CN116917026A - 气泡产生装置以及气泡产生系统 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及气泡产生装置以及气泡产生系统。本发明提供一种安装于液体槽(10)并使液体槽(10)的液体中产生微细的气泡的气泡产生装置(1)。气泡产生装置(1)具备振动板(2)、第一筒状体(31)、弹簧部(32)、第二筒状体(33)、凸缘部(34)、第三筒状体(35)、配重部(36)以及压电元件(4)。第三筒状体(35)及配重部(36)设置于在利用压电元件(4)使弹簧部(32)振动的情况下第二筒状体(33)的侧面的位移量为规定范围内的位置。
Description
技术领域
本公开涉及气泡产生装置以及气泡产生系统。
背景技术
近年来，使用微细的气泡进行水质净化、排水处理、鱼的养殖等，微细的气泡在各种领域中被利用。因此，开发了产生微细的气泡的气泡产生装置(日本专利第6108526号公报：专利文献1)。
在专利文献1所记载的气泡产生装置中，利用压电元件使微细的气泡产生。在该气泡产生装置中，利用弯曲振动的振动板的中央部处的上下振动，通过振动将在振动板形成的细孔处产生的气泡撕裂而进行微细化。
专利文献1：日本专利第6108526号公报
对于气泡产生装置的用途，例如具有为了提高柴油机的燃烧而使轻油产生气泡的车载用途。在车载用途的情况下，要求高的可靠性，气泡产生装置需要采取防止液体槽的液体(轻油)从液体槽与气泡产生装置的结合部分等泄漏的对策。
发明内容
因此，本公开的目的在于提供一种液体槽的液体不易从液体槽与气泡产生装置的结合部分等泄漏的气泡产生装置以及气泡产生系统。
本公开的一个方式所涉及的气泡产生装置是安装于液体槽，使液体槽的液体中产生微细的气泡的气泡产生装置，具备：振动板，形成有多个开口部，并设置于一方的面与液体槽的液体接触且另一方的面与气体接触的位置；第一筒状体，支承振动板的一方的端部；板状的弹簧部，支承第一筒状体的另一方的端部；第二筒状体，在位于比支承第一筒状体的位置靠外侧的位置支承弹簧部的一方的端部；板状的凸缘部，支承第二筒状体的另一方的端部，比第二筒状体的位置向外侧延伸；第三筒状体，在位于比支承第二筒状体的位置靠外侧的位置支承凸缘部的一方的端部；配重部，设置于第三筒状体的另一方的端部；以及压电元件，设置于由第二筒状体支承的弹簧部的面，并使弹簧部振动，第三筒状体及配重部设置于在利用压电元件使弹簧部振动的情况下第二筒状体的侧面的位移量为规定范围内的位置。
本公开的另一方式所涉及的气泡产生系统具备上述气泡产生装置和液体槽。
根据本公开，在气泡产生装置中，由于设置第三筒状体及配重部，因此能够将与液体槽的结合部分的位移量调整为在规定范围内，从而能够使液体槽的液体不易从液体槽与气泡产生装置的结合部分等泄漏。
附图说明
图1是使用本实施方式所涉及的气泡产生装置的气泡产生系统的示意图。
图2是本实施方式所涉及的气泡产生装置的立体图。
图3是本实施方式所涉及的气泡产生装置的剖视图。
图4是本实施方式所涉及的气泡产生装置的半剖视图。
图5是设置于第三筒状体的另一方的端部的配重部的位置不同的类型的气泡产生装置的半剖视图。
图6是表示本实施方式所涉及的气泡产生装置中的类型A的对象侧面的Z方向的位移量的图表。
图7是表示本实施方式所涉及的气泡产生装置中的类型A的对象侧面的X方向的位移量的图表。
图8是表示平均位移量相对于位置D的长度的变化的图表。
图9是表示每个类型的Z方向的平均位移量相对于位置D的长度的变化的图表。
图10是表示惯性力矩相对于位置D的长度的变化的图表。
图11是表示相对于配重部的密度的Z方向的位移量的图表。
图12是表示将弹簧部的端部加工成锥形形状的例子的图。
具体实施方式
(实施方式)
以下，参照附图对本实施方式所涉及的气泡产生装置以及气泡产生系统详细地进行说明。此外，对图中的相同或相当部分标注相同附图标记，不重复其说明。
