CN204454603U - 一种晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗液及酸洗液处理系统 - Google Patents

Abstract

一种晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗液及酸洗液处理系统，包括：碱洗液收集罐；碱洗液压滤机，进液口与碱洗液收集罐出液口连接；酸洗液收集罐；酸洗液压滤机，进液口与酸洗液收集罐出液口连接；第一、第二浆料配制罐，进料口分别与碱洗液压滤机及酸洗液压滤机底部滤饼出口相对；中和罐，进液口与碱洗液压滤机及酸洗液压滤机滤液出口连接；氢氧化钙贮存罐，出料口与中和罐进料口连接；废水压滤机，进液口与中和罐出液口连接，滤液出口与废液池连接；滤饼收集袋，设于废水压滤机下方。通过压滤机实现对废砂浆中的碳化硅及硅粉进行再生处理中废弃酸洗液及碱洗液的回收处理，合理利用资源、降低生产成本、避免浪费。

Description

一种晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗液及酸洗液处理系统

技术领域

本实用新型涉及一种晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗液及酸洗液处理系统。

背景技术

硅片切割是电子工业主要原材料一硅片(晶圆)生产的上游关键技术，切割的质量与规模直接影响到整个产业链的后续生产。在电子工业中，对硅片的需求主要表现在太阳能光伏发电和集成电路等半导体产业上。晶体硅片是制作光伏太阳能电池的主要材料，每生产1MW的太阳能电池组件需要17吨左右的原料。Clean Edge预计，全球太阳能发电市场的规模将从2005年的110亿美元猛进增到2015年的510亿美元，以芯片著名的“硅谷”将被“太阳谷”所取代。显然太阳能产业的迅猛发展需要更多的硅原料及切割设备来支撑。

硅片加工工艺流程一般经过晶体生长、切断、外径滚磨、平边、切片、倒角、研磨、腐蚀、抛光、清洗、包装等阶段。在整个切割过程中，切割液（PEG）具有重要作用，然而，随着人们对环境保护的重视，如何处理切割液在切割完毕后所产生的废砂浆，日益成为人们研究的重点。

晶硅线切割废砂浆是一种灰黑色粘稠固液混合体，含有碳化硅，硅粉，铁，聚乙二醇，水杂质等。略有吸湿性，不易挥发，化学性质稳定，能溶于水，难燃，按危险化学废弃物运输，密封贮存。

如何利用晶硅线切割废浆料，再生切割液（聚乙二醇）、碳化硅、陶瓷细粉材料，是近年来急需解决的问题。

实用新型内容

为解决上述存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗液及酸洗液处理系统，用于对废砂浆中的碳化硅及硅粉进行再生处理中废弃酸洗液及碱洗液的回收处理，合理利用资源、降低生产成本、避免浪费。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是：

一种晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗液及酸洗液处理系统，包括：一碱洗液收集罐，内设搅拌机，进液口接碱洗液；一碱洗液压滤机，其进液口通过一碱洗液输送泵与所述碱洗液收集罐出液口连接；一酸洗液收集罐，内设搅拌机，进液口接酸洗液；一酸洗液压滤机，其进液口通过一酸洗液输送泵与所述酸洗液收集罐出液口连接；第一、第二浆料配制罐，分别对应设置于所述碱洗液压滤机及酸洗液压滤机下方，内部设有搅拌机，进料口分别与碱洗液压滤机底部滤饼出口及酸洗液压滤机底部滤饼出口相对；一中和罐，内设搅拌机，其进液口分别与碱洗液压滤机滤液出口及酸洗液压滤机滤液出口连接；一氢氧化钙贮存罐，内设搅拌机，其出料口与所述中和罐进料口连接；一废水压滤机，其进液口通过一压滤泵与所述中和罐出液口连接，其滤液出口与废液池管道连接；若干滤饼收集袋，设置于所述废水压滤机下方，其开口与废水压滤机底部滤饼出口相对。

进一步，所述第一、第二浆料配制罐出料口分别连接有用于回收浆料的浆料循环泵。

另，所述浆料循环泵出口管道上分别设有止回阀。

另有，所述碱洗液压滤机滤液出口还与所述碱洗液收集罐进液口连接。

再，所述酸洗液压滤机滤液出口还与所述酸洗液收集罐进液口连接。

再有，所述废液池内设有排污泵，排污泵出口通过管道与废液处理装置连接。

本实用新型的有益效果在于：

通过压滤机实现对废砂浆中的碳化硅及硅粉进行再生处理中废弃酸洗液及碱洗液的回收处理，合理利用资源、降低生产成本、避免浪费。

附图说明

图1为本实用新型实施例所述的晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗液及酸洗液处理系统结构示意图。

