CN116438032A - 清洗附件以及用于通过激光对工件的表面进行加工、特别是使之结构化的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种用于工件(1)的清洗附件(5)，所述工件具有待要通过激光辐射加工的表面(8)，其中，所述工件(1)具有在所述工件(1)的至少一个侧面上敞开的腔室(10)，并且其中所述待要加工的表面(8)是被布置在所述腔室(10)内的表面。所述清洗附件包括：穿过所述清洗附件(5)的中央开口(6)；至少一个清洗气体馈送通道(11)，所述至少一个清洗气体馈送通道(11)延伸穿过所述清洗附件(5)并且在第一端处具有用于清洗气体馈送管线的连接器(13)并且在第二端处具有出口开口(14)；至少一个清洗气体抽吸通道(12)，所述至少一个清洗气体抽吸通道(12)延伸穿过所述清洗附件(5)并且在第一端处具有用于清洗气体排放管线的连接器(16)并且在第二端处具有入口开口(17)，并且其中所述至少一个清洗气体馈送通道(11)的所述出口开口(14)和所述至少一个清洗气体抽吸通道(12)的所述入口开口被布置在所述中央开口(6)的相互相对的两侧上；以及至少一个定中心部分，所述至少一个定中心部分被设计用以与被布置在所述工件(1)的所述侧面上的定中心区域相互作用，使得所述中央开口(6)、所述出口开口(14)以及所述入口开口(17)与所述腔室(10)连通。本发明还涉及一种通过激光对工件的表面进行加工、特别是使之结构化的方法，并且涉及一种制造用于确定容器中的介质的至少一个过程变量的传感器的方法。
Description
技术领域
本发明涉及一种清洗附件并且涉及一种用于通过激光对工件的表面进行加工、特别是使之结构化的方法。
背景技术
材料去除方法可以用于对由金属或金属合金(例如，钢)制成的工件的表面进行结构化。对表面进行结构化的特殊情况是使表面粗糙化。例如，为了允许涂层的更好粘附，或者为了制备工件的表面以便于将另一个部件粘附到该表面，使表面粗糙化。现有技术中已知的用于使工件表面结构化、特别是粗糙化的方法是喷击方法，在喷击方法中，将颗粒状或粉末状的喷击剂喷击到待要加工的表面上。这样的方法的一个示例是喷砂。
代替粒子束，激光辐射也可以用于使表面结构化或粗糙化。为了这个目的，使用聚焦在工件表面上的脉冲激光束，该脉冲激光束在局部上强烈地加热工件的材料并将材料转化为熔融相。这导致了被照射的表面的粗糙化。
技术挑战在于使布置在凹陷中或布置为工件内部的在一个侧面上敞开的腔室的内表面的工件表面粗糙化。在图1中以纵向截面示意性地示出了这样的工件1的示例。这是振动传感器的部件，用于检测介质的测量到的变量，例如填充液位或极限液位、粘度或密度，该振动传感器具有振荡叉。工件1包括振荡叉，该振荡叉具有对称地安置在由金属制成的膜3上的两个振荡元件2，例如两个金属杆或尖头。圆盘形膜3被保持在管状壳体(也被称为管状延伸部)4中，使得膜3在一个侧面上封闭壳体4。
为了测量，使振荡元件2振荡，并且基于谐振频率和/或振荡幅度的变化而以已知的方式检测所测量的变量。使用机电换能器单元来激励振荡。所述机电换能器单元在制造期间结合到膜3的背侧面。为了改进粘附性，首先对膜3的背侧面(即面向壳体4的内部的背侧面5)进行清洁并且使之粗糙化。为了这个目的，通常使用前面提到的喷击方法之一。
事实上，在粗糙化期间，通过喷击方法、特别是喷砂获得令人满意的结果。然而，在这种情况下，不利的是，在喷砂过程后，必须对图1所示的工件1进行彻底清洁，以去除(例如，通过借助压缩空气进行吹出)残留在壳体4中和膜的背侧面上的任何颗粒，之后才能将机电换能器单元结合到膜的背侧面。这需要手动加工步骤，并且使得使制造工艺自动化变得困难或变得不可能。