首先，图1是使用本实施方式所涉及的气泡产生装置1的气泡产生系统100的示意图。图1所示的气泡产生装置1例如设置于存积水、汽油、轻油等液体的液体槽10的底部，被用于使液体槽10的液体产生微细的气泡200的气泡产生系统100。此外，气泡产生系统100例如能够应用于水质净化装置、排水处理装置、鱼的养殖用水槽、燃料喷射装置等各种系统。
另外，液体槽10根据应用的系统而所导入的液体不同，如果是水质净化装置则成为水，但如果是燃料喷射装置则成为液体燃料。另外，液体槽10只要能够暂时存积液体即可，还包括在导入液体的管中液体始终在该管中流动的槽。
气泡产生装置1具备振动板2、筒状体3以及压电元件4。气泡产生装置1通过压电元件4使设置在开设于液体槽10的底部的一部分的孔并从该孔向液体侧突出的振动板2振动，由此从在振动板2形成的多个细孔(开口部)产生微细的气泡200。
振动板2例如由树脂板、金属板、Si或SOI(SiliconOnInsulator：绝缘体上硅)基板、多孔的陶瓷板、玻璃板等形成。在由玻璃板形成振动板2的情况下，例如可以由供波长为200nm～380nm的紫外光及深紫外光透过的玻璃板形成。通过由供紫外光及深紫外光透过的玻璃板形成，从而设置从振动板2的另一方的面侧相对于液体槽10的液体发出紫外光的光源，能够兼作基于臭氧生成的杀菌和基于紫外光照射的杀菌。
振动板2形成有多个细孔，一方的面与液体槽10的液体(例如，水)接触，另一方的面与气体(例如，空气)接触。即，在气泡产生装置1中，利用振动板2使液体与空气分离，对另一方的面施加背压(图1所示的箭头方向)，由此气体经过多个细孔而被送入液体槽10的液体。气泡产生装置1通过利用振动板2的振动将经过多个细孔而被送入的气体撕裂，从而使微细的气泡200产生。
更详细地说明，在气体欲从多个细孔逸出时，由于液体的表面张力而阻碍气体向液体侧侵入，另一方面，由于气体的浮力而切断该表面张力的力起作用。气泡200的直径由该平衡决定，但由于振动板2的振动而产生细孔从壁面剥离的效果，成为犹如表面张力变小的状态。其结果，在气体欲从多个细孔逸出的初始阶段，通过振动板2的振动将气体撕裂，与不施加振动板2的振动的情况相比，能够使直径为1/10左右的微细的气泡200产生。
虽然未图示，但例如在设置于直径14mm的振动板2的中央部的5mm×5mm的区域形成有多个细孔。在将细孔的孔径设为1μm，将细孔的间隔设为0.25mm的情况下，能够在5mm×5mm的区域形成441个细孔。
在气泡产生装置1中，经由筒状体3通过压电元件4使振动板2振动。图2是本实施方式所涉及的气泡产生装置1的立体图。图3是本实施方式所涉及的气泡产生装置的剖视图。如图3所示，图1所示的筒状体3包括第一筒状体31、弹簧部32、第二筒状体33、凸缘部34、第三筒状体35以及配重部36。此外，图3的气泡产生装置1是沿第二筒状体33的贯通方向(图中为上下方向)在中央切断的剖视图。
振动板2的端部由圆筒状的第一筒状体31的端部保持。在形成于振动板2的多个细孔的贯通方向相对于第一筒状体31的振动方向平行的位置，振动板2被第一筒状体31支承。第一筒状体31的与振动板2侧相反侧的端部被弹簧部32支承。弹簧部32是能够弹性变形的板状的部件，支承圆筒状的第一筒状体31的底面，朝向第一筒状体31的外侧延伸。在弹簧部32没有设置贯通第一筒状体31和第二筒状体33的孔，而设置有供气体从侧面向第一筒状体31流入的至少一个连通部320。通过不在弹簧部32设置贯通第一筒状体31和第二筒状体33的孔，从形成于振动板2的多个细孔泄漏的液体不会泄漏到比第二筒状体33靠下侧，能够保护压电元件4免受液体的影响。当然，弹簧部32也可以为中空圆状，具有贯通第一筒状体31和第二筒状体33的孔。另外，也可以不在弹簧部32设置连通部320。
