CN116164540A - 一种上下开启管式炉真空设备系统与其应用 - Google Patents

Abstract

本发明创新提供了一种带有上下开启式管式炉的真空设备系统，其中管式炉1,2可以独立上下移动，管式炉的过滤系统(3)装有与加热或制冷系统相连卡槽，卡槽内可以装“人”字型过滤栅板及组合，栅板中间立柱上布有透气孔；真空系统包括真空计、真空阀门、低真空前级泵和高真空二级泵、连接管线；控制系统包含主机、监控与控制程序、显示屏、温度控制与显示等。本发明提供的上下开启式的管式炉具有快速降温的效果，提升工作效率。具有高效吸附性能、防机械泵返油的“人”字型栅板及组合的过滤、吸附系统；栅板容易拆洗、更换，操作的简便，更能有效防止粉尘进入真空泵系统，延长真空泵的使用寿命。

Description

一种上下开启管式炉真空设备系统与其应用

技术领域

本发明涉及真空机械和化学、化工设备，尤其涉及一种管式炉真空设备系统，用作有机或无机材料的提纯、热特性测试及制备。

背景技术

有机/无机化合物作为半导体材料或有机半导体材料应用时，它们的纯度很大程度上影响其性能，特别是有机光电材料，比如在有机电致发光器件(OLED、有机太阳能电池(OPV)、电池用的复合材料等，需要有很高的纯度，排除其包裹的溶剂、弃除单杂。管式真空设备系统是常用的提纯设备，同时还可以用于陶瓷、钙钛矿、荧光粉等材料的烧结和材料的热特新测试。

现有技术中有机材料的真空升华仪也属于管式真空设备系统，已经有相关的专利申请和生产，但是现有的设备普遍存在以下特点，管式炉采用侧面半开启式(说明书附图2a)和向上半开启式(说明书附图2b)，且所有温区同时开启。如果一台升华仪具有5至8个温区，在开启时，所有温区整体同时开启。由于重力原因，升华或烧结后的材料往往沉积在石英管的底部，石英管内又是高真空情况下，体系内部传热不佳，石英管底部与加热炉接触导致散热不理想，内部材料从250度降低至室温(25度)一般需要2-4小时，现有技术在温区旁加了散热风扇，但仍然需要1.5～2小时进行降温，生产效率较低。

现有技术中有机材料的真空升华仪，一般采用多层筛网、活动栅板或液氮罐作为过滤系统，安装在石英管与真空系统之间，用于防止样品粉尘在抽气过程中发生“爆沸”，低沸点溶剂或杂质迅速蒸发而带动粉尘进入真空系统，用液氮罐时也能防止机械泵油扩散对样品造成返油污染。利用液氮低温的特性，有效吸附粉尘、低沸点溶剂或杂质气体以及机械泵返油，已被普遍用于各个规格的真空升华仪中，成为当前主流的粉尘阻挡、吸附装置。多层筛网和活动栅板的主要缺点：a)同规格的网格层或栅板导致筛网阻挡装置气流通过率不足，且粉尘容易堵塞网格，从而影响真空度抽气速率，明显的表现是近真空系统端有较高的真空度，远端的真空度较低。b)网格或栅板无法抵挡低沸点溶剂或杂质污染真空泵体系，使整个真空体系随时间推移，每况愈下，同时也无法阻挡机械泵油扩散对样品造成返油污染。液氮罐的主要缺点：a)液氮具有接近绝对零度的低温，在灌注液氮时有一定的操作危险性，比如冻伤、液氮大面积扩散导致净化局部缺氧等状况。b)使用液氮罐时容易在真空管路表层凝结水汽，从而改变提纯环境中的水汽含量，影响有些特殊样品在取料，造成产品品质下降。c)液氮罐内置于真空体系中，体系内气流与液氮罐体的有效接触面积小，在大抽气量时，对粉尘和气体的阻挡、吸附效率不高，容易从液氮罐两侧漏过去，导致真空泵系统损伤。d)液氮罐内部应腐蚀、老化、容易引起泄漏，导致整个体系的崩坏，产生安全事故。

