CN116323291A - 非接触式的传送装置 - Google Patents

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Abstract

公开了一种传送装置，其设计用于同时传送多个有效负载、特别是晶片，其中，每个有效负载分配有一个传输体(移动器)，所述传输体能够在定子的表面上以浮动方式移动和定位。移动和定位关于所有六个自由度发生。在此传输体和配属的有效负载容纳在密封的传输空间中。定子布置在密封的传输空间下方。传输空间的底部平行于定子的表面布置在定子上方。传输体的相应的壳体优选同样是密封的。

Description

非接触式的传送装置
技术领域
本发明涉及一种根据权利要求1的前序部分所述的非接触式的传送装置。根据本发明的传送装置特别适用于工业化应用在装配技术、生物、化学、制药和食品工业以及太阳能电池/展示制作、医疗技术、实验室自动化和物流中。特别优选在半导体工业中使用传送装置。
背景技术
在技术生产的背景下，像材料、工件、工具或产品这样的物体或有效负载通常必须要传输或定位。为此，接触式和非接触式的传送装置都是已知的，它们例如在机械和设备安装中使用，例如用于在包装机中传输物体或有效负载，用于定位机器元件或用于尽可能精确地将工具对准到工件上，例如用于激光加工，或在半导体工业中用于在晶片簇或步进设备中对基板进行涂层、曝光或结构化。在此可以使用用于悬浮物体的系统。
磁悬浮的一个挑战是创造一种在磁场中稳定浮动的结构。另一个挑战是根据目标任务在所有六个自由度(平移和旋转各三个)中自动定位和/或移动浮动结构，这也称为完全磁悬浮。
DE 10 2016 224 951 A1使载有有效负载的传输体能够相对于定子以受控方式传送和定位，方式是两个元件之一具有大量至少部分可移动地布置的调节磁体，其相对于该元件的相应的位置和/或定向可以通过调节元件以受控方式预定，并且两个元件中的另一个元件具有至少两个不动地与该元件连接的固定磁体，其中，固定磁体与调节磁体磁耦合。传送装置设立用于通过调节磁体的受控定位和/或定向来相对于定子传送传输体。在此传输体也被带到并保持到相对于定子的期望位置和/或定向中。
在此传输体的完全磁悬浮在六个自由度上成为可能，即在相对于定子的三个平移和三个旋转自由度上。这具有可以更灵活地进行传输体的传送的优点。
此外，DE 10 2016 224 951 A1提供的优点是，传输体相对于定子的悬浮和/或向前运动通过调节磁体借助于相应的调节元件的相应的定位和/或定向成为可能。由此可以省去提供磁性线圈的复杂的布置和操控。这不仅降低了传送装置的复杂性并因此降低了生产成本，而且还允许使用永磁体，永磁体通常可以提供比可用于此类目的的磁性线圈高得多的磁通密度。这又可以实现更大的提升高度或定子和传输体之间的更大间隙，由此可以产生在Z方向和或俯仰角范围和滚动角范围内的运动中的更大运动间隙范围。此外，这提供了即使电能供给中断也不一定导致故障或甚至造成损坏的优点。特别地，电源中断不会导致定子和传输体之间的磁场或磁耦合的损失。例如，在电源中断的情况下，只要调节磁体的位置和/或定向承受不了固定磁体的吸引力作用，调节磁体和固定磁体之间的耦合力就会增加，于是传输体被拉到定子上并且因此防止不受控制的掉落。定子和传输体之间的磁耦合可以引起传输体的悬浮，即在定子上方的提升，以及传输体相对于定子的向前运动，即传送，而为此不强制需要另外的接触式或非接触式系统。由此使得非接触式传输成为可能，因此所公开的传送装置也可以用于清洁度要求更高的环境中。例如，传输体可以在洁净度要求更高的环境中传送，而定子则布置在洁净度要求较低的环境外。分隔元件可以穿过定子和传输体之间的间隙，以便分隔不同的清洁区域。因此，所公开的传送装置也适用于生物、化学和/或制药方法中以及例如气密、液密和/或封装的区域中。
