CN116792547A - 一种弹簧外置式的超高纯气体压力调节器 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种弹簧外置式的超高纯气体压力调节器，包括：阀体，其底部设有进气通道和出气通道；阀芯组件，其设置在阀体内部，阀芯组件上设有阀腔，阀腔的腔底分别开设有用于连通进气通道和阀腔的阀芯孔以及用于连通阀腔和出气通道的连通孔；升降式阀杆组件，其上的阀杆封堵在阀芯孔中，升降式阀杆组件上安装有下弹簧座；升降式调节旋钮，其转动连接在阀体顶部，升降式调节旋钮上固定有调节螺钉，调节螺钉的螺杆与阀体顶端螺纹连接，且调节螺钉的螺杆端向下压接有上弹簧座；主弹簧，其压接在下弹簧座和上弹簧座之间；副弹簧，其压接在下弹簧座和阀芯组件之间。副弹簧外置，可延长副弹簧的寿命、避免副弹簧频繁动作形成颗粒导致污染高纯介质。

Description

一种弹簧外置式的超高纯气体压力调节器

技术领域

本发明涉及压力调节器技术领域，更具体的说是涉及一种弹簧外置式的超高纯气体压力调节器。

背景技术

压力调节器常应用于需要对气源进行减压，并提供稳定压力或流量气体的场合，用于将不太稳定的入口压力减压并稳定在一定范围内。

而压力调节器中的副弹簧往往位于介质通道的下方，如公开号为CN111911683A，名称为一种减压阀，其为压力调节器，当减压阀用于半导体及太阳能薄膜工艺中时，由于会使用到超高纯硅烷SiH4、磷烷PH3，砷烷AsH3等特气介质，这些气体具有易燃、剧毒、强腐蚀等特性，但同时也是精密半导体电子元器件制造的必不可少的重要原料，因此，当阀体内出现泄露时，副弹簧会在具有腐蚀性的特气环境下受到不同程度的腐蚀，使弹簧过早损坏，从而会降低阀门的使用寿命，并且这类的弹簧为了抗腐蚀往往使用成本较高的耐腐蚀材料加工制作，成本较高；此外，副弹簧腐蚀后会产生颗粒状异物，进而会污染高纯介质，而影响减压阀后端的设备的工作；并且，减压阀的进出口设置在阀体的左右两侧，在将阀体连接到管路上时，往往会占用管路较大的空间，不利于结构紧凑管路系统的布置。

因此，如何提供一种使用寿命长、避免污染超高纯特气介质，降低制造成本且适合应用在结构紧凑管路系统中的弹簧外置式的超高纯气体压力调节器是本领域技术人员亟需解决的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种使用寿命长、避免污染超高纯特气介质，降低制造成本且适合应用在结构紧凑管路系统中的弹簧外置式的超高纯气体压力调节器。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种弹簧外置式的超高纯气体压力调节器，包括：

阀体，所述阀体底部设有进气通道和出气通道，所述进气通道的进气口和所述出气通道的出气口均位于所述阀体的底端面上；

阀芯组件，所述阀芯组件设置在所述阀体内部，所述阀芯组件上设有阀腔，所述阀腔的腔底分别开设有用于连通所述进气通道和所述阀腔的阀芯孔以及用于连通所述阀腔和所述出气通道的连通孔；

升降式阀杆组件，所述升降式阀杆组件置于所述阀体内，所述升降式阀杆组件的阀杆封堵在所述阀芯孔中，用于开闭所述阀芯孔，所述升降式阀杆组件上位于所述阀芯组件上方的位置安装有下弹簧座；

升降式调节旋钮，所述升降式调节旋钮转动连接在所述阀体顶部，所述升降式调节旋钮上固定有调节螺钉，所述调节螺钉的螺杆与所述阀体顶端螺纹连接，且所述调节螺钉的螺杆端向下压接有上弹簧座；

