CN116328481A - 一种废气处理设备、方法、装置和电子设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种废气处理设备、方法、装置和电子设备，属于废气处理技术领域。该设备包括：左反应腔、右反应腔、总进气管、左进气管、右进气管、厂务排放管、切换管、总侦测管和负压侦测装置；总进气管、左进气管和切换管的第一端分别与左三通阀连接；右进气管的第一端、厂务排放管的第一端和切换管的第二端分别与右三通阀连接；左进气管上连通有左负压侦测管，右进气管上连通有右负压侦测管，左负压侦测管的自由端、右负压侦测管的自由端和总侦测管的第一端分别与侦测三通阀连接；左进气管的第二端与左反应腔连通，右进气管的第二端与右反应腔连通，总侦测管的第二端与负压侦测装置连通。该设备可以降低双宕机事故发生率。

Description

一种废气处理设备、方法、装置和电子设备

技术领域

本发明涉及废气处理技术领域，尤其涉及一种废气处理设备、方法、装置和电子设备。

背景技术

半导体行业生产过程中，大量使用化学品和特殊气体，生产环节持续产生大量有毒有害的工艺废气。工艺废气需要与生产工艺同步进行收集、治理和排放，废气处理系统及设备是生产工艺中不可分割的组成部分。

相关技术中，双腔废气处理设备有两个腔体，但是两个腔体共用一个负压侦测管，半导体制程过程中的粉尘和水珠湿气容易造成负压侦测管堵塞，这种情况在半导体特殊制程工艺中十分容易发生，如对于金属等制程气体，在温度较低的情况下生成粉尘较多，负压侦测管堵塞就会变得比较频繁，往往每天都会发生负压升高的情况。而当负压侦测管发生堵塞时，会造成双腔废气处理设备的双宕事故，双宕事故后生产进程立即停止会对芯片造成损害，从而造成巨大的损失；双宕事故后生产进程延时停止则需要将有害气体进行厂务排放，这会严重污染环境、影响人员身体健康。

发明内容

本发明提供一种废气处理设备、方法、装置和电子设备，用以解决现有技术中两个反应腔公用一个负压侦测管，负压侦测管堵塞时，两个反应腔会同时宕机的问题，实现设置两个负压侦测管来切换侦测进入不同反应腔的废气的负压数据，从而在一个负压侦测管堵塞时，可以切换另一个反应腔进行废气处理，极大的降低了双宕机事故的发生率。

本发明提供一种废气处理设备，包括：左反应腔、右反应腔、总进气管、左进气管、右进气管、厂务排放管、切换管、总侦测管和负压侦测装置；

所述总进气管、所述左进气管和所述切换管的第一端分别与左三通阀连接，以通过所述左三通阀的切换使得所述总进气管与所述左进气管直通或与所述切换管直通；

所述右进气管的第一端、所述厂务排放管的第一端和所述切换管的第二端分别与右三通阀连接，以通过所述右三通阀的切换使得所述切换管与所述右进气管直通或与所述厂务排放管直通；

所述左进气管上连通有左负压侦测管，所述右进气管上连通有右负压侦测管，所述左负压侦测管的自由端、所述右负压侦测管的自由端和所述总侦测管的第一端分别与侦测三通阀连接，以通过所述侦测三通阀的切换使得所述总侦测管与所述左负压侦测管直通或与所述右负压侦测管直通；

所述左进气管的第二端与所述左反应腔连通，所述右进气管的第二端与所述右反应腔连通，所述总侦测管的第二端与所述负压侦测装置连通。

根据本发明提供的一种废气处理设备，所述左进气管上与所述左负压侦测管连接的连通口处，靠近所述左腔三通阀的一侧设置有左阻挡件；

和/或，所述右进气管上与所述右负压侦测管连接的连通口处，靠近所述右腔三通阀的一侧设置有右阻挡件。

根据本发明提供的一种废气处理设备，所述左阻挡件和/或所述右阻挡件为弧形片状，所述左阻挡件的内弧面朝向所述左反应腔安装，所述右阻挡件的内弧面朝向所述右反应腔安装。

本发明还提供一种废气处理方法，应用于上述任一种所述废气处理设备，所述方法包括：

确定左三通阀的当前状态，当所述左三通阀的当前状态使得总进气管与左进气管直通时，采用左反应腔处理废气，确定负压侦测装置侦测的左负压侦测管的左负压数据有效；

当所述左负压数据异常时，切换所述左三通阀的当前状态，使得所述总进气管与切换管直通，切换侦测三通阀的当前状态，使得总侦测管与右负压侦测管直通，所述负压侦测装置侦测所述右负压侦测管的右负压数据；

