CN116920741A - 一种制备三氯氢硅的装置及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种制备三氯氢硅的装置及方法，所述装置包括：三氯氢硅合成系统、干法除尘系统、湿法除尘系统、脱重提纯系统和渣浆处理系统；所述三氯氢硅合成系统包括三氯氢硅反应器；所述干法除尘系统中包括旋风分离器；所述湿法除尘系统中包括淋洗塔、再沸器、换热器和第一冷凝器；所述脱重提纯系统中包括脱重塔和碳吸附塔。本发明的装置结合了整个多晶硅行业的气力输送硅粉方式，将利用换热器冷凝混合气作为淋洗的液相的节能技术、三氯氢硅和四氯氢硅组分双向采出的节能手段、渣浆浓缩回收的技术相结合，达到整个系统的有效资源整合，充分地实现低能耗、循环再利用的技术效果，打造出一套可以自行运行，自我补偿的高纯三氯氢硅生产系统。
Description
技术领域
本发明涉及制备三氯氢硅技术领域，具体涉及一种制备三氯氢硅的装置及方法。
背景技术
目前行业上生产三氯氢硅的方法普遍是采取冷氢化流化床生产技术，采用氢气、硅粉、四氯化硅在流化床内补充热量生产氯硅烷，冷氢化过程的化学反应方程式如下：3SiCl4+2H2+Si＝4SiHCl3。采用冷氢化生产的方法时，氯硅烷中三氯氢硅占比仅在25％左右。
除了冷氢化生产三氯氢硅的方法，另一种生产三氯氢硅方法为：硅粉、氯化氢在流化床内生产，放热恒温350℃生产氯硅烷，其中氯硅烷中三氯氢硅的含量可达到80％以上的水平，较冷氢化生产三氯氢硅的效率明显提升。但氯硅烷中包含硅粉、四氯化硅和高沸等杂质，针对该生产方法，其攻关的技术难点在于，如何将氯硅烷中的杂质进一步去除，使得能够生产出精制、高纯的三氯氢硅。
发明内容
有鉴于此，本发明提供了一种制备三氯氢硅的装置及方法，所述装置能够制备出高纯的三氯氢硅，同时实现降低能耗的目标。
为解决背景技术中提出的技术问题，本发明采用以下技术方案：
第一方面，本发明提供了一种制备三氯氢硅的装置，包括：
三氯氢硅合成系统、干法除尘系统、湿法除尘系统、脱重提纯系统和渣浆处理系统；
其中，所述三氯氢硅合成系统包括三氯氢硅反应器；所述干法除尘系统中包括旋风分离器；所述湿法除尘系统中包括淋洗塔、再沸器、换热器和第一冷凝器，所述淋洗塔中包括淋洗塔塔体和淋洗塔塔板，所述淋洗塔塔体的侧壁分别设置有第一入口和第二入口，所述淋洗塔塔体的塔顶设置有第一出口，所述淋洗塔塔体的塔釜设置有第二出口，所述第一冷凝器上设置有氯硅烷入口和氯硅烷出口；所述脱重提纯系统中包括脱重塔和碳吸附塔，所述脱重塔的侧壁设置有脱重塔入口，与所述脱重塔入口相对的另一侧设置有脱重塔侧采口，所述脱重塔的塔顶设置有三氯氢硅出口，所述脱重塔的塔釜设置有废气出口；
所述三氯氢硅反应器顶部的出口与所述旋风分离器的入口连通；所述旋风分离器的出口分别与所述三氯氢硅反应器侧壁的入口、所述淋洗塔中的第一入口连通；所述淋洗塔中的第二出口与所述再沸器的入口连通，所述再沸器的出口与所述渣浆处理系统连通；所述淋洗塔中的第一出口与所述换热器的入口连通，所述换热器的出口与所述淋洗塔中的第二入口连通，所述淋洗塔的第一出口还与所述第一冷凝器的氯硅烷入口连通，所述第一冷凝器的氯硅烷出口与所述脱重塔入口连通，所述脱重塔的三氯氢硅出口与所述碳吸附塔的入口连通，所述脱重塔的废气出口与所述渣浆处理系统连通。
进一步地，所述装置中还包括：硅粉加料系统和氯化氢原料管道；所述硅粉加料系统中包括：硅粉加料罐和氯化氢气体输送管道，所述氯化氢气体输送管道的出气口与所述硅粉加料罐的内部连通，所述硅粉加料罐的出料口与所述三氯氢硅反应器的内部连通；所述氯化氢原料管道的出料口与所述三氯氢硅反应器的内部连通。