弹簧部32在位于支承第一筒状体31的位置的外侧的位置由第二筒状体33支承。第二筒状体33为圆筒状的形态。第二筒状体33通过一方的端部支承弹簧部32。第二筒状体33的与弹簧部32侧相反侧的端部被凸缘部34支承。凸缘部34是板状的部件，支承圆筒状的第二筒状体33的底面，并从支承第二筒状体33的位置朝向外侧延伸。
凸缘部34在位于支承第二筒状体33的位置的外侧的位置由第三筒状体35支承。第三筒状体35为圆筒状的形态。第三筒状体35通过一方的端部支承凸缘部34。在第三筒状体35的另一方的端部，在外侧具有圆筒状的配重部36。此外，第三筒状体35及配重部36设置于在利用压电元件4使弹簧部32振动的情况下第二筒状体33的侧面的位移量为规定范围内的位置。
在弹簧部32的下表面，与弹簧部32的形状相匹配地设置有圆状的压电元件4。压电元件4在第一筒状体31的贯通方向(图中为上下方向)振动。压电元件4在第一筒状体31的贯通方向振动，由此使弹簧部32在第一筒状体31的贯通方向振动，使第一筒状体31大致均匀地沿上下方向位移。此外，压电元件4也可以不是覆盖第二筒状体33的内径的整个面的圆状，而是在中央部具有孔的中空圆状。
第一筒状体31、弹簧部32、第二筒状体33、凸缘部34、第三筒状体35以及配重部36一体地形成。第一筒状体31、弹簧部32、第二筒状体33、凸缘部34、第三筒状体35以及配重部36例如由不锈钢等金属、合成树脂构成。优选地，期望不锈钢等刚性高的金属。此外，也可以将第一筒状体31、弹簧部32、第二筒状体33、凸缘部34、第三筒状体35以及配重部36形成为分体，形成为分体部件。振动板2与第一筒状体31的接合方法没有特别限定。可以通过粘接剂、焊接、嵌合、压入等将振动板2与第一筒状体31接合。
如图1所示，气泡产生装置1在弹簧部32的外侧的端部或第二筒状体33的外侧面与开设于液体槽10的底部的一部分的孔结合。如后所述，通过设置第三筒状体35及配重部36，即使利用压电元件4使振动板2振动，弹簧部32的外侧的端部或第二筒状体33的外侧面也几乎不振动。因此，能够不将压电元件4的振动传递至液体槽10，而实质上仅使振动板2振动。进而，能够使液体槽10的液体不易从气泡产生装置1与液体槽10的结合部分等泄漏。
压电元件4例如通过在厚度方向上极化而振动。压电元件4由锆钛酸铅系压电陶瓷构成。然而，也可以使用(K，Na)NbO3等其他压电陶瓷。另外，也可以使用LiTaO3等压电单晶。压电元件4基于来自控制器20(参照图1)的驱动信号，在第一筒状体31的贯通方向振动。
在气泡产生装置1中，采用将与液体接触的振动板2的构造例如设为玻璃板，经由筒状体3通过压电元件4使振动板2振动的结构，由此能够使导入气体的空间与液体完全分离。通过使导入气体的空间与液体完全分离，能够防止压电元件4的电气布线等浸入液体。另外，在气泡产生装置1中，即使在设置相对于液体槽10的液体发出紫外光的光源的情况下，也能够将该光源设置于导入气体的空间，因此能够防止该光源的电气布线等浸入液体。
接下来，对通过在气泡产生装置1设置第三筒状体35及配重部36，来调整第二筒状体33的外侧面(与液体槽10的结合部分)的位移量的情况详细地进行说明。图4是本实施方式所涉及的气泡产生装置的半剖视图。图4所示的点划线是经过第一筒状体31的中心轴的部分。另外，将第一筒状体31的内侧的位置设为位置A，将第二筒状体33的内侧的位置设为位置B，将第二筒状体33的外侧的位置设为位置C，将第三筒状体35的外侧的位置设为位置D。另外，弹簧部32的外侧的端部或第二筒状体33的外侧面是与液体槽10接合的侧面，且是将位移量抑制在规定范围内的对象侧面。将第二筒状体33的贯通方向(图中为上下方向)设为Z方向，将图中左右方向设为X方向。
图5是设置于第三筒状体35的另一方的端部的配重部36的位置不同的类型的气泡产生装置1的半剖视图。图5的(a)图示了从中心轴到配重部36的外侧的长度为7.0mm的气泡产生装置1的类型A。图5的(b)图示了从中心轴到配重部36的外侧的长度为7.5mm的气泡产生装置1的类型B。在图5的(a)及图5的(b)中，从中心轴到配重部36的内侧的长度随着从中心轴到第三筒状体35的内侧的长度而变化。图5的(c)图示了从中心轴到配重部36的外侧的长度为7.0mm，且配重部36的内侧的位置固定于位置B的气泡产生装置1的类型C。