主弹簧，所述主弹簧压接在所述下弹簧座和所述上弹簧座之间；

副弹簧，所述副弹簧压接在所述下弹簧座和所述阀芯组件之间。

经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，本发明公开提供了一种弹簧外置式的超高纯气体压力调节器，初始未减压时，升降式阀杆组件在副弹簧的作用下具有向上的预紧力，使得阀杆始终封堵在阀芯孔中，即阀芯孔处于关闭状态。减压时，转动升降式调节旋钮，升降式调节旋钮带动调节螺钉转动，进而调节螺钉向下按压上弹簧座，上弹簧座向下按压主弹簧，主弹簧向下按压下弹簧座，进而使得升降式阀杆组件向下移动，带动阀杆向下移动，此时阀杆的头端脱离阀芯孔，外部气体经过进气通道、阀芯孔时由于流通面积的改变，其气体压力降低，而减压后的气体进入到阀芯腔中，最后通过连通孔、出气通道流出出气口，完成减压过程。当气体压强波动时，气体在作用于升降式阀杆组件时，主弹簧和副弹簧由于气体压强的波动，从而产生形变来弥补或者减少气体压强的波动，此时主弹簧和副弹簧的力与气体压强呈现一种动平衡状态，从而起到稳压的作用。因此，该压力调节器将副弹簧移动到阀腔的上方，从而有效避免了副弹簧与腐蚀性特气接触而影响弹簧的性能及寿命，并且有效避免了副弹簧频繁动作形成颗粒导致污染高纯介质，进而影响阀门后端的设备；以及副弹簧外置后，原本制造副弹簧需使用成本较高的耐腐蚀材料可改为成本更低的常规材料，可以进一步节约成本。此外，该压力调节器将进气口和出气口设置在阀体的底端面上，使得结构更紧凑，避免了现有的压力调节器通过左右的接口进行连接，占据较大体积，从而不利于应用于结构紧凑的管路系统。

进一步的，所述阀体包括：

下阀座，所述下阀座顶端开设有安装槽，所述安装槽的槽底分别开设有所述进气通道和出气通道；

下压环，所述下压环底部与所述安装槽的槽口固定连接；

上压环，所述上压环底部与所述下压环顶部固定连接；

上盖板，所述上盖板与所述上压环顶端固定连接，所述升降式调节旋钮的底端面上开设有套接槽，所述套接槽套设在所述上盖板上，所述调节螺钉的螺杆与所述上盖板上的螺纹孔螺纹连接，所述上盖板、所述安装槽、所述下压环、所述上压环围合限定出容纳空间，所述上弹簧座、所述主弹簧、所述下弹簧座、所述阀芯组件、所述升降式阀杆组件、所述副弹簧均置于所述容纳空间内；所述上盖板底端面上开设有导向槽，所述上弹簧座置于所述导向槽内。

采用上述技术方案产生的有益效果是：导向槽可对上弹簧座的上下移动轨迹进行导向和限位，避免上弹簧座出现跑偏现象。

进一步的，还包括压接在所述下压环和所述上压环之间的隔环，所述隔环的顶端面上均布开设有多个插孔，所述升降式调节旋钮的外壁上设有插销，所述插销与所述插孔插接。

采用上述技术方案产生的有益效果是：当压力调节好后，将插销插接到对应的插孔中，实现升降式调节旋钮位置的锁定，避免压力调节器在使用过程中，不小心误转动升降式调节旋钮，而影响压力调节器的减压效果。

进一步的，所述调节螺钉的螺杆上靠近其头端的位置一体成型有防脱凸缘，所述防脱凸缘止挡于所述导向槽的槽底面。

采用上述技术方案产生的有益效果是：避免调节螺钉脱出上盖板。

进一步的，所述上弹簧座顶端面上设有定位凹槽，所述调节螺钉的螺杆的头端与所述定位凹槽压接。

采用上述技术方案产生的有益效果是：易于调节螺钉始终能够与上弹簧座的中心接触，保证调节螺钉对上弹簧座的下压力的均匀性，从而使得上弹簧座的受到垂直向下的压力而竖向移动，进而将下压力稳定的通过主弹簧传递至下弹簧座上，从而保证阀杆与阀芯孔稳定的配合。

