CN116913825A - 一种晶圆加工用多向故障报警设备 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆加工用多向故障报警设备，包括台体，所述台体的底部外壁固定连接有支撑筒，所述支撑筒的底端固定连接有底板，所述台体的顶部固定连接有等距离呈环形分布的存放仓，所述存放仓内部码放有等距离分布的晶圆本体，所述存放仓的顶部固定连接有把手，另一所述存放仓的顶部固定连接有报警器，所述支撑筒的底部内壁固定连接有液压杆，所述液压杆的输出端固定连接有连接柱，所述连接柱的一端设置有机械臂。本发明中实现对晶圆本体的无接触式固定，避免对晶圆本体的上下面造成损伤，同时也有利于后续检查灯本体在对晶圆本体检查时不会产生检查死角，避免出现误检误判的情况，提高本装置故障报警的准确率。

Description

一种晶圆加工用多向故障报警设备
技术领域
本发明涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆加工用多向故障报警设备。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以八英寸和十二英寸为主。晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工一片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点。同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点。
由于晶圆质地较脆，因此在晶圆加工的过程中，当加工机械设备出现故障时，很容易导致晶圆表面产生细微划痕或碎裂，晶圆在加工过程中出现上述情况时会导致该片晶圆无法使用，如果不及时对其进行处理则会导致生产线上整批的晶圆均不能满足人们的使用需求。因此，亟需一种晶圆加工用多向故障报警设备来解决上述问题。
发明内容
基于上述背景技术中所提到的现有技术中的不足之处，为此本发明提供了一种晶圆加工用多向故障报警设备。
本发明通过采用如下技术方案克服以上技术问题，具体为：
一种晶圆加工用多向故障报警设备，包括台体，所述台体的底部外壁固定连接有支撑筒，所述支撑筒的底端固定连接有底板，所述台体的顶部固定连接有等距离呈环形分布的存放仓，所述存放仓内部码放有等距离分布的晶圆本体，所述存放仓的顶部固定连接有把手，另一所述存放仓的顶部固定连接有报警器，所述支撑筒的底部内壁固定连接有液压杆，所述液压杆的输出端固定连接有连接柱，所述连接柱的一端设置有机械臂，所述机械臂的一端设置有用于将所述晶圆本体取出的取料组件，所述台体的顶部设置有用于对所述晶圆本体进行固定的定位组件，所述定位组件的两侧分别设置有检查灯本体和接收器本体，所述检查灯本体与所述报警器形成电性连接。
进一步地，所述取料组件包括固定连接在所述机械臂一端底部的连接盘，所述连接盘的一端设置有取料板，所述取料板的横截面为Y型，所述机械臂一端的顶部固定连接有抽风机，所述抽风机的一侧插接有抽风管，所述抽风管远离所述抽风机的一端插接有弯管。
进一步地，所述弯管的圆周外壁开设有等距离分布的吸风孔，所述弯管的横截面为弧形，所述弯管的圆心与所述晶圆本体的圆心相同。
进一步地，所述定位组件包括固定连接在所述台体顶部外壁的吸盘，所述吸盘的底部开设有进气孔、分气腔和通槽，所述进气孔、所述分气腔和所述通槽均相连通，所述吸盘的顶部开设有等距离呈圆形分布的通孔，所述通孔呈喇叭型，所述通孔与所述通槽相连通，所述进气孔的内部设置有鼓气组件，所述吸盘的圆周外壁设置有等距离呈圆形分布的夹持组件。
