CN116917062A - 金属产品以及所述产品制造方法 - Google Patents

金属产品以及所述产品制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明通过复合使用阳极氧化膜材质的模具与可进行图案化的模具以提供一种可靠性高的金属产品以及所述产品制造方法。

Description

金属产品以及所述产品制造方法
技术领域
本发明涉及一种复合模具、金属产品以及所述产品制造方法。
背景技术
本发明涉及一种复合使用阳极氧化膜模具与可进行图案化的模具来制造一部分构成具有数十微米的尺寸范围的金属产品的方法以及根据所述方法制造的金属产品。
以下，作为上述金属产品的一例，对导电接触针进行例示说明。半导体元件的电特性试验通过在具有多个导电接触针的检测装置中接近检测对象(半导体晶圆或半导体封装)并使导电接触针与检测对象上对应的电极垫(或焊球或凸块)接触来执行。于导电接触针与检测对象上的电极垫接触时，到达两者开始接触的状态后，进行进一步接近检测对象的处理。将此种处理称为过驱动(over drive)。过驱动是使导电接触针弹性变形的处理，通过进行过驱动，即使电极垫的高度或导电接触针的高度存在偏差亦可使所有的导电接触针确实与电极垫接触。另外，导电接触针在过驱动时弹性变形且其前端在电极垫上移动，由此进行刮擦(scrub)。通过此刮擦，可移除电极垫表面的氧化膜且降低接触电阻。
在制造接触针时，利用使用激光技术来制造接触针的方法。例如，存在通过利用激光对由导电材料制造的基板进行切割来制作接触针的方法。激光束沿与接触针对应的规定的轮廓切割基板，并可通过不同的作业于接触针上形成锋利的棱边。但通过沿与接触针的最终形状对应的轮廓切割金属片制作接触针的激光切割技术在提高接触针的尺寸精密度方面存在限制，且应利用激光一一进行切割，因此存在接触针的生产速度低的问题。
另一方面，此种接触针可使用微机电系统(Microelectro Mechanical Systems，MEMS)制程来制作。对使用MEMS制程制作接触针的过程进行阐述，首先，于将光致抗蚀剂膜涂布于导电基材表面后，对光致抗蚀剂膜进行图案化。之后，将光致抗蚀剂膜用作模具，利用电镀法于开口内使金属材料在导电基材表面的暴露面析出，移除光致抗蚀剂膜与导电基材，从而得到接触针。如上所述，将使用MEMS制程制作的接触针称为MEMS接触针。此种MEMS接触针的形状具有与形成于光致抗蚀剂膜模具的开口的形状相同的形状。于此情况，MEMS接触针的厚度受到光致抗蚀剂膜的模具的高度的影响。
于将光致抗蚀剂膜用作电镀法的模具的情况下，仅利用单层光致抗蚀剂膜难以使模具的高度变得足够高。因此，接触针的厚度亦无法变得足够厚。考虑到导电性、复原力及脆性破坏等，需要将MEMS接触针制作成特定的厚度以上。为了使接触针的厚度变厚，可使用以多步骤积层光致抗蚀剂膜的模具。但于此情况下，会产生以下问题点：光致抗蚀剂膜各层出现微细的阶差，使接触针的侧面并未垂直形成，且微细地保留阶差区域。另外，于以多步骤积层光致抗蚀剂膜的情况下，会产生难以精确地重现具有数十微米以下的尺寸范围的接触针的形状的问题点。
现有技术文献
专利文献
(专利文献1)韩国公开编号第10-2018-0004753号公开专利公报
发明内容
发明所欲解决的课题
本发明是为了解决上述问题点而提出，目的在于通过复合使用阳极氧化膜材质的模具与可进行图案化的模具以提供一种可靠性高的金属产品及其制造方法、以及用于所述金属产品的复合模具。
解决课题的手段
为了达成此种本发明的目的，根据本发明的金属产品的制造方法包括以下步骤：于阳极氧化膜材质的第一模具的一面积层可进行图案化的材质的第二模具以配置复合模具；以及向所述复合模具的开口部填充金属物质以形成金属产品。
另外，于所述复合模具的下部配置下部金属层并利用镀覆形成所述金属产品。
另一方面，根据本发明的金属产品的制造方法是包括第一金属层及第二金属层的金属产品的制造方法，包括以下步骤：利用阳极氧化膜材质的第一模具形成所述第一金属层；以及利用可进行图案化的材质的第二模具形成所述第二金属层。
另外，所述第二模具的材质为光致抗蚀剂膜。
另外，所述第一金属层于所述第一模具的第一开口部内利用镀覆形成，所述第二金属层于所述第二模具的第二开口部内利用镀覆形成。
另一方面，根据本发明的金属产品是具有第一面、与所述第一面相对的第二面、连接所述第一面及所述第二面的侧面的金属产品，其中位于所述侧面的至少一部分高度处的侧面区域与位于其他高度处的侧面区域不同地配置微细沟槽。
另外，所述产品的至少一端部包括具有较主体部的中央剖面面积小的剖面面积并突出的尖端部。
另外，所述尖端部由与所述主体部彼此不同的材质形成。
另外，所述尖端部具有与所述主体部中央的宽度相同的宽度，且具有较所述主体部中央的高度低的高度。
另外，所述尖端部具有与所述主体部中央的高度相同的高度，且具有较所述主体部中央的宽度小的宽度。
另外，所述尖端部配置于所述金属产品的端部的角部侧。
另外，所述尖端部配置于所述金属产品的端部的中央侧。
另外，所述尖端部由较所述主体部硬度高的材质形成。
另一方面，根据本发明的金属产品是具有第一面、与所述第一面相对的第二面、连接所述第一面及所述第二面的侧面的金属产品，包括：第一侧面区域，位于所述金属产品的侧面的第一高度处；以及第二侧面区域，位于所述金属产品的侧面的第二高度处，于所述第一侧面区域中包括微细沟槽，所述微细沟槽由自所述第一面向所述第二面方向长长地凹入的槽形成且并列形成有多个。
另外，所述金属产品的高度形成为10μm以上200μm以下，所述第一侧面区域的垂直度的范围具有0.1°以上3°以下。
另外，所述微细沟槽的深度为20nm以上1μm以下。
另一方面，根据本发明的金属产品是具有第一面、与所述第一面相对的第二面、连接所述第一面及所述第二面的侧面的金属产品，包括：第一侧面区域，位于所述金属产品的侧面的第一高度处；第二侧面区域，位于所述第一侧面区域的上侧；第三侧面区域，位于所述第一侧面区域的下侧，于所述第一侧面区域中包括微细沟槽，所述微细沟槽由自所述第一面向所述第二面方向长长地凹入的槽形成且并列形成有多个。
另外，所述第一侧面区域较所述第二侧面区域及所述第三侧面区域更突出形成。
另一方面，根据本发明的金属产品是具有第一面、与所述第一面相对的第二面、连接所述第一面及所述第二面的侧面的金属产品，所述产品的至少一端部包括具有较所述主体部中央的剖面面积小的剖面面积并突出的尖端部，于所述尖端部的侧面中包括微细沟槽，所述微细沟槽由自所述第一面向所述第二面方向长长地凹入的槽形成且并列形成有多个。
另一方面，根据本发明的金属产品是导电接触针。
另一方面，根据本发明的复合模具包括：阳极氧化膜材质的第一模具；以及配置于所述第一模具上的可进行图案化的材质的第二模具。