可以想到的是，在使膜背侧面粗糙化的制造步骤中，通过使用激光结构化方法代替喷砂方法来实现。然而，即使在工件的激光加工期间，也会形成附着到工件或残留在由壳体包围的腔室中的烟灰、烟雾和不期望的颗粒。为了避免并且/或者去除这样的颗粒，在现有技术中使用了用于清洗的抽吸装置或惰性气体喷嘴。例如，已知在激光焊接工艺中使用的可变位置气体喷嘴。
DE 10 2006 040 784 A1公开了一种用于对工件进行激光加工的激光束加工机器，该激光束加工机器具有用于收集和排放由于将激光束施加到工件上而形成的灰尘的灰尘排放装置。灰尘排放装置包括空气引入室和灰尘收集室还有用于向空气引入室供应空气的空气供应装置。此外，灰尘排放装置包括涡流产生装置，该涡流产生装置用于在灰尘收集室中产生涡流或流动。安装在用于将激光束施加到工件的冷凝器的下端处的盖构件围绕空气引入室和灰尘收集室。
从现有技术中已知的这样的装置可以用于去除并且/或者抽吸出在平坦表面的激光加工期间产生的颗粒，但是这样的装置不太适合用于使布置在工件的腔室内的表面(诸如例如图1所示的工件1的膜3的背侧面)激光结构化，因为不能使布置在激光光学器件的区域中的常规气体喷嘴或抽吸装置足够靠近待要结构化的表面并且/或者体积大的气体喷嘴遮蔽了用于对膜的背侧面进行加工的激光辐射。因此，在对这样的工件进行加工中，在激光加工期间，并不是所有的污染物和干扰颗粒都能够使用传统手段而被可靠地防止或去除。
发明内容
本发明的目的是提供一种设备和方法，该设备和方法允许在对如下工件进行激光加工期间的改进的气体清洗，该工件具有待要加工的表面，该待要加工的表面被布置在工件的在至少一个侧面上敞开的腔室内。
该目的通过根据权利要求1所述的清洗附件和根据权利要求8所述的方法来实现。在从属权利要求中列出了有利的实施例。
根据本发明的用于工件的清洗附件具有：在所述工件的至少一个侧面上敞开的腔室；和布置在所述腔室内并且待要通过激光辐射进行加工的表面，
所述清洗附件包括：
穿过冲洗末端的中央开口；
至少一个清洗气体供应通道，所述至少一个清洗气体供应通道延伸穿过所述清洗附件并且具有在第一端处的用于清洗气体供应管线的连接器和在第二端处的出口开口；
至少一个清洗气体抽吸通道，所述至少一个清洗气体抽吸通道延伸穿过所述清洗附件并且具有在第一端处的用于清洗气体排放管线的连接器和在第二端处的入口开口，并且其中所述至少一个清洗气体供应通道的所述出口开口和所述至少一个清洗气体抽吸通道的所述入口开口被布置在所述中央开口的相对的两侧上；以及
至少一个定中心部分，所述至少一个定中心部分被构造用以与被布置在所述工件的所述侧面上的定中心区域相互作用，使得所述中央开口、所述出口开口以及所述入口开口与所述腔室连通。
通过在可以被放置在工件上的清洗附件中布置具有清洗气体出口开口的至少一个或多个清洗气体供应通道和具有清洗气体入口开口的至少一个或多个清洗气体抽吸通道，其中当将清洗附件放置在工件时，所述清洗气体入口开口与所述工件内的所述腔室连通，可以将清洗气体引入到所述腔室中并且/或者从所述腔室抽吸出清洗气体，而清洗气流不会被工件的壁阻碍。所述入口开口和所述出口开口也可以被布置成使得即使在所述腔室的内壁之间形成边缘的区域中也会阻止不期望的颗粒和污染物的积聚。同时，所述结构紧凑，并且允许用于对表面进行加工的激光辐射穿过所述中央开口，而清洗喷嘴或抽吸喷嘴不会遮蔽激光束。
在有利的实施例中，所述至少一个清洗气体供应通道的所述出口开口和所述至少一个清洗气体抽吸通道的所述入口开口可以被构造为伸长孔。
所述至少一个清洗气体供应通道可以包括在清洗附件内形成的并且与用于清洗气体供应管线的连接器连通且与所述出口开口连通的腔室。同样地是，所述至少一个清洗气体抽吸通道可以包括在清洗附件内形成的并且与用于清洗气体排放管线的连接器连通且与所述出口开口连通的腔室。
