矩阵420图案的面板上，并且可以由在一个方向上形成的第一区域和作为除第一区域之外的比第一区域厚的区域的第二区域组成。
保护层600由绝缘材料制成，并形成为覆盖第一电极210、第二电极220、绝缘层300、第一黑色矩阵410和第二黑色矩阵420，从而执行将它们与外部绝缘并保护它们的功能。例如，保护层600可以形成为单层、或者两层或更多层的多层。
此外，本发明的另一方面提供了一种制造触摸屏面板的方法，该方法包括：在基底上以第一图案形态形成第一电极的步骤(S10)；在形成有第一电极的基底上形成绝缘层的步骤(S20)；以及在绝缘层上以第二图案形态形成第二电极的步骤(S30)，
其中，通过图案形成方法形成从所述第一电极和所述第二电极中选择的一个或多个电极，所述图案形成方法包括：形成电极层的步骤(S100)；在所述电极层上形成黑色矩阵层的步骤(S200)；通过图案化所述黑色矩阵层来形成黑色矩阵图案的步骤(S300)；以及通过使用所述黑色矩阵图案蚀刻所述电极层来形成与所述黑色矩阵图案相对应的图案形态的电极图案的步骤。
此外，如图4e所示，该制造方法还可以包括在形成第二电极的步骤之后形成保护层600的步骤。
根据本发明的制造触摸屏面板的方法在用于电极图案化的光刻过程中使用用于黑色矩阵的感光性抗蚀剂作为感光性抗蚀剂，因此可以同时执行电极的图案化和黑色矩阵的图案化，并且可以省略去除感光性抗蚀剂的过程，从而可以简化整个制造过程。
图1是用于描述制造本发明的触摸屏面板的方法的流程图，图2是用于描述在制造本发明的触摸屏面板方法中制造电极图案和黑色矩阵图案的方法的流程图。
在下文中，参考附图详细描述根据本发明的触摸屏面板以及制造触摸屏面板的方法的各种实施方式。
图4a至图4e和图6a至图6e逐步示出了在本发明的实施方式中制造触摸屏面板的过程，该触摸屏面板包括在第二电极220上形成第二黑色矩阵420的结构，并且图5是图4e的放大视图中的区域A的剖面I-II的截面图。
首先，在基底100上以第一图案形态形成第一电极210(S10)。参考图6a，在基底100上形成第一电极210，并且使用感光性抗蚀剂510通过光刻将图案化施加到第一电极210，由此可以形成第一电极图案层。在这种情况下，在形成第一电极图案层210之后去除感光性抗蚀剂510。
如图4a所示，第一图案可以是网格图案，并且详细地，如图4a的放大视图所示，第一图案可以由在第一方向上排列并彼此连接成一个图案的多个第一电极组成。
接下来，在形成有第一电极210的基底100上形成绝缘层300(S20)。参考图4b和图6b，绝缘层300被施加到基底100和第一电极210，因此它可以填充以网格图案连接的多个第一电极210之间的部分。
本领域已知的涂布可以用作施加绝缘层300的方法。例如，可以使用旋涂、模涂、喷涂、辊涂、丝网涂布、狭缝涂布、深涂、凹版涂布等。
绝缘层300可以形成为具有多个绝缘图案。多个绝缘图案可以具有用于将第一电极和第二电极彼此电连接的多个开口，并且详细地，如图4b的放大视图和图5所示，绝缘层300可以被图案化为具有用于至少部分地将第一电极210和第二电极220彼此连接的接触孔，并且还可以被图案化为使得绝缘层300在多个第一电极210的接合处形成为岛状。
接下来，在绝缘层300上以第二图案形态形成第二电极220(S30)。第二图案可以是电连接多个相邻的第一电极图案的网格图案或条形连接图案，并且详细地，如图4d所示，第二图案可由多个第二电极220组成，所述多个第二电极220在与第一方向交叉的第二方向上排列并且彼此不连接。
对于第二电极220，如图4c、图4d和图6c所示，在绝缘层300上形成第二电极层220(S100)，在第二电极层220上形成第二黑色矩阵层420(S200)，通过图案化第二黑色矩阵层形成第二黑色矩阵图案420(S300)，以及可以通过蚀刻第二电极层220来形成与第二黑色矩阵图案420相对应的图案形态的第二电极图案220(S400)。