确定右三通阀的当前状态，当所述右三通阀的当前状态使得所述切换管与右进气管直通时，采用右反应腔处理废气，确定所述负压侦测装置侦测的所述右负压数据有效。

根据本发明提供的一种废气处理方法，还包括：

当所述左三通阀的当前状态使得所述总进气管与所述左进气管非直通时，确定所述负压侦测装置侦测的所述左负压数据无效；

预设时长后进行所述左三通阀的阀位报警，并使所述左反应腔停止运行；

切换所述侦测三通阀的当前状态，使得所述总侦测管与所述右负压侦测管直通。

根据本发明提供的一种废气处理方法，还包括：

当所述右三通阀的当前状态使得所述切换管与所述右进气管非直通时，确定所述负压侦测装置侦测的所述右负压数据无效；

预设时长后进行所述右三通阀的阀位报警，并使所述右反应腔停止运行；

切换所述右三通阀的当前状态，使得所述切换管与厂务排放管直通，进行厂务排放。

根据本发明提供的一种废气处理方法，还包括：

确定所述左进气管和/或所述左负压侦测管的维护状态，当所述左进气管和/或所述左负压侦测管维护完成为通畅状态时，切换所述左三通阀的当前状态，使得所述总进气管与所述左进气管直通，切换所述侦测三通阀的当前状态，使得总侦测管与左负压侦测管直通，所述负压侦测装置侦测所述左负压数据。

本发明还提供一种废气处理装置，包括：

第一确定模块，用于确定左三通阀的当前状态，当所述左三通阀的当前状态使得总进气管与左进气管直通时，采用左反应腔处理废气，确定负压侦测装置侦测的左负压侦测管的左负压数据有效；

第一切换模块，用于当所述左负压数据异常时，切换所述左三通阀的当前状态，使得所述总进气管与切换管直通，切换侦测三通阀的当前状态，使得总侦测管与右负压侦测管直通，所述负压侦测装置侦测所述右负压侦测管的右负压数据；

第二确定模块，用于确定右三通阀的当前状态，当所述右三通阀的当前状态使得所述切换管与右进气管直通时，采用右反应腔处理废气，确定所述负压侦测装置侦测的所述右负压数据有效。

本发明还提供一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现如上述任一种所述废气处理方法。

本发明还提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述废气处理方法。

本发明还提供一种计算机程序产品，包括计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述废气处理方法。

本发明提供的废气处理设备、方法、装置和电子设备，通过在左进气管和右进气管上分别设置左负压侦测管和右负压侦测管的方式，使得一个负压侦测管堵塞的情况下，另一个负压侦测管还可以使用，从而可以切换另一个反应腔进行废气处理工作，且在不停止废气处理的情况下能够对堵塞的部位进行清理，极大的降低了双腔宕机事故的发生率。进一步的，该左/右负压侦测管分别通过三通阀与负压侦测装置连接，无需额外增加负压侦测装置以及进行负压数据采集的模拟量采集组件，对废气处理设备的改造较小，使得在改造难度低且改造成本极小的情况下，能够大幅度减少双腔宕机事故的发生率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是现有技术中紊流区域的示例示意图；

