CN116577325A - 检查装置及检查方法 - Google Patents

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CN116577325A CN202310096501.3A CN202310096501A CN116577325A CN 116577325 A CN116577325 A CN 116577325A CN 202310096501 A CN202310096501 A CN 202310096501A CN 116577325 A CN116577325 A CN 116577325A
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Abstract

抑制拍摄组件和被拍摄组件拍摄的对象物的碰撞。检查装置具有：拍摄组件，其具有固定焦点光学系统；移动装置，其使拍摄组件和对象物相对移动，以使得对象物的表面的多个区域各自依次配置于固定焦点光学系统的景深；高度数据取得部，其取得多个区域各自的高度数据；装置数据存储部，其对拍摄组件的外形数据进行存储；判定部，其基于高度数据及外形数据，对多个区域各自配置于景深时的拍摄组件的至少一部分和对象物的碰撞可能性进行判定；移动控制部，其以判定为碰撞可能性低的区域配置于景深，判定为碰撞可能性高的区域不配置于景深的方式对移动装置进行控制；以及拍摄控制部，其以对配置于景深的区域进行拍摄的方式对拍摄组件进行控制。

Description

检查装置及检查方法
技术领域
本说明书所公开的技术涉及检查装置及检查方法。
背景技术
在检查装置所涉及的技术领域中，已知如专利文献1所公开那样的检查装置。
专利文献1：国际公开第2021/009884号
在专利文献1中，在使固定焦点型的照相机升降以使得焦点处于从基板的表面以与各部件的高度相对应的距离分离的基准位置的情况下，存在照相机与基板及部件的至少一者碰撞的可能性。
发明内容
本说明书所公开的技术的目的在于，抑制拍摄组件和被拍摄组件拍摄的对象物的碰撞。
本说明书公开了检查装置。检查装置具有：拍摄组件，其具有固定焦点光学系统；移动装置，其使拍摄组件和对象物相对移动，以使得对象物的表面的多个区域各自依次配置于固定焦点光学系统的景深；高度数据取得部，其取得多个区域各自的高度数据；装置数据存储部，其对拍摄组件的外形数据进行存储；判定部，其基于高度数据及外形数据，对多个区域各自配置于景深时的拍摄组件的至少一部分和对象物的碰撞可能性进行判定；移动控制部，其以判定为碰撞可能性低的区域配置于景深，判定为碰撞可能性高的区域不配置于景深的方式对移动装置进行控制；以及拍摄控制部，其以对配置于景深的区域进行拍摄的方式对拍摄组件进行控制。
发明的效果
根据本说明书所公开的技术，抑制拍摄组件和被拍摄组件拍摄的对象物的碰撞。
附图说明
图1是示意地表示实施方式所涉及的检查装置的图。
图2是表示实施方式所涉及的控制装置的功能框图。
图3是用于对实施方式所涉及的区域的设定方法进行说明的图。
图4是用于对实施方式所涉及的碰撞可能性的判定方法进行说明的图。
图5是表示实施方式所涉及的检查方法的流程图。
图6是表示实施方式所涉及的计算机系统的框图。
具体实施方式
下面，参照附图对本发明所涉及的实施方式进行说明，但本发明不受实施方式限定。以下进行说明的实施方式的结构要素能够适当组合。有时不使用一部分结构要素。
在实施方式中，对XYZ正交坐标系进行规定，一边参照XYZ正交坐标系，一边对各部的位置关系进行说明。将平行于水平面内的X轴的方向设为X轴方向。将平行于水平面内的与X轴正交的Y轴的方向设为Y轴方向。将平行于与水平面正交的Z轴的方向设为Z轴方向。将包含X轴及Y轴的平面适当地称为XY平面。XY平面与水平面平行。Z轴与铅垂线平行。Z轴方向为上下方向。+Z方向为上方向，－Z方向为下方向。
