CN116972635A - 集成式立体炉系统及其控制方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种集成式立体炉系统及其控制方法，其属于硅片加工技术领域，集成式立体炉系统包括箱体、立式炉、进舟机构、送舟机构、出舟机构及搬舟机构，立式炉设有多个且炉口位于立式炉的底部，箱体包括物料区、舟转运区和炉体区；进舟机构对应立式炉设置有多个，用于将未处理的载片舟送进与其对应的立式炉内以及移出处理后的载片舟；送舟机构与出舟机构上下层设置，送舟机构输送未处理的载片舟；出舟机构输送处理后的载片舟，出舟机构输送的处理后的载片舟散发的热量能向送舟机构输送的载片舟加热。本发明提供的集成式立体炉系统及其控制方法具有较高的热能利用率，能耗较低。
Description
技术领域
本发明涉及硅片加工技术领域，尤其涉及一种集成式立体炉系统及其控制方法。
背景技术
硼扩是一种扩散方式，具体是指硅片在含有硼元素的环境中扩散；扩散的作用在于使硅片表面形成PN结。
目前，硅太阳能电池的制造工艺过程中，通常需要采用扩散工艺进行硅片的PN结制备，并采用LPCVD工艺（Low Pressure Chemical Vapor Deposition低压力化学气相沉积法）完成热氧和薄膜沉积。在扩散/LPCVD工艺时，先将硅片装入承载硅片的小舟中；在硅片放置完成后，将多个小舟送入工艺炉体内进行扩散/LPCVD工艺，工艺结束后送出载片的小舟。
现有技术中，扩散/LPCVD工艺炉体包括立式或卧式的形式布置，也即是采用立式炉或卧式炉进行加工，一般地，每个物料在由物料入口进入炉体之前，需要采用预设设备进行预热，以防止温度剧增导致的物料裂碎等问题。物料在炉中处理后，温度较高，在物料出口处需要设置散热设备，预设设备和散热设备均需要消耗能源，导致现有技术中的炉体设备的能源利用率较低，亟需改进。
发明内容
本发明的目的在于提供一种集成式立体炉系统及其控制方法，具有较高的热能利用率，能耗较低。
如上构思，本发明所采用的技术方案是：
集成式立体炉系统，包括：
箱体，所述箱体沿第一方向依次间隔设置的物料区、舟转运区和炉体区，所述物料区设置上层区域和下层区域，所述舟转运区沿第二方向延伸设置，所述炉体区沿所述第二方向间隔设置多个立式炉，所述第一方向与所述第二方向垂直，且所述箱体的物料区设有物料口，所述立式炉的炉口位于所述立式炉的底部；
进舟机构，对应所述立式炉设置有多个，所述进舟机构活动设置于对应的所述立式炉的下方，并用于将未处理的载片舟送进与其对应的所述立式炉内以及将处理后的载片舟移出所述立式炉；
送舟机构，设置于所述上层区域和所述下层区域中的一个，并用于输送未处理的载片舟，所述送舟机构的进料端位于所述物料口；
出舟机构，设置于所述上层区域和所述下层区域中的另一个，所述出舟机构用于输送处理后的载片舟，且所述出舟机构的出料端位于所述物料口，所述出舟机构输送的处理后的载片舟散发的热量能向所述送舟机构输送的载片舟加热；
搬舟机构，设于所述舟转运区，用于搬运所述送舟机构上的未处理的所述载片舟至所述进舟机构上，以及搬运所述进舟机构上处理后的载片舟至所述出舟机构上。
可选地，所述进舟机构包括Z向驱动组件、弹性件及炉体密封件，所述弹性件设置于所述Z向驱动组件及所述炉体密封件之间，所述炉体密封件的顶面用于承载所述载片舟，所述Z向驱动组件用于驱动所述炉体密封件在Z向移动，以将所述载片舟送入所述立式炉内或将所述载片舟从所述立式炉内运出，所述炉体密封件能将所述立式炉的所述炉口密封。
可选地，金属材质的所述炉体密封件位于所述立式炉内部的表面涂覆有屏蔽层。
可选地，所述Z向驱动组件包括设置于所述立式炉一侧的驱动件及连接于所述驱动件输出端的托板，所述弹性件设置于所述托板与所述炉体密封件之间，所述立式炉与所述驱动件之间设有隔热组件或冷却组件。
可选地，所述送舟机构包括送舟支撑架、送舟抬升件及多个送舟移位件，所述送舟支撑架具有多个第一料位，所述送舟移位件滑动设置于所述送舟支撑架上，并用于将未处理的所述载片舟由一个所述第一料位移动至第一预设方向上的后一个所述第一料位，所述送舟抬升件用于抬升所述载片舟，以使所述送舟移位件能空载移动，所述送舟支撑架的一端为所述进料端，位于所述送舟支撑架另一端的所述第一料位为取料位；所述搬舟机构用于搬运所述取料位上的未处理的所述载片舟至所述进舟机构上，所述第一预设方向为所述送舟支撑架的一端指向所述送舟支撑架的另一端的方向。
可选地，所述出舟机构包括出舟支撑架、出舟抬升件及多个出舟移位件，所述出舟支撑架具有多个第二料位，所述出舟移位件滑动设置于所述出舟支撑架上，并用于将处理后的所述载片舟由一个所述第二料位移动至第二预设方向的后一个所述第二料位，所述出舟抬升件用于抬升所述载片舟，以使所述出舟移位件能空载移动，所述出舟支撑架的一端为所述出料端，位于所述出舟支撑架另一端的所述第二料位为下料位；所述搬舟机构还用于搬运所述进舟机构上处理后的载片舟至所述下料位上，所述第二预设方向为所述出舟支撑架的另一端指向所述出舟支撑架的一端的方向。