在典型的半导体生产线中，晶片在生产设备上进行处理，并利用传送装置在生产设备之间传输。晶片通常在传输容器中在常压下传输，其中，传输以25片的典型批量大小进行。
在生产设备(集群工具)内，通常在超高真空(UHV)下处理和传输晶片。生产设备包括至少一个用于处理晶片的处理站、用于在真空中传输晶片的传送装置以及用于存储未处理和已处理的晶片的存储区域。至少一个处理站、传送装置和存储区域被封闭在真空密封的腔室中并且可以被抽真空至UHV。这些腔室侧向彼此相邻地布置并且必要时通过真空密封的闸门相互连接。
所谓的真空负载锁位于生产设备上，用于在传输容器和生产设备之间传输晶片并且用于在真空区域存储多个晶片。将传输容器在常压下装入到真空负载锁中，然后将真空负载锁抽真空。然后在真空负载锁和集群工具的传送区域之间打开真空闸门，并且晶片被传送装置通过闸门从传输容器中取出或装入到传输容器中。
在将所有晶片从传输容器中取出、处理并放下在传输容器中之后，关闭真空闸门并对真空负载锁充气。然后在常压下将传输容器从真空负载锁中取出并传输至下一个集群工具。
给晶片排气会影响晶片表面并导致产量降低。为了减少这种影响，晶片在最后一道工艺步骤中在某些集群工具中涂上保护层并且因此为正常条件下的传输做好准备。在下一个处理步骤之前，必须再次去除保护层。
该缺点也适用于根据公布DE 10 2018 006 259 A1的用于晶片的传送机构。
发明内容
相比之下，本发明的目的是创造一种用于有效负载、特别是用于晶片的传送装置，晶片必须在不同加工站中在特殊环境下、即不在正常条件下被处理。借助传送装置传输有效负载同样应该能够在特殊环境中、即不在正常条件下实现。
该目的通过具有专利权利要求1的特征的传送装置来解决。
在从属专利权利要求中描述了本发明的进一步有利的设计方案。
要求保护的传送装置设计用于同时传送多个有效负载、特别是晶片，其中，每个有效负载分配有一个传输体(移动器)，该传输体能够在定子的表面上以浮动方式移动和定位。移动和定位优选关于所有六个自由度发生。根据本发明，传输体和配属的有效负载容纳在密封的传输空间中。定子布置在密封的传输空间下方。传输空间的底部平行于定子的表面布置在定子上方。传输体的相应的壳体优选同样是密封的。由此创建了一种用于有效负载、特别是晶片的传送装置，晶片能够在不同加工站中在特殊环境下、即不在正常条件下被处理。借助根据本发明的传送装置的传输体，有效负载的传输同样在特殊环境中发生、即不在正常条件下。
传输空间也可以被称为传输腔室或传输壳体并且可以是直线的和细长的并且是隧道状的。底部可以像街道一样。
气体(例如保护气体、氮气或惰性气体)或气体混合物(例如净化空气)或真空或超高真空(例如高达10-7或高达10-8bar)或无菌区域或ABC保护区域或液体(例如高达2bar)优选设置在传输空间中。
例如如果设置超高真空(UHV)，则在没有传输体的相应的UHV密封的壳体的情况下，真空会渗透到那里。一方面，它可能会损坏组件(例如电子构件或蓄电池)，另一方面，这些组件(特别是电路板上的蓄电池和电解电容器)可能会放气，并且因此破坏传输腔室中的超高真空的结构。为避免这种情况，传输体的(优选终身的)UHV密封的壳体是一个合适的解决方案。替代地传输体的结构可以由开放式壳体中的适合真空的组件设置，其允许大气或真空的渗透。
加工站可以布置在与传输空间相邻的处理腔室中，其中，每个传输体具有用于有效负载的容纳部。优选设置支架(末端执行器)，在其远离壳体的端部段上设置或构造用于有效负载的容纳部。定子不延伸到处理腔室下方。在特殊情况下，处理腔室下方的单独定子可能有意义。
处理腔室应与定子的磁场屏蔽，因为这些磁场会干扰处理腔室中发生的过程。