另外，所述第二模具由光致抗蚀剂材质形成。
另外，包括配置于所述第一模具的第一开口部以及配置于所述第二模具的第二开口部。
另外，所述第一开口部与所述第二开口部以相同的宽度形成。
另外，包括配置于所述第一模具的下部的下部金属层。
另外，包括配置于所述第一开口部内的第一岛以及配置于所述第二开口部内的第二岛。
发明的效果
本发明通过复合使用阳极氧化膜材质的模具与可进行图案化的模具以提供一种可靠性高的金属产品及其制造方法、以及用于所述金属产品的复合模具。
附图说明
图1是用于说明根据本发明的较佳第一实施例的金属产品以及其制造方法的图。
图2是用于说明根据本发明的较佳第二实施例的金属产品的图。
图3及图4是说明根据本发明的较佳第二实施例的金属产品的制造方法的图。
图5是用于说明根据本发明的较佳第三实施例的金属产品的图。
图6及图7是说明根据本发明的较佳第三实施例的金属产品的制造方法的图。
图8是用于说明根据本发明的较佳第四实施例的金属产品的图。
图9及图10是说明根据本发明的较佳第四实施例的金属产品的制造方法的图。
图11是用于说明根据本发明的较佳第五实施例的金属产品的图。
图12至图14是说明根据本发明的较佳第五实施例的金属产品的制造方法的图。
图15是用于说明根据本发明的较佳第六实施例的金属产品的图。
图16至图18是说明根据本发明的较佳第六实施例的金属产品的制造方法的图。
图19是对根据本发明的较佳实施例的微细沟槽进行拍摄的照片。
具体实施方式
以下的内容仅例示发明的原理。因此即便未在本说明书中明确地进行说明或图示，相应领域的技术人员亦可实现发明的原理并发明包含于发明的概念与范围内的各种装置。另外，本说明书所列举的所有条件部用语及实施例在原则上应理解为仅是作为明确地用于理解发明的概念的目的，并不限制于如上所述特别列举的实施例及状态。
所述的目的、特征及优点通过与附图相关的下文的详细说明而进一步变明了，因此在发明所属的技术领域内的技术人员可容易地实施发明的技术思想。
将参考作为本发明的理想例示图的剖面图和/或立体图来说明本说明书中记述的实施例。为了有效地说明技术内容，对该些附图所示的膜及区域的厚度等进行夸张表现。例示图的形态可因制造技术和/或公差等变形。另外，附图所示的产品的个数仅例示性地在附图中表示一部分。因此，本发明的实施例并不限于所示的特定形态，亦包括根据制造制程生成的形态的变化。
在对各种实施例进行说明时，即使实施例不同，为了方便起见亦对执行相同功能的构成要素赋予相同的名称及相同的参考编号。另外，为了方便起见，将省略已经在其他实施例中说明的构成及操作。
根据本发明的较佳实施例的金属产品意指具有特定的厚度、高度及长度的物品。根据本发明的较佳实施例的金属产品可通过MEMS技术来制作，且根据其用途应用领域可不同。
根据本发明的较佳实施例的金属产品包括用于对检测对象进行检测的导电接触针。导电接触针配置于检测装置并用于与检测对象进行电接触、物理接触以传递电信号。检测装置可为用于半导体制造制程的检测装置，且作为一例根据检测对象可为探针卡，且可为测试插座。根据本发明的较佳实施例的检测装置并不限定于此，包括任何施加电以确认检测对象是否不良的装置。
根据本发明的较佳实施例的金属产品以及其制造方法在使用利用阳极氧化膜材质的第一模具与可进行图案化的材质的第二模具的复合模具方面存在技术特征。较佳为可于预先制作复合模具后，在复合模具的开口部内形成金属填充物来制作金属产品，且可根据制程顺序按次序积层阳极氧化膜材质的第一模具与可进行图案化的材质的第二模具并形成金属填充物来制作金属产品。
由于根据本发明的较佳实施例的复合模具采用阳极氧化膜材质的模具，因此在具有第一面、与所述第一面相对的第二面、连接所述第一面及所述第二面的侧面的金属产品中，位于侧面的至少一部分高度处的侧面区域与位于其他高度处的侧面区域不同地配置微细沟槽。
以下，参照附图对本发明的较佳实施例进行详细说明。
图1是用于说明根据本发明的较佳第一实施例的金属产品以及其制造方法的图，根据第一实施例的金属产品以及其制造方法是有关于一种在预先制作复合模具20后在复合模具20的开口部内形成金属填充物30进行制作的金属产品以及其制造方法。
参照图1，根据本发明的较佳第一实施例的产品10的制造方法是复合使用阳极氧化膜材质的第一模具21与可进行图案化的材质的第二模具23来制造产品10的方法。如图1所示，复合模具20包括阳极氧化膜材质的第一模具21与可进行图案化的材质的第二模具23。
阳极氧化膜材质的第一模具21意指对作为母材的金属进行阳极氧化形成的膜，气孔意指于对金属进行阳极氧化形成阳极氧化膜的过程中形成的孔洞。例如，于作为母材的金属为铝(Al)或铝合金的情况，若对母材进行阳极氧化，则于母材的表面形成铝氧化物(Al2O3)材质的阳极氧化膜。如上所述形成的阳极氧化膜在垂直方向上区分为在内部未形成气孔(pore)的阻挡层，与在内部形成有气孔的多孔层。在具有阻挡层与多孔层的阳极氧化膜形成于表面的母材中，若移除母材，则仅保留铝氧化物(Al2O3)材质的阳极氧化膜。阳极氧化膜可由移除在进行阳极氧化时形成的阻挡层且气孔沿上、下贯通的结构形成，或者由在进行阳极氧化时形成的阻挡层照原样保留并将气孔的上、下中的一端部密闭的结构形成。阳极氧化膜具有2ppm/℃至3ppm/℃的热膨胀系数。因此，于在高温的环境下暴露出的情况，由温度引起的热变形小。因此，于产品10的制作环境即使为高温环境，亦可制作精密的产品10而无热变形。
可进行图案化的材质的第二模具23由可进行曝光及显影制程的材质形成，且包括光致抗蚀剂膜。
于仅利用光致抗蚀剂膜材质的第二模具23制作产品10的情况下，仅利用单层光致抗蚀剂膜难以使模具的高度变得足够高。因此，金属产品10的厚度亦无法变得足够厚。考虑到导电性、复原力及脆性破坏等，需要将金属产品10制作成特定的厚度以上。为了使金属产品10的厚度变厚，可使用以多步骤积层光致抗蚀剂膜的模具。但于此情况下，会产生以下问题点：光致抗蚀剂膜各层出现微细的阶差，使金属产品10的侧面并未垂直形成，且微细地保留阶差区域。另外，于以多步骤积层光致抗蚀剂膜的情况下，会产生难以精确地重现具有数十微米以下的尺寸范围的金属产品10的形状的问题点。
另一方面，于利用阳极氧化膜材质的第一模具21制作产品10的情况下，在可制作具有垂直侧面的产品10中具有有利的方面。但由于阳极氧化膜材质的第一模具21通过阳极氧化过程来制作，因此为了使其高度变得足够厚需要许多时间。
因此，若复合使用阳极氧化膜材质的第一模具21与可进行图案化的材质的第二模具23来用作电镀用模具，则具有以下优点：不仅可制作具有垂直侧面且形状精密度优异的金属产品10，而且可利用可进行图案化的材质的第二模具23补充阳极氧化膜材质的第一模具21的不足的高度。另外，于仅利用阳极氧化膜材质的第一模具21的情况下可能难以制作在高度方向上具有三维形状的产品10，但通过复合使用阳极氧化膜材质的第一模具21与可进行图案化的材质的第二模具23，容易制作在高度方向上具有三维形状的金属产品10。