图2是现有技术中废气处理设备的结构示例示意图；

图3是本发明提供的废气处理设备的结构示意图；

图4是本发明提供的废气处理设备的左进气管部分的结构示意图；

图5是本发明提供的废气处理设备的左遮挡件的安装结构示意图；

图6是本发明提供的废气处理方法的流程示意图之一；

图7是本发明提供的废气处理方法的流程示意图之二；

图8是本发明提供的废气处理装置的结构示意图；

图9是本发明提供的电子设备的结构示意图。

附图标记：

101、总进气管；102、负压侦测管；103、左进气管；104、左三通阀；105、右进气管；106、右三通阀；107、厂务排放管；108、切换管；109、左负压侦测管；110、右负压侦测管；111、总侦测管；112、负压侦测装置；113、侦测三通阀；114、左阻挡件；801、第一确定模块；802、第一切换模块；803、第二确定模块。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明中的附图，对本发明中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1所述，半导体制程过程中的废气从主进气管流入时，会在负压侦测管102口位置处形成紊流区域，如果废气中含有粉尘、湿气的情况下，会在负压侦测管102口产生堆积，一定时间后会堵塞负压侦测管102口。

现有技术中，双腔废气处理设备上仅有一个负压侦测管102，如图2中所示，该负压侦测管102设置在主进气管上。这使得如果负压侦测管102口发生堵塞时，左处理腔和右处理腔的检测都会出现问题，从而造成双宕机事故，双宕机事故下一种情况会直接叫停芯片生产，这就会使得生产至半程的芯片损坏，从而造成严重的经济损失；另一种情况会先将废气进行厂务排放以完成芯片当前的生产进程，然后再停止生产，这种情况下将废气未处理直接进行厂务排放，会污染环境并且会对工作人员的身体健康产生影响，因此无论是上述哪种处理情况，都会造成严重的不良后果。

针对上述问题，本发明实施例提供一种废气处理设备，下面结合图3-图5描述本发明的一种废气处理设备，该废气处理设备包括：左反应腔、右反应腔、总进气管101、左进气管103、右进气管105、厂务排放管107、切换管108、总侦测管111和负压侦测装置112；所述总进气管101、所述左进气管103和所述切换管108的第一端分别与左三通阀104连接，以通过所述左三通阀104的切换使得所述总进气管101与所述左进气管103直通或与所述切换管108直通；所述右进气管105的第一端、所述厂务排放管107的第一端和所述切换管108的第二端分别与右三通阀106连接，以通过所述右三通阀106的切换使得所述切换管108与所述右进气管105直通或与所述厂务排放管107直通；所述左进气管103上连通有左负压侦测管109，所述右进气管105上连通有右负压侦测管110，所述左负压侦测管109的自由端、所述右负压侦测管110的自由端和所述总侦测管111的第一端分别与侦测三通阀113连接，以通过所述侦测三通阀113的切换使得所述总侦测管111与所述左负压侦测管109直通或与所述右负压侦测管110直通；所述左进气管103的第二端与所述左反应腔连通，所述右进气管105的第二端与所述右反应腔连通，所述总侦测管111的第二端与所述负压侦测装置112连通。

具体的，该废气处理设备的左进气管103上设置了左负压侦测管109，右进气管105上设置了右负压侦测管110，并且左负压侦测管109和右负压侦测管110通过侦测三通阀113进行连接。这使得在运行左反应腔进行废气处理，左负压侦测管109发生堵塞时，可以切换运行右反应腔来进行废气处理，同时切换右负压侦测管110进行负压侦测。在右反应腔运行期间，现场工作人员有充足的时间可以对堵塞的左负压侦测管109进行清管疏通，疏通期间无需废气处理设备整体停运，提高了废气处理设备的长久使用率，并且极大的降低了双宕机事故的发生率，在一定程度上确保了废气处理设备的正常运行。

示例性的，上述实施例中的侦测三通阀113可以是电磁三通阀，例如可以在未通电状态下保持总侦测管111和左负压侦测管109直通，在通电状态下保持总侦测管111和右负压侦测管110直通。上述实施例中的左三通阀104和右三通阀106可以是气动三通阀，具体可以是通过控制气路来推动三通阀的阀芯，从而改变阀门的状态。上述实施例中的负压侦测装置112可以是负压传感器，在此不做具体的限定。

