CN116767772A - 高架输送车 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种高架输送车。高架输送车具备：把持物品的夹具单元、使夹具单元升降的升降机单元以及支承升降机单元的升降机支承部。升降机单元上下移动自如地安装于升降机支承部，在升降机支承部与升降机单元之间夹装有弹簧。

Description

高架输送车

技术领域

本发明涉及高架输送车。

背景技术

以往，公知有在悬挂支承于顶棚的轨道上行驶，输送容器(物品)的物品输送车(例如，参照专利文献1)。该输送车具备沿着轨道移动的行驶部、和悬挂支承于行驶部的主体部。主体部具有与行驶部连结的基部、支承容器的支承机构、以及被基部支承并且使支承机构升降的升降操作机构。在支承机构的内部收纳有弹性部，通过弹性部吸收在输送车行驶时产生的振动。(专利文献1：日本特开2018-39659号公报)

在高架输送车中，要求振动的减少(防振)。在上述现有的技术中，在支承容器的支承机构设置有的吸收振动的弹性部。在对支承机构即夹具单元设置防振功能的情况下，由于物品的重量变化，存在很难稳定地得到防振效果的倾向。作为其一个因素，可举出物品的重量变化量相对于设置有防振功能的夹具单元的重量(在把持物品的情况下夹具单元以及物品的合计重量)的比例比较大这一点。

发明内容

本公开对能够稳定地得到防振效果的高架输送车进行说明。

本发明的一实施方式的高架输送车具备：夹具单元，其把持物品；升降机单元，其使夹具单元升降；以及升降机支承部，其支承升降机单元，升降机单元上下移动自如地安装于升降机支承部，在升降机支承部与升降机单元之间夹装有防振部件。

根据本发明的高架输送车，通过夹装在升降机支承部与升降机单元之间的防振部件，吸收高架输送车行驶时产生的振动。在该情况下，与应由夹具单元把持的物品相比，对比较重的(具有大重量的)升降机单元设置防振功能。因此，即使相对于物品的重量变化，也不易产生防振效果的偏差。因此，能够稳定地得到防振效果。

升降机单元也可以经由平行连杆上下移动自如地安装于升降机支承部。在该情况下，在发挥防振效果时，升降机单元相对于升降机支承部上下移动。因此，能够防止升降机单元倾斜的情况。

平行连杆也可以包含：经由第一轴安装于升降机支承部的第一端部、和经由第二轴安装于升降机单元的第二端部，也可以在第一端部与第一轴之间以及第二端部与第二轴之间的至少一方设置有作为防振部件的橡胶衬套。在该情况下，通过橡胶衬套变形，允许平行连杆的位移。能够变形且具有弹性的橡胶衬套能够进一步提高高架输送车的防振效果。

高架输送车也可以还具备：横向移动机构，其使升降机单元横向移动。也可以在升降机单元搭载传感器，该传感器基于对安装于保管架的反射板的投光以及受光来检测是否在保管架载置有物品，在没有检测出来自反射板的受光的情况下，横向移动机构使升降机单元横向移动。在本发明的高架输送车中，升降机单元能够相对于升降机支承部上下移动，其结果是有时传感器的光轴偏移。如上所述，利用横向移动机构使升降机单元横向移动，由此能够进行使用了传感器的横方向的(水平方向的)扫描动作。由此，在没有检测出来自反射板的受光的情况下，能够确认在保管架实际载置有物品或者来自传感器的投光没有到达反射板的位置(即、产生了光轴偏移)。其结果是，能够可靠地检测保管架上的物品的有无。