进一步的，所述上压环的顶部套设有第一O型圈。

采用上述技术方案产生的有益效果是：第一O型圈可增大上盖板与升降式调节旋钮之间的摩擦力，起到升降式调节旋钮的防回转目的，此外，还可以降低升降式调节旋钮在转动时的异响(升降式调节旋钮和上盖板均为金属材质，使得升降式调节旋钮转动时会产生摩擦异响)，提高升降式调节旋钮的操作手感。

进一步的，所述阀芯孔包括相互连通的第一阀芯孔和第二阀芯孔，所述阀芯组件包括：

阀座，所述阀座设置在所述进气通道的另一端，所述阀座上开设有所述第一阀芯孔；

孔板，所述孔板置于所述安装槽的槽底面上，且压接在所述阀座的顶端面上，所述孔板上开设有所述第二阀芯孔和所述连通孔，所述阀杆的头端封堵在所述第二阀芯孔上；

压板，所述压板压接在所述孔板的上方，所述压板上开设有导向孔，所述压板和所述孔板之间限定出所述阀腔；

所述升降式阀杆组件包括：

阀杆座，所述阀杆座穿过所述导向孔布置，所述阀杆座内部固定有所述阀杆，所述阀杆座上位于所述压板上方的位置固定有所述下弹簧座，所述副弹簧压接在所述下弹簧座和所述压板之间；

膜片，所述膜片的外缘压接在所述孔板和所述压板之间，所述阀杆座的底端面与所述膜片固定连接，所述膜片上靠近其外缘的位置具有波形曲面段。

采用上述技术方案产生的有益效果是：膜片上具有波形曲面段，这样可以提高膜片的弹性，使膜片能够承受375psig的介质压力并保证密封，外漏的可能性低，有效避免了腐蚀性介质外漏到容纳空间而腐蚀主弹簧和副弹簧的问题。

进一步的，所述主弹簧下端套设在所述阀杆座顶部且抵接在所述下弹簧座顶端的弹簧安装槽的槽底面上，所述阀杆座顶部套设有第二O型圈，所述第二O型圈通过所述阀杆座顶端上螺接固定的卡紧螺母压接在所述下弹簧座上，所述第二O型圈位于所述主弹簧的下端的内侧。

采用上述技术方案产生的有益效果是：第二O型圈可对主弹簧的下端内圈进行支撑，避免主弹簧反复使用后，其下端的内圈向内收缩而导致主弹簧的上下两端直径不一致，而影响下压力传递的精度。

进一步的，所述下弹簧座底端面上嵌设有第三O型圈。

采用上述技术方案产生的有益效果是：当气体减压时会在阀腔内产生波动，进而使得膜片产生震颤而产生噪音，而膜片的震颤会传递至阀杆座、下弹簧座上，因此，为了抑制震颤，在下弹簧座上设置第三O型圈，通过第三O型圈可抑制上弹簧座的震颤，进而间接抑制膜片的震颤。

进一步的，所述压板顶端面和所述下压环底端面之间压接有垫圈。

采用上述技术方案产生的有益效果是：下压环通过垫片下压压板，进而可保证压板能够有足够的下压力将膜片压接到孔板上，避免膜片从压板和孔板之间松脱。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本发明提供的一种弹簧外置式的超高纯气体压力调节器的结构示意图。

图2为图1中局部A的结构放大示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

参见图1-图2，本发明实施例公开了一种弹簧外置式的超高纯气体压力调节器，包括：

阀体1，阀体1底部设有进气通道101和出气通道102，进气通道101的进气口1011和出气通道102的出气口1021均位于阀体1的端面上；

阀芯组件2，阀芯组件2设置在阀体1内部，阀芯组件2上设有阀腔201，阀腔201的腔底分别开设有用于连通进气通道101和阀腔201的阀芯孔202以及用于连通阀腔201和出气通道102的连通孔203；

升降式阀杆组件3，升降式阀杆组件3置于阀体1内，升降式阀杆组件3的阀杆32封堵在阀芯孔202中，用于开闭阀芯孔202，升降式阀杆组件3上位于阀芯组件2上方的位置安装有下弹簧座4；

升降式调节旋钮5，升降式调节旋钮5转动连接在阀体1顶部，升降式调节旋钮5上固定有调节螺钉51，调节螺钉51的螺杆与阀体1顶端螺纹连接，且调节螺钉51的螺杆端向下压接有上弹簧座6；

