CN116531866A - 一种尾气处理系统及尾气处理方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种尾气处理系统和尾气处理方法，处理系统包括第一过滤器和与所述第一过滤器连通的第二过滤器，所述第一过滤器填充有吸附材料，所述第二过滤器设置有第一空气滤芯；待处理尾气经过所述第一过滤器处理后进入所述第二过滤器再处理。相比于常规的单级过滤处理，本发明的尾气处理系统采用至少两层过滤处理，可大大提高过滤效果，可使抽气泵至少稳定运行72小时不发生堵塞。

Description

一种尾气处理系统及尾气处理方法

技术领域

本发明涉及尾气处理技术领域，具体涉及一种尾气处理系统及尾气处理方法。

背景技术

化学气相沉积是利用气态或蒸汽态的物质在气相或气固界面上反应生成固态沉积物的技术，一般包括：1)形成气态或蒸汽态的物质；2)把上述物质转移至沉积区域；3)在固体上产生化学反应并产生固态物质。但气态或蒸汽态的物质在经过反应区时通常不能完全反应，有部分物质会顺着气路系统在尾气端排出；同时反应过程中往往伴随着很多副反应，产生的杂质也会顺着气路系统在尾气端排出。而这些尾气若不经过滤处理，轻则堵塞气体管路和抽气泵及腐蚀设备，重则污染环境危害人体健康。

目前对于气路系统的抽气泵有两种选择，一种连续抽气模式的抽气泵，泵一直抽气工作，可以免除粉尘尾气对泵的影响，但无法控制气体压力，实用度不高；另一种是真空控制模式的抽气泵，在气体压力高于或低于设定值时，会随之自动改变抽气功率，使气体压力稳定在设定值，但是尾气需要进行严格处理，否则粉尘很容易造成泵的堵塞和损坏。

基于此，目前化学气相沉积法中常采用真空控制模式的抽气泵+单级过滤处理尾气的组合，但单级过滤处理方法并不能保证尾气中的粉尘被有效过滤，因此时常在化学气相沉积十几小时后，发生抽气泵堵塞的现象。

有鉴于此，确有必要提供一种解决上述问题的技术方案。

发明内容

本发明的目的之一在于：针对现有技术的不足，提供一种尾气处理系统，以解决目前化学气相沉积法中单级过滤处理不能有效过滤掉尾气中的粉尘问题。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种尾气处理系统，包括第一过滤器和与所述第一过滤器连通的第二过滤器，所述第一过滤器填充有吸附材料，所述第二过滤器设置有第一空气滤芯；待处理尾气经过所述第一过滤器处理后进入所述第二过滤器再处理。

优选的，所述第一过滤器包括第一容器本体、用于密封所述第一容器本体的第一盖体、第一进气口和第一出气口；所述第一进气口安装于所述第一容器本体或所述第一盖体，所述第一出气口安装于所述第一容器本体或所述第一盖体，所述吸附材料填充在所述第一容器本体内；

所述第二过滤器包括第二容器本体、用于密封所述第二容器本体的第二盖体、第二进气口和第二出气口；所述第二进气口与所述第一出气口连通，且安装于所述第二容器本体或所述第二盖体，所述第二出气口安装于所述第二容器本体或所述第二盖体，所述第一空气滤芯设置在所述第二容器本体内。

优选的，所述第一容器本体的封口处设置有第一橡胶圈，所述第一盖体通过所述第一橡胶圈密封所述第一容器本体；所述第一进气口安装于所述第一盖体，所述第一出气口安装于所述第一容器本体；

所述第二容器本体的封口处设置有第二橡胶圈，所述第二盖体通过所述第二橡胶圈密封所述第二容器本体；所述第二进气口安装于所述第二盖体，所述第二出气口安装于所述第二容器本体。

优选的，所述第一容器本体内安装有呈迷宫设置的挡板，迷宫的入口为所述第一进气口，迷宫的出口为所述第一出气口；所述吸附材料铺设于所述挡板的表面；所述吸附材料包括活性炭。

优选的，所述第一空气滤芯的表面积为1～1.5m²；所述第一空气滤芯表面浸渍有柴油。

优选的，还包括与所述第二过滤器连通的第三过滤器；所述第三过滤器设置有第二空气滤芯；待处理尾气经过所述第二过滤器再处理后进入所述第三过滤器三处理。

优选的，所述第三过滤器包括第三容器本体、用于密封所述第三容器本体的第三盖体、第三进气口和第三出气口；所述第三进气口与所述第二出气口连通，且安装于所述第三容器本体或所述第三盖体，所述第三出气口安装于所述第三容器本体或所述第三盖体，所述第二空气滤芯设置在所述第三容器本体内。