可进行图案化的材质的第二模具23配置于阳极氧化膜材质的第一模具21的上部。根据使可进行图案化的材质的第二模具23位于阳极氧化膜材质的第一模具21上方的构成，于镀覆制程完成后，在进行平坦化制程(化学机械研磨(chemical mechanical polishing，CMP))时可进行图案化的材质的第二模具23保护阳极氧化膜材质的第一模具21方面可更具有防止龟裂产生的效果。
阳极氧化膜材质的第一模具21可用于制作金属产品10的基本的形状，可进行图案化的材质的第二模具23用于制作基本形状以外的复合三维形状或者用于增高基本形状的高度。
配置于阳极氧化膜材质的第一模具21下部的支撑部件包括：第一支撑部件40，于电镀制程中配置于第一模具21的下部以支撑复合模具20；以及第二支撑部件50，于平坦化制程中配置于第一模具21的下部以支撑复合模具20。
参照图1(a)，于第一支撑部件40的上表面配置下部金属层41、43。下部金属层41、43包括配置于复合模具20的下部的第一下部金属层41与配置于第一支撑部件40的上表面的第二下部金属层43。
第一下部金属层41较佳为铜(Cu)、铂(Pt)、铊(Ta)、钛(Ti)或其等的合金材质，但只要是作为用于进行电镀的晶种层发挥作用的材质则对此没有限定。
第二下部金属层43配置于第一支撑部件40的上表面与第一下部金属层41之间，且可由铜(Cu)、铂(Pt)、铊(Ta)、钛(Ti)或其等的合金材质形成，较佳为导电性佳的铜(Cu)材质，但对此没有限定。第二下部金属层43是为了提高分别对复合模具20的多个开口部21a、23a的电镀的均一性而采用的构成。第二下部金属层43与第一下部金属层41相比足够厚地形成，在进行电镀时对复合模具20的多个开口部21a、23a分别供应均一的电流。
配置于复合模具20的下部表面的第一下部金属层41可于将复合模具20安装在第一支撑部件40之前进行配置，配置于第一支撑部件40的第二下部金属层43可于将复合部件20安装在第一支撑部件40之前进行配置。
通过使具有第一下部金属层41的复合模具20配置于配置在第一支撑部件40的第二下部金属层43的上表面，将复合模具20固定至第一支撑部件40，从而完成用于进行电镀的制备步骤。将复合模具20固定至第一支撑部件40的方法包括通过夹紧单元进行固定、通过黏着胶带进行固定等。作为一例，可通过配置于第一支撑部件40的上部的夹紧部夹紧复合模具20的上表面一部分来固定复合模具20而毫不动摇。
第一模具21具有第一开口部21a。于第一开口部21a的内部具有由阳极氧化膜材质形成的第一岛21b。第一岛21b是在对第一模具21的一部分进行蚀刻形成第一开口部21a时不移除阳极氧化膜留下的区域，周围是被第一开口部21a包围的阳极氧化膜区域。第一模具21的厚度可具有10μm以上100μm以下的厚度。在用于制作第一模具21的金属产品10的基本形状方面，第一模具21的厚度具有50μm以上80μm以下的范围。
第二模具23具有第二开口部23a。第二开口部23a可以与第一开口部21a相同的宽度形成。于第二开口部23a的内部具有由光致抗蚀剂膜材质形成的第二岛23b。第二岛23b是在对第二模具23的一部分进行蚀刻形成第二开口部23a时不移除光致抗蚀剂膜留下的区域，周围是被第二开口部23a包围的光致抗蚀剂膜区域。第二模具23的厚度可具有10μm以上100μm以下的厚度。虽然第二模具23出于用于制作金属产品10的三维形状并使高度变厚的目的来使用，但若其高度高则在形状精密度下降方面第二模具23的厚度具有10μm以上50μm以下的范围。
接下来，如图1(b)所示，利用第一下部金属层41、第二下部金属层43来实施电镀。第二下部金属层43作为用于进行电镀的电极执行功能，第一下部金属层41作为电镀的晶种层执行功能。除了第一岛21b、第二岛23b之外，金属填充物30填充复合模具20的第一开口部21a、第二开口部23a，并自第一开口部21a的下部向第二开口部23a的上部方向进行填充。
于电镀完成后，接着如图1(c)所示，将复合模具20自第一支撑部件40分离并配置于第二支撑部件50的上表面，以执行平坦化制程。于此情况，在将复合模具20自第一支撑部件40分离时亦一同将位于复合模具20的下部的第一下部金属层41自第一支撑部件40分离。于第二支撑部件50的上表面配置接合层53。可通过接合层53将复合模具20毫不动摇地固定至第二支撑部件50。之后通过化学机械研磨(CMP)制程移除向复合模具20的上表面突出的金属填充物30，且考虑到产品10的设计上的厚度，亦可移除第二模具23的上表面一部分。
接着如图1(d)所示，利用蚀刻剂移除复合模具20。首先选择性移除光致抗蚀剂膜材质的第二模具23，然后选择性移除阳极氧化膜材质的第一模具21。此时，第一岛21b、第二岛23b亦通过蚀刻剂来移除。通过移除第一岛21b、第二岛23b形成沿上下贯通金属产品10的内部的孔隙部60。如上所述制造的产品10在其内部包括沿金属产品10的厚度方向贯通的孔隙部60。孔隙部60在金属产品10的内部沿金属产品10的长度方向形成，以在进行金属产品10的加压变形时更容易变形。
接着如图1(e)所示，通过利用与第一下部金属层41选择性地进行反应的蚀刻剂移除第一下部金属层41来完成金属产品10的制造。
金属产品10具有第一面(上表面)、与第一面(上表面)相对的第二面(下表面)、连接所述第一面(上表面)及所述第二面(下表面)的侧面。金属产品10包括位于金属产品10的侧面的第一高度处的第一侧面区域11及位于金属产品10的侧面的第二高度处的第二侧面区域13。利用阳极氧化膜材质的第一模具21形成金属产品的第一侧面区域11，利用光致抗蚀剂膜材质的第二模具23形成金属产品10的第二侧面区域13。于利用阳极氧化膜材质的第一模具21形成的第一侧面区域11中具有通过阳极氧化膜的气孔形成的微细沟槽88(参照图19)。换言之，于第一侧面区域11中具有由自第一面(上表面)向第二面(下表面)方向长长地凹入的槽形成且并列形成有多个的微细沟槽88。
微细沟槽88的深度具有20nm以上1μm以下的范围，其宽度亦具有20nm以上1μm以下的范围。此处，由于微细沟槽88源于在制造阳极氧化膜材质的第一模具21时形成的气孔，因此微细沟槽88的宽度与深度具有阳极氧化膜材质的第一模具21的气孔的直径范围以下的值。另一方面，于在阳极氧化膜材质的第一模具21形成开口部的过程中可通过蚀刻溶液使阳极氧化膜材质的第一模具21的气孔的一部分彼此破碎，且至少部分形成具有较在进行阳极氧化时形成的气孔的直径范围更大范围的深度的微细沟槽88。