本发明提供的废气处理设备，通过在左进气管103和右进气管105上分别设置左负压侦测管109和右负压侦测管110的方式，使得一个负压侦测管102堵塞的情况下，另一个负压侦测管102还可以使用，从而可以切换另一个反应腔进行废气处理工作，且在不停止废气处理的情况下能够对堵塞的部位进行清理，极大的降低了双腔宕机事故的发生率。进一步的，该左/右负压侦测管110分别通过三通阀与负压侦测装置112连接，无需额外增加负压侦测装置112以及进行负压数据采集的模拟量采集组件，对废气处理设备的改造较小，使得在改造难度低且改造成本极小的情况下，能够大幅度减少双腔宕机事故的发生率。

在一个实施例中，如图4中所示，所述左进气管103上与所述左负压侦测管109连接的连通口处，靠近所述左腔三通阀的一侧设置有左阻挡件114；

和/或，所述右进气管105上与所述右负压侦测管110连接的连通口处，靠近所述右腔三通阀的一侧设置有右阻挡件。

具体的，由于左进气管103与左负压侦测管109的连通口处和右进气管105与右负压侦测管110的连通口处容易形成紊流区域，从而容易使得左负压侦测管109口和右负压侦测管110口发生堵塞，造成负压升高的情况。且在芯片的某些特殊制程下，如温度较低且粉尘较多的制程下，负压侦测管102口堵塞的情况会发生的比较频繁。这就会严重影响半导体制程的效率，并且加大了现场工作人员的清堵工作量。

因此，基于上述情况，可以在左进气管103上与左负压侦测管109连接的连通口处，靠近左腔三通阀的一侧设置左阻挡件114；和/或，在右进气管105上与右负压侦测管110连接的连通口处，靠近右腔三通阀的一侧设置右阻挡件。

具体的，通过左/右阻挡件的设置，使得连通口处不宜形成紊流区域，废气中的粉尘在阻挡件的作用下是逐渐进行堆积的，因此侦测到的负压数据也是缓慢逐渐升高的，现场工作人员可以通过负压数据的缓慢变化及时发现堵塞事件，有足够的反应时间应对堵塞事件，以对堵塞事件进行积极的响应处理。不会像未设置阻挡件的情况下，在紊流区域的作用下堵塞事件会快速发生，从而导致负压急剧上升，留给工作人员的反应时间短，从而对应的响应处理效果也较差。

在一个实施例中，如图5中所示，所述左阻挡件114和/或所述右阻挡件为弧形片状，所述左阻挡件114的内弧面朝向所述左反应腔安装，所述右阻挡件的内弧面朝向所述右反应腔安装。

具体的，左阻挡件114和/或右阻挡件可以为弧形片状，且左阻挡件114的内弧面朝向左反应腔安装，右阻挡件的内弧面朝向右反应腔安装。

在此种形状设计下，粉尘会逐渐堆积在阻挡件的外弧面上，当粉尘堆积较多时，在气流的作用下，粉尘会被从阻挡件的外弧面上抽走，吸入反应腔，如此进一步的降低了左负压侦测管109和/或右负压侦测管110的堵塞概率，同时也进一步的减少了现场工作人员的清管工作量，降低了宕机事件的发生。

下面对本发明提供的废气处理方法进行描述，下文描述的废气处理方法应用于上文描述的废气处理设备。如图6中所示，该废气处理方法包括：

S601：确定左三通阀104的当前状态，当所述左三通阀104的当前状态使得总进气管101与左进气管103直通时，采用左反应腔处理废气，确定负压侦测装置112侦测的左负压侦测管109的左负压数据有效。

S602：当所述左负压数据异常时，切换所述左三通阀104的当前状态，使得所述总进气管101与切换管108直通，切换侦测三通阀113的当前状态，使得总侦测管111与右负压侦测管110直通，所述负压侦测装置112侦测所述右负压侦测管110的右负压数据。

S603：确定右三通阀106的当前状态，当所述右三通阀106的当前状态使得所述切换管108与右进气管105直通时，采用右反应腔处理废气，确定所述负压侦测装置112侦测的所述右负压数据有效。

具体的，如图7中所示，首先将废气处理设备开机，废气处理设备开机后，默认的废气处理方式可以是运行左反应腔进行废气处理。此时需要检测左三通阀104的当前状态，看左三通阀104的当前状态是否使得总进气管101与左进气管103直通，当总进气管101与左进气管103直通时，则左反应腔运行进行废气处理，负压侦测装置112侦测的左负压侦测管109的左负压数据是有效的。