根据本发明，能够稳定地得到防振效果。

附图说明

图1是表示本发明的一实施方式的高架输送车的简要主视图。

图2是升降机单元的仰视图。

图3示意性表示设置于升降机单元的防振机构的主视图。

图4是表示图2的防振机构的立体图。

图5是从其它的角度观察图4的防振机构的斜视剖视图。

图6是表示包含弹簧(防振部件)和平行连杆的防振机构的结构的立体图。

图7A是表示通常时的防振机构的正面剖视图。

图7B是表示产生负载或者冲击时的防振机构的正面剖视图。

图8是示意性表示由包含平行连杆的防振机构进行的升降机单元的可动方向的主视图。

图9是说明在升降机单元设置有载荷传感器的例子的图。

图10是说明在升降机单元设置有晃动检测传感器的例子的图。

附图标记的说明

1…高架输送车系统，6…高架输送车，11…保管架，22…主体框架，24…横向移载部(横向移动机构)，26…θ驱动器，28…升降机单元，30…升降台，31…夹具单元，40…防振机构，41…第一框架，42…第二框架，43…平行连杆，43A…上连杆部件，43B…下连杆部件，44…弹簧(防振部件)，47…第一端部，48…第二端部，51…第一轴，52…第二轴，55…橡胶衬套(防振部件)，61…主体框架，61a…基座板，61A…开口，B…带。

具体实施方式

以下，参照附图来说明本发明的实施方式。此外，在附图的说明中对相同要素标注相同的附图标记，省略重复的说明。

如图1所示，高架输送车系统1是用于使用能够沿着轨道4移动的高架输送车6来输送物品10的系统。物品10例如包含作为容纳多个半导体晶片的容器的FOUP、容纳玻璃基板的容器、标线片容器、一般部件等。高架输送车6(以下，简称为“输送车6”。)沿着敷设在工厂的顶棚等的轨道4行驶。在轨道4的侧方设置有具有用于保管物品10的载置部8的保管架11。在载置部8上载置从输送车6移载来的物品10。保管架11支承、保管从输送车6移载来的物品10。

轨道4例如敷设在作为作业者的头上空间的顶棚附近。轨道4例如悬挂在顶棚。轨道4是用于使输送车6行驶的预先决定的行驶路。轨道4例如由多个轨道支柱5悬挂支承。保管架11由多个架支柱9悬挂支承。

输送车6例如是高架式无人行驶车。输送车6沿着轨道4行驶，并输送物品10。输送车6例如沿着轨道4向+X方向(规定的行驶方向)行驶。输送车6构成为能够将物品10向保管架11的载置部8移载。在轨道4上行驶的输送车6例如沿着Y方向(水平面内的横方向)移载物品10。作为物品10的移载方向的Y方向例如在水平面内与作为输送车6的行驶方向的X方向正交。此外，高架输送车系统1具备的输送车6的台数没有特别限定，是多台。

输送车6具有使输送车6沿着轨道4行驶的行驶部18、以及例如通过非接触供电从轨道4侧受电的受电通信部20。输送车6利用轨道4的通信线(馈电线)等与未图示的控制器进行通信。此外，输送车6也可以经由沿着轨道4而设置的供电线与控制器进行通信。输送车6具有主体框架22、横向移载部(横向移动机构)24、θ驱动器26、升降机单元(升降驱动部)28、升降台(升降部)30以及主体罩33。

横向移载部24安装于主体框架22的下侧。横向移载部24使θ驱动器26、升降机单元28以及升降台30一起向Y方向移动。横向移载部24通过使升降机单元28横向移动，在与保管架11的缓冲区8A(载置部8)之间移载物品10。输送车6利用横向移载部24使升降机单元28等横向移动，使升降台30升降，由此在与保管架11的缓冲区8A之间交接物品10。横向移载部24具有驱动马达、带、齿轮、带轮等，使θ驱动器26、升降机单元28以及升降台30向Y方向移动。此外，横向移载部24的结构并不限于上述情况，也可以采用能够横向移载物品10的其它公知的结构。

θ驱动器26安装于横向移载部24的下侧。θ驱动器26保持升降机单元28以及升降台30，在水平面内使升降机单元28在规定的角度范围内转动。

升降机单元28安装于θ驱动器26的下侧。升降机单元28通过带B等吊持部件的卷绕或放出而使升降台30升降。参照图2来说明升降机单元28的简要结构。图2是升降机单元28的仰视图。升降机单元28具有：主体框架61、例如三个(多个)卷取滚筒63、第一空转辊64、第二空转辊65、第三空转辊66、包含促动器67和未图示的摆动部件的空转调整机构69、以及三根带B。此外，吊持部件也可以是钢丝绳或者绳索等。

