CN116659340A - 一种舟耳中心距离检测计量设备 - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 215
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 129
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims abstract description 123
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 6
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 26
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 claims description 16
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 16
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 9
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 6
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 116
- 210000005069 ears Anatomy 0.000 description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
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- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/30—Nuclear fission reactors
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Abstract
本发明涉及石英舟检测技术领域,且公开了一种舟耳中心距离检测计量设备,解决了人工检测石英舟舟耳竖直方向上的位置,以及人工检测舟耳上的通孔尺寸和位置的工作效率低,而且测量精准度不高的问题,其包括检测台,检测台的底部固定连接有底座,检测台的顶部设有第一夹板和第二夹板,第二夹板和检测台固定连接,检测台上设有用于驱动第一夹板移动的石英舟夹持单元,检测台的底部转动连接有两个连接轴和两个第二单向丝杆;根据检测柱的底端是否插入石英舟舟耳上的通孔内,即可判断出石英舟舟耳竖直方向是否居中设置,且石英舟舟耳上开设的通孔尺寸和位置是否处于预设范围内,不需要人工手动检测石英舟舟耳,提高了检测效率和精准度。
Description
技术领域
本发明属于石英舟检测技术领域,具体为一种舟耳中心距离检测计量设备。
背景技术
石英舟又名石英玻璃,石英玻璃是以含二氧化硅物质,如水晶、硅石,目前,半导体生产加工过程中经常需要使用到石英舟,石英舟的尺寸精度直接影响着半导体的加工,因此石英舟在使用之前需要进行检测,以确保满足使用要求。在对石英舟两侧的舟耳进行检测时,传统的检测方式主要是人工手动测量石英舟两侧的舟耳,判断舟耳相对石英舟竖直方向上下左右位置是否为居中设置,舟耳上的通孔尺寸和位置是否准确,其中,人工检测不仅工作效率低,而且测量精准度不高。
发明内容
针对上述情况,为克服现有技术的缺陷,本发明提供一种舟耳中心距离检测计量设备,有效的解决了上述背景技术中人工检测石英舟舟耳竖直方向上的位置,以及人工检测舟耳上的通孔尺寸和位置的工作效率低,而且测量精准度不高的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种舟耳中心距离检测计量设备,包括检测台,所述检测台的底部固定连接有底座,检测台的顶部设有第一夹板和第二夹板,第二夹板和检测台固定连接,检测台上设有用于驱动第一夹板移动的石英舟夹持单元,检测台的底部转动连接有两个连接轴和两个第二单向丝杆,两个连接轴相靠近的一端与检测台通过旋转驱动结构连接,两个连接轴相远离的一端分别固定连接有第一摩擦轮,第二单向丝杆的一端固定连接有第二摩擦轮,第二摩擦轮和第一摩擦轮相接触,第二单向丝杆的另一端套设有活动块,活动块和第二单向丝杆的连接方式为螺纹连接,检测台上开设有两个矩形孔,矩形孔的上方设有第一支撑板,活动块和第一支撑板通过升降滑动调整器连接,第一支撑板的上方设有检测套,检测套和第一支撑板通过连接板连接,检测套内设有两个侧板,检测套与两个侧板通过异向调节机构连接,检测套内设有顶板,顶板和检测套通过高度调节单元连接,检测套上贯穿有检测柱,顶板上开设有与检测柱相配合的贯穿孔,检测套上设有与检测柱相配合的撞击下坠检测组件。