优选的，所述第三容器本体的封口处设置有第三橡胶圈，所述第三盖体通过所述第三橡胶圈密封所述第三容器本体；所述第三进气口安装于所述第三盖体，所述第三出气口安装于所述第三容器本体；所述第二空气滤芯表面浸渍有柴油。

本发明的目的之二在于，提供一种上述所述的尾气处理系统的尾气处理方法，包括以下步骤：

S1、待处理尾气进入第一过滤器中处理，所述第一过滤器填充有吸附材料；

S2、经S1处理后的尾气进入第二过滤器中再处理，所述第二过滤器设置有第一空气滤芯；再处理后排出，完成尾气的处理。

优选的，步骤S2中，经再处理后的尾气先进入第三过滤器中进行三处理，所述第三过滤器设置有第二空气滤芯；三处理后再排出，完成尾气的处理。

本发明的有益效果在于：本发明提供的尾气处理系统，采用至少两层过滤处理，从化学气相沉积法中出来的尾气，先经过第一过滤器中的吸附材料可除去大部分固体杂质和含腐蚀性的气体；然后再经过第二过滤器中的空气滤芯过滤，利用空气滤芯的高表面积性可进一步吸附尾气中更加微小的固体颗粒粉末，从而解决了目前化学气相沉积法中单级过滤处理不能有效过滤掉尾气中的粉尘问题。相比于常规的单级过滤处理，本发明的尾气处理系统可大大提高过滤效果，可使抽气泵至少稳定运行72小时不发生堵塞。

附图说明

图1为本发明第一过滤器的结构示意图之一。

图2为本发明第一过滤器的结构示意图之二。

图3为本发明第二过滤器的结构示意图。

图4为本发明第三过滤器的结构示意图。

图中：1-第一过滤器；11-第一容器本体；12-第一盖体；13-第一进气口；14-第一出气口；15-吸附材料；16-挡板；2-第二过滤器；21-第二容器本体；22-第二盖体；23-第二进气口；24-第二出气口；25-第一空气滤芯；3-第三过滤器；31-第三容器本体；32-第三盖体；33-第三进气口；34-第三出气口；35-第二空气滤芯。

具体实施方式

为使本发明的技术方案和优点更加清楚，下面将结合具体实施方式和说明书附图，对本发明及其有益效果作进一步详细的描述，但本发明的实施方式不限于此。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本发明使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。

本发明所指的尾气处理系统，优选的是用于化学气相沉积法尾气的处理，更优选是用于化学气相沉积制备SiC涂层时所产生的尾气的处理，更进一步优选是用于以三氯甲基硅烷(MTS)作为原料进行化学气相沉积制备SiC涂层时所产生的尾气的处理。三氯甲基硅烷(MTS)作为原料进行化学气相沉积制备SiC涂层时，会产生很多含粉尘且具有腐蚀性的尾气，比如副反应里在气相中生成的碳和硅等，这些颗粒会顺着气路系统在尾气端排出，如不过滤处理，一般在气相沉积2h后抽气泵就会发生堵塞。

目前也会对尾气进行单级过滤处理，常规的单级处理方法是采用碱液进行过滤，使尾气通过气管伸到碱液底部，鼓泡的方式让碱液吸收尾气，可除去部分杂质，能使得化学气相沉积设备正常运转十几个小时。但在目前的工业化生产中，化学气相沉积设备正常运转十几个小时后抽气泵进行清理仍会影响正常的生产效率，因此还需提升尾气的过滤效率使得抽气泵可长时间稳定运行，以提升生产效率。

基于此，本发明第一方面旨在提供一种尾气处理系统，包括第一过滤器1和与所述第一过滤器1连通的第二过滤器2，所述第一过滤器1填充有吸附材料15，所述第二过滤器2设置有第一空气滤芯25；待处理尾气经过所述第一过滤器1处理后进入所述第二过滤器2再处理。

