CN116924823B - 陶瓷基板与铜箔无尘复合仓 - Google Patents
陶瓷基板与铜箔无尘复合仓 Download PDFInfo
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Abstract
陶瓷基板与铜箔无尘复合仓，属于无尘复合仓技术领域，为解决现有的复合装置其整体工序琐碎，分步进行，工作效率不够高的问题；本发明通过同步齿带转动促使间歇齿轮180°往复转动，前一组的移动机构会移动至后一组移动机构之前所在的位置，可实现循环的夹持放置，随着第一伸缩气缸的缩回在第一挡条的作用下可将陶瓷基板铲掉脱离夹具的夹持，随后第二组夹具将陶瓷基板放置在超声波清洗箱内进行清洗，随后第三组夹具将陶瓷基板运送壳体上方，通过风扇和电磁加热管可将陶瓷基板上残存的水吹干，最后进入复合机构的内部进行热压，实现了对陶瓷基板的抛光、超声波清洗、烘干以及热压工作，操作简便，效率高。
Description
技术领域
本发明涉及无尘复合仓技术领域，特别涉及陶瓷基板与铜箔无尘复合仓。
背景技术
无尘复合仓通常指的是在半导体制造过程中使用的一个装置，在制造半导体器件时，需要使用到电路板来连接各种元器件和芯片。陶瓷基板和铜箔无尘复合仓就是用于生产这样的电路板的设备之一。
在陶瓷基板与铜箔进行复合的时候，一般通过热压的方式进行，而在进行热压之前，需要对结合面进行深度清洗、去除杂质、抛光等预处理工序，使得器件表面达到一定平整度和干净度，并且保持无尘状态，现有的复合装置其整体工序琐碎，分步进行，工作效率不够高。
为解决上述问题。为此，提出陶瓷基板与铜箔无尘复合仓。
发明内容
本发明的目的在于提供陶瓷基板与铜箔无尘复合仓，解决了背景技术中现有的复合装置其整体工序琐碎，分步进行，工作效率不够高的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：陶瓷基板与铜箔无尘复合仓，包括舱体和设置在舱体内部两侧的驱动机构和移动机构，还包括依次分布在舱体内部的抛光箱、超声波清洗箱和复合机构，移动机构设置在驱动机构的一侧，且移动机构对应抛光箱、超声波清洗箱和复合机构设置有三组，舱体的内部两侧分别设置有第一传送带和第二传送带，第一传送带的一端和第二传送带的一端延伸出舱体的外部，第一传送带用于传送陶瓷基板，第二传送带用于传送铜箔，三组的移动机构用于将第一传送带传送的陶瓷基板依次放入抛光箱内进行抛光、放入超声波清洗箱内进行清洗以及放入复合机构内与第二传送带传送的铜箔进行热压复合；
驱动机构包括有固定安装在舱体内部上方的外壳，以及转动在外壳内的同步齿带，驱动机构还包括有转动在外壳内部的间歇齿轮，且间歇齿轮等间距分布有三组，其中间歇齿轮外壁的齿分布为外缘一周的一半；
移动机构包括有转动轴、移动轴、导向架和夹具，转动轴通过轴与间歇齿轮固定连接，移动轴与转动轴转动连接，导向架固定在外壳的底部，导向架与移动轴之间活动设置有滑动块，夹具设置在移动轴底部用于对陶瓷基板清理过程中进行转运。
进一步地，舱体的两侧位于第一传送带和第二传送带的上方均设置有放料斗，通过放料斗分别放入陶瓷基板和铜箔，放入的陶瓷基板事先经过HF-HNO3-H2O混合物的刻蚀及漂洗，铜箔事先经过抛光、NaOH碱性清洗及去氧化，通过第一传送带和第二传送带将陶瓷基板和铜箔进行传送。
进一步地，外壳的一端后方固定连接有伺服电机，伺服电机的输出端延伸至外壳的内部并固定连接有主动齿轮，外壳的内部另一端转动连接有传动齿轮，同步齿带套装在主动齿轮和传动齿轮之间，通过伺服电机带动主动齿轮转动，同步齿带内侧的齿啮合主动齿轮和传动齿轮，使得主动齿轮可带动同步齿带转动。
进一步地，移动轴的后方设置有第一滑槽，第一滑槽为纵向分布，导向架上设置有第二滑槽，第二滑槽为横向分布，滑动块的一端横向滑动连接在第二滑槽内，滑动块的另一端纵向滑动连接在第一滑槽内。
进一步地，相邻两组间歇齿轮之间的间距等于相邻两组移动轴之间的间距，且转动轴的长度为相邻两组间歇齿轮之间间距的一半。