可选地，还包括托盘及隔热垫，所述托盘用于放置所述载片舟，每个所述第一料位及每个所述第二料位均设有一个所述托盘，每个所述送舟移位件的顶面及每个所述出舟移位件的顶面均设有所述隔热垫，所述送舟移位件、所述出舟移位件均通过所述隔热垫与所述托盘接触。
可选地，所述第二料位的个数大于所述出舟移位件的个数，所述第一料位的个数大于所述送舟移位件的个数，多个所述第一料位、所述第二料位等间距设置。
可选地，还包括保温炉门及与所述保温炉门对应的炉门驱动机构，所述保温炉门对应所述立式炉设有多个，所述炉门驱动机构用于在所述立式炉空置时驱动所述保温炉门密封与其对应的所述炉口，以及在承载了未处理的所述载片舟的所述进舟机构接近所述炉口时驱动所述保温炉门返回原位置。
集成式立体炉系统的控制方法，用于控制如上所述的集成式立体炉系统，包括：
送舟机构输送未处理的载片舟，出舟机构输送处理后的载片舟，送舟机构上未处理的载片舟通过所述出舟机构上处理后的载片舟进行预热；
搬舟机构将预热后的载片舟搬运至进舟机构上；
进舟机构将其上预热的载片舟送进与其对应的立式炉内；
处理完成后，进舟机构将处理后的载片舟移出立式炉；
搬舟机构将处理后的载片舟搬运至出舟机构上；
出舟机构将载片舟输送至出料端。
本发明的有益效果：
本实施例提供的集成式立体炉系统及其控制方法，通过立式炉对载片舟进行处理，进舟机构能够从立式炉底部的炉口将载片舟移入或移出立式炉，搬舟机构用于在送舟机构与进舟机构之间及出舟机构之间搬运载片舟，因为整个集成式立体炉内部包括物料区、舟转运区、炉体区，其中物料区分为上层区域和下层区域，这种分区设置充分利用箱体内的空间，有利于控制，而且使设备内温度区域化；另外出舟机构位于物料区的上层区域，送舟机构位于物料区的下层区域，使得出舟机构运输的载片舟散发的热量能对送舟机构上的载片舟进行加热，进而实现了处理后的载片舟的冷却及处理前的载片舟的预热，充分利用了处理后的载片舟上的热量，提高了集成式立体炉系统的能源利用率，降低了能源损耗。而且，相比卧式炉，本申请中的集成式立体炉系统，结构紧凑，占地面积小，提升了单位面积的产能。
附图说明
图1是本发明实施例提供的集成式立体炉系统的结构示意图；
图2是本发明实施例提供的部分集成式立体炉系统的俯视图；
图3是本发明实施例提供的部分集成式立体炉系统的结构示意图（不包括箱体）；
图4是本发明实施例提供的部分集成式立体炉系统的结构示意图（不包括箱体、送舟机构及出舟机构）；
图5是本发明实施例提供的立式炉、进舟机构、保温炉门及炉门驱动机构的装配示意图；
图6是本发明实施例提供的进舟机构的结构示意图；
图7是本发明实施例提供的部分集成式立体炉系统的侧视图；
图8是本发明实施例提供的送舟机构及出舟机构的结构示意图；
图9是本发明图8所示的A处放大图；
图10是本发明图8所示的B处放大图；
图11是本发明实施例提供的保温炉门及炉门驱动机构的结构示意图；
图12是本发明实施例提供的多个第一料位与多个第二料位的示意图。
图中：
1、箱体；11、上层区域；12、下层区域；13、物料口；14、隔板；1a、物料区；1b、舟转运区；1c、炉体区；2、立式炉；21、炉口；3、进舟机构；31、Z向驱动组件；311、驱动件；312、托板；32、弹性件；33、炉体密封件；4、送舟机构；40、进料端；41、送舟支撑架；411、第一料位；4111、取料位；42、送舟抬升件；421、支架；43、送舟移位件；5、出舟机构；50、出料端；51、出舟支撑架；511、第二料位；5111、下料位；52、出舟抬升件；53、出舟移位件；6、搬舟机构；7、托盘；8、隔热垫；9、保温炉门；10、炉门驱动机构；101、滑轨；102、Y向气缸；103、Z向气缸；104、滑块；20、电气箱；30、水气系统；100、第一排热管；200、步梯；300、电气柜门；400、控制终端；500、第二排热管；600、导轨；700、分隔架。
具体实施方式
为使本发明解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
实施例一
本实施例提供了一种集成式立体炉系统，能够用于硅太阳能电池的硅片的硼扩、氧化、退火等处理，具有较高的热能利用率，能耗较低。
如图1至图5所示，集成式立体炉系统包括箱体1、立式炉2、进舟机构3、送舟机构4、出舟机构5及搬舟机构6。
