CN212270226U - 一种电子束蒸发台用行星盘结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型属涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种电子束蒸发台用行星盘结构，现提出如下方案，其包括；它包含支架、支撑臂、一号转轴、行星盘、转轮、二号转轴；所述的支架的上侧设有数个一号螺孔，支架的外壁上固定有数个支撑臂，支撑臂的下侧活动穿设有一号转轴；所述的一号转轴的前端穿过行星盘后，与限位螺母过盈设置，行星盘设于支撑臂的内侧，限位螺母设于行星盘的内侧；所述的行星盘上设有数个硅片通孔；所述的一号转轴的后端穿过转轮后，与限位轮过盈设置，转轮设于支撑臂的外侧；采用轨道滑轮悬挂结构，减小行星盘的震动，防滑防震，避免碎片，行星盘公转加自转使得硅片受热均匀，提高金属膜的均匀性，而且养护操作方便。

Description

一种电子束蒸发台用行星盘结构

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种电子束蒸发台用行星盘结构。

背景技术

半导体制造设备电子束蒸发台是将待蒸发的材料放置进坩埚，在真空系统中用电子束加热并使其蒸发，撞击到硅片表面凝结形成金属薄膜。在这个工程中，硅片是被固定在一个行星盘结构的装置上的，该装置的旋转速度的可靠稳定性和旋转的方式都直接影响到金属薄膜的厚度，均匀性等工艺参数。

现有的半导体设备的行星盘在生产过程中会出现震动，还会出现碎片的情况，而且现有的行星盘结构会导致硅片受热不均匀，且后期养护繁琐，亟待改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种结构简单，设计合理、使用方便的电子束蒸发台用行星盘结构，采用轨道滑轮悬挂结构，减小行星盘的震动，防滑防震，避免碎片，行星盘公转加自转使得硅片受热均匀，提高金属膜的均匀性，而且养护操作方便。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：它包含支架、支撑臂、一号转轴、行星盘、转轮、二号转轴；所述的支架的上侧设有数个一号螺孔，支架的外壁上固定有数个支撑臂，支撑臂的下侧活动穿设有一号转轴；所述的一号转轴的前端穿过行星盘后，与限位螺母过盈设置，行星盘设于支撑臂的内侧，限位螺母设于行星盘的内侧；所述的行星盘上设有数个硅片通孔；所述的一号转轴的后端穿过转轮后，与限位轮过盈设置，转轮设于支撑臂的外侧，限位轮设于转轮的外侧；所述的支架的下侧设有二号转轴，二号转轴固定于外部的电子束蒸发台内，二号转轴的上侧设有滑槽，转轮的下侧滑动卡设于滑槽内。

进一步地，所述的二号转轴上设有数个二号螺孔，二号螺孔设于滑槽的外侧。

进一步地，所述的硅片通孔内设有承片卡圈。

进一步地，所述的支架上设有数个三号螺孔，三号螺孔设于一号螺孔的内侧。

进一步地，所述的行星盘为伞状结构。

进一步地，所述的硅片通孔的数量为5个。

采用上述结构后，本实用新型有益效果为：本实用新型所述的一种电子束蒸发台用行星盘结构，采用轨道滑轮悬挂结构，减小行星盘的震动，防滑防震，避免碎片，行星盘公转加自转使得硅片受热均匀，提高金属膜的均匀性，而且养护操作方便，本实用新型具有结构简单，设置合理，制作成本低等优点。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型中支撑臂、一号转轴、行星盘之间的连接结构示意图。

图3是本实用新型中硅片通孔的示意图。

附图标记说明：

支架1、一号螺孔1-1、三号螺孔1-2、支撑臂2、一号转轴3、限位螺母3-1、行星盘4、硅片通孔4-1、承片卡圈4-1-1、转轮5、限位轮6、二号转轴7、滑槽7-1、二号螺孔7-2。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