如上所述般微细沟槽88在金属产品10的侧面中具有可使表面积变大的效果。另外，微细沟槽88在金属产品10变形时可提高抗扭曲能力。作为金属产品10的一实施例的导电接触针在与导引板的导引孔洞的内表面接触的同时滑动。此时导电接触针可受到扭曲负载，于导电接触针的侧面与加压面平行配置的微细沟槽88的构成会抵抗导电接触针扭曲。由此，可使导电接触针不产生扭曲，且防止滑动时的接触面变小，因此可将侧面中的切削异物的产生最小化。另外，微细沟槽88可提高金属产品10变形时的弹性恢复能力。另外，微细沟槽88可快速释放在金属产品10中产生的热，因此可抑制金属产品10的温度上升。
金属产品10的高度形成为10μm以上200μm以下，第一侧面区域11的垂直度的范围具有0.1°以上3°以下。
参照图2至图18，说明根据制程顺序按照次序，利用阳极氧化膜材质的第一模具与可进行图案化的材质的第二模具形成金属填充物来制作金属产品100、200、300、400、500的过程。
图2至图4是用于说明根据本发明的较佳第二实施例的金属产品100以及其制造方法的图。图2a是根据第二实施例的金属产品100的平面图，图2b是图2a的A-A'剖面图，图2c是金属产品100的前视图，图2d是金属产品100的后视图。图3及图4是说明根据第二实施例的金属产品100的制造方法的图。
参照图2，金属产品100包括具有较主体部110中央的剖面面积小的剖面面积并突出的尖端部130。尖端部130具有与主体部110中央的宽度相同的宽度，且具有较主体部110中央的高度低的高度。
金属产品100可由导电材料形成。此处导电材料可选自铂(Pt)、铑(Rh)、钯(Pd)、铜(Cu)、银(Ag)、金(Au)、铱(Ir)或其等的合金、或者镍-钴(NiCo)合金、钯-钴(PdCo)合金、钯-镍(PdNi)合金或镍-磷(NiP)合金中的至少一种。金属产品100的主体部可具有多种导电材料积层的多层结构。由彼此不同材质形成的各导电层可自铂(Pt)、铑(Rh)、钯(Pd)、铜(Cu)、银(Ag)、金(Au)、铱(Ir)或其等的合金、或者钯-钴(PdCo)合金、钯-镍(PdNi)合金或镍-磷(NiP)合金中选择。
尖端部130与主体部110可由彼此不同的材质形成。
由于尖端部130可作为与检测对象进行实质性接触的部位发挥作用，因此尖端部130可由硬度较主体部110相对高的材质形成。作为一实施例，尖端部130可由钯(Pd)或铑(Rh)形成。反之，主体部110可选择与尖端部130相比导电性相对高的材质或弹性相对高的材质的金属中的至少一种形成。主体部110可积层有多种导电材料。因此，尖端部130由硬度较主体部110相对高的材质形成可意指尖端部130由较主体部110硬度的平均值高的材质形成。
参照图2，于产品100的两端部分别配置尖端部130。配置于一端的第一尖端部131由与主体部110的材质彼此不同的材质形成，形成于另一端部的第二尖端部133由与主体部110的材质彼此相同的材质形成。第一尖端部131通过与主体部110的镀覆制程分开的镀覆制程来制作，且第一尖端部131的材质与主体部110的材质彼此不同地形成。第二尖端部133在进行主体部110的镀覆制程时一同形成，且第二尖端部133的材质与主体部110的材质相同地形成。
尖端部130的中心轴自主体部110的中心轴偏心定位。因尖端部130的中心轴自主体部110的中心轴偏心的构成，因此在通过施加压力使产品100压缩时可更有效地变形。由此，可减少对检测对象的接触压。
第一尖端部131的中心轴相对于主体部110的中心轴的偏心方向与第二尖端部133相对于主体部110的中心轴的偏心方向可为相同方向。具体而言，第一尖端部131的中心轴较主体部110的中心轴位于下方，而第二尖端部133的中心轴亦较主体部110的中心轴位于下方。由此，可通过使产品100向偏心方向的相反方向弯曲而使产品100的弯曲方向固定。
第一尖端部131包括自产品100的主体部110向外侧突出的突出部131a与位于产品100的主体部110内部的埋置部131b。通过埋置部131b的构成，防止由与主体部110彼此不同的材质形成的第一尖端部131自主体部110脱落。
参照图3及图4，说明根据本发明的较佳第二实施例的产品100的制造方法。
参照图3a，首先制备阳极氧化膜材质的第一模具120。于阳极氧化膜材质的第一模具120的下部配置晶种层140。为了之后进行电镀，晶种层140预先形成于第一模具120的下部。
参照图3b，于阳极氧化膜材质的第一模具120形成第一开口部125。第一开口部125可通过移除阳极氧化膜材质的第一模具120的至少一部分来形成。第一开口部125可通过对阳极氧化膜材质的第一模具120进行蚀刻来形成。为此，可在阳极氧化膜材质的第一模具120的上表面配置光致抗蚀剂并对其进行图案化，然后经图案化而被开口的区域的阳极氧化膜与蚀刻溶液进行反应从而形成第一开口部125。具体地进行说明，可在形成第一开口部125之前的阳极氧化膜材质的第一模具120的上表面配置感光性材料，然后执行曝光制程及显影制程。感光性材料通过曝光制程及显影制程形成开口区域，且至少一部分可被图案化并移除。阳极氧化膜材质的第一模具120通过利用图案化过程移除感光性材料的开口区域执行蚀刻制程，从而形成第一开口部125。另外，若利用蚀刻溶液对阳极氧化膜材质的第一模具120进行湿式蚀刻，则形成具有垂直内壁的第一开口部125。如此，与将光致抗蚀剂用作模具的构成相比，若将阳极氧化膜用作模具形成镀覆层，则镀覆层的形状的精密度得到提高，从而可制作具有精密的微细结构的产品100。
参照图3c，对第一开口部125进行镀覆形成第一尖端部131。在进行电解镀覆时可利用晶种层140形成第一尖端部131。在镀覆制程完成时，可执行平坦化制程。通过化学机械研磨(CMP)制程移除向阳极氧化膜材质的第一模具120的上表面突出的镀覆层并使其平坦化。
参照图3d，形成用于形成第一主体部111的第二开口部127。第二开口部127可通过移除阳极氧化膜材质的第一模具120的至少一部分来形成。第二开口部127可通过对阳极氧化膜材质的第一模具120进行蚀刻来形成。
参照图4a，对第二开口部127进行镀覆来形成第一主体部111。第一主体部111可由彼此不同材质的金属层积层的多层结构形成。多层结构的至少一个金属层可由导电性高的材质形成，且多层结构的另一金属层由弹性高的材质形成。如此，可通过利用多层结构形成第一主体部111制作导电性高且弹性高的产品100。在镀覆制程完成时，可执行平坦化制程。
参照图4b，于上表面形成光致抗蚀剂(photoresist，PR)。