其中，如图7所示，箱体1沿第一方向Y依次间隔设置的物料区1a、舟转运区1b和炉体区1c。其中，如图1所示，物料区1a设置上层区域11和下层区域12，舟转运区1b沿第二方向X延伸设置，炉体区1c沿第二方向X间隔设置的多个立式炉2，第一方向Y与第二方向X垂直。箱体1的物料区1a设有物料口13，物料口13用于物料的放入和取出。本实施例中，物料口13位于箱体1的一个侧壁。
在一些实施例中，多个立式炉2沿第二方向X依次间隔设置，立式炉2用于对硅片进行加热，其中，硅片可以承载在小舟上，本实施例将承载有硅片的小舟称为载片舟。本实施例中，立式炉2的炉口21位于立式炉2的底部，也即是，本实施例中的立式炉2为立式炉。立式炉具有占地面积小、产量高等优点。
如图3所示，进舟机构3也设有多个，多个送舟机构4与多个立式炉2一一对应设置，进舟机构3活动设置于对应的立式炉2的下方，本实施例中，进舟机构3位于炉体区1c，进舟机构3用于将未处理的载片舟送进与其对应的立式炉2内，使得立式炉2对载片舟进行处理；进舟机构3还用于将处理后的载片舟移出立式炉2。
送舟机构4设置于物料区1a，具体位于上层区域11和下层区域12中的一个，出舟机构5设置于物料区1a，具体位于上层区域11和下层区域12中的另一个，也即是，出舟机构5和送舟机构4上下设置。于本实施例中，出舟机构5设置于上层区域11，送舟机构4设置于下层区域12，即出舟机构5位于送舟机构4的上方。送舟机构4用于输送未处理的载片舟，并且，送舟机构4的进料端40位于物料口13。出舟机构5用于输送处理后的载片舟，且出舟机构5的出料端50位于物料口13，出舟机构5与送舟机构4上下相对，且进料端40与出料端50分别位于物料口13，出舟机构5输送的处理后的高温的载片舟能向物料区1a散发热量，而送舟机构4输送的载片舟的温度较低，有温差就会有传热，使得温度较低的载片舟吸收高温的载片舟向物料区1a散发的热量，也即是，出舟机构5输送的处理后的载片舟散发的热量能向送舟机构4输送的载片舟加热，且送舟机构4运送载片舟的方向与出舟机构5输送载片舟的方向相反，使得高温的处理后的载片舟具有较长的时间散发热量，低温的未处理的载片舟具有较长的时间吸收热量，进而实现对未处理的载片舟的预热。
如图4和图7所示，本实施例的搬舟机构6设于舟转运区1b，搬舟机构6用于搬运送舟机构4上的未处理的载片舟至进舟机构3上，具体地，搬舟机构6能够分别对多个进舟机构3进行上料，搬舟机构6还用于搬运进舟机构3上的处理后的载片舟至出舟机构5上，具体地，搬舟机构6能够将每个进舟机构3上处理后的载片舟搬运至出舟机构5上。可选地，搬舟机构6的具体结构可以参见现有技术，如现有技术中的机械手等部件，只需能够实现相应功能即可。
本实施例提供的集成式立体炉系统，通过立式炉2对载片舟进行处理，进舟机构3能够从立式炉2底部的炉口21将载片舟移入或移出立式炉2，搬舟机构6用于在送舟机构4与进舟机构3之间及出舟机构5之间搬运载片舟，出舟机构5位于上层区域11，送舟机构4位于下层区域12，使得出舟机构5运输的载片舟散发的热量能对送舟机构4上的载片舟进行加热，进而实现了处理后的载片舟的冷却及处理前的载片舟的预热，充分利用了处理后的载片舟上的热量，提高了集成式立体炉系统的能源利用率，降低了能源损耗。而且，相比卧式炉，本申请中的集成式立体炉系统，结构紧凑，占地面积小，提升了单位面积的产能。
另外，将多个立式炉2、进舟机构3、出舟机构5、送舟机构4及搬舟机构6集成设置在一个箱体内，集成度较高；并且，通过将箱体1设置为多区域结构，使得立式炉2、送舟机构4及出舟机构5的布置能够充分利用箱体1的空间，且具有较高的集成度；再者，立式炉2采用立式炉，占地面积较小，通过设置多个，使得集成式立体炉系统的产能较高。
可选地，如图4和图6所示，每个进舟机构3均包括Z向驱动组件31、弹性件32及炉体密封件33。其中，弹性件32设置于Z向驱动组件31及炉体密封件33之间，并用于使炉体密封件33与Z向驱动组件31之间柔性对接，防止炉体密封件33直接撞击炉口21而使炉口21损伤。
炉体密封件33的顶面用于承载载片舟，示例地，弹性件32可以采用刚性相对强的金属波纹管，以防止柔性过大而使载片舟放在炉体密封件33上抬升时发生摇晃。炉体密封件33能将立式炉2的炉口21密封，进而能够形成相对密封的空间，防止立式炉2产生的热量向外散失，进一步提高了热利用率。需要说明的是，立式炉2具有用于限位炉体密封件33的限位结构，当炉体密封件33与限位结构接触时，说明炉体密封件33移动到位。或者，立式炉2内也可以具有密封结构，立式炉2内的密封结构能与炉体密封件33相互接触，当密封结构与炉体密封件33对接时，说明炉体密封件33移动到位。
Z向驱动组件31用于驱动炉体密封件33在Z向移动，以将载片舟送入立式炉2内或将载片舟从立式炉2内运出，前述的Z向、第一方向Y及第二方向X两两垂直。本实施例中，Z向驱动组件31能够将载片舟移送至立式炉2外的预设位置，等待搬舟机构6对该预设位置处的载片舟进行搬运。