为了削弱定子相对于处理腔室的磁场，特别优选地在定子或传输空间与处理腔室之间设置相应的距离，该距离能够用支架桥接。支架例如可以足够长，使得壳体和用于有效负载的容纳部之间的自由侧向距离至少对应于壳体的伸展和/或有效负载的伸展。这些伸展是在支架的方向上观察的。在晶片的情况下，这种伸展就是它的直径。
也可以在定子的调节磁体阵列下方使用附加的偶极补偿磁体用于远场补偿。它导致调节磁体阵列中所有偶极矩的总和等于零，由此特别是远场被非常有效地消除。
也可以将目前悬浮不需要的调节磁体主动移动到促进消除相邻的处理腔室处的远磁场的角度位置。
由具有高磁导率值的材料制成的磁场屏蔽也是可能的。理想情况下，整个定子被放置到连续的“铁锅”中，该铁锅完全覆盖空间的下半部分直至定子的表面。铁皮、尤其是由锰合金制成是合适的。然而，也可以使用铁氧体陶瓷。
原则上，传输空间的特殊环境和加工站或处理腔室的特殊环境可以相同或不同。
在第一种情况下，处理腔室可以设计为直接与传输空间直接连接的辅助空间。
在根据本发明的传送装置的优选应用中，传输体在超高真空下在集群工具内移动。然而，可以存在在处理期间具有不同真空或气体环境并且因此用闸门与传输空间隔开的单独的处理腔室。
优选设置光学的位置检测装置，其具有用于每个传输体的至少一个摄像机和共同的扁平的(例如小于1mm)二维码排列。代码排列被动地或无电流地布置在传输空间的底部上。
在传输体的壳体中(优选地在壳体的相应的底部上)布置有至少一个永磁体阵列，其能够与定子进入作用连接并能够由定子移动。由此在驱动技术方面传输体不需要电流供给。至少一个永磁体阵列可为环形。壳体可以具有多个永磁体阵列。
永磁体阵列的中心特别优选地布置在相应的传输体的重心中。可以在有或没有有效负载的情况下计算或求取重心。
为此，配重可以布置在壳体的与支架对置的区域中。
配重可以实施为固体(例如金属块)或实施为其中载有液体的罐。可选地，配重可以在空间上位移，特别是沿着支架的方向移动，以便使传输体适应不同的载荷。
在传输空间中可以布置用于传输体的服务站，服务站周期性地或根据传输体的需要飞到并且能够与传输体进入作用连接。
可以提前储备不同的配重用于不同的有效负载。服务站可以具有用于传输体的配重的更换站。
针对真空中的应用，传输体的散热可能会出现问题，因为主要三种热传输机制-热传导(通过机械接触)、对流(通过气体或空气流)和热辐射(电磁效应)-只有热辐射起作用。如果由于自身和/或外部加热而输入到传输体中的热量大于热辐射，则传输体继续加热直到建立热平衡。为了防止过热，设置了用于散热的措施，特别是针对真空中的应用。
在散热概念的优选设计方案中，蓄热器在一定的运行持续时间(例如几个小时)内吸收热能(即蓄热器的温度不断升高)并且在服务站每隔一段时间进行交换或冷却(热排放)。
在装置技术方面特别有利的是，配重和蓄热器共同由金属块(例如由黄铜制成)形成。配重和蓄热器也可以由多个金属块形成，以适应传输体的载荷状态。
服务站可以具有用于给传输体中的电能存储器、例如蓄电池充电或更换的装置。能量存储器例如为位置检测装置供给。
受到静电放电影响的有效负载、例如晶片通过导出静电的措施得到保护。
安全概念优选允许传输体和传送的有效负载在断电的情况下进入安全的保持状态而不会损坏并且在电流供给重新启动后自动又恢复运行。
附图说明
附图中示出了根据本发明的传送装置的实施例连同传输体的两个实施例。
图1以横截面示出了根据实施例的根据本发明的传送装置，
图2以部分剖开的俯视图示出了图1的传输体的第一实施例，
图3以纵截面示出了图1和2的传输体，
图4a以部分剖开的俯视图示出了传输体用于图1的根据本发明的传送装置的第二实施例，
图4b以纵截面示出了图4a的传输体，以及
图5示出了图1的传送装置连同图4a和4b的传输体的电子的组件的电路图。
具体实施方式
图1示出了传送装置的实施例。它具有由多个驱动模块21组成的定子20和至少一个传输体1，其中，传送装置设立用于相对于定子20以受控方式将至少一个传输体1传送和定位在定子20上。