在另一个特别有利的实施例中，清洗附件具有延伸穿过所述清洗附件的两个清洗气体供应通道和延伸穿过所述清洗附件的两个清洗气体抽吸通道，其中，所述清洗气体供应通道每个均具有在第一端处的用于清洗气体供应管线的连接器和在第二端处的出口开口，其中所述清洗气体抽吸通道每个均具有在第一端处的用于清洗气体排放管线的连接器和在第二端处的入口开口，并且其中在每种情况下，清洗气体抽吸通道和清洗气体供应通道布置在所述中央开口的相对的两侧上，即，所述入口开口和所述出口开口彼此相对，使得清洗附件的所述中央开口布置在所述入口开口与所述出口开口之间。
在这个实施例中，清洗附件可以具有例如大小相等的、通过隔板隔开的四个腔室。这些腔室可以围绕所述中央开口环形地布置。这些腔室中的两个腔室每个均形成清洗气体供应通道的部件，并且在这个实施例中，所述两个腔室每个均与用于清洗气体供应管线的连接器连通且与出口开口连通。另外两个腔室每个均形成清洗气体抽吸通道的部件，并且在这个实施例中，所述另外两个腔室每个均与用于清洗气体排放管线的连接器连通且与入口开口连通。在每种情况下，这些腔室可以与出口开口或入口开口连通，其中在每种情形下，出口开口和入口开口布置在所述中央开口的相对的两侧上。
用于清洗气体供应管线的清洗气体供应通道的连接器可以包括压缩空气适配器。清洗气体抽吸通道的连接器也可以包括压缩空气适配器。压缩空气适配器可以用于可选地为通道供应气体超压，例如供应空气、或供应惰性保护气体(诸如氩气或氮气)，或者可选地是，供应负压，以用于将气体抽吸出。因此，如果通道受到气体超压，则它是清洗气体供应通道，而如果所述通道受到负压，则它是清洗气体抽吸通道。
有利地是，清洗附件可以是环形的，即，关于垂直于中央开口延伸的纵向轴线或圆柱轴线呈圆柱形对称。在这个实施例中，清洗附件可以包括四个大小相同的、圆环分段形状的腔室，其中这些腔室中的每一个腔室都与入口开口或出口开口连通。在这个实施例中，入口开口和出口开口有利地是被设计为伸长孔，这些伸长孔的横截面基本上具有圆环分段的形状。腔室的和伸长孔的圆环分段形状的弧可以被布置为与中央开口的圆柱轴线同心。因此，在这个实施例中，延伸穿过所有伸长孔的横截面的假想圆环都可以与中央开口同心。同样地是，在垂直于中央开口的圆柱轴线的平面中延伸穿过圆环分段形状的腔室的假想圆环可以与中央开口同心。清洗附件的这个实施例对于工件的圆柱形壳体腔室的内表面的加工是有利的。
在一个可能的实施例中，清洗附件的定中心部分可以具有圆柱形表面，该圆柱形表面围绕中央开口的纵向轴线延伸，并且旨在抵靠在工件的接触表面上，以便使工件相对于清洗附件的中央开口定中心。在这个实施例中，接触表面对应于工件的前面提及的定中心区域。
清洗附件的中央开口可以具有第一圆柱形对称部分(其具有第一横截面)和第二圆柱形对称部分，该第二圆柱形对称部分同轴布置在该第一圆柱形对称部分的后方且具有第二横截面，其中径向肩部形成在从该第一部分到该第二部分的过渡处，当将清洗附件放置在工件上时，该径向肩部形成用于工件的止挡表面。
在这个实施例中，所有清洗气体供应通道的出口开口和所有清洗气体抽吸通道的入口开口都可以布置在径向肩部中。以这种方式，出口开口和入口开口以节省空间的方式布置，使得当将清洗附件放置在工件上时，在出口开口与入口开口之间形成的流体流流过工件的腔室。
根据本发明的用于通过激光对工件表面进行加工、特别是使之结构化的方法包括以下步骤：
-将根据上述实施例之一的清洗附件放置在所述工件上，其中所述工件具有腔室，所述腔室在所述工件的至少一个第一侧面上是敞开的，使得所述清洗附件的所述定中心部分与所述工件的布置在所述工件的第一侧面上的定中心区域相互作用，使得所述清洗附件的所述中央开口、所述清洗附件的所述至少一个清洗气体供应通道的所述出口开口，以及所述清洗附件的所述至少一个清洗气体抽吸通道的所述入口开口与所述腔室连通；