优选的,所述撞击下坠检测组件包括设置于检测套上方的第一固定板,第一固定板和检测柱固定连接,第一固定板上贯穿有导向柱,导向柱的底端和检测套固定连接,检测套的顶部固定连接有测距传感器,且测距传感器位于第一固定板的下方,检测柱的顶端与检测套通过磁吸复位单元连接,检测套内设有第一支撑部,第一支撑部和检测柱固定连接,第一支撑部的底部设有托板,托板和第一支撑部相接触,托板上固定连接有第一活动板,第一活动板上固定连接有位于检测套内的支撑柱,第一活动板和检测套通过弹性支撑器连接。
优选的,所述磁吸复位单元包括固定安装于检测柱顶端的铁板,铁板的顶部设有电磁铁,电磁铁和检测套通过第一支架连接。
优选的,所述弹性支撑器包括固定安装于第一活动板上的固定柱,固定柱的外部套设有第二支撑板,第二支撑板上固定连接有棱柱,棱柱贯穿第一活动板,且棱柱和检测套固定连接,固定柱远离支撑柱的一端固定连接有固定盘,固定柱的外部套设有拉伸弹簧,拉伸弹簧的两端分别与第二支撑板和固定盘固定连接。
优选的,所述异向调节机构包括固定安装于侧板上的连接柱,连接柱远离侧板的一端贯穿检测套,连接柱远离侧板的一端固定连接有第二活动板,检测套和第一支撑板之间设有双向丝杆,双向丝杆贯穿连接板,双向丝杆和连接板的连接处设有轴承,双向丝杆贯穿第二活动板,双向丝杆和第二活动板的连接方式为螺纹连接,检测套上固定连接有第二支撑部,双向丝杆贯穿第二支撑部,双向丝杆的外部套设有两个第一螺母,且两个第一螺母分别位于第二支撑部的两侧。
优选的,所述升降滑动调整器包括分别固定安装于活动块两侧的第三支撑部,第三支撑部上贯穿有第三单向丝杆,第三单向丝杆的外部套设有两个第二螺母,且相邻两个第二螺母分别位于第三支撑部的顶部和底部,第三单向丝杆贯穿矩形孔,相邻两个第三单向丝杆分别与矩形孔的两侧内壁相接触,且第三单向丝杆的顶端和第一支撑板固定连接。
优选的,所述高度调节单元包括至少两个固定安装于顶板顶部的第四单向丝杆,第四单向丝杆的顶端贯穿检测套,第四单向丝杆的外部套设有两个第三螺母。
优选的,所述连接轴的外部套设有第二固定板,连接轴和第二固定板的连接处设有轴承,第二固定板和检测台的底部固定连接,通过第二固定板和轴承的设计,以使连接轴和检测台转动连接,第二单向丝杆的外部套设有第三固定板,第二单向丝杆和第三固定板的连接处设有轴承,第三固定板和检测台的底部固定连接,通过第三固定板和轴承的设计,以使第二单向丝杆和检测台转动连接。
优选的,所述旋转驱动结构包括固定安装于检测台底部的第一电机,第一电机的输出端固定连接有转轴,转轴的外部套设有固定连接的第一伞齿轮,两个连接轴相靠近的一端分别固定连接有第二伞齿轮,且第二伞齿轮和第一伞齿轮相啮合。
优选的,所述石英舟夹持单元包括固定安装于检测台底部的第二电机,第二电机的输出端固定连接有第一单向丝杆,第一单向丝杆的外部套设有螺纹连接的第三活动板,第三活动板和第一夹板通过第二支架连接,第一夹板的底部和检测台的顶部相接触。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:
(一)、工作人员将需要检测的石英舟放置于检测台上,且石英舟位于第一夹板和第二夹板之间,通过石英舟夹持单元驱动第一夹板移动,以使石英舟被夹持固定在第一夹板和第二夹板之间,通过升降滑动调整器调整检测套的初始高度,以使检测套移动至预设高度,通过异向调节机构调节两个侧板之间的间距,以使两个侧板之间的间距与石英舟舟耳的宽度一致,通过高度调节单元调节顶板的高度,以使顶板和检测套底部内壁之间的间距与石英舟舟耳的厚度一致,当石英舟被固定在第一夹板和第二夹板之间后,通过旋转驱动结构驱动两个连接轴旋转,以使连接轴通过第一摩擦轮和第二摩擦轮驱动第二单向丝杆同步旋转,第二单向丝杆驱动活动块和第一支撑板移动,以使两个检测套相靠近移动,当两个石英舟舟耳没有位于竖直方向居中位置时,石英舟舟耳与侧板或者顶板的一侧相接触,石英舟舟耳限位检测套的位置,避免检测套持续移动,此时第二单向丝杆和第二摩擦轮停止旋转,连接轴和第一摩擦轮相对第二摩擦轮旋转,当两个石英舟舟耳位于竖直方向居中位置时,石英舟舟耳插入两个侧板之间,顶板与石英舟舟耳的顶部相接触,石英舟舟耳插入两个侧板之间的过程中,石英舟舟耳通过撞击