进一步可选地，炉体密封件33的一部分位于立式炉2内，当炉体密封件33的材质为金属材质时，炉体密封件33位于立式炉2内的部分的表面涂覆有屏蔽层，屏蔽层可以用于屏蔽金属离子，以防止金属离子在立式炉2内析出而对硅片造成污染。可以理解的是，炉体密封件33的材质还可以为非金属材质，本实施例对此不作限定，此时，炉体密封件33位于立式炉2内的部分可以无需涂覆屏蔽层。
可选地，本实施例中的炉体密封件33包括密封圈，密封圈的材质设置为耐高温材质，且采用燕尾槽结构进行安装，以防止密封圈脱落或高温碳化。
在一些可选的实施例中，如图6所示，Z向驱动组件31包括设置于立式炉2外一侧的驱动件311及连接于驱动件311的输出端的托板312。其中，弹性件32设置于托板312与炉体密封件33之间，立式炉2与驱动件311之间设有隔热组件或冷却组件，以防止立式炉2周围的高温影响驱动件311正常工作。本实施例中的驱动件311采用气缸或电缸，当采用电缸时，可以为丝杆电缸，且丝杠电缸的材质为耐高温材质。
可选地，如图3和图8所示，送舟机构4包括送舟支撑架41、送舟抬升件42及多个送舟移位件43。其中，送舟支撑架41具有多个第一料位411，多个第一料位411沿第二方向X依次间隔设置。每个送舟移位件43均沿第二方向X滑动设置于送舟支撑架41上，并用于将未处理的载片舟由一个第一料位411移动至第一预设方向上的后一个第一料位411，也即是，未处理的载片舟通过送舟移位件43进行移动。需要说明的是，送舟支撑架41的一端为进料端40，第一预设方向为送舟支撑架41的一端指向送舟支撑架41的另一端的方向，使得送舟移位件43将多个载片舟向逐渐远离进料端40的方向进行移动，以能够具有足够的时间吸收热量。
本实施例中的送舟抬升件42用于抬升载片舟，当送舟移位件43将一个第一料位411上的载片舟放置到其后方的第一料位411上后，送舟移位件43需要回退，此时，送舟抬升件42将后方的第一料位411上的载片舟抬升，载片舟与送舟移位件43脱离，以使送舟移位件43能空载移动。需要说明的是，送舟抬升件42在一次抬升过程中，能够将送舟支撑架41上的所有载片舟均抬升，进而使得多个送舟移位件43能够同时空载移动，提高了送舟机构4的送舟效率。
请继续参见图8，位于送舟支撑架41另一端的第一料位411为取料位4111，搬舟机构6用于搬运取料位4111上未处理的载片舟至进舟机构3上，也即是，只有当取料位4111存在载片舟时，搬舟机构6才会搬运取料位4111处的载片舟，通过将取料位4111设置在送舟支撑架41的另一端，使得载片舟具有较长的预热路径和预热时长，提高了载片舟的预热效果。需要说明的是，在集成式立体炉系统刚开始工作时，出舟机构5上不存在处理后的载片舟，此时，可以采用外部预热设备对载片舟进行预热，当出舟机构5上存在处理后的载片舟后，无需在通过外部预设设备进行预热，而是通过出舟机构5上的载片舟进行预热。
出舟机构5的具体结构与送舟机构4的具体结构类似，具体地，请参见图3和图8，出舟机构5包括出舟支撑架51、出舟抬升件52及多个出舟移位件53。出舟支撑架51具有多个第二料位511，多个第二料位511在第二方向X依次间隔设置。每个出舟移位件53均沿第二方向X滑动设置于出舟支撑架51上，并用于将处理后的载片舟由一个第二料位511移动至第二预设方向的后一个第二料位511，也即是，处理后的载片舟通过出舟移位件53进行移动。需要说明的是，出舟支撑架51的一端为出料端50，第二预设方向为出舟支撑架51的另一端指向出舟支撑架51的一端的方向，使得出舟移位件53将多个载片舟向靠近出料端50的方向进行移动，以能够具有足够的时间释放热量。
本实施例中的出舟抬升件52用于抬升载片舟，当出舟移位件53将一个第二料位511上的载片舟放置到其后方的第二料位511上后，出舟移位件53需要回退，此时，出舟抬升件52将后方的第二料位511上的载片舟抬升，载片舟与出舟移位件53脱离，以使出舟移位件53能空载移动。需要说明的是，出舟抬升件52在一次抬升过程中，能将出舟支撑架51上的所有载片舟均抬升，进而使得多个出舟移位件53能够同时空载移动，提高了出舟机构5的出舟效率。
请继续参见图8，位于出舟支撑架51另一端的第二料位511为下料位5111，搬舟机构6用于搬运进舟机构3上的处理后的载片舟至下料位5111上，也即是，搬舟机构6仅将载片舟防止在下料位5111上，而不会放在其他第二料位511上，使得处理后的载片舟具有较长的放热路径和放热时长，提高了对送舟机构4上的载片舟的预热效果。另外，该工艺路线定点放料、定点取料，减少了取料和进料过程中的位置检测，简化了控制逻辑，同时也实现了余热均匀利用，继而提升了系统的实用性。
