CN116274024A - 一种高度可调节的抛光垫清洁设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种高度可调节的抛光垫清洁设备，抛光垫清洁设备包括工作台、抛光垫固定台和清洁组件，工作台上设有限位台抛光垫固定台设于工作台上，且设有用于放置抛光垫的承载面；清洁组件通过垂直滑轨安装于抛光垫固定台上，清洁组件上设有可位置调节的限位杆，限位杆的一端指向限位台，当清洁组件沿着垂直滑轨滑动靠近承载面，限位杆与限位台抵接后，能够限制清洁组件和承载面之间的最小距离。与现有技术相比，本发明可以通过调节限位杆与限位台的距离，来调节清洁组件与承载面的距离，从而适应不同厚度的抛光垫，提高清洁组件的调节精度。

Description

一种高度可调节的抛光垫清洁设备

技术领域

本发明涉及一种抛光垫清洁领域，尤其是涉及一种高度可调节的抛光垫清洁设备。

背景技术

电子晶圆是由沉积不同层化材料而形成，如硅圆片即是层化材料的基材之一，当每一个新的材料层被沉积上时，常需要使用研磨或抛光的步骤，以去除多余的沉积层材料，以使晶圆平坦化，因此该抛光的过程常被称为化学机械抛光平坦化(Chemical MechanicalPolishing，CMP)。由于晶圆是由各种不同的薄膜材料层所堆积形成，因此必须经过多次的CMP抛光步骤，才能将材料层从晶圆的表面均匀去除，达到平坦化的目的。

在进行化学机械抛光作业时，会于晶圆与抛光垫之间导入化学抛光液，沉积的薄膜材料层通过与化学抛光液所产生的化学作用，或通过与化学抛光液中的颗粒发生机械作用，实现移除晶圆表面多余的薄膜层。一般会在抛光垫的抛光面上刻设沟槽，一方面沟槽可增加抛光垫与晶圆之间的摩擦力，另一方面可确保抛光液均匀分布于抛光垫的表面上，同时使得悬浮于抛光液中的研磨颗粒和抛光碎屑经顺着沟槽流出抛光垫表面。

在抛光垫刻槽后，刻槽留下的碎屑分布在抛光垫的抛光面和凹槽上，一方面凹槽内的碎屑会堵塞沟槽，影响后续抛光液在沟槽中的分布及流动，降低平坦化效果；另一方面抛光面上的碎屑会与晶圆摩擦，损伤晶圆表面。因此需要专门的装置对刻槽后的抛光垫进行深度清洁。

发明内容

本发明的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种高度可调节的抛光垫清洁设备。

本发明的目的可以通过以下技术方案来实现：

一种高度可调节的抛光垫清洁设备，所述抛光垫清洁设备包括：

工作台，所述工作台上设有限位台；

抛光垫固定台，所述抛光垫固定台设于所述工作台上，且设有用于放置抛光垫的承载面；

清洁组件，所述清洁组件通过垂直滑轨安装于所述抛光垫固定台上，所述清洁组件上设有可位置调节的限位杆，所述限位杆的一端指向所述限位台，当所述清洁组件沿着所述垂直滑轨滑动靠近所述承载面，所述限位杆与所述限位台抵接后，能够限制所述清洁组件和所述承载面之间的最小距离。

在其中一个实施例中，所述清洁组件上设有测厚规，所述测厚规上设有用于与所述限位台抵压的测量头，所述测量头与所述限位台的距离等于所述清洁组件与所述承载面的距离。

在其中一个实施例中，所述清洁组件包括安装板，所述安装板位于所述限位台正上方，所述安装板上设有所述限位杆和所述测厚规。

在其中一个实施例中，所述限位杆与所述安装板螺纹连接，且所述限位杆的一端设有固定螺帽。

在其中一个实施例中，所述安装板上设有贯穿的第二安装孔，所述测厚规包括测厚支架、测厚仪表和所述测量头，所述测厚支架与所述测厚仪表连接，所述测厚仪表与所述测量头活动连接，所述测厚支架设于所述安装板上，所述测量头活动穿设于所述第二安装孔。

