CN116711166A - 利用激光发光器件的平板基板加热装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开平板基板加热装置，其包括：模块支撑板，在上部面设置有多个单位模块区域；多个激光光源模块，分别放置于上述模块支撑板的单位模块区域，具有多个激光光源器件；供电基板，位于上述模块支撑板的下部，用于向上述激光光源模块供电；以及电极端子，以能够分离的方式将上述激光光源模块和供电基板固定在上述模块支撑板的上部面和下部面并电连接。

Description

利用激光发光器件的平板基板加热装置

技术领域

本发明涉及利用激光发光器件来加热半导体晶圆或玻璃基板等平板基板的平板基板加热装置。

背景技术

半导体晶圆或玻璃基板等平板基板可进行硅薄膜结晶化工艺、离子注入工艺及激活工艺等热处理工艺。上述热处理工艺通常利用包括卤素灯作为光源的卤素灯加热装置来进行。

上述卤素灯加热装置形成为向平板基板的前部面或后部面照射光，利用反射板重新向平板基板照射光的结构。因此，在上述卤素灯加热装置中，为了增加平板基板的温度均匀度，闪光灯排列结构和反射板结构将会变得复杂。并且，在上述卤素灯加热装置中，因卤素灯的寿命短而导致装置的维护费用增加。

最近，开发一种利用垂直腔面发射激光器(Vertical Cavity Surface EmittingLaser，VCSEL)的平板基板加热装置。利用上述垂直腔面发射激光器的平板基板加热装置将包括多个垂直腔面发射激光器的垂直腔面发射激光器模块排列成平面形状来向大面积区域照射激光束。利用上述垂直腔面发射激光器的平板基板加热装置需要向每个平板基板加热装置模块独立地供给电力，因此，电力线的数量将会增加，且配线变得复杂。并且，在利用上述垂直腔面发射激光器的平板基板加热装置中，当一个垂直腔面发射激光器发生故障时，很难分离对应垂直腔面发射激光器模块与电力线。并且，利用上述垂直腔面发射激光器的平板基板加热装置分别需要向各个垂直腔面发射激光器模块供给冷却水，但由于电力线而导致结构变得复杂。并且，在利用上述垂直腔面发射激光器的平板基板加热装置中，每单位面积的电力线的数量和结构部件的数量将会增加，从而故障修理将会花费很长的时间。

发明内容

技术问题

本发明的目的在于，提供因减少电力线和结构部件的数量而结构简单且维护有效的平板基板加热装置。

技术方案

本发明的平板基板加热装置的特征在于，包括：模块支撑板，在上部面设置有多个单位模块区域；多个垂直腔面发射激光器模块，分别放置于上述模块支撑板的单位模块区域，具有多个激光光源器件；供电基板，位于上述模块支撑板的下部，用于向上述垂直腔面发射激光器模块供电；以及电极端子，以能够分离的方式将上述垂直腔面发射激光器模块和供电基板固定在上述模块支撑板的上部面和下部面并电连接。

并且，上述垂直腔面发射激光器模块可包括：器件基板，包括器件区域和端子区域，在上述端子区域设置有从上部面向下部面贯通的器件端子孔；垂直腔面发射激光器器件，排列在上述器件基板的器件区域；端子垫，沿着上述器件端子孔的上端外径以环形状形成；以及冷却块，位于上述器件基板的下部，具有块端子孔。

并且，上述模块支撑板可具有支撑本体板，上述支撑本体板具有支撑端子孔，上述支撑端子孔形成于上述单位模块区域中的对应于上述器件端子孔的位置，上述供电基板具有形成在对应于上述支撑端子孔的位置的电力端子孔，上述电极端子包括：上部端子螺栓，贯通上述器件端子孔和块端子孔来插入到上述支撑端子孔的上部；下部端子螺栓，贯通上述电力端子孔来插入到上述支撑端子孔的下部；以及连接螺母，位于上述支撑端子孔的内部，与上述上部端子螺栓及上述下部端子螺栓螺纹结合。

并且，上述上部端子螺栓可以与上述端子垫电连接，上述下部端子螺栓与上述供电基板电连接。

并且，上述电极端子还可包括位于上述支撑端子孔的内周面与连接螺母的外周面之间的绝缘管。

并且，上述支撑本体板可具有从上部面向下部面贯通的支撑冷却水孔，上述模块支撑板还包括支撑下部突起，上述支撑下部突起从上述支撑冷却水孔的下部向上述支撑本体板的下部形成，具有与上述支撑冷却水孔连通的突起冷却水孔，上述冷却块还包括与上述支撑冷却水孔连接的块冷却流路，用于冷却上述垂直腔面发射激光器器件的冷却水通过上述突起冷却水孔、支撑冷却水孔及上述块冷却流路流动。

并且，上述平板基板加热装置还可包括与上述支撑下部突起相结合并用于向上述突起冷却水孔供给上述冷却水的冷却水供给模块，上述冷却水供给模块包括：冷却水供给本体，具有对应于上述模块支撑板的平面形状；冷却水流入管，用于向上述冷却水供给本体供给上述冷却水；以及冷却水流出管，使上述冷却水从上述冷却水供给本体流出，上述冷却水供给本体包括：至少一对本体内部流路，在上述冷却水供给本体的内部，沿着排列上述垂直腔面发射激光器模块的方向延伸；至少一对本体上部流路，从上述本体内部流路向冷却水供给本体的上部面贯通，与上述突起冷却水孔相连接；以及一对本体下部流路，从上述本体内部流路向冷却水供给本体的下部面贯通，上述冷却水流入管和上述冷却水流出管分别与一对上述本体下部流路相结合。