相比于常规的单级过滤处理，本发明至少采用两级过滤处理，且采用吸附材料15与空气滤芯先后过滤的处理方式，可大大提高过滤效果，使得抽气泵至少维持72h稳定运行。从化学气相沉积法中出来的尾气，首先经过第一过滤器1中的吸附材料15可除去大部分固体杂质和含腐蚀性的气体；然后再经过第二过滤器2中的空气滤芯过滤，利用空气滤芯的高表面积性可进一步吸附尾气中更加微小的固体颗粒粉末，从而解决了目前化学气相沉积法中单级过滤处理不能有效过滤掉尾气中的粉尘问题。

此外，采用吸附材料15与空气滤芯先后过滤的处理方式，相比于先空气滤芯后吸附材料15的处理方式，发明人经过实验表明本发明在整体上的过滤效率更加优异。这主要是因为吸附材料15可先吸附较大固体颗粒以及待腐蚀性的气体，经过一处理后的尾气再进入空气滤芯中过滤能进一步有效地过滤掉较小的固体颗粒，且空气滤芯的使用寿命更长。

在一些实施方式中，如图1～2所示，所述第一过滤器1包括第一容器本体11、用于密封所述第一容器本体11的第一盖体12、第一进气口13和第一出气口14；所述第一进气口13安装于所述第一容器本体11或所述第一盖体12，所述第一出气口14安装于所述第一容器本体11或所述第一盖体12，所述吸附材料15填充在所述第一容器本体11内。

优选的，所述第一容器本体11的封口处设置有第一橡胶圈(图中未标识)，所述第一盖体12通过所述第一橡胶圈密封所述第一容器本体11；所述第一进气口13安装于所述第一盖体12，所述第一出气口14安装于所述第一容器本体11。更优选的，第一橡胶圈为O型橡胶圈。

在一些实施方式中，如图1所示，吸附材料15分层填充于所述第一容器本体11内，在所述第一容器本体11的高度方向，所述第一出气口14的位置高度低于吸附材料15最上层的位置高度。如此可保证尾气深入吸附材料15中以被吸附材料15充分吸附其中的固体颗粒和腐蚀性气体。优选的，所述吸附材料15包括但不限于活性炭，还可包括能吸附的其他材料。

在一些实施方式中，如图2所示，所述第一容器本体11内安装有呈迷宫设置的挡板16，迷宫的入口为所述第一进气口13，迷宫的出口为所述第一出气口14；所述吸附材料15铺设于所述挡板16的表面。设置迷宫式挡板16并在其表面铺设吸附材料15，待处理尾气由第一进气口13进入第一容器本体11后，沿着迷宫出口方向经过依次设置于挡板16上的吸附材料15，可保证尾气在第一阶段能充分被处理掉大部分固体颗粒和腐蚀性气体，为后续第二阶段的有效吸附提供基础，从而整体上达到有效过滤尾气中颗粒粉末的目的。优选的，所述吸附材料15包括但不限于活性炭，还可包括能吸附的其他材料。

此外，本发明的吸附材料15采用呈固体的活性炭，而非液态的碱液，一方面在于吸附效果和吸附后续更换的便利；另一方面主要是在于与空气滤芯联用的整体效果，经过碱液处理后的尾气湿气较重，再将其送入空气滤芯中做进一步过滤，不仅达不到进一步处理固体颗粒的效果，而且还极易造成空气滤芯堵塞，更换频繁。而固体的活性炭同时还具有吸附水汽的作用，可进一步干燥尾气，此时的尾气送入空气滤芯中做进一步处理，能达到事半功倍的效果。

在一些实施方式中，如图3所示，所述第二过滤器2包括第二容器本体21、用于密封所述第二容器本体21的第二盖体22、第二进气口23和第二出气口24；所述第二进气口23与所述第一出气口14连通，且安装于所述第二容器本体21或所述第二盖体22，所述第二出气口24安装于所述第二容器本体21或所述第二盖体22，所述第一空气滤芯25设置在所述第二容器本体21内。

优选的，所述第二容器本体21的封口处设置有第二橡胶圈(图中未标识)，所述第二盖体22通过所述第二橡胶圈密封所述第二容器本体21；所述第二进气口23安装于所述第二盖体22，所述第二出气口24安装于所述第二容器本体21。

其中，本发明所述的第一空气滤芯25可为市面常见的空气滤芯，优选的，第一空气滤芯25的表面积为1～1.5m²。采用高表面积的空气滤芯进行再处理，对于尾气中固体颗粒的过滤效率更高。

