CN204522488U - 一种晶硅线切割废砂浆初步压滤分液系统 - Google Patents

Abstract

一种晶硅线切割废砂浆初步压滤分液系统，包括：第一~第三压滤机；第一~第三砂浆搅拌罐，分别设于第一~第三压滤机下方；第一、第二浆料配制罐，通过浆料输送泵与第一压滤机进料口连通；第一~第五洗涤水贮罐，出水口分别设置有输送泵；一纯净水贮罐，分别与第一、第二浆料配制罐进液口以及第五洗涤水贮罐入水口连通；一初分液收集罐，其进液口与第一压滤机滤液出口连通；一初分液压滤机，进料口通过一初分液输送泵与初分液收集罐出液口连通，滤液出口与初分液收集罐进液口连通；滤饼收集袋，设置于初分液压滤机下方；油液收集罐，进液口与初分液压滤机滤液出口连通。所述压滤分液系统用于对废砂浆进行再生预处理，可有效提高废砂浆再生效率。

Description

一种晶硅线切割废砂浆初步压滤分液系统

技术领域

本实用新型涉及一种晶硅线切割废砂浆初步压滤分液系统。

背景技术

硅片切割是电子工业主要原材料一硅片(晶圆)生产的上游关键技术，切割的质量与规模直接影响到整个产业链的后续生产。在电子工业中，对硅片的需求主要表现在太阳能光伏发电和集成电路等半导体产业上。晶体硅片是制作光伏太阳能电池的主要材料，每生产1MW的太阳能电池组件需要17吨左右的原料。Clean Edge预计，全球太阳能发电市场的规模将从2005年的110亿美元猛进增到2015年的510亿美元，以芯片著名的“硅谷”将被“太阳谷”所取代。显然太阳能产业的迅猛发展需要更多的硅原料及切割设备来支撑。

硅片加工工艺流程一般经过晶体生长、切断、外径滚磨、平边、切片、倒角、研磨、腐蚀、抛光、清洗、包装等阶段。在整个切割过程中，切割液（PEG）具有重要作用，然而，随着人们对环境保护的重视，如何处理切割液在切割完毕后所产生的废砂浆，日益成为人们研究的重点。

晶硅线切割废砂浆是一种灰黑色粘稠固液混合体，含有碳化硅，硅粉，铁，聚乙二醇，水杂质等。略有吸湿性，不易挥发，化学性质稳定，能溶于水，难燃，按危险化学废弃物运输，密封贮存。

如何利用晶硅线切割废浆料，再生切割液（聚乙二醇）、碳化硅、陶瓷细粉材料，是近年来急需解决的问题。

实用新型内容

为解决上述存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种晶硅线切割废砂浆初步压滤分液系统，用于对废砂浆进行再生预处理，提高废砂浆再生效率。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是：

一种晶硅线切割废砂浆初步压滤分液系统，包括：第一~第三压滤机，间隔排布，包括分别设置于压滤机两侧的进料口和滤液出口、设置于压滤机内侧中部的滤饼洗涤喷头以及设置于压滤机底部的滤饼出口；第一~第三砂浆搅拌罐，内设搅拌机，分别设置于所述第一~第三压滤机下方，且进液口分别与第一~第三压滤机的滤饼出口相对；第一、第二浆料配制罐，内设搅拌机，通过一浆料输送泵与第一压滤机进料口连通，第一压滤机滤液出口分别与第一、第二浆料配制罐进液口连通；第一~第五洗涤水贮罐，间隔排布，出水口分别设置有输送泵，第一洗涤水贮罐出水口与第一压滤机进料口连通，入水口与第二压滤机滤液出口连通；第二洗涤水贮罐出水口分别连接至第一压滤机内侧滤饼洗涤喷头以及第一砂浆搅拌罐进液口，入水口与第二压滤机滤液出口连通；第三洗涤水贮罐出水口与第二砂浆搅拌罐进液口连通，入水口与第三压滤机滤液出口连通；第四洗涤水贮罐出水口分别连接至第二压滤机内侧滤饼洗涤喷头以及第二砂浆搅拌罐进液口连通，入水口与第三压滤机滤液出口连通；第五洗涤水贮罐出水口与第三砂浆搅拌罐进液口连通；一纯净水贮罐，分别与第一、第二浆料配制罐进液口以及第五洗涤水贮罐入水口连通；一初分液收集罐，其进液口与第一压滤机滤液出口连通；一初分液压滤机，其进料口通过一初分液输送泵与初分液收集罐出液口连通，滤液出口与初分液收集罐进液口连通；滤饼收集袋，设置于所述初分液压滤机下方，与初分液压滤机滤饼出口相对；油液收集罐，其进液口与所述初分液压滤机滤液出口连通。