并且，上述冷却水供给本体可被分成多个单位供给本体，上述单位供给本体分别包括上述本体内部流路、本体上部流路及本体下部流路。

并且，上述冷却水供给本体还可包括本体连接流路，当上述本体内部流路形成有多对时，上述本体连接流路连接上述本体内部流路。

发明的效果

本发明的平板基板加热装置可利用能够上下分离的电极端子来将每个垂直腔面发射激光器模块固定在模块型电极基板，因此可以更加轻松地分离发生故障的垂直腔面发射激光器模块。

本发明的平板基板加热装置可利用电极端子和供电基板来向每个垂直腔面发射激光器模块供给电力，从而删除了电力线，因此可以有效地进行维护。

并且，本发明的平板基板加热装置可通过独立形成在模块支撑板的支撑冷却水孔和突起冷却水孔来向每个垂直腔面发射激光器模块供给冷却水，上述模块支撑板由金属形成，因此，冷却水供给流路变得简单并可以有效地进行维护。

并且，本发明的平板基板加热装置在每个垂直腔面发射激光器模块形成用于供给冷却水的流路，因此，可以独立地轻松分离发生故障的垂直腔面发射激光器模块。

附图说明

图1为本发明一实施例的利用激光发光器件的平板基板加热装置的分解立体图。

图2为结合图1的平板基板加热装置的状态的垂直剖视图。

图3为图2中的“A”的部分放大图。

图4为结合图1的平板基板加热装置的状态的其他位置的垂直剖视图。

图5为图4中的“B”的部分放大垂直剖视图。

图6为图1的垂直腔面发射激光器模块的部分立体图。

图7为图6的垂直腔面发射激光器器件的“A-A”的垂直剖视图。

图8为图1的供电基板的俯视图。

图9为图1的冷却水供给模块底部面立体图。

图10为图9的冷却水供给模块的侧视图。

图11为图10中的“C-C”的水平剖视图。

图12为图10中的“D-D”的水平剖视图。

具体实施方式

以下，参照实施例和附图，更加具体地说明本发明的利用激光发光器件的平板基板加热装置。

首先，对本发明一实施例的利用激光发光器件的平板基板加热装置的结构进行说明。

图1为本发明一实施例的利用激光发光器件的平板基板加热装置的分解立体图。图2为结合图1的平板基板加热装置的状态的垂直剖视图。图3为图2中的“A”的部分放大图。图4为结合图1的平板基板加热装置的状态的其他位置的垂直剖视图。图5为图4中的“B”的部分放大垂直剖视图。图6为图1的垂直腔面发射激光器模块的部分立体图。图7为图6的垂直腔面发射激光器器件的“A-A”的垂直剖视图。图8为图1的供电基板的俯视图。图9为图1的冷却水供给模块底部面立体图。图10为图9的冷却水供给模块的侧视图。图11为图10中的“C-C”的水平剖视图。图12为图10中的“D-D”的水平剖视图。

参照图1至图12，本发明一实施例的平板基板加热装置10包括模块支撑板100、垂直腔面发射激光器模块200、供电基板300、电极端子400及冷却水供给模块500。

另一方面，图1中未说明的附图标记30为在包括平板基板加热装置的热处理装置中形成热处理腔室并支撑平板基板加热装置的内部壳体。

在上述平板基板加热装置10中，在模块支撑板100的上部设置垂直腔面发射激光器模块200，在模块支撑板100的下部设置供电基板300。并且，在上述平板基板加热装置10中，垂直腔面发射激光器模块200和供电基板300通过电极端子400物理固定在模块支撑板100。在此情况下，在上述平板基板加热装置10中，垂直腔面发射激光器模块200和供电基板300分别在模块支撑板100的上部和下部通过电极端子400固定并电连接。

因此，上述平板基板加热装置10通过电极端子400从供电基板300向垂直腔面发射激光器模块200供电。并且，上述平板基板加热装置10可分离电极端子400来从模块支撑板100分离垂直腔面发射激光器模块200。

上述平板基板加热装置10可向位于上部的平板基板照射从垂直腔面发射激光器模块200生成的激光束来加热平板基板。其中，上述平板基板可以为半导体晶圆或玻璃基板。并且，上述平板基板可以为树脂膜等柔性基板。并且，上述平板基板可包括形成在表面或内部的多种器件或导电图案。

上述平板基板加热装置10可适用于对平板基板a进行硅薄膜结晶化工艺、离子注入工艺或激活工艺等制作工艺的加热装置。

上述模块支撑板100可包括支撑本体板110及支撑下部突起120。上述模块支撑板100可形成为圆板或四边形板。当平板基板为半导体晶圆时，上述模块支撑板100可形成为圆形板状。并且，当平板基板为玻璃基板时，上述模块支撑板100可形成为四边形板状。