进一步地，所述鼓气组件包括固定连接在所述台体底部外壁的鼓风机，所述鼓风机的两侧分别插接有进气管和鼓风管，所述鼓风管的圆周外壁插接有主气管，所述主气管远离所述鼓风管的一端延伸至所述进气孔的内部。
进一步地，所述鼓风管的内部设置有电热灯丝，所述电热灯丝与所述报警器形成电性连接。
进一步地，所述夹持组件包括固定连接在所述吸盘圆周外壁的壳体，所述壳体的内部设置有活塞，所述活塞的规格与所述壳体的规格相适配，所述活塞的顶部固定连接有顶块，所述鼓风管的圆周外壁分别插接有第一连接管和第二连接管，所述第一连接管远离所述鼓风管的一端延伸至所述壳体的内部，所述第二连接管的数目为两组，两组所述第二连接管与另两组所述夹持组件相连通，所述壳体的内部设置有驱动组件，所述驱动组件的一侧固定连接有轴套。
进一步地，所述驱动组件包括转动连接在所述壳体两侧内壁的第一转动柱，所述第一转动柱的圆周外壁固定连接有固定齿轮，所述顶块的顶部设置有安装板，所述安装板的一侧设置有等距离分布的齿板，等距离分布的所述齿板与所述固定齿轮相啮合，所述第一转动柱的圆周外壁固定连接有主动齿轮，所述主动齿轮的圆周外壁啮合有从动齿轮，所述从动齿轮的顶部固定连接有第二转动柱，所述第二转动柱与所述轴套固定连接。
进一步地，所述轴套的圆周外壁固定连接有夹持板，所述夹持板的横截面为弧形。
进一步地，所述壳体的一侧内壁开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述滑块的一侧固定连接有横柱，所述横柱远离所述滑块的一端与所述安装板固定连接。
本发明的有益效果：
1.本发明提供的一种晶圆加工用多向故障报警设备，通过设置的取料组件，在工作人员需要对晶圆本体加工时，可以通过启动液压杆和机械臂带动取料组件多角度移动，从而能够将位于存放仓内部的晶圆本体取出，在晶圆本体通过取料组件取出的过程中启动抽风机，通过抽风机可以使抽风管和弯管内部产生负压，从而能够将晶圆本体紧紧吸附在弯管的圆周内壁上，同时弯管的横截面为弧形，且弯管的圆心与晶圆本体的圆心相同，因此可以更好的对相同规格的晶圆本体进行固定，且设置于连接盘一侧的取料板截面为Y型，因此可以更好对晶圆本体提供更大的承载面积，保证了晶圆本体在取料转运的过程中保持稳定。
2.本发明提供的一种晶圆加工用多向故障报警设备，通过设置的定位组件、鼓气组件和电热灯丝，在工作人员将晶圆本体通过取料组件放置于吸盘的过程中启动位于台体底部的鼓风机，此时鼓风机产生风力可以将气流通过主气管鼓入进气孔内部，同时进气孔、分气腔和通槽均相连通，因此鼓入至进气孔内部的气流会在分气腔和通槽内部均匀流动，同时开设在吸盘顶部的通孔与通槽相连通，从而能够使进气孔内通入的压缩气体从多个通槽流出，在压缩气体从通槽和通孔内部流出的过程中，吸盘的正面上产生快速流动的薄层气流，从而使晶圆本体下表面气流的速度大于上表面的气流速度，使得晶圆本体的上下侧面之间产生压力差，其下侧面产生向上的托举力使得整个晶圆本体悬浮在吸盘的上方并保持不动，从而实现了对晶圆本体的无接触式固定，避免对晶圆本体的上下面造成损伤，同时也有利于后续检查灯本体在对晶圆本体检查时不会产生检查死角，避免出现误检误判的情况，提高本装置故障报警的准确率；
通过吸盘对晶圆本体的无接触式固定，可以最大限度的减少晶圆本体背面的污染，且晶圆本体在固定的过程中受到向上的压力和向下的真空负压力，通过这两组作用力还可以压平翘曲的晶圆本体提高工艺产量；