传送装置设立用于在气体环境或真空条件下在半导体生产中非接触式地传输晶片12。传输体1可以根据目标规格在所有六个自由度(三个平移X、Y、Z和三个旋转rot_X、rot_Y、rot_Z)中自动移动。传输空间30构造为其主传输方向垂直于附图平面延伸的传输线。特别地，超高真空(大约10-7bar)可以在传输空间30中占优势。相邻的处理腔室33布置在传输空间30的一侧，图1中仅示例性地示出了其中的一个处理腔室33。
支架11安置在传输体1上，该支架用于容纳晶片12。支架11增加晶片12与传输体1之间的侧向距离，使得晶片12可以引入到处理腔室33中。必要时存在闸门32，其打开以装载处理腔室33。长支架11和传输体1的自由定位使得即使闸门32的开口没有明显大于晶片12的直径，也可以将晶片12引入到处理腔室33中。
传输体1的第一实施例的结构在图2中示出。传输体1可以在各种大气条件下使用。特别是它可以在超高真空中运行。它可以在各种气体和气体混合物中运行。
为此，传输体1具有真空密封和压力密封地封闭的壳体9，其将传输体的内部空间中的大气与外部大气，即例如传输空间30的内部的大气隔开。可选地，通风阀存在于壳体9中，其通常是关闭的并且在需要时能够实现壳体9中的压力平衡或气体交换。壳体9的内部空间优选为常压。
壳体9例如由金属、塑料、陶瓷、玻璃或复合材料制成。玻璃板放入在壳体9的底部中，让壳体9的内部中的摄像头模块4光学检测在传输空间30的底部上的二维码排列23。
根据主要由现有技术已知的驱动原理，根据图1至3的第一实施例中的传输体1具有例如永磁体2的圆环阵列，优选地作为圆环形式的Halbach排列，用于引入驱动力和力矩。Halbach排列使得永磁体阵列2的面向定子20的一侧具有强磁场，并且面向传输表面的一侧具有弱磁场。
通过最大化传输空间30和处理腔室33之间的距离，传送装置的远磁场对过程的影响被最小化。为此，支架11具有相应的长度。进一步的措施在于利用常规措施的定子20的磁屏蔽34，例如利用铁磁材料或层堆叠，其中，该材料具有特别高的磁导率值(例如铁皮、铁氧体、锰合金)。
此外，位置确定单元集成在传送装置中，优选地基于每个传输体1的多个摄像机模块4和惯性传感器7。每个摄像机模块4周期性地检测二维码排列23的一部分的数字图像。通过评估图像信息，它能够在多达六个维度上求取自身的位置。
图2示出了具有三个摄像机模块4的传输体1，它们位于壳体9上彼此相距较远的点处。由此最大化了摄像机模块4之间的基础距离，这增加了角度检测的准确性。
由于它们在壳体9中的刚性机械布置，由多个摄像机模块4检测的位置是部分冗余的。冗余度可用于增加传输体1的计算的位置的准确性，例如通过对由多个摄像机模块4求取的位置数据进行平均。此外，通过对独立获得的位置值进行比较和检查合理性，可以利用诊断功能识别和校正各个摄像机模块4的错误测量。如果一个位置值与其他位置值有显著偏差，其将被作为错误测量来处理并且不包括在评估中。
在所示的实施例中，惯性传感器7设置在壳体9中。它与摄像机模块4处于固定的尺寸关系。惯性传感器7优选构造用于确定所有六个自由度，即它优选地包括至少一个3D加速度传感器和至少一个3D偏航率传感器的组合。替代地惯性传感器7可构造成确定少于六个自由度，例如仅平移和/或旋转自由度。
图5示出了摄像机模块4(摄像机模块用它们的LED35照亮代码排列23)和惯性传感器7将它们的测量信号和/或测量数据提供给传输体1的控制单元6。控制单元6通过合并传感器数据来求取传输体1的位置。特别地，控制单元6构造用于识别一个或多个摄像机模块4的临时失灵和/或在探测问题时基于惯性传感器7的测量数据确定传输体1的位置。