上述模块支撑板100可被划分为多个单位模块区域100a。上述单位模块区域100a为放置各个垂直腔面发射激光器模块200的区域。上述单位模块区域100a可相邻排列成格子状。因此，多个上述单位模块区域100a可沿着长度方向和宽度方向相邻设置。

上述支撑本体板110可包括支撑端子孔111及支撑冷却水孔112。并且，上述支撑本体板110还可包括基板支撑槽113。上述支撑本体板110可形成为具有规定厚度的圆形板状。并且，上述支撑本体板110可以由具有机械强度和热传导性的金属材质形成。例如，上述支撑本体板110可以由不锈钢或铝材质形成。上述支撑本体板110可被划分为多个单位模块区域100a。在上述单位模块区域100a分别设置垂直腔面发射激光器模块200，因此，电极端子400可分别插入到一对支撑端子孔111。其中，电极端子400可以为正极端子和负极端子。

上述支撑端子孔111可从支撑本体板110的上部面向下部面贯通形成。上述支撑端子孔111可在每个单位模块区域100a形成一对。即，上述支撑端子孔111可形成2对。上述支撑端子孔111可根据垂直腔面发射激光器模块200的结构形成适当数量的对。例如，上述支撑端子孔111可在单位模块区域100a形成一对或两对。当上述支撑端子孔111形成两对以上时，可在单位模块区域100a沿着宽度方向或对角线方向隔开设置。

上述支撑端子孔111可包括绝缘支撑环111a。上述绝缘支撑环形成为从支撑端子孔111的上部向内侧方向突出的环形状。上述绝缘支撑环111a的内径小于支撑端子孔111的内径。

上述支撑冷却水孔112从支撑本体板110的上部面向下部面贯通形成。至少2个上述支撑冷却水孔112在单位模块区域100a隔开设置。上述支撑冷却水孔112为使冷却位于上部的垂直腔面发射激光器模块200的冷却水流动的通路。

上述基板支撑槽113从支撑本体板110的下部面向上部方向以规定深度形成。多个上述基板支撑槽113可在支撑本体板110分散形成。上述基板支撑槽113可提供结合用于将供电基板300固定在模块支撑板100的基板固定螺栓的通路。

上述支撑下部突起120在支撑本体板110的下部面以规定高度的环形状形成在支撑冷却水孔112的位置。上述支撑下部突起120可以与支撑本体板110形成为一体。上述支撑下部突起120可形成一对，一个可提供使冷却水流入的通路，另一个可提供使冷却水流出的通路。

上述支撑下部突起120在内部包括上下延伸并贯通支撑冷却水孔112的突起冷却水孔121。上述突起冷却水孔121的直径可以与支撑冷却水孔112的直径相同。上述突起冷却水孔121与支撑冷却水孔112一同提供使冷却水流动的通路。因此，上述突起冷却水孔121可分别提供使冷却水流入的通路和使冷却水流出的通路。

上述垂直腔面发射激光器模块200可包括器件基板210、垂直腔面发射激光器器件220、端子垫230及冷却块240。另一方面，代替垂直腔面发射激光器器件220，上述垂直腔面发射激光器模块200可以由照射激光束的激光光源器件形成。在此情况下，上述垂直腔面发射激光器模块200可被称为激光光源模块。因此，在本发明中，垂直腔面发射激光器模块200和垂直腔面发射激光器器件220分别以包括激光光源模块和激光光源器件的概念使用。并且，上述激光光源器件可包括面发光器件或边缘发光器件。

多个上述垂直腔面发射激光器模块200沿着格子方向排列设置在模块支撑板100的上部面。上述垂直腔面发射激光器模块200可分别设置在模块支撑板100的上部面上的单位模块区域100a。上述垂直腔面发射激光器模块200可以向平板基板照射从垂直腔面发射激光器器件220发生的激光束。上述垂直腔面发射激光器模块200可排列在待加热的平板基板的照射区域照射激光束所需要的区域。上述垂直腔面发射激光器模块200可根据照射区域的面积和形状而具有多种面积和形状。并且，上述垂直腔面发射激光器模块200可根据所使用的数量而具有适当的面积和形状。

另一方面，其中，参照图2的图示，x方向表现为一侧和另一侧或一端或另一端，y方向表现为前侧和后侧或前端和后端。并且，x方向表现为宽度或宽度方向，y方向为长度或长度方向。

上述垂直腔面发射激光器模块200可包括安装垂直腔面发射激光器器件220的器件区域200a和结合电极端子400的端子区域200b。在上述垂直腔面发射激光器模块200中，根据平面形状和配置在模块支撑板100的结构，器件区域200a和端子区域200b能够以多种形状配置在多个位置。例如，上述器件区域200a可形成为四边形，端子区域200b可在器件区域200a的前端另一侧和后端一侧突出形成。上述端子区域200b可形成在器件区域200a的前端中的另一侧方向的一半区域和器件区域200a的后端中的一侧方向的一半区域。即，上述端子区域200b能够以对应于器件区域200a的宽度的一半的宽度形成。