在一些实施方式中，所述第一空气滤芯25表面浸渍有柴油。柴油具有一定的粘性，在尾气于第一阶段处理掉很大部分固体颗粒后，如采用图2所示的第一过滤器1进行处理，然后再利用浸渍了柴油的空气滤芯，能进一步提高吸附固体颗粒的过滤效率。

在一些实施方式中，本发明的尾气过滤系统还包括与所述第二过滤器2连通的第三过滤器3；所述第三过滤器3设置有第二空气滤芯35；待处理尾气经过所述第二过滤器2再处理后进入所述第三过滤器3三处理。

增加至三级过滤，本发明的尾气过滤系统基本能完全处理掉尾气中的固体颗粒粉末和腐蚀性气体等杂质，可保证抽气泵长达120h运行而不发生堵塞。

优选的，所述第二空气滤芯35表面浸渍有柴油。其中，第一空气滤芯25采用普通的空气滤芯进行吸附，其凭借高表面积能进一步去除其中的固体颗粒，同时保证尾气的干燥性；然后再经浸渍有柴油的第二空气滤芯35进行三处理，因尾气处理干燥状态其中的微小固体颗粒没有被水蒸气包裹，柴油的黏性能进一步把残留的细小粉末杂质过滤干净，从而达到让抽气泵运行150h以上而不发生堵塞的目的。

在一些实施方式中，如图4所示，所述第三过滤器3包括第三容器本体31、用于密封所述第三容器本体31的第三盖体32、第三进气口33和第三出气口34；所述第三进气口33与所述第二出气口24连通，且安装于所述第三容器本体31或所述第三盖体32，所述第三出气口34安装于所述第三容器本体31或所述第三盖体32，所述第二空气滤芯35设置在所述第三容器本体31内。

优选的，所述第三容器本体31的封口处设置有第三橡胶圈(图中未标识)，所述第三盖体32通过所述第三橡胶圈密封所述第三容器本体31；所述第三进气口33安装于所述第三盖体32，所述第三出气口34安装于所述第三容器本体31。

本发明所述的第一过滤器1、第二过滤器2和第三过滤器3的外体结构均可为罐结构，对应的，第一容器本体11、第二容器本体21、第三容器本体31外体结构为罐体，第一盖体12、第二盖体22、第三盖体32为罐盖。

而采用橡胶圈密封容器本体和盖体，优选的橡胶圈为O型橡胶圈，一方面此结构密封具有良好的气密性；另一方面易于拆卸，在化学气相沉积长期处于负压状态下，也可及时更换或清洗吸附材料15、第一空气滤芯25和第二空气滤芯35。

本发明第二方面旨在提供一种上述所述的尾气处理系统的尾气处理方法，包括以下步骤：

S1、待处理尾气进入第一过滤器1中处理，所述第一过滤器1填充有吸附材料15；

S2、经S1处理后的尾气进入第二过滤器2中再处理，所述第二过滤器2设置有第一空气滤芯25；再处理后排出，完成尾气的处理。

在一些实施方式中，步骤S2中，经再处理后的尾气先进入第三过滤器3中进行三处理，所述第三过滤器3设置有第二空气滤芯35；三处理后再排出，完成尾气的处理。

为使本发明的技术方案和优点更加清楚，下面将结合具体实施方式和说明书附图，对本发明及其有益效果作进一步详细的描述，但本发明的实施方式不限于此。

实施例1

一种尾气处理系统，包括第一过滤器1和与第一过滤器1连通的第二过滤器2，第一过滤器1填充有活性炭吸附材料，第二过滤器2设置有第一空气滤芯25；待处理尾气经过第一过滤器1处理后进入第二过滤器2再处理。

具体的，如图1所示，第一过滤器1包括第一容器本体11、用于密封第一容器本体11的第一盖体12、第一进气口13和第一出气口14；第一进气口13安装于第一盖体12，第一出气口14安装于第一容器本体11；活性炭吸附材料填充在第一容器本体11内，在第一容器本体11的高度方向，第一出气口14的位置高度低于活性炭吸附材料最上层的位置高度；第一容器本体11的封口处设置有O型橡胶圈，第一盖体12通过O型橡胶圈进行密封所述第一容器本体11。

