CN116902399B - 一种用于湿化学设备的耐腐蚀防护装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于湿化学设备的耐腐蚀防护装置，属于腐蚀防护装置技术领域，多层盖板从外到内依次包括加热层、粘接层和释放层，加热层通过粘接层粘连在释放层的外侧，释放层包括壳体，壳体远离粘接层一侧的中心开设有圆形的释放腔，释放腔的开口处设置有释放开关，沿着壳体的周向在壳体的内部均匀间隔设置有若干压缩槽，压缩槽沿着释放腔的径向延伸，压缩槽靠近释放腔一侧的内壁上开设有第一通孔，每一压缩槽内填充有海绵，海绵内包含有气相缓蚀剂，海绵通过弹性压紧装置压紧在压缩槽远离第一通孔一侧的内壁上。本发明装置可以与湿化学设备进行搭配使用，以防止湿化学设备在非工作状态时的锈蚀问题。
Description
技术领域
本发明属于腐蚀防护装置技术领域，具体涉及一种用于湿化学设备的耐腐蚀防护装置。
背景技术
湿化学设备时一种主要应用于半导体、太阳能电池等在制程中因为图形化或蚀刻、清洗等需要的设备，上述工艺通常在湿化学设备的湿制程用槽体内进行。然而在湿化学设备处于非工作状态时，槽体内容易被环境所锈蚀，再次启用设备时，容易影响半导体类产品的制造精度。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的在于提供一种用于湿化学设备的耐腐蚀防护装置，可以与湿化学设备进行搭配使用，以防止湿化学设备在非工作状态时的锈蚀问题。
为达到上述目的，本发明提供如下技术方案：
本发明一种用于湿化学设备的耐腐蚀防护装置，所述湿化学设备包括槽体，所述耐腐蚀防护装置包括与所述槽体的开口密封盖合的多层盖板，所述多层盖板从外到内依次包括加热层、粘接层和释放层，所述加热层通过粘接层粘连在释放层的外侧，所述释放层包括壳体，所述壳体远离粘接层一侧的中心开设有圆形的释放腔，所述释放腔的开口处设置有释放开关，沿着所述壳体的周向在壳体的内部均匀间隔设置有若干压缩槽，所述压缩槽沿着释放腔的径向延伸，所述压缩槽靠近释放腔一侧的内壁上开设有第一通孔，每一所述压缩槽内填充有海绵，所述海绵内包含有气相缓蚀剂，所述海绵通过弹性压紧装置压紧在压缩槽远离第一通孔一侧的内壁上。
进一步，所述释放开关包括同轴设置在释放腔中心的中心筒，所述中心筒的表面上开设有第二通孔，所述中心筒的上端固定在释放腔的顶面，所述中心筒的下端均匀分布有若干扇形挡板，若干扇形挡板沿圆周拼接成能够封闭释放腔的圆形挡板，所述扇形挡板的中部与中心筒铰接，所述扇形挡板通过弹性复位装置连接至中心筒；对应在所述槽体的中心设置有顶杆组件，所述顶杆组件的直径小于中心筒的直径，所述顶杆组件与扇形挡板抵接后能够驱动其翻转。
进一步，所述中心筒的外侧固定有限位部件，所述限位部件能够用于对扇形挡板的翻转进行限位。
进一步，所述顶杆组件包括中空的顶杆，所述顶杆的上部开设有第三通孔，所述顶杆的下部开设有第四通孔，所述第四通孔内设置有出气单向阀，所述顶杆组件的内侧设置有排气装置，所述顶杆的上部能够在与圆形挡板抵接后深入所述中心筒内。
进一步，所述排气装置包括固定在槽体底部的电机、与所述电机的输出端连接的转轴、与所述转轴同轴连接的扇叶，所述转轴与顶杆同轴连接。
进一步，所述中心筒的中心同轴固定有导杆，所述导杆的下端滑动设置有中心挡板，所述中心挡板与释放腔的顶面之间连接有第一弹簧，所述顶杆的上端设置有光滑球头，所述顶杆的上端开设有中心通孔，所述顶杆能够同时将所述中心挡板向上顶起。
进一步，所述壳体的外圆周表面开设有环槽，所述环槽内安装有密封条。