为了解决以上真空管式炉中石英管的散热效率低和降温速度慢的缺点，解决过滤网和液氮罐所的一些缺点和防止安全隐患，需要一种更加安全、高效的管式炉真空设备系统。

发明内容

本发明提供一种管式真空设备系统，包括上下开启式管式炉(1)(2)、过滤系统(3)、真空系统(4)和控制系统(5)(如图1所示)；其中，上下开启式管式炉(1)(2)可以单独控制进行上下移动，其闭合或开启时如图2c所示；管式炉中安装有石英管，石英管两端安装有可滑动的密封门装置，两端固定有真空计，用于检测体系的真空度；过滤系统(3)内部安装有“人”字型过滤栅板及组合；真空系统包括真空计、真空阀门、低真空前级泵和高真空二级泵、连接管线；控制系统包含主机、监控与控制程序、显示屏、温度控制与显示等。

特别地，上下开启式管式炉(1)(2)可以是1个整体的炉膛或者具有2-5个可以独立控制上下开启的炉膛组成。每个炉膛由1-8个可以独立加热、控温的区组成，每个炉膛配有可以独立开关的风扇1-2个。

优选地，管式炉中安装的石英管配有1-5个支架，用于固定石英管。

特别优选地，当上下开启式管式炉(1)(2)为整体上下开启时，其中含有3-9个可以独立控温的区域。(图3a)

特别优选地，当上下开启式管式炉(1)(2)为2至5个炉膛时，每个上下开启式管式炉膛有1-3个可独立控温的区域(图3b)。

特别地，过滤系统(3)一侧与石英管相连，一侧与真空系统相连；过滤系统内部有1-10个卡槽，卡槽与加热或制冷系统相连；1-10个“人”字型栅板及其组合与卡槽相连；一侧有密封门，“人”字型过滤栅板及组合通过密封门进行取出或安装。(图4)

特别优选地，“人”字型过滤栅板中间立柱上布有透气孔，同时安装多个栅板时，它们之间相互交叉排列。(图4d，图5)

优选地，过滤系统(3)中的“人”字型栅板卡槽与外部的制冷或制热系统相连。(图6)

特别优选地，制冷系统可以是液氮等低温液体管道进行制冷。

优选地，真空系统(4)的高真空二级泵为扩散泵、分子泵或冷泵中的一种或他们的组合。

优选地，真空系统(4)的高真空二级泵可以安装在过滤系统(3)的水平的一侧，或安装在其箱体的上方。

优选地，控制系统(5)对每个管式炉进行独立加热、控温；对每个风扇进行开关控制；显示并记录系统运行时的真空度、温度等数据。

本发明还提供一种具有双管式炉真空设备系统，两套含有石英管的管式炉分别连在过滤系统(3)的两侧，过滤系统(3)的一侧与真空系统相连，形成具有双管式炉的真空设备系统；所述的过滤系统(3)内部安装有“人”字型过滤栅板及组合；所述真空系统包括真空计、真空阀门、低真空前级泵和高真空二级泵、连接管线；所述控制系统包含主机、监控与控制程序、显示屏、温度控制与显示等。(图7)

本发明提供的管式炉真空设备系统，还包括过滤系统(3)和真空系统(4)接在管式炉的中部的方案(图8)。

从以上技术方案中可以看出，本发明提供的上下开启式的管式炉具有快速降温的效果，提升工作效率，同时配备了特殊设计，具有高效吸附性能、防机械泵返油的“人”字型栅板及组合的过滤、吸附系统。这种组合管式炉真空系统的增益效果是可以使石英管内降温速度提升1-2倍；同时可以提升材料的品质降低单杂含量；新型的吸附系统既能高效地吸附粉尘、也能通过低温吸附有机溶剂防止返油，同时栅板容易拆洗、更换，操作的简便。错开式的栅板系统，更能有效防止粉尘进入真空泵系统，延长真空泵的使用寿命。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术的中的技术方案，对现有技术和本发明的技术方案所需要使用的附图做简单介绍。显然，本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动下，可以通过这些附图获得其他的附图。