并且，当上述垂直腔面发射激光器模块200沿着y轴方向排列在模块支撑板100时，在与位于前端另一侧的端子区域200b相邻的垂直腔面发射激光器模块200的后端一侧设置的端子区域200b可以沿着x轴方向相邻设置。在上述子照射模块220中，器件区域200a和端子区域200b可分别沿着x轴方向排列成一直线，器件区域200a和端子区域200b沿着y轴方向交替排列。上述子照射模块220可以被配置成使与沿着y轴和x轴方向相邻的子照射模块220的螺距最小。并且，上述子照射模块220可以被配置成螺距最大达到2mm。

在上述垂直腔面发射激光器模块200中，垂直腔面发射激光器器件220可在器件区域200a沿着x方向和y方向排列并排列成格子形状。并且，在上述垂直腔面发射激光器模块200中，在端子区域200b设置电极极片。在上述垂直腔面发射激光器模块200中，电极极片与垂直腔面发射激光器器件220可以电连接，可从电极极片向垂直腔面发射激光器器件220供电。虽然并未具体示出，但上述垂直腔面发射激光器模块200可通过垂直腔面发射激光器器件220设置在器件基板210的多个导电图案与电极极片电连接。

上述器件基板210可以由用于安装电子器件的一般基板形成。例如，上述器件基板210可以为印刷电路板、陶瓷基板。上述器件基板210可被划分为安装垂直腔面发射激光器器件220的器件区域200a及设置端子垫230的端子区域200b。其中，上述器件区域200a和端子区域200b的概念与上述说明的垂直腔面发射激光器模块200的器件区域200a及端子区域200b相同。

上述器件基板210可具有器件端子孔211。上述器件端子孔211可在器件基板210的端子区域200b从上部面向下部面贯通形成。上述器件端子孔211可以与模块支撑板100的支撑端子孔111连通。一对上述器件端子孔211可以在一个端子区域200b相互隔开形成。上述器件端子孔211可包括使正极端子贯通的器件端子孔211和负极端子贯通的器件端子孔211。

上述垂直腔面发射激光器器件220可以由照射激光束的一般垂直腔面发射激光器器件222形成。例如，上述垂直腔面发射激光器器件220可以为使面发光激光发生振荡的器件。上述垂直腔面发射激光器器件220的平面可呈四边形状，优选地，可呈正方形或宽度与长度的比例不超过1：2的矩形形状。上述垂直腔面发射激光器器件200被制成六面体形状的芯片，在一面，高输出的激光束发生振荡。上述垂直腔面发射激光器器件200使高输出的激光束发生振荡，因此，与现有的卤素灯相比，可以有效地加热平板基板，且寿命也相对较长。

上述垂直腔面发射激光器器件220在多个器件基板210的上部面上的、器件区域200a沿着x方向和y方向排列并排列成格子形状。上述垂直腔面发射激光器器件220可根据器件区域200a的面积和所需要的激光束的能量的量以适当的数量和适当的间隔形成。并且，当发光的激光束与相邻的垂直腔面发射激光器器件220的激光束重叠时，上述垂直腔面发射激光器器件220可按能够照射均匀的能量的间隔设置。

上述端子垫230可根据形成在器件基板210的端子区域200b的器件端子孔211的上端外径以环形状的垫形成。因此，上述端子垫230可在每个端子区域200b中对应于器件端子孔211来形成一对。上述端子垫230可使用+端子垫230和–端子垫230。上述端子垫230可电连接在垂直腔面发射激光器器件220、222。如上所述，上述端子垫230可与形成在器件基板210的上部面的导电图案电连接，且可电连接在垂直腔面发射激光器器件220。上述端子垫可供给垂直腔面发射激光器器件220的驱动所需要的电力。上述端子垫230可以由形成在基板的一般垫形成。上述端子垫230可以由导电性优秀的铜等金属形成。

上述冷却块240可包括块端子孔241及块冷却流路242。上述冷却块240能够以对应于器件基板210的平面形状的平面形状和规定高度形成。上述冷却块240可以由具有热传导性的陶瓷材质或金属材质形成。上述冷却块240可通过单独的粘结剂层250结合在器件基板210的下部面。上述冷却块240可向下部释放从安装在器件基板210的垂直腔面发射激光器器件220释放的热量。因此，上述冷却块240可以冷却器件基板210和垂直腔面发射激光器器件220。

上述块端子孔241可从冷却块240的上部面向下部面贯通形成。上述块端子孔241可形成在对应于器件基板210的器件端子孔211的位置。因此，上述块端子孔241可在端子区域200b形成一对，且可分别与器件端子孔211连接。上述块端子孔241可提供使电极端子400贯通的通路。即，上述块端子孔241可提供使正极端子和负极端子贯通的通路。

在上述块冷却流路242中，在冷却块240的下部面形成块流入口242a和块流出口242b，在冷却块240的内部由多种形态的块内部流路242c形成。例如，上述块冷却流路242可包括从下部面向上部方向延伸的2个垂直流路和连接垂直流路的一个水平流路。上述块冷却流路242的垂直剖面可形成为“∩”字形状。上述块冷却流路242可根据冷却块240的大小形成2个以上。

上述供电基板300可包括电力端子孔310及电力突起孔320。上述供电基板300可包括固定连接器330及连接器340。虽然并未具体示出，但上述供电基板300可以在上部面和下部面形成用于供电的多种导电图案。

