CN116177552A - 硅片切割液硅粉回收系统及其工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种硅片切割液硅粉回收系统，包括依次设置的卧式离心机、第一压滤机、旋流分离器及第二压滤机；卧式离心机的轻液液相出口与第一压滤机的进料口相连，第一压滤机的滤泥排出口与旋流分离器的进料口相连，旋流分离器的轻相悬浮液排出口与第二压滤机的进料口相连。本发明还公开了硅片切割液硅粉的回收工艺，将硅片切割液经卧式离心机一次分离后的液相絮凝后经第一压滤机压滤，压滤后的滤泥加水混合后经旋流分离器旋流分离，再将旋流分离后的轻相悬浮液经第二压滤机压滤后得到的滤渣经酸洗、溶剂洗涤烘干后，得到回收的硅粉。本发明能够有效将硅粉回收，另外，絮凝剂与清水混合更均匀，絮凝剂在滤布上形成的滤膜更均匀。
Description
技术领域
本发明涉及一种硅片切割液硅粉回收系统及其工艺。
背景技术
在光伏产业链中，硅片切割是光伏电池生产中一个十分重要的工序，而对于硅片生产商而言，SIC砂和PEG是最重要的辅料，在切割加工成本消耗中占据主要位置。砂浆是太阳能硅片切割中通用的一种说法，主要由聚乙二醇(PEG)与碳化硅(SIC)微粉混合搅拌而成。在硅片切割领域，最直接降低生产成本的措施就是对切割后的废砂浆进行回收利用。目前主流的处理方法是采用离线回收技术，即切片后的废砂浆交给回收处理的工厂进行处理，分离出砂和液重新处理后，返回切片厂重新搅拌调和后进行使用。线切割加工的过程有赖于晶硅切割液(又称切削液、悬浮液)、碳化硅微粉(又称磨料、切割砂)的配合使用，同时会伴生大量的晶硅切割废砂浆。根据国内硅片企业的平均工艺水平，1MW硅片约需耗用12吨晶体硅；每切割1吨晶体硅约需要使用3.0吨碳化硅微粉和3.2吨晶硅切割液，并在切割过程中产生约7.6～7.9吨切割废砂浆。根据2010年国内硅片产业的统计数据，预期2012年，国内硅片企业年需碳化硅微粉约115.2万吨、晶硅切割液约122.88万吨，年产生切割废砂浆总量约300万吨。切割废砂浆的主要成分为切割液组份、碳化硅、硅粉以及金属杂质。众所周知，晶硅切割切割环节有约50％的晶硅被切割成硅粉而进入到废砂浆中，由于缺乏有效的回收和综合利用技术，每年上万t晶硅材料被白白损失掉。单晶和多晶硅都是通过高能耗、高成本得到的，其市场价值远大于碳化硅、切割液等辅材；若能针对硅片生产环节的废弃晶硅组份加以回收利用，使其体现应有的循环经济价值，无疑具有极其巨大的经济、社会和环境效益。
现有技术中对硅片切割液的性质也有所研究，以线据废料为原材料，XRD测试表明线锯废料中固体粉末主要成分为SiC和Si；废料的固体粉末中存在两种粒径以及形貌差异较大的颗粒，其中棱角分明、尺寸较大，粒径在4～8μm左右的为碳化硅颗粒；粒径较小，粒径在2μm以下的为硅粉，整体平均粒度约为3.7μm。将原始的线锯废料和用去离子水清洗去PEG后得到的废料在80℃恒温水浴中放置7天均未发现明显的氧化现象，表明碳化硅和硅粉在水中相对稳定，结合密度和颗粒度的差异以及碳化硅亲水憎油、硅粉憎水亲油的特性，在二者的分离上可以采用水力旋流或相转移分离工艺(参见黄建华在《科技视界》杂志上发表的论文《硅片线锯废料中固体粉末的氧化性能研究》)。但现有技术中少有硅粉回收的方案，更多的是砂浆回收的方案，如刘坤在《制造业自动化》杂志第37卷第3期上发表的论文《废砂浆在线回收设备与工作原理研究》，新砂浆在切片机上切割硅片后产生的废旧砂浆，经过离心机的一次分离，分离出粗粉(主要成分为SIC砂，可以回收使用)和一次分离液相(主要成分为PEG和硅粉)，其中一次分离产生的固相D50大于5μm的主要为可以回收使用的SIC砂，此部分会进入到调制搅拌桶内，待重新利用。