可以通过在第二黑色矩阵上设置掩模，然后将掩模曝光，然后用显影剂将其显影的过程来图案化第二黑色矩阵420，并且可以通过使用第二黑色矩阵作为光致抗蚀剂以与第二黑色矩阵420相同的图案和形状来蚀刻第二电极220。
由于在通过该过程图案化第二电极时使用用于黑色矩阵的感光性抗蚀剂，因此可以以相同的图案尺寸和形状形成第二电极图案和用于降低第二电极的反射率的第二黑色矩阵图案，并且还可以简化制造过程，因为省略了去除感光性抗蚀剂的过程。此外，由于通过该过程以相同的图案形状和宽度(尺寸)形成第二电极和第二黑色矩阵，因此可以进一步改善触摸屏面板的可视性。此外，如图5和图4e所示，在形成第二电极图案220和第二黑色矩阵图案420之后，可以在前表面上另外形成保护层600。
图7a至图7c示出了在本发明的实施方式中逐步制造触摸屏面板的过程，该触摸屏面板包括在第一电极210上形成第一黑色矩阵410的结构。
首先，在基底100上以第一图案形态形成第一电极210(S10)。如图4a所示，第一图案可以是网格图案，并且详细地，如图4a的放大视图所示，第一图案可以由在第一方向上排列并彼此连接成一个图案的多个第一电极组成。
对于第一电极210的图案化，如图7a所示，在基底100上形成第一电极层210(S100)，在第一电极层210上形成第一黑色矩阵层410(S200)，通过图案化第一黑色矩阵层来形成第一黑色矩阵图案410(S300)，然后可以通过使用第一黑色矩阵图案410蚀刻第一电极层210来形成与第一黑色矩阵图案410相对应的图案形态的第一电极图案210(S400)。
第一黑色矩阵410可以通过在第一黑色矩阵上设置掩模然后曝光该掩模，然后用显影剂将其显影的过程来图案化，并且可以通过使用第二黑色矩阵作为光致抗蚀剂以与第二黑色矩阵420相同的图案和形状来蚀刻第一电极210。
在通过该过程图案化第一电极时使用用于黑色矩阵的感光性抗蚀剂，可以以相同的图案尺寸和形状形成第一电极图案和用于降低第一电极的反射率的第一黑色矩阵图案，并且还可以简化制造过程，因为省略了去除感光性抗蚀剂的过程。此外，由于通过该过程以相同的图案形状和宽度(尺寸)形成第一电极和第一黑色矩阵，因此可以进一步改善触摸屏面板的可视性。
接下来，在形成有第一电极210的基底100上形成绝缘层300(S20)。参考图7b，绝缘层300被施加到基底100和形成有第一黑色矩阵的第一电极210，因此它可以填充以网格图案连接的多个第一电极210之间的部分。
本领域已知的涂布可以用作施加绝缘层300的方法。例如，可以使用旋涂、模涂、喷涂、辊涂、丝网涂布、狭缝涂布、深涂、凹版涂布等。
绝缘层300可以形成为具有多个绝缘图案。多个绝缘图案可以具有用于将第一电极和第二电极彼此电连接的多个开口，详细地，绝缘层300可以被图案化为具有用于至少部分地将第一电极210和第二电极220彼此连接的接触孔，并且还可以被图案化为使得绝缘层300在多个第一电极210的接合处形成为岛状。
接下来，在绝缘层300上以第二图案形态形成第二电极220(S30)。第二图案可以是电连接多个相邻的第一电极图案的网格图案或条形连接图案，并且详细地，第二图案可以由多个第二电极220组成，所述多个第二电极220在与第一方向交叉的第二方向上排列并且彼此不连接。
详细地，参考图7c，在绝缘层300上形成第二电极220，并且使用感光性抗蚀剂520通过光刻将图案化施加到第二电极220，由此可以形成第二电极图案层。在这种情况下，在形成第二图案层220之后去除感光性抗蚀剂520。
此外，在形成第二电极220之后，可以在前表面上另外形成保护层(未示出)。
图8a至图8c示出了在本发明的实施方式中逐步制造触摸屏面板的过程，该触摸屏面板包括第一黑色矩阵410和第二黑色矩阵420分别形成在第一电极210和第二电极220上的结构。