在其中一个实施例中，所述限位台上设有第一抵接部和第二抵接部，所述第一抵接部用于与所述限位杆抵接，所述第二抵接部用于与所述测厚规抵接，所述第一抵接部与所述第二抵接部齐平。

在其中一个实施例中，所述清洁组件包括相互连接的清洁支架和清洁刷，所述清洁支架与所述垂直滑轨滑动连接，所述清洁刷用于与所述抛光垫抵接。

在其中一个实施例中，所述清洁刷包括滚刷，所述滚刷与所述清洁支架转动连接，所述滚刷能够绕自身轴线转动，所述滚刷的轴线与所述承载面平行。

在其中一个实施例中，所述工作台上设有液压驱动，所述液压驱动与所述清洁支架连接，所述液压驱动用于驱动所述清洁支架沿所述垂直滑轨移动。

在其中一个实施例中，所述工作台上设有滑轨支架和水平滑轨，所述滑轨支架上设有所述垂直滑轨和液压驱动，所述滑轨支架与所述水平滑轨滑动连接，所述水平滑轨的导向方向与所述承载面平行。

与现有技术相比，本发明具有如下优点：

1、上述的抛光垫清洁设备，清洁组件与垂直滑轨滑动连接，因此清洁组件与抛光垫固定台的距离可以通过沿垂直滑轨移动进行调节，使得清洁组件与抛光垫抵接进而实现抛光垫的清洁，但是由于抛光垫厚度尺寸较小，清洁组件与抛光垫固定台的距离调节精度要求较高，进一步设置了位于工作台上的限位台和位于清洁组件的限位杆，当限位杆与限位台抵接时，清洁组件不能继续靠近承载面，所述清洁组件与所述抛光垫抵接，因此可以通过调节限位杆与限位台的距离，来调节清洁组件与承载面的距离，从而适应不同厚度的抛光垫，进而提高清洁组件的调节精度。

2、清洁组件上设有测厚规，由于所述测厚规与所述限位台的距离等于所述清洁组件与所述承载面的距离，即测厚规与所述限位台的距离小于限位杆与限位台的的数值即为测厚规与所述限位台的距离和限位杆与限位台的距离的差值，也即清洁组件与所述承载面之间可容纳的抛光垫厚度，因此测厚规使该抛光垫清洁设备可以精度调节清洁组件与所述承载面，使清洁组件刚好与抛光垫抵接，提高清洁效率，减少抛光垫损伤。

3、由于限位杆与所述安装板螺纹连接，可以通过控制限位杆旋入旋出第一安装孔的深度来调节限位杆与限位台的距离，进而调节清洁组件沿垂直滑轨移动时，清洁组件与承载面的最小距离，操作简单，使用方便。