对于图5的(a)～图5的(c)所示的气泡产生装置1的类型A～类型C的每一个，进行利用压电元件4使振动板2振动的模拟，求出对象侧面的位移量的变化。图6是表示气泡产生装置1的类型A的对象侧面的Z方向的位移量的图表。图7是表示气泡产生装置1的类型A的对象侧面的X方向的位移量的图表。在图6及图7中，将纵轴设为位移量(单位μm)，将横轴设为对象侧面上的位置(弹簧部32～凸缘部34为止的第二筒状体33的侧面上的位置)(单位mm)。另外，在图6及图7中，图示了使从中心轴到位置D的长度(以下，简称为位置D的长度)变化为4.5mm(D1)、5.25mm(D2)、5.75mm(D3)、6.0mm(D4)、6.25mm(D5)、6.5mm(D6)、6.75mm(D7)、7.0mm(D8)的情况下的对象侧面的位移量。
图8是表示平均位移量相对于位置D的长度的变化的图表。在图8中，将纵轴设为平均位移量(单位μm)，将横轴设为位置D的长度(单位mm)。图8是将图6及图7所示的位移量针对从中心轴到位置D的长度的每一个求出平均值而绘制的图表。从图8可知，在气泡产生装置1的类型A中，在位置D的长度为6.5mm时，X方向及Z方向的位移量几乎为0(零)。
对气泡产生装置1的类型B及类型C也同样地进行模拟，通过进行图6～图8所示的处理，与类型A同样，X方向的位移量比Z方向的位移量小，另外，位置D的长度越长，X方向的位移量越小。在气泡产生装置1的类型B中，在位置D的长度为6.3mm时，X方向及Z方向的位移量几乎为0(零)。在气泡产生装置1的类型C中，在位置D的长度为6.1mm时，X方向及Z方向的位移量几乎为0(零)。
图9是表示每个类型的Z方向的平均位移量相对于位置D的长度的变化的图表。在图9中，将纵轴设为Z方向的平均位移量(单位μm)，将横轴设为位置D的长度(单位mm)。另外，在图9中图示了规定范围S。位移对象范围(第二筒状体33的侧面)的位移量在规定范围S内例如是指平均位移量落入初始值的一半左右。具体而言，在图9所示的例子中，在Z方向的平均位移量中，将初始值(约+0.06μm)减半的绝对值的范围(约±0.03μm的范围)为规定范围S。满足该规定范围S的位置D的范围在最严格的类型C中为约±0.4mm＝约±3％，在类型A中为约±0.7mm＝约±5％。规定范围S为没有第三筒状体35的情况下的位移量的一半的范围，但并不限定于此，只要是能够使液体槽10的液体不易从液体槽10与气泡产生装置1的结合部分等泄漏的范围即可。
也能够从惯性力矩的观点出发对设置第三筒状体35及配重部36的位置进行规定。位置A-位置B之间的惯性力矩Ia是在第二筒状体33的一方的端部产生的第一惯性力矩，能够求出Ia＝Ma(B2－A2)×(1/2)。这里，Ma包含振动板2、第一筒状体31以及弹簧部32的质量，是考虑到面密度的等效质量，A及B是位置A及位置B的坐标。另一方面，位置C-位置D之间的惯性力矩Ib是在第二筒状体33的另一方的端部产生的第二惯性力矩，能够求出Ib＝Mb(D2－C2)×(1/2)。这里，Mb包含第三筒状体35及配重部36的质量，是考虑到面密度的等效质量，C及D是位置C及位置D的坐标。
位置A-位置B之间的惯性力矩Ia不取决于气泡产生装置1的类型，但位置C-位置D之间的惯性力矩Ib取决于气泡产生装置1的类型，图10是表示惯性力矩相对于位置D的长度的变化的图表。在图10中，将纵轴设为惯性力矩(任意单位ARB.)，将横轴设为位置D的长度(单位mm)。惯性力矩Ia不取决于气泡产生装置1的类型，因此成为恒定值(＝83565)。另一方面，惯性力矩Ib取决于气泡产生装置1的类型，因此针对每个类型图示了图表。