下坠检测组件解除对检测柱位置的限定,检测柱相对顶板下移,检测柱的底端穿过贯穿孔,检测柱的底部和石英舟舟耳的顶部相接触,当检测套移动至预设位置时,检测套和石英舟的端部相接触时,石英舟的端部阻止检测套移动,当石英舟舟耳上开设的通孔位置和尺寸处于预设范围内时,此时石英舟舟耳上的通孔位于检测柱的正下方时,检测柱的底端插入石英舟舟耳上的通孔内,当石英舟舟耳上开设的通孔位置和尺寸没有处于预设范围内时,检测柱的底端无法插入石英舟舟耳上的通孔内,根据检测柱的底端是否插入石英舟舟耳上的通孔内,即可判断出石英舟舟耳竖直方向是否居中设置,且石英舟舟耳上开设的通孔尺寸和位置是否处于预设范围内,不需要人工手动检测石英舟舟耳,提高了检测效率和精准度;
(二)、通过第一固定板和导向柱的设计,以使检测柱相对检测套竖直方向平稳的移动,当两个石英舟舟耳位于竖直方向居中位置时,石英舟舟耳插入两个侧板之间,顶板与石英舟舟耳的顶部相接触,石英舟舟耳插入两个侧板之间的过程中,石英舟舟耳推动支撑柱移动,支撑柱推动第一活动板、固定柱和固定盘移动,拉伸弹簧处于拉伸状态,以使第一活动板上的托板不再位于第一支撑部的下方,解除对检测柱位置的限定,检测柱由于自身重力原因相对检测套和顶板下移,检测柱的底部和石英舟舟耳的顶部相接触,当检测套移动至预设位置时,检测套和石英舟的端部相接触时,检测套停止移动,当石英舟舟耳上开设的通孔位置和尺寸处于预设范围内时,此时石英舟舟耳上的通孔位于检测柱的正下方时,检测柱的底端插入石英舟舟耳上的通孔内,测距传感器测得测距传感器和第一固定板之间的间距变小,即可得知石英舟舟耳竖直方向是居中设置,且石英舟舟耳上开设的通孔尺寸和位置是处于预设范围内,测距传感器通过电信号控制电磁铁通电,电磁铁对铁板施加磁力,以使铁板和检测柱上移,检测柱复位初始高度,同时检测柱的底端从石英舟舟耳上开设的通孔脱离出来,当石英舟舟耳从检测套内抽离出来时,拉伸弹簧驱动固定盘和固定柱移动,以使第一活动板和托板复位初始位置,且托板移动至第一支撑部的底部,通过托板对第一支撑部进行支撑,同时工作人员控制电磁铁断电,即可使得检测柱复位初始状态;
(三)、工作人员驱动双向丝杆旋转,双向丝杆驱动两个第二活动板异向移动,第二活动板通过连接柱驱动侧板移动,以使两个侧板异向移动,即可调节两个侧板之间的间距,不需要调节两个侧板之间的间距时,工作人员驱动相邻两个第一螺母旋转,相邻两个第一螺母夹持住第二支撑部,以使双向丝杆相对第二支撑部和检测套固定,即可完成侧板位置的调节,工作人员驱动顶板竖直方向移动,调节顶板的初始高度,顶板的初始高度调节完毕后,工作人员驱动相邻两个第三螺母旋转,以使相邻两个第三螺母夹持住检测套,即可使得顶板相对检测套固定,工作人员驱动第三单向丝杆相对第三支撑部和活动块竖直方向移动,改变第一支撑板和检测套的初始高度,检测套的高度调整完毕后,工作人员驱动相邻两个第二螺母旋转,以使相邻两个第二螺母夹持住第三支撑部,第三单向丝杆和检测套相对活动块固定,相邻两个第三单向丝杆分别与矩形孔的两侧内壁相接触,避免第三单向丝杆和第一支撑板相对检测台旋转晃动,第二单向丝杆旋转时,第二单向丝杆驱动活动块和第三单向丝杆水平方向移动,第三单向丝杆即可驱动检测套水平方向移动;
(四)、通过第一电机驱动转轴旋转,转轴即可通过第一伞齿轮驱动第二伞齿轮和连接轴旋转,当石英舟位于第一夹板和第二夹板之间时,第二电机驱动第一单向丝杆旋转,第一单向丝杆驱动第三活动板移动,第三活动板通过第二支架驱动第一夹板在检测台的顶部水平方向移动,改变第一夹板和第二夹板之间的距离,即可通过第一夹板和第二夹板夹持住石英舟。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本发明的实施例一起用于解释本发明,并不构成对本发明的限制。
在附图中:
图1为本发明整体结构示意图;
图2为本发明检测台底部的结构示意图;
图3为本发明结构石英舟夹持单元的示意图;
图4为本发明第三单向丝杆的结构示意图;
图5为图4中A处的局部放大结构示意图;
图6为本发明检测套的结构示意图之一;
图7为本发明检测套的结构示意图之二;
图8为本发明弹性支撑器的结构示意图;