进一步地，夹具包括固定连接在移动轴底部的移动板，移动板的两侧滑动连接有限位轴，限位轴的内侧一端位于移动板内部下方固定连接有夹板，夹板的横截面呈直角梯形，限位轴的外部套装有弹簧，弹簧的一端与移动板外壁接触，第一传送带和第二传送带的顶部均安装有定位挡板，第一传送带的一侧还安装有支撑板。
进一步地，抛光箱的内部活动设置有电动机，电动机的输出端固定连接有抛光片，抛光片用于对陶瓷基板的复合面进行抛光，抛光箱的外部固定连接有第一伸缩气缸，第一伸缩气缸输出端延伸至抛光箱内部并与电动机一侧连接。
进一步地，电动机的一侧固定连接有连接板，连接板呈L形，连接板的另一端固定连接有第一承载板，第一承载板的顶部边缘固定连接有第一挡条。
进一步地，超声波清洗箱的内部设置有第二承载板，第二承载板的顶部一侧设置有第二挡条，第二承载板的底部固定连接有连接杆，且连接杆贯穿超声波清洗箱和抛光箱并与电动机一侧固定连接，超声波清洗箱的内部盛放有纯水，超声波清洗箱的一侧上方安装有壳体，壳体的内部上下分别设置有风扇和电磁加热管，壳体位于其中一组间歇齿轮的正下方。
进一步地，复合机构包括有复合箱，复合箱的顶部开口用于清理后的陶瓷基板的进入，复合箱的一侧设置有用于铜箔进入的开口，复合箱的一侧和后方均设置有第三伸缩气缸，复合箱的顶部和底部均安装有第二伸缩气缸，第二伸缩气缸输出端安装有电磁加热板，复合箱的前方设置有出料口，出料口贯穿并延伸至舱体的外部。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
本发明提供的陶瓷基板与铜箔无尘复合仓，通过同步齿带转动促使间歇齿轮180°往复转动，前一组的移动机构会移动至后一组移动机构之前所在的位置，可实现循环的夹持放置，随着第一伸缩气缸的缩回在第一挡条的作用下可将陶瓷基板铲掉脱离夹具的夹持，随后第二组夹具将陶瓷基板放置在超声波清洗箱内进行清洗，随后第三组夹具将陶瓷基板运送壳体上方，通过风扇和电磁加热管可将陶瓷基板上残存的水吹干，最后进入复合机构的内部进行热压，实现了对陶瓷基板的抛光、超声波清洗、烘干以及热压工作，操作简便，效率高。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图；
图2为本发明的部分结构示意图；
图3为本发明的部分结构拆分图；
图4为本发明的抛光箱、超声波清洗箱和复合机构结构示意图；
图5为本发明的抛光箱和超声波清洗箱结构爆炸图；
图6为本发明的驱动机构和移动机构结构爆炸图；
图7为本发明的移动机构结构爆炸图。
图中：1、舱体；11、放料斗；2、第一传送带；21、定位挡板；22、支撑板；3、驱动机构；31、外壳；32、伺服电机；33、主动齿轮；34、传动齿轮；35、同步齿带；36、间歇齿轮；4、移动机构；41、转动轴；42、移动轴；421、第一滑槽；43、导向架；431、第二滑槽；432、滑动块；44、夹具；441、移动板；442、限位轴；443、弹簧；444、夹板；5、抛光箱；51、电动机；511、抛光片；52、第一伸缩气缸；53、连接板；54、第一承载板；541、第一挡条；6、超声波清洗箱；61、连接杆；62、第二承载板；621、第二挡条；63、壳体；64、风扇；65、电磁加热管；7、复合机构；71、复合箱；72、第二伸缩气缸；73、第三伸缩气缸；74、出料口；8、第二传送带。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
为了解决现有的复合装置其整体工序琐碎，分步进行，工作效率不够高的技术问题，如图1-图7所示，提供以下优选技术方案：
陶瓷基板与铜箔无尘复合仓，包括舱体1和设置在舱体1内部两侧的驱动机构3和移动机构4，还包括依次分布在舱体1内部的抛光箱5、超声波清洗箱6和复合机构7，移动机构4设置在驱动机构3的一侧，且移动机构4对应抛光箱5、超声波清洗箱6和复合机构7设置有三组，舱体1的内部两侧分别设置有第一传送带2和第二传送带8，第一传送带2的一端和第二传送带8的一端延伸出舱体1的外部，第一传送带2用于传送陶瓷基板，第二传送带8用于传送铜箔，三组的移动机构4用于将第一传送带2传送的陶瓷基板依次放入抛光箱5内进行抛光、放入超声波清洗箱6内进行清洗以及放入复合机构7内与第二传送带8传送的铜箔进行热压复合；