[检查装置]
图1是示意地表示实施方式所涉及的检查装置1的图。如图1所示，检查装置1具有拍摄组件2、工作台3、移动装置4和控制装置5。
拍摄组件2对支撑于工作台3的对象物W进行拍摄。拍摄组件2具有拍摄装置6和照明装置7。
拍摄装置6对支撑于工作台3的对象物W进行拍摄，取得对象物W的图像。拍摄装置6从上方拍摄对象物W。拍摄装置6具有固定焦点光学系统8和图像传感器9。固定焦点光学系统8具有多个光学元件。固定焦点光学系统8的焦点FP与固定焦点光学系统8的前端面10(下端面)相比位于下方。固定焦点光学系统8和焦点FP的相对位置不变化。固定焦点光学系统8的光轴AX与Z轴平行。图像传感器9经由固定焦点光学系统8而取得对象物W的图像。作为图像传感器9，例示出CCD(Couple Charged Device)图像传感器及CMOS(ComplementaryMetal Oxide Semiconductor)图像传感器的至少一者。
照明装置7通过照明光对支撑于工作台3的对象物W进行照明。照明装置7与拍摄装置6相比配置于下方。照明装置7与工作台3相比配置于上方。照明装置7与固定焦点光学系统8的前端面10相比配置于与固定焦点光学系统8的焦点FP接近的位置。
照明装置7具有光源11和支撑部件12。光源11射出照明光。作为光源11，例示出发光二极管(LED：light emitting diode)。光源11作为照明光而射出白色光。光源11为圆环状。固定焦点光学系统8的光轴AX配置于圆环状的光源11的内侧。支撑部件12对光源11进行支撑。支撑部件12配置于光源11的周围。支撑部件12的上端部固定于拍摄装置6。支撑部件12的下端部与光源11相比配置于下方。在实施方式中，拍摄组件2的下端部包含支撑部件12的下端部。
照明装置7通过多个照明条件分别对对象物W进行照明。照明装置7具有多个光源11。光源11包含：第1光源11A，其具有第1内径；第2光源11B，其具有比第1内径大的第2内径；以及第3光源11C，其具有比第2内径大的第3内径。多个光源11之中的第1光源11A配置于最远离工作台3的位置，第2光源11B配置于仅次于第1光源11A而远离工作台3的位置，第3光源11C配置于最接近工作台3的位置。
照明条件包含向对象物W射入的照明光的入射角度。从第1光源11A射出的照明光向对象物W射入的入射角度θ1、从第2光源11B射出的照明光向对象物W射入的入射角度θ2和从第3光源11C射出的照明光向对象物W射入的入射角度θ3不同。照明装置7通过多个入射角度θ分别对对象物W照射照明光。在从第1光源11A射出照明光时从第2光源11B及第3光源11C各自不射出照明光。在从第2光源11B射出照明光时从第3光源11C及第1光源11A各自不射出照明光。在从第3光源11C射出照明光时从第1光源11A及第2光源11B各自不射出照明光。
拍摄装置6在由照明装置7将对象物W照明的状态下，对对象物W进行拍摄。光源11与拍摄装置6的拍摄范围IR相比配置于外侧。拍摄装置6的拍摄范围IR包含固定焦点光学系统8的视野。拍摄装置6经由光源11的内侧的空间对对象物W进行拍摄。
移动装置4使拍摄组件2和工作台3相对移动。拍摄组件2和工作台3相对移动，由此拍摄组件2和对象物W相对移动。移动装置4使拍摄组件2和对象物W在X轴方向、Y轴方向及Z轴方向这3个方向相对移动。在实施方式中，工作台3的位置被固定，移动装置4使拍摄组件2在X轴方向、Y轴方向及Z轴方向这3个方向移动。移动装置4包含产生使拍摄组件2移动的动力的致动器。拍摄装置6和照明装置7被固定。拍摄装置6和照明装置7一起移动。此外，移动装置4也可以使拍摄组件2及工作台3这两者移动。拍摄组件2的位置被固定，移动装置4可以使工作台3移动。