进一步可选地，如图8和图9所示，集成式立体炉系统还包括托盘7及隔热垫8。其中，托盘7用于放置载片舟，每个第一料位411及每个第二料位511均设有一个托盘7，每个送舟移位件43的顶面及每个出舟移位件53的顶面均设有隔热垫8，送舟移位件43通过隔热垫8与托盘7接触，出舟移位件53通过隔热垫8与托盘7接触。
本实施例中，如图8所示，第二料位511的个数大于出舟移位件53的个数，本实施例中，第二料位511的个数为6个，出舟移位件53的个数为5个，以使得出舟移位件53具有足够的移动空间。第二料位511的个数还大于第一料位411的个数，进而使得处理后的载片舟移动至出料端50时具有较长的移动路径，进而能够具有较好的冷却效果，和对未处理的载片舟有更好的预热效果。类似地，第一料位411的个数大于送舟移位件43的个数，第一料位411的个数为4个，送舟移位件43的个数为3个，以使得送舟移位件43具有移动空间。
本实施例中的多个第一料位411、多个第二料位511等间距设置，使得只需设置出舟移位件53移动一个步长即可，送舟移位件43也只需设置一个移动步长，简化了控制逻辑，降低出舟移位件53和送舟移位件43出错的几率。示例地，出舟移位件53和送舟移位件43的具体结构可以参见现有技术，仅需能够实现搬运载片舟（或托盘7）、能与载片舟（或托盘7）分离、以及能移动即可。示例地，出舟移位件53和送舟移位件43的具体结构可以相同，且均包括气缸、夹爪等必要部件，本实施例对此不做限定。
本实施例中，出舟抬升件52和送舟抬升件42均可以包括气缸等机构。进一步地，气缸可以通过支架421对多个载片舟或托盘7进行抬升，使得气缸的需要量可以较少。本实施例中，如图3所示，箱体1内设置有两个垂直连接的隔板14，两个隔板14与箱体1的壁之间形成电气容置空间，集成式立体炉系统还包括为电气容置空间内的电气箱20，也即是，电气箱20设置在下层区域12，并位于送舟机构4的一侧，控制器等部件设置在电气箱20内。箱体1还设置有电气柜门300，电气柜门300能打开或关闭，便于电气箱20的检修。如图8和图10所示，隔板14上安装有导轨600，上述支架421滑动设置在导轨600上，进而对支架421的移动进行导向，提高支架421移动的稳定性。
可选地，如图11所示，集成式立体炉系统还包括保温炉门9及与保温炉门9对应的炉门驱动机构10。保温炉门9对应立式炉2设有多个，炉门驱动机构10用于在立式炉2空置时驱动保温炉门9密封与其对应的炉口21，进而能够防止热量的散失。其中，立式炉2空置时指进舟机构3与立式炉2之间解除密封，也即是，载片舟在立式炉2内反应完成后，进舟机构3带着载片舟下降至载片舟完全脱离立式炉2的炉口21。保温炉门9能将炉口21密封，以减少立式炉2内热量的散失；需要说明的是，当进舟机构3再次承载了未处理的载片舟上升至接近炉口21的位置，也即是承载了未处理的载片舟的进舟机构3接近炉口21时，炉门驱动机构10驱动保温炉门9解除与炉口21的密封，并返回原位置。于图11中，保温炉门9所在的位置为原位置，虚线位置为炉口21的位置，图11中箭头所示的方向为原位置指向炉口21的方向。需要说明的是，本实施例中的进舟机构3接近炉口21可以为进舟机构3与炉口21之间的间距大于第一预设距离且小于第二预设距离，第一预设距离大于保温炉门9的厚度。
进一步可选地，请继续参见图11，每个炉门驱动机构10包括滑轨101、Y向气缸102、Z向气缸103及滑块104。其中，集成式立体炉系统还包括分隔架700，立式炉2固定安装在分隔架700上，滑轨101沿第一方向Y延伸并安装在分隔架700上，Y向气缸102连接于滑块104，滑块104滑动设置在滑轨101上，Y向气缸102用于通过滑块104驱动保温炉门9在第一方向Y移动，以从原位置移动至炉口21下方，或从炉口21下方移动至原位置。Z向气缸103连接于滑块104与保温炉门9之间，Z向气缸103能跟随滑块104在第一方向Y移动，并由驱动保温炉门9在Z向移动，以靠近炉口21移动或远离炉口21移动，进而使得保温炉门9能与炉口21密封。
可选地，如图1和图2所示，集成式立体炉系统还包括水气系统30、第一排热管100、步梯200、控制终端400及第二排热管500。其中，控制终端400设置在箱体1接近进料端40和出料端50的位置，通过控制终端400能够向集成式立体炉系统输入指令。在箱体1还设置有步梯200，方便维修人员从箱体1的底部沿着步梯200进入箱体1的内部立式炉2所在的区域，以在立式炉2旁边的过道上维修或安装立式炉2。在每个立式炉2或者两个立式炉2之间设置一个第二排热管500，以在立式炉2打开时，将立式炉2内未反应完的气体，或热气抽出，避免这些气体扩散在设备内部。第一排热管100位于立式炉2在第一方向Y的一侧。水气系统30设置在箱体1内，包括用于给系统内各个机构降温的冷却水系统、用于向立式炉2内通反应气体的进气系统、从立式炉2内往外抽气的系统、以及整个系统的排气系统。