而一次液相含有小于5μm的杂质SIC砂与硅片切割后遗漏的硅粉与其他杂质物体，不能直接使用，通过离心机的与压滤机的二次分离，产生二次固相与二次液相，二次固相主要为硅片切割后遗漏的硅粉与其他杂质物体，此部分直接作为废弃物处理。二次液相主要为可以回收使用的PEG回收液，进入调制搅拌桶内，加入20％左右的新SIC砂与PEG液体，与一次分离的固相搅拌均匀后成为再生砂浆，可以重新投入使用。其将二次固相也即主要成分为硅片切割后遗漏的硅粉与其他杂质物体，直接作为废弃物丢弃了，如果能够将硅粉回收将具有极其巨大的经济、社会和环境效益。
公开号为CN106082233A的专利：一种从金刚线切割浆料中回收硅粉的方法。往金刚线切割单晶硅的浆料中添加絮凝剂进行沉降，沉降结束后，采用离心泵将浆料抽至压滤机中进行压滤，得到硅泥；将压滤后的硅泥加入搅拌池中浮选、过滤、第一次酸洗、压滤、第二次酸洗、压滤、水洗后得到硅粉浆料；将硅粉浆料采用气动隔膜泵抽至压滤机进行压滤收集，获得高纯硅粉。其先絮凝后压滤，再浮选、酸洗、压滤后回收硅粉，但现实中存在絮凝剂与水混合得不均而影响絮凝后的压滤效果的问题，以及絮凝剂如何在滤布上形成均匀的滤膜以提高压滤效果的问题。
发明内容
本发明的目的在于，克服现有技术中存在的缺陷，提供一种硅片切割液硅粉回收系统，能够有效将硅粉回收，另外，絮凝剂与清水混合更均匀，絮凝剂在滤布上形成的滤膜更均匀。
为实现上述目的，本发明的技术方案是设计一种硅片切割液硅粉回收系统，包括依次设置的卧式离心机、第一压滤机、旋流分离器及第二压滤机；卧式离心机的轻液液相出口与第一压滤机的进料口相连，第一压滤机的滤泥排出口与旋流分离器的进料口相连，旋流分离器的轻相悬浮液排出口与第二压滤机的进料口相连。旋流分离器的轻相悬浮液排出口也即旋流分离器的上溢出口。经卧式离心机分离出固相(主要成分为SIC砂，可以回收使用)和一次分离液相(主要成分为PEG和硅粉)，其中一次分离产生的固相D50大于5μm的主要为可以回收使用的SIC砂，此部分会进入到调制搅拌桶内，待重新利用，而对于一次分离液相，则将其引入絮凝机中絮凝，将一次分离液相中的小粒径的硅粉絮凝成大颗粒后便于后续的压滤处理分离。本发明能够将硅粉回收，使其体现应有的循环经济价值，具有极其巨大的经济、社会和环境效益。
进一步的技术方案是，卧式离心机与第一压滤机之间还设有初步絮凝机；卧式离心机的轻液液相出口与初步絮凝机的进料口相连，初步絮凝机的出料口与第一压滤机的进料口相连。通过初步絮凝机的设置使得絮凝剂与清水混合更均匀，利于絮凝，使得硅粉成团、形成大颗粒，便于后续压滤。
进一步的技术方案是，初步絮凝机包括筒状机体，机体下部固定连接有支撑脚，机体上设有与清水进水水源相连的进料口，机体内设有与进料口相连通的中心导流筒，中心导流筒下端呈锥筒状，中心导流筒中部设有液面限位溢流孔，机体上还设有正对中心导流筒筒内侧壁的絮凝剂添加口。中心导流筒中部设有液面限位溢流孔，这样可以避免中心导流筒内一次注入太多清水或絮凝剂，配合清水进料口及絮凝剂添加口脉冲式进液可以保证絮凝剂与清水在中心导流筒内少量多次的混合、在中心导流筒的内侧壁上接触、混合。中心导流筒下端呈锥筒状也可以使得最终流入到中心导流筒筒底处的絮凝剂与清水也可以较好地混合(由于絮凝剂及清水倾斜注入沿中心导流筒筒内侧壁呈类似螺旋形式向下，最终到筒底后仍有一定速度)。而清水及絮凝剂添脉冲式的间断注入方式，起到了搅拌的作用，可以省去搅拌机构。