如图3所示，第二过滤器2包括第二容器本体21、用于密封第二容器本体21的第二盖体22、第二进气口23和第二出气口24；第二进气口23与第一出气口14连通，且安装于第二盖体22，第二出气口24安装于所述第二容器本体21，第一空气滤芯25设置在所述第二容器本体21内，第一空气滤芯25的表面积为1.256m²，为普通空气滤芯，没有浸渍柴油；第二容器本体21的封口处设置有O型橡胶圈，第二盖体22通过O型橡胶圈进行密封第二容器本体21。

该尾气处理系统的处理方法，包括以下步骤：

S1、待处理尾气送入第一过滤器1中处理；

S2、经S1处理后的尾气进入第二过滤器2中再处理；再处理后排出，完成尾气的处理。

该尾气处理系统用在三氯甲基硅烷(MTS)作为原料进行化学气相沉积制备SiC涂层时的尾气处理，可保证抽气泵连续工作73h不发生堵塞。

实施例2

与实施例1不同的是，本尾气处理系统中第一过滤器1的设置。

如图2所示，第一过滤器1包括第一容器本体11、用于密封第一容器本体11的第一盖体12、第一进气口13和第一出气口14；第一进气口13安装于第一盖体12，第一出气口14安装于第一容器本体11；所述第一容器本体11内安装有呈迷宫设置的挡板16，迷宫的入口为第一进气口13，迷宫的出口为第一出气口14；活性炭吸附材料铺设于挡板16的表面；第一容器本体11的封口处设置有O型橡胶圈，第一盖体12通过O型橡胶圈进行密封第一容器本体11。

其余同实施例1的设置，这里不再赘述。

该尾气处理系统用在三氯甲基硅烷(MTS)作为原料进行化学气相沉积制备SiC涂层时的尾气处理，可保证抽气泵连续工作85h不发生堵塞。

实施例3

与实施例2不同的是，本尾气处理系统中第二过滤器2的设置。

第二过滤器2包括第二容器本体21、用于密封第二容器本体21的第二盖体22、第二进气口23和第二出气口24；第二进气口23与第一出气口14连通，且安装于第二盖体22，第二出气口24安装于所述第二容器本体21，第一空气滤芯25设置在所述第二容器本体21内，第一空气滤芯25的表面积为1.256m²，且表面浸渍有柴油；第二容器本体21的封口处设置有O型橡胶圈，第二盖体22通过O型橡胶圈进行密封第二容器本体21。

其余同实施例2的设置，这里不再赘述。

该尾气处理系统用在三氯甲基硅烷(MTS)作为原料进行化学气相沉积制备SiC涂层时的尾气处理，可保证抽气泵连续工作96h不发生堵塞。

实施例4

一种尾气处理系统，包括依次连通的第一过滤器1、第二过滤器2和第三过滤器3，第一过滤器1填充有活性炭吸附材料，第二过滤器2设置有第一空气滤芯25；第三过滤器3设置有第二空气滤芯35；待处理尾气经过第一过滤器1处理后进入第二过滤器2再处理，而后进入第三过滤器3三处理。

具体的，如图1所示，第一过滤器1包括第一容器本体11、用于密封第一容器本体11的第一盖体12、第一进气口13和第一出气口14；第一进气口13安装于第一盖体12，第一出气口14安装于第一容器本体11；活性炭吸附材料填充在第一容器本体11内，在第一容器本体11的高度方向，第一出气口14的位置高度低于吸附材料15最上层的位置高度；第一容器本体11的封口处设置有O型橡胶圈，第一盖体12通过O型橡胶圈进行密封所述第一容器本体11。

如图3所示，第二过滤器2包括第二容器本体21、用于密封第二容器本体21的第二盖体22、第二进气口23和第二出气口24；第二进气口23与第一出气口14连通，且安装于第二盖体22，第二出气口24安装于所述第二容器本体21，第一空气滤芯25设置在所述第二容器本体21内，第一空气滤芯25的表面积为1.256m²，为普通空气滤芯，没有浸渍柴油；第二容器本体21的封口处设置有O型橡胶圈，第二盖体22通过O型橡胶圈进行密封第二容器本体21。

如图4所示，第三过滤器3包括第三容器本体31、用于密封第三容器本体31的第三盖体32、第三进气口33和第三出气口34；第三进气口33与第二出气口24连通，且安装于第三盖体32，第三出气口34安装于第三容器本体31或；第二空气滤芯35设置在第三容器本体31内，表面积为1.256m²，且表面浸渍有柴油；第三容器本体31的封口处也同样设置有O型橡胶圈，第三盖体32通过O型橡胶圈进行密封第三容器本体31。