在左反应腔运行过程中持续侦测左负压数据，并确定左负压数据是否正常，在左负压数据正常时，则持续运行左反应腔进行废气处理，并持续侦测左负压数据。

当左负压数据异常时，可能是由两种情况引起的，一种情况是左进气管103发生堵塞，另一种情况是左负压侦测管109发生堵塞，这两种情况都会导致负压升高。此时，切换左三通阀104的当前状态，使总进气管101与切换管108直通。切换侦测三通阀113的当前状态，使总侦测管111与右负压侦测管110直通，即此时考虑使用右反应腔进行废气处理，使用右负压侦测口进行负压侦测。

左三通阀104状态切换后，不一定能够运行右反应腔，此时，还需要确定右三通阀106的当前状态，看切换管108与右进气管105是否是直通的，当是直通的时，采用右反应腔处理废气，负压侦测装置112侦测的右负压侦测管110的右负压数据是有效的。

进一步的，可以理解的是，当右反应腔运行过程中右负压数据异常时，且左进气管103和/或左负压侦测管109的堵塞事件还未解决时，则会切换右三通阀106的当前状态，使得切换管108与厂务排放管107直通，废气进行厂务排放。并且右三通阀106进行阀位报警，右反应腔停止运行。

本发明提供的废气处理方法，通过在左进气管103和右进气管105上分别设置的左负压侦测管109和右负压侦测管110，使得一个负压侦测管102堵塞的情况下，另一个负压侦测管102还可以使用，从而可以切换另一个反应腔进行废气处理工作，且在不停止废气处理的情况下能够对堵塞的部位进行清理，极大的降低了双腔宕机事故的发生率。

在一个是实施例中，该方法还包括：

当所述左三通阀104的当前状态使得所述总进气管101与所述左进气管103非直通时，确定所述负压侦测装置112侦测的所述左负压数据无效。

预设时长后进行所述左三通阀104的阀位报警，并使所述左反应腔停止运行。

切换所述侦测三通阀113的当前状态，使得所述总侦测管111与所述右负压侦测管110直通。

具体的，当该废气处理设备开机后，左三通阀104的当前状态使得总进气管101与左进气管103为非直通状态，此时，有可能是左反应腔有故障导致的总进气管101与左进气管103为非直通状态。此时负压侦测装置112侦测的左负压侦测管109的左负压数据是无效的(总进气管101与左进气管103为非直通状态时，可能正处于关闭左进气管103气路的过程中，此过程中左进气管103中仍会有气体通过，因此仍然能够侦测到左负压数据，此时该数据则是无效的)。

确定总进气管101与左进气管103为非直通状态预设时长后，进行左三通阀104的阀位报警，并使左反应腔停止运行。左三通阀104的阀位报警例如可以是在监控显示设备上的虚拟左三通阀104位置处进行报警，以使监控人员能够及时发现并进行响应处理。预设时长可以是几秒、几分钟等，例如5s、8s、30s、1min等。

除了进行阀位报警，还需要切换侦测三通阀113的当前状态，使得总侦测管111与右负压侦测管110直通，以在右反应腔进行废气处理时对右负压数据进行侦测。可以理解的是，阀位报警和侦测三通阀113的切换在步骤上没有先后顺序的要求，可以先进行阀位报警再进行侦测三通阀113的切换，也可以先进行侦测三通阀113的切换然后再进行阀位报警，当然也可以同时进行。

在一个实施例中，该方法还包括：

当所述右三通阀106的当前状态使得所述切换管108与所述右进气管105非直通时，确定所述负压侦测装置112侦测的所述右负压数据无效。

预设时长后进行所述右三通阀106的阀位报警，并使所述右反应腔停止运行。

切换所述右三通阀106的当前状态，使得所述切换管108与厂务排放管107直通，进行厂务排放。

具体的，左三通阀104状态切换后，不一定能够运行右反应腔。如右进气管105堵塞或右负压侦测管110堵塞时，切换管108与右进气管105则是非直通的，此时负压侦测装置112侦测的右负压侦测管110的右负压数据是无效的(总进气管101与右进气管105为非直通状态时，可能处于关闭右进气管105气路的过程中，此过程中右进气管105中仍会有气体通过，因此仍然能够侦测到右负压数据，此时该数据则是无效的)。