进一步地，所述硅粉加料罐中的硅粉为粒径为40-325目的硅粉。
进一步地，所述渣浆处理系统中包括浓缩塔，所述浓缩塔的出口与所述脱重塔入口连通。
进一步地，所述干法除尘系统中还包括：一级袋式过滤器和二级袋式过滤器；所述一级袋式过滤器的入口与所述旋风分离器的出口连通，所述一级袋式过滤器的出口分别与所述淋洗塔中的第一入口、所述二级袋式过滤器的入口连通。
进一步地，所述脱重提纯系统中包括三氯氢硅产品储罐和四氯氢硅产品储罐；所述碳吸附塔的出口与所述三氯氢硅产品储罐的内部连通；所述脱重塔侧采口与所述四氯氢硅产品储罐的内部连通。
进一步地，所述三氯氢硅反应器为流化床。
进一步地，所述湿法除尘系统中包括至少两个淋洗塔，所述淋洗塔之间串联；和/或所述脱重提纯系统中包括至少两个碳吸附塔，所述碳吸附塔之间串联。
进一步地，所述装置中还包括：氢气回收系统；所述第一冷凝器还设置有一个气体出口，所述气体出口与所述氢气回收系统连通。
第二方面，本发明提供了一种制备三氯氢硅的方法，所述方法利用了如上所述的装置。
本发明的上述技术方案的有益效果如下：
本发明提供了一种制备三氯氢硅的装置，包括：三氯氢硅合成系统、干法除尘系统、湿法除尘系统、脱重提纯系统和渣浆处理系统；
其中，所述三氯氢硅合成系统包括三氯氢硅反应器；所述干法除尘系统中包括旋风分离器；所述湿法除尘系统中包括淋洗塔、再沸器、换热器和第一冷凝器，所述淋洗塔中包括淋洗塔塔体和淋洗塔塔板，所述淋洗塔塔体的侧壁分别设置有第一入口和第二入口，所述淋洗塔塔体的塔顶设置有第一出口，所述淋洗塔塔体的塔釜设置有第二出口，所述第一冷凝器上设置有氯硅烷入口和氯硅烷出口；所述脱重提纯系统中包括脱重塔和碳吸附塔，所述脱重塔的侧壁设置有脱重塔入口，与所述脱重塔入口相对的另一侧设置有脱重塔侧采口，所述脱重塔的塔顶设置有三氯氢硅出口，所述脱重塔的塔釜设置有废气出口。
本发明中制备三氯氢硅的装置结合了整个多晶硅行业的气力输送硅粉方式，将利用换热器冷凝混合气作为淋洗的液相的节能技术、三氯氢硅和四氯氢硅组分双向采出的节能手段、渣浆浓缩回收的技术相结合，达到整个系统的有效资源整合，充分地实现低能耗、循环再利用的技术效果，打造出一套可以自行运行，自我补偿的高纯三氯氢硅生产技术。本发明中回收了98％作用的硅粉，突破了目前传统的三氯氢硅行业硅粉资源不可再用的问题。解决了氯硅烷品质低，自动化程度低的问题，产出的产品不再是单一的生产粗氯硅烷，还有提纯后四氯化硅和高沸物等。
附图说明
图1为本发明中制备三氯氢硅的装置的装配示意图。
附图标记：
硅粉加料系统1、三氯氢硅合成系统2、干法除尘系统3、湿法除尘系统4、脱重提纯系统5、渣浆处理系统6、氢气回收系统7；氯化氢原料管道8；
硅粉料仓11、硅粉加料罐12、氯化氢气体输送管道13、硅粉缓冲罐14、硅粉过滤器15、氮气放空罐16；
三氯氢硅反应器21、冷凝液管道22、蒸汽管道23；
旋风分离器31、一级袋式过滤器32、二级袋式过滤器33、硅粉袋34、第一废气罐35；
淋洗塔41、第一冷凝器42；
脱重塔51、碳吸附塔52、三氯氢硅产品储罐53、四氯氢硅产品储罐54；
沉降罐61、干燥机62、冷凝回收装置63、浓缩塔64、第二冷凝器65、水解装置66、第二废气罐67、高沸罐68；
氯化氢缓冲罐81。
具体实施方式
为了进一步理解本发明，下面结合实施例对本发明优选实施方案进行描述，但是应当理解，这些描述只是为进一步说明本发明的特征和优点，而不是对本发明的限制。
以下结合附图1对本发明中制备三氯氢硅的装置进一步解释说明。
第一方面，本发明提供了一种制备三氯氢硅的装置，包括：