首先，在基底100上以第一图案形态形成第一电极210(S10)。如图4a所示，第一图案可以是网格图案，并且详细地，如图4a的放大视图所示，第一图案可以由在第一方向上排列并彼此连接成一个图案的多个第一电极组成。
对于第一电极210的图案化，如图8a所示，在基底100上形成第一电极层210(S100)，在第一电极层上形成第一黑色矩阵层410(S200)，通过图案化第一黑色矩阵层来形成第一黑色矩阵图案410(S300)，然后可以通过使用第一黑色矩阵图案410蚀刻第一电极层210来形成与第一黑色矩阵图案410相对应的图案形态的第一电极图案210(S400)。第一黑色矩阵410可以通过在第一黑色矩阵上设置掩模然后曝光该掩模，然后用显影剂将其显影的过程来图案化，并且可以通过使用第二黑色矩阵作为光致抗蚀剂以与第二黑色矩阵420相同的图案和形状来蚀刻第一电极210。
接下来，在形成有第一电极210和第一黑色矩阵410的基底100上形成绝缘层300(S20)。参考图8b，绝缘层300被施加到基底100和形成有第一黑色矩阵410的第一电极210，因此它可以填充以网格图案连接的多个第一电极210之间的部分。
本领域已知的涂布可以用作施加绝缘层300的方法。例如，可以使用旋涂、模涂、喷涂、辊涂、丝网涂布、狭缝涂布、深涂、凹版涂布等。
绝缘层300可以形成为具有多个绝缘图案。多个绝缘图案可以具有用于将第一电极和第二电极彼此电连接的多个开口，并且详细地，绝缘层300可以被图案化为具有用于至少部分地将第一电极210和第二电极220彼此连接的接触孔，并且还可以被图案化为使得绝缘层300在多个第一电极210的接合处形成为岛状。
接下来，在绝缘层300上以第二图案形态形成第二电极220(S30)。第二图案可以是电连接多个相邻的第一电极图案的网格图案或条形连接图案，并且详细地，如图4d所示，第二图案可由多个第二电极220组成，所述多个第二电极220在与第一方向交叉的第二方向上排列并且彼此不连接。
对于第二电极220，如图8c所示，在绝缘层300上形成第二电极层220(S100)，在第二电极层220上形成第二黑色矩阵层420(S200)，通过图案化第二黑色矩阵层来形成第二黑色矩阵图案420(S300)，以及可以通过蚀刻第二电极层220来形成与第二黑色矩阵图案420相对应的图案形态的第二电极图案220(S400)。
第一黑色矩阵410可以通过在第一黑色矩阵上设置掩模然后曝光该掩模，然后用显影剂将其显影的过程来图案化，并且可以通过使用第二黑色矩阵作为光致抗蚀剂以与第二黑色矩阵420相同的图案和形状来蚀刻第一电极210。
在通过该过程图案化第一电极和第二电极时使用用于黑色矩阵的感光性抗蚀剂，可以形成第一电极图案和以相同的图案尺寸和形状的用于降低第一电极的反射率的第一黑色矩阵图案，并且还可以省略去除感光性抗蚀剂的过程。此外，由于通过该过程以相同的图案形状和宽度(尺寸)形成电极和矩阵，因此可以进一步改善触摸屏面板的可视性。
此外，在形成第二电极220和第二黑色矩阵420之后，可以在前表面上另外形成保护层(未示出)。
[本发明的实施方式]
在下文中，通过实施方式更详细地描述本发明。然而，提供以下实施方式来更详细地描述本发明，但本发明的范围不受以下实施方式的限制。
示例1
通过根据本发明的方法制造在铜电极上形成黑色矩阵的触摸屏面板(示例1)，然后在下表1和图9中示出反射颜色方案。在图9中，在x轴上，左负(-)方向表示绿色，右正(+)方向表示红色，在y轴上，下负(-)方向表示深蓝色，上正(+)方向表示黄色。
比较例1和2
制造在铜电极上未形成黑色矩阵的触摸屏面板(比较例1)和在铜电极上形成氧化铜层的触摸屏面板(比较例2)，然后在下表1和图9中示出其反射性颜色方案。
[表1]
反射 Y(D65) a*(D65) b*(D65)