-通过所述至少一个清洗气体供应通道的所述出口开口将气体供应到所述腔室，并且通过所述至少一个清洗气体抽吸通道的所述入口开口抽吸气体；以及
-在将气体供应到所述腔室中的所述供应期间以及在气体的所述抽吸期间，通过所述清洗附件的所述中央开口将激光辐射照射到所述工件的布置在所述腔室内的表面上，并且利用所述激光辐射对所述工件的所述表面进行加工。
根据本发明的方法特别适合用于对工件(诸如图1所示的工件)进行加工以制造如下传感器：该传感器用于确定过程变量(例如，容器中的介质的填充液位或极限液位)或者用于确定介质的密度或粘度。
因此，用于生产用于确定容器中的介质的至少一个过程变量的传感器的方法可以包括以下步骤：
-通过根据上文描述的方法的方法使可振荡单元的膜的背侧面粗糙化，所述可振荡单元具有至少所述膜和至少一个振荡元件，所述至少一个振荡元件被布置在所述膜的正侧面上，所述正侧面与所述膜的所述背侧面相反；
-将控制和接收单元附着到所述膜的经粗糙化的背侧面，其中所述控制和接收单元被设计用以通过具有激励频率的电激励信号来将所述机械可振荡单元激励到对应于所述激励频率的振荡模式中的振荡，并且所述控制和接收单元被设计用以从所述可振荡单元接收机械振荡并将所述机械振荡转换成电接收信号；以及
-将所述控制和接收单元连接到电子器件单元，使得所述电子器件单元和所述控制和接收单元相互作用，以便从所接收到的信号开始生成所述激励信号，并根据所接收到的信号来确定所述过程变量。
附图说明
在下文中，基于图中所示的示例性实施例来解释本发明。相同的附图标记指的是图中所示的部分的相同部件。在这些图中：
图1是具有如下表面的工件的示意性纵向截面，该表面将要通过激光辐射加工且被布置于在一个侧面上敞开的腔室内；
图2是用于通过激光辐射对图1所示的工件的所述表面进行加工以及用于利用清洗附件同时抽吸颗粒和污染物的布置的示意性纵向截面图；并且
图3是图2所示的清洗附件的示意横截面。
具体实施方式
如引言中所描述的图1所示，基于对用于生产传感器的部件的方法中的膜的背侧面的加工，以下描述用于使位于工件中的腔室内的表面粗糙化的激光加工。然而，本发明也可应用于具有布置在对至少一个侧面敞开的凹陷或腔室中的待要加工的表面的多个其它工件。
图2示意性地示出了用于使图1所示的工件1的膜3的背侧面激光结构化的布置。具有中央开口6的清洗附件5被放置在工件的壳体4的敞开侧上。清洗附件5基本上是环形的，即，它关于假想的圆柱形对称轴线或圆柱轴线Z具有圆柱形对称性。来自仅示意性示出的激光加工机器的激光光学器件7的激光辐射可以穿过中央开口6到达膜3的待要加工的表面8，以便使该表面结构化或粗糙化。
为了利用惰性气体(例如，氩气或氮气)对由工件1包围的腔室10进行清洗，清洗附件5在每种情况下都具有两个清洗气体供应通道11和两个清洗气体抽吸通道12。原则上，更高数量的清洗气体供应通道和清洗气体抽吸通道也是可能的，但已经表明，在每种情况下，两个清洗气体供应通道和两个清洗气体抽吸通道的数量特别适合于在此描述的示例中使用的工件1的特定几何形状。
在图2的纵向截面中，只能看到一个清洗气体供应通道11和一个清洗气体抽吸通道12，它们布置在中央开口6的相对的两侧上。清洗气体供应通道11具有在其第一端处的呈压缩空气适配器形式的连接器13。清洗气体供应通道11具有在其第二端处的通向腔室10的出口开口14。此外，清洗气体供应通道11具有与连接器13和出口开口14连通的腔室15。腔室15和出口开口14的形状和功能将在下面结合图3进一步详细讨论。
在清洗气体抽吸通道12的几何形状方面，清洗气体抽吸通道12被设计为与清洗气体供应通道11完全相同。清洗气体抽吸通道12也具有在第一端处的连接器16，该连接器可以被设计为压缩空气适配器。清洗气体抽吸通道12具有在其第二端处的入口开口17。此外，清洗气体抽吸通道12包括与连接器16和入口开口17连通的腔室18。