在实施方式中，对象物W的表面大于拍摄装置6的拍摄范围IR。移动装置4使拍摄组件2和对象物W在XY平面内相对移动，以使得对象物W的表面的多个区域AR各自在拍摄装置6的拍摄范围IR依次被拍摄。即使对象物W的表面的全部没有同时配置于拍摄装置6的拍摄范围IR，也通过以对象物W的表面的多个区域AR各自依次配置于拍摄装置6的拍摄范围IR的方式对拍摄装置6的拍摄范围IR和支撑于工作台3的对象物W之间的XY平面内的相对位置进行调整，从而拍摄装置6能够取得对象物W的表面的多个区域AR各自的图像。
另外，移动装置4使拍摄组件2和对象物W在Z轴方向相对移动，以使得对象物W的表面的多个区域AR各自依次配置于固定焦点光学系统8的景深DF。对象物W的表面的多个区域AR各自依次配置于拍摄装置6的拍摄范围IR，且在拍摄范围IR配置的对象物W的表面的区域AR配置于景深DF，由此，拍摄装置6能够适当地取得在拍摄范围IR配置的对象物W的表面的区域AR的图像。
控制装置5包含计算机系统。控制装置5对拍摄组件2及移动装置4进行控制。控制装置5对移动装置4进行控制，对拍摄组件2的拍摄范围IR及景深DF和对象物W的表面之间的相对位置进行调整。控制装置5对拍摄组件2进行控制，调整对象物W的照明条件及拍摄条件。作为拍摄条件，例示出对对象物W进行拍摄的定时、快门速度及固定焦点光学系统8的光圈。控制装置5对拍摄组件2进行控制，以规定的照明条件分别进行照明，取得以规定的拍摄条件拍摄到的对象物W的图像。
[控制装置]
图2是表示实施方式所涉及的控制装置5的功能框图。控制装置5与输入装置13连接。输入装置13被作业者操作。通过被作业者操作，从而输入装置13生成输入数据。由输入装置13生成的输入数据输出至控制装置5。作为输入装置13，例示出计算机用键盘、鼠标、按钮、开关及触摸面板的至少一个。
控制装置5具有高度数据取得部14、装置数据存储部15、区域设定部16、判定部17、区域存储部18、顺序决定部19、移动控制部20和拍摄控制部21。
高度数据取得部14取得对象物W的表面的多个区域AR各自的高度数据。高度数据包含对象物W的表面的多个位置P的高度数据。高度数据是指对象物W的表面的Z轴方向的位置。对象物W的表面的高度数据例如从对象物W的设计数据导出。此外，对象物W的表面的高度数据可以由与检查装置1不同的其他测定装置进行测定。输入装置13生成对象物W的表面的高度数据而作为输入数据。对象物W的表面的高度数据经由输入装置13而输入至控制装置5。高度数据取得部14从输入装置13取得对象物W的表面的高度数据。
装置数据存储部15对拍摄组件2的规格数据进行存储。拍摄组件2的规格数据包含拍摄组件2的外形数据。拍摄组件2的外形数据包含拍摄组件2的外形及尺寸。另外，拍摄组件2的规格数据包含固定焦点光学系统8的景深DF。另外，拍摄组件2的规格数据包含固定焦点光学系统8和焦点FP的相对位置。
区域设定部16在对象物W的表面对多个区域AR进行设定。区域设定部16基于由高度数据取得部14取得的对象物W的表面的多个位置P各自的高度数据和在装置数据存储部15中存储的固定焦点光学系统8的景深DF，在对象物W的表面设定多个区域AR。
图3是用于对实施方式所涉及的区域AR的设定方法进行说明的图。在图3所示的例子中高度彼此不同的多个位置P(P1、P2、P3、P4、P5、P6、P7)存在于对象物W的表面。区域设定部16以高度彼此不同的对象物W的表面的多个位置P同时配置于景深DF的方式对区域AR进行设定。在图3所示的例子中，位置P1和位置P2同时配置于景深DF。区域设定部16以包含高度彼此不同且能够同时配置于景深DF的位置P1和位置P2的方式，作为区域AR而设定第1区域AR1。同样地，区域设定部16以包含高度彼此不同且能够同时配置于景深DF的位置P3和位置P4的方式，作为区域AR而设定第2区域AR2。区域设定部16以包含高度彼此不同且能够同时配置于景深DF的位置P5和位置P6的方式，作为区域AR而设定第3区域AR3。区域设定部16以包含位置P7的方式，作为区域AR而设定第4区域AR4。