确定切换管108与右进气管105为非直通状态预设时长后，进行右三通阀106的阀位报警，并使右反应腔停止运行。右三通阀106的阀位报警例如可以是在监控显示设备上的虚拟右三通阀106位置处进行报警，以使监控人员能够及时发现进行响应处理。预设时长可以是几秒、几分钟等，例如5s、8s、30s、1min等。

切换管108与右进气管105为非直通状态，则切换管108与厂务排放管107则会形成直通状态，此时废气则直接进行厂务排放。

在一个实施例中，该方法还包括：

确定所述左进气管103和/或所述左负压侦测管109的维护状态，当所述左进气管103和/或所述左负压侦测管109维护完成为通畅状态时，切换所述左三通阀104的当前状态，使得所述总进气管101与所述左进气管103直通，切换所述侦测三通阀113的当前状态，使得总侦测管111与左负压侦测管109直通，所述负压侦测装置112侦测所述左负压数据。

具体的，在右反应腔运行过程中或右反应腔运行过程中出现负压升高事件时，可以确定左进气管103和/或左负压侦测管109的维护状态，当维护完成时，则可以切换左反应腔运行，侦测左负压数据。

下面对本发明提供的废气处理装置进行描述，下文描述的废气处理装置与上文描述的废气处理方法可相互对应参照。如图8中所示，该装置包括：第一确定模块801、第一切换模块802、第二确定模块803，第一确定模块801用于确定左三通阀104的当前状态，当所述左三通阀104的当前状态使得总进气管101与左进气管103直通时，采用左反应腔处理废气，确定负压侦测装置112侦测的左负压侦测管109的左负压数据有效；第一切换模块802用于当所述左负压数据异常时，切换所述左三通阀104的当前状态，使得所述总进气管101与切换管108直通，切换侦测三通阀113的当前状态，使得总侦测管111与右负压侦测管110直通，所述负压侦测装置112侦测所述右负压侦测管110的右负压数据；第二确定模块803用于确定右三通阀106的当前状态，当所述右三通阀106的当前状态使得所述切换管108与右进气管105直通时，采用右反应腔处理废气，确定所述负压侦测装置112侦测的所述右负压数据有效。

本发明提供的废气处理装置，通过在左进气管103和右进气管105上分别设置的左负压侦测管109和右负压侦测管110，使得一个负压侦测管102堵塞的情况下，另一个负压侦测管102还可以使用，从而可以切换另一个反应腔进行废气处理工作，且在不停止废气处理的情况下能够对堵塞的部位进行清理，极大的降低了双腔宕机事故的发生率。

在一个是实施例中，该装置还包括：第三确定模块、第一报警停运模块和第二切换模块。

第三确定模块用于当所述左三通阀104的当前状态使得所述总进气管101与所述左进气管103非直通时，确定所述负压侦测装置112侦测的所述左负压数据无效。

第一报警停运模块用于预设时长后进行所述左三通阀104的阀位报警，并使所述左反应腔停止运行。

第二切换模块用于切换所述左三通阀104的当前状态，使得所述总进气管101与所述切换管108直通，切换所述侦测三通阀113的当前状态，使得所述总侦测管111与所述右负压侦测管110直通。

在一个实施例中，该装置还包括：第四确定模块，第二报警停运模块和第三切换模块。

第四确定模块用于当所述右三通阀106的当前状态使得所述切换管108与所述右进气管105非直通时，确定所述负压侦测装置112侦测的所述右负压数据无效。

第二报警停运模块用于预设时长后进行所述右三通阀106的阀位报警，并使所述右反应腔停止运行。

第三切换模块用于切换所述右三通阀106的当前状态，使得所述切换管108与厂务排放管107直通，进行厂务排放。

在一个实施例中，该装置还包括：第四切换模块。

第四切换模块用于确定所述左进气管103和/或所述左负压侦测管109的维护状态，当所述左进气管103和/或所述左负压侦测管109维护完成为通畅状态时，切换所述左三通阀104的当前状态，使得所述总进气管101与所述左进气管103直通，切换所述侦测三通阀113的当前状态，使得总侦测管111与左负压侦测管109直通，所述负压侦测装置112侦测所述左负压数据。