参照图4c，对光致抗蚀剂PR进行图案化来形成光致抗蚀剂膜材质的第二模具150。光致抗蚀剂膜材质的第二模具150具有在光致抗蚀剂的图案化过程中形成的第三开口部155。光致抗蚀剂膜材质的第二模具150覆盖第一尖端部131的上表面一部分形成，以使配置于一端的第一尖端部131的上表面不整体地暴露出，且覆盖第一主体部111的上表面一部分形成，以使配置于另一端的第一主体部111的上表面不整体地暴露出。
参照图4d，对第三开口部155进行镀覆来形成第二主体部113。第二主体部113与上文形成的第一主体部111一同构成主体部110。之后，移除光致抗蚀剂膜材质的第二模具150、阳极氧化膜材质的第一模具120及晶种层140来完成金属产品100。由此，于金属产品100的两端部分别配置有第一尖端部131、第二尖端部133。配置于一端的第一尖端部131由与主体部110的材质彼此不同的材质形成，而形成于另一端部的第二尖端部133由与主体部110的材质彼此相同的材质形成。
第一尖端部131通过埋置部131b的构成增大与主体部110的接合力。由此，防止第一尖端部131自主体部110脱落。
利用阳极氧化膜材质的第一模具120来形成金属产品100的第一侧面区域11，利用光致抗蚀剂膜材质的第二模具150来形成金属产品100的第二侧面区域13。于利用阳极氧化膜材质的第一模具120形成的第一侧面区域11中具有通过阳极氧化膜的气孔形成的微细沟槽88(参照图19)。换言之，于第一侧面区域11中具有由自第一面(上表面)向第二面(下表面)方向长长地凹入的槽形成且并列形成有多个的微细沟槽88。
图5至图7是用于说明根据本发明的较佳第三实施例的金属产品200以及其制造方法的图。图5a是根据第三实施例的金属产品200的平面图，图5b是图5a的A-A'剖面图，图5c是金属产品200的前视图，图5d是金属产品200的后视图。图6及图7是说明根据第三实施例的金属产品200的制造方法的图。
参照图5，金属产品200包括具有较主体部210中央的剖面面积小的剖面面积并突出的尖端部230。若尖端部230具有与主体部210中央的高度相同的高度，但具有较主体部210中央的宽度小的宽度，则偏向主体部210的任一侧配置。
于金属产品200的两端部分别配置尖端部230。配置于一端的第一尖端部231由与主体部210的材质彼此不同的材质形成，而形成于另一端部的第二尖端部233亦由与主体部210的材质彼此不同的材质形成。
由于尖端部230的中心轴自主体部210的中心轴偏心定位，因此存在通过施加压力使产品200压缩时可更有效地变形的优点。由此，可减少对检测对象的接触压。
第一尖端部231的中心轴相对于主体部210的中心轴的偏心方向与第二尖端部233相对于主体部210的中心轴的偏心方向可为相同方向。具体而言，第一尖端部231的中心轴较主体部210的中心轴位于右侧，第二尖端部233的中心轴亦较主体部210的中心轴位于右侧。由此，可通过使金属产品200向偏心方向的相反方向弯曲使金属产品200的弯曲方向固定。
第一尖端部231包括自金属产品200的主体部210向外侧突出的突出部231a与位于金属产品200的主体部210内部的埋置部231b。另外，第二尖端部233包括自金属产品200的主体部210向外侧突出的突出部233a与位于金属产品200的主体部210内部的埋置部233b。通过埋置部231b、233b的构成，防止由与主体部210彼此不同的材质形成的第一尖端部231、第二尖端部233自主体部210脱落。
参照图6及图7，说明根据本发明的较佳第三实施例的产品200的制造方法。
参照图6a，首先制备阳极氧化膜材质的第一模具220。于阳极氧化膜材质的第一模具220的下部配置晶种层240。为了之后进行电镀，晶种层240预先形成于第一模具220的下部。
参照图6b，于阳极氧化膜材质的第一模具220形成第一开口部223、第二开口部225。第一开口部223、第二开口部225可通过移除阳极氧化膜材质的第一模具220的至少一部分来形成。第一开口部223、第二开口部225可通过对阳极氧化膜材质的第一模具220进行蚀刻来形成。为此，可在阳极氧化膜材质的第一模具220的上表面配置光致抗蚀剂并对其进行图案化，然后经图案化而被开口的区域的阳极氧化膜与蚀刻溶液进行反应从而形成第一开口部223、第二开口部225。具体地进行说明，可在形成第一开口部223、第二开口部225之前的阳极氧化膜材质的第一模具220的上表面配置感光性材料，然后执行曝光制程及显影制程。感光性材料通过曝光制程及显影制程形成开口区域，且至少一部分可被图案化并移除。阳极氧化膜材质的第一模具220通过利用图案化过程移除感光性材料的开口区域执行蚀刻制程，从而形成第一开口部223、第二开口部225。另外，若利用蚀刻溶液对阳极氧化膜材质的第一模具220进行湿式蚀刻，则形成具有垂直内壁的第一开口部223、第二开口部225。如此，与将光致抗蚀剂膜用作模具的构成相比，若将阳极氧化膜用作模具形成镀覆层，则镀覆层的形状的精密度得到提高，从而可制作具有精密的微细结构的金属产品200。
参照图6c，对第一开口部223、第二开口部225进行镀覆形成第一尖端部231、第二尖端部233。在进行电解镀覆时可利用晶种层240形成第一尖端部231、第二尖端部233。在镀覆制程完成时，可执行平坦化制程。通过化学机械研磨(CMP)制程移除向阳极氧化膜材质的第一模具220的上表面突出的镀覆层并使其平坦化。
参照图6d，形成用于形成第一主体部211的第三开口部227。第三开口部227可通过移除阳极氧化膜材质的第一模具220的至少一部分来形成。第三开口部227可通过对阳极氧化膜材质的第一模具220进行蚀刻来形成。
参照图7a，对第三开口部227进行镀覆来形成第一主体部211。第一主体部211可由彼此不同材质的金属层积层的多层结构形成。多层结构的至少一个金属层可由导电性高的材质形成，且多层结构的另一金属层由弹性高的材质形成。如此，可通过利用多层结构形成第一主体部211来制作导电性高且弹性高的金属产品200。在镀覆制程完成时，可执行平坦化制程。
参照图7b，于上表面形成光致抗蚀剂PR。
参照图7c，对光致抗蚀剂PR进行图案化来形成光致抗蚀剂膜材质的第二模具250。光致抗蚀剂膜材质的第二模具250具有在光致抗蚀剂的图案化过程中形成的第四开口部255。光致抗蚀剂膜材质的第二模具250覆盖第一尖端部231的上表面一部分形成，以使配置于一端的第一尖端部231的上表面不整体地暴露出，且覆盖第二尖端部233的上表面一部分形成，以使配置于另一端的第二尖端部233的上表面不整体地暴露出。
参照图7d，对第四开口部255进行镀覆来形成第二主体部213。第二主体部213与上文形成的第一主体部211一同构成主体部210。之后，移除光致抗蚀剂膜材质的第二模具250、阳极氧化膜材质的第一模具220及晶种层240来完成金属产品200。由此，于金属产品200的两端部分别配置有第一尖端部231、第二尖端部233。配置于两端的第一尖端部231、第二尖端部233由与主体部210的材质彼此不同的材质形成。
