CN116398726A - 导气装置、腔体结构及其使用方法、处理设备 - Google Patents
导气装置、腔体结构及其使用方法、处理设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN116398726A CN116398726A CN202310402168.4A CN202310402168A CN116398726A CN 116398726 A CN116398726 A CN 116398726A CN 202310402168 A CN202310402168 A CN 202310402168A CN 116398726 A CN116398726 A CN 116398726A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- air guide
- guide
- cylinder
- air
- piece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 39
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 67
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 26
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 25
- 210000001503 joint Anatomy 0.000 claims description 13
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 7
- 230000013011 mating Effects 0.000 claims description 5
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 claims description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 11
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 69
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 5
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000003032 molecular docking Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B39/00—Component parts, details, or accessories, of pumps or pumping systems specially adapted for elastic fluids, not otherwise provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B37/00
- F04B39/12—Casings; Cylinders; Cylinder heads; Fluid connections
- F04B39/123—Fluid connections
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15D—FLUID DYNAMICS, i.e. METHODS OR MEANS FOR INFLUENCING THE FLOW OF GASES OR LIQUIDS
- F15D1/00—Influencing flow of fluids
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L27/00—Adjustable joints, Joints allowing movement
- F16L27/12—Adjustable joints, Joints allowing movement allowing substantial longitudinal adjustment or movement
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L55/00—Devices or appurtenances for use in, or in connection with, pipes or pipe systems
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Actuator (AREA)
Abstract
本申请涉及一种导气装置、腔体结构及其使用方法、处理设备，包括导气筒、动力源、推动件和弹性组件，导气筒沿设定方向导气，推动件被配置为在设定方向上可移动地安装于承重体上，动力源被配置于承重体，且用于驱动推动件移动。弹性组件被构造为在设定方向上可弹性形变的连接导气筒和推动件之间。本申请的技术方案，可以提高导气装置的入口端与外部通道的出口端的气密性，降低外部通道内物质的外逸，有助于降低设备的维护周期，降低设备的维护成本，并且提高资源利用率。
Description
技术领域
本申请涉及导气装置技术领域，特别是涉及导气装置、腔体结构及其使用方法、处理设备。
背景技术
导气装置是指能够对气流进行引流的装置，其可以应用在各种气体流通的处理设备中，譬如镀膜设备、清洗设备、加热设备。通常地，处理设备具有提供处理环境的处理腔体，处理腔体内通常设置有容纳工件并供气体流通的通道结构，在该处理腔体的尾部通常设置有连通处理腔外部和该通道结构的导气装置，导气装置的入口端与该通道结构的出口端配接。