图中:1、检测台;2、底座;3、第一电机;4、转轴;5、第一单向丝杆;6、连接轴;7、第二单向丝杆;8、活动块;9、矩形孔;10、第一支撑板;11、检测套;12、连接板;13、侧板;14、顶板;15、贯穿孔;16、检测柱;17、第一固定板;18、导向柱;19、测距传感器;20、铁板;21、电磁铁;22、第一支架;23、第一支撑部;24、托板;25、第一活动板;26、支撑柱;27、棱柱;28、固定柱;29、第二支撑板;30、固定盘;31、拉伸弹簧;32、双向丝杆;33、第二活动板;34、连接柱;35、第二支撑部;36、第一螺母;37、第一伞齿轮;38、第二伞齿轮;39、第三单向丝杆;40、第三支撑部;41、第二螺母;42、第四单向丝杆;43、第三螺母;44、第一摩擦轮;45、第二摩擦轮;46、第二固定板;47、第三固定板;48、第一夹板;49、第三活动板;50、第二支架;51、第二电机;52、第二夹板。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例;基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
实施例一,由图1至图8给出,本发明包括检测台1,检测台1的底部固定连接有底座2,检测台1的顶部设有第一夹板48和第二夹板52,第二夹板52和检测台1固定连接,检测台1上设有用于驱动第一夹板48移动的石英舟夹持单元,检测台1的底部转动连接有两个连接轴6和两个第二单向丝杆7,两个连接轴6相靠近的一端与检测台1通过旋转驱动结构连接,两个连接轴6相远离的一端分别固定连接有第一摩擦轮44,第二单向丝杆7的一端固定连接有第二摩擦轮45,第二摩擦轮45和第一摩擦轮44相接触,第二单向丝杆7的另一端套设有活动块8,活动块8和第二单向丝杆7的连接方式为螺纹连接,检测台1上开设有两个矩形孔9,矩形孔9的上方设有第一支撑板10,活动块8和第一支撑板10通过升降滑动调整器连接,第一支撑板10的上方设有检测套11,检测套11和第一支撑板10通过连接板12连接,检测套11内设有两个侧板13,检测套11与两个侧板13通过异向调节机构连接,检测套11内设有顶板14,顶板14和检测套11通过高度调节单元连接,检测套11上贯穿有检测柱16,顶板14上开设有与检测柱16相配合的贯穿孔15,检测套11上设有与检测柱16相配合的撞击下坠检测组件;根据检测柱16的底端是否插入石英舟舟耳上的通孔内,即可判断出石英舟舟耳竖直方向是否居中设置,且石英舟舟耳上开设的通孔尺寸和位置是否处于预设范围内,不需要人工手动检测石英舟舟耳,提高了检测效率和精准度。
实施例二,在实施例一的基础上,由图6、图7和图8给出,撞击下坠检测组件包括设置于检测套11上方的第一固定板17,第一固定板17和检测柱16固定连接,第一固定板17上贯穿有导向柱18,导向柱18的底端和检测套11固定连接,检测套11的顶部固定连接有测距传感器19,且测距传感器19位于第一固定板17的下方,检测柱16的顶端与检测套11通过磁吸复位单元连接,检测套11内设有第一支撑部23,第一支撑部23和检测柱16固定连接,第一支撑部23的底部设有托板24,托板24和第一支撑部23相接触,托板24上固定连接有第一活动板25,第一活动板25上固定连接有位于检测套11内的支撑柱26,第一活动板25和检测套11通过弹性支撑器连接,磁吸复位单元包括固定安装于检测柱16顶端的铁板20,铁板20的顶部设有电磁铁21,电磁铁21和检测套11通过第一支架22连接,弹性支撑器包括固定安装于第一活动板25上的固定柱28,固定柱28的外部套设有第二支撑板29,第二支撑板29上固定连接有棱柱27,棱柱27贯穿第一活动板25,且棱柱27和检测套11固定连接,固定柱28远离支撑柱26的一端固定连接有固定盘30,固定柱28的外部套设有拉伸弹簧31,拉伸弹簧31的两端分别与第二支撑板29和固定盘30固定连接;
通过第一固定板17和导向柱18的设计,以使检测柱16相对检测套11竖直方向平稳的移动,当两个石英舟舟耳位于竖直方向居中位置时,石英舟舟耳插入两个侧板13之间,顶板14与石英舟舟耳的顶部相接触,石英舟舟耳插入两个侧板13之间的过程中,石英舟舟耳推动支撑柱26移动,支撑柱26推动第一活动板25、固定柱28和固定盘30移动,拉伸弹簧31处于拉伸状态,以使第一活动板25上的托板24不再位于第一支撑部23的下方,解除对检测柱16位置的限定,检测柱16由于自身重力原因相对检测套11和顶板14下移,检测柱16的底部和石英舟舟耳的顶部相接触,当检测套11移动至预设位置时,检测套11和石英舟的端部相接触时,检测套11停止移动,当石英舟舟耳上开设的通孔位置和尺寸处于预设范围内时,此时石英舟舟耳上的通孔位于检测柱16的正下方时,检测柱16的底端插入石英舟舟耳上的通孔内,测距传感器19测得测距传感器19和第一固定板17之间的间距变小,即可得知石英舟舟耳竖直方向是居中设置,且石英舟舟耳上开设的通孔尺寸和位置是处于预设范围内,测距传感器19通过电信号控制电磁铁21通电,电磁铁21对铁板20施加磁力,以使铁板20和检测柱16上移,检测柱16复位初始高度,同时检测柱16的底端从石英舟舟耳上开设的通孔脱离出来,当石英舟舟耳从检测套11内抽离出来时,拉伸弹簧31驱动固定盘30和固定柱28移动,以使第一活动板25和托板24复位初始位置,且托板24移动至第一支撑部23的底部,通过托板24对第一支撑部23进行支撑,同时工作人员控制电磁铁21断电,即可使得检测柱16复位初始状态。