4、安装板上设置第二安装孔，并使测量头活动穿设于第二安装孔，有利于同时保证测厚仪表的稳定性和测量头的活动性，实现准确控制清洁组件与承载面的最小距离。

5、通过滚刷与抛光垫抵接清洁抛光垫上的碎屑，有利于清洁抛光垫表面和凹槽内的碎屑，提高清洁效果。

6、清洁组件可以沿着水平滑轨移动，当清洁组件沿着水平滑轨移动时，清洁刷从抛光垫的一端移动到另一端，从而完成抛光垫的清洁，清洁效率高，清洁效果佳。

附图说明

图1为一实施例中抛光垫清洁设备的立体图。

图2为一实施例中抛光垫清洁设备的正视图。

图3为一实施例中抛光垫清洁设备(隐去工作台和顶盖)的立体图。

图4为一实施例中抛光垫清洁设备(隐去工作台和顶盖)的后视图。

图5为另一实施例中抛光垫清洁设备的立体图。

图6为另一实施例中抛光垫清洁设备(隐去顶盖)的俯视图。

图7为又一实施例中抛光垫清洁设备的立体图。

图8为又一实施例中抛光垫清洁设备的俯视图。

图9为一实施例中抛光垫固定台和清洁组件的俯视图。

图10为另一实施例中抛光垫固定台和清洁组件的俯视图。

图11为另一实施例中抛光垫固定台和清洁组件的侧视图。

图12为一实施例中清洁组件的侧视图。

图13为另一实施例中清洁组件的剖视图。

附图说明：100、抛光垫清洁设备；10、工作台；11、安全门报警器；12、运动控制器；13、供电器；20、抛光垫固定台；21、气孔；22、旋转传感器；23、信号发生器；24、信号接收器；25、抛光垫；26、LED灯板；30、清洁组件；31、清洁支架；311、安装板；32、清洁刷；321、滚刷；322、连接部；323、弹性件；33、吸尘头；331、隔板；332、吸力集中嘴；333、第一吸尘孔；334、第二吸尘孔；335、第一空间；336、第二空间；34、除尘片；35、静电除尘棒；36、感应计数器；361、计数显示器；40、安全门；41、门框；411、滑动凹槽；42、检测器；43、感应件；44、活动门；441、滚轮；45、固定门；50、水平滑轨；51、第一水平滑轨；52、第二水平滑轨；521、传动块；522、滑动块；523、丝杆保护壳；524、可压缩防护罩；53、驱动电机；54、滑轨支架；60、顶盖；70、吸尘管道；71、管道支架；72、气压表；80、电线收纳盒；81、收纳节；82、收纳轨道；83、第一电线收纳盒；84、第二电线收纳盒；85、电线；90、垂直滑轨；91、液压驱动；92、限位台；93、限位杆；94、测厚规；941、测厚支架；942、测厚仪表；943、测量头；95、第一抵接部；96、第二抵接部。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细说明。本实施例以本发明技术方案为前提进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本发明的保护范围不限于下述的实施例。

下面结合附图对一些实施例中的一种高度可调节的抛光垫清洁设备100进行具体描述。

如图1至图13所示，在一实施例中，提供了一种高度可调节的抛光垫清洁设备100，抛光垫清洁设备100包括工作台10、设于工作台10的抛光垫固定台20和清洁组件30；

其中，抛光垫固定台20上设有用于放置抛光垫25的承载面，承载面上分布有多个气孔21，气孔21用于与真空泵连通，抛光垫固定台20与工作台10转动连接，使抛光垫固定台20能够绕其中心轴线转动；清洁组件30与抛光垫固定台20相对设置，用于清洁抛光垫25表面的碎屑。

在本具体实施例中，多个气孔21绕承载面的中心呈同心圆分布。

具体地，如图2、图3和图4所示，在一实施例中，工作台10上设有第一水平滑轨51，清洁组件30与第一水平滑轨51滑动配合，第一水平滑轨51的导向方向与承载面平行。

进一步地，工作台10上设有滑轨支架54和第二水平滑轨52，第一水平滑轨51设于滑轨支架54上，滑轨支架54与第二水平滑轨52滑动配合，第二水平滑轨52的导向方向与承载面平行，且与第一水平滑轨51的导向方向垂直。

其中，第二水平滑轨52包括传动丝杆和滑动杆，传动丝杆和滑动杆分别设于抛光垫固定台20的两侧，滑轨支架54的两端分别与传动丝杆、滑动杆滑动配合。

继续参照图2、图3和图4，在一实施例中，抛光垫清洁设备100包括丝杆保护壳523和传动块521，驱动电机53、传动丝杆均设于丝杆保护壳523内，传动丝杆的一端与丝杆保护壳523转动连接，传动丝杆的另一端与驱动电机53连接，传动块521与传动丝杆传动连接，且传动块521穿过丝杆保护壳523与滑轨支架54连接。

并且，抛光垫清洁设备100包括多个可压缩防护罩524和滑动块522，滑动块522与滑轨支架54连接，且与滑动杆滑动配合，多个可压缩防护罩524套设于滑动杆上，且分布于滑动块522的两侧。可压缩防护罩524用于保护滑动杆，避免碎屑落在滑动杆上，影响清洁组件30沿第二水平滑轨52的移动。