图1为本发明管式真空设备系统的结构示意图。

图2为常规侧面半开启式a)和向上半开启式b)管式炉的截面图，本发明的上下同时开启式的管式炉闭合和开启时的截面c)。

图3为本发明为一个独立炉膛时，内部加热温区排布方式a)；为2-5个独立炉膛时，每个炉膛内部加热温区的排布方式b)。

图4为本发明的“人”字型栅板示意图a)，过滤系统截面图b)，过滤系统中放1块“人”字型卡槽的截面图c)，多个“人”字型栅板在过系统中的组合方式d)。

图5为本发明的“人”字型栅板及组合时气流的方向示意图。

图6为本发明过滤系统(3)外部连接制冷或者加热管线的方式。

图7为本发明的过滤系统(3)在左右两侧连接双管式炉的真空设备系统方案示意图。

图8为本发明的过滤系统(3)、真空系统(4)安装在管式炉中部的示意图。

具体实施方式

将本发明的管式炉真空系统作为有机/无机材料的真空升华仪使用，通用具体步骤如下：

本发明的管式炉真空系统工作时首先石英管一端的密封门打开，将材料和收集管推送到石英管中，开启真空系统进行抽真空，石英管远端(远离真空体系端)到达预设真空度后，开始对炉膛进行加热，并到达设置的温度，保温一定时间后，上下开启炉膛进行降温。待温度降至室温后，通过充气口充入氮气解除真空。取出相应的装料管、收集管，刮下相应的材料后，进行必要的分析测试。

实施例1

在管径为200毫米的石英管，配置含有3个独立加热、控温的炉膛，在石英管的远端放入空穴传输材料HTL001(1KG，纯度为99.95％)，在石英中部和石英管近端分别放入收集管。材料位于温区2，开启制冷系统后，对过滤系统的栅板进行降温，到达设定温度后，开启真空系统，进行抽真空操作，直至真空度降至设定真空度以下。如图3a所示，对将温区1,2,3的温度分别设置为340度、320度、320度，将收集区(温区4、5)设置温度为270度、将温区6和温区7分别设置为240度和200度。在此温度保温升华8小时后，将炉膛一、炉膛二、炉膛三同时打开，并打开降温风扇，直至石英管底部外侧显示为25±5度并纪录降温时间。关闭真空系统后，通入氮气，破除真空，将体系内的压力升至大气压。

打开过滤系统(3)一侧的密封门，通过把手将“人”字型栅板抽出，浸泡到有机溶剂(如乙醇、二氯甲烷、甲苯等)中进行清洗。

将温区4,5内的材料刮下后，进行高效液相色谱分析测试。

实施例2

在管径为200毫米的石英管，配置含有3个独立加热、控温的炉膛，在石英管的远端放入空穴传输材料HTL001(1KG，纯度为99.95％)，在石英中部和石英管近端分别放入收集管。开启制冷系统后，对过滤系统的栅板进行降温，到达设定温度后，开启真空系统，进行抽真空操作，直至真空度降至设定真空度以下。如图3b所示，材料位于温区2，将温区1,2,3的温度分别设置为340度、320度、320度，将收集区(温区4、5)设置温度为270度、将温区6和温区7分别设置为240度和200度。在此温度保温升华8小时后，将炉膛一和炉膛三同时打开，并打开降温风扇，直至石英管底部外侧显示温度为100度±5度，再打开炉膛2，并打开降温风扇，直至石英管底部外侧显示温度为25±5度，并纪录炉膛二部分石英管降温时间。关闭真空系统后，通入氮气，破除真空，将体系内的压力升至大气压。

打开过滤系统(3)一侧的密封门，通过把手将“人”字型栅板抽出，浸泡到有机溶剂(如乙醇、二氯甲烷、甲苯等)中进行清洗。

将温区4,5内的材料刮下后，进行高效液相色谱分析测试。

实施例3

在管径为200毫米的石英管，配置含有3个独立加热、控温的炉膛，在石英管的远端放入绿色磷光材料GD001(20G，纯度为99.91％)，在石英中部和石英管近端分别放入收集管。开启制冷系统后，对过滤系统的栅板进行降温，到达设定温度后，开启真空系统，进行抽真空操作，直至真空度降至设定真空度以下。如图3b所示，材料位于温区2，将温区1,2,3的温度分别设置为340度、320度、320度，将收集区(温区4、5)设置温度为270度、将温区6和温区7分别设置为240度和200度。在此温度保温升华6小时后，将炉膛一、炉膛二、炉膛三同时打开，并打开降温风扇，直至石英管底部外侧显示为25±5度并纪录降温时间。关闭真空系统后，通入氮气，破除真空，将体系内的压力升至大气压。