进一步的技术方案为，中心导流筒筒内侧壁上一体或固定设有凸起；凸起为圆环凸起或间隔布置在中心导流筒筒内侧壁上的弧形凸起。凸起的设置用于提高絮凝剂或清水在中心导流筒筒内侧壁上停留的时间，用于保证两者的充分混合。
进一步的技术方案为，机体上还设有清水水源补充进料口及絮凝剂补充添加口，清水水源补充进料口及絮凝剂补充添加口均通过连接管正对中心导流筒的筒外侧壁设置，连接管其面向中心导流筒的管口位置上低于液面限位溢流孔；
中心导流筒筒外侧壁上一体或固定设有凸起；凸起为圆环凸起或间隔布置在中心导流筒筒内侧壁上的弧形凸起。正对中心导流筒外侧壁的清水水源补充进料口及絮凝剂补充添加口的设置可以避免从液面限位溢流孔溢出后而沿着中心导流筒外侧壁流出的液体(流出的液体可能是絮凝剂，也可能是清水，到底是哪种，看溢出之前是清水在注入还是絮凝剂在注入)未与另一种液体混合而流入到机体的底部，这样设置后即使溢出，还注入一部分另一种液体保证机体内的液体几乎全部都是混合均匀的。
进一步的技术方案为，中心导流筒内设有液位计，清水水源补充进料口及絮凝剂补充添加口上均设置启闭阀，絮凝剂添加口及进料口处也均设置启闭阀，液位计与控制器电连接，控制器与启闭阀电连接。通过液位计、控制器及启闭阀的设置，可以在中心导流筒液面达到液面限位溢流孔后及时关闭启闭阀并根据当时的情况根据最后注入的液体的情况(是注入清水还是絮凝剂)而开启絮凝剂补充添加口或清水水源补充进料口上的启闭阀以保证溢出的液体也得到了混合。
进一步的技术方案为，絮凝剂添加口及进料口通过连接管正对中心导流筒的筒内侧壁设置；连接管倾斜弯曲设置。连接管倾斜的程度或者弯曲的曲率与中心导流筒筒内侧壁的曲率接近，以增加注入到中心导流筒筒内侧壁上的液流缓慢或者说尽可能长时间的停留于中心导流筒的筒内侧壁上。这样的设置方式，可以做到甚至不用搅拌机构也能实现絮凝剂与清水的混合均匀。
进一步的技术方案为，卧式离心机上设有位于进料口一侧的均匀剂添加口；第一压滤机及第二压滤机上的滤布采用涤纶材质制成且滤布的目数为70～280目。均匀剂为脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基酚聚氧乙烯醚中的一种或多种。
进一步的技术方案为，初步絮凝机的出料口通过渣浆泵与第一压滤机的进料口相连；第一压滤机的滤板内部设有电加热丝，第一压滤机的滤布与滤板可拆卸式连接。压滤机内带烘干机构，在形成初步滤膜后烘干，然后开启压滤机，转动滤布后再通过渣浆泵泵入混合形成二次滤膜，以在滤布表面形成非常均匀的滤膜。
本发明还提供的技术方案是，采用硅片切割液硅粉回收系统对硅片切割液中硅粉进行回收的工艺，包括如下依次进行的工艺步骤：将硅片切割液经卧式离心机一次分离后的液相絮凝后经第一压滤机压滤，压滤后的滤泥加水混合后经旋流分离器旋流分离，再将旋流分离后的轻相悬浮液经第二压滤机压滤后得到的滤渣经酸洗、溶剂洗涤烘干后，得到回收的硅粉。
本发明的优点和有益效果在于：能够有效将硅粉回收，另外，絮凝剂与清水混合更均匀，絮凝剂在滤布上形成的滤膜更均匀。
本发明能够将硅粉回收，使其体现应有的循环经济价值，具有极其巨大的经济、社会和环境效益。
通过初步絮凝机的设置使得絮凝剂与清水混合更均匀，利于絮凝，使得硅粉成团、形成大颗粒，便于后续压滤。