进一步地，在一实施例中，抛光垫清洁设备100包括驱动电机53，驱动电机53与传动丝杆连接，用于驱动第一丝杆绕轴线转动。

具体地，如图3和图4所示，在一实施例中，第一水平滑轨51上设有垂直滑轨90，垂直滑轨90与第一水平滑轨51滑动配合，清洁组件30与垂直滑轨90滑动配合，垂直滑轨90的导向方向与承载面垂直。

进一步地，在一实施例中，抛光垫清洁设备100包括限位台92，限位台92设于工作台10上，清洁组件30上设有可位置调节的限位杆93，限位杆93的一端指向限位台92，当清洁组件30沿着垂直滑轨90滑动靠近承载面，限位杆93与限位台92抵接后，能够限制清洁组件30和承载面之间的最小距离。

即清洁组件30上设有第一安装孔，第一安装孔内设有可位置调节的限位杆93，限位杆93与限位台92相对设置；当限位杆93与限位台92抵接时，清洁组件30不能继续沿垂直滑轨90向靠近承载面的方向移动，只能通过调节限位杆93与清洁组件30的位置来调节清洁组件30与承载面的距离，当限位杆93伸出清洁组件30的长度缩短时，清洁组件30与承载面的距离减小，当限位杆93伸出清洁组件30的长度延长时，清洁组件30与承载面的距离增大。上述的抛光垫清洁设备100，清洁组件30与垂直滑轨90滑动连接，因此清洁组件30与抛光垫固定台20的距离可以通过沿垂直滑轨90移动进行调节，使得清洁组件30在特定距离下进行抛光垫25的清洁，但是由于抛光垫25厚度尺寸较小，清洁组件30与抛光垫固定台20的距离调节精度要求较高，进一步设置了位于工作台10上的限位台92和位于清洁组件30的限位杆93，当限位杆93与限位台92抵接时，清洁组件30不能继续靠近承载面，因此可以通过调节限位杆93与限位台92的距离，来调节清洁组件30与承载面的距离，从而适应不同厚度的抛光垫25，进而提高清洁组件30的调节精度。

其中，清洁组件30上设有与限位台92相对设置的测厚规94，测厚规94上设有用于与限位台92抵压的测量头943，测量头943与限位台92的距离小于限位杆93与限位台92的距离。限位台92上设有第一抵接部95和第二抵接部96，第一抵接部95用于与限位杆93抵接，第二抵接部96用于与测厚规94抵接，第一抵接部95与第二抵接部96齐平。

清洁组件30上设有测厚规94，由于测厚规94与限位台92的距离小于限位杆93与限位台92的距离，当限位杆93与限位台92抵接时，测量头943受到限位台92的抵压回缩，此时测厚规94显示的数值即为测厚规94与限位台92的距离和限位杆93与限位台92的距离的差值，也即清洁组件30与承载面可容纳的抛光垫25厚度，因此测厚规94使该抛光垫清洁设备100可以精度调节清洁组件30与承载面，使清洁组件30刚好与抛光垫25抵接，提高清洁效率，减少抛光垫25损伤。

上述抛光垫清洁设备100的使用方法如下：

沿垂直滑轨90滑动清洁组件30，使清洁组件30靠近承载面，直至清洁组件30上的限位杆93与限位台92抵接，此时清洁组件30与承载面之间的距离为最小距离，测厚规94的测量头943受到压力回缩，测厚规94的示数为最小距离；

调节限位杆93与清洁组件30的位置，当限位杆93伸出清洁组件30的长度缩短时，最小距离减小，测厚规94的测量头943进一步受到压缩缩短，测厚规94的示数减小，当限位杆93伸出清洁组件30的长度延长，最小距离增大，测厚规94的测量头943回弹延长，测厚规94的示数增大。