判定部17基于由高度数据取得部14取得的对象物W的表面的高度数据及在装置数据存储部15中存储的拍摄组件2的外形数据，对多个区域AR(AR1、AR2、AR3、AR4)各自配置于景深DF时的拍摄组件2的至少一部分和对象物W的碰撞可能性进行判定。
图4是用于对实施方式所涉及的碰撞可能性的判定方法进行说明的图。在拍摄对象物W的区域AR的情况下，拍摄组件2以与区域AR相对的方式在XY平面内移动。拍摄组件2在以与区域AR相对的方式在XY平面内移动后，以区域AR的表面配置于景深DF的方式在Z轴方向移动。例如在对第1区域AR1进行拍摄的情况下，拍摄组件2在以与第1区域AR1相对的方式在XY平面内移动后，以第1区域AR1的表面配置于景深DF的方式在Z轴方向移动。在第1区域AR1的表面配置于景深DF后，拍摄组件2对第1区域AR1进行拍摄。在第1区域AR1的拍摄结束后，例如为了对第2区域AR2进行拍摄，拍摄组件2以与第2区域AR2相对的方式在XY平面内移动。拍摄组件2在以与第2区域AR2相对的方式在XY平面内移动后，以第2区域AR2的表面配置于景深DF的方式在Z轴方向移动。在第2区域AR2的表面配置于景深DF后，拍摄组件2对第2区域AR2进行拍摄。以下，同样地，拍摄组件2以对象物W的表面的多个区域AR各自依次配置于景深DF的方式移动，对配置于景深DF的区域AR进行拍摄。
在为了将对象物W的表面的区域AR配置于景深DF而使拍摄组件2在Z轴方向移动的情况下，随着对象物W的表面的3维形状的不同，存在拍摄组件2的至少一部分和对象物W碰撞的可能性。在图4所示的例子中，在为了将对象物W的表面的第1、第2、第3区域AR1、AR2、AR3各自配置于景深DF而将拍摄组件2在Z轴方向移动的情况下，虽然拍摄组件2和对象物W碰撞的可能性低，但在为了使对象物W的表面的第4区域AR4配置于景深DF而将拍摄组件2在Z轴方向移动的情况下，存在照明装置7的支撑部件12的下端部和对象物W的第3区域AR3的表面碰撞的可能性。
判定部17基于对象物W的表面的高度数据及拍摄组件2的外形数据，能够对使多个区域AR(AR1、AR2、AR3、AR4)各自配置于景深DF时的照明装置7的下端部和对象物W的碰撞可能性进行判定。
区域存储部18对由判定部17判定为碰撞可能性低的区域AR和判定为碰撞可能性高的区域AR各自进行存储。在图4所示的例子中，区域存储部18对由判定部17判定为碰撞可能性低的第1、第2、第3区域AR1、AR2、AR3和判定为碰撞可能性高的第4区域AR4各自进行存储。
顺序决定部19决定判定为碰撞可能性低的多个区域AR的拍摄顺序。顺序决定部19以拍摄组件2和对象物W的相对移动的距离变短的方式决定拍摄顺序。在图4所示的例子中，顺序决定部19在依次对判定为碰撞可能性低的第1、第2、第3区域AR1、AR2、AR3进行拍摄的情况下，以拍摄组件2的移动距离变短的方式决定拍摄顺序。在图4所示的例子中，第1区域AR1的高度最高，第2区域AR2的高度仅次于第1区域AR1而第二高，第3区域AR3的高度最低。因此，顺序决定部19例如以拍摄第1区域AR1后，对第2区域AR2进行拍摄，接下来对第3区域AR3进行拍摄的方式决定拍摄顺序。由此，拍摄组件2在使第1、第2、第3区域AR1、AR2、AR3各自依次配置于景深DF的情况下，关于Z轴方向的移动专门只向－Z方向移动即可。由此，抑制拍摄组件2的Z轴方向的移动距离变长。例如，在以拍摄第2区域AR2后，对第1区域AR1进行拍摄，接下来对第3区域AR3进行拍摄的方式决定拍摄顺序的情况下，拍摄组件2在第2区域AR2的拍摄结束后，需要向+Z方向移动以使得第1区域AR1配置于景深DF，在第1区域AR1的拍摄结束后，需要向－Z方向大幅地移动以使得第3区域AR2配置于景深DF。在该情况下，拍摄组件2的Z轴方向的移动距离有可能变长。另外，在存在大量判定为碰撞可能性低的区域AR的情况下，对拍摄顺序进行优化，由此抑制XY平面内的拍摄组件2的移动距离变长。