主弹簧7，主弹簧7压接在下弹簧座4和上弹簧座6之间；

副弹簧8，副弹簧8压接在下弹簧座4和阀芯组件2之间。

其中，阀体1包括：

下阀座11，下阀座11顶端开设有安装槽111，安装槽111的槽底分别开设有进气通道101和出气通道102；

下压环12，下压环12底部与安装槽111的槽口固定连接，其连接结构可以为螺纹连接、卡接、焊接等，优选螺纹连接；

上压环13，上压环13底部与下压环12顶部固定连接，其连接结构可以为螺纹连接、卡接、焊接等，优选螺纹连接；

上盖板14，上盖板14与上压环13顶端固定连接，其连接结构可以为螺纹连接、卡接、焊接等，优选螺纹连接，升降式调节旋钮5的底端面上开设有套接槽501，套接槽501套设在上盖板14上，调节螺钉51的螺杆与上盖板14上的螺纹孔141螺纹连接，上盖板14、安装槽111、下压环12、上压环13围合限定出容纳空间103，上弹簧座6、主弹簧7、下弹簧座4、阀芯组件2、升降式阀杆组件3、副弹簧8均置于容纳空间103内；上盖板14底端面上开设有导向槽142，上弹簧座6置于导向槽142内。

在上述实施例中，各个部件之间优选采用螺纹连接的结构，使得该阀体易拆装和易于某个零部件的维护和更换。

本发明的弹簧外置式的超高纯气体压力调节器还包括压接在下压环12和上压环13之间的隔环15，隔环15的顶端面上均布开设有多个插孔(未示意出)，升降式调节旋钮5的外壁上设有插销(未示意出)，插销与插孔插接。

优选的实施例中，调节螺钉51的螺杆上靠近其头端的位置一体成型有防脱凸缘511，防脱凸缘511止挡于导向槽142的槽底面。

优选的实施例中，上弹簧座6顶端面上设有定位凹槽601，调节螺钉51的螺杆的头端与定位凹槽601压接。

优选的实施例中，上压环13的顶部套设有第一O型圈9。

在上述实施例中，阀芯孔202包括相互连通的第一阀芯孔2021和第二阀芯孔2022，阀芯组件2包括：

阀座21，阀座21设置在进气通道101的另一端，阀座21上开设有第一阀芯孔2021；

孔板22，孔板22置于安装槽111的槽底面上，且压接在阀座21的顶端面上，孔板22上开设有第二阀芯孔2022和连通孔203，阀杆32的头端封堵在第二阀芯孔2022上；

压板23，压板23压接在孔板22的上方，压板23上开设有导向孔221，压板23和孔板22之间限定出阀腔201；

升降式阀杆组件3包括：

阀杆座31，阀杆座31穿过导向孔221布置，阀杆座31内部固定有阀杆32，阀杆座31上位于压板23上方的位置固定有下弹簧座4，副弹簧8压接在下弹簧座4和压板23之间；

膜片33，膜片33的外缘压接在孔板22和压板23之间，阀杆座31的底端面与膜片33固定连接，膜片33上靠近其外缘的位置具有波形曲面段331。

优选的实施例中，主弹簧7下端套设在阀杆座31顶部且抵接在下弹簧座4顶端的弹簧安装槽411的槽底面上，阀杆座31顶部套设有第二O型圈10，第二O型圈10通过阀杆座31顶端上螺接固定的卡紧螺母16压接在下弹簧座4上，第二O型圈10位于主弹簧7的下端的内侧。

优选的实施例中，下弹簧座4底端面上嵌设有第三O型圈17。

优选的实施例中，压板23顶端面和下压环12底端面之间压接有垫圈18。

优选的实施例中，为了减少调节过程中调节螺钉与上弹簧座相互作用而产生的磨损以及噪声，上弹簧座材质选择镀锌处理从而起到润滑作用。

优选的实施例中，阀座的材质是PCTFE，有一定的塑性变形能力，所以在副弹簧的作用下，阀杆具有向上的预紧力，使得阀杆与阀体相互挤压而形成内密封结构，使得压力调节器的阀芯孔初始处于未开启的状态。此外，在阀体未开启而通入气体时，气体压强作用于阀杆使得阀杆与阀座相互挤压，从而阀杆同样可与阀座相互作用形成内密封结构。