进一步，所述壳体包括上盖、与所述上盖可拆卸连接的下盖，所述上盖与下盖之间盖合形成所述压缩槽。
进一步，所述壳体的内部还形成有冷却腔，所述冷却腔内设置有冷却装置，所述壳体内同时固定有环形的冷却管，所述冷却管环形穿插在冷却腔和压缩槽之间，所述冷却管位于冷却腔部分的表面上开设有第五通孔，所述冷却管位于压缩槽部分避开所述弹性压紧装置。
进一步，所述弹性压紧装置包括多孔过滤板和第二弹簧，所述多孔过滤板滑动设置在所述压缩槽内，所述多孔过滤板的一侧表面与所述海绵接触，所述多孔过滤板的另一侧固定连接至第二弹簧的一端，所述第二弹簧的另一端与壳体固定连接。
本发明的有益效果在于：
本发明一种用于湿化学设备的耐腐蚀防护装置，通过将该装置盖合在湿化学设备的槽体上且与其密封，装置在使用时，释放层的气相缓蚀剂能够逐渐地蒸发到释放腔中，当对槽体进行关闭时，释放开关打开，此时气相缓蚀剂能够逐渐从释放腔中溢出，以保护槽体的内部结构不被锈蚀，以防止湿化学设备在非工作状态时的锈蚀问题。
本发明装置通过采用气相缓蚀剂，只要密封环境许可，就能够将防锈状态继续下去，防锈保护期长久，使用保护和去除非常方便，也可以适应于半导体零件在槽体内存放的情景，使用方便。
本发明装置当中，通过设置加热层，加热层可以采用电阻丝盘绕形成，通过对释放层进行加热，可以在装置使用时加快气相缓蚀剂的释放，使得槽体的内部空间可以瞬间充满气相缓蚀剂的气体，以尽可能减少槽体被锈蚀的时间。
本发明防护装置，通过设置压缩槽，并且将气相缓蚀剂容纳在海绵当中，通过弹性压紧装置可以适当对其进行压缩，当气相缓蚀剂被消耗一部分时，弹性压紧装置可以自动对海绵压缩一部分的空间，以增大与释放腔连通的体积，让释放开关在打开时，有更多的缓存气体可以快速释放到槽体当中。
附图说明
为了使本发明的目的、技术方案和有益效果更加清楚，本发明提供如下附图进行说明：
图1为本发明本发明防护装置的结构示意图；
图2为图1在A处的放大图；
图3为顶杆组件的结构示意图；
图4为图3在B处的放大图；
图5为压缩槽的布置示意图；
图6为图5在C处的放大图；
图7为释放开关的结构示意图一；
图8为释放开关的结构示意图二；
图9为湿化学设备与本发明装置的配合示意图。
附图中标记如下：槽体1、多层盖板2、加热层3、粘接层4、释放层5、释放腔6、释放开关7、压缩槽8、第一通孔9、海绵10、弹性压紧装置11、中心筒12、第二通孔13、扇形挡板14、弹性复位装置15、顶杆组件16、限位部件17、顶杆18、第三通孔19、第四通孔20、出气单向阀21、排气装置22、电机23、转轴24、扇叶25、导杆26、中心挡板27、第一弹簧28、光滑球头29、中心通孔30、环槽31、密封条32、上盖33、下盖34、冷却腔35、冷却装置36、冷却管37、第五通孔38、多孔过滤板39、第二弹簧40。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都涉及本发明保护的范围。
如图1~9所示，本发明一种用于湿化学设备的耐腐蚀防护装置，湿化学设备为现有设备，但是至少包括槽体1，槽体1通过机架支撑在地面上，在槽体1中进行半导体产品的湿制程工艺。而本发明耐腐蚀防护装置包括与槽体1的开口密封盖合的多层盖板2，多层盖板2从外到内依次包括加热层3、粘接层4和释放层5，加热层3、粘接层4和释放层5均呈矩形，加热层3通过粘接层4粘连在释放层5的外侧，加热层3可以采用电阻丝盘绕形成，在本发明装置进入工作状态后，通过将电阻丝连接至电源，可以随时对释放层5进行加热。粘接层4采用普通的强力胶水即可，可以防止加热层3的脱落。