在相关技术中，导气装置的入口端与该通道结构的出口端气密性较差，如此会使得该通道结构内外侧气氛连通，通道结构内侧流场因外侧流场而波动，通道结构的出口端以及外侧沉积大量粉尘，进而缩短了设备的维护周期，提高了设备的维护成本，并造成了资源的浪费。
发明内容
基于此，有必要针对相关技术中，导气装置的入口端与通道结构气密封性较差引起设备维护成本提高、资源浪费的问题，提供一种导气装置、腔体结构及其使用方法、处理设备。
第一方面，本申请提供了一种导气装置，所述导气装置包括：
导气筒，沿设定方向导气；
动力源和推动件，所述推动件被配置为在所述设定方向上可移动地安装于承重体上；所述动力源被配置于所述承重体，且用于驱动所述推动件移动；及
弹性组件，被构造为在所述设定方向上可弹性形变的连接在所述导气筒和推动件之间。
在其中一个实施例中，所述弹性组件包括导向结构和弹性件，所述导向结构包括导向件，所述导向件的一端沿所述设定方向可移动地设置在所述推动件上，另一端固定连接所述导气筒，所述弹性件套设于所述导向件的两端之间。
在其中一个实施例中，所述导向结构还包括第一导向套和夹紧块，所述导气筒具有夹持部；
所述第一导向套和所述夹紧块均套设在所述导向件的所述另一端，且所述夹持部夹持在所述夹紧块和所述第一导向套之间。
在其中一个实施例中，所述导向结构还包括挡位件，所述挡位件设置于所述导向件的所述一端的端部，所述第一导向套位于所述夹紧块和所述弹性件之间，所述夹紧块位于所述挡位件和所述第一导向套之间。
在其中一个实施例中，所述导向结构还包括垫板，所述垫板套设在所述导向件，且位于所述第一导向套和所述弹性件之间；
和/或，所述导向结构还包括设置于所述导向件的限位件，所述推动件上设置有安装孔，所述导向件穿设安装孔，所述弹性件限位于推动件和垫板之间，限位件位于推动件背离弹性件的一侧。
在其中一个实施例中，所述导气筒沿所述设定方向移动地套设在所述承重体上，所述导气筒的入口端和所述导气筒的出口端被配置为位于所述承重体与所述设定方向垂直的方向的相背两侧；
所述弹性组件包括弹性件，所述推动件固接所述导气筒的出口端，所述弹性件套设于位于所述承重体和所述出口端之间的所述导气筒上。
在其中一个实施例中，所述弹性组件还包括第二导向套，所述第二导向套设在所述承重体和所述导气筒之间；
和/或，所述弹性组件还包括第三导向套，所述第三导向套设置在所述推动件和所述导气筒之间。
在其中一个实施例中，所述弹性组件还包括第一伸缩管，所述第一伸缩管套设于所述导气筒上，且配置为固定连接在所述承重体和所述推动件之间；
和/或，所述弹性组件还包括第二伸缩管，所述第二伸缩管的一端固定连接所述推动件，另一端用于与抽气管对接，所述第二伸缩管与所述导气筒的出口端连通。
在其中一个实施例中，所述导气装置还包括密封垫，所述密封垫被配置为设置于所述导气筒的入口端。
在其中一个实施例中，所述导气筒包括在所述设定方向上连通的第一筒段和第二筒段，所述第二筒段被配置为穿设所述承重体，所述第一筒段被配置为与外部通道对接；
所述第三筒段的流通面积小于所述第二筒段的流通面积。
在其中一个实施例中，所述导气筒还包括第三筒段，所述第三筒段连接在所述第一筒段和所述第二筒段之间，所述第三筒段的流通面积在所述设定方向上朝向所述第二筒段递减。
在其中一个实施例中，所述推动件上配置有引导部，所述引导部用于与所述承重体配接，用于引导所述推动件沿所述设定方向移动。
第二方面，本申请提供了一种腔体结构，包括：
处理腔体；
通道结构，设于所述处理腔体内，用于容纳基片并流通气体；
如上述任一实施例所述的导气装置，所述推动件和所述动力源均安装于所述处理腔体上，且所述导气筒的入口端与所述通道结构的出口端对接连通。
在其中一个实施例中，所述通道结构用于承载所述基片的载具所构造形成，所述载具被构造为沿所述设定方向流通气体。
第三方面，本申请提供了一种腔体结构的使用方法，包括:
将装载有基片的所述通道结构输送至所述处理腔体内，并使得所述通道结构的出口端与所述导气筒的入口端对接以共同形成处理空间；
向所述处理空间通入处理气体。
第四方面，本申请提供了一种处理设备，所述处理设备包括如上述任一实施例所述的腔体结构。
上述导气装置、腔体结构及其使用方法、处理设备，在实际作业时，导气筒经弹性组件、推动件安装在承重体上，动力源安装于承重体，导气筒的入口端用于与通道结构的出口端对接。当动力源推动推动件朝向导气筒的入口端移动，推动件压缩弹性组件中的弹性件，被压缩的弹性件作用弹性力于导气筒，使得导气筒的入口端紧紧贴合在外部通道的出口端，使得导气筒与外部通道能够密封对接，两者之间具有较好的气密性，如此可以提高导气装置的入口端与外部通道的出口端的气密性，降低外部通道内物质的外逸，有助于降低设备的维护周期，降低设备的维护成本，并且提高资源利用率。
附图说明
图1为一个或多个实施例中的导气装置的应用示意图；
图2为一个或多个实施例中的弹性组件的结构示意图；
图3为一个或多个实施例中的导气装置的应用示意图。
附图标记说明：
1000、腔体结构；100、导气装置；F、设定方向；K、连接孔；10、导气筒；11、第一筒段；12、第三筒段；13、第二筒段；14、夹持部；20、动力源；30、推动件；31、引导部；40、弹性组件；41、导向结构；41a、导向件；41b、第一导向套；41c、夹紧块；41d、挡位件；41e、垫板；41f、限位件；43、第二导向套；44、第三导向套；45、第一伸缩管；46、第二伸缩管；42、弹性件；50、密封垫；200、处理腔体；201、腔盖；210、通道结构；211、载具；212、抽气管。
具体实施方式
为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。
在本申请的描述中，需要理解的是，若出现这些术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
此外，若出现术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若出现第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。若有出现，本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