清洗附件5的中央开口6具有第一部分和邻接的第二部分，其中该第一部分具有第一直径，该邻接的第二部分具有第二直径，其中该第二直径大于该第一直径。在从该第一部分到该第二部分的过渡处，作为中央开口6从该第一直径到该第二直径的突然加宽的结果，形成了径向肩部9，该径向肩部具有面向待要加工的表面8的圆环表面。当将清洗附件5放置在工件1上时，所述圆环表面用作工件1的壳体4的背侧面的止挡表面。
中央开口6在其第二部分中的第二直径适配于圆柱形壳体4的外径，使得当将清洗附件5放置在壳体4上时，壳体4的外壁邻接抵靠于清洗附件5的围绕中央开口6的圆柱形壁。以这种方式，中央开口6的第二部分形成清洗附件5的定中心部分，该定中心部分用于将工件1相对于清洗附件5的圆柱轴线Z定中心，使得管状壳体4的圆柱形对称轴线与圆柱轴线Z重合。
清洗气体供应通道11的出口开口14和清洗气体抽吸通道12的入口开口17布置在径向肩部9中、具体地是布置在径向肩部9的圆环表面的如下区域中：当工件1被接纳在中央开口6的用作清洗附件5的定中心部分的第二部分中时，该区域不被壳体4的壁覆盖，使得入口开口14和出口开口17与腔室10连通，该腔室10被壳体4包围并且朝向清洗附件5敞开。为了这个目的，所有入口开口14和出口开口17都被布置在距中央开口6的第二部分的圆柱形内壁一定距离处，以便将工件1容纳在其中，该距离大于中空圆柱形壳体部分的壁厚。通过利用清洗附件5的定中心部分将工件1相对于中央开口6定中心，使得管状壳体4的圆柱轴线与中央开口6的圆柱轴线重合，清洗附件5的入口开口和出口开口也被布置成使得它们不可避免地通向腔室10中并且不被壳体4的壳体壁覆盖。
清洗气体供应通道11用于将清洗气体注入到腔室10中。为了这个目的，可以将连接器13连接到清洗气体源(例如，压缩空气管线或气体瓶)，并且可以用惰性气体对连接器13加压。在图2中，箭头18表示气体流入到腔室10中的方向。相对的清洗气体抽吸通道12用于从腔室10抽取气体，这如图2中的箭头20所指示。为了这个目的，可以例如通过泵将真空施加到连接器16。对清洗气体的吹入和将清洗气体抽吸出可以交替地并且/或者同时进行。有利地是，对清洗气体的吹入和将清洗气体抽吸出可以与通过激光对表面8进行加工同时进行。
图3示出了在腔室15和18的高度处穿过清洗附件5的、垂直于轴线Z的横截面。可以看到两个清洗气体供应通道11和两个清洗气体抽吸通道12，其中一个清洗气体供应通道11与一个清洗气体抽吸通道12彼此相对。每个清洗气体供应通道11都具有在其第一端处的用于清洗气体供应管线的连接器(图3中未示出)。因此，每个清洗气体抽吸通道12也具有用于清洗气体排放管线的连接器(同样在图3中未示出)。清洗气体供应通道11和清洗气体抽吸通道12每个均分别包括环形分段形状的腔室15和18。腔室15、18通过隔板彼此隔开，并围绕清洗附件5的中央开口6环形地布置。腔室15、18每个均具有在其面向中央开口6的第二部分(该第二部分用作工件的定中心部分)的底部处的伸长孔，该伸长孔具有环形分段形状的横截面。这些伸长孔形成清洗气体供应通道11的出口开口14和清洗气体抽吸通道12的入口开口17。这些伸长孔沿着假想圆形线21布置，该圆形线的中心点位于清洗附件5的中央开口6的圆柱轴线Z上。这些伸长孔被布置在如图3中虚线所示的径向肩部9中，该径向肩部9通过对中央开口6的在其第一部分与第二部分之间的阶梯式横截面加宽而形成。
实验已经表明，腔室15和18的环形分段形状的构造以及作为伸长孔的形式的入口开口14和出口开口17的构造导致特别有利于腔室10(并且特别是膜3的背表面8)的清洁效果的清洗气流。在这种布置中，流入的气体(图2，箭头19)主要沿着壳体4的内管壁流动，并且因此以定向方式到达待要加工的表面8。因此，气体也以定向方式在壳体4的管壁的相对侧上被再次抽吸出来。