三氯氢硅合成系统2、干法除尘系统3、湿法除尘系统4、脱重提纯系统5和渣浆处理系统6；其中，所述三氯氢硅合成系统2包括三氯氢硅反应器21；所述干法除尘系统3中包括旋风分离器31；所述湿法除尘系统4中包括淋洗塔41、再沸器、换热器和第一冷凝器42，所述淋洗塔41中包括淋洗塔塔体和淋洗塔塔板，所述淋洗塔塔体的侧壁分别设置有第一入口和第二入口，所述淋洗塔塔体的塔顶设置有第一出口，所述淋洗塔塔体的塔釜设置有第二出口，所述第一冷凝器42上设置有氯硅烷入口和氯硅烷出口；所述脱重提纯系统5中包括脱重塔51和碳吸附塔52，所述脱重塔51的侧壁设置有脱重塔入口，与所述脱重塔入口相对的另一侧设置有脱重塔侧采口，所述脱重塔51的塔顶设置有三氯氢硅出口，所述脱重塔51的塔釜设置有废气出口；
所述三氯氢硅反应器21顶部的出口与所述旋风分离器31的入口连通；所述旋风分离器31的出口分别与所述三氯氢硅反应器21侧壁的入口、所述淋洗塔41中的第一入口连通；所述淋洗塔41中的第二出口与所述再沸器的入口连通，所述再沸器的出口与所述渣浆处理系统6连通；所述淋洗塔41中的第一出口与所述换热器的入口连通，所述换热器的出口与所述淋洗塔41中的第二入口连通，所述淋洗塔41的第一出口还与所述第一冷凝器42的氯硅烷入口连通，所述第一冷凝器42的氯硅烷出口与所述脱重塔入口连通，所述脱重塔51的三氯氢硅出口与所述碳吸附塔52的入口连通，所述脱重塔51的废气出口与所述渣浆处理系统6连通。
在本发明中提供的装置中，各个系统分别实现以下的功能：
(1)三氯氢硅合成系统2：在所述三氯氢硅合成系统2中，原料硅粉与氯化氢在三氯氢硅反应器21中沸腾，在350℃下反应生成氯硅烷。所述氯硅烷以混合气的形态存在，且混合气中夹杂着未反应的硅粉；
(2)干法除尘系统3：为了除去其中夹杂的硅粉，所述装置中设置了干法除尘系统3，具体地，所述混合气和硅粉的混合物从三氯氢硅反应器21顶端的出口进入到所述旋风分离器31中，所述旋风分离器31能够分离所述混合气中的硅粉，同时大颗粒硅粉(一般为20～160目)根据离心力惯性分离至存渣器内部进行分离，分离完毕后再次回至三氯氢硅反应器21中参与反应。经过干法除尘系统3除尘后的混合气再进入后端的湿法除尘系统4；
(3)湿法除尘系统4：混合气中除了三氯氢硅，还包括四氯氢硅、金属氯化物、极少量的细硅粉、高沸和氢气等杂质，在湿法除尘系统4中主要去除金属氯化物和极少量的细硅粉。具体地，混合气进入淋洗塔41，通过鼓泡汽液交换的过程进行除尘，当混合气穿过塔板液层时，混合气中携带的细小硅尘以及金属氯化物会随液相淋洗至塔釜底部，从所述淋洗塔41中的第二出口进入再沸器，再沸器通过提溜浓缩的方式将金属氯化物与细硅粉送入渣浆处理系统6。同时，被液相淋洗后的混合气从所述淋洗塔41塔顶的第一出口进入所述换热器，所述换热器将所述混合气冷凝之后再次送入所述淋洗塔41中，冷凝后的混合气作为淋洗塔41中的液相，用于淋洗持续进入所述淋洗塔41中的混合气。其中，所述淋洗塔41中的液相还包括预开车时加入的四氯化硅液体，但主要的是利用冷凝后的混合气作为淋洗塔41中的液相。经过淋洗后的混合气从所述淋洗塔41的第一出口中出来，进入第一冷凝器42，冷凝后的氯硅烷粗品再由第一冷凝器42的氯硅烷出口进入所述脱重提纯系统5；
(4)脱重提纯系统5：在所述脱重提纯系统5分离所述氯硅烷粗品中的四氯氢硅和高沸物。具体地，湿法除尘后的氯硅烷粗品进入所述脱重提纯系统5，将氯硅烷粗品进行组分分离除杂。该项操作的控制要点在于，氯硅烷粗品进入所述脱重塔51，通过不同组分在气体分压下的沸点不同进行分离。在所述脱重塔51中，从所述脱重塔51的顶部采出三氯氢硅，中下部侧采四氯化硅，塔釜浓缩金属氯化氢，高沸物，保障整个分离过程中组分的纯度。脱重提纯在0.2MPa衡压进行，为保障顶采的三氯氢硅纯度达到99.9％的同时，三氯氢硅再经过碳吸附塔52进行吸附，有效地处理三氯氢硅中的B、P杂质，得到高纯的三氯氢硅供多晶硅生产使用；侧采口出来的四氯化硅三氯氢硅含量在1％以下，供冷氢化车间生产氯硅烷使用，塔釜采出的废气送至所述渣浆处理系统6。
