CN116480588B - 定子及真空泵 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种定子及真空泵，涉及真空泵技术领域，用以改善定子内部吹扫不彻底的问题。所述定子包括主体，所述主体开设有：转子腔；进气通道；分气通道，所述分气通道设于所述转子腔与所述进气通道之间，并将所述进气通道与所述转子腔连通，以使气体经所述分气通道吹散至所述转子腔内。

Description

定子及真空泵

技术领域

本申请涉及真空泵技术领域，尤其涉及一种定子及真空泵。

背景技术

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。一般，真空泵包括定子和转子，转子子设置在定子内部，并在定子内部旋转。在对定子内部通入清洁气体进行清洁时，常常会出现清洁死角，定子内部吹扫不彻底的情况。

发明内容

有鉴于此，本申请提供一种定子及真空泵，用以改善定子内部吹扫不彻底的问题。

而本申请为解决上述技术问题所采用的技术方案为：

第一方面，本申请提供了一种定子，所述定子包括主体，所述主体开设有：

转子腔；

进气通道；

分气通道，所述分气通道设于所述转子腔与所述进气通道之间，并将所述进气通道与所述转子腔连通，以使气体经所述分气通道吹散至所述转子腔内；

所述分气通道包括两个相对设置的进气腔，两个所述进气腔分别位于所述进气通道的两侧并与所述进气通道连通；所述进气腔朝向所述转子腔的一侧与所述转子腔连通；

所述进气腔朝向所述转子腔一侧的内壁上开设有若干分散口，所述分散口与所述转子腔连通，以将所述气体从所述进气腔分散排至所述转子腔内；

所述分气通道还包括两组分散流道，两组所述分散流道分别通过所述分散口与两个所述进气腔连通，所述分散流道引导气体朝向不同方向流入至所述转子腔内。

在本申请的部分实施例中，所述进气腔沿所述主体的厚度方向延伸并呈圆筒状，所述若干分散口沿所述主体的厚度方向开设于所述进气腔的内壁上。

在本申请的部分实施例中，两组所述分散流道位于所述进气通道的两侧并呈轴对称设置。

在本申请的部分实施例中，所述分散流道包括多个分支流道，多个分支流道沿所述主体的厚度方向依次排布。

在本申请的部分实施例中，所述分散流道呈半月型并具有弧形的气体引导面，所述气体引导面朝向所述进气通道的两侧延伸，并且所述气体引导面朝向所述转子腔呈弧线倾斜设置。

第二方面，本申请提供了一种真空泵，所述真空泵包括：

如第一方面所述的定子；

转子，所述转子设于所述转子腔内。

在本申请的部分实施例中，所述转子包括第一转子和第二转子，所述第一转子和第二转子均位于所述转子腔内并呈相对设置；所述分气通道包括两组分散流道，所述进气通道通过两组所述分散流道与所述转子腔连通，一组所述分散流道靠近所述第一转子设置，另一组所述分散流道靠近所述第二转子设置。

综上，由于采用了上述技术方案，本申请至少包括如下有益效果：

本申请所提供的一种定子及真空泵，主要通过将分气通道设于转子腔和进气通道之间，并利用分气通道，将转子腔和进气通道连通，利用分气通道，使通过分气通道流经至转子腔内的气体被分散，使气体能够以多个方向进入至转子腔内，相较于现有技术中，进气通道位置固定，以及进入转子腔内的气体方向固定而言，本申请所提供给的定子能够更有效地将气体以不同方向流入至转子腔内，再配合转子的转动，使气体尽可能地扫过转子腔内各个位置，减少气体清洁时的吹扫死角，使清洁效果更加彻底。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本申请的一些实施例，而非对本申请的限制，其中：