可选地，本实施例中的立式炉2可以为立式双层炉管结构，载片舟放在双层炉管之间的腔体内，第一炉管和第二炉管可以为石英材料或碳化硅材料，立式炉2中第一炉管和第二炉管的一端可以一体成型而成，立式炉2的底端，内部的第一炉管的端部密封设置，外部第二炉管由进舟机构3上的炉体密封件33与之对接密封。内外双层炉管的加热效果和保温效果优于常规的单层炉管结构，有利于提升反应的质量。可以理解的是，立式炉2还可以为单管或其他形式的炉，本实施例对此不做限定。
实施例二
本实施例提供了一种集成式立体炉系统的控制方法，用于控制实施例一中的集成式立体炉系统，能够具有较高的能源利用率。
集成式立体炉系统的控制方法包括如下内容：
S1、送舟机构4输送未处理的载片舟，出舟机构5输送处理后的载片舟，送舟机构4上未处理的载片舟通过出舟机构5上的处理后的载片舟进行预热；
S2、搬舟机构6将预热后的载片舟搬运至进舟机构3上；
S3、进舟机构3将其上预热后的载片舟送进与其对应的立式炉2内；
S4、处理完成后，进舟机构3将处理后的载片舟移出立式炉2；
S5、搬舟机构6将处理后的载片舟搬运至出舟机构5上；
S6、出舟机构5将载片舟输送至出料端50。
本实施例提供的集成式立体炉系统的控制方法，通过立式炉2系统对载片舟进行扩散、氧化等处理，其中，进舟机构3能够从立式炉2底部的炉口21将载片舟移入或移出立式炉2，搬舟机构6用于在送舟机构4与进舟机构3之间及出舟机构5之间搬运载片舟，因为出舟机构5与送舟机构4在Z向上间隔设置，所以出舟机构5运输的载片舟散发的热量能对送舟机构4上的载片舟进行加热，进而实现了处理后的载片舟的冷却及处理前的载片舟的预热，充分利用了处理后的载片舟上的热量，提高了集成式立体炉系统的能源利用率，降低了能源损耗。
而且，相比卧式炉，本实施例中的集成式立体炉系统还具有结构紧凑，占地面积小等优势，进而能够提升单位面积的产能。
本实施例提供一种更为详细的集成式立体炉系统的控制方法，具体如下：
外部工具将载片舟通过物料口13放置在送舟机构4的进料端40，送舟机构4对未处理的载片舟进行运输，将该载片舟依次运输至不同的第一料位411，直至运输至取料位4111，在该载片舟运输的过程中，持续向进料端40进行放料。取料位4111存在载片舟时，搬舟机构6动作，在取料位4111上搬取未处理的载片舟，并搬运至位于一个立式炉2的下方的进舟机构3上。进舟机构3带动载片舟靠近炉口21移动，当进舟机构3接近炉口21时，炉门驱动机构10控制该一个立式炉2密封炉口的保温炉门9先沿Z向下降，然后沿第一方向Y移动至原位置。接下来，进舟机构3继续带动载片舟移动，以进入立式炉2内，并密封炉口21，立式炉2对该载片舟进行处理。
需要说明的是，搬舟机构6在释放一个载片舟后，再次搬运取料位4111处的载片舟至位于另一个立式炉2下方的进舟机构3上，直至每个立式炉2内均具有载片舟。载片舟反应完成后，进舟机构3调动载片舟下降至预设位置，等待搬舟机构6进行搬运，并且，炉门驱动机构10驱动保温炉门9移动至炉口21处，并密封暂时没有载片舟的立式炉2的炉口21。接下来，搬舟机构6将处理完的载片舟搬运至下料位5111，然后通过出舟机构5对下料位5111处的载片舟进行运输，直至运输至物料口13让外部工具将处理完的载片舟搬离该集成式立体炉系统。本实施例中，多个立式炉2的连续功能能够提高载片舟处理的效率。
如图12所示，6个第二料位511分别为C1工位、C2工位、C3工位、C4工位、C5工位和C6工位。4个第一料位411分别为D1工位、D2工位、D3工位和D4工位。
搬舟机构6将反应后的载片舟放在下料位5111（即C6工位），当C6工位具有一个出舟移位件53时，载片舟直接放置在一个出舟移位件53上，此时，C5工位不存在出舟移位件53，且出舟抬升件52处于未抬升状态。接下来，出舟移位件53带动载片舟移动一个步长，移动至C5工位处，之后，控制出舟抬升件52抬升，以将载片舟抬起并与出舟移位件53脱离，此时，C5工位的出舟移位件53移动至C6工位，C4工位的出舟移位件53移动至C5工位，C3工位的出舟移位件53移动至C4工位，C2工位的出舟移位件53移动至C3工位，C1工位的出舟移位件53移动至C2工位处。再接着，搬舟机构6再向C6工位放一个载片舟，重复上述部分，C6工位的出舟移位件53将C6工位的载片舟移动至C5工位，C5工位处的出舟移位件53将C5工位的载片舟移动至C4工位，以此类推，能够逐步地将载片舟移动至C1工位。
送舟机构4的工作原理与出舟机构5的工作原理类似，区别在于方向不同，也能够将D1工位的载片舟，先移动至D2工位，然后移动至D3工位，进而逐步地移动至D4工位（即取料位4111），本实施例在此不做赘述。