中心导流筒中部设有液面限位溢流孔，这样可以避免中心导流筒内一次注入太多清水或絮凝剂，配合清水进料口及絮凝剂添加口脉冲式进液可以保证絮凝剂与清水在中心导流筒内少量多次的混合、在中心导流筒的内侧壁上接触、混合。
凸起的设置用于提高絮凝剂或清水在中心导流筒筒内侧壁上停留的时间，用于保证两者的充分混合。
正对中心导流筒外侧壁的清水水源补充进料口及絮凝剂补充添加口的设置可以避免从液面限位溢流孔溢出后而沿着中心导流筒外侧壁流出的液体(流出的液体可能是絮凝剂，也可能是清水，到底是哪种，看溢出之前是清水在注入还是絮凝剂在注入)未与另一种液体混合而流入到机体的底部，这样设置后即使溢出，还注入一部分另一种液体保证机体内的液体几乎全部都是混合均匀的。
清水及絮凝剂添脉冲式的间断注入方式，起到了搅拌的作用，可以省去搅拌机构。
连接管倾斜的程度或者弯曲的曲率与中心导流筒筒内侧壁的曲率接近，以增加注入到中心导流筒筒内侧壁上的液流缓慢或者说尽可能长时间的停留于中心导流筒的筒内侧壁上。这样的设置方式，可以做到甚至不用搅拌机构也能实现絮凝剂与清水的混合均匀。
压滤机内带烘干机构，在形成初步滤膜后烘干，然后开启压滤机，转动滤布后再通过渣浆泵泵入混合形成二次滤膜，以在滤布表面形成非常均匀的滤膜。
对第一压滤机的结构进行改进，使得珍珠岩或硅藻土(即絮凝剂)在压滤机滤布上形成均匀的滤膜(可以根据情况形成多层初步滤膜，每次形成后烘干然后旋转90°的方式以保证形成的滤膜更加均匀，避免泵入的混合水无法均匀分布到滤布上的问题)。
附图说明
图1是本发明一种硅片切割液硅粉回收系统实施例一的示意图；
图2是图1中机体的放大示意图；
图3是图2的俯视图；
图4是图2中的中心导流筒的放大示意图；
图5是图4增设出清水水源补充进料口及絮凝剂补充添加口后的示意图；
图6是本发明实施例二中的机体的示意图；
图7是图6中清水布水管的放大示意图。
图中：1、卧式离心机；2、第一压滤机；3、旋流分离器；4、第二压滤机；5、机体；6、支撑脚；7、进料口；8、中心导流筒；9、液面限位溢流孔；10、絮凝剂添加口；11、凸起；12、连接管；13、絮凝剂布管；14、均匀剂添加口；15、电加热丝；16、清水布水管；17、螺旋出水管。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。
实施例一：
如图1至图5所示(为便于图示，图2未示出凸起及连接管、清水水源补充进料口及絮凝剂补充添加口；图4未示出清水水源补充进料口及絮凝剂补充添加口)，本发明是一种硅片切割液硅粉回收系统，包括依次设置的卧式离心机1、第一压滤机2、旋流分离器3及第二压滤机4；卧式离心机1的轻液液相出口与第一压滤机2的进料口相连，第一压滤机2的滤泥排出口与旋流分离器3的进料口相连，旋流分离器3的轻相悬浮液排出口与第二压滤机4的进料口相连。卧式离心机1与第一压滤机2之间还设有初步絮凝机；卧式离心机1的轻液液相出口与初步絮凝机的进料口相连，初步絮凝机的出料口与第一压滤机2的进料口相连。初步絮凝机包括筒状机体5，机体5下部固定连接有支撑脚6，机体5上设有与清水进水水源相连的进料口7，机体5内设有与进料口7相连通的中心导流筒8，中心导流筒8下端呈锥筒状，中心导流筒8中部设有液面限位溢流孔9，机体5上还设有正对中心导流筒8筒内侧壁的絮凝剂添加口10。中心导流筒8筒内侧壁上一体设有凸起11；凸起11为间隔布置在中心导流筒8筒内侧壁上的弧形凸起。机体5上还设有清水水源补充进料口及絮凝剂补充添加口，清水水源补充进料口及絮凝剂补充添加口均通过连接管12正对中心导流筒8的筒外侧壁设置，连接管12其面向中心导流筒8的管口位置上低于液面限位溢流孔9；中心导流筒8筒外侧壁上固定设有凸起11；凸起11为间隔布置在中心导流筒8筒内侧壁上的弧形凸起。