传输体1的壳体9中的控制单元6通过无线通信接口将计算出的位置或中间值必要时连同附加信息传输到定子20。优选地使用无线感应数据传输。在此二进制串行数据流借助于FSK调制解调器6.1进行频率编码，并通过传输体线圈3转换为可变磁场。在定子20中同样存在线圈24，该线圈由于其空间布置与传输体线圈3经由间隙26感应耦合。由定子线圈24接收到的信号利用定子20中的FSK调制解调器28.1解调并转换成串行数据流。
为了不阻断处理腔室33内的传输体线圈3与处理腔室33外的定子线圈24通过间隙26的感应耦合，需要使处理腔室33的底部在运输体1的工作区域中主要由非金属材料制成。替代地定子线圈24不集成在定子20中，而是集成在处理腔室33中，例如在二维码排列23下方。定子线圈24和定子20之间的电连接通过电流引线在处理腔室33的壁中引导。
作为感应数据传输的替代方案，例如可以使用无线电传输或光学数据传输，其中在传输体1的壳体9中和定子20中设置用于信息传输的另外的LED和光电二极管。
根据图2，传输体1为了其无线运行配备有电能存储器5。优选使用蓄电池，例如锂聚合物蓄电池(LiPo)、磷酸铁锂蓄电池(LFP)或钛酸锂蓄电池(LTO)，它们的特征在于高运行可靠性和高循环稳定性(耐久性)。替代地可以使用具有高存储容量的电容器(超级电容器)。
在运行期间，能量存储器5不断地被使用和连续放电。因此，它周期性地以固定的间隔或根据需要充电或再充电。为此设置用于接触式或非接触式能量传输8的装置。
接触式能量传输例如通过壳体9的外侧上的充电触点发生，充电触点通过电流引线与壳体9的内部的充电电子设备连接。
通过两个线圈之间的感应耦合可以实现非接触式能量传输，其中一个线圈布置在壳体9内，并且另一个线圈布置在壳体外，其中壳体9在耦合区域主要由非金属材料组成，以免抑制耦合。替代地可以利用安置在传输体1的外侧上的高效太阳能电池以光学方式传输能量。
最后，能量存储器5可以设计为位于壳体9外部并且机械和电地与传输体1连接的可更换组件。该连接可拆卸地实施，从而可以在短时间内将放电的能量存储器5更换为充电的能量存储器5。
充电可以发生在正常运行之外或在运行期间。当使用诸如电容器的具有低容量的能量存储器5时，优选地在运行期间非接触式地再充电。
图3示出了图2的浮动的传输体1及其支架11和晶片12的平衡状态。在平衡中，作用到传输体1上的所有力的矢量和为0N，并且所有力矩的矢量和为0Nm。在此所示的杠杆臂被认为是各个重心距磁力F_m引入到永磁体阵列2的点的距离r_c、r_h、r_e和r_p。在静止状态下，通过以下方式实现平衡，传输体1连同固定在其上的所有单元的重量由经由永磁体阵列2引入到传输体1中的相反、相同的力F_m补偿。此外，作用到传输体1上的所有转矩的总和利用经由永磁体阵列2引入的反作用转矩补偿。
长支架11和支架11上的晶片12持续对传输体1施加高转矩。可选地，至少一个配重10产生反作用力矩并且因此减少必须由永磁体阵列2补偿的剩余力矩。同时，它增加了传输体1的总重量。配重10的使用因此减少了传输体1上的力矩载荷并增加了力载荷。这在转矩的工作区域已经用尽但力的工作区域仍有储备时特别有意义。
配重10可以集成在传输体1的壳体9中，作为单独的组件安置在壳体9的外部或者分布在多个安装位置上。在另一变体中，配重10与固定在壳体9上的支架11形成结构单元。
传送装置可以设立用于拾取或放下单独的配重10和/或自动带有传输体1的支架11，以便使重量分布或支架11适应即将到来的传送任务。
图4示出了根据第二实施例的具有分布式永磁体阵列2的传输体1。永磁体阵列2由两个环形子阵列2a和2b组成，它们通过壳体9机械牢固地彼此连接。它们可以像图2和3的连续永磁体阵列2一样由控制装置处理。
永磁体阵列2的最大尺寸优选地沿支架11的方向延伸。通过这种布置有针对性地扩大了永磁体阵列2的工作区域，使其能够输出更大的转矩M_m以补偿通过支架11和晶片12所引起的载荷。由此在尺寸合适时可以省去配重10。