根据本发明的一些实施例，所述装置中还包括：硅粉加料系统1；所述硅粉加料系统1中包括：硅粉加料罐12和氯化氢气体输送管道13，所述氯化氢气体输送管道13的出气口与所述硅粉加料罐12的内部连通，所述硅粉加料罐12的出料口与所述三氯氢硅反应器21的内部连通。
优选地，所述硅粉加料系统1中还包括硅粉料仓11、硅粉缓冲罐14、硅粉过滤器15和氮气放空罐16；所述硅粉料仓11的出料口与所述氯化氢气体输送管道13连通，所述硅粉加料罐12的顶端设置有硅粉回料口，所述硅粉回料口与所述硅粉过滤器15的入口连接，所述硅粉过滤器15的出口与所述氮气放空罐16联通。
本发明中提供的硅粉加料系统1在加料过程中，采用氮气喷吹的技术将硅粉从所述硅粉料仓11中输送至所述硅粉加料罐12中，为了除去硅粉中一些灰尘之类的杂质，进入所述硅粉加料罐12中的硅粉再次进入所述硅粉过滤器15中进行过滤，同时喷吹硅粉的氮气进入所述氮气放空罐16。所述硅粉加料罐12中的硅粉重力作用下进入所述硅粉缓冲罐14，期间所述氯化氢气体输送管道13吹送氯化氢气体，利用氯化氢气体作为媒介推送硅粉进入所述三氯氢硅合成系统2。
根据本发明的一些实施例，所述装置中还包括：氯化氢原料管道8；所述氯化氢原料管道8的出料口与所述三氯氢硅反应器21的内部连通。优选地，所述氯化氢原料管道8和所述三氯氢硅反应器21之间还设置有氯化氢缓冲罐81。本发明制备三氯氢硅的原料为硅粉和氯化氢气体，其中原料硅粉通过上文所述硅粉加料系统1加入所述三氯氢硅反应器21中，原料氯化氢采用氯碱生产过程中的副产氯化氢以及盐酸解析过程中的氯化氢，这两处来源的氯化氢经过干燥脱水后作为本发明中的原料氯化氢。
根据本发明的一些实施例，所述三氯氢硅反应器21利用冷凝水进行降温，所述三氯氢硅反应器21的壳体上分别连接有冷凝液管道22和蒸汽管道23，冷凝水从所述冷凝液管道22进入所述三氯氢硅反应器21，所述冷凝水被加热成蒸汽后从所述蒸汽管道23中外排。
根据本发明的一些实施例，所述干法除尘系统3中还包括：一级袋式过滤器32和二级袋式过滤器33；所述一级袋式过滤器32的入口与所述旋风分离器31的出口连通，所述一级袋式过滤器32的出口分别与所述淋洗塔41中的第一入口、所述二级袋式过滤器33的入口连通。
根据本发明的一些实施例，所述硅粉加料罐12中的硅粉为粒径为40-325目的硅粉。混合气中的硅粉经过所述旋风分离器31的处理后能分离掉其中98％的硅粉，剩余的2％左右的细硅粉进入所述一级袋式过滤器32和所述二级袋式过滤器33，所述二级袋式过滤器33的过滤精度相较所述一级袋式过滤器32更高，10微米左右无法分离的硅尘通过一级袋式过滤器32进行分离，分离后的混合器进入所述湿法除尘系统4，此部分极细硅尘不进行回收，直接外排硅粉袋34。目前本行业用于生产的硅粉，通用的粒径为40-160目、20-160目、20-200目、40-120目等，本发明中使用的40-325目硅粉为这些行业通用硅粉的边角料，本发明中通过设置所述干法除尘系统3，扩大了可使用的硅粉的粒径范围，从而充分利用了行业通用硅粉的边角料，在降低了生产成本同时减少了浪费。