打开过滤系统(3)一侧的密封门，通过把手将“人”字型栅板抽出，浸泡到有机溶剂(如乙醇、二氯甲烷、甲苯等)中进行清洗。

将温区4,5内的材料刮下后，进行高效液相色谱分析测试。

实施例4

在管径为200毫米的石英管，配置含有3个独立加热、控温的炉膛，在石英管的远端放入绿色磷光材料GD001(20G，纯度为99.91％)，在石英中部和石英管近端分别放入收集管。开启制冷系统后，对过滤系统的栅板进行降温，到达设定温度后，开启真空系统，进行抽真空操作，直至真空度降至设定真空度以下。如图3b所示，材料位于温区2，将温区1,2,3的温度分别设置为340度、320度、320度，将收集区(温区4、5)设置温度为270度、将温区6和温区7分别设置为240度和200度。在此温度保温升华6小时后，将炉膛一、炉膛二、炉膛三同时打开，并打开降温风扇，直至石英管底部外侧显示为25±5度并纪录降温时间。关闭真空系统后，通入氮气，破除真空，将体系内的压力升至大气压。

打开过滤系统(3)一侧的密封门，通过把手将“人”字型栅板抽出，浸泡到有机溶剂(如乙醇、二氯甲烷、甲苯等)中进行清洗。

将温区4,5内的材料刮下后，进行高效液相色谱分析测试。

实施例5

在管径为200毫米的石英管，配置含有3个独立加热、控温的炉膛，在石英管的远端放入空穴传输材料HTL001(1KG，纯度为99.95％)，在石英中部和石英管近端分别放入收集管。开启制冷系统后，对过滤系统的栅板进行降温，到达设定温度后，开启真空系统，进行抽真空操作，直至真空度降至设定真空度以下。如图3b所示，材料位于温区2，将温区1,2,3的温度分别设置为340度、320度、320度，将收集区(温区4、5)设置温度为270度、将温区6和温区7分别设置为240度和200度。在此温度保温升华8小时后，将炉膛一、炉膛二、炉膛三同时打开，不打开降温风扇，直至石英管底部外侧显示为25±5度并纪录降温时间。关闭真空系统后，通入氮气，破除真空，将体系内的压力升至大气压。

打开过滤系统(3)一侧的密封门，通过把手将“人”字型栅板抽出，浸泡到有机溶剂(如乙醇、二氯甲烷、甲苯等)中进行清洗。

将温区4,5内的材料刮下后，进行高效液相色谱分析测试。

对比例1

在管径为200毫米的石英管，配置1个整体的炉膛，开启方式如图2a)，在石英管的远端放入空穴传输材料HTL001(1KG，纯度为99.95％)，在石英中部和石英管近端分别放入收集管。开启制冷系统后，对过滤系统的栅板进行降温，到达设定温度后，开启真空系统，进行抽真空操作，直至真空度降至设定真空度以下。如图3a)所示，材料位于温区2，将温区1,2,3的温度分别设置为340度、320度、320度，将收集区(温区4、5)设置温度为270度；将温区6和温区7分别设置为240度和200度。在此温度保温升华8小时后，将炉膛打开，并打开降温风扇，直至石英管底部外侧显示为25±5度并纪录降温时间。关闭真空系统后，通入氮气，破除真空，将体系内的压力升至大气压。