具体的，本实施例释放层5包括壳体，壳体采用不锈钢材质支撑，以壳体朝向槽体1一侧为内侧，粘接层4则位于多层盖板2的外侧，壳体远离粘接层4一侧的中心开设有圆形的释放腔6，释放腔6的开口处设置有释放开关7，装置在使用时，释放层5的气相缓蚀剂能够逐渐地蒸发到释放腔6中，当对槽体1进行关闭时，释放开关7打开，此时气相缓蚀剂能够逐渐从释放腔6中溢出进入到槽体1内部，以保护槽体1的内部结构不被锈蚀。
本实施例中，沿着壳体的周向在壳体的内部均匀间隔设置有12个压缩槽8，压缩槽8呈矩形，压缩槽8沿着释放腔6的径向延伸，压缩槽8的内壁整齐光滑，压缩槽8靠近释放腔6一侧的内壁上开设有第一通孔9，通过第一通孔9像释放腔6内释放气相缓蚀剂，每一压缩槽8内填充有海绵10，海绵10内包含有气相缓蚀剂，海绵10通过弹性压紧装置11压紧在压缩槽8远离第一通孔9一侧的内壁上，海绵10具有多孔的结构以填充足够的气相缓蚀剂，在气相缓蚀剂的填充下，海绵10不能被压缩，当缓蚀剂逐渐消耗，可以逐渐地对海绵10进行压缩。当气相缓蚀剂被消耗一部分时，弹性压紧装置11可以自动对海绵10压缩一部分的空间，以增大与释放腔6连通的体积，让释放开关7在打开时，有更多的缓存气体可以从释放腔6内快速释放到槽体1当中，起到快速防护的作用。
本发明通过设置海绵10以规则化气相缓蚀剂的形态结构，保证气相缓蚀剂在压缩槽8中不受多层盖板2的翻转和重力影响，能够让其形态保持得更为均匀，因而可以一定程度上保证气相缓蚀剂在工作状态时释放的均匀性。
本实施例中，释放开关7包括同轴设置在释放腔6中心的中心筒12，中心筒12的下端开口，中心筒12的表面上开设有第二通孔13，以供气态的气相缓蚀剂通过，中心筒12的上端固定在释放腔6的顶面且通过壳体封闭。中心筒12的下端均匀分布有6块扇形挡板14，6块扇形挡板14处于同一平面内，6块扇形挡板14沿周向拼接成能够封闭释放腔6的圆形挡板，以尽可能减少释放腔6内的气体溢出。当然，为了增加密封性，可以在相邻两块扇形挡板14的边缘粘贴密封条32。具体的，在发明实施例中，扇形挡板14的中部与中心筒12铰接，扇形挡板14通过弹性复位装置15连接至中心筒12，弹性复位装置15用于保持各块扇形挡板14处于封闭状态，此时扇形挡板14所在平面与中心筒12的轴线垂直。扇形挡板14的内侧部位用于对中心筒12进行密封，外侧部位用于对释放腔6进行密封。其中，对应在槽体1的中心设置有顶杆组件16，顶杆组件16的直径小于中心筒12的直径，当对多层盖板2盖合在槽体1上的开口时，壳体中心的扇形挡板14能够与顶杆组件16接触，顶杆组件16与扇形挡板14抵接后在物理的接触作用下能够驱动扇形挡板14翻转，以打开释放腔6实现了气体的释放。
本实施例中，中心筒12的外侧固定有限位部件17，限位部件17能够用于对扇形挡板14的翻转进行限位。避免扇形挡板14过度向外翻转，本实施例限位部件17采用限位板，用于对扇形挡板14的位置进行限位，让扇形挡板14在弹性复位装置15的弹性作用下紧贴限位板，可以保证装置在非工作状态时，各块扇形挡板14可以处于同一平面内，保证装置的密封性。
本实施例中，顶杆组件16包括中空的顶杆18，顶杆18呈竖直的圆筒形，顶杆18的上部开设有第三通孔19，顶杆18的下部开设有第四通孔20，第四通孔20内设置有出气单向阀21，顶杆组件16的内侧设置有排气装置22，顶杆18的上部能够在与圆形挡板抵接后深入中心筒12内。当启动排气装置22，第三通孔19内产生负压，可以将中心筒12内的部分气体吸入顶杆18的内侧，然后通过底部的第四通孔20排出，可以让槽体1的底部也快速充满气相缓蚀剂，可以让槽体1内的气体分布更为快速和均匀。具体在本发明实施例中，排气装置22包括固定在槽体1底部的电机23、与电机23的输出端连接的转轴24、与转轴24同轴连接的扇叶25，转轴24与顶杆18同轴连接。通过转动扇叶25，扇叶25在上侧产生负压，扇叶25在下侧产生正压，更有益于气体的流动。