参看如图1至图3所示，本具体实施方式采用的技术方案是：它包含支架1、支撑臂2、一号转轴3、行星盘4、转轮5、二号转轴7；所述的支架1的上侧一体成型有7个一号螺孔1-1，方便将整个行星盘结构固定于电子束蒸发台中，支架1的外壁上通过螺丝固定有3个支撑臂2，支撑臂2的下侧活动穿设有一号转轴3，支撑臂2用于一号转轴3的穿孔直径略大于一号转轴3的外径，方便一号转轴3的转动；所述的一号转轴3的前端穿过行星盘4后，与限位螺母3-1过盈设置，用于防止一号转轴3脱离行星盘4，可起到限位作用，行星盘4用于一号转轴3的穿孔直径略小于一号转轴3的外径，通过一号转轴3可带动行星盘4转动，行星盘4设于支撑臂2的内侧，限位螺母3-1设于行星盘4的内侧；所述的行星盘4上设有5个硅片通孔4-1，用于硅片的放置；所述的一号转轴3的后端穿过转轮5后，与限位轮6过盈设置，用于防止一号转轴3脱离转轮5，可起到限位作用，一号转轴3与转轮5过盈设置，转轮5在滑槽7-1上转动时可带动一号转轴3转动，转轮5设于支撑臂2的外侧，限位轮6设于转轮5的外侧；所述的支架1的下侧设有二号转轴7，二号转轴7通过螺丝固定于外部的电子束蒸发台内，二号转轴7的上侧一体成型有滑槽7-1，转轮5的下侧滑动卡设于滑槽7-1内，可实现行星盘4的公转。

进一步地，所述的二号转轴7上设有四个二号螺孔7-2，二号螺孔7-2设于滑槽7-1的外侧，用于二号转轴7的固定。

进一步地，所述的硅片通孔4-1内一体成型有承片卡圈4-1-1，方便硅片的卡放。

进一步地，所述的支架1上设有数个三号螺孔1-2，三号螺孔1-2设于一号螺孔1-1的内侧，用于支架1的固定。

进一步地，所述的行星盘4为伞状结构，使得硅片可以更大程度上受热。

进一步地，所述的硅片通孔4-1的数量为5个，最大程度上放置了更多的硅片。

本具体实施方式的原理：将硅片放置于硅片通孔4-1内的承片卡圈4-1-1中，一号转轴3活动穿设于行星盘4内，行星盘4可通过一号转轴3自转，转轮5卡设于二号转轴7的滑槽7-1内，悬挂滑动结构，减小行星盘4的震动，防滑防震，避免碎片，行星盘4通过转轮5实现公转，公转加自转使得硅片受热均匀，提高金属膜的均匀性。

采用上述结构后，本具体实施方式的有益效果为：

1、采用二号转轴7和转轮5悬挂滑动结构，减小行星盘4的震动，防滑防震，避免碎片；

2、行星盘4通过一号转轴3可以自转，使得硅片受热均匀，提高金属膜的均匀性；而且养护操作方便。

以上所述，仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案所做的其它修改或者等同替换，只要不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。

Claims (6)

1.一种电子束蒸发台用行星盘结构，其特征在于：它包含支架(1)、支撑臂(2)、一号转轴(3)、行星盘(4)、转轮(5)、二号转轴(7)；所述的支架(1)的上侧设有数个一号螺孔(1-1)，支架(1)的外壁上固定有数个支撑臂(2)，支撑臂(2)的下侧活动穿设有一号转轴(3)；所述的一号转轴(3)的前端穿过行星盘(4)后，与限位螺母(3-1)过盈设置，行星盘(4)设于支撑臂(2)的内侧，限位螺母(3-1)设于行星盘(4)的内侧；所述的行星盘(4)上设有数个硅片通孔(4-1)；所述的一号转轴(3)的后端穿过转轮(5)后，与限位轮(6)过盈设置，转轮(5)设于支撑臂(2)的外侧，限位轮(6)设于转轮(5)的外侧；所述的支架(1)的下侧设有二号转轴(7)，二号转轴(7)固定于外部的电子束蒸发台内，二号转轴(7)的上侧设有滑槽(7-1)，转轮(5)的下侧滑动卡设于滑槽(7-1)内。

2.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台用行星盘结构，其特征在于：所述的二号转轴(7)上设有数个二号螺孔(7-2)，二号螺孔(7-2)设于滑槽(7-1)的外侧。

3.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台用行星盘结构，其特征在于：所述的硅片通孔(4-1)内设有承片卡圈(4-1-1)。

4.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台用行星盘结构，其特征在于：所述的支架(1)上设有数个三号螺孔(1-2)，三号螺孔(1-2)设于一号螺孔(1-1)的内侧。

5.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台用行星盘结构，其特征在于：所述的行星盘(4)为伞状结构。

6.根据权利要求1所述的一种电子束蒸发台用行星盘结构，其特征在于：所述的硅片通孔(4-1)的数量为5个。

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