中心导流筒8内设有液位计，清水水源补充进料口及絮凝剂补充添加口上均设置启闭阀，絮凝剂添加口10及进料口7处也均设置启闭阀，液位计与控制器电连接，控制器与启闭阀电连接。絮凝剂添加口10及进料口7通过连接管12正对中心导流筒8的筒内侧壁设置；连接管12倾斜弯曲设置。卧式离心机1上设有位于进料口一侧的均匀剂添加口14(均匀剂的加入量，每100份硅片切割液，均匀剂2～20份、水30～500份；匀浆温度为室温)；第一压滤机2及第二压滤机4上的滤布采用涤纶材质制成且滤布的目数为70～280目。初步絮凝机的出料口通过渣浆泵与第一压滤机2的进料口相连；第一压滤机2的滤板内部设有电加热丝15，第一压滤机2的滤布与滤板可拆卸式连接。
采用硅片切割液硅粉回收系统对硅片切割液中硅粉进行回收的工艺，包括如下依次进行的工艺步骤：将硅片切割液经卧式离心机1一次分离后的液相絮凝后经第一压滤机2压滤，压滤后的滤泥加水混合后经旋流分离器3旋流分离，再将旋流分离后的轻相悬浮液经第二压滤机4压滤后得到的滤渣经酸洗、溶剂洗涤烘干后，得到回收的硅粉。旋流分离温度为室温；将轻相悬浮液进行压滤，得到滤液和滤渣；压滤分离温度为室温；不断收集滤渣，所得压滤固态料用于回收硅粉组份；所得滤液中10～50％(v/v)循环补充到旋流分离器中，不断收集其余50～90％滤液(v/v)，所得压滤滤液用于回收切割组份；
在所述絮凝过程中，先通过初步絮凝机将絮凝剂与清水混合，然后渣浆泵将絮凝剂与清水混合后的混合水泵入第一压滤机中；其中混合的过程如下：控制器控制絮凝剂添加口及进料口处的启闭阀陆续启闭以使得絮凝剂与清水呈脉冲式注入到中心导流筒内侧壁上，当液位计探测到中心导流筒内液位达到限位溢流孔时则控制器控制絮凝剂添加口或进料口处的启闭阀关闭，同时控制器控制清水水源补充进料口处或絮凝剂补充添加口处的启闭阀开启设定的时间；
絮凝剂添加口处的启闭阀、进料口处的启闭阀、清水水源补充进料口处的启闭阀及絮凝剂补充添加口处的启闭阀的启闭时间相同，进液流速也相同，连接管的管径也相同。
在通过渣浆泵将絮凝剂与清水的混合水泵入第一压滤机形成滤膜的过程中，渣浆泵先泵入一部分混合水使得混合水在第一压滤机的滤布上初步形成第一层滤膜，然后停止泵入混合水，将第一层滤膜形成过程中产生的回水通过管道引出(或者回用于与絮凝剂的混合)，然后启动滤板内的电加热丝对滤布上形成的第一层滤膜进行烘干以形成对第一层滤膜的固定成形，然后打开第一压滤机拆下滤布并对滤布作180°旋转后再固定在滤板上(本方案中滤布与现有技术的一整块滤布从中部弯折后覆盖滤板上端面及两侧面不同，本方案中每块滤板上的滤布由分体式的两块单独滤布构成，两块单独滤布分设于滤板的两侧面且两块单独滤布的上端覆盖滤布的上端面，滤布位于滤布的下端面的部分采用与现有技术相同的固定方式)，然后重新启动第一压滤机压紧滤板，再次通过渣浆泵将絮凝剂与清水的混合水泵入第一压滤机形成第二次滤膜。对第一压滤机的结构进行改进，使得珍珠岩或硅藻土(即絮凝剂)在压滤机滤布上形成均匀的滤膜(可以根据情况形成多层初步滤膜，每次形成后烘干然后旋转90°的方式以保证形成的滤膜更加均匀，避免泵入的混合水无法均匀分布到滤布上的问题)。
实施例二：