针对背景技术中提出的问题，本申请实施例提供了一种导气装置、腔体结构及其使用方法、处理设备，下面将进行详细介绍。
根据本申请的一些实施例，请参照图1，图1示出了一个或多个实施例中的导气装置100的应用示意图，本申请实施例提供的导气装置100，包括导气筒10、动力源20、推动件30和弹性组件40，导气筒10沿设定方向F导气，推动件30被配置为在设定方向F上可移动地安装于承重体上，动力源20被配置于承重体，且用于驱动推动件30移动。弹性组件40被构造为在设定方向F上可弹性形变的连接导气筒10和推动件30之间。
导气筒10呈筒状，沿其自身中心轴线引导气流流动。设定方向F与导气筒10的中心轴线平行。导气筒10可以呈方筒状、圆筒状、圆锥筒状或者其他形状，在本申请实施例中不限定。可理解地，导气筒10具有入口端和出口端，入口端和出口端通常在设定方向F上相背设置。在一应用场景下，导气筒10的入口端用于与外部通道所连通，导气筒10的出口端用于与抽气装置连通。抽气装置可以是真空泵。外部通道只要能够流通气体即可，即可以是背景技术中处理设备的处理腔体200内的通道结构210(此时可以容纳基片)，也可以是其他设备中单纯用于流通气流的气流通道，也就是说，本申请对于导气装置100的应用方式不作具体限定。
承重体是安装导气装置100的结构体，当导气装置100应用于处理腔体200，处理腔体200可以作为承重体。推动件30和动力源20均支撑安装在承重体上，且推动件30相对承重体能够沿设定方向F移动，动力源20作为推动件30移动动力的来源，其自身通常固定设置在承重体上。动力源20通常经由传动组件与推动件30传动连接，以通过传动件将动力传递给推动件30。传动组件的构造与动力源20的类型相关。当动力源20为旋转电机，则传动组件可以但不限于丝杆滚珠组件，当动力源20为气缸，则传动组件可以是与气缸的活塞杆配接的连轴器等。关于动力源20的具体构造在本申请实施例中不作具体限定。
推动件30相对承重体可移动的设置方式有多种，本领域技术人员可以灵活设计，具体在此不作限定。作为示例地，在承重体上设置有滑轨，推动件30安装滑轨，且能够在动力源20的推动下沿滑轨移动，可以在滑轨的路径两端设置限位块等，用于限制推动件30的行程，防止其脱轨。可选地，推动件30可以通过动力源20安装于承重体上，也就是说，推动件30与承重体不直接连接，而是通过动力源20呈承重于承重体上。
推动件30可以是推动板，具体可设计为薄板状，以降低其占用空间，且有助于省材。推动件30的大小根据安装于其上的弹性组件40的数量以及导气筒10的大小而灵活设定。
弹性组件40是能够在设定方向F上发生弹性形变的组件，通常其具有能够沿设定方向F发生弹性形变的弹性件42，如软胶弹性体(橡胶、硅胶等)、弹簧。关于弹性组件40的具体构造，在本申请实施例中不作限定，在下述实施例中将会对弹性组件40的具体构造作示例性说明，并不是对方案的限制。
上述导气装置100，在实际作业时，导气筒10经弹性组件40、推动件30安装在承重体上，动力源20安装于承重体，导气筒10的入口端用于与通道结构210的出口端对接。当动力源20推动推动件30朝向导气筒10的入口端移动，推动件30压缩弹性组件40中的弹性件42，被压缩的弹性件42作用弹性力于导气筒10，使得导气筒10的入口端紧紧贴合在外部通道的出口端，使得导气筒10与外部通道能够密封对接，两者之间具有较好的气密性，如此可以提高导气装置100的入口端与外部通道的出口端的气密性，降低外部通道内物质的外逸，有助于降低设备的维护周期，降低设备的维护成本，并且提高资源利用率。
当导气装置100应用在处理设备的处理腔体200内时，导气装置100导气筒10的入口端能够与处理腔体200内的通道结构210的出口端密封对接，可以避免通道结构210内的粉尘外逸到处理腔体200内，同时有助于维持通道结构210内的气氛流场，不仅能够降低处理设备的维护成本，而且还有助于提高基片的处理质量。
可理解地，当动力源20反向拉动推动件30，弹性件42逐渐回复到初始状态，其作用在外部通道上的压紧力逐渐释放，直至导气筒10与外部通道分离。
在一些实施例中，请结合图1和图2，图2为一个或多个实施例中的弹性组件40的结构示意图，弹性组件40包括导向结构41和弹性件42，导向结构41包括导向件41a，导向件41a沿设定方向F连接在导气筒10和推动件30之间。导向件41a与导气筒10和推动件30中的一者沿设定方向F可相对移动，且与另一者固定连接，弹性件42套设于导向件41a。
导向结构41通过其导向件41a引导弹性件42沿设定方向F伸缩，以规正弹性件42的变形方向。导向件41a可以是导向轴、导向杆等构造形式，弹性件42套设在导向件41a上，当弹性件42变形时，沿导向件41a伸缩。
导向件41a连接在导气筒10和推动件30之间，且相对其中一者沿设定方向F上可发生相对移动。如此，当动力源20推动推动件30朝向导气筒10的入口端移动时，导向件41a与导气筒10或推动件30之间发生相对移动，允许推动件30压缩弹性件42，进而可使得弹性件42将导气筒10紧密贴合在外部通道的出口端。
进一步到实施例中，请参照图2，导向结构41还包括第一导向套41b和夹紧块41c，导气筒10具有夹持部14，第一导气筒10和夹紧块41c均固定套设在导向件41a，且夹持部14夹持在夹紧块41c和第一导向套41b之间。
夹持部14可以是设置在导气筒10外壁上的夹持架，夹持架的具体构造根据弹性组件40的数量而定。在图1所示实施例中，弹性组件40包括多组，夹持架环绕设定轴向布置在导气筒10的外壁，多组弹性组件40均连接在夹持架和推动件30之间，且相对导气筒10的纵向对称面呈对称布置，此时导气筒10受力较为均匀。
第一导向套41b和夹紧块41c均套设在导向件41a上，可选地，第一导向套41b和夹紧块41c均与导向件41a固定套接。夹持部14夹持在第一导向套41b和夹紧块41c之间，使得导向件41a与夹持部14固定设置，进而实现了导向件41a与导气筒10的固定设置。