图1为本申请实施例中所提供的定子的结构示意图；

图2为本申请实施例中所提供的定子的剖视结构示意图；

图3为本申请实施例中所提供的定子的透视立体结构示意图；

图4为本申请实施例中所提供的真空泵的剖视结构示意图。

附图标记说明：

1、定子；11、主体；12、转子腔；13、进气通道；14、分气通道；141、进气腔；142、分散流道；1421、分支流道；1422、气体引导面；15、出气通道；2、转子。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下获得的所有其他实施例，都属于本申请所保护的范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，词语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个特征。在本申请的描述中，“多个”的含义为两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，“示例性”一词用来表示“用作例子、例证或说明”。本申请中被描述为示例性”的任何实施例不一定被解释为比其他实施例更优选或更具优势。为使本领域任何技术人员能够实现和使用本申请，给出了以下描述。在以下描述，为了解释的目的而列出了细节。应当明白的是，本领域普通技术人员可以认识到，在不使用这些特定细节的情况下也可以实现本申请。在其他实例中，不会对已知的结构和过程进行详细阐述，以避免不必要的细节使本申请的描述变得晦涩。因此，本申请并非旨在限于所示的实施例，而是与符合本申请所公开的原理的最广范围相一致。

真空泵产生真空的工作原理主要是利用运动部件的旋转或者进给运动，产生封闭空间的容积差，实现抽气和排气的过程，从而产生抽真空的过程。真空泵工作时，动力驱动联轴器，靠定子带动叶片、转子在壳体内腔中旋转，从而产生封闭容积的变化，实现抽气、排气过程。对于真空泵中定子内部的清洁工作，至关重要，若定子内杂质过多，便可能影响真空泵形成或者维持真空的效果。目前，对于定子内部的清洁，一般采用气体吹扫的方式进行，但针对气体吹扫，现在的吹扫方式，往往会造成定子内部吹扫不彻底，存在一定的清洁死角，导致定子内部清洁并不彻底，依旧具有影响真空泵正常工作的风险。

为此，请参见图1至图3，本申请提供了一种定子1，该定子1包括主体11，主体11开设有：

转子腔12；

进气通道13；

分气通道14，所述分气通道14设于所述转子腔12与所述进气通道13之间，并将所述进气通道13与所述转子腔12连通，以使气体经所述分气通道14吹散至所述转子腔12内。

本申请所提供的技术方案主要是通过将分气通道14设于转子腔12和进气通道13之间，并利用分气通道14，将转子腔12和进气通道13连通，利用分气通道14，使通过分气通道14流经至转子腔12内的气体被分散，使气体能够以多个方向进入至转子腔12内，相较于现有技术中，进气通道13位置固定，以及进入转子腔12内的气体方向固定而言，本申请所提供给的定子1能够更有效地将气体以不同方向流入至转子腔12内，再配合转子2的转动，使气体尽可能地扫过转子腔12内各个位置，减少气体清洁时的吹扫死角，使清洁效果更加彻底。

在一些实施例中，分气通道14包括两个相对设置的进气腔141。两个进气腔141分别位于进气通道13的两侧并与进气通道13连通，进气腔141朝向所述转子腔12的一侧与所述转子腔12连通。通过设置两个进气腔141，使两个进气腔141能够分别位于进气通道13的两侧，以增加后续气体进入转子腔12内的方向和位置。相较于现有技术中，仅通过位置固定的进气通道13进入至转子腔12而言，通过利用两个进气腔141将气体从进气通道13的两侧位置处排入至转子腔12内，气体进入转子腔12的位置方向更多，配合转子2的转动，更有利于使气体覆盖转子腔12各处，降低吹扫不彻底的情况出现的概率。

进一步地，进气腔141朝向转子腔12一侧的内壁上开设有若干分散口。若干分散口均与转子腔12连通，以将气体从进气腔141分散至转子腔12内。通过在进气腔141上开设有若干分散口，使经进气腔141流出的气体，能够通过若干分散口分散流入至转子腔12内。这里将气体形成的一股气流分散为多股气流并从不同的分散口流出，有利于使气体分散至转子腔12内各处，减少甚至消除吹扫死角。

更进一步地，进气腔141沿主体11的厚度方向延伸并呈圆筒状。需要说明的是，该进气腔141沿主体11的厚度方向延伸，以不贯穿主体11厚度为限，避免形成通孔形状，造成通入的气体泄露，致使输入至转子腔12内的气体压力不足。若干分散口沿主体11的厚度方向开设于进气腔141的内壁上，并配合进气腔141圆筒状的形状，使分散口呈一个扩口的形状，更有利于气体流通。还需要说明的是，进气腔141的形状不仅限于圆筒状，其也可以为长方体状、正方体状、球状等，不做限定。在本实施例中，采用的是圆筒状，相较于其他形状，圆筒状沿主体11的厚度方向更便于开设多个分散口，以及圆筒状的内壁呈圆周状，使气体在进入至进气腔141内，继续流动时，能够更好地随进气腔141的内壁流动。