在本具体实施例中，清洁组件30包括安装板311，安装板311与限位台92相对设置，安装板311上设有限位杆93和测厚规94。限位杆93与安装板311螺纹连接，且限位杆93的一端设有固定螺帽。安装板311上设有贯穿的第二安装孔，测厚规94包括测厚支架941、测厚仪表942和测量头943，测厚支架941与测厚仪表942连接，测厚仪表942与测量头943活动连接，测厚支架941设于安装板311上，测量头943穿过第二安装孔与限位台92相对设置，测量头943与限位台92的距离为第三距离。

进一步地，在一实施例中，第一水平滑轨51上设有液压驱动91，液压驱动91与清洁组件30连接，用于驱动清洁组件30沿垂直滑轨90移动。

具体地，如图5和图6所示，在一实施例中，抛光垫清洁设备100包括设于工作台10上的安全门40和门框41，安全门40围绕抛光垫固定台20设置，安全门40上设有检测器42，门框41上设有感应件43，当安全门40关闭时，检测器42能够检测到感应件43。

其中，安全门40包括活动门44和固定门45，检测器42设于活动门44上，门框41沿工作台10的周向间隔设置多个，一部门门框41上设有门体滑轨，活动门44与门体滑轨滑动配合，另一部分门框41上设有固定门45。活动门44包括多个沿门体滑轨依次设置的门体，相邻两个门体活动铰接。

在本具体实施例中，门体滑轨为圆弧状滑轨，门体滑轨的圆心角大于90度，活动门44的形状与门体滑轨的形状相适应。门体滑轨内设有滑动凹槽411，活动门44的底部设有多个滚轮441，滚轮441的圆周与滑动凹槽411的侧壁抵接。

上述的抛光垫清洁设备100在抛光垫固定台20外围设置了安全门40，将抛光垫固定台20、清洁组件30与外部工作人员隔离开来，并且在安全门40、门框41分别设置检测器42和感应件43，用于监测安全门40的开合状态，避免在安全门40开启状态时启动清洁设备，有效提高清洁设备的安全性。且同时设置固定门45和活动门44，活动门44沿门体滑轨滑动，便于推拉开启安全门40，并通过检测器42和感应件43监测活动门44的开合状态，有效提高清洁设备的使用效率。

具体地，如图7和图8所示，在一实施例中，工作台10上设有与水平滑轨50并列的电线收纳盒80，电线收纳盒80包括多个沿长度方向依次铰接的收纳节81，驱动电机53的电线85穿过电线收纳盒80的两端与电源连接，电线收纳盒80上靠近清洁组件30的第一端与电线85固定连接，电线收纳盒80的第二端与工作台10固定连接，当清洁支架31沿水平滑轨50移动时，电线收纳盒80的两端对折，电线85能够带动电线收纳盒80的第一端靠近或远离电线收纳盒80的第二端。工作台10上设有收纳轨道82，收纳轨道82与水平滑轨50并列设置，电线收纳盒80设于收纳轨道82内，且电线收纳盒80的一端与收纳轨道82固定连接。

其中，电线收纳盒80包括第一电线收纳盒83和第二电线收纳盒84，第一电线收纳盒83与第一水平滑轨51并列设置，第二电线收纳盒84与第二水平滑轨52并列设置，驱动电机53的电线85依次穿过第一电线收纳盒83、第二电线收纳盒84与电源连接，第一电线收纳盒83上远离第二电线收纳盒84的第一端与电线85固定连接，第一电线收纳盒83的第二端与工作台10固定连接，第二电线收纳盒84上靠近第一电线收纳盒83的第一端与电线85固定连接，第二电线收纳盒84的第二端与工作台10固定连接。

上述的抛光垫清洁设备100上设置电线收纳盒80，电线收纳盒80通过套设于电线85实现电线85的收纳，电线收纳盒80设置多个铰接的收纳节81，因此电线收纳盒80的第一端可以随着清洁支架31沿水平滑轨50的移动靠近或远离电线收纳盒80的第二端，因此电线收纳盒80能够有效电线85的位置并保证电线85的活动度，一方面能够避免电线85完全固定后限制清洁支架31的移动，另一方面避免电线85随着清洁支架31的移动随意移动，进而影响清洁组件30和抛光垫固定台20的运行。提高了抛光垫清洁设备100的运行效率和安全性。