该尾气处理系统的处理方法，包括以下步骤：

S1、待处理尾气送入第一过滤器1中处理；

S2、经S1处理后的尾气进入第二过滤器2中再处理；

S3、经S2的再处理后的尾气先进入第三过滤器3中进行三处理；三处理后再排出，完成尾气的处理。

该尾气处理系统用在三氯甲基硅烷(MTS)作为原料进行化学气相沉积制备SiC涂层时的尾气处理，可保证抽气泵连续工作155h不发生堵塞。

对比例1

一种尾气处理罐，罐内装有碱液，为常规的化学气相沉积所用尾气处理罐。处理方法为：待处理尾气通过气管伸到碱液底部，通过鼓泡的方式让碱液吸收尾气进而达到过滤的效果。

该尾气处理罐用在三氯甲基硅烷(MTS)作为原料进行化学气相沉积制备SiC涂层时的尾气处理，可保证抽气泵连续工作12h不发生堵塞。

对比例2

一种尾气处理罐，罐内装有活性炭吸附材料。处理方法为：待处理尾气通过气管吹入活性炭吸附材料中，通过活性炭的吸附来除去尾气中的杂质。

该尾气处理罐用在三氯甲基硅烷(MTS)作为原料进行化学气相沉积制备SiC涂层时的尾气处理，可保证抽气泵连续工作11h不发生堵塞。

对比例3

与实施例1不同的是，本尾气处理系统中第一过滤器1和第二过滤器2的设置。

本尾气处理系统的第一过滤器1装设普通空气滤芯，第二过滤器2填充活性炭吸附材料。即是实施例1中的第一过滤器1和第二过滤器2互换组成了本对比例的处理系统。

其余参见实施例1的设置，这里不再赘述。

该尾气处理系统用在三氯甲基硅烷(MTS)作为原料进行化学气相沉积制备SiC涂层时的尾气处理，可保证抽气泵连续工作60h不发生堵塞。

对比例4

与实施例4不同的是，本尾气处理系统中第一过滤器1、第二过滤器2和第三过滤器3的设置。

本尾气处理系统的第一过滤器1装设普通空气滤芯，第二过滤器2装设浸渍柴油的空气滤芯，第三过滤器3填充活性炭吸附材料。

其余参见实施例4的设置，这里不再赘述。

该尾气处理系统用在三氯甲基硅烷(MTS)作为原料进行化学气相沉积制备SiC涂层时的尾气处理，可保证抽气泵连续工作66h不发生堵塞。

通过上述的实验及验证结果可以看出，采用本发明的尾气处理系统有效处理了尾气中的固定颗粒粉末和腐蚀性气体，能保证化学气相沉积中的抽气泵连续工作至少72h不发生堵塞，相比于常规的碱液式单级处理系统，保证了抽气泵长时间稳定运行。另外，本发明的尾气处理系统加装方便，且易于拆装，方便清洁，也可重复使用，耗材低廉，实用性更高。

其中，通过实施例1和对比例3的对比中可以看出，本发明的二级过滤处理，以活性炭+空气滤芯先后顺序的处理，更能延长化学气相沉积中的抽气泵的连续工作时间。这主要是因为活性炭优先吸附可吸附掉大部分杂质，空气滤芯再吸附能进一步过滤掉其中的细小颗粒粉末，而如果是先空气滤芯过滤虽也能过滤掉部分细小颗粒粉末，但过滤效果有限，后续的活性炭同样无法有效过滤掉细小颗粒，致使尾气中仍残留有部分细微小颗粒，因此对比例3中抽气泵的稳定运行时间要低于实施例1中的稳定运行时间。

此外，通过实施例4和对比例4的对比还可以看出，本发明的三级过滤处理，采用活性炭+空气滤芯+浸渍柴油的空气滤芯的组合，过滤处理层层递进，彼此配合，可保证化学气相沉积中的抽气泵连续工作150h以上不发生堵塞，大大提升了抽气泵稳定运行时间。而如果是过滤处理顺序调换，如对比例4中的组合，因前期尾气中存在大量的固体颗粒粉末及其他杂质，先进行两级空气滤芯处理再活性炭吸附，并不能很好吸附掉藏于其中的细微小颗粒粉末，最后的处理效果仍是有待改善。