驱动机构3包括有固定安装在舱体1内部上方的外壳31，以及转动在外壳31内的同步齿带35，驱动机构3还包括有转动在外壳31内部的间歇齿轮36，且间歇齿轮36等间距分布有三组，其中间歇齿轮36外壁的齿分布为外缘一周的一半，通过同步齿带35转动可带动间歇齿轮36转动，由于间歇齿轮36上的齿只设置有一半，所以间歇齿轮36会来回啮合同步齿带35的内部上下的齿，使其可180°往复转动；
移动机构4包括有转动轴41、移动轴42、导向架43和夹具44，转动轴41通过轴与间歇齿轮36固定连接，移动轴42与转动轴41转动连接，导向架43固定在外壳31的底部，导向架43与移动轴42之间活动设置有滑动块432，夹具44设置在移动轴42底部用于对陶瓷基板清理过程中进行转运。
舱体1的两侧位于第一传送带2和第二传送带8的上方均设置有放料斗11，通过放料斗11分别放入陶瓷基板和铜箔，放入的陶瓷基板事先经过HF-HNO3-H2O混合物的刻蚀及漂洗，铜箔事先经过抛光、NaOH碱性清洗及去氧化，通过第一传送带2和第二传送带8将陶瓷基板和铜箔进行传送。
外壳31的一端后方固定连接有伺服电机32，伺服电机32的输出端延伸至外壳31的内部并固定连接有主动齿轮33，外壳31的内部另一端转动连接有传动齿轮34，同步齿带35套装在主动齿轮33和传动齿轮34之间，通过伺服电机32带动主动齿轮33转动，同步齿带35内侧的齿啮合主动齿轮33和传动齿轮34，使得主动齿轮33可带动同步齿带35转动。
移动轴42的后方设置有第一滑槽421，第一滑槽421为纵向分布，导向架43上设置有第二滑槽431，第二滑槽431为横向分布，滑动块432的一端横向滑动连接在第二滑槽431内，滑动块432的另一端纵向滑动连接在第一滑槽421内，间歇齿轮36在往复转动的时候，通过转动轴41可带动移动轴42移动，但移动轴42受到第二滑槽431和滑动块432的限位，其移动轨迹为沿着转动轴41的一端，且处于垂直状态半弧形运动。
相邻两组间歇齿轮36之间的间距等于相邻两组移动轴42之间的间距，且转动轴41的长度为相邻两组间歇齿轮36之间间距的一半，多组间歇齿轮36带动多组移动机构4位移的时候，前一组的移动机构4会移动至后一组移动机构4之前所在的位置，可实现循环的夹持放置。
夹具44包括固定连接在移动轴42底部的移动板441，移动板441的两侧滑动连接有限位轴442，限位轴442的内侧一端位于移动板441内部下方固定连接有夹板444，夹板444的横截面呈直角梯形，限位轴442的外部套装有弹簧443，弹簧443的一端与移动板441外壁接触，第一传送带2和第二传送带8的顶部均安装有定位挡板21，第一传送带2的一侧还安装有支撑板22，用于对陶瓷基板进行支撑，便于夹具44从支撑板22上取走陶瓷基板。
抛光箱5的内部活动设置有电动机51，电动机51的输出端固定连接有抛光片511，抛光片511用于对陶瓷基板的复合面进行抛光，抛光箱5的外部固定连接有第一伸缩气缸52，第一伸缩气缸52输出端延伸至抛光箱5内部并与电动机51一侧连接。
电动机51的一侧固定连接有连接板53，连接板53呈L形，连接板53的另一端固定连接有第一承载板54，第一承载板54的顶部边缘固定连接有第一挡条541，通过第一伸缩气缸52的伸缩调整以及在抛光片511的作用下对夹具44夹持的陶瓷基板进行抛光，抛光后第一伸缩气缸52缩回，使得第一承载板54位移至夹具44夹持的陶瓷基板下方，随着第一伸缩气缸52的缩回在第一挡条541的作用下可将陶瓷基板铲掉脱离夹具44的夹持。