主体框架61经由后述的防振机构40被θ驱动器26悬垂支承。主体框架61例如形成沿X方向以及Y方向延伸的矩形。主体框架61包含用于安装后述的防振机构40的基座板61a。主体框架61经由未图示的支承部支承三个(多个)卷取滚筒63、和第一空转辊64。各带B的一端与夹具单元31连接，各带B的另一端与各卷取滚筒63连接。三个卷取滚筒63沿前后方向排列，通过驱动马达63A的驱动而卷绕或者放出三根带B的各个。各卷取滚筒63能够旋转地安装于主体框架61。驱动马达63A是用于使各卷取滚筒63旋转的驱动源，固定于主体框架61。三个卷取滚筒63安装于共用的转动轴63B，由驱动马达63A一起驱动。此外，三个卷取滚筒63也可以通过未图示的联动机构连结，由驱动马达63A一起驱动。

在升降机单元28中，相对于设置在前侧和后侧的两对第一空转辊64以及第二空转辊65(即左侧的两根带B)设置有两个空转调整机构69。两个空转调整机构69配置在主体框架61的左侧。另外，在升降机单元28在与驱动马达63A相反的一侧(前侧)安装有伺服放大器68。

返回图1，在升降台30设置有把持物品10的夹具单元31(也称为把持部或者卡盘等)。夹具单元31能够把持或者释放物品10。上述升降机单元28使夹具单元31升降。主体罩33例如在输送车6的行驶方向的前后设置有一对。主体罩33使未图示的爪等在物品10的下方出入，防止物品10在输送中落下的情况。

在与输送车6之间交接物品10的载置部8例如包含缓冲区8A以及交接端口8B。缓冲区8A是暂时载置物品10的载置部。缓冲区8A例如通过架支柱9悬挂于顶棚。例如在由于作为目的交接端口8B载置有其它物品10等理由，而无法将输送车6输送的物品10移载到该交接端口8B的情况下，物品10被临时放置在缓冲区8A。交接端口8B例如是用于对以清洗装置、成膜装置、光刻装置、蚀刻装置、热处理装置、平坦化装置为代表的半导体的处理装置12进行物品10的交接的载置部。此外，处理装置12没有特别限定，也可以是各种装置。

在图1所示的例子中，交接端口8B虽位于轨道4即输送车6的正下方，但交接端口8B也可以在Y方向上配置在轨道4(输送车6)的位置的侧方。在该情况下，输送车6利用横向移载部24使升降机单元28等移动，利用升降机单元28使升降台30升降，由此在与交接端口8B(载置部8)之间交接物品10。

接着，参照图2～图6来说明本实施方式的输送车6具备的防振机构40。在输送车6行驶时，存在因各种原因而产生振动的可能性。输送车6作为用于减少在输送车6中可能产生的振动的机构，具备防振机构40。如图2所示，防振机构40配置在矩形的主体框架61的大致中央。例如，通过改变驱动马达63A的配置，或将带B的根数设为三根等布局上和/或设计上的调整，确保防振机构40的设置空间。例如，防振机构40配置在配置于前后两侧的两根带B之间(两个第一空转辊64之间)，且配置在中央的另一根带B(中央的卷取滚筒63)的左侧。此外，驱动马达63A的配置和/或带B的根数也可以与本实施方式不同。也可以在升降机单元28设置有四根带B。在本实施方式中，后述的防振机构40的第一框架41在仰视图中配置在主体框架61的大致中央。