具体地，如图9所示，在一实施例中，抛光垫清洁设备100包括旋转传感器22，旋转传感器22与抛光垫固定台20连接，用于监测抛光垫固定台20的旋转圈数。旋转传感器22监测抛光垫固定台20的旋转圈数，因此可以通过监测抛光垫固定台20的旋转圈数预估抛光垫25的清洁度，或通过控制抛光垫固定台20的旋转圈数控制抛光垫25的清洁度。

并且，抛光垫清洁设备100包括信号发生器23和信号接收器24，信号接收器24设于工作台10上，信号发生器23设于抛光垫固定台20上，信号发生器23和信号接收器24相对设置，用于确定抛光垫固定台20的旋转起点。信号发生器23和信号接收器24用于确定抛光垫固定台20的旋转起点，当信号发生器23和信号接收器24正对设置时，信号接收器24能够接收到信号发生器23的信号，表示抛光垫固定台20位于旋转起点，可以启动抛光垫固定台20进行转动清洁，避免抛光垫固定台20异常启动。

在本具体实施例中，抛光垫固定台20上设有LED灯板26，LED灯板26用于放置抛光垫25。当抛光垫25放置在LED灯板26上时，LED灯板26可以照亮抛光垫25及其上方区域，使得抛光垫25上及其上方区域的碎渣清晰可见，有利于工作人员判断抛光垫25上不同位置的清洁进度，以便于控制清洁组件30的清洁位置和清洁时间，提高清洁效率。

具体地，如图3、图10和图11所示，在一实施例中，清洁组件30包括清洁支架31、清洁刷32和静电除尘棒35，清洁刷32和静电除尘棒35分别与清洁支架31连接，且均与抛光垫固定台20相对设置，清洁刷32用于与抛光垫25抵接摩擦，静电除尘棒35用于静电吸附抛光垫25上的粉尘。清洁刷32可以通过摩擦抵接去除抛光垫25表面和凹槽中的大颗粒碎渣，静电除尘棒35可以通过静电吸附清洁刷32扬起的、漂浮在空气中的小颗粒碎渣，避免空气中漂浮的碎渣再次掉落在抛光垫25上，有效提高了抛光垫25的清洁效果。

进一步地，如图12和图13所示，在一实施例中，清洁刷32包括滚刷321，滚刷321与清洁支架31转动连接，滚刷321能够绕水平轴转动。滚刷321的轴线与静电除尘棒35的轴线平行，抛光垫固定台20上设有用于放置抛光垫25的承载面，清洁刷32的清洁面与承载面的距离不大于静电除尘棒35与承载面的距离，抛光垫固定台20的旋转方向与滚刷321的旋转方向相反。即当抛光垫固定台20绕顺时针转动时，滚刷321绕逆时针方向转动，有利于滚刷321将凹槽中碎渣带出，提高清洁效率。

其中，滚刷321的两端设有连接部322，清洁支架31上位于滚刷321轴向的两端设有条形槽，连接部322与条形槽转动连接，且连接部322与条形槽的侧壁之间设有弹性件323。该抛光垫清洁设备100采用滚刷321对抛光垫25表面进行滚动摩擦，同时在滚刷321的连接部322与清洁支架31之间设置弹性件323，使得滚刷321与抛光垫25之间距离具有可适应性，滚刷321可分别与抛光垫25表面、凹槽进行紧密贴合摩擦，避免滚刷321与抛光垫25表面摩擦过大从而磨损抛光垫25表面，并增大滚刷321与抛光垫25凹槽摩擦力，提高对抛光垫25凹槽的清洁能力。