超声波清洗箱6的内部设置有第二承载板62，第二承载板62的顶部一侧设置有第二挡条621，第二承载板62的底部固定连接有连接杆61，且连接杆61贯穿超声波清洗箱6和抛光箱5并与电动机51一侧固定连接，超声波清洗箱6的内部盛放有纯水，第一伸缩气缸52缩回时，第一挡条541将陶瓷基板铲掉脱离夹具44的夹持的时候，连接杆61带动第二承载板62移动，第二挡条621也会将陶瓷基板铲掉脱离夹具44的夹持，超声波清洗箱6的一侧上方安装有壳体63，壳体63的内部上下分别设置有风扇64和电磁加热管65，壳体63位于其中一组间歇齿轮36的正下方，当间歇齿轮36带动转动轴41转动至转动轴41呈竖直状态时，移动轴42底部的夹具44正好位于壳体63上方，通过风扇64和电磁加热管65可将陶瓷基板上残存的水吹干。
复合机构7包括有复合箱71，复合箱71的顶部开口用于清理后的陶瓷基板的进入，复合箱71的一侧设置有用于铜箔进入的开口，复合箱71的一侧和后方均设置有第三伸缩气缸73，复合箱71的顶部和底部均安装有第二伸缩气缸72，第二伸缩气缸72输出端安装有电磁加热板，复合箱71的前方设置有出料口74，出料口74贯穿并延伸至舱体1的外部，将陶瓷基板推送至电磁加热板之间，第二传送带8将铜箔推送至陶瓷基板下方，在第二伸缩气缸72作用下进行热压复合，随后复合箱71后方的第三伸缩气缸73将复合后的电路板推送出来。
具体的，通过第二传送带8将铜箔输送至复合机构7内部，第一传送带2将陶瓷基板推送至支撑板22处，在同步齿带35转动的作用下，间歇齿轮36会180°往复转动，通过转动轴41可带动移动轴42移动，但移动轴42受到第二滑槽431和滑动块432的限位，其移动轨迹为沿着转动轴41的一端，且处于垂直状态半弧形运动，前一组的移动机构4会移动至后一组移动机构4之前所在的位置，可实现循环的夹持放置，在抛光后第一伸缩气缸52缩回，使得第一承载板54位移至夹具44夹持的陶瓷基板下方，随着第一伸缩气缸52的缩回在第一挡条541的作用下可将陶瓷基板铲掉脱离夹具44的夹持，随后第二组夹具44将其放置在超声波清洗箱6内进行清洗，随后第三组夹具44将其运送壳体63上方，通过风扇64和电磁加热管65可将陶瓷基板上残存的水吹干，最后进入复合机构7的内部进行热压，工作效率高。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明披露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.陶瓷基板与铜箔无尘复合仓，包括舱体（1）和设置在舱体（1）内部两侧的驱动机构（3）和移动机构（4），还包括依次分布在舱体（1）内部的抛光箱（5）、超声波清洗箱（6）和复合机构（7），其特征在于：所述移动机构（4）设置在驱动机构（3）的一侧，且移动机构（4）对应抛光箱（5）、超声波清洗箱（6）和复合机构（7）设置有三组，所述舱体（1）的内部两侧分别设置有第一传送带（2）和第二传送带（8），所述第一传送带（2）的一端和第二传送带（8）的一端延伸出舱体（1）的外部，第一传送带（2）用于传送陶瓷基板，第二传送带（8）用于传送铜箔，三组所述的移动机构（4）用于将第一传送带（2）传送的陶瓷基板依次放入抛光箱（5）内进行抛光、放入超声波清洗箱（6）内进行清洗以及放入复合机构（7）内与第二传送带（8）传送的铜箔进行热压复合；
所述驱动机构（3）包括有固定安装在舱体（1）内部上方的外壳（31），以及转动在外壳（31）内的同步齿带（35），所述驱动机构（3）还包括有转动在外壳（31）内部的间歇齿轮（36），且间歇齿轮（36）等间距分布有三组，其中间歇齿轮（36）外壁的齿分布为外缘一周的一半；
所述移动机构（4）包括有转动轴（41）、移动轴（42）、导向架（43）和夹具（44），所述转动轴（41）通过轴与间歇齿轮（36）固定连接，所述移动轴（42）与转动轴（41）转动连接，所述导向架（43）固定在外壳（31）的底部，所述导向架（43）与移动轴（42）之间活动设置有滑动块（432），夹具（44）设置在移动轴（42）底部用于对陶瓷基板清理过程中进行转运；
所述超声波清洗箱（6）的一侧上方安装有壳体（63），所述壳体（63）的内部上下分别设置有风扇（64）和电磁加热管（65），所述壳体（63）位于其中一组间歇齿轮（36）的正下方。