在工作人员通过吸盘对晶圆本体进行无接触式固定时，由于从吸盘顶部通孔排出的气体温度较低，这些温度较低的气体将会在晶圆本体的表面产生温度梯度，晶圆本体表面存在温度梯度将会产生纳米级别的热收缩及热扩张，从而在晶圆本体的表面形成纳米级的形变，使得晶圆的表面产生严重的雾状缺陷，此时通过在鼓风管内部设置的电热灯丝可以对鼓入吸盘内部的压缩气体进行加热，保证了吸盘最终喷射出的压缩气体的温度与要吸附的晶圆本体的温度相近，从而有效避免了雾状缺陷的产生。
3.本发明提供的一种晶圆加工用多向故障报警设备，通过设置的夹持组件和驱动组件，在工作人员通过吸盘对晶圆本体进行固定时，鼓风机喷出的压缩气体会通过鼓风管进入至第一连接管和第二连接管内部，进入至第一连接管内部的压缩气体会流入至壳体内部使得其内部气压增大，随着压缩气体的不断鼓入会使位于壳体内部的活塞上升，在活塞上升的过程中可以带动顶块一同上移，从而推动位于顶块顶部的安装板和齿板做竖直运动，由于等距离分布的齿板与固定齿轮之间相互啮合，因此随着齿板的上升会使固定齿轮带动第一转动柱发生转动，在第一转动柱发生转动的过程中可以带动其圆周外壁的主动齿轮一同转动，在主动齿轮转动的过程中会带动从动齿轮和其顶部的第二转动柱转动，最后能够使第二转动柱带动轴套和夹持板做圆周运动直至将悬浮的晶圆本体侧壁固定为止，使得晶圆本体能够稳定的进行检测，保证了整个装置对故障报警的准确率，整个夹持过程与吸盘对晶圆本体的吸附固定相同步且无需其他能量即可实现，满足了人们的使用需求。
附图说明
图1为本发明提出的一种晶圆加工用多向故障报警设备的整体结构示意图。
图2为本发明图1中A处的放大结构示意图。
图3为本发明取料板顶部晶圆本体分离结构示意图。
图4为本发明的台体底部结构示意图。
图5为本发明的整体半剖视结构示意图。
图6为本发明图5中B处的放大结构示意图。
图7为本发明图5中C处的放大结构示意图。
图8为本发明的吸盘局部剖视结构示意图。
图9为本发明的壳体拆分结构示意图。
图10为本发明图9中D处的放大结构示意图。
图中：1、台体；2、存放仓；3、报警器；4、把手；5、晶圆本体；6、机械臂；7、吸盘；8、检查灯本体；9、支撑筒；10、底板；11、液压杆；12、抽风机；13、抽风管；14、吸风孔；15、弯管；16、通槽；17、通孔；18、接收器本体；19、连接盘；20、取料板；21、鼓风管；22、第一连接管；23、第二连接管；24、鼓风机；25、进气管；26、连接柱；27、夹持板；28、壳体；29、从动齿轮；30、主动齿轮；31、固定齿轮；32、第一转动柱；33、活塞；34、顶块；35、滑槽；36、滑块；37、第二转动柱；38、主气管；39、进气孔；40、分气腔；41、电热灯丝；42、轴套；43、横柱；44、安装板；45、齿板。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-图10，一种晶圆加工用多向故障报警设备，包括台体1，台体1的底部外壁固定连接有支撑筒9，支撑筒9的底端固定连接有底板10，台体1的顶部固定连接有等距离呈环形分布的存放仓2，存放仓2内部码放有等距离分布的晶圆本体5，存放仓2的顶部固定连接有把手4，另一存放仓2的顶部固定连接有报警器3，支撑筒9的底部内壁固定连接有液压杆11，液压杆11的输出端固定连接有连接柱26，连接柱26的一端设置有机械臂6，机械臂6的一端设置有用于将晶圆本体5取出的取料组件，台体1的顶部设置有用于对晶圆本体5进行固定的定位组件，定位组件的两侧分别设置有检查灯本体8和接收器本体18，检查灯本体8与报警器3形成电性连接。