具体实施方式

参见图1，本实用新型所述的晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗液及酸洗液处理系统，包括：一碱洗液收集罐1，内设搅拌机2，进液口接碱洗液；一碱洗液压滤机3，其进液口通过一碱洗液输送泵31与所述碱洗液收集罐1出液口连接；一酸洗液收集罐4，内设搅拌机2，进液口接酸洗液；一酸洗液压滤机5，其进液口通过一酸洗液输送泵51与所述酸洗液收集罐4出液口连接；第一、第二浆料配制罐6、6’，分别对应设置于所述碱洗液压滤机3及酸洗液压滤机5下方，内部设有搅拌机2，进料口分别与碱洗液压滤机3底部滤饼出口及酸洗液压滤机5底部滤饼出口相对；一中和罐7，内设搅拌机2，其进液口分别与碱洗液压滤机滤3液出口及酸洗液压滤机5滤液出口连接；一氢氧化钙贮存罐8，内设搅拌机2，其出料口与所述中和罐7进料口连接；一废水压滤机9，其进液口通过一压滤泵91与所述中和罐7出液口连接，其滤液出口与废液池10管道连接；若干滤饼收集袋101，设置于所述废水压滤机9下方，其开口与废水压滤机9底部滤饼出口相对。

进一步，所述第一、第二浆料配制罐6、6’出料口分别连接有用于回收浆料的浆料循环泵102。

另，所述浆料循环泵102出口管道上分别设有止回阀103。

另有，所述碱洗液压滤机3滤液出口还与所述碱洗液收集罐1进液口连接。

再，所述酸洗液压滤机5滤液出口还与所述酸洗液收集罐4进液口连接。

再有，所述废液池10内设有排污泵104，排污泵104出口通过管道与废液处理装置连接。

本实用新型所述的晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗液及酸洗液处理系统工作流程如下：

将碳化硅及硅粉浆料碱洗和酸洗处理后的碱洗液送入碱洗液收集罐1，将酸洗处理后的酸洗液送入酸洗液收集罐4，并分别通过碱洗液输送泵31和酸洗液输送泵51送入碱洗液压滤机3及酸洗液压滤机5进行压滤处理，压滤得滤饼送入第一、第二浆料配制罐6、6’，重生得到酸洗液和碱洗液，回收利用；压滤得滤液送入中和罐7，由氢氧化钙贮存罐8加入氢氧化钙进行中和，中和后的料液送入废水压滤机9，压滤得滤饼进入滤饼收集袋101收集，滤液进入废液池10，去废液处理装置处理。

需要说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制。尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围中。

Claims (6)

1.一种晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗液及酸洗液处理系统，其特征在于，包括：

一碱洗液收集罐，内设搅拌机，进液口接碱洗液；

一碱洗液压滤机，其进液口通过一碱洗液输送泵与所述碱洗液收集罐出液口连接；

一酸洗液收集罐，内设搅拌机，进液口接酸洗液；

一酸洗液压滤机，其进液口通过一酸洗液输送泵与所述酸洗液收集罐出液口连接；

第一、第二浆料配制罐，分别对应设置于所述碱洗液压滤机及酸洗液压滤机下方，内部设有搅拌机，进料口分别与碱洗液压滤机底部滤饼出口及酸洗液压滤机底部滤饼出口相对；

一中和罐，内设搅拌机，其进液口分别与碱洗液压滤机滤液出口及酸洗液压滤机滤液出口连接；

一氢氧化钙贮存罐，内设搅拌机，其出料口与所述中和罐进料口连接；

一废水压滤机，其进液口通过一压滤泵与所述中和罐出液口连接，其滤液出口与废液池管道连接；

若干滤饼收集袋，设置于所述废水压滤机下方，其开口与废水压滤机底部滤饼出口相对。

2.根据权利要求1所述的晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗液及酸洗液处理系统，其特征在于，所述第一、第二浆料配制罐出料口分别连接有用于回收浆料的浆料循环泵。

3.根据权利要求2所述的晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗液及酸洗液处理系统，其特征在于，所述浆料循环泵出口管道上分别设有止回阀。

4.根据权利要求1所述的晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗液及酸洗液处理系统，其特征在于，所述碱洗液压滤机滤液出口还与所述碱洗液收集罐进液口连接。

5.根据权利要求1所述的晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗液及酸洗液处理系统，其特征在于，所述酸洗液压滤机滤液出口还与所述酸洗液收集罐进液口连接。

6.根据权利要求1所述的晶硅线切割废砂浆中碳化硅及硅粉浆料碱洗液及酸洗液处理系统，其特征在于，所述废液池内设有排污泵，排污泵出口通过管道与废液处理装置连接。