在运行期间，传输体1会由于外部影响(例如在加热过程的空间附近使用时)和传输体1中的电气组件的功率损耗而变热。为了避免过热，传输体1的散热是必要的。尤其是在真空中运行时带来了挑战，因为在悬浮运行期间不可能通过对流进行热传导或冷却。
为了通过热辐射改善传输体1的散热，传输体1的表面具有高发射率。例如，金属的壳体9的发射率通过对表面进行涂层或结构化来增加。附加地壳体9内的热源，例如微处理器等电子的结构元件热连接到壳体9上，以促进热量导出。
附加措施是在传输体1中的蓄热器中收集损失热量。蓄热器可以设计为附加组件(未示出)，或者可以通过将其附加用作蓄热器而与配重10形成功能单元。蓄热器可以由固体或充满液体的罐组成，其中，具有高比热容的液体用作存储介质。
蓄热器作为水罐的实施方案是特别优选的，其集成在传输体1中并且同时承担配重10的功能。热源与水罐热连接，必要时由管道/软管连接或微型泵支撑。替代地可以使用潜热蓄热器，它使用输送的热能将相从固态转变为液态，并且因此存储热量。
在传输体1的正常运行短暂中断期间，通过更换蓄热器或蓄热器介质，或通过从蓄热器导出热量，通过例如使其大面积与服务站的冷板接触来发生热排放。在固定运行持续时间后或超过临界温度阈值时，会周期性地发生热排放。
为了有效地利用运行中断的时间，充电过程和热排放过程可以同时发生。
为了避免由于静电放电损坏晶片12，可以在将晶片12拾取或放下到巢中之前在支架11和巢之间形成电接触。为此，超弹簧的接触针位于支架11上，其在放下/移除晶片12之前立即点状地撞击巢上的电接地的接触表面。与传输体1的力相比，超弹性的恢复力是低的，使得操作过程不会由于接触过程而受到损害。替代地接的且超弹簧的接触针固定在巢上并接触支架11上的接触表面。
在断电的情况下，传输体1连同晶片12可以进入安全保持状态。为此，提供不间断电流供给，其在断电后为传送装置供电几秒钟。在此期间，传输体1以受控方式停止并在相应位置处落在传输空间30的底部上。在完全电关闭后，安全功能使致动器磁体阵列25(参见图1)在与运输体1的永磁体阵列2的磁耦合的影响下自动移动到稳定位置(移动器-夹紧)。在该位置，即使在断电状态下，传输体1也在无电流的状态下固定贴靠在传输空间的底部上。为了避免颗粒传输，传输体1在壳体下侧具有至少三个扁平足部，使得着陆状态下的机械接触仅点状地以最小的支承面发生。
重新启动电流供给后，控制装置可以使传输体1再次进入悬浮状态中并继续该工艺过程。
如果摄像机模块4的测量速率与惯性传感器7的测量速率大致刚好相同，则位置检测装置可以在没有惯性传感器7的情况下运行，因为惯性传感器7在这种情况下不再带来任何速度优势。
摄像头模块4和代码排列23的安装位置可以互换：带有LED35的摄像头模块4安装在定子20中，从代码排列23所在的传输体1的下侧看。
在省去惯性传感器7并将摄像头模块4安装在定子20中时，则传输体1可以在没有电流的情况下运行。由此省去了传输体1中的许多组件，传输体1于是是纯机械单元。冷却传输体1的问题被消除，因为传输体1中不再有任何电子设备导出损失热量。
公开了一种传送装置，其构造用于同时传送多个有效负载12、特别是晶片，其中，每个有效负载12分配有一个传输体1(移动器)，该传输体能够在定子20的表面上以浮动方式移动和定位。移动和定位优选地关于所有六个自由度发生。在此传输体1和分配的有效负载12容纳在密封的传输空间30中。定子20布置在密封的传输空间30的下方。传输空间30的底部平行于定子20的表面布置在定子上方。传输体1的相应的壳体9同样被密封。
附图标记列表
1 传输体
2 永磁体阵列
2a 子阵列
2b 子阵列
4 摄像机模块
5 能量存储器
6 控制单元
6.1FSK调制解调器
7 惯性传感器
8 用于能量传输的装置
9 壳体