从图10可知，惯性力矩Ia与各类型的惯性力矩Ib一致的位置D的长度成为与图9所示的Z方向的位移量几乎为0(零)的位置D的长度接近的值。具体而言，惯性力矩Ia与惯性力矩Ib一致的位置D的长度在气泡产生装置1的类型A中为约6.6mm，在类型B中为约6.2mm，在类型C中为约5.9mm。因此，如果惯性力矩Ia与惯性力矩Ib的差在±3％以内，则如图9所示，位移对象范围(第二筒状体33的侧面)的位移量在规定范围S内。
此外，由于类型A的惯性力矩Ib的图表的变化是平缓的，因此可知位置D的范围的公差也较宽，从这一点来看，也与图9所述的类型A的位置D的范围的趋势相同。
说明对象侧面的位移量也根据配重部36的密度而变化。图11是表示相对于配重部36的密度的Z方向的位移量的图表。在图11中，将纵轴设为Z方向的位移量(单位μm)，将横轴设为对象侧面上的位置(弹簧部32～凸缘部34为止的第二筒状体33的侧面上的位置)(单位mm)。另外，在图11中，图示了配重部36为Cu(密度8.93g/cm3)、配重部36为SUS(Steel UseStainless：不锈钢)(密度7.75g/cm3)、配重部36为硬铝(密度2.79g/cm3)的情况下的对象侧面的位移量。从图11可知，即使第三筒状体35及配重部36的位置相同，如果密度小，则对象侧面的位移量也变大。
如以上那样，本实施方式所涉及的气泡产生装置1安装于液体槽10，使液体槽10的液体中产生微细的气泡。气泡产生装置1具备振动板2、第一筒状体31、弹簧部32、第二筒状体33、凸缘部34、第三筒状体35、配重部36以及压电元件4。振动板2形成有多个开口部，并设置于一方的面与液体槽10的液体接触，另一方的面与气体接触的位置。第一筒状体31通过一方的端部支承振动板2。弹簧部32为板状，支承第一筒状体31的另一方的端部。第二筒状体33在位于比支承第一筒状体31的位置靠外侧的位置，通过一方的端部支承弹簧部32。凸缘部34为板状，支承第二筒状体33的另一方的端部，比第二筒状体33的位置向外侧延伸。第三筒状体35在位于比支承第二筒状体33的位置靠外侧的位置支承凸缘部34的一方的端部。配重部36设置于第三筒状体35的另一方的端部。压电元件4使弹簧部32振动。第三筒状体35及配重部36设置于在利用压电元件4使弹簧部32振动的情况下第二筒状体33的侧面的位移量为规定范围S内的位置。
由此，在气泡产生装置1中，通过设置第三筒状体35及配重部36，能够将与液体槽10的结合部分的位移量调整为在规定范围S内，从而能够使液体槽10的液体不易从液体槽10与气泡产生装置1的结合部分等泄漏。
另外，在气泡产生装置1中，在弹簧部32没有设置从第一筒状体31向第二筒状体33贯通的孔，使得在轻油从振动板2的细孔泄漏到第一筒状体31的内部的情况下，所泄漏的轻油不会溅到压电元件4而将其腐蚀。取而代之，如图3所示，弹簧部32设置有供气体从侧面向第一筒状体31流入的连通部320。为了使气体从该连通部320的开口流入，也需要将包括弹簧部32的第二筒状体33的位移量抑制在规定范围S内。另外，在采用使用连通部320将滞留在第一筒状体31的底部的轻油释放到外部的构造的情况下，为了使该构造与连通部320的开口的结合部不易受到压电元件4的振动的影响，也需要将包括弹簧部32的第二筒状体33的位移量抑制在规定范围S内。
第三筒状体35及配重部36优选设置于在利用压电元件4使弹簧部32振动的情况下，在第二筒状体33的一方的端部产生的第一惯性力矩(Ia)与在第二筒状体33的另一方的端部产生的第二惯性力矩(Ib)之差成为规定差的位置。由此，气泡产生装置1能够在利用压电元件4使弹簧部32振动的情况下将第二筒状体33的侧面的位移量调整为规定范围S内。特别是，规定差优选为±3％以内。
压电元件4优选设置于弹簧部32的由第二筒状体33支承的一侧的面中比由第二筒状体33支承的位置靠内侧的位置。由此，气泡产生装置1能够将压电元件4的振动高效地传递给第一筒状体31，能够使第一筒状体31及振动板2平行地上下振动。