实施例三,在实施例一的基础上,由图4、图5、图6和图7给出,异向调节机构包括固定安装于侧板13上的连接柱34,连接柱34远离侧板13的一端贯穿检测套11,连接柱34远离侧板13的一端固定连接有第二活动板33,检测套11和第一支撑板10之间设有双向丝杆32,双向丝杆32贯穿连接板12,双向丝杆32和连接板12的连接处设有轴承,双向丝杆32贯穿第二活动板33,双向丝杆32和第二活动板33的连接方式为螺纹连接,检测套11上固定连接有第二支撑部35,双向丝杆32贯穿第二支撑部35,双向丝杆32的外部套设有两个第一螺母36,且两个第一螺母36分别位于第二支撑部35的两侧,升降滑动调整器包括分别固定安装于活动块8两侧的第三支撑部40,第三支撑部40上贯穿有第三单向丝杆39,第三单向丝杆39的外部套设有两个第二螺母41,且相邻两个第二螺母41分别位于第三支撑部40的顶部和底部,第三单向丝杆39贯穿矩形孔9,相邻两个第三单向丝杆39分别与矩形孔9的两侧内壁相接触,且第三单向丝杆39的顶端和第一支撑板10固定连接,高度调节单元包括至少两个固定安装于顶板14顶部的第四单向丝杆42,第四单向丝杆42的顶端贯穿检测套11,第四单向丝杆42的外部套设有两个第三螺母43;
工作人员驱动双向丝杆32旋转,双向丝杆32驱动两个第二活动板33异向移动,第二活动板33通过连接柱34驱动侧板13移动,以使两个侧板13异向移动,即可调节两个侧板13之间的间距,不需要调节两个侧板13之间的间距时,工作人员驱动相邻两个第一螺母36旋转,相邻两个第一螺母36夹持住第二支撑部35,以使双向丝杆32相对第二支撑部35和检测套11固定,即可完成侧板13位置的调节,工作人员驱动顶板14竖直方向移动,调节顶板14的初始高度,顶板14的初始高度调节完毕后,工作人员驱动相邻两个第三螺母43旋转,以使相邻两个第三螺母43夹持住检测套11,即可使得顶板14相对检测套11固定,工作人员驱动第三单向丝杆39相对第三支撑部40和活动块8竖直方向移动,改变第一支撑板10和检测套11的初始高度,检测套11的高度调整完毕后,工作人员驱动相邻两个第二螺母41旋转,以使相邻两个第二螺母41夹持住第三支撑部40,第三单向丝杆39和检测套11相对活动块8固定,相邻两个第三单向丝杆39分别与矩形孔9的两侧内壁相接触,避免第三单向丝杆39和第一支撑板10相对检测台1旋转晃动,第二单向丝杆7旋转时,第二单向丝杆7驱动活动块8和第三单向丝杆39水平方向移动,第三单向丝杆39即可驱动检测套11水平方向移动。
实施例四,在实施例一的基础上,由图1、图2、图3和图4给出,连接轴6的外部套设有第二固定板46,连接轴6和第二固定板46的连接处设有轴承,第二固定板46和检测台1的底部固定连接,通过第二固定板46和轴承的设计,以使连接轴6和检测台1转动连接,第二单向丝杆7的外部套设有第三固定板47,第二单向丝杆7和第三固定板47的连接处设有轴承,第三固定板47和检测台1的底部固定连接,通过第三固定板47和轴承的设计,以使第二单向丝杆7和检测台1转动连接,旋转驱动结构包括固定安装于检测台1底部的第一电机3,第一电机3的输出端固定连接有转轴4,转轴4的外部套设有固定连接的第一伞齿轮37,两个连接轴6相靠近的一端分别固定连接有第二伞齿轮38,且第二伞齿轮38和第一伞齿轮37相啮合,石英舟夹持单元包括固定安装于检测台1底部的第二电机51,第二电机51的输出端固定连接有第一单向丝杆5,第一单向丝杆5的外部套设有螺纹连接的第三活动板49,第三活动板49和第一夹板48通过第二支架50连接,第一夹板48的底部和检测台1的顶部相接触;
通过第一电机3驱动转轴4旋转,转轴4即可通过第一伞齿轮37驱动第二伞齿轮38和连接轴6旋转,当石英舟位于第一夹板48和第二夹板52之间时,第二电机51驱动第一单向丝杆5旋转,第一单向丝杆5驱动第三活动板49移动,第三活动板49通过第二支架50驱动第一夹板48在检测台1的顶部水平方向移动,改变第一夹板48和第二夹板52之间的距离,即可通过第一夹板48和第二夹板52夹持住石英舟。