进一步，还包括一助滤剂混合罐，设置于所述初分液收集罐一侧，其进液口分别与所述初分液收集罐进液口以及所述初分液压滤机滤液出口连通，出液口通过所述初分液输送泵与初分液压滤机进料口连通。

另，还包括依次连接的锰砂过滤罐及精密过滤器，所述锰砂过滤罐进液口与所述油液收集罐出液口连通，所述精密过滤器出液口连有一精制油收集罐。

本实用新型有益效果在于：

设置3台压滤机，配合5个洗涤水贮罐，实现对废砂浆浆料的5次压滤分液处理，明显提升对废砂浆浆料的压滤处理效率，提升废砂浆再生品质，确保从废砂浆中回收合格的切割液及碳化硅。

附图说明

图1为本实用新型实施例所述的晶硅线切割废砂浆初步压滤分液系统结构示意图。

图2为本实用新型实施例所述的压滤机结构示意图。

具体实施方式

参见图1和图2，本实用新型所述的晶硅线切割废砂浆初步压滤分液系统，包括：第一~第三压滤机11~13，间隔排布，包括分别设置于压滤机11（以第一压滤机11为例）两侧的进料口111和滤液出口112、设置于压滤机11内侧中部的滤饼洗涤喷头113以及设置于压滤机底部的滤饼出口114；第一~第三砂浆搅拌罐21~23，内设搅拌机3，分别设置于所述第一~第三压滤机11~13下方，且进液口分别与第一~第三压滤机11~13的滤饼出口相对；第一、第二浆料配制罐41、42，内设搅拌机3，通过一浆料输送泵43与第一压滤机11进料口111连通，第一压滤机11滤液出口112分别与第一、第二浆料配制罐41、42进液口连通；第一~第五洗涤水贮罐51~55，间隔排布，出水口分别设置有输送泵6，第一洗涤水贮罐51出水口与第一压滤机11进料口连通，入水口与第二压滤机12滤液出口连通；第二洗涤水贮罐52出水口分别连接至第一压滤机11内侧滤饼洗涤喷头以及第一砂浆搅拌罐21进液口，入水口与第二压滤机12滤液出口连通；第三洗涤水贮罐53出水口与第二砂浆搅拌罐22进液口连通，入水口与第三压滤机13滤液出口连通；第四洗涤水贮罐54出水口分别连接至第二压滤机12内侧滤饼洗涤喷头以及第二砂浆搅拌罐22进液口连通，入水口与第三压滤机13滤液出口连通；第五洗涤水贮罐55出水口与第三砂浆搅拌罐23进液口连通；一纯净水贮罐7，分别与第一、第二浆料配制罐41、42进液口以及第五洗涤水贮罐55入水口连通；一初分液收集罐8，其进液口与第一压滤机11滤液出口连通；一初分液压滤机9，其进料口通过一初分液输送泵91与初分液收集罐8出液口连通，滤液出口与初分液收集罐8进液口连通；滤饼收集袋10，设置于所述初分液压滤机9下方，与初分液压滤机9滤饼出口相对；油液收集罐101，其进液口与所述初分液压滤机9滤液出口连通。

进一步，还包括一助滤剂混合罐102，设置于所述初分液收集罐8一侧，其进液口分别与所述初分液收集罐8进液口以及所述初分液压滤机9滤液出口连通，出液口通过所述初分液输送泵91与初分液压滤机9进料口连通。

另，还包括依次连接的锰砂过滤罐103及精密过滤器104，所述锰砂过滤罐103进液口与所述油液收集罐101出液口连通，所述精密过滤器104出液口连有一精制油收集罐105。

所述晶硅线切割废砂浆初步压滤分液系统使用流程如下：

将废砂浆送入第一、第二浆料配制罐41、42，纯净水贮罐7向第一、第二浆料配制罐41、42内注水，开启搅拌机3，配制浆料，通过浆料输送泵43将配制好的浆料送至第一压滤机11进行压滤，保持给料压力≤0.1MPa，刚开始的压滤液需返回至第一、第二浆料配制罐41、42，待压滤液变清后，将滤液打至初分液收集罐8；