取料组件包括固定连接在机械臂6一端底部的连接盘19，连接盘19的一端设置有取料板20，取料板20的横截面为Y型，机械臂6一端的顶部固定连接有抽风机12，抽风机12的一侧插接有抽风管13，抽风管13远离抽风机12的一端插接有弯管15，弯管15的圆周外壁开设有等距离分布的吸风孔14，弯管15的横截面为弧形，弯管15的圆心与晶圆本体5的圆心相同，在工作人员需要对晶圆本体5加工时，可以通过启动液压杆11和机械臂6带动取料组件多角度移动，从而能够将位于存放仓2内部的晶圆本体5取出，在晶圆本体5通过取料组件取出的过程中启动抽风机12，通过抽风机12可以使抽风管13和弯管15内部产生负压，从而能够将晶圆本体5体紧紧吸附在弯管15的圆周内壁上，同时弯管15的横截面为弧形，且弯管15的圆心与晶圆本体5的圆心相同，因此可以更好的对相同规格的晶圆本体5进行固定，且设置于连接盘19一侧的取料板20截面为Y型，因此可以更好对晶圆本体5提供更大的承载面积，保证了晶圆本体5在取料转运的过程中保持稳定。
定位组件包括固定连接在台体1顶部外壁的吸盘7，吸盘7的底部开设有进气孔39、分气腔40和通槽16，进气孔39、分气腔40和通槽16均相连通，吸盘7的顶部开设有等距离呈圆形分布的通孔17，通孔17呈喇叭型，通孔17与通槽16相连通，进气孔39的内部设置有鼓气组件，吸盘7的圆周外壁设置有等距离呈圆形分布的夹持组件，鼓气组件包括固定连接在台体1底部外壁的鼓风机24，鼓风机24的两侧分别插接有进气管25和鼓风管21，鼓风管21的圆周外壁插接有主气管38，主气管38远离鼓风管21的一端延伸至进气孔39的内部，鼓风管21的内部设置有电热灯丝41，电热灯丝41与报警器3形成电性连接，在工作人员将晶圆本体5通过取料组件放置于吸盘7的过程中启动位于台体1底部的鼓风机24，此时鼓风机24产生风力可以将气流通过主气管38鼓入进气孔39内部，同时进气孔39、分气腔40和通槽16均相连通，因此鼓入至进气孔39内部的气流会在分气腔40和通槽16内部均匀流动，同时开设在吸盘7顶部的通孔17与通槽16相连通，从而能够使进气孔39内通入的压缩气体从多个通槽16流出，在压缩气体从通槽16和通孔17内部流出的过程中，吸盘7的正面上产生快速流动的薄层气流，从而使晶圆本体5下表面气流的速度大于上表面的气流速度，使得晶圆本体5的上下侧面之间产生压力差，其下侧面产生向上的托举力使得整个晶圆本体5悬浮在吸盘7的上方并保持不动，从而实现了对晶圆本体5的无接触式固定，避免对晶圆本体5的上下面造成损伤，同时也有利于后续检查灯本体8在对晶圆本体5检查时不会产生检查死角，避免出现误检误判的情况，提高本装置故障报警的准确率，通过吸盘7对晶圆本体5的无接触式固定，可以最大限度的减少晶圆本体5背面的污染，且晶圆本体5在固定的过程中受到向上的压力和向下的真空负压力，通过这两组作用力还可以压平翘曲的晶圆本体5提高工艺产量，在工作人员通过吸盘7对晶圆本体5进行无接触式固定时，由于从吸盘7顶部通孔17排出的气体温度较低，这些温度较低的气体将会在晶圆本体5的表面产生温度梯度，晶圆本体5表面存在温度梯度将会产生纳米级别的热收缩及热扩张，从而在晶圆本体5的表面形成纳米级的形变，使得晶圆本体5的表面产生严重的雾状缺陷，此时通过在鼓风管21内部设置的电热灯丝41可以对鼓入吸盘7内部的压缩气体进行加热，保证了吸盘7最终喷射出的压缩气体的温度与要吸附的晶圆本体5的温度相近，从而有效避免了雾状缺陷的产生。