其中，第一导向套41b和夹紧块41c与导向件41a固定套接的方式，可选为螺纹连接、过盈连接、销轴连接等。
此时，利用第一导向套41b和夹紧块41c实现了导向件41a与夹持部14的固定连接，结构简单，易于拆装。
进一步可选地，请参照图2，在第一导向套41b和夹紧块41c上均设置供紧固件穿设的连接孔K，进一步利用紧固件将第一导向套41b和夹紧块41c紧密连接，以紧密夹持夹持部14。更进一步地，连接第一导向套41b和夹紧块41c的紧固件同时穿设夹持在两者之间的夹持部14，夹持部14的固定效果更好。本申请实施例中提及的紧固件包括销轴、插销、螺钉、螺栓、螺柱等通过两个部件上的连接孔K以将两个部件固定连接的结构。
在进一步实施例中，请参照图2，导向结构41还包括挡位件41d，挡位件41d设置于导向件41a与夹持部14连接的一端，第一导向套41b位于夹紧块41c和弹性件42之间，夹紧块41c位于挡位件41d和第一导向套41b之间。
挡位件41d通常固定设置在导向件41a与夹持部14连接的一端，具体固定方式可以选为紧固件连接(具体可以在挡位件41d和导向件41a上均构造有连接孔K，参见图2)、螺纹连接、插接等。
挡位件41d作为导向件41a一端的阻挡结构，可以防止第一导气筒10和夹紧块41c脱出导向件41a，提高导气装置100的结构可靠性。
在一些实施例中，所述导向结构41还包括垫板41e，所述垫板41e套设在所述导向件41a，且位于所述第一导向套41b和所述弹性件42之间。
垫板41e大致呈薄板状，其套设在导向件41a上，且位于第一导向套41b背离夹紧块41c的一侧，弹性件42抵接在垫板41e背离第一导向套41b的一侧。垫板41e与第一导向套41b(以及夹紧块41c)之间还可以利用紧固件连接，当然，也可以通过弹性件42的作用将垫板41e抵紧在第一导向套41b上。
此时，在第一导向套41b和弹性件42之间设置垫板41e，利用垫板41e与弹性件42接触，可以减少第一导向套41b的磨损，更换垫板41e即可。
在一些实施例中，导向结构41还包括设置于导向件41a的限位件41f，推动件30上设置有安装孔，导向件41a穿设安装孔并相对安装孔可移动，弹性件42限位于推动件30和垫板41e之间，限位件41f位于推动件30背离弹性件42的一侧。
在垂直于设定方向F的方向上，限位件41f的最大尺寸大于导向件41a的最大尺寸，进而使得导向件41a不能脱出推动件30上的安装孔。限位件41f可以是限位杆、限位块、限位板等。限位件41f与导向件41a可以一体成型或者分体式连接。
此时，导向件41a与限位件41f之间通过安装孔可以相对移动，且在限位件41f的限制下，导向件41a不会从安装孔脱出，结构简单，易于实现。
在另外一些实施例中，请参照图3，导气筒10沿设定方向F移动地套设在承重体上，导气筒10的入口端和导气筒10的出口端被配置为位于承重体与设定方向F垂直的方向的相背两侧。弹性组件40包括弹性件42，推动件30固接导气筒10的出口端，弹性件42套设于位于承重体和出口端之间的导气筒10上。
导气筒10的入口端位于承重体的一侧，导气筒10的出口端位于承重体的相背另一侧。在实际应用时，导气筒10的入口端位于处理腔体200的内部，导气筒10的出口端位于处理腔体200的外部。
推动件30固接导气筒10的出口端，弹性件42套设位于承重体和出口端之间的导气筒10上，也就是说，在实际应用时，弹性件42套设在导气筒10位于处理腔体200之外的部分上，且推动件30位于处理腔体200的外部，动力源20也可以安装在处理腔体200的外部。如此，不仅方便了弹性组件40、推动件30和动力源20的安装，而且也可以减小处理腔体200内的物质对弹性组件40、推动件30和动力源20的侵蚀，提高导气装置100的使用寿命。
同时，利用导气筒10自身来对弹性件42进行导向，导气装置100的结构更加紧凑，且成本更低。
在实际作业时，当动力源20推动推动件30朝向导气筒10的入口端移动时，推动件30直接带动导气筒10相对承重体移动，在导气筒10移动的过程中，弹性件42被压缩，导气筒10在弹性件42提供的弹性力作用下，其入口端与外部通道的出口端紧密贴合。
进一步到实施例中，请参照图3，弹性组件40还包括第二导向套43，第二导向套43套设在承重体和导气筒10之间。可以地，第二导向套43与导气筒10和承重体的一者固定连接，另一者间隙配合，以使得导气筒10能够相对承重体移动，以使得导气筒10紧紧抵接在外部通道的出口端上。第二导向套43的设置，不仅能够为导气筒10的移动导向，还可以减小导气筒10与承重体之间的摩擦，提高导气装置100的可靠性。
进一步到实施例中，弹性组件40还包括第三导向套44，第三导向套44套设在推动件30和导气筒10之间。
具体可以地，在推动件30上设置有配接孔，导气筒10的出口端设置在配接孔，第三导向套44设置在配接孔内，并将推动件30和导气筒10的出口端固定连接。第三导向套44的设置更加易于推动件30与导气筒10的固定连接。
可选地，弹性件42限位在第二导向套43和第三导向套44之间。
进一步到实施例中，请参照图3，弹性组件40还包括第一伸缩管45，第一伸缩管45套设于导气筒10上，且配置为固定连接在承重体和推动件30之间。
由于导气筒10相对承重体是可以沿设定方向F移动的，存在位于承重体与导气筒10之间的配合间隙可供承重体两侧空间空气流通。可理解地，第一伸缩管45与承重体之间以及第一伸缩管45与推动件30之间均为密封连接(如通过密封件密封连接)，以降低在连接处漏气的概率。
此时，第一伸缩管45的伸缩两端分别连接承重体和推动件30，导气筒10与承重体的配合处位于第一伸缩管45内，通过第一伸缩管45可以将该配合间隙与外界大气隔离，可以起到防止外界大气的杂质经由该配合间隙进入到承重体的导气筒10的入口端所在的一侧，当导气装置100应用到处理腔体200内时，可以降低外界大气的杂质经由该配合间隙进入到处理腔体200内的几率。
进一步到实施例中，请参照图3，弹性组件40还包括第二伸缩管46，第二伸缩管46的一端固定连接推动件30，另一端用于与抽气管212对接，第二伸缩管46与导气管的出口端连通。