上述供电基板300的平面形状可对应于模块支撑板100的形状。上述供电基板300可以由一般的基板形成。例如，上述供电基板300由印刷电路板或陶瓷基板形成。上述供电基板300可位于模块支撑板100的下部，通过电极端子400与垂直腔面发射激光器模块200电连接，可向垂直腔面发射激光器器件220供电。

上述电力端子孔310从供电基板300的上部面向下部面贯通。当供电基板300结合在模块支撑板100的下部时，上述电力端子孔310形成在对应于模块支撑板100的支撑端子孔111的位置。因此，上述电力端子孔310可以与支撑端子孔111连通。上述电力端子孔310可对应于支撑端子孔111来形成一对。

上述电力端子孔310可提供使电极端子400贯通的通路。因此，上述电力端子孔310的内径可以对应于电极端子400的外径。上述电力端子孔310可以使一个正极端子贯通，另一个可以使负极端子贯通。

上述电力突起孔320从供电基板300的上部面向下部面贯通。当供电基板300结合在模块支撑板100的下部时，上述电力突起孔320的形成位置对应于模块支撑板100的支撑下部突起120的位置。因此，上述电力突起孔320可提供使支撑下部突起120贯通的通路。上述电力突起孔320可以对应于支撑下部突起120来形成一对。上述电力突起孔320可结合在支撑下部突起120，使支撑下部突起120从上部向下部结合并向下部突出。

上述固定连接器330可结合在供电基板并与供电基板电连接。上述固定连接器330向供电基板300供给从外部供给的电力来向垂直腔面发射激光器器件220。上述固定连接器330可以与形成在供电基板300的多种导电图案电连接。上述固定连接器330可使用基板所使用的一般连接器。上述固定连接器330可根据供电基板300的面积和垂直腔面发射激光器器件220的数量及配置关系来形成多个。

上述连接器340以可分离的方式结合在固定连接器330，且与固定连接器330电连接。上述连接器340可向固定连接器330供给从外部供给的电力。上述连接器340可以使用基板所使用的一般连接器。

上述电极端子400可包括上部端子螺栓410、下部端子螺栓420、连接螺母430及绝缘管440。

上述电极端子400在垂直腔面发射激光器模块200的上部和供电基板300的下部插入到模块支撑板100并使垂直腔面发射激光器模块200与供电基板300电连接。并且，上述电极端子400分别将垂直腔面发射激光器模块200独立地固定在模块支撑板100。并且，上述电极端子400通过螺栓和螺母方式结合，因此能够轻松结合和分离。因此，当上述特定垂直腔面发射激光器模块200发生故障时，仅可以分离用于固定对应垂直腔面发射激光器模块200的电极端子400来更换垂直腔面发射激光器模块200。

上述上部端子螺栓410可以由包括在下部形成螺纹的上部本体部和与上部本体部的上部相结合的上部头部的一般螺栓形成。在上述上部端子螺栓410中，上部本体部贯通垂直腔面发射激光器模块200的器件端子孔211和块端子孔241并插入到支撑端子孔111。因此，上述上部端子螺栓410的上部本体部能够以形成在下部的螺纹能够设置在模块支撑板100的支撑端子孔111的适当位置的长度形成。

上述上部端子螺栓410可以由导电性材质形成。例如，上述上部端子螺栓410可以由金属材质形成。上述上部端子螺栓410可以由不锈钢材质、铜材质或铝材质形成。上述上部端子螺栓410可以与端子垫230电连接。更具体地，上述上部头部的下部面可放置于垂直腔面发射激光器模块200的器件基板210的上部面并与端子垫230电连接。上述上部头部与端子垫230的上部面直接接触。因此，上述上部端子螺栓410通过端子垫230与垂直腔面发射激光器器件220电连接。

上述下部端子螺栓420可由包括在下部形成螺纹的下部本体部和与下部本体部的上部相结合的下部头部的一般螺栓形成。上述下部端子螺栓420可以为与上部端子螺栓410相同的螺栓。只是，上述下部端子螺栓420可在下部通过厚度相对较薄的供电基板300插入到模块支撑板100，因此长度相对较短。上述下部端子螺栓420可以由导电性材质形成。例如，上述下部端子螺栓420可以由金属材质形成。上述下部端子螺栓420可以由不锈钢材质、铜材质或铝材质形成。

上述下部端子螺栓420的下部本体部贯通供电基板300的电力端子孔310并插入到支撑端子孔111。上述下部端子螺栓420可以与供电基板300电连接。更具体地，上述下部头部的下部面可以与供电基板300的下部面相接触。因此，上述下部端子螺栓420可以与形成在供电基板300的下部面的导电图案电连接。因此，上述下部端子螺栓420可向上部端子螺栓410供给被供给到供电基板300的电力。

上述连接螺母430可呈上部和下部开放的管形状，在内周面整体上形成螺纹。上述连接螺母430的长度可大于模块支撑板100的厚度的一半以上。并且，上述连接螺母430的外径小于支撑端子孔111的内径。上述连接螺母430插入到支撑端子孔111的内部。上述连接螺母430能够以使下端部与支撑端子孔111的下端部一致的方式设置在支撑端子孔111的内部。上述连接螺母430能够以使上端部达到支撑端子孔111高度的1/2位置的方式插入。