继续参照图12和图13，在一实施例中，清洁组件30包括吸尘头33，清洁支架31与吸尘头33连接，静电除尘棒35设于吸尘头33外部，清洁刷32设于吸尘头33内部，吸尘头33设有面向抛光垫固定台20的开口，且用于与吸尘泵连通，清洁刷32的清洁面凸出于吸尘头33开口所处平面。

并且，吸尘头33内设有隔板331，隔板331将吸尘头33内部空间分割为第一空间335和第二空间336，隔板331上设有多个贯穿的第一吸尘孔333，第一空间335与吸尘泵连通，第二空间336内设有滚刷321。吸尘头33内设置由第一吸尘孔333连通的两个空间，减少第一空间335的进风通道尺寸，将吸尘泵的吸力集中在清洁刷32附近，有利于提高吸力和吸尘效率。

其中，隔板331上设有吸力集中嘴332，吸力集中嘴332与滚刷321的表面相对设置，吸力集中嘴332上设有与第一吸尘孔333连通的第二吸尘孔334。设置与滚刷321表面紧密贴合的吸力集中嘴332，进一步强化对清洁刷32上碎渣的吸力。

在本具体实施例中，吸尘头33的内壁上设有沿滚刷321的轴向延伸的除尘片34，除尘片34与滚刷321的刷毛抵接。吸尘头33内设置除尘片34，用于与清洁刷32抵接，使清洁刷32表面吸附的碎渣在吸尘头33内脱落，避免清洁刷32表面吸附的碎渣再次掉落在抛光垫25上，有效提高清洁效率。

进一步地，如图3所示，清洁支架31上设有感应计数器36，感应计数器36与抛光垫固定台20相对设置，用于统计抛光垫25的数量。感应计数器36用于统计每个清洁刷32累计处理的抛光垫25数量，进而可以根据清洁刷32的使用寿命判断是否对清洁刷32进行更换，进而提高抛光垫25的清洁效果。

其中，清洁支架31上设有与感应计数器36电连接的计数显示器361，用于显示感应计数器36统计的抛光垫25数量。

进一步地，如图5所示，在一实施例中，工作台10上设有顶盖60，顶盖60上设有开口，清洁组件30包括吸尘头33、吸尘管道70和吸尘泵，顶盖60上设有管道支架71，吸尘头33与抛光垫固定台20相对设置，吸尘泵设于工作台10的底部，吸尘管道70的一端与吸尘头33连通，吸尘管道70的另一端依次穿过开口、管道支架71与吸尘泵连通。抛光垫清洁设备100上设置顶盖60和吸尘管道70，吸尘管道70活动穿设于固定环，便于吸尘管道70随着清洁组件30沿水平滑轨50移动。

同时，清洁组件30上设有气压表72，气压表72与吸尘管道70连通，用于监测吸尘管道70及吸尘头33内的气压，避免吸尘管道70及吸尘头33出现堵塞而发生意外。

具体地，如图1和图2所示，在一实施例中，顶盖60上设有安全门报警器11，安全门报警器11分布与安全门40的检测器42、抛光垫固定台20的旋转传感器22电连接，当安全门40的检测器42监测到安全门40处于开启状态，且抛光垫固定台20的旋转传感器22监测到抛光垫固定台20处于旋转状态时，安全门报警器11警报亮起。

进一步地，工作台10上还设有运动控制器12和多个驱动电机53，驱动电机53分别用于驱动清洁组件30沿第一水平滑轨51、第二水平滑轨52和垂直滑轨90，并用于驱动抛光垫固定台20的旋转和滚刷321转动，运动控制器12与液压驱动91、多个驱动电机53电连接，用于控制清洁组件30沿第一水平滑轨51、第二水平滑轨52和垂直滑轨90的移动，同时还可以控制抛光垫固定台20的旋转和滚刷321转动。

在本具体实施例中，工作台10上还设有供电器13，供电器13为液压驱动91、驱动电机53、运动控制器12、安全门40的检测器42、抛光垫固定台20的旋转传感器22、信号接收器24等提供电能。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