第一尖端部231、第二尖端部233通过埋置部231b、233b的构成增大与主体部210的接合力。由此，防止第一尖端部231、第二尖端部233自主体部210脱落。
利用阳极氧化膜材质的第一模具220来形成金属产品200的第一侧面区域11，利用光致抗蚀剂膜材质的第二模具250来形成金属产品200的第二侧面区域13。于利用阳极氧化膜材质的第一模具220形成的第一侧面区域11中具有通过阳极氧化膜的气孔形成的微细沟槽88(参照图19)。换言之，于第一侧面区域11中具有由自第一面(上表面)向第二面(下表面)方向长长地凹入的槽形成且并列形成有多个的微细沟槽88。
图8至图10是用于说明根据本发明的较佳第四实施例的金属产品300以及其制造方法的图。图8a是根据第四实施例的金属产品300的平面图，图8b是图8a的A-A'剖面图，图8c是金属产品300的前视图，图8d是金属产品300的后视图。图9及图10是说明根据第四实施例的金属产品300的制造方法的图。
参照图8，金属产品300包括具有较主体部310中央的剖面面积小的剖面面积并突出的尖端部330。尖端部330配置于金属产品300端部的角部侧。
参照图8，于金属产品300的两端部分别配置尖端部330。配置于一端的第一尖端部331由与主体部310的材质彼此不同的材质形成，形成于另一端部的第二尖端部333亦由与主体部310的材质彼此不同的材质形成。
由于尖端部330的中心轴自主体部310的中心轴偏心定位，因此存在通过施加压力使产品300压缩时可更有效地变形的优点。由此，可减少对检测对象的接触压。
第一尖端部331的中心轴相对于主体部310的中心轴的偏心方向与第二尖端部333相对于主体部310的中心轴的偏心方向可为相同方向。具体而言，第一尖端部331的中心轴较主体部310的中心轴位于上侧及右侧，而第二尖端部333的中心轴亦较主体部310的中心轴位于上侧及右侧。由此，可通过使产品300向偏心方向的相反方向弯曲使产品300的弯曲方向固定。
由于尖端部330的下表面与在主体部310的中央区域中突出的主体部310接合，因此防止尖端部330自主体部310脱落。
参照图9及图10，说明根据本发明的较佳第四实施例的金属产品300的制造方法。
参照图9a，首先制备阳极氧化膜材质的第一模具320。于阳极氧化膜材质的第一模具320的下部配置晶种层340。为了之后进行电镀，晶种层340预先形成于第一模具320的下部。
参照图9b，于阳极氧化膜材质的第一模具320形成第一开口部325。第一开口部325可通过移除阳极氧化膜材质的第一模具320的至少一部分来形成。第一开口部325可通过对阳极氧化膜材质的第一模具320进行蚀刻来形成。为此，可在阳极氧化膜材质的第一模具320的上表面配置光致抗蚀剂并对其进行图案化，然后经图案化而被开口的区域的阳极氧化膜与蚀刻溶液进行反应从而形成第一开口部325。具体地进行说明，可在形成第一开口部325之前的阳极氧化膜材质的第一模具320的上表面配置感光性材料，然后执行曝光制程及显影制程。感光性材料通过曝光制程及显影制程形成开口区域，且至少一部分可被图案化并移除。阳极氧化膜材质的第一模具320通过利用图案化过程移除感光性材料的开口区域执行蚀刻制程，从而形成第一开口部325。另外，若利用蚀刻溶液对阳极氧化膜材质的第一模具320进行湿式蚀刻，则形成具有垂直内壁的第一开口部325。如此，与将光致抗蚀剂用作模具的构成相比，若将阳极氧化膜用作模具形成镀覆层，则镀覆层的形状的精密度得到提高，从而可制作具有精密的微细结构的产品300。
参照图9c，对第一开口部325进行镀覆形成第一主体部311。在进行电解镀覆时可利用晶种层340形成第一主体部311。在镀覆制程完成时，可执行平坦化制程。通过化学机械研磨(CMP)制程移除向阳极氧化膜材质的第一模具320的上表面突出的镀覆层并使其平坦化。
参照图9d，于上表面形成光致抗蚀剂PR。
参照图10a，对光致抗蚀剂PR进行图案化来形成光致抗蚀剂膜材质的第二模具350。光致抗蚀剂膜材质的第二模具350具有在光致抗蚀剂的图案化过程中形成的第二开口部327。
参照图10b，对第二开口部327进行镀覆来形成第二主体部313。第二主体部313与上文形成的第一主体部311一同构成主体部310。
参照图10c，对光致抗蚀剂膜材质的第二模具350进行图案化来形成第三开口部329。第三开口部329在两端侧配置。
参照图10d，对第三开口部329进行镀覆来形成第一尖端部331、第二尖端部333。之后，移除光致抗蚀剂膜材质的第二模具350、阳极氧化膜材质的第一模具320及晶种层340来完成产品300。由此，于产品300的两端部分别配置有第一尖端部331、第二尖端部333。配置于两端的第一尖端部331、第二尖端部333由与主体部310的材质彼此不同的材质形成。
利用阳极氧化膜材质的第一模具320来形成金属产品300的第一侧面区域11，利用光致抗蚀剂膜材质的第二模具350来形成金属产品300的第二侧面区域13。于利用阳极氧化膜材质的第一模具320形成的第一侧面区域11中具有通过阳极氧化膜的气孔形成的微细沟槽88(参照图19)。换言之，于第一侧面区域11中具有由自第一面(上表面)向第二面(下表面)方向长长地凹入的槽形成且并列形成有多个的微细沟槽88。
图11至图14是用于说明根据本发明的较佳第五实施例的金属产品400以及其制造方法的图。图11a是根据第五实施例的金属产品400的平面图，图11b是图11a的A-A'剖面图，图11c是金属产品400的前视图，图11d是金属产品400的后视图。图12至图14是说明根据第五实施例的金属产品400的制造方法的图。
参照图11，金属产品400包括具有较主体部410中央的剖面面积小的剖面面积并突出的尖端部430。尖端部430配置于金属产品400端部的中心侧。
参照图11，于金属产品400的两端部分别配置尖端部430。配置于一端的第一尖端部431由与主体部410的材质彼此不同的材质形成，形成于另一端部的第二尖端部433亦由与主体部410的材质彼此不同的材质形成。尖端部430的中心轴位于主体部410的中心轴上。
第一尖端部431包括自金属产品400的主体部410向外侧突出的突出部431a与位于金属产品400的主体部410内部的埋置部431b。另外，第二尖端部433包括自金属产品400的主体部410向外侧突出的突出部433a与位于金属产品400的主体部410内部的埋置部433b。通过埋置部431b、433b的构成，防止由与主体部410彼此不同的材质形成的第一尖端部431、第二尖端部433自主体部410脱落。
参照图12至图14，说明根据本发明的较佳第五实施例的金属产品400的制造方法。