根据本发明的一些实施例，所述渣浆处理系统6中包括浓缩塔64，所述浓缩塔64的出口与所述脱重塔51入口连通。上文中从所述淋洗塔41塔釜和所述脱重塔51塔釜进入所述渣浆处理系统6的废气，进入所述浓缩塔64中，经过浓缩再回收至所述脱重塔51，有效地实现产品的循环再生过程，同时浓缩剩余的高沸物送至高沸物裂解装置使用，整个循环过程采用循环再生的方式进行。
优选地，参见附图1，所述渣浆处理系统6中还包括：沉降罐61、干燥机62、冷凝回收装置63、第二冷凝器65、水解装置66、第二废气罐67和高沸罐68等；从所述淋洗塔41塔釜和所述脱重塔51塔釜进入所述渣浆处理系统6的废气经过分别沉降、干燥、冷凝、蒸发浓缩、水解等处理，其中废气进入所述第二废气罐67，所述浓缩塔64顶部出口的混合气再次进入所述脱重塔51重，所述浓缩塔64塔釜采出的高沸物进入所述高沸罐68，送至高沸物裂解装置使用，高沸物也得到了有效的利用和回收。
根据本发明的一些实施例，所述脱重提纯系统5中包括三氯氢硅产品储罐53和四氯氢硅产品储罐54；所述碳吸附塔52的出口与所述三氯氢硅产品储罐53的内部连通；所述脱重塔51侧采口与所述四氯氢硅产品储罐54的内部连通。从所述脱重塔51的顶部采出三氯氢硅，中下部侧采四氯化硅，所述脱重塔51的顶部采出三氯氢硅经过碳吸附塔52之后进入所述三氯氢硅产品储罐53。所述脱重塔51的中下部侧采的四氯化硅进入所述中下部侧采四氯化硅。
根据本发明的一些实施例，所述三氯氢硅反应器21为流化床。
根据本发明的一些实施例，所述湿法除尘系统4中包括至少两个淋洗塔41，所述淋洗塔41之间串联；和/或所述脱重提纯系统5中包括至少两个碳吸附塔52，所述碳吸附塔52之间串联。在本发明中，为了保证除杂的效果，可设置多个淋洗塔41串联，设置多个碳吸附塔52串联。
根据本发明的一些实施例，所述装置中还包括：氢气回收系统7；所述第一冷凝器42上还设置有一个气体出口，所述气体出口与所述氢气回收系统7连通。
综上，本发明中制备三氯氢硅的装置的优势在于：结合了整个多晶硅行业的气力输送硅粉方式，将利用换热器冷凝混合气作为淋洗的液相的节能技术、三氯氢硅和四氯氢硅组分双向采出的节能手段、渣浆浓缩回收的技术相结合，达到整个系统的有效资源整合，充分地实现低能耗、循环再利用的技术效果，打造出一套可以自行运行，自我补偿的高纯三氯氢硅生产技术。本发明中回收了98％作用的硅粉，突破了目前传统的三氯氢硅行业硅粉资源不可再用的问题，同时充分利用了行业通用硅粉的边角料作为原料，降低了生产成本，减少了浪费。解决了氯硅烷品质低，自动化程度低的问题，产出的产品不再是单一的生产粗氯硅烷，还有提纯后四氯化硅和高沸物等。此外，利用本发明的装置制备得到的三氯氢硅可达到目前行业上外售的标准，BP含量在150ppb以下。
第二方面，本发明提供了一种制备三氯氢硅的方法，所述方法利用了如上所述的装置。
除非另作定义，本发明中使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本发明中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也相应地改变。
以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种制备三氯氢硅的装置，其特征在于，包括：
三氯氢硅合成系统、干法除尘系统、湿法除尘系统、脱重提纯系统和渣浆处理系统；
其中，所述三氯氢硅合成系统包括三氯氢硅反应器；所述干法除尘系统中包括旋风分离器；所述湿法除尘系统中包括淋洗塔、再沸器、换热器和第一冷凝器，所述淋洗塔中包括淋洗塔塔体和淋洗塔塔板，所述淋洗塔塔体的侧壁分别设置有第一入口和第二入口，所述淋洗塔塔体的塔顶设置有第一出口，所述淋洗塔塔体的塔釜设置有第二出口，所述第一冷凝器上设置有氯硅烷入口和氯硅烷出口；所述脱重提纯系统中包括脱重塔和碳吸附塔，所述脱重塔的侧壁设置有脱重塔入口，与所述脱重塔入口相对的另一侧设置有脱重塔侧采口，所述脱重塔的塔顶设置有三氯氢硅出口，所述脱重塔的塔釜设置有废气出口；