以上详细描述了本发明的较佳具体实施例。应当理解，本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本发明的构思作出诸多修改和变化。因此，凡本技术领域中技术人员依本发明的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。

Claims (10)

1.一种高度可调节的抛光垫清洁设备，其特征在于，所述抛光垫清洁设备(100)包括：

工作台(10)，所述工作台(10)上设有限位台(92)；

抛光垫固定台(20)，所述抛光垫固定台(20)设于所述工作台(10)上，且设有用于放置抛光垫(25)的承载面；

清洁组件(30)，所述清洁组件(30)通过垂直滑轨(90)安装于所述抛光垫固定台(20)上，所述清洁组件(30)上设有可位置调节的限位杆(93)，所述限位杆的一端指向所述限位台(92)，当所述清洁组件(30)沿着所述垂直滑轨(90)滑动靠近所述承载面，所述限位杆(93)与所述限位台(92)抵接后，能够限制所述清洁组件(30)和所述承载面之间的最小距离。

2.根据权利要求1所述的一种高度可调节的抛光垫清洁设备，其特征在于，所述清洁组件(30)上设有测厚规(94)，所述测厚规(94)上设有用于与所述限位台(92)抵压的测量头(943)，所述测量头(943)与所述限位台(92)的距离小于所述限位杆(93)与所述限位台(92)的距离。

3.根据权利要求2所述的一种高度可调节的抛光垫清洁设备，其特征在于，所述清洁组件(30)包括安装板(311)，所述安装板(311)位于所述限位台(92)正上方，所述安装板(311)上设有所述限位杆(93)和所述测厚规(94)。

4.根据权利要求3所述的一种高度可调节的抛光垫清洁设备，其特征在于，所述限位杆(93)与所述安装板(311)螺纹连接，且所述限位杆(93)的一端设有固定螺帽。

5.根据权利要求3所述的一种高度可调节的抛光垫清洁设备，其特征在于，所述安装板(311)上设有贯穿的第二安装孔，所述测厚规(94)包括测厚支架(941)、测厚仪表(942)和所述测量头(943)，所述测厚支架(941)与所述测厚仪表(942)连接，所述测厚仪表(942)与所述测量头(943)活动连接，所述测厚支架(941)设于所述安装板(311)上，所述测量头(943)活动穿设于所述第二安装孔。

6.根据权利要求2所述的一种高度可调节的抛光垫清洁设备，其特征在于，所述限位台(92)上设有第一抵接部(95)和第二抵接部(96)，所述第一抵接部(95)用于与所述限位杆(93)抵接，所述第二抵接部(96)用于与所述测厚规(94)抵接，所述第一抵接部(95)与所述第二抵接部(96)齐平。

7.根据权利要求2所述的一种高度可调节的抛光垫清洁设备，其特征在于，所述清洁组件(30)包括相互连接的清洁支架(31)和清洁刷(32)，所述清洁支架(31)与所述垂直滑轨(90)滑动连接，所述清洁刷(32)用于与所述抛光垫(25)抵接。

8.根据权利要求7所述的一种高度可调节的抛光垫清洁设备，其特征在于，所述清洁刷(32)包括滚刷(321)，所述滚刷(321)与所述清洁支架(31)转动连接，所述滚刷(321)能够绕自身轴线转动，所述滚刷(321)的轴线与所述承载面平行。

9.根据权利要求7所述的一种高度可调节的抛光垫清洁设备，其特征在于，所述工作台(10)上设有液压驱动(91)，所述液压驱动(91)与所述清洁支架(31)连接，所述液压驱动(91)用于驱动所述清洁支架(31)沿所述垂直滑轨(90)移动。

10.根据权利要求9所述的一种高度可调节的抛光垫清洁设备，其特征在于，所述工作台(10)上设有滑轨支架(54)和水平滑轨(50)，所述滑轨支架(54)上设有所述垂直滑轨(90)和液压驱动(91)，所述滑轨支架(54)与所述水平滑轨(50)滑动连接，所述水平滑轨(50)的导向方向与所述承载面平行。

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