打开过滤系统(3)一侧的密封门，通过把手将“人”字型栅板抽出，浸泡到有机溶剂(如乙醇、二氯甲烷、甲苯等)中进行清洗。

将温区4,5内的材料刮下后，进行高效液相色谱分析测试。

对比例2

在管径为200毫米的石英管，配置含有3个独立加热、控温的炉膛，在石英管的远端放入空穴传输材料HTL001(1KG，纯度为99.95％)，在石英中部和石英管近端分别放入收集管。开启制冷系统后，对过滤系统的栅板进行降温，到达设定温度后，开启真空系统，进行抽真空操作，直至真空度降至设定真空度以下。如图3a所示，材料位于温区2，将温区1,2,3的温度分别设置为340度、320度、320度；将收集区(温区4、5)设置温度为270度；将温区6和温区7分别设置为240度和200度。在此温度保温升华8小时后，将炉膛一、炉膛二和炉膛三的上部向上开启，下部不动，并打开降温风扇，直至石英管底部外侧显示温度为25±5度，并纪录炉膛二部分石英管降温时间。关闭真空系统后，通入氮气，破除真空，将体系内的压力升至大气压。

打开过滤系统(3)一侧的密封门，通过把手将“人”字型栅板抽出，浸泡到有机溶剂(如乙醇、二氯甲烷、甲苯等)中进行清洗。

将温区4,5内的材料刮下后，进行高效液相色谱分析测试。

对比例3

在管径为200毫米的石英管，配置1个整体的炉膛，开启方式如图2a)，在石英管的远端放入绿色磷光材料GD001(20G，纯度为99.91％)，在石英中部和石英管近端分别放入收集管。过滤系统的栅板进行降温，到达设定温度后，开启真空系统，进行抽真空操作，直至真空度降至设定真空度以下。如图3a)所示，材料位于温区2，将温区1,2,3的温度分别设置为340度、320度、320度，将收集区(温区4、5)设置温度为270度；将温区6和温区7分别设置为240度和200度。在此温度保温升华6小时后，将炉膛打开，并打开降温风扇，直至石英管底部外侧显示为25±5度并纪录降温时间。关闭真空系统后，通入氮气，破除真空，将体系内的压力升至大气压。

打开过滤系统(3)一侧的密封门，通过把手将“人”字型栅板抽出，浸泡到有机溶剂(如乙醇、二氯甲烷、甲苯等)中进行清洗。

将温区4,5内的材料刮下后，进行高效液相色谱分析测试。

对比例4

在管径为200毫米的石英管，配置含有3个独立加热、控温的炉膛，在石英管的远端放入绿色磷光材料GD001(20G，纯度为99.91％)，在石英中部和石英管近端分别放入收集管。过滤系统的栅板进行降温，到达设定温度后，开启真空系统，进行抽真空操作，直至真空度降至设定真空度以下。如图3a)所示，材料位于温区2，将温区1,2,3的温度分别设置为340度、320度、320度，将收集区(温区4、5)设置温度为270度；将温区6和温区7分别设置为240度和200度。在此温度保温升华6小时后，将炉膛一、炉膛二和炉膛三的上部向上开启，下部不动，并打开降温风扇(此开启方式类似如图2b)，直至石英管底部外侧显示温度为25±5度，并纪录炉膛二部分石英管降温时间。关闭真空系统后，通入氮气，破除真空，将体系内的压力升至大气压。

打开过滤系统(3)一侧的密封门，通过把手将“人”字型栅板抽出，浸泡到有机溶剂(如乙醇、二氯甲烷、甲苯等)中进行清洗。

将温区4,5内的材料刮下后，进行高效液相色谱分析测试。

对比例5

在管径为200毫米的石英管，配置1个整体的炉膛，开启方式如图2a)，在石英管的远端放入空穴传输材料HTL001(1KG，纯度为99.95％)，在石英中部和石英管近端分别放入收集管。过滤系统的栅板进行降温，到达设定温度后，开启真空系统，进行抽真空操作，直至真空度降至设定真空度以下。如图3a所示，材料位于温区2，将温区1,2,3的温度分别设置为340度、320度、320度，将收集区(温区4、5)设置温度为270度、将温区6和温区7分别设置为240度和200度。在此温度保温升华8小时后，将炉膛打开，不打开降温风扇，直至石英管底部外侧显示为25±5度并纪录降温时间。关闭真空系统后，通入氮气，破除真空，将体系内的压力升至大气压。