在一些实施例中，分气通道14还包括两组分散流道142。两组分散流道142分别通过分散口与两个进气腔141连通。通过设置两组分散流道142，其中一组分散流道142与其中一个进气腔141连通，另一组分散流道142与另一进气腔141连通，使气体能够通过位于不同位置的两个分散流道142流入至转子腔12内，达到气体分散的目的。除此以外，还通过设置分散流道142，以延长气体流入转子腔12内的路径，通过延长部分的路径，可使气体被分散的路径更长，以使气体分散效果更好。分散流道142引导气体朝向不同方向流入至转子腔12内。

进一步地，两组分散流道142位于进气通道13的两侧并呈轴对称设置，利用分散流道142的相对设置，使分散流道142将气体从不同位置引导至转子腔12内，提高进入转子腔12内的气体位置多样性，降低吹扫死角。

在一些实施例中，分散流道142包括多个分支流道1421。多个分支流道1421沿主体11的厚度方向依次排布，相当于沿进气腔141的长度方向依次排布，并通过进气腔141上开设的多个分散口，使每一分支流道1421对应与一分散口连通，将通过每一分散口进入至每一分支流道1421的气体均能够通过分支流道1421延长其扩散的路径，直至流入至转子腔12内的气体能够被分为多股气流进入，并且每股气流进入至转子腔12的位置均不完全相同，方向也不完全相同，以及气流经过路径延长，使气体进入转子腔12的扩散程度得到提高。

在一些实施例中，分散流道142呈半月型并具有弧形的气体引导面1422。分散流道142呈半月型，可知在气体进入至分散流道142后，气体一部分会沿其半月型的形状继续扩散流动，一部分会直接从分散流道142与转子腔12所连通的口流入至转子腔12，这样便使进入至分散流道142后的气体进一步得到扩散。除此以外，该气体引导面1422朝向进气通道13的两侧延伸，并且气体引导面1422朝向转子腔12呈弧线倾斜设置，通过利用气体引导面1422，使气体在其自身惯性以及受到的压力作用下，能够沿气体引导面1422继续朝向背离进气通道13的方向继续流动，并进入至转子腔12内，增加气体扩散的距离和范围。该气体引导面1422呈弧形并朝向转子腔12倾斜，更符合气体流动学，使气体在进入至分散流动后，流动更加顺畅，并能够起到引导气流流入至转子腔12内的作用。

在一些实施例中，主体11还开设有出气通道15，该出气通道15与进气通道13相对设置，且与转子腔12连通，用于将经过转子腔12的气体通过该出气通道15排至转子腔12外部，达到真空泵抽真空的效果。

请参见图4，本申请还提供了一种真空泵，该真空泵包括：

上述任一实施例中所述的定子1；

转子2，该转子2设于转子腔12内。

通过定子1和转子2的配合，实现真空泵抽真空或者维持真空的作用。

在一些实施例中，转子2包括第一转子2和第二转子2。所述第一转子2和第二转子2均位于所述转子腔12内并呈相对设置；所述分气通道14包括两组分散流道142，所述进气通道13通过两组所述分散流道142与所述转子腔12连通，一组所述分散流道142靠近所述第一转子2设置，另一组所述分散流道142靠近所述第二转子2设置。通过将一组分散流道142靠近第一转子2设置，另一种分散流道142靠近第二转子2设置，有利于使两组分散流道142分别引导流入至转子腔12内的气体能够更加靠近对应的转子2位置处，再配合转子2的转动，使第一转子2和第二转子2分别能够带走一部分对应的气体进行流动，并吹扫转子腔12内各处，大大提高气体吹扫的范围，改善吹扫不彻底，出现清洁死角的问题。

还需要说明的是，对于该真空泵，其包括上述任一实施例中所述的定子1，因此上述任一实施例中所述的定子1的结构以及对应的有益效果，该真空泵均具有相同的有益效果，在此不再赘述。