本实施例中，中心筒12的中心同轴固定有导杆26，导杆26的下端滑动设置有中心挡板27，中心挡板27与释放腔6的顶面之间连接有第一弹簧28，顶杆18的上端设置有光滑球头29，减少对扇形挡板14的损伤，顶杆18的上端开设有中心通孔30，顶杆18能够同时将中心挡板27向上顶起，此时导杆26能够深入中心通孔30内，本发明装置通过设置中心挡板27，可以与扇形挡板14的中心进行配合，用于对释放腔6进行密封，避免了扇形挡板14的中心具有尖角的存在，因此，密封性更好，扇形挡板14同时与中心挡板27配合形成圆形，也可以降低扇形挡板14的制造难度，通过设置第一弹簧28，可以顶杆18将中心挡板27接触时对其进行缓冲。
本实施例中，壳体的外圆周表面开设有环槽31，环槽31内安装有密封条32，可以保证槽体1与多层盖板2之间的密封性，防止气体泄露。
本实施例中，壳体包括上盖33、与上盖33可拆卸连接的下盖34，上盖33与下盖34之间盖合形成压缩槽8，可以方便后续对压缩槽8内的气相缓蚀剂进行添加，也能便于对装置进行维护，例如减少弹性压紧装置11的卡壳等。
本实施例中，壳体的内部还形成有冷却腔35，冷却腔35内设置有冷却装置36，壳体内同时固定有环形的冷却管37，冷却管37环形穿插在冷却腔35和压缩槽8之间，冷却管37位于冷却腔35部分的表面上开设有第五通孔38，冷却管37位于压缩槽8部分避开弹性压紧装置11。通过设置冷却管37，可以在非工作状态时对气相缓蚀剂进行冷却，因而可以减少其挥发，节约了成本。冷却管37可以设置为软管，以减少对弹性压紧装置11的影响，当然，冷却管37也可以采用合理布置的方式以避免对弹性压紧装置11的正常压紧造成影响。
本实施例中，弹性压紧装置11包括多孔过滤板39和第二弹簧40，多孔过滤板39滑动设置在压缩槽8内，多孔过滤板39的一侧表面与海绵10接触，多孔过滤板39的另一侧固定连接至第二弹簧40的一端，第二弹簧40的另一端与壳体固定连接。多孔过滤板39可以避免气相缓蚀剂晶体漏出，通过采用该种方式，可以随着气相缓蚀剂的不断使用压缩海绵10，从而压缩海绵10的占据空间，以增大与释放腔6连通的体积，让释放开关7在打开时，有更多的缓存气体可以从释放腔6内快速释放到槽体1当中，起到快速防护的作用。
以上仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种用于湿化学设备的耐腐蚀防护装置，所述湿化学设备包括槽体(1)，其特征在于，所述耐腐蚀防护装置包括与所述槽体(1)的开口密封盖合的多层盖板(2)，所述多层盖板(2)从外到内依次包括加热层(3)、粘接层(4)和释放层(5)，所述加热层(3)通过粘接层(4)粘连在释放层(5)的外侧，所述释放层(5)包括壳体，所述壳体远离粘接层(4)一侧的中心开设有圆形的释放腔(6)，所述释放腔(6)的开口处设置有释放开关(7)，沿着所述壳体的周向在壳体的内部均匀间隔设置有若干压缩槽(8)，所述压缩槽(8)沿着释放腔(6)的径向延伸，所述压缩槽(8)靠近释放腔(6)一侧的内壁上开设有第一通孔(9)，每一所述压缩槽(8)内填充有海绵(10)，所述海绵(10)内包含有气相缓蚀