打开过滤系统(3)一侧的密封门，通过把手将“人”字型栅板抽出，浸泡到有机溶剂(如乙醇、二氯甲烷、甲苯等)中进行清洗。

将温区4,5内的材料刮下后，进行高效液相色谱分析测试。

对比例6

在管径为200毫米的石英管，配置含有3个独立加热、控温的炉膛，在石英管的远端放入空穴传输材料HTL001(1KG，纯度为99.95％)，在石英中部和石英管近端分别放入收集管。过滤系统的栅板进行降温，到达设定温度后，开启真空系统，进行抽真空操作，直至真空度降至设定真空度以下。如图3a所示，材料位于温区2，将温区1,2,3的温度分别设置为340度、320度、320度，将收集区(温区4、5)设置温度为270度、将温区6和温区7分别设置为240度和200度。在此温度保温升华8小时后，将炉膛一、炉膛二和炉膛三的上部向上开启，下部不动，不打开降温风扇，直至石英管底部外侧显示温度为25±5度，并纪录炉膛二部分石英管降温时间。关闭真空系统后，通入氮气，破除真空，将体系内的压力升至大气压。

打开过滤系统(3)一侧的密封门，通过把手将“人”字型栅板抽出，浸泡到有机溶剂(如乙醇、二氯甲烷、甲苯等)中进行清洗。

将温区4,5内的材料刮下后，进行高效液相色谱分析测试。

表1

实施方式	温区4、5降温时间	温区4、5材料的纯度	温区4、5材料主要单杂
				实施例1	30分钟	99.98％	98ppm
实施例2	25分钟	99.99％	76ppm
				实施例3	27分钟	99.85％	105ppm
实施例4	23分钟	99.87％	95ppm
				实施例5	52分钟	99.97％	103ppm
对比例1	98分钟	99.96％	160ppm
				对比例2	92分钟	99.97％	156ppm
对比例3	85分钟	99.75％	155ppm
				对比例4	80分钟	99.77％	150ppm
对比例5	175分钟	99.97％	123ppm
				对比例6	155分钟	99.97％	122ppm

本发明所提供的管式炉，可测试材料在不同温度、不同耐热时间下的耐热特性。

实施例6

在管径为200毫米的石英管，配置含有3个独立加热、控温的炉膛中，如图3b所示，每个炉膛都具有1-3个可以的独立控温的区域，3根在真空下封装的空穴传输材料HTL001(2克，纯度为99.95％)，将1号封管放置在温区2，将2号封管放置在温区5，将3号分管放在温区6，对过滤系统的栅板进行降温，到达设定温度后，开启真空系统，进行抽真空操作，直至真空度降至设定真空度以下。将温区1,2,3的温度分别设置为320度、340度、320度，将温区4,5的温度分别设置为320度、340度；将温区6，7的温度分别设置为360度、340度；同时对1-7温区进行升温，在到达设定温度后，保温24小时。打开炉膛一对1-3温区进行降温处理，其他炉膛仍保留设定温度，持续保温240小时后，打开炉膛二、三进行降温，打开降温风扇，直至石英管底部外侧显示温度为25±5度。关闭真空系统后，通入氮气，破除真空，将体系内的压力升至大气压。将1-3号封管取出后，进行高效液相色谱测试。

对比例7

在管径为200毫米的石英管，配置1个整体的炉膛，开启方式如图2a)，3根在真空下封装的空穴传输材料HTL001(2克，纯度为99.95％)，将1号封管放置在温区2，将2号封管放置在温区5，将3号分管放在温区6，对过滤系统的栅板进行降温，到达设定温度后，开启真空系统，进行抽真空操作，直至真空度降至设定真空度以下。将温区1,2,3的温度分别设置为320度、340度、320度，将温区4,5的温度分别设置为320度、340度，将温区6，7的温度分别设置为360度、340度；同时对1-7温区进行升温，在到达设定温度后，保温24小时。打开炉膛，打开降温风扇，直至石英管底部外侧显示温度为25±5度。关闭真空系统后，通入氮气，破除真空，将体系内的压力升至大气压。将1-3号封管取出后，进行高效液相色谱测试。