图9示例了一种电子设备的实体结构示意图，如图9所示，该电子设备可以包括：处理器(processor)910、通信接口(Communications Interface)920、存储器(memory)930和通信总线940，其中，处理器910，通信接口920，存储器930通过通信总线940完成相互间的通信。处理器910可以调用存储器930中的逻辑指令，以执行废气处理方法，该方法包括：

确定左三通阀104的当前状态，当所述左三通阀104的当前状态使得总进气管101与左进气管103直通时，采用左反应腔处理废气，确定负压侦测装置112侦测的左负压侦测管109的左负压数据有效；

当所述左负压数据异常时，切换所述左三通阀104的当前状态，使得所述总进气管101与切换管108直通，切换侦测三通阀113的当前状态，使得总侦测管111与右负压侦测管110直通，所述负压侦测装置112侦测所述右负压侦测管110的右负压数据；

确定右三通阀106的当前状态，当所述右三通阀106的当前状态使得所述切换管108与右进气管105直通时，采用右反应腔处理废气，确定所述负压侦测装置112侦测的所述右负压数据有效。

此外，上述的存储器930中的逻辑指令可以通过软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器(ROM，Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM，Random Access Memory)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

另一方面，本发明还提供一种计算机程序产品，所述计算机程序产品包括计算机程序，计算机程序可存储在非暂态计算机可读存储介质上，所述计算机程序被处理器执行时，计算机能够执行上述各方法所提供的废气处理方法，该方法包括：

确定左三通阀104的当前状态，当所述左三通阀104的当前状态使得总进气管101与左进气管103直通时，采用左反应腔处理废气，确定负压侦测装置112侦测的左负压侦测管109的左负压数据有效；

当所述左负压数据异常时，切换所述左三通阀104的当前状态，使得所述总进气管101与切换管108直通，切换侦测三通阀113的当前状态，使得总侦测管111与右负压侦测管110直通，所述负压侦测装置112侦测所述右负压侦测管110的右负压数据；

确定右三通阀106的当前状态，当所述右三通阀106的当前状态使得所述切换管108与右进气管105直通时，采用右反应腔处理废气，确定所述负压侦测装置112侦测的所述右负压数据有效。

又一方面，本发明还提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现以执行上述各方法提供的废气处理方法，该方法包括：

确定左三通阀104的当前状态，当所述左三通阀104的当前状态使得总进气管101与左进气管103直通时，采用左反应腔处理废气，确定负压侦测装置112侦测的左负压侦测管109的左负压数据有效；

当所述左负压数据异常时，切换所述左三通阀104的当前状态，使得所述总进气管101与切换管108直通，切换侦测三通阀113的当前状态，使得总侦测管111与右负压侦测管110直通，所述负压侦测装置112侦测所述右负压侦测管110的右负压数据；

确定右三通阀106的当前状态，当所述右三通阀106的当前状态使得所述切换管108与右进气管105直通时，采用右反应腔处理废气，确定所述负压侦测装置112侦测的所述右负压数据有效。

以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，其中所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。本领域普通技术人员在不付出创造性的劳动的情况下，即可以理解并实施。

通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员可以清楚地了解到各实施方式可借助软件加必需的通用硬件平台的方式来实现，当然也可以通过硬件。基于这样的理解，上述技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品可以存储在计算机可读存储介质中，如ROM/RAM、磁碟、光盘等，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行各个实施例或者实施例的某些部分所述的方法。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种废气处理设备，其特征在于，包括：左反应腔、右反应腔、总进气管、左进气管、右进气管、厂务排放管、切换管、总侦测管和负压侦测装置；

所述总进气管、所述左进气管和所述切换管的第一端分别与左三通阀连接，以通过所述左三通阀的切换使得所述总进气管与所述左进气管直通或与所述切换管直通；

所述右进气管的第一端、所述厂务排放管的第一端和所述切换管的第二端分别与右三通阀连接，以通过所述右三通阀的切换使得所述切换管与所述右进气管直通或与所述厂务排放管直通；