图3是示意性表示升降机单元28的防振机构40的主视图。如图2以及图3所示，防振机构40大致安装于升降机单元28。但是，防振机构40的一部分(第一框架41)安装于θ驱动器26。在本实施方式中，由主体框架22、横向移载部24以及θ驱动器26构成支承升降机单元28的升降机支承部7。防振机构40架设在升降机支承部7与升降机单元28之间。若在以往，则升降机单元刚性地安装、固定于升降机支承部。然而，在本实施方式的输送车6中，升降机单元28通过后述的构造相对于升降机支承部7上下移动自如。

如图4～图6所示，防振机构40具有：安装于作为升降机支承部7的一部分的θ驱动器26的第一框架41、安装于升降机单元28的第二框架42、以及夹装在第一框架41与第二框架42之间的平行连杆43以及弹簧44。

第一框架41例如固定于θ驱动器26的支承部26f(参照图7A)。支承部26f例如形成于θ驱动器26的下表面(升降机支承部7的下表面)。第一框架41包含：使用未图示的紧固部件等固定于支承部26f的圆形的凸缘部41a、以与凸缘部41a的下表面连续的方式固定在凸缘部41a的下表面的一对矩形的侧板部41b、以及将一对侧板部41b的下端连结的矩形的底板部41c。一对侧板部41b向凸缘部41a的下方延伸，例如在X方向上隔开间隔相对。通过侧板部41b以及底板部41c形成了U字形的框体，在该框体的内部收纳有朝向Z方向配置的弹簧44。上述各部通过焊接等而一体化，从而形成了第一框架41。

U字形的框体配置在形成于主体框架61的基座板61a的开口61A(参照图5)内，并配置为贯通基座板61a。该框体具有在Y方向上开放的形状。因此，如图4以及图6所示，在从Y方向观察的情况下，弹簧44露出。

第二框架42包含：使用未图示的紧固部件等固定于基座板61a的下表面的矩形的平板状的顶面部42a、以及以与顶面部42a的X方向的两端连续的方式形成的一对倒三角形状的侧面部42b。一对侧面部42b向顶面部42a的下方延伸，例如在X方向上隔开间隔而相对。侧面部42b的底边与顶面部42a连接，侧面部42b的Y方向的宽度随着朝向下方而变窄。如图5所示，作为顶面部42a的一部分的弹簧按压片42e向+Y方向突出并进入第一框架41内(上述U字形的框体内)。上述各部通过焊接等而一体化，或者通过将一张板折弯而形成了第二框架42。

在第一框架41与第二框架42之间夹装有平行连杆43。平行连杆43包含上连杆部件43A和下连杆部件43B。上连杆部件43A以及下连杆部件43B例如是相同的部件，在Z方向上分离且平行地设置。上连杆部件43A以及下连杆部件43B的各个包含沿Y方向延伸的一对臂部45、和将臂部45的中心部彼此连结的连结部49，作为整体呈H字形。上连杆部件43A以及下连杆部件43B的各个包含经由两个第一轴51而安装于第一框架41的侧板部41b的第一端部47、和经由两个第二轴52而安装于第二框架42的侧面部42b的第二端部48。第一端部47以及第二端部48形成于臂部45的两端部，分别呈圆环状。

上连杆部件43A的一对第一端部47经由设置于沿X方向延伸的共同的轴线上的一对第一轴51安装于侧板部41b。上连杆部件43A的一对第二端部48经由设置于沿X方向延伸的共同的轴线上的一对第二轴52安装于侧面部42b。与此相同，下连杆部件43B的一对第一端部47经由设置于沿X方向延伸的共同的轴线上的一对第一轴51安装于侧板部41b。下连杆部件43B的一对第二端部48经由设置于沿X方向延伸的共同的轴线上的一对第二轴52安装于侧面部42b。用于支承上连杆部件43A的第一轴51和用于支承下连杆部件43B的第一轴51在第一框架41的位置处沿上下方向排列。用于支承上连杆部件43A的第二轴52和用于支承下连杆部件43B的第二轴52在第二框架42的位置处沿上下方向排列(还参照图7A)。上述四根轴线相互平行。