移动控制部20以判定为碰撞可能性低的区域AR配置于景深DF，判定为碰撞可能性高的区域AR不配置于景深DF的方式对移动装置4进行控制。在实施方式中，移动控制部20在判定为碰撞可能性高的区域AR的上方没有配置拍摄组件2。在图4所示的例子中，移动控制部20以判定为碰撞可能性低的第1、第2、第3区域AR1、AR2、AR3配置于景深DF，拍摄组件2不移动至判定为碰撞可能性高的第4区域AR4的上方的方式对移动装置4进行控制。
在实施方式中，移动控制部20以判定为碰撞可能性低的区域AR的多个位置P的高度的平均值和固定焦点光学系统8的焦点FP一致的方式对移动装置4进行控制。在图3所示的例子中，移动控制部20在第1区域AR1的拍摄中，以第1区域AR1的位置P1的高度和位置P2的高度的平均值与固定焦点光学系统8的焦点FP一致的方式对拍摄组件2的Z轴方向的位置进行控制。移动控制部20在第2区域AR2的拍摄中，以第2区域AR2的位置P3的高度和位置P4的高度的平均值与固定焦点光学系统8的焦点FP一致的方式对拍摄组件2的Z轴方向的位置进行控制。移动控制部20在第3区域AR3的拍摄中，以第3区域AR3的位置P5的高度和位置P6的高度的平均值与固定焦点光学系统8的焦点FP一致的方式对拍摄组件2的Z轴方向的位置进行控制。
拍摄控制部21对拍摄组件2进行控制，以使得对配置于景深DF的区域AR进行拍摄。
[检查方法]
图5是表示实施方式所涉及的检查方法的流程图。高度数据取得部14从输入装置13取得高度数据。高度数据取得部14取得对象物W的表面的多个位置P的高度数据(步骤S1)。
在图3所示的例子中，高度数据取得部14取得位置P1、P2、P3、P4、P5、P6、P7的高度数据。高度数据能够从对象物W的设计数据或与检查装置1不同的其他测定装置的测定数据导出。
区域设定部16以包含高度彼此不同且能够同时配置于景深DF的对象物W的表面的多个位置P的方式对区域AR进行设定(步骤S2)。
在图3所示的例子中，区域设定部16以包含位置P1和位置P2的方式对第1区域AR1进行设定，以包含位置P3和位置P4的方式对第2区域AR2进行设定，以包含位置P5和位置P6的方式对第3区域AR3进行设定，以包含位置P7的方式对第4区域AR4进行设定。
判定部17将计数器i设定为作为初始值的1(步骤S3)。
判定部17基于在步骤S1中取得的高度数据及在装置数据存储部15中存储的拍摄组件2的外形数据，对在第i区域(第1区域AR1)配置于景深DF时是否存在照明装置7的支撑部件12的下端部和对象物W碰撞的可能性进行判定(步骤S4)。
在步骤S4中判定为存在碰撞可能性的情况下(步骤S4：Yes)，判定部17将第i区域作为存在碰撞可能性的区域AR而存储于区域存储部18(步骤S5)。
在步骤S4中判定为不存在碰撞可能性的情况下(步骤S4：No)，判定部17将第i区域作为不存在碰撞可能性的区域AR而存储于区域存储部18(步骤S6)。
判定部17判定是否关于在步骤S2中所设定的全部区域AR判定了碰撞可能性(步骤S7)。
在步骤S7中判定为没有关于全部区域AR而判定碰撞可能性的情况下(步骤S7：No)，判定部17使计数器i递增(步骤S8)，返回至步骤S4的处理。判定部17直至关于在步骤S2中所设定的全部区域AR判定碰撞可能性为止，重复步骤S4至步骤S8的处理。
在步骤S7中判定为关于全部区域AR判定了碰撞可能性的情况下(步骤S7：Yes)，顺序决定部19决定在区域存储部18中存储的判定为不存在碰撞可能性的多个区域AR的拍摄顺序(步骤S9)。
顺序决定部19以依次对判定为不存在碰撞可能性的多个区域AR进行拍摄时的拍摄组件2的移动距离变短的方式决定拍摄顺序。