抽气管212是连接抽气装置和管路，用于将抽气装置与第二伸缩管46连通，进而与导气管连通。可理解地，第二伸缩管46与抽气管212之间以及第二伸缩管46与推动件30之间均为密封连接(如通过密封件密封连接)，以降低在连接处漏气的概率。
在抽气装置的作用下，导气筒10内的气流经第二伸缩管46、抽气管212而流向抽气装置。第二伸缩管46的设计，可以使得抽气管212的位置能够跟随导气筒10的位置变化，即使推动件30推动导气筒10，也可以使得导气筒10与抽气装置具有较好的连通效果，漏气概率降低。
其中，第一伸缩管45和第二伸缩管46均能够沿设定方向F伸缩，在动力源20推动推动件30移动时，推动件30能够带动第一伸缩管45和第二伸缩管46伸缩。可理解地，第一伸缩管45压缩时，第二伸缩管46拉伸，两者的伸缩状态相反。
第一伸缩管45和第二伸缩管46可以为波纹管、套管等构造，具体不限定。
在一些实施例中，导气装置100还包括密封垫50，密封垫50被配置为设置于导气筒10的入口端。密封垫50可以是软胶垫，其作为本领域的常规部件，具体结构及材质在本申请实施例中不作限定。可理解地，密封垫50大致呈圈状，如圆圈状或者方圈状等，密封垫50的形状根据导气筒10的入口端的形状而定。密封垫50可以粘接、卡接等方式固定在导气筒10的入口端。密封垫50的设置能够加强导气筒10与外部通道的出口端的气密性。
在一些实施例中，导气筒10包括在设定方向F上连通的第一筒段11和第二筒段13，第二筒段13被配置为穿设承重体，第一筒段11被配置为与外部通道对接；第三筒段12的流通面积小于第二筒段13的流通面积。
可理解地，第一筒段11背离第二筒段13的一端构造为导气筒10的入口端，第二筒段13背离第一筒段11的一端构造为导气筒10的出口端。
导气筒10的流通面积是指在垂直于设定方向F上的横截面的面积。第二筒段13的流通面积小于第一筒段11的流通面积，第二筒段13内的气压较高，有助于在外部通道内维持一个较稳定的压力场。
进一步到实施例中，导气筒10还包括第三筒段12，第三筒段12连接在第一筒段11和第二筒段13之间，且第三筒段12的流通面积在设定方向F上朝向第二筒段13递减。
第一筒段11和第二筒段13由第三筒段12连接，由于第三筒段12的流通面积在设定方向F上朝向第二筒段13递减，即第三筒段12大致呈朝向第二筒段13变小的喇叭状，气流从第一筒段11流向第二筒段13时，气流流速较为稳定，可降低对外部通道内的流场影响，特别是外部通道为处理设备的处理腔体200内的通道结构210时。
在实际应用时，弹性组件40可以设置在第二筒段13或者第三筒段12上。
在一些实施例中，推动件30上配置有引导部31，引导部31用于与承重体配接，用于引导推动件30沿设定方向F移动。
引导部31可以是引导孔、引导轴或者引导杆等，具体构造形式不限定。当推动件30在动力源20的推动下移动时，在引导部31的引导下其运动线性更好，运动更加平稳。
在本申请的一实施例中，请参照图1和图2，导气装置100包括导气筒10、动力源20、推动件30和弹性组件40，导气筒10沿设定方向F导气，推动件30被配置为在设定方向F上可移动地安装于承重体上，动力源20被配置于承重体，且用于驱动推动件30移动，弹性组件40包括导向结构41、第一导向套41b、挡位件41d、限位件41f、夹紧块41c和弹性件42，导向件41a与导气筒10固定连接且与推动件30中可相对移动的连接，弹性件42套设于导向件41a。导气筒10具有夹持部14，第一导气筒10和夹紧块41c均固定套设在导向件41a，且夹持部14夹持在夹紧块41c和第一导向套41b之间，挡位件41d设置于导向件41a与夹持部14连接的一端，第一导向套41b位于夹紧块41c和弹性件42之间，夹紧块41c位于挡位件41d和第一导向套41b之间。推动件30上设置有安装孔，导向件41a穿设安装孔并相对安装孔可移动，弹性件42限位于推动件30和垫板41e之间，限位件41f位于推动件30背离弹性件42的一侧。
在本申请的另一实施例中，请参照图3，导气装置100包括导气筒10、动力源20、推动件30和弹性组件40，导气筒10沿设定方向F导气，推动件30被配置为在设定方向F上可移动地安装于承重体上，动力源20被配置于承重体，且用于驱动推动件30移动，导气筒10沿设定方向F移动地套设在承重体上，导气筒10的入口端和导气筒10的出口端被配置为位于承重体与设定方向F垂直的方向的相背两侧。弹性组件40包括弹性件42、第二导向套43、第三导向套44、第一伸缩管45和第二伸缩管46，推动件30固接导气筒10的出口端，弹性件42套设于位于承重体和出口端之间的导气筒10上，第二导向套43套设在承重体和导气筒10之间，第三导向套44套设在推动件30和导气筒10之间，第一伸缩管45套设于导气筒10上，且配置为固定连接在承重体和推动件30之间，第二伸缩管46的一端固定连接推动件30，另一端用于与抽气管212对接，第二伸缩管46与导气管的出口端连通。
另外，请参照图1，并结合图2，本申请实施例还提供了一种腔体结构1000，包括处理腔体200、通道结构210和上述任一实施例中的导气装置100，通道结构210设于处理腔体200内，用于容纳基片并流通气体，推动件30和动力源20均安装于处理腔体200上，且导气筒10的入口端与通道结构210的出口端对接连通。
处理腔体200通常为金属腔体、陶瓷腔体。通道结构210不仅能够流通气体而且还能够容纳基片。在实际应用时，处理气体流通于通道结构210，能够对容纳在通道结构210内的基片的表面进行处理，具体处理方式可以但不限于是镀膜处理、清洗处理、加热设备等。具体可以地，处理腔体200具有腔盖201，腔盖201与处理腔体200的腔门相对，导气装置100安装在腔盖201上。
在实际应用时，导气装置100导气筒10的入口端与处理腔体200内的通道结构210的出口端密封对接，可以避免通道结构210内的粉尘外逸到处理腔体200内，同时有助于维持通道结构210内的气氛流场，不仅能够降低处理设备的维护成本，而且还有助于提高基片的处理质量。