本发明的压力调节器初始未减压时，升降式阀杆组件在副弹簧的作用下具有向上的预紧力，使得阀杆始终封堵在阀芯孔中，即阀芯孔处于关闭状态。减压时，转动升降式调节旋钮，升降式调节旋钮带动调节螺钉转动，进而调节螺钉向下按压上弹簧座，上弹簧座向下按压主弹簧，主弹簧向下按压下弹簧座，进而使得升降式阀杆组件向下移动，带动阀杆向下移动，此时阀杆的头端脱离阀芯孔，外部气体经过进气通道、阀芯孔时由于流通面积的改变，其气体压力降低，而减压后的气体进入到阀芯腔中，最后通过连通孔、出气通道流出出气口，完成减压过程。当气体压强波动时，气体在作用于升降式阀杆组件时，主弹簧和副弹簧由于气体压强的波动，从而产生形变来弥补或者减少气体压强的波动，此时主弹簧和副弹簧的力与气体压强呈现一种动平衡状态，从而起到稳压的作用。

因此，该压力调节器将副弹簧移动到阀腔的上方，从而有效避免了副弹簧与腐蚀性特气接触而影响弹簧的性能及寿命，并且有效避免了副弹簧频繁动作形成颗粒导致污染高纯介质，进而影响阀门后端的设备；以及副弹簧外置后，原本制造副弹簧需使用成本较高的耐腐蚀材料可改为成本更低的常规材料，可以进一步节约成本。此外，该压力调节器将进气口和出气口设置在阀体的底端面上，使得结构更紧凑，避免了现有的压力调节器通过左右的接口进行连接，占据较大体积，从而不利于应用于结构紧凑的管路系统中。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种弹簧外置式的超高纯气体压力调节器，其特征在于，包括：

阀体(1)，所述阀体(1)底部设有进气通道(101)和出气通道(102)，所述进气通道(101)的进气口(1011)和所述出气通道(102)的出气口(1021)均位于所述阀体(1)的底端面上；

阀芯组件(2)，所述阀芯组件(2)设置在所述阀体(1)内部，所述阀芯组件(2)上设有阀腔(201)，所述阀腔(201)的腔底分别开设有用于连通所述进气通道(101)和所述阀腔(201)的阀芯孔(202)以及用于连通所述阀腔(201)和所述出气通道(102)的连通孔(203)；

升降式阀杆组件(3)，所述升降式阀杆组件(3)置于所述阀体(1)内，所述升降式阀杆组件(3)的阀杆(32)封堵在所述阀芯孔(202)中，用于开闭所述阀芯孔(202)，所述升降式阀杆组件(3)上位于所述阀芯组件(2)上方的位置安装有下弹簧座(4)；

升降式调节旋钮(5)，所述升降式调节旋钮(5)转动连接在所述阀体(1)顶部，所述升降式调节旋钮(5)上固定有调节螺钉(51)，所述调节螺钉(51)的螺杆与所述阀体(1)顶端螺纹连接，且所述调节螺钉(51)的螺杆端向下压接有上弹簧座(6)；

主弹簧(7)，所述主弹簧(7)压接在所述下弹簧座(4)和所述上弹簧座(6)之间；

副弹簧(8)，所述副弹簧(8)压接在所述下弹簧座(4)和所述阀芯组件(2)之间。

2.根据权利要求1所述的一种弹簧外置式的超高纯气体压力调节器，其特征在于，所述阀体(1)包括：

下阀座(11)，所述下阀座(11)顶端开设有安装槽(111)，所述安装槽(111)的槽底分别开设有所述进气通道(101)和出气通道(102)；

下压环(12)，所述下压环(12)底部与所述安装槽(111)的槽口固定连接；

上压环(13)，所述上压环(13)底部与所述下压环(12)顶部固定连接；

上盖板(14)，所述上盖板(14)与所述上压环(13)顶端固定连接，所述升降式调节旋钮(5)的底端面上开设有套接槽(501)，所述套接槽(501)套设在所述上盖板(14)上，所述调节螺钉(51)的螺杆与所述上盖板(14)上的螺纹孔(141)螺纹连接，所述上盖板(14)、所述安装槽(111)、所述下压环(12)、所述上压环(13)围合限定出容纳空间(103)，所述上弹簧座(6)、所述主弹簧(7)、所述下弹簧座(4)、所述阀芯组件(2)、所述升降式阀杆组件(3)、所述副弹簧(8)均置于所述容纳空间(103)内；所述上盖板(14)底端面上开设有导向槽(142)，所述上弹簧座(6)置于所述导向槽(142)内。