下料位5111和取料位4111均设置在出料端50和进料端40的对侧最远工位处，作用在于，处理后的载片舟被放在下料位5111后，从此向出料端50移动，在移动过程中通过水气系统30对其进行抽风降温处理，使得到达出料端50的载片舟的温度下降至设置的温度，如小于100℃；另外，从进料端40进入的冷态的载片舟在移动过程中对其进行预热，防止直接将冷态的载片舟放在高温炉体内，硅片温度巨变而发生碎裂。其中，可以实现的是，将上层热态的载片舟散发的热量作为下层冷态的载片舟预热的热源，以提升能源利用率。另外，该工艺路线定点放料、定点取料，减少了取料和进料过程中的位置检测，简化了控制逻辑，同时也实现了余热均匀利用，继而提升了集成式立体炉系统的实用性。
注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。
Claims (10)
1.集成式立体炉系统，其特征在于，包括：
箱体（1），所述箱体（1）沿第一方向依次间隔设置的物料区（1a）、舟转运区（1b）和炉体区（1c），所述物料区（1a）设置上层区域（11）和下层区域（12），所述舟转运区（1b）沿第二方向延伸设置，所述炉体区（1c）沿所述第二方向间隔设置多个立式炉（2），所述第一方向与所述第二方向垂直，且所述箱体（1）的物料区（1a）设有物料口（13），所述立式炉（2）的炉口（21）位于所述立式炉（2）的底部；
进舟机构（3），对应所述立式炉（2）设置有多个，所述进舟机构（3）活动设置于对应的所述立式炉（2）的下方，并用于将未处理的载片舟送进与其对应的所述立式炉（2）内以及将处理后的载片舟移出所述立式炉（2）；
送舟机构（4），设置于所述上层区域（11）和所述下层区域（12）中的一个，并用于输送未处理的载片舟，所述送舟机构（4）的进料端（40）位于所述物料口（13）；
出舟机构（5），设置于所述上层区域（11）和所述下层区域（12）中的另一个，所述出舟机构（5）用于输送处理后的载片舟，且所述出舟机构（5）的出料端（50）位于所述物料口（13），所述出舟机构（5）输送的处理后的载片舟散发的热量能向所述送舟机构（4）输送的载片舟加热；
搬舟机构（6），设于所述舟转运区（1b），用于搬运所述送舟机构（4）上的未处理的载片舟至所述进舟机构（3）上，以及搬运所述进舟机构（3）上处理后的载片舟至所述出舟机构（5）上。
2.根据权利要求1所述的集成式立体炉系统，其特征在于，所述进舟机构（3）包括Z向驱动组件（31）、弹性件（32）及炉体密封件（33），所述弹性件（32）设置于所述Z向驱动组件（31）及所述炉体密封件（33）之间，所述炉体密封件（33）的顶面用于承载所述载片舟，所述Z向驱动组件（31）用于驱动所述炉体密封件（33）在Z向移动，以将所述载片舟送入所述立式炉（2）内或将所述载片舟从所述立式炉（2）内运出，所述炉体密封件（33）能将所述立式炉（2）的所述炉口（21）密封。
3.根据权利要求2所述的集成式立体炉系统，其特征在于，金属材质的所述炉体密封件（33）位于所述立式炉（2）内部的表面涂覆有屏蔽层。
4.根据权利要求2所述的集成式立体炉系统，其特征在于，所述Z向驱动组件（31）包括设置于所述立式炉（2）一侧的驱动件（311）及连接于所述驱动件（311）输出端的托板（312），所述弹性件（32）设置于所述托板（312）与所述炉体密封件（33）之间，所述立式炉（2）与所述驱动件（311）之间设有隔热组件或冷却组件。
5.根据权利要求1-4任一项所述的集成式立体炉系统，其特征在于，所述送舟机构（4）包括送舟支撑架（41）、送舟抬升件（42）及多个送舟移位件（43），所述送舟支撑架（41）具有多个第一料位（411），所述送舟移位件（43）滑动设置于所述送舟支撑架（41）上，并用于将未处理的载片舟由一个所述第一料位（411）移动至第一预设方向上的后一个所述第一料位（411），所述送舟抬升件（42）用于抬升所述载片舟，以使所述送舟移位件（43）能空载移动，所述送舟支撑架（41）的一端为所述进料端（40），位于所述送舟支撑架（41）另一端的所述第一料位（411）为取料位（4111）；所述搬舟机构（6）用于搬运所述取料位（4111）上未处理的载片舟至所述进舟机构（3）上，所述第一预设方向为所述送舟支撑架（41）的一端指向所述送舟支撑架（41）的另一端的方向。
6.根据权利要求5所述的集成式立体炉系统，其特征在于，所述出舟机构（5）包括出舟支撑架（51）、出舟抬升件（52）及多个出舟移位件（53），所述出舟支撑架（51）具有多个第二料位（511），所述出舟移位件（53）滑动设置于所述出舟支撑架（51）上，并用于将处理后的所述载片舟由一个所述第二料位（511）移动至第二预设方向的后一个所述第二料位（511），所述出舟抬升件（52）用于抬升所述载片舟，以使所述出舟移位件（53）能空载移动，所述出舟支撑架（51）的一端为所述出料端（50），位于所述出舟支撑架（51）另一端的所述第二料位（511）为下料位（5111）；所述搬舟机构（6）还用于搬运所述进舟机构（3）上处理后的载片舟至所述下料位（5111）上，所述第二预设方向为所述出舟支撑架（51）的另一端指向所述出舟支撑架（51）的一端的方向。