夹持组件包括固定连接在吸盘7圆周外壁的壳体28，壳体28的内部设置有活塞33，活塞33的规格与壳体28的规格相适配，活塞33的顶部固定连接有顶块34，鼓风管21的圆周外壁分别插接有第一连接管22和第二连接管23，第一连接管22远离鼓风管21的一端延伸至壳体28的内部，第二连接管23的数目为两组，两组第二连接管23与另两组夹持组件相连通，壳体28的内部设置有驱动组件，驱动组件的一侧固定连接有轴套42，驱动组件包括转动连接在壳体28两侧内壁的第一转动柱32，第一转动柱32的圆周外壁固定连接有固定齿轮31，顶块34的顶部设置有安装板44，安装板44的一侧设置有等距离分布的齿板45，等距离分布的齿板45与固定齿轮31相啮合，第一转动柱32的圆周外壁固定连接有主动齿轮30，主动齿轮30的圆周外壁啮合有从动齿轮29，从动齿轮29的顶部固定连接有第二转动柱37，第二转动柱37与轴套42固定连接，轴套42的圆周外壁固定连接有夹持板27，夹持板27的横截面为弧形，壳体28的一侧内壁开设有滑槽35，滑槽35的内部滑动连接有滑块36，滑块36的一侧固定连接有横柱43，横柱43远离滑块36的一端与安装板44固定连接，在工作人员通过吸盘7对晶圆本体5进行固定时，鼓风机24喷出的压缩气体会通过鼓风管21进入至第一连接管22和第二连接管23内部，进入至第一连接管22内部的压缩气体会流入至壳体28内部使得其内部气压增大，随着压缩气体的不断鼓入会使位于壳体28内部的活塞33上升，在活塞33上升的过程中可以带动顶块34一同上移，从而推动位于顶块34顶部的安装板44和齿板45做竖直运动，由于等距离分布的齿板45与固定齿轮31之间相互啮合，因此随着齿板45的上升会使固定齿轮31带动第一转动柱32发生转动，在第一转动柱32发生转动的过程中可以带动其圆周外壁的主动齿轮30一同转动，在主动齿轮30转动的过程中会带动从动齿轮29和其顶部的第二转动柱37转动，最后能够使第二转动柱37带动轴套42和夹持板27做圆周运动直至将悬浮的晶圆本体5侧壁固定为止，使得晶圆本体5能够稳定的进行检测，保证了整个装置对故障报警的准确率，整个夹持过程与吸盘7对晶圆本体5的吸附固定相同步且无需其他能量即可实现，满足了人们的使用需求。
综上所述，借助于本发明的上述技术方案，在工作人员需要对晶圆本体5加工时，可以通过启动液压杆11和机械臂6带动取料组件多角度移动，从而能够将位于存放仓2内部的晶圆本体5取出，在晶圆本体5通过取料组件取出的过程中启动抽风机12，通过抽风机12可以使抽风管13和弯管15内部产生负压，从而能够将晶圆本体5紧紧吸附在弯管15的圆周内壁上，同时弯管15的横截面为弧形，且弯管15的圆心与晶圆本体5的圆心相同，因此可以更好的对相同规格的晶圆本体5进行固定，且设置于连接盘19一侧的取料板20截面为Y型，因此可以更好对晶圆本体5提供更大的承载面积，保证了晶圆本体5在取料转运的过程中保持稳定，在工作人员将晶圆本体5通过取料组件放置于吸盘7的过程中启动位于台体1底部的鼓风机24，此时鼓风机24产生风力可以将气流通过主气管38鼓入进气孔39内部，同时进气孔39、分气腔40和通槽16均相连通，因此鼓入至进气孔39内部的气流会在分气腔40和通槽16内部均匀流动，同时开设在吸盘7顶部的通孔17与通槽16相连通，从而能够使进气孔39内通入的压缩气体从多个通槽16流出，在压缩气体从通槽16和通孔17内部流出的过程中，吸盘7的正面上产生快速流动的薄层气流，从而使晶圆本体5下表面气流的速度大于上表面的气流速度，使得晶圆本体5的上下侧面之间产生压力差，其下侧面产生向上的托举力使得整个晶圆本体5悬浮在吸盘7的上方并保持不动，从而实现了对晶圆本体5的无接触式固定，避免对晶圆本体5的上下面造成损伤，同时也有利于后续检查灯本体8在对晶圆本体5检查时不会产生检查死角，避免出现误检误判的情况，提高本装