在本示例性实施例中，清洗附件5由金属或金属合金形成，例如由铝或不锈钢形成。替代性地是，它也可以由另一种材料(例如，塑料，并且特别是聚合物)形成。它可以由两部分(即，基体和盖部分)组成。在图3中，可以在清洗附件的壁上看到孔，可以将紧固装置(例如，螺钉)插入到这些孔中，以用于清洗附件的这样的盖部分。
为了使形成膜3的背侧面的表面8结构化(例如，粗糙化)，可以将脉冲激光辐射以本身已知的方式从激光光学器件7沿圆柱轴线Z的方向或与该轴线成锐角地发射。通过经由出口开口14供应清洗气体和经由入口开口17将气体抽吸出来，同时去除了辐射期间产生的烟灰或闷烧颗粒或其它不需要的颗粒。该方法尤其可以通过电子控制的激光加工机器自动地执行，该激光加工机器还被配置用以控制经由清洗附件5的连接器13和16对气体的供应和抽吸。
为了产生用于确定过程变量(诸如容器中的介质的填充液位、密度或粘度)的传感器，可以根据所描述的方法使可振荡单元的膜的背侧面粗糙化，除了膜之外，该可振荡单元还具有布置在该膜的正侧面上的至少一个振荡元件(例如，振荡叉或单个可振荡杆)。随后，可以将控制和接收单元结合到该膜的经粗糙化的背侧面，其中该控制和接收单元包括例如机电转换器单元，诸如压电驱动器或电磁驱动器。为了生产传感器，控制和接收单元可以进一步连接到电子器件单元，使得该电子器件单元以及控制和接收单元可以相互作用，以便使可振荡单元振荡或从可振荡单元接收机械振荡并将它们转换成电信号。
本文描述的本发明的多种进一步的修改是可以想到的。例如，清洗气体附件可以具有更高或更低数量的清洗气体供应通道和抽吸通道。工件以及因此清洗气体附件也可以不同于本文详细描述的实施例的圆柱形对称性。
Claims (9)
1.一种用于工件(1)的清洗附件(5)，所述工件(1)具有待要通过激光辐射加工的表面(8)，
其中，所述工件(1)具有在所述工件(1)的至少一个侧面上敞开的腔室(10)，并且其中所述待要加工的表面(8)是被布置在所述腔室(10)内的表面，
所述清洗附件包括：
穿过所述清洗附件(5)的中央开口(6)；
至少一个清洗气体供应通道(11)，所述至少一个清洗气体供应通道(11)延伸穿过所述清洗附件(5)并且具有在第一端处的用于清洗气体供应管线的连接器(13)和在第二端处的出口开口(14)；
至少一个清洗气体抽吸通道(12)，所述至少一个清洗气体抽吸通道(12)延伸穿过所述清洗附件(5)并且具有在第一端处的用于清洗气体排放管线的连接器(16)和在第二端处的入口开口(17)，并且其中所述至少一个清洗气体供应通道(11)的所述出口开口(14)和所述至少一个清洗气体抽吸通道(12)的所述入口开口被布置在所述中央开口(6)的相对的两侧上；以及
至少一个定中心部分，所述至少一个定中心部分被构造用以与所述工件(1)的被布置在所述工件(1)的所述侧面上的定中心区域相互作用，使得所述中央开口(6)、所述出口开口(14)以及所述入口开口(17)与所述腔室(10)连通。
2.根据权利要求1所述的清洗附件(5)，
其中，所述至少一个清洗气体供应通道(11)的所述出口开口(14)和所述至少一个清洗气体抽吸通道(12)的所述入口开口(17)被构造为伸长孔。
3.根据权利要求1或2所述的清洗附件(5)，
其中，所述至少一个清洗气体供应通道(11)包括腔室，所述腔室形成在所述清洗附件内并且与用于所述清洗气体供应管线的所述连接器(13)连通且与所述入口开口(14)连通，并且其中所述至少一个清洗气体抽吸通道(12)包括腔室(18)，所述腔室(18)形成在所述清洗附件(5)内并且与用于所述清洗气体排放管线的所述连接器(16)连通且与所述出口开口(17)连通。
4.根据权利要求1至3中的一项所述的清洗附件(5)，