其中，基片可以但不限于是晶圆、硅片等，还可以是其他需要气体进行表面处理的工件。处理气体根据处理工艺的不同而不同，例如，当处理设备用于清洗基片，则处理气体可以是等离子气体。当处理设备用于加热基片，则处理气体可以是惰性气体。当处理设备用于镀膜，则处理气体可以是前驱体。
该腔体结构1000还包括上述其他所有有益效果，在此不赘述。
在一些实施例中，通道结构210包括内腔体和设置在内腔体内的反应舟，反应舟用于承载基片，内腔体用于沿设定方向F引流导气。导气装置100的入口端与内腔体的出口端对接且连通。
在另一些实施例中，通道结构210由用于承载基片的载具211所构造形成，载具211被配置为沿设定方向F流通气体。
载具211用于承载基片，通常其内设置有插槽，基片插设在各插槽内。载具211形成有沿设定方向F贯通设置的内部通道，气体流经该内部通道时与承载在载具211内的基片进行处理。
关于载具211的具体构造，在本申请实施例中不作具体限定，其内部结构的具体设计可以参照现有中应用于硅片承载的反应舟的结构，可在现有反应舟的基础上进行改进使得反应舟不仅承载基片还能够沿设定方向F引流，例如在现有反应舟的设定方向F上的四周侧面利用盖板进行封闭，仅打开其在设定方向F上的两端即可。
此时，利用直接承载载具211的结构流通气体，在载具211和处理腔体200之间无需设置诸如内腔体的其他结构，可提高处理腔体200内的空间利用率。
另外，本申请实施例还提供了一种腔体结构1000的使用方法，适应于上述任一实施例中的腔体结构1000，该使用方法包括：
S10、将装载有基片的通道结构210输送至处理腔体200内，并使得通道结构210的出口端与导气筒10的入口端对接以共同形成处理空间；
S20、向处理空间内通入处理气体。
关于腔体结构1000在上文中已经详尽描述，在此不赘述。在步骤S10之前，通道结构210可以在上料工位处进行基片的上料。在上料工位时，通道结构210位于腔室之外。通常地，利用上料机构进行自动上料。上料机构可以但不限于是机械手。在步骤S10中，可以利用输送机构来输送通道结构210进入处理腔体200的腔室内。其中，输送机构可以是输送辊、输送带、机械手等。
在步骤S10中，输送机构在输送通道结构210进入处理腔体200的腔室内的过程中，当通道结构210的出口端与导气筒10的入口端对接时，输送机构输送到位。此时，通道结构210与导气筒10两者的内部空间形成有能够流通气体的处理空间。
在步骤S20中，通常地，处理气体自通道结构210的入口端所在一侧通入处理空间，而后向导气筒10流动，最后经导气筒10流出处理空间。处理气体流经通道结构210内的基片时，对基片进行处理。通常地，与处理空间连通有一通气流路，向处理空间通入处理气体，即向通气流路通入处理气体。通常地，通气流路的入口与气源相连通，向处理空间通入处理气体的步骤具体可以是开启通气流路与气源之间的阀门。
另外，本申请实施例还提供了一种处理设备，包括上述任一实施例中所提及的腔体结构1000。其包括上述所有有益效果，在此不赘述。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (16)
1.一种导气装置，其特征在于，所述导气装置包括：
导气筒，沿设定方向导气；
动力源和推动件，所述推动件被配置为在所述设定方向上可移动地安装于承重体上；所述动力源被配置于所述承重体，且用于驱动所述推动件移动；及
弹性组件，被构造为在所述设定方向上可弹性形变的连接在所述导气筒和推动件之间。
2.根据权利要求1所述的导气装置，其特征在于，所述弹性组件包括导向结构和弹性件，所述导向结构包括导向件，所述导向件沿所述设定方向连接在所述导气筒和所述推动件之间；
所述导向件与所述导气筒和所述推动件中的至少一者沿所述设定方向可相对移动，且与另一者固定连接，所述弹性件套设于所述导向件。
3.根据权利要求2所述的导气装置，其特征在于，所述导向结构还包括第一导向套和夹紧块，所述导气筒具有夹持部；
所述第一导向套和所述夹紧块均固定套设在所述导向件，且所述夹持部夹持在所述夹紧块和所述第一导向套之间。
4.根据权利要求3所述的导气装置，其特征在于，所述导向结构还包括挡位件，所述挡位件设置于所述导向件与所述夹持部连接的一端，所述第一导向套位于所述夹紧块和所述弹性件之间，所述夹紧块位于所述挡位件和所述第一导向套之间。
5.根据权利要求4所述的导气装置，其特征在于，所述导向结构还包括垫板，所述垫板套设在所述导向件，且位于所述第一导向套和所述弹性件之间；
和/或，所述导向结构还包括设置于所述导向件的限位件，所述推动件上设置有安装孔，所述导向件穿设安装孔，并相对所述安装孔可移动，所述弹性件限位于推动件和垫板之间，限位件位于推动件背离弹性件的一侧。
6.根据权利要求1所述的导气装置，其特征在于，所述导气筒沿所述设定方向移动地套设在所述承重体上，所述导气筒的入口端和所述导气筒的出口端被配置为位于所述承重体与所述设定方向垂直的方向的相背两侧；
所述弹性组件包括弹性件，所述推动件固接所述导气筒的出口端，所述弹性件套设于位于所述承重体和所述出口端之间的所述导气筒上。
7.根据权利要求6所述的导气装置，其特征在于，所述弹性组件还包括第二导向套，所述第二导向套设在所述承重体和所述导气筒之间；
和/或，所述弹性组件还包括第三导向套，所述第三导向套套设在所述推动件和所述导气筒之间。
8.根据权利要求6所述的导气装置，其特征在于，所述弹性组件还包括第一伸缩管，所述第一伸缩管套设于所述导气筒上，且配置为固定连接在所述承重体和所述推动件之间；
和/或，所述弹性组件还包括第二伸缩管，所述第二伸缩管的一端固定连接所述推动件，另一端用于与抽气管对接，所述第二伸缩管与所述导气筒的出口端连通。
9.根据权利要求1至8任一项所述的导气装置，其特征在于，所述导气装置还包括密封垫，所述密封垫被配置为设置于所述导气筒的入口端。
10.根据权利要求1至8任一项所述的导气装置，其特征在于，所述导气筒包括在所述设定方向上连通的第一筒段和第二筒段，所述第二筒段被配置为穿设所述承重体，所述第一筒段被配置为与外部通道对接；