综上，本发明提供的尾气处理系统，采用活性炭与空气滤芯组合的至少两层过滤处理，从化学气相沉积法中出来的尾气，先经活性炭除去大部分固体杂质和含腐蚀性的气体；然后再经过空气滤芯过滤进一步吸附尾气中更加微小的固体颗粒粉末，解决了目前化学气相沉积法中单级过滤处理不能有效过滤掉尾气中的粉尘问题。

根据上述说明书的揭示和教导，本发明所属领域的技术人员还能够对上述实施方式进行变更和修改。因此，本发明并不局限于上述的具体实施方式，凡是本领域技术人员在本发明的基础上所作出的任何显而易见的改进、替换或变型均属于本发明的保护范围。此外，尽管本说明书中使用了一些特定的术语，但这些术语只是为了方便说明，并不对本发明构成任何限制。

Claims (10)

1.一种尾气处理系统，其特征在于，包括第一过滤器和与所述第一过滤器连通的第二过滤器，所述第一过滤器填充有吸附材料，所述第二过滤器设置有第一空气滤芯；待处理尾气经过所述第一过滤器处理后进入所述第二过滤器再处理。

2.根据权利要求1所述的尾气处理系统，其特征在于，所述第一过滤器包括第一容器本体、用于密封所述第一容器本体的第一盖体、第一进气口和第一出气口；所述第一进气口安装于所述第一容器本体或所述第一盖体，所述第一出气口安装于所述第一容器本体或所述第一盖体，所述吸附材料填充在所述第一容器本体内；

所述第二过滤器包括第二容器本体、用于密封所述第二容器本体的第二盖体、第二进气口和第二出气口；所述第二进气口与所述第一出气口连通，且安装于所述第二容器本体或所述第二盖体，所述第二出气口安装于所述第二容器本体或所述第二盖体，所述第一空气滤芯设置在所述第二容器本体内。

3.根据权利要求2所述的尾气处理系统，其特征在于，所述第一容器本体的封口处设置有第一橡胶圈，所述第一盖体通过所述第一橡胶圈密封所述第一容器本体；所述第一进气口安装于所述第一盖体，所述第一出气口安装于所述第一容器本体；

所述第二容器本体的封口处设置有第二橡胶圈，所述第二盖体通过所述第二橡胶圈密封所述第二容器本体；所述第二进气口安装于所述第二盖体，所述第二出气口安装于所述第二容器本体。

4.根据权利要求2所述的尾气处理系统，其特征在于，所述第一容器本体内安装有呈迷宫设置的挡板，迷宫的入口为所述第一进气口，迷宫的出口为所述第一出气口；所述吸附材料铺设于所述挡板的表面；所述吸附材料包括活性炭。

5.根据权利要求1～4任一项所述的尾气处理系统，其特征在于，所述第一空气滤芯的表面积为1～1.5m²；所述第一空气滤芯表面浸渍有柴油。

6.根据权利要求1所述的尾气处理系统，其特征在于，还包括与所述第二过滤器连通的第三过滤器；所述第三过滤器设置有第二空气滤芯；待处理尾气经过所述第二过滤器再处理后进入所述第三过滤器三处理。

7.根据权利要求6所述的尾气处理系统，其特征在于，所述第三过滤器包括第三容器本体、用于密封所述第三容器本体的第三盖体、第三进气口和第三出气口；所述第三进气口与所述第二出气口连通，且安装于所述第三容器本体或所述第三盖体，所述第三出气口安装于所述第三容器本体或所述第三盖体，所述第二空气滤芯设置在所述第三容器本体内。

8.根据权利要求7所述的尾气处理系统，其特征在于，所述第三容器本体的封口处设置有第三橡胶圈，所述第三盖体通过所述第三橡胶圈密封所述第三容器本体；所述第三进气口安装于所述第三盖体，所述第三出气口安装于所述第三容器本体；所述第二空气滤芯表面浸渍有柴油。

9.一种根据权利要求1～8任一项所述的尾气处理系统的尾气处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、待处理尾气进入第一过滤器中处理，所述第一过滤器填充有吸附材料；

S2、经S1处理后的尾气进入第二过滤器中再处理，所述第二过滤器设置有第一空气滤芯；再处理后排出，完成尾气的处理。

10.根据权利要求9所述的尾气处理方法，其特征在于，步骤S2中，经再处理后的尾气先进入第三过滤器中进行三处理，所述第三过滤器设置有第二空气滤芯；三处理后再排出，完成尾气的处理。