在决定拍摄顺序后，通过拍摄组件2依次对判定为不存在碰撞可能性的多个区域AR进行拍摄。移动控制部20以判定为不存在碰撞可能性的AR区域依次配置于景深DF的方式对移动装置4进行控制。拍摄控制部21以对配置于景深DF的区域AR进行拍摄的方式对拍摄组件2进行控制(步骤S10)。
[计算机系统]
图6是表示实施方式所涉及的计算机系统1000的框图。上述的控制装置5包含计算机系统1000。计算机系统1000具有：如CPU(Central Processing Unit)那样的处理器1001；主存储器1002，其包含如ROM(Read Only Memory)那样的非易失性存储器及如RAM(RandomAccess Memory)那样的易失性存储器；储存器1003；以及接口1004，其包含输入输出电路。控制装置5的功能作为程序而存储于储存器1003。处理器1001从储存器1003读出程序而在主存储器1002展开，按照程序执行上述的处理。此外，程序也可以经由网络而传送至计算机系统1000。
程序按照上述的实施方式，能够使计算机系统1000执行下述动作：以对象物W的表面的多个区域AR各自在拍摄组件2的固定焦点光学系统8的景深DF依次被拍摄的方式使拍摄组件2和对象物W相对移动；基于多个区域AR各自的高度数据及拍摄组件2的外形数据，对多个区域AR各自配置于景深DF时的拍摄组件2的至少一部分和对象物W的碰撞可能性进行判定；以判定为碰撞可能性低的区域AR配置于景深DF，判定为碰撞可能性高的区域AR不配置于景深DF的方式使拍摄组件2和对象物W相对移动；以及以对配置于景深DF的区域AR进行拍摄的方式对拍摄组件2进行控制。
[效果]
如以上说明所述，根据实施方式，基于表示对象物W的表面的3维形状的高度数据和拍摄组件2的外形数据，判定对象物W的表面的多个区域AR各自配置于拍摄组件2的景深DF时的拍摄组件2的至少一部分和对象物W的碰撞可能性。判定为碰撞可能性低的区域AR在配置于景深DF的状态下由拍摄组件2进行拍摄。判定为碰撞可能性高的区域AR不配置于景深DF，不会由拍摄组件2进行拍摄。由此，抑制拍摄组件2和被拍摄组件2拍摄的对象物W的碰撞。
在实施方式中，拍摄组件2具有拍摄装置6和照明装置7。照明装置7与拍摄装置6的固定焦点光学系统8的前端面10相比配置于与焦点FP接近的位置。由此，拍摄组件2能够对由照明光照明的对象物W进行拍摄，因此能够适当地取得对象物W的图像。在实施方式中，照明装置7的支撑部件12的下端部配置于与对象物W接近的位置。对照明装置7的支撑部件12的下端部和对象物W的碰撞可能性进行判定，由此抑制拍摄组件2和对象物W的碰撞。
区域设定部16以包含高度彼此不同且能够同时配置于景深DF的对象物W的表面的多个位置P的方式对区域AR进行设定。由此，能够抑制拍摄组件2的拍摄次数。例如如图3所示，在对象物W的表面存在高度彼此不同的7个位置P1、P2、P3、P4、P5、P6、P7的情况下，如果在使固定焦点光学系统8的焦点FP和对象物W的表面一致的状态下对对象物W的表面进行拍摄，则拍摄组件2的拍摄次数需要7次。在实施方式中，以包含高度彼此不同且能够同时配置于景深DF的对象物W的表面的多个位置P的方式对区域AR进行设定，因此如果在使对象物W的表面的区域AR配置于固定焦点光学系统8的景深DF的状态下拍摄对象物W的表面，则拍摄组件2的拍摄次数4次即可。
移动控制部20以判定为碰撞可能性低的区域AR的多个位置P的高度的平均值和固定焦点光学系统8的焦点FP一致的方式对移动装置4进行控制。由此，在拍摄组件2的焦点(punt)对焦于多个位置P各自的状态下对区域AR进行拍摄。
判定为碰撞可能性低的多个区域AR的拍摄顺序由顺序决定部19决定。以拍摄组件2和对象物W的相对移动的距离变短的方式决定拍摄顺序。由此，实现检查装置1的检查时间的缩短。
标号的说明