上连杆部件43A以及下连杆部件43B经由第一轴51被作为第一框架41的一部分的侧板部41b支承，经由第二轴52被作为第二框架42的一部分的侧面部42b支承。由此，第二框架42以及升降机单元28以第一框架41即升降机支承部7为基准而上下移动自如(参照图7A以及图7B)。严格来说，第二框架42相对于第一框架41描绘圆弧状的轨迹而移动，但第二框架42的可动范围被限制(详细内容将在后述)，所以第二框架42的移动近似于上下方向的移动(参照图7B以及图8)。

这样，升降机单元28经由平行连杆43上下移动自如地安装于升降机支承部7。

如图5所示，在第一框架41的底板部41c与第二框架42的顶面部42a的弹簧按压片42e之间例如夹装有压缩螺旋弹簧亦即弹簧(防振部件)44。更详细而言，通过将以对置的方式分别设置于底板部41c的上表面和弹簧按压片42e的下表面的弹簧支承部46的圆筒状的突起从弹簧44的上下端插入弹簧44内，来保持弹簧44。

并且，在平行连杆43的第一端部47与第一轴51之间、以及在第二端部48与第二轴52之间的各轴周围设置有圆筒状的橡胶衬套55。橡胶衬套55的个数总共是8个。橡胶衬套55是设置于防振机构40的防振部件的一种。各橡胶衬套55的安装方法没有特别限定，能够采用公知的方法。例如，也可以将橡胶衬套55的外圈部压入第一端部47以及第二端部48，也可以将第一轴51以及第二轴52压入橡胶衬套55的内圈部。除了压入之外，也可以同时采用基于紧固的紧固接合。虽省略了图示，但橡胶衬套55的外圈部和内圈部例如是金属制的，橡胶衬套55在外圈部与内圈部之间包含橡胶制的圆筒状的衬套主体。该衬套主体分别固定于外圈部和内圈部，通过衬套主体的变形，第一端部47以及第二端部48能够相对于各轴体位移。

橡胶衬套55设置于平行连杆43的关节部。换言之，橡胶衬套55配置在防振机构40内的振动传递路径上。根据上述橡胶衬套55，能够得到X方向以及Y方向上的防振效果。

在防振机构40中，第一框架41固定于θ驱动器26(升降机支承部7)，所以与θ驱动器26成为一体。第二框架42固定于升降机单元28，所以与升降机单元28成为一体。基于这些情况，在输送车6中，在升降机支承部7与升降机单元28之间夹装有包含弹簧44以及橡胶衬套55的防振部件。

根据本发明的输送车6，通过夹装在升降机支承部7与升降机单元28之间的弹簧44以及橡胶衬套55，来吸收输送车6行驶时产生的振动。在该情况下，与应由夹具单元31把持的物品10相比，在比较重的(具有大重量的)升降机单元28设置防振功能。因此，即使物品10的重量变化，也不易产生防振效果的偏差。因此，能够稳定地得到防振效果。这与上述专利文献1所记载的技术那样对夹具单元设置防振功能的情况相比，在防振效果的方面实现有利的效果。

升降机单元28经由平行连杆43上下移动自如地安装于升降机支承部7。在发挥防振效果时，升降机单元28相对于升降机支承部7上下移动(参照图7A以及图7B)。如图7A所示，在升降机单元28的通常位置，根据施加于升降机单元28的负载(在夹具单元31把持物品10的情况下，包含物品10的负载)，弹簧44缩短规定长度，第二框架42位于某高度。如图7B所示，在对升降机单元28进一步施加负载，或者在输送车6中产生冲击时，弹簧44进一步收缩，第二框架42下降到下降位置。如图7B以及图8所示，处于下降位置的第二框架42保持水平的姿势。因此，能够防止升降机单元28倾斜的情况。

在平行连杆43中设置于第一轴51以及第二轴52的各轴周围的橡胶衬套55变形，由此允许平行连杆43的位移。能够变形且具有弹性的橡胶衬套55能够进一步提高输送车6的防振效果。