所述第三筒段的流通面积小于所述第二筒段的流通面积。
11.根据权利要求10所述的导气装置，其特征在于，所述导气筒还包括第三筒段，所述第三筒段连接在所述第一筒段和所述第二筒段之间，所述第三筒段的流通面积在所述设定方向上朝向所述第二筒段递减。
12.根据权利要求1至8任一项所述的导气装置，其特征在于，所述推动件上配置有引导部，所述引导部用于与所述承重体配接，用于引导所述推动件沿所述设定方向移动。
13.一种腔体结构，其特征在于，包括：
处理腔体；
通道结构，设于所述处理腔体内，用于容纳基片并流通气体；
如权利要求1至12任一项所述的导气装置，所述推动件和所述动力源均安装于所述处理腔体上，且所述导气筒的入口端与所述通道结构的出口端对接连通。
14.根据权利要求13所述的腔体结构，其特征在于，所述通道结构由用于承载所述基片的载具所构造形成，所述载具被构造为沿所述设定方向流通气体。
15.一种如权利要求13或14所述的腔体结构的使用方法，其特征在于，所述使用方法包括：
将装载有基片的所述通道结构输送至所述处理腔体内，并使得所述通道结构的出口端与所述导气筒的入口端对接以共同形成处理空间；
向所述处理空间通入处理气体。
16.一种处理设备，其特征在于，所述处理设备包括如权利要求13至14任一项所述的腔体结构。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202310402168.4A CN116398726A (zh) | 2023-04-14 | 2023-04-14 | 导气装置、腔体结构及其使用方法、处理设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202310402168.4A CN116398726A (zh) | 2023-04-14 | 2023-04-14 | 导气装置、腔体结构及其使用方法、处理设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN116398726A true CN116398726A (zh) | 2023-07-07 |
Family
ID=87010182
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202310402168.4A Pending CN116398726A (zh) | 2023-04-14 | 2023-04-14 | 导气装置、腔体结构及其使用方法、处理设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN116398726A (zh) |
Citations (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6058751A (en) * | 1998-09-08 | 2000-05-09 | Strattec Security Corporation | Free-wheeling lock |
| CN101748377A (zh) * | 2010-01-07 | 2010-06-23 | 中国科学院半导体研究所 | 金属有机物化学沉积设备的反应室 |
| CN107956947A (zh) * | 2017-11-24 | 2018-04-24 | 浙江佳中木业有限公司 | 一种送气、匀气盒及管道装置 |
| CN215172970U (zh) * | 2021-04-29 | 2021-12-14 | 湖北瑞合轨道交通发展有限公司 | 一种卡套式接头的软密封机构 |
| CN215326375U (zh) * | 2021-06-16 | 2021-12-28 | 扬中市第一蝶阀厂有限公司 | 一种双重密封吹氩接头 |
| TW202212598A (zh) * | 2020-09-16 | 2022-04-01 | 大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 | 半導體反應腔室 |
| CN216284143U (zh) * | 2021-11-29 | 2022-04-12 | 库联工业(大连)有限公司 | 一种用于气动三联件的漏气检测装置 |
| CN217094901U (zh) * | 2022-03-14 | 2022-08-02 | 宁夏参进宁宇达冶金有限公司 | 一种感应式高效密闭式主烟道 |
| CN115233182A (zh) * | 2022-06-23 | 2022-10-25 | 深圳市纳设智能装备有限公司 | 一种出气管路结构及反应设备 |
| CN115289305A (zh) * | 2021-09-30 | 2022-11-04 | 奥动新能源汽车科技有限公司 | 风道浮动接头、充电机柜和换电站或储能站 |
| CN218083355U (zh) * | 2022-09-29 | 2022-12-20 | 江苏威姿曼机械有限公司 | 一种径向挤压制管机供气装置 |
| CN115537777A (zh) * | 2022-08-16 | 2022-12-30 | 湖南顶立科技有限公司 | 一种气相沉积设备 |
| CN218818786U (zh) * | 2022-12-16 | 2023-04-07 | 贝特瑞(江苏)新能源材料有限公司 | 管道对接装置及粉体材料加工设备 |
-
2023
- 2023-04-14 CN CN202310402168.4A patent/CN116398726A/zh active Pending
Patent Citations (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6058751A (en) * | 1998-09-08 | 2000-05-09 | Strattec Security Corporation | Free-wheeling lock |