因此，上述连接螺母430可位于支撑端子孔111的内部，上部端子螺栓410螺纹结合在上部，下部端子螺栓420螺纹结合在下部。上述连接螺母430能够以上部端子螺栓410和下部端子螺栓420螺纹结合所需要的长度形成。上述连接螺母430可以由导电性材质形成。例如，上述连接螺母430可以由金属材质形成。上述连接螺母430可以由不锈钢材质、铜材质或铝材质形成。

上述连接螺母430通过与上部端子螺栓410和下部端子螺栓420螺纹结合来使得上部端子螺栓410的上部头部与垂直腔面发射激光器模块200的端子垫230压接，下部端子螺栓420的下部头部与供电基板的下部面压接。并且，上述连接螺母430可以与上部端子螺栓410及下部端子螺栓420螺纹结合，因此，可以更轻松地分离上部端子螺栓410或下部端子螺栓420。并且，上述连接螺母430可以使上部端子螺栓410与下部端子螺栓420电连接。

上述绝缘管440的内周面可形成为对应于连接螺母430的外周面的管形状。上述绝缘管440由电绝缘体形成。例如，上述绝缘管440可以由树脂物质形成。上述绝缘管440位于连接螺母430的外周面与支撑端子孔111的内周面之间，从而使连接螺母430与模块支撑板100电绝缘。并且，上述绝缘管440位于向连接螺母430的上部露出的上部端子螺栓410的外周面与支撑端子孔111的内周面之间，从而使上部端子螺栓410与模块支撑板100电绝缘。在此情况下，上述绝缘管440可在与绝缘支撑环接触的部分中以相对小的直径形成。

上述冷却水供给模块500可包括冷却水供给本体510、冷却水流入管520及冷却水流出管530。

上述冷却水供给模块500可位于供电基板的下部，向模块支撑板100和垂直腔面发射激光器模块200供给冷却水。上述冷却水供给模块500向模块支撑板100和垂直腔面发射激光器模块200供给通过冷却水流入管520向冷却水供给本体510的内部供给的冷却水。并且，上述冷却水供给模块500通过冷却水流出管530使从模块支撑板100和垂直腔面发射激光器模块200流入的冷却水向外部流出。

上述冷却水供给模块500可位于模块支撑板100的下部。上述冷却水供给模块500可结合在模块支撑板100的支撑下部突起120，通过突起冷却水孔121向模块支撑板100供给从外部供给的冷却水。

并且，在上述冷却水供给模块500中，冷却水供给本体510能够以水平方向为基准分成多个单位供给本体。在此情况下，在上述冷却水供给模块500中，冷却水流入管520和冷却水流出管530也可以分别结合在单位供给本体。

上述冷却水供给本体510可包括本体内部流路511、本体上部流路512及本体下部流路513。并且，上述冷却水供给本体510还可包括本体连接流路514及连接孔515。

上述冷却水供给本体510的平面形成可对应于模块支撑板100的形状。上述冷却水供给本体510可以由具有规定厚度的圆形板状形成。为了在内部形成流路，上述冷却水供给本体510的上板和下板可以结合而成。更具体地，上述冷却水供给本体510可分别在上板和下板形成本体内部流路511的一半形状，上板和下板可结合来形成流路。

并且，上述冷却水供给本体510能够以水平面为基准分成多个单位供给本体。在此情况下，上述单位供给本体可分别独立地形成本体内部流路511、本体上部流路512及本体下部流路513。因此，上述单位供给本体可冷却相对较少数量的垂直腔面发射激光器模块200，因此可以更加有效地冷却垂直腔面发射激光器模块200。

另一方面，在以下的说明中，以冷却水供给本体510位于模块支撑板100的状态为基准说明方向和位置。

上述本体内部流路511在冷却水供给本体510的内部沿着x方向或y方向水平方向延伸。2个上述本体内部流路511可形成相互平行延伸的一对。并且，上述本体内部流路511可根据单位供给本体的面积形成为一对或多对。即，上述本体内部流路511可形成至少一对。上述本体内部流路511沿着位于上部的垂直腔面发射激光器模块200的垂直腔面发射激光器器件220的排列方向延伸。例如，上述本体内部流路511可沿着x方向或y方向延伸。并且，上述本体内部流路511沿着模块支撑板100的突起冷却水孔121的下部延伸。在此情况下，上述本体内部流路511可形成一对，分别沿着一对突起冷却水孔121的下部延伸。上述本体内部流路511可提供向突起冷却水孔121流出的冷却水流动的通路和从突起冷却水孔121流入的冷却水流动的通路。

上述本体上部流路512从本体内部流路511向冷却水供给本体510的上部面贯通形成。多个上述本体上部流路512可沿着本体内部流路511的延伸方向隔开形成。即，上述本体上部流路512可沿着垂直腔面发射激光器器件220的排列方向隔开形成。上述本体上部流路512的数量可对应于突起冷却水孔121的数量。并且，一对上述本体上部流路512可分别形成在一对本体内部流路511。并且，上述本体上部流路512可对应于本体内部流路511来形成至少一对。上述本体上部流路512可在突起冷却水孔121的下部分别与突起冷却水孔121的下端相结合。因此，上述本体上部流路512可分别独立地向垂直腔面发射激光器模块200供给冷却水。并且，供给上述冷却水的本体上部流路512和一对本体上部流路512使向垂直腔面发射激光器模块200供给的冷却水重新通过模块支撑板100流入。