为便于更好地理解定子1的结构以及真空泵的工作过程，下面对定子1的加工过程做简单介绍，以及对真空泵工作过程做简单介绍：

定子1的加工方式包括：首先加工吹扫气体进气孔，然后用T型刀加工6个梳型的分流通道，最后加工工艺孔将进气口与分流通道进行连通。

真空泵的工作过程为：转子2在定子1中旋转，进行真空泵的运作，此时吹扫气体通过进气口进入进气通道13，最后通过吹扫气体梳型的流线式分流通道分散后对定子1内腔进行吹扫；通过转子2相对定子1的运动，吹扫气体可以覆盖定子1内腔的全部位置，实现无死角吹扫。

上文已对基本概念做了描述，显然，对于本领域技术人员来说，上述详细披露仅仅作为示例，而并不构成对本申请的限定。虽然此处并没有明确说明，本领域技术人员可能会对本申请进行各种修改、改进和修正。该类修改、改进和修正在本申请中被建议，所以该类修改、改进、修正仍属于本申请示范实施例的精神和范围。

同时，本申请使用了特定词语来描述本申请的实施例。如“一个实施例”、“一实施例”、和/或“一些实施例”意指与本申请至少一个实施例相关的某一特征、结构或特点。因此，应强调并注意的是，本说明书中在不同位置两次或多次提及的“一实施例”或“一个实施例”或“一个替代性实施例”并不一定是指同一实施例。此外，本申请的一个或多个实施例中的某些特征、结构或特点可以进行适当的组合。

同理，应当注意的是，为了简化本申请披露的表述，从而帮助对一个或多个申请实施例的理解，前文对本申请实施例的描述中，有时会将多种特征归并至一个实施例、附图或对其的描述中。但是，这种披露方法并不意味着本申请对象所需要的特征比权利要求中提及的特征多。实际上，实施例的特征要少于上述披露的单个实施例的全部特征。

针对本申请引用的每个专利、专利申请、专利申请公开物和其他材料，如文章、书籍、说明书、出版物、文档等，特此将其全部内容并入本申请作为参考，但与本申请内容不一致或产生冲突的申请历史文件除外，对本申请权利要求最广范围有限制的文件(当前或之后附加于本申请中的)也除外。需要说明的是，如果本申请附属材料中的描述、定义、和/或术语的使用与本申请内容有不一致或冲突的地方，以本申请的描述、定义和/或术语的使用为准。

Claims (6)

1.一种定子，其特征在于，所述定子包括主体，所述主体开设有：

转子腔；

进气通道；

分气通道，所述分气通道位于所述转子腔与所述进气通道之间，并将所述进气通道与所述转子腔连通；

所述分气通道包括两个相对设置的进气腔，两个所述进气腔分别位于所述进气通道的两侧并与所述进气通道连通；所述进气腔朝向所述转子腔的一侧与所述转子腔连通；

所述进气腔朝向所述转子腔一侧的内壁上开设有若干分散口，所述分散口与所述转子腔连通；

所述分气通道还包括两组分散流道，两组所述分散流道分别通过所述分散口与两个所述进气腔连通，所述分散流道引导气体朝向不同方向流入至所述转子腔内；

所述分散流道包括多个分支流道，多个分支流道沿所述主体的厚度方向依次排布。

2.如权利要求1所述的定子，其特征在于，所述进气腔沿所述主体的厚度方向延伸并呈圆筒状，所述若干分散口沿所述主体的厚度方向开设于所述进气腔的内壁上。

3.如权利要求1所述的定子，其特征在于，两组所述分散流道位于所述进气通道的两侧并呈轴对称设置。

4.如权利要求1所述的定子，其特征在于，所述分散流道呈半月型并具有弧形的气体引导面，所述气体引导面朝向所述进气通道的两侧延伸，并且所述气体引导面朝向所述转子腔呈弧线倾斜设置。

5.一种真空泵，其特征在于，所述真空泵包括：

如权利要求1至4任一项所述的定子；

转子，所述转子设于所述转子腔内。

6.如权利要求5所述的真空泵，其特征在于，所述转子包括第一转子和第二转子，所述第一转子和第二转子均位于所述转子腔内并呈相对设置；所述分气通道包括两组分散流道，所述进气通道通过两组所述分散流道与所述转子腔连通，一组所述分散流道靠近所述第一转子设置，另一组所述分散流道靠近所述第二转子设置。