| CN101748377A (zh) * | 2010-01-07 | 2010-06-23 | 中国科学院半导体研究所 | 金属有机物化学沉积设备的反应室 |
| CN107956947A (zh) * | 2017-11-24 | 2018-04-24 | 浙江佳中木业有限公司 | 一种送气、匀气盒及管道装置 |
| TW202212598A (zh) * | 2020-09-16 | 2022-04-01 | 大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司 | 半導體反應腔室 |
| CN215172970U (zh) * | 2021-04-29 | 2021-12-14 | 湖北瑞合轨道交通发展有限公司 | 一种卡套式接头的软密封机构 |
| CN215326375U (zh) * | 2021-06-16 | 2021-12-28 | 扬中市第一蝶阀厂有限公司 | 一种双重密封吹氩接头 |
| CN115289305A (zh) * | 2021-09-30 | 2022-11-04 | 奥动新能源汽车科技有限公司 | 风道浮动接头、充电机柜和换电站或储能站 |
| CN216284143U (zh) * | 2021-11-29 | 2022-04-12 | 库联工业(大连)有限公司 | 一种用于气动三联件的漏气检测装置 |
| CN217094901U (zh) * | 2022-03-14 | 2022-08-02 | 宁夏参进宁宇达冶金有限公司 | 一种感应式高效密闭式主烟道 |
| CN115233182A (zh) * | 2022-06-23 | 2022-10-25 | 深圳市纳设智能装备有限公司 | 一种出气管路结构及反应设备 |
| CN115537777A (zh) * | 2022-08-16 | 2022-12-30 | 湖南顶立科技有限公司 | 一种气相沉积设备 |
| CN218083355U (zh) * | 2022-09-29 | 2022-12-20 | 江苏威姿曼机械有限公司 | 一种径向挤压制管机供气装置 |
| CN218818786U (zh) * | 2022-12-16 | 2023-04-07 | 贝特瑞(江苏)新能源材料有限公司 | 管道对接装置及粉体材料加工设备 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI704638B (zh) | 開門裝置、傳輸腔室和半導體處理設備 | |
| US10283397B2 (en) | Substrate lift pin actuator | |
| CN116426905A (zh) | 处理设备及其使用方法 | |
| US6283445B1 (en) | Gate valve and cylinder apparatus | |
| KR101013137B1 (ko) | 진공 공정용 밸브 | |
| KR100633616B1 (ko) | 플라즈마 처리용 이중 슬릿 밸브 도어 | |
| US7343849B2 (en) | Cylinder apparatus | |
| CN111681981B (zh) | 半导体工艺设备及其密封门机构 | |
| CN116398726A (zh) | 导气装置、腔体结构及其使用方法、处理设备 | |
| KR101842970B1 (ko) | 게이트 밸브의 개폐장치 | |
| KR20160115751A (ko) | 진공 밸브 | |
| US8047231B2 (en) | Valve element unit and gate valve apparatus | |
| CN113707523B (zh) | 半导体工艺腔室 | |
| JP4458342B2 (ja) | ゲートバルブ | |
| KR101573789B1 (ko) | 도어밸브 | |
| RU2294031C1 (ru) | Технологическая камера с транспортным боксом | |
| US20030026677A1 (en) | High-pressure process apparatus | |
| CN112959413B (zh) | 一种pcb钻孔机用机械手 | |
| JPH10230474A (ja) | 空気ビータ | |
| JP3310578B2 (ja) | ゲートバルブ | |
| CN216043270U (zh) | 开门机构及半导体处理设备 | |
| TW201503276A (zh) | 用於半導體製造裝置之運送模組及耦合裝置 | |
| WO2020166836A1 (ko) | 진공밸브 | |
| KR20170081994A (ko) | 게이트 밸브 | |
| CN211320055U (zh) | 半导体设备中的开门机构及半导体设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| CB02 | Change of applicant information | ||
| CB02 | Change of applicant information |
Address after: No. 27 Changjiang South Road, Xinwu District, Wuxi City, Jiangsu Province, China Applicant after: Jiangsu micro nano technology Co.,Ltd. Address before: 214000 No. 11 Lijiang Road, Xinwu District, Wuxi City, Jiangsu Province Applicant before: Jiangsu micro nano technology Co.,Ltd. |