上述本体上部流路512可连接突起冷却水孔121与本体内部流路511，可提供使本体内部流路511的冷却水向突起冷却水孔121流动的通路。并且，上述本体上部流路512可提供使冷却水从突起冷却水孔121向本体内部流路511流入的通路。

上述本体下部流路513从本体内部流路511向冷却水供给本体510的下部面贯通形成。上述本体下部流路513可形成在本体内部流路511的一端或另一端。与本体上部流路512不同，上述本体下部流路513可在每个本体内部流路511形成一个。并且，一对上述本体上部流路512可分别形成在一对本体内部流路511。

上述本体下部流路513可连接本体内部流路511、冷却水流入管520或冷却水流出管530。因此，上述本体下部流路513提供使冷却水流入管520的冷却水向本体内部流路511流入的通路。并且，上述本体下部流路513提供使本体内部流路511的冷却水向冷却水流出管530流出的通路。

并且，当上述冷却水供给本体510由多个单位供给本体形成时，本体下部流路513可在每个单位供给本体形成一对。

上述本体连接流路514在冷却水供给本体510的内部沿着水平方向延伸，沿着本体内部流路511的延伸方向和直角方向或倾斜规定角度的方向延伸。上述本体连接流路514相互连接本体内部流路511，提供使冷却水流动的通路。上述本体连接流路514形成一对，一个上述本体连接流路514可连接多个本体内部流路511中使冷却水向垂直腔面发射激光器器件220流出的本体内部流路511，另一个可连接多个本体内部流路511中使冷却水从垂直腔面发射激光器器件220流入的本体内部流路511。

上述本体连接流路514使得向与本体下部流路513相连接的本体内部流路511供给的冷却水被供给到并未与本体下部流路513相连接的本体内部流路511。

并且，当上述冷却水供给本体510由多个单位供给本体形成时，本体连接流路514可形成在每个单位供给本体。当本体内部流路511在上述单位供给本体形成一对时，本体连接流路514有可能不会形成。当本体内部流路511在上述单位供给本体形成两对时，本体连接流路514形成一对。

上述本体连接流路514可分别连接使冷却水向垂直腔面发射激光器器件220流出的多个本体内部流路511与使冷却水从垂直腔面发射激光器器件220流入的多个本体内部流路511。并且，上述本体连接流路514可分别在相反侧端连接本体内部流路511。因此，本体连接流路514可以使得在本体内部流路511流动的冷却水整体上均匀地流动。

上述连接孔515从冷却水供给本体510的上部面向下部面贯通形成，形成在并未形成有本体内部流路511的区域。上述连接孔515可提供收容连接在供电基板300下部的连接器340的空间。即，当上述冷却水供给模块500结合在供电基板的下部面时，供电基板的连接器340将被收容。

上述冷却水流入管520可以由能够使冷却水流动的一般金属管形成。上述冷却水流入管520可结合在冷却水供给本体510的本体下部流路513。上述冷却水流入管520可提供向本体下部流路513供给冷却水的通路。在此情况下，上述本体下部流路513可以向垂直腔面发射激光器器件220供给冷却水。

上述冷却水流出管530可由能够使冷却水流动的一般金属管形成。上述冷却水流出管530可结合在冷却水供给本体510的本体下部流路513。上述冷却水流出管530可提供使冷却水从本体下部流路513流出的通路。在此情况下，上述本体下部流路513可以流入向垂直腔面发射激光器器件220供给的冷却水。

接着，说明本发明一实施例的利用垂直腔面发射激光器的平板基板加热装置的作用。

在本发明的平板基板加热装置10中，在模块支撑板100的上部面设置垂直腔面发射激光器模块200，在模块支撑板100的下部设置供电基板300。上述电极端子400的上部端子螺栓410在上部贯通垂直腔面发射激光器模块200的器件端子孔211和块端子孔241并插入到模块支撑板100的支撑端子孔111。并且，首先，在上述模块支撑板100的内部插入设置连接螺母430。因此，上述上部端子螺栓410可以与连接螺母430螺纹结合并将垂直腔面发射激光器模块200固定在模块支撑板100。上述垂直腔面发射激光器模块200可分别独立地放置于模块支撑板100，分别通过上部端子螺栓410固定在模块支撑板100。上述电极端子400的下部端子螺栓420可在模块支撑板100的下部贯通供电基板300的电力端子孔310来与模块支撑板100的支撑端子孔111的连接螺母430螺纹结合并将供电基板300固定在模块支撑板100的下部面。在此情况下，上述供电基板300的上部面与模块支撑板100的下部面隔开，使得形成在上部面的多个导电图案可以与模块支撑板100的下部面电绝缘。

在上述电极端子400中，上部端子螺栓410电连接在垂直腔面发射激光器模块200，下部端子螺栓420与供电基板300电连接并一同结合在连接螺母430，因此，可以使垂直腔面发射激光器模块200与供电基板300电连接。在此情况下，在上述电极端子400中，在模块支撑板100的支撑端子孔111的内周面与连接螺母430之间设置绝缘管440，因此并不与模块支撑板100电连接。上述绝缘管440也可设置在上部端子螺栓410与支撑端子孔111的内周面之间。