7.根据权利要求6所述的集成式立体炉系统，其特征在于，还包括托盘（7）及隔热垫（8），所述托盘（7）用于放置所述载片舟，每个所述第一料位（411）及每个所述第二料位（511）均设有一个所述托盘（7），每个所述送舟移位件（43）的顶面及每个所述出舟移位件（53）的顶面均设有所述隔热垫（8），所述送舟移位件（43）、所述出舟移位件（53）均通过所述隔热垫（8）与所述托盘（7）接触。
8.根据权利要求6所述的集成式立体炉系统，其特征在于，所述第二料位（511）的个数大于所述出舟移位件（53）的个数，所述第一料位（411）的个数大于所述送舟移位件（43）的个数，多个所述第一料位（411）、所述第二料位（511）均等间距设置。
9.根据权利要求1-4任一项所述的集成式立体炉系统，其特征在于，还包括保温炉门（9）及与所述保温炉门（9）对应的炉门驱动机构（10），所述保温炉门（9）对应所述立式炉（2）设有多个，所述炉门驱动机构（10）用于在所述立式炉（2）空置时驱动所述保温炉门（9）密封与其对应的所述炉口（21），以及在承载了未处理的所述载片舟的所述进舟机构（3）接近所述炉口（21）时驱动所述保温炉门（9）返回原位置。
10.集成式立体炉系统的控制方法，用于控制权利要求1-9任一项所述的集成式立体炉系统，其特征在于，包括：
送舟机构（4）输送未处理的载片舟，出舟机构（5）输送处理后的载片舟，送舟机构（4）上未处理的载片舟通过所述出舟机构（5）上处理后的载片舟进行预热；
搬舟机构（6）将预热后的载片舟搬运至进舟机构（3）上；
进舟机构（3）将其上预热后的载片舟送进与其对应的立式炉（2）内；
处理完成后，进舟机构（3）将处理后的载片舟移出立式炉（2）；
搬舟机构（6）将处理后的载片舟搬运至出舟机构（5）上；
出舟机构（5）将载片舟输送至出料端（50）。
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| CN113843417A (zh) * | 2021-09-23 | 2021-12-28 | 安庆安帝技益精机有限公司 | 一种推舟炉自动上下料生产线 |
| CN114203861A (zh) * | 2021-11-26 | 2022-03-18 | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 | 一种太阳能光伏电池低压水平热处理多功能系统 |
| CN216980514U (zh) * | 2022-01-10 | 2022-07-15 | 湖南红太阳光电科技有限公司 | 一种用于立式炉的载片装置 |
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Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111285364A (zh) * | 2018-12-06 | 2020-06-16 | 株洲弗拉德科技有限公司 | 立体型高温连续热处理生产系统 |
| CN112582498A (zh) * | 2019-09-30 | 2021-03-30 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种连续式生产晶体硅太阳能电池的方法 |
| CN211605171U (zh) * | 2019-12-26 | 2020-09-29 | 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司 | 一种取方阻片装置 |
| CN113843417A (zh) * | 2021-09-23 | 2021-12-28 | 安庆安帝技益精机有限公司 | 一种推舟炉自动上下料生产线 |
| CN114203861A (zh) * | 2021-11-26 | 2022-03-18 | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 | 一种太阳能光伏电池低压水平热处理多功能系统 |
| CN216980514U (zh) * | 2022-01-10 | 2022-07-15 | 湖南红太阳光电科技有限公司 | 一种用于立式炉的载片装置 |
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