置故障报警的准确率，通过吸盘7对晶圆本体5的无接触式固定，可以最大限度的减少晶圆本体5背面的污染，且晶圆本体5在固定的过程中受到向上的压力和向下的真空负压力，通过这两组作用力还可以压平翘曲的晶圆本体5提高工艺产量，在工作人员通过吸盘7对晶圆本体5进行无接触式固定时，由于从吸盘7顶部通孔17排出的气体温度较低，这些温度较低的气体将会在晶圆本体5的表面产生温度梯度，晶圆本体5表面存在温度梯度将会产生纳米级别的热收缩及热扩张，从而在晶圆本体5的表面形成纳米级的形变，使得晶圆本体5的表面产生严重的雾状缺陷，此时通过在鼓风管21内部设置的电热灯丝41可以对鼓入吸盘7内部的压缩气体进行加热，保证了吸盘7最终喷射出的压缩气体的温度与要吸附的晶圆本体5的温度相近，从而有效避免了雾状缺陷的产生，在工作人员通过吸盘7对晶圆本体5进行固定时，鼓风机24喷出的压缩气体会通过鼓风管21进入至第一连接管22和第二连接管23内部，进入至第一连接管22内部的压缩气体会流入至壳体28内部使得其内部气压增大，随着压缩气体的不断鼓入会使位于壳体28内部的活塞33上升，在活塞33上升的过程中可以带动顶块34一同上移，从而推动位于顶块34顶部的安装板44和齿板45做竖直运动，由于等距离分布的齿板45与固定齿轮31之间相互啮合，因此随着齿板45的上升会使固定齿轮31带动第一转动柱32发生转动，在第一转动柱32发生转动的过程中可以带动其圆周外壁的主动齿轮30一同转动，在主动齿轮30转动的过程中会带动从动齿轮29和其顶部的第二转动柱37转动，最后能够使第二转动柱37带动轴套42和夹持板27做圆周运动直至将悬浮的晶圆本体5侧壁固定为止，使得晶圆本体5能够稳定的进行检测，保证了整个装置对故障报警的准确率，整个夹持过程与吸盘7对晶圆本体5的吸附固定相同步且无需其他能量即可实现，满足了人们的使用需求。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种晶圆加工用多向故障报警设备，包括台体（1），其特征在于，所述台体（1）的底部外壁固定连接有支撑筒（9），所述支撑筒（9）的底端固定连接有底板（10），所述台体（1）的顶部固定连接有等距离呈环形分布的存放仓（2），所述存放仓（2）内部码放有等距离分布的晶圆本体（5），所述存放仓（2）的顶部固定连接有把手（4），另一所述存放仓（2）的顶部固定连接有报警器（3），所述支撑筒（9）的底部内壁固定连接有液压杆（11），所述液压杆（11）的输出端固定连接有连接柱（26），所述连接柱（26）的一端设置有机械臂（6），所述机械臂（6）的一端设置有用于将所述晶圆本体（5）取出的取料组件，所述台体（1）的顶部设置有用于对所述晶圆本体（5）进行固定的定位组件，所述定位组件的两侧分别设置有检查灯本体（8）和接收器本体（18），所述检查灯本体（8）与所述报警器（3）形成电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用多向故障报警设备，其特征在于，所述取料组件包括固定连接在所述机械臂（6）一端底部的连接盘（19），所述连接盘（19）的一端设置有取料板（20），所述取料板（20）的横截面为Y型，所述机械臂（6）一端的顶部固定连接有抽风机（12），所述抽风机（12）的一侧插接有抽风管（13），所述抽风管（13）远离所述抽风机（12）的一端插接有弯管（15）。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆加工用多向故障报警设备，其特征在于，所述弯管（15）的圆周外壁开设有等距离分布的吸风孔（14），所述弯管（15）的横截面为弧形，所述弯管（15）的圆心与所述晶圆本体（5）的圆心相同。