3.根据权利要求2所述的一种弹簧外置式的超高纯气体压力调节器，其特征在于，还包括压接在所述下压环(12)和所述上压环(13)之间的隔环(15)，所述隔环(15)的顶端面上均布开设有多个插孔，所述升降式调节旋钮(5)的外壁上设有插销，所述插销与所述插孔插接。

4.根据权利要求2所述的一种弹簧外置式的超高纯气体压力调节器，其特征在于，所述调节螺钉(51)的螺杆上靠近其头端的位置一体成型有防脱凸缘(511)，所述防脱凸缘(511)止挡于所述导向槽(142)的槽底面。

5.根据权利要求2所述的一种弹簧外置式的超高纯气体压力调节器，其特征在于，所述上弹簧座(6)顶端面上设有定位凹槽(601)，所述调节螺钉(51)的螺杆的头端与所述定位凹槽(601)压接。

6.根据权利要求2所述的一种弹簧外置式的超高纯气体压力调节器，其特征在于，所述上压环(13)的顶部套设有第一O型圈(9)。

7.根据权利要求2-6任一项所述的一种弹簧外置式的超高纯气体压力调节器，其特征在于，所述阀芯孔(202)包括相互连通的第一阀芯孔(2021)和第二阀芯孔(2022)，所述阀芯组件(2)包括：

阀座(21)，所述阀座(21)设置在所述进气通道(101)的另一端，所述阀座(21)上开设有所述第一阀芯孔(2021)；

孔板(22)，所述孔板(22)置于所述安装槽(111)的槽底面上，且压接在所述阀座(21)的顶端面上，所述孔板(22)上开设有所述第二阀芯孔(2022)和所述连通孔(203)，所述阀杆(32)的头端封堵在所述第二阀芯孔(2022)上；

压板(23)，所述压板(23)压接在所述孔板(22)的上方，所述压板(23)上开设有导向孔(221)，所述压板(23)和所述孔板(22)之间限定出所述阀腔(201)；

所述升降式阀杆组件(3)包括：

阀杆座(31)，所述阀杆座(31)穿过所述导向孔(221)布置，所述阀杆座(31)内部固定有所述阀杆(32)，所述阀杆座(31)上位于所述压板(23)上方的位置固定有所述下弹簧座(4)，所述副弹簧(8)压接在所述下弹簧座(4)和所述压板(23)之间；

膜片(33)，所述膜片(33)的外缘压接在所述孔板(22)和所述压板(23)之间，所述阀杆座(31)的底端面与所述膜片(33)固定连接，所述膜片(33)上靠近其外缘的位置具有波形曲面段(331)。

8.根据权利要求7所述的一种弹簧外置式的超高纯气体压力调节器，其特征在于，所述主弹簧(7)下端套设在所述阀杆座(31)顶部且抵接在所述下弹簧座(4)顶端的弹簧安装槽(411)的槽底面上，所述阀杆座(31)顶部套设有第二O型圈(10)，所述第二O型圈(10)通过所述阀杆座(31)顶端上螺接固定的卡紧螺母(16)压接在所述下弹簧座(4)上，所述第二O型圈(10)位于所述主弹簧(7)的下端的内侧。

9.根据权利要求7所述的一种弹簧外置式的超高纯气体压力调节器，其特征在于，所述下弹簧座(4)底端面上嵌设有第三O型圈(17)。

10.根据权利要求7所述的一种弹簧外置式的超高纯气体压力调节器，其特征在于，所述压板(23)顶端面和所述下压环(12)底端面之间压接有垫圈(18)。