1…检查装置，2…拍摄组件，3…工作台，4…移动装置，5…控制装置，6…拍摄装置，7…照明装置，8…固定焦点光学系统，9…图像传感器，10…前端面，11…光源，11A…第1光源，11B…第2光源，11C…第3光源，12…支撑部件，13…输入装置，14…高度数据取得部，15…装置数据存储部，16…区域设定部，17…判定部，18…区域存储部，19…顺序决定部，20…移动控制部，21…拍摄控制部，1000…计算机系统，1001…处理器，1002…主存储器，1003…储存器，1004…接口，AR…区域，AR1…第1区域，AR2…第2区域，AR3…第3区域，AR4…第4区域，AX…光轴，DF…景深，FP…焦点，IR…拍摄范围，P…位置，P1…位置，P2…位置，P3…位置，P4…位置，P5…位置，P6…位置，P7…位置，W…对象物。

Claims (8)

1.一种检查装置，其具有：
拍摄组件，其具有固定焦点光学系统；
移动装置，其使所述拍摄组件和对象物相对移动，以使得所述对象物的表面的多个区域各自依次配置于所述固定焦点光学系统的景深；
高度数据取得部，其取得多个所述区域各自的高度数据；
装置数据存储部，其对所述拍摄组件的外形数据进行存储；
判定部，其基于所述高度数据及所述外形数据，对多个所述区域各自配置于所述景深时的所述拍摄组件的至少一部分和所述对象物的碰撞可能性进行判定；
移动控制部，其以判定为所述碰撞可能性低的所述区域配置于所述景深，判定为所述碰撞可能性高的所述区域不配置于所述景深的方式对所述移动装置进行控制；以及
拍摄控制部，其以对配置于所述景深的所述区域进行拍摄的方式对所述拍摄组件进行控制。
2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，
所述拍摄组件具有：
拍摄装置，其包含所述固定焦点光学系统及经由所述固定焦点光学系统而取得所述对象物的图像的图像传感器；以及
照明装置，其与所述固定焦点光学系统的前端面相比配置于与所述固定焦点光学系统的焦点接近的位置，
所述判定部对所述照明装置和所述对象物的碰撞可能性进行判定。
3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其中，
具有对所述区域进行设定的区域设定部，
所述区域设定部以包含高度彼此不同且能够同时配置于所述景深的所述对象物的表面的多个位置的方式对所述区域进行设定。
4.根据权利要求3所述的检查装置，其中，
所述移动控制部以判定为所述碰撞可能性低的所述区域的多个位置的高度的平均值和所述固定焦点光学系统的焦点一致的方式对所述移动装置进行控制。
5.根据权利要求1或2所述的检查装置，其中，
具有顺序决定部，该顺序决定部决定判定为所述碰撞可能性低的多个所述区域的拍摄顺序，
所述顺序决定部以所述相对移动的距离变短的方式决定所述拍摄顺序。
6.根据权利要求3所述的检查装置，其中，
具有顺序决定部，该顺序决定部决定判定为所述碰撞可能性低的多个所述区域的拍摄顺序，
所述顺序决定部以所述相对移动的距离变短的方式决定所述拍摄顺序。
7.根据权利要求4所述的检查装置，其中，
具有顺序决定部，该顺序决定部决定判定为所述碰撞可能性低的多个所述区域的拍摄顺序，
所述顺序决定部以所述相对移动的距离变短的方式决定所述拍摄顺序。
8.一种检查方法，其包含下述步骤：
使拍摄组件和对象物相对移动，以使得所述对象物的表面的多个区域各自依次配置于所述拍摄组件的固定焦点光学系统的景深；
基于多个所述区域各自的高度数据及所述拍摄组件的外形数据，对多个所述区域各自配置于所述景深时的所述拍摄组件的至少一部分和所述对象物的碰撞可能性进行判定；
以判定为所述碰撞可能性低的所述区域配置于所述景深，判定为所述碰撞可能性高的所述区域不配置于所述景深的方式进行所述相对移动；以及
以对配置于所述景深的所述区域进行拍摄的方式对所述拍摄组件进行控制。
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