参照图12a，首先制备阳极氧化膜材质的第一模具420。于阳极氧化膜材质的第一模具420的下部配置第一晶种层441，于阳极氧化膜材质的第一模具420的上部配置第二晶种层442。为了之后进行电镀，第一晶种层441、第二晶种层442预先形成于第一模具420的上部及下部。
参照图12b，对第二晶种层442进行图案化。接着参照图12c，于上表面形成光致抗蚀剂PR。接着参照图12d，对光致抗蚀剂PR进行图案化，将经图案化的光致抗蚀剂PR用作遮罩对阳极氧化膜进行蚀刻来形成第一开口部425。配置具有第一开口部425的阳极氧化膜材质的第一模具420与光致抗蚀剂膜材质的第二模具450。光致抗蚀剂膜材质的第二模具450位于阳极氧化膜材质的第一模具420的上部。
参照图13a，对第一开口部425进行镀覆来形成第一主体部411。接着参照图13b，于上表面形成光致抗蚀剂PR。
参照图13c，对光致抗蚀剂PR进行图案化来形成具有第二开口部429的光致抗蚀剂膜材质的第三模具451。通过对光致抗蚀剂PR进行图案化形成第二开口部429以使第一主体部411的上表面与第二晶种层442的上表面暴露出。因第一主体部411的上表面与第二晶种层442的上表面的高度差，第二开口部429在端部侧具有阶差状。
参照图13d，对阶差状的第二开口部429进行镀覆形成第一尖端部431与第二尖端部433。因阶差状的表面，第一尖端部431、第二尖端部433与第一主体部411的接合面积增大，可更有效地达成防止第一尖端部431、第二尖端部433的脱落。第一尖端部431、第二尖端部433由埋置部431b、433b与突出部431a、433a形成，突出部431a、433a较埋置部431b、433b的厚度厚地形成，突出部431a、433a的扩大厚度面与第一主体部411接合且更有效地达成防止第一尖端部431、第二尖端部433的脱落。
接着参照图14a，于上表面形成光致抗蚀剂PR。接着参照图14b，对光致抗蚀剂PR进行图案化来形成具有第三开口部429的光致抗蚀剂膜材质的第四模具453。通过第三开口部429使第一尖端部431、第二尖端部433的埋置部431b、433b暴露出。接着参照图14c，对第三开口部429进行镀覆来形成第二主体部413。之后，移除光致抗蚀剂膜材质的第四模具453、阳极氧化膜材质的第一模具420及第一晶种层441、第二晶种层442来完成产品400。由此，于产品400的两端部分别配置有第一尖端部431、第二尖端部433。配置于两端的第一尖端部431、第二尖端部433由与主体部410的材质彼此不同的材质形成。
本发明的较佳第五实施例说明了埋置部431b、433b彼此隔开分别形成的情况，但作为第五实施例的变形例，埋置部431b、433b可彼此连接且第一尖端部431、第二尖端部433构成为一体型(one-body)。由此，第五实施例的变形例可通过突出部431a、433a的扩大厚度面执行止挡棱功能来更有效地防止第一尖端部431、第二尖端部433的脱落。
利用阳极氧化膜材质的第一模具420来形成产品400的第一侧面区域11，利用光致抗蚀剂膜材质的第二模具450、第三模具451、第四模具453来形成金属产品400的第二侧面区域13。于利用阳极氧化膜材质的第一模具420形成的第一侧面区域11中具有通过阳极氧化膜的气孔形成的微细沟槽88(参照图19)。换言之，于第一侧面区域11中具有由自第一面(上表面)向第二面(下表面)方向长长地凹入的槽形成且并列形成有多个的微细沟槽88。
图15至图18是用于说明根据本发明的较佳第六实施例的金属产品500以及其制造方法的图。图15a是根据第六实施例的金属产品500的平面图，图15b是图15a的A-A'剖面图，图15c是金属产品500的前视图，图15d是金属产品500的后视图。图16至图18是说明根据第六实施例的金属产品500的制造方法的图。
参照图15，金属产品500包括具有较主体部510中央的剖面面积小的剖面面积并突出的尖端部530。尖端部530配置于产品500端部的中心侧。
于产品500的两端部分别配置尖端部530。配置于一端的第一尖端部531由与主体部510的材质彼此不同的材质形成，形成于另一端部的第二尖端部533亦由与主体部510的材质彼此不同的材质形成。尖端部530的中心轴位于主体部510的中心轴上。
第一尖端部531包括自金属产品500的主体部510向外侧突出的突出部531a与位于金属产品500的主体部510内部的埋置部531b。另外，第二尖端部533包括自金属产品500的主体部510向外侧突出的突出部533a与位于金属产品500的主体部510内部的埋置部533b。通过埋置部531b、533b的构成，防止由与主体部510彼此不同的材质形成的第一尖端部531、第二尖端部533自主体部510脱落。
参照图16至图18，说明根据本发明的较佳第六实施例的金属产品500的制造方法。
参照图16a，首先制备阳极氧化膜材质的第一模具520。于阳极氧化膜材质的第一模具520的下部配置晶种层540。为了之后进行电镀，晶种层540预先形成于第一模具520的下部。
参照图16b，于阳极氧化膜材质的第一模具520形成第一开口部525。第一开口部525可通过移除阳极氧化膜材质的第一模具520的至少一部分来形成。
参照图16c，对第一开口部525进行镀覆来形成第一主体部511。
参照图17a，于阳极氧化膜材质的第一模具520形成第二开口部527。第二开口部527可通过移除阳极氧化膜材质的第一模具520的至少一部分来形成。
参照图17b，对第二开口部527进行镀覆来形成第一尖端部531、第二尖端部533。
参照图17c，于上部形成光致抗蚀剂并对其进行图案化来形成光致抗蚀剂膜材质的第二模具550。第二模具550的开口部的长度较第一主体部511的长度长地形成。接着对光致抗蚀剂膜材质的第二模具550的开口部进行镀覆来形成第二主体部513。
参照图18a，于将图17c中制作的产品倒置后移除晶种层540。
参照图18b，于上部形成光致抗蚀剂并对其进行图案化来形成光致抗蚀剂膜材质的第三模具570。光致抗蚀剂膜材质的第三模具570具有第三开口部529。第三开口部529的长度较第一主体部511的长度长地形成。
参照图18c，对第三开口部529进行镀覆来形成第三主体部515。之后，移除光致抗蚀剂膜材质的第二模具550、第三模具570、阳极氧化膜材质的第一模具520来完成产品500。由此，于产品500的两端部分别配置有第一尖端部531、第二尖端部533。配置于两端的第一尖端部531、第二尖端部533由与主体部510的材质彼此不同的材质形成。