2.如权利要求1所述的陶瓷基板与铜箔无尘复合仓，其特征在于：所述舱体（1）的两侧位于第一传送带（2）和第二传送带（8）的上方均设置有放料斗（11），通过放料斗（11）分别放入陶瓷基板和铜箔，放入的陶瓷基板事先经过HF-HNO3-H2O混合物的刻蚀及漂洗，铜箔事先经过抛光、NaOH碱性清洗及去氧化，通过第一传送带（2）和第二传送带（8）将陶瓷基板和铜箔进行传送。
3.如权利要求1所述的陶瓷基板与铜箔无尘复合仓，其特征在于：所述外壳（31）的一端后方固定连接有伺服电机（32），所述伺服电机（32）的输出端延伸至外壳（31）的内部并固定连接有主动齿轮（33），所述外壳（31）的内部另一端转动连接有传动齿轮（34），所述同步齿带（35）套装在主动齿轮（33）和传动齿轮（34）之间，通过伺服电机（32）带动主动齿轮（33）转动，所述同步齿带（35）内侧的齿啮合主动齿轮（33）和传动齿轮（34），使得主动齿轮（33）可带动同步齿带（35）转动。
4.如权利要求1所述的陶瓷基板与铜箔无尘复合仓，其特征在于：所述移动轴（42）的后方设置有第一滑槽（421），第一滑槽（421）为纵向分布，所述导向架（43）上设置有第二滑槽（431），第二滑槽（431）为横向分布，所述滑动块（432）的一端横向滑动连接在第二滑槽（431）内，所述滑动块（432）的另一端纵向滑动连接在第一滑槽（421）内。
5.如权利要求1所述的陶瓷基板与铜箔无尘复合仓，其特征在于：相邻两组所述的间歇齿轮（36）之间的间距等于相邻两组所述的移动轴（42）之间的间距，且转动轴（41）的长度为相邻两组间歇齿轮（36）之间间距的一半。
6.如权利要求1所述的陶瓷基板与铜箔无尘复合仓，其特征在于：所述夹具（44）包括固定连接在移动轴（42）底部的移动板（441），所述移动板（441）的两侧滑动连接有限位轴（442），所述限位轴（442）的内侧一端位于移动板（441）内部下方固定连接有夹板（444），所述夹板（444）的横截面呈直角梯形，所述限位轴（442）的外部套装有弹簧（443），所述弹簧（443）的一端与移动板（441）外壁接触，所述第一传送带（2）和第二传送带（8）的顶部均安装有定位挡板（21），所述第一传送带（2）的一侧还安装有支撑板（22）。
7.如权利要求1所述的陶瓷基板与铜箔无尘复合仓，其特征在于：所述抛光箱（5）的内部活动设置有电动机（51），所述电动机（51）的输出端固定连接有抛光片（511），抛光片（511）用于对陶瓷基板的复合面进行抛光，所述抛光箱（5）的外部固定连接有第一伸缩气缸（52），所述第一伸缩气缸（52）输出端延伸至抛光箱（5）内部并与电动机（51）一侧连接。
8.如权利要求7所述的陶瓷基板与铜箔无尘复合仓，其特征在于：所述电动机（51）的一侧固定连接有连接板（53），连接板（53）呈L形，所述连接板（53）的另一端固定连接有第一承载板（54），所述第一承载板（54）的顶部边缘固定连接有第一挡条（541）。
9.如权利要求8所述的陶瓷基板与铜箔无尘复合仓，其特征在于：所述超声波清洗箱（6）的内部设置有第二承载板（62），所述第二承载板（62）的顶部一侧设置有第二挡条（621），所述第二承载板（62）的底部固定连接有连接杆（61），且连接杆（61）贯穿超声波清洗箱（6）和抛光箱（5）并与电动机（51）一侧固定连接，所述超声波清洗箱（6）的内部盛放有纯水。
10.如权利要求1所述的陶瓷基板与铜箔无尘复合仓，其特征在于：所述复合机构（7）包括有复合箱（71），所述复合箱（71）的顶部开口用于清理后的陶瓷基板的进入，所述复合箱（71）的一侧设置有用于铜箔进入的开口，所述复合箱（71）的一侧和后方均设置有第三伸缩气缸（73），所述复合箱（71）的顶部和底部均安装有第二伸缩气缸（72），所述第二伸缩气缸（72）输出端安装有电磁加热板，所述复合箱（71）的前方设置有出料口（74），所述出料口（74）贯穿并延伸至舱体（1）的外部。
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