所述三氯氢硅反应器顶部的出口与所述旋风分离器的入口连通；所述旋风分离器的出口分别与所述三氯氢硅反应器侧壁的入口、所述淋洗塔中的第一入口连通；所述淋洗塔中的第二出口与所述再沸器的入口连通，所述再沸器的出口与所述渣浆处理系统连通；所述淋洗塔中的第一出口与所述换热器的入口连通，所述换热器的出口与所述淋洗塔中的第二入口连通，所述淋洗塔的第一出口还与所述第一冷凝器的氯硅烷入口连通，所述第一冷凝器的氯硅烷出口与所述脱重塔入口连通，所述脱重塔的三氯氢硅出口与所述碳吸附塔的入口连通，所述脱重塔的废气出口与所述渣浆处理系统连通。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置中还包括：
硅粉加料系统和氯化氢原料管道；
所述硅粉加料系统中包括：硅粉加料罐和氯化氢气体输送管道，所述氯化氢气体输送管道的出气口与所述硅粉加料罐的内部连通，所述硅粉加料罐的出料口与所述三氯氢硅反应器的内部连通；
所述氯化氢原料管道的出料口与所述三氯氢硅反应器的内部连通。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述硅粉加料罐中的硅粉为粒径为40-325目的硅粉。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述渣浆处理系统中包括浓缩塔，所述浓缩塔的出口与所述脱重塔入口连通。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述干法除尘系统中还包括：
一级袋式过滤器和二级袋式过滤器；
所述一级袋式过滤器的入口与所述旋风分离器的出口连通，所述一级袋式过滤器的出口分别与所述淋洗塔中的第一入口、所述二级袋式过滤器的入口连通。
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述脱重提纯系统中包括三氯氢硅产品储罐和四氯氢硅产品储罐；
所述碳吸附塔的出口与所述三氯氢硅产品储罐的内部连通；
所述脱重塔侧采口与所述四氯氢硅产品储罐的内部连通。
7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述三氯氢硅反应器为流化床。
8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述湿法除尘系统中包括至少两个淋洗塔，所述淋洗塔之间串联；和/或
所述脱重提纯系统中包括至少两个碳吸附塔，所述碳吸附塔之间串联。
9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置中还包括：
氢气回收系统；
所述第一冷凝器还设置有一个气体出口，所述气体出口与所述氢气回收系统连通。
10.一种制备三氯氢硅的方法，其特征在于，所述方法利用了权利要求1～9中任一项所述的装置。
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| CN202310802961.3A CN116920741A (zh) | 2023-07-03 | 2023-07-03 | 一种制备三氯氢硅的装置及方法 |
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