表2

显然，对比例7中，用常规设备只能得到一个时间段多种温度的材料耐热特性，由于降温不够快，材料的纯度变化比较明显。

实施例7

用本发明的管式炉真空设备制备二元共蒸烧结材料

在管径为200毫米的石英管，配置含有3个独立加热、控温的炉膛中，如图8所示，每个炉膛都具有1-3个可以的独立控温的区域，其中在炉膛一的2温区放置金属镁，在炉膛三的8温区放置金属铝，按Mg：Al为0.1:10～1:1的比例范围，在炉膛二的5温区进行纳米级共混。混合后，迅速打开炉膛一和炉膛三，对其进行降温，防止镁或铝继续进入烧结区。在通过阶梯升温等方式对不同比例的镁铝合金进行烧结，观测其纳米级共混和阶梯烧结的效果。获得不同比例和不同烧结温度的镁铝合金。

以上所述，仅为本发明示范性实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在不付出创造性劳动下，可以通过附图获得其他的附图，在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (11)

1.一种管式炉真空设备系统,其特征在于，所述设备系统包括上下开启式管式炉(1)(2)、过滤系统(3)、真空系统(4)和控制系统(5)；所述的上下开启式管式炉(1)(2)进行上下移动，管式炉中安装有石英管，石英管两端安装滑动的密封门装置，两端固定有真空计；所述的过滤系统(3)内部安装有“人”型过滤栅板及它们的组合；所述真空系统包括真空计、真空阀门、低真空前级泵和高真空二级泵、连接管线；所述控制系统包含主机、监控与控制程序、显示屏、温度控制与显示等。

2.一种双管式炉真空设备系统,其特征在于，两套含有石英管的管式炉分别连在过滤系统(3)的两侧，过滤系统(3)的一侧与真空系统相连，形成具有双管式炉的真空设备系统；所述的过滤系统(3)内部安装有“人”型过滤栅板及组合；所述真空系统包括真空计、真空阀门、低真空前级泵和高真空二级泵、连接管线；所述控制系统包含主机、监控与控制程序、显示屏、温度控制与显示等。

3.根据权利要求1所述的管式炉真空设备系统,其特征在于，过滤系统(3)和真空系统(4)连接在管式炉的中部。

4.根据权利要求1或2所述的管式炉真空设备系统,其特征在于，所述的上下开启式管式炉配有独立上下开启的加热炉为1至5个；每个管式炉由1-3个单独控温的加热区组成，每个加热炉配有单独控制的散热风扇1-2个。

5.根据权利要求1或2所述的管式炉真空设备系统,其特征在于，管式炉中安装的石英管配有1-5个支架。

6.根据权利要求1或2所述的管式炉真空设备系统,其特征在于，所述的过滤系统(3)一侧与石英管相连，一侧与真空系统相连；过滤系统内部有1-10个卡槽，卡槽与加热或制冷系统相连；1-10个“人”型栅板及其组合与卡槽相连；一侧有密封门，“人”型过滤栅板及组合通过密封门进行取出或安装。

7.根据权利要求1或2所述的管式炉真空设备系统,其特征在于，所述的过滤系统(3)中的“人”型过滤栅板中间立柱上布有透气孔，多个栅板同时安装时，它们之间相互交叉排列。

8.根据权利要求1或2所述的管式炉真空设备系统,其特征在于，所述的过滤系统(3)中的卡槽与制热或制冷系统相连，制热或制冷为电制热或制冷设备；或管线冷却器内为液氮等低温液体进行制冷。

9.根据权利要求1或2所述的管式炉真空设备系统,其特征在于，所述的真空系统(4)的高真空二级泵为扩散泵、分子泵或冷泵中的一种或它们的组合。

10.根据权利要求1或2所述的管式炉真空设备系统,其特征在于，所述的真空系统(4)的高真空二级泵安装在过滤系统(3)箱体的上方。

11.根据权利要求1或2所述的管式炉真空设备系统,其特征在于，该设备用于有机/无机材料的真空提纯、耐热测试与材料的制备。

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