比较例1(Cu) 72.0 13.6 15.2
比较例2(Cu+CuO) 15.4 -4.8 -7.6
示例1(BM) 6.0 0.1 -0.4
在表1中，Y是反射率，a*和b*是色坐标。
如表1和图9所示，可以看出，在电极上形成黑色矩阵的示例1中，反射率显著降低，并且显示出接近是黑色的可视性。
[工业适用性]
本发明的触摸屏面板用于通过在电极上形成黑色矩阵而降低电极的反射率来改善可视性，以解决由于位于显示区域中的电极的反射率而显示出电极图案的问题。

Claims (10)

1.一种触摸屏面板，包括：
基底；
在所述基底上以第一图案形态形成的第一电极；
在形成有所述第一电极的基底上形成的绝缘层；以及
在所述绝缘层上以第二图案形态形成的第二电极，
其中，在从所述第一电极和所述第二电极中选择的一个或多个电极上形成与所述一个或多个电极相对应的图案形态的黑色矩阵。
2.根据权利要求1所述的触摸屏面板，其中，所述第一电极的第一图案和设置在所述第一电极上的黑色矩阵的图案具有相同的宽度。
3.根据权利要求1所述的触摸屏面板，其中，所述第二电极的第二图案和设置在所述第二电极上的黑色矩阵的图案具有相同的宽度。
4.根据权利要求1所述的触摸屏面板，其中，所述第一图案和所述第二图案是独立的网格图案。
5.根据权利要求1所述的触摸屏面板，其中，所述第一电极和所述第二电极至少部分地彼此连接。
6.根据权利要求1所述的触摸屏面板，其中，所述第一图案包括在第一方向上排列并且彼此连接成一个图案的多个第一电极，并且所述第二图案包括在与所述第一方向交叉的第二方向上排列且彼此不连接的多个第二电极。
7.一种制造触摸屏面板的方法，所述方法包括：
在基底上以第一图案形态形成第一电极的步骤；
在形成有所述第一电极的基底上形成绝缘层的步骤；以及
在所述绝缘层上以第二图案形态形成第二电极的步骤，
其中，通过图案形成方法形成从所述第一电极和所述第二电极中选择的一个或多个电极，所述图案形成方法包括：
形成电极层的步骤；
在所述电极层上形成黑色矩阵层的步骤；
通过图案化所述黑色矩阵层来形成黑色矩阵图案的步骤；以及
通过使用所述黑色矩阵图案蚀刻所述电极层来形成与所述黑色矩阵图案相对应的图案形态的电极图案的步骤。
8.根据权利要求7所述的方法，其中，形成第一电极的步骤包括形成在第一方向上排列并彼此连接成一个图案的多个第一图案，以及
形成第二电极的步骤包括形成在与所述第一方向交叉的第二方向上排列并且彼此不连接的多个第二图案。
9.根据权利要求7所述的方法，还包括在形成第二电极的步骤之后形成保护层的步骤。
10.根据权利要求7所述的方法，其中，没有去除所述黑色矩阵图案。
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KR102052165B1 (ko) * 2012-11-30 2019-12-05 삼성디스플레이 주식회사 터치스크린 패널의 제조방법
KR101381240B1 (ko) * 2013-04-05 2014-04-04 와이엠티 주식회사 터치 스크린 패널의 제조 방법 및 이에 의하여 제조된 터치 스크린 패널
KR20150047380A (ko) * 2013-10-24 2015-05-04 삼성전기주식회사 터치스크린 패널 및 그 제조방법
TW201545030A (zh) * 2014-05-30 2015-12-01 Henghao Technology Co Ltd 觸控面板及其形成方法
KR102335116B1 (ko) * 2015-04-13 2021-12-03 삼성디스플레이 주식회사 터치 스크린 패널 및 이의 제조 방법

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