以上，虽说明了本发明的实施方式，但本发明并不限于上述实施方式。

例如在输送车6中，也可以设置与上下移动的升降机单元28对应的各种传感器相关的结构。例如，输送车6具备使升降机单元28横向移动的横向移载部24。如图9所示，在保管架11的载置部8(参照图1)安装有反射板72。在升降机单元28搭载有基于对上述反射板72的投光以及受光来检测是否在保管架11载置有物品10的载荷传感器71。通常，在通过未图示的控制器检测出来自反射板72的受光的情况下判定为没有载置(不存在)物品10，在没有检测出来自反射板72的受光的情况下判定为载置(存在)有物品10。然而，如图9所示，在没有检测出来自反射板72的受光的情况下，横向移载部24也可以使升降机单元28横向移动。由此，载荷传感器71能够维持向规定方向投光的状态并且进行扫描动作。

在本实施方式的输送车6中，升降机单元28能够相对于升降机支承部7上下位移。其结果是，有时载荷传感器71的光轴偏移。如上所述，利用横向移载部24使升降机单元28横向移动，由此能够进行使用了载荷传感器71的横方向的(水平方向的)扫描动作。由此，在没有检测出来自反射板72的受光的情况下，能够确认是否在保管架11实际载置有物品10或者来自载荷传感器71的投光是否没有到达反射板72的位置(即、产生了光轴偏移)。其结果是，能够可靠地检测保管架11上的物品10的有无。

如图10所示，对于晃动检测传感器76也可以在结构上下工夫。即、若是以往，则晃动检测传感器设置于升降机单元28的主体框架61等，但也可以将晃动检测传感器76固定在固定于第一框架41的底板部41c等的托架74。第一框架41固定在作为升降机支承部7的一部分的θ驱动器26，所以能够进行基于对反射板77的投光以及受光的正确的晃动的检测而不影响升降机单元28的移动。

另外，包含防振部件的防振机构的结构并不限于上述实施方式。例如，橡胶衬套也可以仅设置于第一轴和第二轴中的任一方。也可以省略橡胶衬套。作为防振部件，也可以代替弹簧而使用其它弹性部件。作为其它弹性部件(防振部件)例如可举出橡胶部件、或者硅胶等。防振部件也可以是弹性部件以外的部件。

也可以使用平行连杆以外的连结机构。只要是允许使升降机单元沿上下或者其它方向移位的连结机构，也可以使用其它公知的结构。也可以在升降机支承部与升降机单元之间设置有弹性部件、减震器等。

升降机支承部7的结构并不限于上述实施方式的结构。也可以省略横向移载部24和θ驱动器26中的至少一方。

也可以不采用参照图9以及图10说明的各种功能以及结构。也可以省略载荷传感器71的扫描动作。也可以将晃动检测传感器76设置于主体框架61。

Claims (4)

1.一种高架输送车，其特征在于，具备：

夹具单元，其把持物品；

升降机单元，其使上述夹具单元升降；以及

升降机支承部，其支承上述升降机单元，

上述升降机单元上下移动自如地安装于升降机支承部，

在上述升降机支承部与上述升降机单元之间夹装有防振部件。

2.根据权利要求1所述的高架输送车，其特征在于，

上述升降机单元经由平行连杆上下移动自如地安装于升降机支承部。

3.根据权利要求2所述的高架输送车，其特征在于，

上述平行连杆包含：经由第一轴安装于上述升降机支承部的第一端部、和经由第二轴安装于上述升降机单元的第二端部，

在上述第一端部与上述第一轴之间以及上述第二端部与上述第二轴之间的至少一方设置有作为上述防振部件的橡胶衬套。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的高架输送车，其特征在于，还具备：

横向移动机构，其使上述升降机单元横向移动，

在上述升降机单元搭载传感器，该传感器基于对安装于保管架的反射板的投光以及受光来检测是否在上述保管架载置有上述物品，

在没有检测出来自上述反射板的受光的情况下，上述横向移动机构使上述升降机单元横向移动。