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用多向故障报警设备，其特征在于，所述定位组件包括固定连接在所述台体（1）顶部外壁的吸盘（7），所述吸盘（7）的底部开设有进气孔（39）、分气腔（40）和通槽（16），所述进气孔（39）、所述分气腔（40）和所述通槽（16）均相连通，所述吸盘（7）的顶部开设有等距离呈圆形分布的通孔（17），所述通孔（17）呈喇叭型，所述通孔（17）与所述通槽（16）相连通，所述进气孔（39）的内部设置有鼓气组件，所述吸盘（7）的圆周外壁设置有等距离呈圆形分布的夹持组件。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆加工用多向故障报警设备，其特征在于，所述鼓气组件包括固定连接在所述台体（1）底部外壁的鼓风机（24），所述鼓风机（24）的两侧分别插接有进气管（25）和鼓风管（21），所述鼓风管（21）的圆周外壁插接有主气管（38），所述主气管（38）远离所述鼓风管（21）的一端延伸至所述进气孔（39）的内部。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆加工用多向故障报警设备，其特征在于，所述鼓风管（21）的内部设置有电热灯丝（41），所述电热灯丝（41）与所述报警器（3）形成电性连接。
7.根据权利要求5所述的一种晶圆加工用多向故障报警设备，其特征在于，所述夹持组件包括固定连接在所述吸盘（7）圆周外壁的壳体（28），所述壳体（28）的内部设置有活塞（33），所述活塞（33）的规格与所述壳体（28）的规格相适配，所述活塞（33）的顶部固定连接有顶块（34），所述鼓风管（21）的圆周外壁分别插接有第一连接管（22）和第二连接管（23），所述第一连接管（22）远离所述鼓风管（21）的一端延伸至所述壳体（28）的内部，所述第二连接管（23）的数目为两组，两组所述第二连接管（23）与另两组所述夹持组件相连通，所述壳体（28）的内部设置有驱动组件，所述驱动组件的一侧固定连接有轴套（42）。
8.根据权利要求7所述的一种晶圆加工用多向故障报警设备，其特征在于，所述驱动组件包括转动连接在所述壳体（28）两侧内壁的第一转动柱（32），所述第一转动柱（32）的圆周外壁固定连接有固定齿轮（31），所述顶块（34）的顶部设置有安装板（44），所述安装板（44）的一侧设置有等距离分布的齿板（45），等距离分布的所述齿板（45）与所述固定齿轮（31）相啮合，所述第一转动柱（32）的圆周外壁固定连接有主动齿轮（30），所述主动齿轮（30）的圆周外壁啮合有从动齿轮（29），所述从动齿轮（29）的顶部固定连接有第二转动柱（37），所述第二转动柱（37）与所述轴套（42）固定连接。
9.根据权利要求7所述的一种晶圆加工用多向故障报警设备，其特征在于，所述轴套（42）的圆周外壁固定连接有夹持板（27），所述夹持板（27）的横截面为弧形。
10.根据权利要求8所述的一种晶圆加工用多向故障报警设备，其特征在于，所述壳体（28）的一侧内壁开设有滑槽（35），所述滑槽（35）的内部滑动连接有滑块（36），所述滑块（36）的一侧固定连接有横柱（43），所述横柱（43）远离所述滑块（36）的一端与所述安装板（44）固定连接。
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