工作原理:工作时,工作人员将需要检测的石英舟放置于检测台1上,且石英舟位于第一夹板48和第二夹板52之间,通过石英舟夹持单元驱动第一夹板48移动,以使石英舟被夹持固定在第一夹板48和第二夹板52之间,通过升降滑动调整器调整检测套11的初始高度,以使检测套11移动至预设高度,通过异向调节机构调节两个侧板13之间的间距,以使两个侧板13之间的间距与石英舟舟耳的宽度一致,通过高度调节单元调节顶板14的高度,以使顶板14和检测套11底部内壁之间的间距与石英舟舟耳的厚度一致,当石英舟被固定在第一夹板48和第二夹板52之间后,通过旋转驱动结构驱动两个连接轴6旋转,以使连接轴6通过第一摩擦轮44和第二摩擦轮45驱动第二单向丝杆7同步旋转,第二单向丝杆7驱动活动块8和第一支撑板10移动,以使两个检测套11相靠近移动,当两个石英舟舟耳没有位于竖直方向居中位置时,石英舟舟耳与侧板13或者顶板14的一侧相接触,石英舟舟耳限位检测套11的位置,避免检测套11持续移动,此时第二单向丝杆7和第二摩擦轮45停止旋转,连接轴6和第一摩擦轮44相对第二摩擦轮45旋转,当两个石英舟舟耳位于竖直方向居中位置时,石英舟舟耳插入两个侧板13之间,顶板14与石英舟舟耳的顶部相接触,石英舟舟耳插入两个侧板13之间的过程中,石英舟舟耳通过撞击下坠检测组件解除对检测柱16位置的限定,检测柱16相对顶板14下移,检测柱16的底端穿过贯穿孔15,检测柱16的底部和石英舟舟耳的顶部相接触,当检测套11移动至预设位置时,检测套11和石英舟的端部相接触时,石英舟的端部阻止检测套11移动,当石英舟舟耳上开设的通孔位置和尺寸处于预设范围内时,此时石英舟舟耳上的通孔位于检测柱16的正下方时,检测柱16的底端插入石英舟舟耳上的通孔内,当石英舟舟耳上开设的通孔位置和尺寸没有处于预设范围内时,检测柱16的底端无法插入石英舟舟耳上的通孔内,根据检测柱16的底端是否插入石英舟舟耳上的通孔内,即可判断出石英舟舟耳竖直方向是否居中设置,且石英舟舟耳上开设的通孔尺寸和位置是否处于预设范围内,不需要人工手动检测石英舟舟耳,提高了检测效率和精准度,通过第一固定板17和导向柱18的设计,以使检测柱16相对检测套11竖直方向平稳的移动,当两个石英舟舟耳位于竖直方向居中位置时,石英舟舟耳插入两个侧板13之间,顶板14与石英舟舟耳的顶部相接触,石英舟舟耳插入两个侧板13之间的过程中,石英舟舟耳推动支撑柱26移动,支撑柱26推动第一活动板25、固定柱28和固定盘30移动,拉伸弹簧31处于拉伸状态,以使第一活动板25上的托板24不再位于第一支撑部23的下方,解除对检测柱16位置的限定,检测柱16由于自身重力原因相对检测套11和顶板14下移,检测柱16的底部和石英舟舟耳的顶部相接触,当检测套11移动至预设位置时,检测套11和石英舟的端部相接触时,检测套11停止移动,当石英舟舟耳上开设的通孔位置和尺寸处于预设范围内时,此时石英舟舟耳上的通孔位于检测柱16的正下方时,检测柱16的底端插入石英舟舟耳上的通孔内,测距传感器19测得测距传感器19和第一固定板17之间的间距变小,即可得知石英舟舟耳竖直方向是居中设置,且石英舟舟耳上开设的通孔尺寸和位置是处于预设范围内,测距传感器19通过电信号控制电磁铁21通电,电磁铁21对铁板20施加磁力,以使铁板20和检测柱16上移,检测柱16复位初始高度,同时检测柱16的底端从石英舟舟耳上开设的通孔脱离出来,当石英舟舟耳从检测套11内抽离出来时,拉伸弹簧31驱动固定盘30和固定柱28移动,以使第一活动板25和托板24复位初始位置,且托板24移动至第一支撑部23的底部,通过托板24对第一支撑部23进行支撑,同时工作人员控制电磁铁21断电,即可使得检测柱16复位初始状态,工作人员驱动双向丝杆32旋转,双向丝杆32驱动两个第二活动板33异向移动,第二活动板33通过连接柱34驱动侧板13移动,以使两个侧板13异向移动,即可调节两个侧板13之间的间距,不需要调节两个侧板13之间的间距时,工作人员驱动相邻两个第一螺母36旋转,相邻两个第一螺母36夹持住第二支撑部35,以使双向丝杆32相对第二支撑部35和检测套11固定,即可完成侧板13位置的调节,工作人员驱动顶板14竖直方向移动,调节顶板14的初始高度,顶板14的初始高度调节完毕后,工作人员驱动相邻两个第三螺母43旋转,以使相邻两个第三螺母43夹持住检测套11,即可使得顶板14相对检测套11固定,工作人员驱动第三单向丝杆39相对第三支撑部40和活动块8竖直方向移动,改变第一支撑板10和检测套11的初始高度,检测套11的