与实施例一的不同在于，如图6、图7所示(为便于图示，图6未示出螺旋出水管)，初步絮凝机包括筒状机体，机体下部固定连接有支撑脚，机体上设有进料口，机体内设有与进料口相连通的清水布水管16，清水布水管在机体内由上至下环绕均布设置，清水布水管其最下端的管口为封闭端，清水布水管上间隔设有若干个出水口，出水口处设有与清水布水管一体而成或固定连接的螺旋出水管17。机体上还设有絮凝剂添加口，机体内设有与絮凝剂添加口相连通的絮凝剂布管13，絮凝剂布管在机体内由上至下环绕均布设置，絮凝剂布管其最下端的管口为封闭端，絮凝剂布管上间隔设有若干个絮凝剂出口，絮凝剂出口处设有与絮凝剂布管一体而成或固定连接的螺旋管。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.硅片切割液硅粉回收系统，其特征在于，包括依次设置的卧式离心机、第一压滤机、旋流分离器及第二压滤机；卧式离心机的轻液液相出口与第一压滤机的进料口相连，第一压滤机的滤泥排出口与旋流分离器的进料口相连，旋流分离器的轻相悬浮液排出口与第二压滤机的进料口相连。
2.根据权利要求1所述的硅片切割液硅粉回收系统，其特征在于，所述卧式离心机与第一压滤机之间还设有初步絮凝机；卧式离心机的轻液液相出口与初步絮凝机的进料口相连，初步絮凝机的出料口与第一压滤机的进料口相连。
3.根据权利要求2所述的硅片切割液硅粉回收系统，其特征在于，所述初步絮凝机包括筒状机体，机体下部固定连接有支撑脚，机体上设有与清水进水水源相连的进料口，机体内设有与进料口相连通的中心导流筒，中心导流筒下端呈锥筒状，中心导流筒中部设有液面限位溢流孔，机体上还设有正对中心导流筒筒内侧壁的絮凝剂添加口。
4.根据权利要求3所述的硅片切割液硅粉回收系统，其特征在于，所述中心导流筒筒内侧壁上一体或固定设有凸起；凸起为圆环凸起或间隔布置在中心导流筒筒内侧壁上的弧形凸起。
5.根据权利要求4所述的硅片切割液硅粉回收系统，其特征在于，所述机体上还设有清水水源补充进料口及絮凝剂补充添加口，清水水源补充进料口及絮凝剂补充添加口均通过连接管正对中心导流筒的筒外侧壁设置，连接管其面向中心导流筒的管口位置上低于液面限位溢流孔；
中心导流筒筒外侧壁上一体或固定设有凸起；凸起为圆环凸起或间隔布置在中心导流筒筒内侧壁上的弧形凸起。
6.根据权利要求5所述的硅片切割液硅粉回收系统，其特征在于，所述中心导流筒内设有液位计，清水水源补充进料口及絮凝剂补充添加口上均设置启闭阀，絮凝剂添加口及进料口处也均设置启闭阀，液位计与控制器电连接，控制器与启闭阀电连接。
7.根据权利要求6所述的硅片切割液硅粉回收系统，其特征在于，所述絮凝剂添加口及进料口通过连接管正对中心导流筒的筒内侧壁设置；连接管倾斜弯曲设置。
8.根据权利要求1或2或7所述的硅片切割液硅粉回收系统，其特征在于，所述卧式离心机上设有位于进料口一侧的均匀剂添加口；第一压滤机及第二压滤机上的滤布采用涤纶材质制成且滤布的目数为70～280目。
9.根据权利要求7所述的硅片切割液硅粉回收系统，其特征在于，所述初步絮凝机的出料口通过渣浆泵与第一压滤机的进料口相连；第一压滤机的滤板内部设有电加热丝，第一压滤机的滤布与滤板可拆卸式连接。
10.采用如权利要求8所述的硅片切割液硅粉回收系统对硅片切割液中硅粉进行回收的工艺，其特征在于，包括如下依次进行的工艺步骤：将硅片切割液经卧式离心机一次分离后的液相絮凝后经第一压滤机压滤，压滤后的滤泥加水混合后经旋流分离器旋流分离，再将旋流分离后的轻相悬浮液经第二压滤机压滤后得到的滤渣经酸洗、溶剂洗涤烘干后，得到回收的硅粉。
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