金属产品500包括位于金属产品500的侧面的第一高度处的第一侧面区域11、位于第一侧面区域的上侧的第二侧面区域13、位于第一侧面区域的下部侧的第三侧面区域15。第一侧面区域11较第二侧面区域13及第三侧面区域15在长度方向上更突出形成。利用阳极氧化膜材质的第一模具520来形成金属产品500的第一侧面区域11，利用光致抗蚀剂膜材质的第二模具550及第三模具570来形成金属产品500的第二侧面区域13、第三侧面区域15。于利用阳极氧化膜材质的第一模具520形成的第一侧面区域11中具有通过阳极氧化膜的气孔形成的微细沟槽88(参照图19)。换言之，于第一侧面区域11中具有由自第一面(上表面)向第二面(下表面)方向长长地凹入的槽形成且并列形成有多个的微细沟槽88。由于第一侧面区域11是形成有具有较主体部510中央的剖面面积小的剖面面积并突出的第一尖端部531、第二尖端部533的区域，因此于第一尖端部531、第二尖端部533的侧面中形成由自第一面(上表面)向第二面(下表面)方向长长地凹入的槽形成且并列形成有多个的微细沟槽88。
如以上所说明般，根据本发明的较佳实施例的金属产品在由利用阳极氧化膜材质的第一模具与可进行图案化的材质的第二模具的复合模具进行制造方面具有特征。较佳为可于预先一次性制作复合模具后，在复合模具的开口部内形成金属填充物来制作金属产品，且可根据制程顺序按次序积层阳极氧化膜材质的第一模具与可进行图案化的材质的第二模具并形成金属填充物来制作金属产品。
根据本发明的较佳实施例，若复合使用阳极氧化膜材质的第一模具与可进行图案化的材质的第二模具来用作电镀用模具，则具有以下优点：可利用可进行图案化的材质的第二模具补充阳极氧化膜材质的第一模具的不足的高度。另外，于仅使用阳极氧化膜材质的第一模具的情况下可能难以制作在高度方向上具有三维形状的金属产品，但通过复合使用阳极氧化膜材质的第一模具与可进行图案化的材质的第二模具，则容易制作在高度方向上具有三维形状的金属产品。
如上所述，尽管对本发明的较佳实施例进行区分说明，但相应技术领域的普通技术人员可在不脱离下述申请专利范围所记载的本发明的思想及领域的范围内对实施例实施各种修改或变形。
[符号说明]
100:产品/金属产品
110:主体部
120:第一模具
130:尖端部
140:晶种层
150:第二模具

Claims (26)

1.一种金属产品的制造方法，包括以下步骤：
于阳极氧化膜材质的第一模具的一表面上积层能够进行图案化的材质的第二模具以配置复合模具；以及
向所述复合模具的开口部填充金属物质以形成金属产品。
2.根据权利要求1所述的金属产品的制造方法，其中
于所述复合模具的下部配置下部金属层并利用镀覆形成所述金属产品。
3.一种金属产品的制造方法，是包括第一金属层及第二金属层的金属产品的制造方法，包括以下步骤：
利用阳极氧化膜材质的第一模具形成所述第一金属层；以及
利用能够进行图案化的材质的第二模具形成所述第二金属层。
4.根据权利要求3所述的金属产品的制造方法，其中
所述第二模具的材质为光致抗蚀剂膜。
5.根据权利要求3所述的金属产品的制造方法，其中
所述第一金属层于所述第一模具的第一开口部内利用镀覆形成，
所述第二金属层于所述第二模具的第二开口部内利用镀覆形成。
6.一种金属产品，是具有第一面、与所述第一面相对的第二面、连接所述第一面及所述第二面的侧面的金属产品，其中
位于所述侧面的至少一部分高度处的侧面区域与位于其他高度处的侧面区域不同地配置微细沟槽。
7.根据权利要求6所述的金属产品，其中
所述金属产品的至少一端部包括具有较主体部的中央剖面面积小的剖面面积并突出的尖端部。
8.根据权利要求7所述的金属产品，其中
所述尖端部由与所述主体部彼此不同的材质形成。
9.根据权利要求7所述的金属产品，其中
所述尖端部具有与所述主体部中央的宽度相同的宽度，且具有较所述主体部中央的高度低的高度。
10.根据权利要求7所述的金属产品，其中
所述尖端部具有与所述主体部中央的高度相同的高度，且具有较所述主体部中央的宽度小的宽度。
11.根据权利要求7所述的金属产品，其中
所述尖端部配置于所述金属产品的端部的角部侧。
12.根据权利要求7所述的金属产品，其中
所述尖端部配置于所述金属产品的端部的中央侧。
13.根据权利要求7所述的金属产品，其中
所述尖端部由较所述主体部硬度高的材质形成。
14.一种金属产品，是具有第一面、与所述第一面相对的第二面、连接所述第一面及所述第二面的侧面的金属产品，包括：
第一侧面区域，位于所述金属产品的侧面的第一高度处；以及
第二侧面区域，位于所述金属产品的侧面的第二高度处，
于所述第一侧面区域中包括微细沟槽，所述微细沟槽由自所述第一面向所述第二面的方向上长长地凹入的槽形成且并列形成有多个。
15.根据权利要求14所述的金属产品，其中
所述金属产品的高度形成为10μm以上200μm以下，所述第一侧面区域的垂直度的范围具有0.1°以上3°以下。
16.根据权利要求14所述的金属产品，其中
所述微细沟槽的深度为20nm以上1μm以下。
17.一种金属产品，是具有第一面、与所述第一面相对的第二面、连接所述第一面及所述第二面的侧面的金属产品，包括：
第一侧面区域，位于所述金属产品的侧面的第一高度处；
第二侧面区域，位于所述第一侧面区域的上侧；
第三侧面区域，位于所述第一侧面区域的下侧，
于所述第一侧面区域中包括微细沟槽，所述微细沟槽由自所述第一面向所述第二面的方向上长长地凹入的槽形成且并列形成有多个。
18.根据权利要求17所述的金属产品，其中
所述第一侧面区域较所述第二侧面区域及所述第三侧面区域更突出形成。
19.一种金属产品，是具有第一面、与所述第一面相对的第二面、连接所述第一面及所述第二面的侧面的金属产品，其中
所述金属产品的至少一端部包括具有较主体部中央的剖面面积小的剖面面积并突出的尖端部，
于所述尖端部的侧面中包括微细沟槽，所述微细沟槽由自所述第一面向所述第二面的方向上长长地凹入的槽形成且并列形成有多个。
20.根据权利要求6、权利要求14、权利要求17或权利要求19所述的金属产品，其中
所述金属产品为导电接触针。
21.一种复合模具，包括：
阳极氧化膜材质的第一模具；以及
配置于所述第一模具上的能够进行图案化的材质的第二模具。
22.根据权利要求21所述的复合模具，其中
所述第二模具由光致抗蚀剂材质形成。
23.根据权利要求21所述的复合模具，包括：
第一开口部，配置于所述第一模具；以及
第二开口部，配置于所述第二模具。
24.根据权利要求23所述的复合模具，其中
所述第一开口部与所述第二开口部以相同的宽度形成。
25.根据权利要求21所述的复合模具，包括：
下部金属层，配置于所述第一模具的下部。
26.根据权利要求23所述的复合模具，包括：
第一岛，配置于所述第一开口部内；以及
第二岛，配置于所述第二开口部内。
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