高度调整完毕后,工作人员驱动相邻两个第二螺母41旋转,以使相邻两个第二螺母41夹持住第三支撑部40,第三单向丝杆39和检测套11相对活动块8固定,相邻两个第三单向丝杆39分别与矩形孔9的两侧内壁相接触,避免第三单向丝杆39和第一支撑板10相对检测台1旋转晃动,第二单向丝杆7旋转时,第二单向丝杆7驱动活动块8和第三单向丝杆39水平方向移动,第三单向丝杆39即可驱动检测套11水平方向移动,通过第一电机3驱动转轴4旋转,转轴4即可通过第一伞齿轮37驱动第二伞齿轮38和连接轴6旋转,当石英舟位于第一夹板48和第二夹板52之间时,第二电机51驱动第一单向丝杆5旋转,第一单向丝杆5驱动第三活动板49移动,第三活动板49通过第二支架50驱动第一夹板48在检测台1的顶部水平方向移动,改变第一夹板48和第二夹板52之间的距离,即可通过第一夹板48和第二夹板52夹持住石英舟。
需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (10)
1.一种舟耳中心距离检测计量设备,包括检测台(1),其特征在于:所述检测台(1)的底部固定连接有底座(2),检测台(1)的顶部设有第一夹板(48)和第二夹板(52),第二夹板(52)和检测台(1)固定连接,检测台(1)上设有用于驱动第一夹板(48)移动的石英舟夹持单元,检测台(1)的底部转动连接有两个连接轴(6)和两个第二单向丝杆(7),两个连接轴(6)相靠近的一端与检测台(1)通过旋转驱动结构连接,两个连接轴(6)相远离的一端分别固定连接有第一摩擦轮(44),第二单向丝杆(7)的一端固定连接有第二摩擦轮(45),第二摩擦轮(45)和第一摩擦轮(44)相接触,第二单向丝杆(7)的另一端套设有活动块(8),活动块(8)和第二单向丝杆(7)的连接方式为螺纹连接,检测台(1)上开设有两个矩形孔(9),矩形孔(9)的上方设有第一支撑板(10),活动块(8)和第一支撑板(10)通过升降滑动调整器连接,第一支撑板(10)的上方设有检测套(11),检测套(11)和第一支撑板(10)通过连接板(12)连接,检测套(11)内设有两个侧板(13),检测套(11)与两个侧板(13)通过异向调节机构连接,检测套(11)内设有顶板(14),顶板(14)和检测套(11)通过高度调节单元连接,检测套(11)上贯穿有检测柱(16),顶板(14)上开设有与检测柱(16)相配合的贯穿孔(15),检测套(11)上设有与检测柱(16)相配合的撞击下坠检测组件。
2.根据权利要求1所述的一种舟耳中心距离检测计量设备,其特征在于:所述撞击下坠检测组件包括设置于检测套(11)上方的第一固定板(17),第一固定板(17)和检测柱(16)固定连接,第一固定板(17)上贯穿有导向柱(18),导向柱(18)的底端和检测套(11)固定连接,检测套(11)的顶部固定连接有测距传感器(19),且测距传感器(19)位于第一固定板(17)的下方,检测柱(16)的顶端与检测套(11)通过磁吸复位单元连接,检测套(11)内设有第一支撑部(23),第一支撑部(23)和检测柱(16)固定连接,第一支撑部(23)的底部设有托板(24),托板(24)和第一支撑部(23)相接触,托板(24)上固定连接有第一活动板(25),第一活动板(25)上固定连接有位于检测套(11)内的支撑柱(26),第一活动板(25)和检测套(11)通过弹性支撑器连接。
3.根据权利要求2所述的一种舟耳中心距离检测计量设备,其特征在于:所述磁吸复位单元包括固定安装于检测柱(16)顶端的铁板(20),铁板(20)的顶部设有电磁铁(21),电磁铁(21)和检测套(11)通过第一支架(22)连接。
4.根据权利要求2所述的一种舟耳中心距离检测计量设备,其特征在于:所述弹性支撑器包括固定安装于第一活动板(25)上的固定柱(28),固定柱(28)的外部套设有第二支撑板(29),第二支撑板(29)上固定连接有棱柱(27),棱柱(27)贯穿第一活动板(25),且棱柱(27)和检测套(11)固定连接,固定柱(28)远离支撑柱(26)的一端固定连接有固定盘(30),固定柱(28)的外部套设有拉伸弹簧(31),拉伸弹簧(31)的两端分别与第二支撑板(29)和固定盘(30)固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种舟耳中心距离检测计量设备,其特征在于:所述异向调节机构包括固定安装于侧板(13)上的连接柱(34),连接柱(34)远离侧板(13)的一端贯穿检测套(11),连接柱(34)远离侧板(13)的一端固定连接有第二活动板(33),检测套(11)和第一支撑板(10)之间设有双向丝杆(32),双向丝杆(32)贯穿连接板(12),双向丝杆(32)和连接板(12)的连接处设有轴承,双向丝杆(32)贯穿第二活动板(33),双向丝杆(32)和第二活动板(33)的连接方式为螺纹连接,检测套(11)上固定连接有第二支撑部(35),双向丝杆(32)贯穿第二支撑部(35),双向丝杆(32)的外部套设有两个第一螺母(36),且两个第一螺母(36)分别位于第二支撑部(35)的两侧。