剂，所述海绵(10)通过弹性压紧装置(11)压紧在压缩槽(8)远离第一通孔(9)一侧的内壁上；所述释放开关(7)包括同轴设置在释放腔(6)中心的中心筒(12)，所述中心筒(12)的表面上开设有第二通孔(13)，所述中心筒(12)的上端固定在释放腔(6)的顶面，所述中心筒(12)的下端均匀分布有若干扇形挡板(14)，若干扇形挡板(14)沿圆周拼接成能够封闭释放腔(6)的圆形挡板，所述扇形挡板(14)的中部与中心筒(12)铰接，所述扇形挡板(14)通过弹性复位装置(15)连接至中心筒(12)；对应在所述槽体(1)的中心设置有顶杆组件(16)，所述顶杆组件(16)的直径小于中心筒(12)的直径，所述顶杆组件(16)与扇形挡板(14)抵接后能够驱动其翻转；所述中心筒(12)的外侧固定有限位部件(17)，所述限位部件(17)能够用于对扇形挡板(14)的翻转进行限位；所述顶杆组件(16)包括中空的顶杆(18)，所述顶杆(18)的上部开设有第三通孔(19)，所述顶杆(18)的下部开设有第四通孔(20)，所述第四通孔(20)内设置有出气单向阀(21)，所述顶杆组件(16)的内侧设置有排气装置(22)，所述顶杆(18)的上部能够在与圆形挡板抵接后深入所述中心筒(12)内。
2.根据权利要求1所述的一种用于湿化学设备的耐腐蚀防护装置，其特征在于，所述排气装置(22)包括固定在槽体(1)底部的电机(23)、与所述电机(23)的输出端连接的转轴(24)、与所述转轴(24)同轴连接的扇叶(25)，所述转轴(24)与顶杆(18)同轴连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于湿化学设备的耐腐蚀防护装置，其特征在于，所述中心筒(12)的中心同轴固定有导杆(26)，所述导杆(26)的下端滑动设置有中心挡板(27)，所述中心挡板(27)与释放腔(6)的顶面之间连接有第一弹簧(28)，所述顶杆(18)的上端设置有光滑球头(29)，所述顶杆(18)的上端开设有中心通孔(30)，所述顶杆(18)能够同时将所述中心挡板(27)向上顶起。
4.根据权利要求1所述的一种用于湿化学设备的耐腐蚀防护装置，其特征在于，所述壳体的外圆周表面开设有环槽(31)，所述环槽(31)内安装有密封条(32)。
5.根据权利要求1所述的一种用于湿化学设备的耐腐蚀防护装置，其特征在于，所述壳体包括上盖(33)、与所述上盖(33)可拆卸连接的下盖(34)，所述上盖(33)与下盖(34)之间盖合形成所述压缩槽(8)。
6.根据权利要求1-5任一项所述的一种用于湿化学设备的耐腐蚀防护装置，其特征在于，所述壳体的内部还形成有冷却腔(35)，所述冷却腔(35)内设置有冷却装置(36)，所述壳体内同时固定有环形的冷却管(37)，所述冷却管(37)环形穿插在冷却腔(35)和压缩槽(8)之间，所述冷却管(37)位于冷却腔(35)部分的表面上开设有第五通孔(38)，所述冷却管(37)位于压缩槽(8)部分避开所述弹性压紧装置(11)。
7.根据权利要求1-5任一项所述的一种用于湿化学设备的耐腐蚀防护装置，其特征在于，所述弹性压紧装置(11)包括多孔过滤板(39)和第二弹簧(40)，所述多孔过滤板(39)滑动设置在所述压缩槽(8)内，所述多孔过滤板(39)的一侧表面与所述海绵(10)接触，所述多孔过滤板(39)的另一侧固定连接至第二弹簧(40)的一端，所述第二弹簧(40)的另一端与壳体固定连接。
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