其中，所述清洗附件(5)具有延伸穿过所述清洗附件(5)的两个清洗气体供应通道(11)和延伸穿过所述清洗附件(5)的两个清洗气体抽吸通道(12)，其中，所述清洗气体供应通道(11)每个均具有在第一端处的用于清洗气体供应管线的连接器(13)和在第二端处的出口开口(14)，其中所述清洗气体抽吸通道(12)每个均具有在第一端处的用于清洗气体排放管线的连接器(16)和在第二端处的入口开口(17)，并且其中在每种情况下，清洗气体抽吸通道(11)和清洗气体供应通道(12)布置在所述中央开口(6)的相对的两侧上。
5.根据前述权利要求中的一项所述的清洗附件(5)，
其中，所述定中心部分具有圆柱形表面，所述圆柱形表面围绕所述中央开口(6)的纵向轴线(Z)延伸，并且旨在抵靠在所述工件(1)的接触表面上，以便使所述工件(1)相对于所述清洗附件(5)的所述中央开口(6)定中心。
6.根据权利要求1至5中的一项所述的清洗附件(5)，
其中，所述清洗附件(5)的所述中央开口(6)具有第一圆柱形对称部分和第二圆柱形对称部分，其中所述第一圆柱形对称部分具有第一横截面，所述第二圆柱形对称部分同轴地布置在所述第一圆柱形对称部分的后方并且具有第二横截面，其中在从所述第一部分到所述第二部分的过渡处形成有径向肩部(9)，当将所述清洗附件(5)放置在所述工件(1)上时，所述径向肩部形成用于所述工件(1)的止挡表面。
7.根据权利要求6所述的清洗附件(5)，
其中，所有清洗气体供应通道(11)的所述出口开口(14)和所有清洗气体抽吸通道(12)的所述入口开口(17)都布置在所述径向肩部(9)中。
8.一种用于通过激光对工件(1)的表面(8)进行加工、特别是使之结构化的方法，
所述方法包括：
-将根据权利要求1至7中的一项所述的清洗附件(5)放置在所述工件(1)上，其中所述工件(1)具有腔室(10)，所述腔室(10)在所述工件(1)的至少一个第一侧面上是敞开的，使得所述清洗附件(5)的所述定中心部分与所述工件(1)的布置在所述工件(1)的敞开的所述侧面上的定中心区域相互作用，使得所述清洗附件(5)的所述中央开口(6)、所述清洗附件(5)的所述至少一个清洗气体供应通道(11)的所述出口开口(14)以及所述清洗附件(5)的所述至少一个清洗气体抽吸通道(12)的所述入口开口(17)与所述腔室(10)连通；
-通过所述至少一个清洗气体供应通道(11)的所述出口开口(14)将气体供应到所述腔室(10)，并且通过所述至少一个清洗气体抽吸通道(12)的所述入口开口(17)抽吸气体；以及
-在将气体供应到所述腔室(10)中的所述供应期间以及在气体的所述抽吸期间，通过所述清洗附件(5)的所述中央开口(6)将激光辐射照射到所述工件(1)的布置在所述腔室(10)内的表面(8)上，并且利用所述激光辐射对所述工件(1)的所述表面(8)进行加工、特别是使所述表面(8)粗糙化。
9.一种用于生产用于确定容器中的介质的至少一个过程变量的传感器的方法，所述方法包括：
-通过根据权利要求8所述的方法使可振荡单元的膜(3)的背侧面粗糙化，所述可振荡单元具有至少所述膜(3)和至少一个振荡元件(4)，所述至少一个振荡元件(4)被布置在所述膜(3)的正侧面上，所述正侧面与所述膜(3)的所述背侧面相反；
-将控制和接收单元附着到所述膜(3)的粗糙化的所述背侧面，其中所述控制和接收单元被设计用以通过具有激励频率的电激励信号来将所述机械可振荡单元激励到对应于所述激励频率的振荡模式中的振荡，并且所述控制和接收单元被设计用以从所述可振荡单元接收机械振荡并将所述机械振荡转换成电接收信号；以及
-将所述控制和接收单元连接到电子器件单元，使得所述电子器件单元和所述控制和接收单元相互作用，以便从所接收到的信号开始生成所述激励信号，并根据所接收到的信号来确定所述过程变量。
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