所述左进气管上连通有左负压侦测管，所述右进气管上连通有右负压侦测管，所述左负压侦测管的自由端、所述右负压侦测管的自由端和所述总侦测管的第一端分别与侦测三通阀连接，以通过所述侦测三通阀的切换使得所述总侦测管与所述左负压侦测管直通或与所述右负压侦测管直通；

所述左进气管的第二端与所述左反应腔连通，所述右进气管的第二端与所述右反应腔连通，所述总侦测管的第二端与所述负压侦测装置连通。

2.根据权利要求1所述的废气处理设备，其特征在于，所述左进气管上与所述左负压侦测管连接的连通口处，靠近所述左腔三通阀的一侧设置有左阻挡件；

和/或，所述右进气管上与所述右负压侦测管连接的连通口处，靠近所述右腔三通阀的一侧设置有右阻挡件。

3.根据权利要求2所述的废气处理设备，其特征在于，所述左阻挡件和/或所述右阻挡件为弧形片状，所述左阻挡件的内弧面朝向所述左反应腔安装，所述右阻挡件的内弧面朝向所述右反应腔安装。

4.一种废气处理方法，其特征在于，应用于权利要求1～3任一项所述废气处理设备，所述方法包括：

确定左三通阀的当前状态，当所述左三通阀的当前状态使得总进气管与左进气管直通时，采用左反应腔处理废气，确定负压侦测装置侦测的左负压侦测管的左负压数据有效；

当所述左负压数据异常时，切换所述左三通阀的当前状态，使得所述总进气管与切换管直通，切换侦测三通阀的当前状态，使得总侦测管与右负压侦测管直通，所述负压侦测装置侦测所述右负压侦测管的右负压数据；

确定右三通阀的当前状态，当所述右三通阀的当前状态使得所述切换管与右进气管直通时，采用右反应腔处理废气，确定所述负压侦测装置侦测的所述右负压数据有效。

5.根据权利要求4所述的废气处理方法，其特征在于，还包括：

当所述左三通阀的当前状态使得所述总进气管与所述左进气管非直通时，确定所述负压侦测装置侦测的所述左负压数据无效；

预设时长后进行所述左三通阀的阀位报警，并使所述左反应腔停止运行；

切换所述侦测三通阀的当前状态，使得所述总侦测管与所述右负压侦测管直通。

6.根据权利要求4所述的废气处理方法，其特征在于，还包括：

当所述右三通阀的当前状态使得所述切换管与所述右进气管非直通时，确定所述负压侦测装置侦测的所述右负压数据无效；

预设时长后进行所述右三通阀的阀位报警，并使所述右反应腔停止运行；

切换所述右三通阀的当前状态，使得所述切换管与厂务排放管直通，进行厂务排放。

7.根据权利要求4至6任一项所述的废气处理方法，其特征在于，还包括：

确定所述左进气管和/或所述左负压侦测管的维护状态，当所述左进气管和/或所述左负压侦测管维护完成为通畅状态时，切换所述左三通阀的当前状态，使得所述总进气管与所述左进气管直通，切换所述侦测三通阀的当前状态，使得总侦测管与左负压侦测管直通，所述负压侦测装置侦测所述左负压数据。

8.一种废气处理装置，其特征在于，包括：

第一确定模块，用于确定左三通阀的当前状态，当所述左三通阀的当前状态使得总进气管与左进气管直通时，采用左反应腔处理废气，确定负压侦测装置侦测的左负压侦测管的左负压数据有效；

第一切换模块，用于当所述左负压数据异常时，切换所述左三通阀的当前状态，使得所述总进气管与切换管直通，切换侦测三通阀的当前状态，使得总侦测管与右负压侦测管直通，所述负压侦测装置侦测所述右负压侦测管的右负压数据；

第二确定模块，用于确定右三通阀的当前状态，当所述右三通阀的当前状态使得所述切换管与右进气管直通时，采用右反应腔处理废气，确定所述负压侦测装置侦测的所述右负压数据有效。

9.一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述程序时实现如权利要求4至7任一项所述废气处理方法。

10.一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求4至7任一项所述废气处理方法。

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