压电元件4优选设置于弹簧部32的由第二筒状体33支承的一侧的面中第二筒状体33的内径的整个面。由此，能够使微细的气泡更有效地产生。
(变形例1)
在上述实施方式所涉及的气泡产生装置1中，说明了弹簧部32为板状，但也可以将弹簧部32的端部加工成锥形形状。这是因为，在边缘部出现位移大的倾斜的情况较多，通过成锥形，能够在内部的位移量的倾斜少的部位形成保持板。在侧面部设置两个保持部来提高保持强度，双重防止液体泄漏，或者在向空间部导入气体的情况下，能够在该锥形部设置一个保持部。图12是表示将弹簧部的端部加工成锥形形状的例子的图。此外，对图12所示的气泡产生装置1a中的与图3所示的气泡产生装置1相同的结构标注相同附图标记，不重复详细的说明。
如图12所示，弹簧部32a将端部加工成锥形形状32b。如图12所示，通过将弹簧部32a的端部中的靠近振动板2的一侧的角加工成锥形形状32b，能够使压电元件4的振动不易被弹簧部32a阻尼。
(变形例2)
如图1所示，第二筒状体33也可以设置凸出部33a，经由凸出部33a与液体槽10结合。由此，在具备气泡产生装置1和液体槽10的气泡产生系统100中，气泡产生装置1和液体槽10的气密性变高。
本次公开的实施方式的全部的点都只是例示，不应认为是对本发明进行的限制。本发明的范围由权利要求书表示而不是由上述的说明表示，是指包括与权利要求书等同的意思以及范围内的全部变更。
附图标记说明
1、1a...气泡产生装置；2...振动板；3...筒状体；4...压电元件；10...液体槽；20...控制器；31...第一筒状体；32...弹簧部；33...第二筒状体；33a...凸出部；34...凸缘部；35...第三筒状体；36...配重部；100...气泡产生系统；200...气泡。
Claims (7)
1.一种气泡产生装置，是安装于液体槽，使所述液体槽的液体中产生微细的气泡的气泡产生装置，其中，具备：
振动板，形成有多个开口部，并设置于一方的面与所述液体槽的液体接触且另一方的面与气体接触的位置；
第一筒状体，支承所述振动板的一方的端部；
板状的弹簧部，支承所述第一筒状体的另一方的端部；
第二筒状体，在位于比支承所述第一筒状体的位置靠外侧的位置支承所述弹簧部的一方的端部；
板状的凸缘部，支承所述第二筒状体的另一方的端部，比所述第二筒状体的位置向外侧延伸；
第三筒状体，在位于比支承所述第二筒状体的位置靠外侧的位置支承所述凸缘部的一方的端部；
配重部，设置于所述第三筒状体的另一方的端部；以及
压电元件，设置于由所述第二筒状体支承的所述弹簧部的面，使所述弹簧部振动，
所述第三筒状体及所述配重部设置于在利用所述压电元件使所述弹簧部振动的情况下所述第二筒状体的侧面的位移量为规定范围内的位置。
2.根据权利要求1所述的气泡产生装置，其中，
所述第三筒状体及所述配重部设置于在利用所述压电元件使所述弹簧部振动的情况下，在所述第二筒状体的一方的端部产生的第一惯性力矩与在所述第二筒状体的另一方的端部产生的第二惯性力矩之差为规定差的位置。
3.根据权利要求2所述的气泡产生装置，其中，
所述规定差为±3％以内。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的气泡产生装置，其中，
所述压电元件设置于所述弹簧部的由所述第二筒状体支承的一侧的面中比由所述第二筒状体支承的位置靠内侧的位置。
5.根据权利要求1～3中任一项所述的气泡产生装置，其中，
所述压电元件设置于所述弹簧部的由所述第二筒状体支承的一侧的面中所述第二筒状体的内径的整个面。
6.一种气泡产生系统，其中，具备：
权利要求1～5中任一项所述的所述气泡产生装置；和
所述液体槽。
7.根据权利要求6所述的气泡产生系统，其中，
所述气泡产生装置在所述第二筒状体的侧面与所述液体槽结合。
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