10 配重
11 支架
12有效负载/晶片
20定子
21(定子的)驱动模块
22(驱动模块的)盖板
23 代码排列
24 定子线圈
25 致动器磁体阵列
26 间隙
27(驱动模块的)壳体
28(驱动模块的)控制单元
28.1FSK调制解调器
30 传输空间
32 闸门
33 处理腔室
34 屏蔽
35LED
F_c配重的重力
F_h壳体和永磁体阵列以及能量存储器的重力
F_e支架的重力
F_p有效负载的重力
F_m磁力
r_c配重的重心的距离
r_h壳体与永磁体阵列和能量存储器的重心的距离
r_e支架的重心的重力
r_p有效负载的重心的重力

Claims (14)

1.一种用于传送至少一个有效负载的传送装置，其中，每个有效负载分配有一个传输体(1)，所述传输体能够在定子(20)的表面上以浮动方式移动和定位，其特征在于，至少一个有效负载(12)和至少一个传输体(1)容纳在密封的传输空间(30)中，其中，所述定子(20)布置在密封的传输空间(30)外。
2.根据权利要求1所述的传送装置，其中，所述传输体(1)的壳体(9)同样是密封的。
3.根据前述权利要求中任一项所述的传送装置，其中，在所述传输空间(30)中设置气体或气体混合物或液体，或者真空或超高真空或无菌区域或ABC保护区域。
4.根据前述权利要求中任一项所述的传送装置，其中，与传输空间(30)相邻地布置多个处理腔室(33)用于处理有效负载(12)，并且其中，所述传输体(1)具有支架(11)，在其远离壳体(9)的端部段上设置或构造用于有效负载(12)的容纳部。
5.根据权利要求4所述的传送装置，其中，为了削弱定子(20)相对于处理腔室(33)的磁场，在定子(20)与处理腔室(33)之间设置相应的距离，所述距离能够用支架(11)桥接，其中，所述壳体(9)和用于有效负载(12)的容纳部之间的距离至少对应于壳体(9)在支架(11)的方向上的伸展和/或有效负载(12)的伸展。
6.根据权利要求4或5所述的传送装置，其中，所述处理腔室(33)中的至少一个处理腔室通过闸门(32)与所述传输空间(30)隔开。
7.根据前述权利要求中任一项所述的传送装置，具有光学的位置检测装置，所述光学的位置检测装置具有在传输体(1)的壳体(9)中的至少一个摄像机(4)和在传输空间(30)的底部处的扁平的代码排列。
8.根据前述权利要求中任一项所述的传送装置，其中，在所述传输体(1)的壳体(9)中布置有至少一个永磁体阵列(2)，其能够与定子(20)进入作用连接并能够由定子移动。
9.根据权利要求8所述的传送装置，其中，所述永磁体阵列的中心布置在所述传输体(1)的重心。
10.根据权利要求4至6中任一项所述的传送装置，其中，配重(10)布置在与壳体(9)的与支架间隔开的区域中。
11.根据权利要求10所述的传送装置，其中，在所述传输空间(30)中布置有服务站，所述服务站周期性地或根据需要能够与传输体(1)进入作用连接，其中，所述服务站是用于传输体(1)的配重(10)的更换站或者具有用于传输体的配重的更换站。
12.根据前述权利要求中任一项所述的传送装置，其中，在所述传输空间(30)中布置有服务站，所述服务站周期性地或根据需要能够与传输体(1)进入作用连接，其中，所述服务站是用于传输体(1)的蓄热器的冷却站或更换站或者具有用于传输体的蓄热器的冷却站或更换站。
13.根据权利要求11和12所述的传送装置，其中，所述配重(10)和蓄热器共同由金属块形成。
14.根据前述权利要求中任一项所述的传送装置，其中，在所述传输空间中布置有服务站，所述服务站周期性地或根据需要能够与传输体(1)进入作用连接，其中，所述服务站具有用于传输体(1)的电能存储器的充电站或更换站。
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