并且，在上述平板基板加热装置10中，使从外部供给的冷却水通过冷却水流入管520并通过冷却水供给模块500的本体下部流路513、本体内部流路511及本体上部流路512供给到模块支撑板100的突起冷却水孔121和支撑冷却水孔112。上述冷却水可通过支撑冷却水孔112流向垂直腔面发射激光器模块200的块冷却流路242并冷却从垂直腔面发射激光器器件220产生的热量。上述冷却水重新通过模块支撑板100的支撑冷却水孔112和突起冷却水孔121并通过冷却水供给本体510的本体上部流路512、本体内部流路511及本体内部流路511向冷却水流出管530流出。因此，上述平板基板加热装置10在每个垂直腔面发射激光器模块200分别形成供给冷却水的流路，因此，可以独立分离发生故障的垂直腔面发射激光器模块200。

在本说明书中公开的实施例仅在多个可实施的例中选择了帮助本发明所属技术领域的普通技术人员理解的最优选实施例来揭示，本发明的技术思想并不限定或限制于这些实施例，在不超出本发明的技术思想的范围内可以进行多种变化、添加及变更，也可以存在等同的其他实施例。

Claims (9)

1.一种平板基板加热装置，其特征在于，包括：

模块支撑板，在上部面设置有多个单位模块区域；

多个垂直腔面发射激光器模块，分别放置于上述模块支撑板的单位模块区域，具有多个激光光源器件；

供电基板，位于上述模块支撑板的下部，用于向上述垂直腔面发射激光器模块供电；以及

电极端子，以能够分离的方式将上述垂直腔面发射激光器模块和供电基板固定在上述模块支撑板的上部面和下部面并电连接。

2.根据权利要求1所述的平板基板加热装置，其特征在于，上述垂直腔面发射激光器模块包括：

器件基板，包括器件区域和端子区域，在上述端子区域设置有从上部面向下部面贯通的器件端子孔；

垂直腔面发射激光器器件，排列在上述器件基板的器件区域；

端子垫，沿着上述器件端子孔的上端外径以环形状形成；以及

冷却块，位于上述器件基板的下部，具有块端子孔。

3.根据权利要求2所述的平板基板加热装置，其特征在于，

上述模块支撑板具有支撑本体板，上述支撑本体板具有支撑端子孔，上述支撑端子孔形成于上述单位模块区域中的对应于上述器件端子孔的位置，

上述供电基板具有形成在对应于上述支撑端子孔的位置的电力端子孔，

上述电极端子包括：

上部端子螺栓，贯通上述器件端子孔和块端子孔来插入到上述支撑端子孔的上部；

下部端子螺栓，贯通上述电力端子孔来插入到上述支撑端子孔的下部；以及

连接螺母，位于上述支撑端子孔的内部，与上述上部端子螺栓及上述下部端子螺栓螺纹结合。

4.根据权利要求3所述的平板基板加热装置，其特征在于，

上述上部端子螺栓与上述端子垫电连接，

上述下部端子螺栓与上述供电基板电连接。

5.根据权利要求3所述的平板基板加热装置，其特征在于，上述电极端子还包括位于上述支撑端子孔的内周面与连接螺母的外周面之间的绝缘管。

6.根据权利要求1所述的平板基板加热装置，其特征在于，

上述支撑本体板具有从上部面向下部面贯通的支撑冷却水孔，

上述模块支撑板还包括支撑下部突起，上述支撑下部突起从上述支撑冷却水孔的下部向上述支撑本体板的下部形成，具有与上述支撑冷却水孔连通的突起冷却水孔，

上述冷却块还包括与上述支撑冷却水孔连接的块冷却流路，

用于冷却上述垂直腔面发射激光器器件的冷却水通过上述突起冷却水孔、支撑冷却水孔及上述块冷却流路流动。

7.根据权利要求6所述的平板基板加热装置，其特征在于，

上述平板基板加热装置还包括与上述支撑下部突起相结合并用于向上述突起冷却水孔供给上述冷却水的冷却水供给模块，

上述冷却水供给模块包括：

冷却水供给本体，具有对应于上述模块支撑板的平面形状；

冷却水流入管，用于向上述冷却水供给本体供给上述冷却水；以及

冷却水流出管，使上述冷却水从上述冷却水供给本体流出，

上述冷却水供给本体包括：

至少一对本体内部流路，在上述冷却水供给本体的内部，沿着排列上述垂直腔面发射激光器模块的方向延伸；

至少一对本体上部流路，从上述本体内部流路向冷却水供给本体的上部面贯通，与上述突起冷却水孔相连接；以及

一对本体下部流路，从上述本体内部流路向冷却水供给本体的下部面贯通，

上述冷却水流入管和上述冷却水流出管分别与一对上述本体下部流路相结合。

8.根据权利要求7所述的平板基板加热装置，其特征在于，

上述冷却水供给本体被分成多个单位供给本体，

上述单位供给本体分别包括上述本体内部流路、本体上部流路及本体下部流路。

9.根据权利要求7所述的平板基板加热装置，其特征在于，上述冷却水供给本体还包括本体连接流路，当上述本体内部流路形成有多对时，上述本体连接流路连接上述本体内部流路。