6.根据权利要求1所述的一种舟耳中心距离检测计量设备,其特征在于:所述升降滑动调整器包括分别固定安装于活动块(8)两侧的第三支撑部(40),第三支撑部(40)上贯穿有第三单向丝杆(39),第三单向丝杆(39)的外部套设有两个第二螺母(41),且相邻两个第二螺母(41)分别位于第三支撑部(40)的顶部和底部,第三单向丝杆(39)贯穿矩形孔(9),相邻两个第三单向丝杆(39)分别与矩形孔(9)的两侧内壁相接触,且第三单向丝杆(39)的顶端和第一支撑板(10)固定连接。
7.根据权利要求1所述的一种舟耳中心距离检测计量设备,其特征在于:所述高度调节单元包括至少两个固定安装于顶板(14)顶部的第四单向丝杆(42),第四单向丝杆(42)的顶端贯穿检测套(11),第四单向丝杆(42)的外部套设有两个第三螺母(43)。
8.根据权利要求1所述的一种舟耳中心距离检测计量设备,其特征在于:所述连接轴(6)的外部套设有第二固定板(46),连接轴(6)和第二固定板(46)的连接处设有轴承,第二固定板(46)和检测台(1)的底部固定连接,通过第二固定板(46)和轴承的设计,以使连接轴(6)和检测台(1)转动连接,第二单向丝杆(7)的外部套设有第三固定板(47),第二单向丝杆(7)和第三固定板(47)的连接处设有轴承,第三固定板(47)和检测台(1)的底部固定连接,通过第三固定板(47)和轴承的设计,以使第二单向丝杆(7)和检测台(1)转动连接。
9.根据权利要求1所述的一种舟耳中心距离检测计量设备,其特征在于:所述旋转驱动结构包括固定安装于检测台(1)底部的第一电机(3),第一电机(3)的输出端固定连接有转轴(4),转轴(4)的外部套设有固定连接的第一伞齿轮(37),两个连接轴(6)相靠近的一端分别固定连接有第二伞齿轮(38),且第二伞齿轮(38)和第一伞齿轮(37)相啮合。
10.根据权利要求1所述的一种舟耳中心距离检测计量设备,其特征在于:所述石英舟夹持单元包括固定安装于检测台(1)底部的第二电机(51),第二电机(51)的输出端固定连接有第一单向丝杆(5),第一单向丝杆(5)的外部套设有螺纹连接的第三活动板(49),第三活动板(49)和第一夹板(48)通过第二支架(50)连接,第一夹板(48)的底部和检测台(1)的顶部相接触。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202310942605.1A CN116659340B (zh) | 2023-07-31 | 2023-07-31 | 一种舟耳中心距离检测计量设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202310942605.1A CN116659340B (zh) | 2023-07-31 | 2023-07-31 | 一种舟耳中心距离检测计量设备 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN116659340A true CN116659340A (zh) | 2023-08-29 |
CN116659340B CN116659340B (zh) | 2023-10-20 |
Family
ID=87721003
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202310942605.1A Active CN116659340B (zh) | 2023-07-31 | 2023-07-31 | 一种舟耳中心距离检测计量设备 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN116659340B (zh) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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