滤饼洗涤：

启动输送泵6，将第二洗涤水贮罐52内的水送至第一压滤机11内侧滤饼洗涤喷头，洗涤第一压滤机11内产生的滤饼，保持洗涤水压≥0.6MPa；洗涤滤饼10min。洗涤水进入第一砂浆搅拌罐21。

滤饼卸除：

启动第一压滤机11卸除按钮，将滤饼卸入第一砂浆搅拌罐21，滤饼全部卸除后，检查、清洗滤板边缘，并启动压滤机压紧开关，备下一批物料压滤。

第2～5次压滤分离：

在第二、第三压滤机12、13上重复前述滤饼洗涤及滤饼卸除工序各2次；每次压滤后的工艺水，进入相对应的第二~第五洗涤水贮罐52~55。每次配浆，采用与压滤次数相对应的工艺水。即2次压滤，采用第二洗涤水贮罐52配浆；3次压滤，采用第三洗涤水贮罐53配浆……依次类推。第5次压滤分离后的滤饼，用旋流水配浆，输送至旋流洗涤工序。

压滤机初步澄清压滤：

启动初分液输送泵91，控制初分液压滤机9进料口，保持给料压力≤0.1MPa，刚开始的压滤液需返回至初分液收集罐8，待压滤液澄清度达到标准样后，将滤液打至油液收集罐101。

当初分液压滤机9内充满滤饼后（检查标准为滤液不再流出），滤饼装入初分液压滤机9下的滤饼收集袋10。

砂滤罐精密过滤：

将油液收集罐101内的油液依次经过锰砂过滤罐及精密过滤器104进行精密过滤后送入精制油收集罐105。

需要说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制。尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围中。

Claims (3)

1.一种晶硅线切割废砂浆初步压滤分液系统，其特征在于，包括：

第一~第三压滤机，间隔排布，包括分别设置于压滤机两侧的进料口和滤液出口、设置于压滤机内侧中部的滤饼洗涤喷头以及设置于压滤机底部的滤饼出口；

第一~第三砂浆搅拌罐，内设搅拌机，分别设置于所述第一~第三压滤机下方，且进液口分别与第一~第三压滤机的滤饼出口相对；

第一、第二浆料配制罐，内设搅拌机，通过一浆料输送泵与第一压滤机进料口连通，第一压滤机滤液出口分别与第一、第二浆料配制罐进液口连通；

第一~第五洗涤水贮罐，间隔排布，出水口分别设置有输送泵，第一洗涤水贮罐出水口与第一压滤机进料口连通，入水口与第二压滤机滤液出口连通；第二洗涤水贮罐出水口分别连接至第一压滤机内侧滤饼洗涤喷头以及第一砂浆搅拌罐进液口，入水口与第二压滤机滤液出口连通；第三洗涤水贮罐出水口与第二砂浆搅拌罐进液口连通，入水口与第三压滤机滤液出口连通；第四洗涤水贮罐出水口分别连接至第二压滤机内侧滤饼洗涤喷头以及第二砂浆搅拌罐进液口连通，入水口与第三压滤机滤液出口连通；第五洗涤水贮罐出水口与第三砂浆搅拌罐进液口连通；

一纯净水贮罐，分别与第一、第二浆料配制罐进液口以及第五洗涤水贮罐入水口连通；

一初分液收集罐，其进液口与第一压滤机滤液出口连通；

一初分液压滤机，其进料口通过一初分液输送泵与初分液收集罐出液口连通，滤液出口与初分液收集罐进液口连通；

滤饼收集袋，设置于所述初分液压滤机下方，与初分液压滤机滤饼出口相对；

油液收集罐，其进液口与所述初分液压滤机滤液出口连通。

2.根据权利要求1所述的晶硅线切割废砂浆初步压滤分液系统，其特征在于，还包括一助滤剂混合罐，设置于所述初分液收集罐一侧，其进液口分别与所述初分液收集罐进液口以及所述初分液压滤机滤液出口连通，出液口通过所述初分液输送泵与初分液压滤机进料口连通。

3.根据权利要求1所述的晶硅线切割废砂浆初步压滤分液系统，其特征在于，还包括依次连接的锰砂过滤罐及精密过滤器，所述锰砂过滤罐进液口与所述油液收集罐出液口连通，所述精密过滤器出液口连有一精制油收集罐。