CN116163017A - 用于单晶炉的复投运料装置 - Google Patents

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CN116163017A
CN116163017A CN202310056705.4A CN202310056705A CN116163017A CN 116163017 A CN116163017 A CN 116163017A CN 202310056705 A CN202310056705 A CN 202310056705A CN 116163017 A CN116163017 A CN 116163017A
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缪庆光
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Beijing Jingyuntong Technology Co Ltd
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Beijing Jingyuntong Technology Co Ltd
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Abstract

本申请公开了一种用于单晶炉的复投运料装置,包括第一运料机构、第二运料机构和振动机构。第一运料机构包括第一料仓和第一振筛下料滑道,第一料仓固定设置在第一振筛下料滑道上方。第二运料机构包括第二料仓和第二振筛下料滑道,第二料仓固定设置在第二振筛下料滑道上方,第二振筛下料滑道位于在第一振筛下料滑道上方,且第二振筛下料滑道的第一端与第一振筛下料滑道的第一端连接。振动机构包括振动器和架体,振动器固定设置在架体内,架体活动连接在第一振筛下料滑道的第一端,且架体位于第二振筛下料滑道下方,架体与第二振筛下料滑道的第一端活动连接。两个料仓可以分别对不同大小的物料进行下料,装置出料均匀,易于控制,可靠性高。

Description

用于单晶炉的复投运料装置
技术领域
本申请涉及物料传输设备技术领域,尤其涉及一种用于单晶炉的复投运料装置。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体环境中,将多晶硅等多晶材料熔化,并生长无错位单晶的设备。在实际生产中,通常会采用送料机将硅料投送至单晶炉的内部进行加工。送料机通常包括料斗和料槽,硅料由料斗落入料槽,进而投送至单晶炉。
硅料一般会存在大料块和小料块两种,现有的送料机一般都是单料斗,大料块和小料块使用同一料斗进行下料,这会出现料斗前期下料为小料块,后期只剩大料块的情况,导致送料机出料不均,影响后续生产。并且,单料斗的出料口大小难以定型,出料口设置过小,有可能出现大料块卡料现象,出料口设置过大,则会使得小料块出料速度快,不易控制。此外,料槽为石英材质,大料块由料斗落入料槽时有撞碎料槽的风险。
发明内容
本申请实施例提供一种用于单晶炉的复投运料装置,以解决送料机出料不均的问题。
本申请实施例提出了一种用于单晶炉的复投运料装置,包括第一运料机构、第二运料机构和振动机构。所述第一运料机构包括第一料仓和第一振筛下料滑道,所述第一料仓固定设置在所述第一振筛下料滑道的上方。所述第二运料机构包括第二料仓和第二振筛下料滑道,所述第二料仓固定设置在所述第二振筛下料滑道的上方,所述第二振筛下料滑道位于在所述第一振筛下料滑道的上方,且所述第二振筛下料滑道的第一端与所述第一振筛下料滑道的第一端连接。所述振动机构包括振动器和架体,所述振动器固定设置在所述架体内,所述架体活动连接在所述第一振筛下料滑道的第一端,且所述架体位于所述第二振筛下料滑道的下方,所述架体与所述第二振筛下料滑道的第一端活动连接。
根据本申请实施例的一个方面,所述振动机构还包括升降组件,所述架体通过所述升降组件与所述第一振筛下料滑道活动连接。所述升降组件包括滑动升降连杆和调节螺杆。所述第一振筛下料滑道上设置有第一滑槽,所述滑动升降连杆穿设在所述第一滑槽内,且与所述架体固定连接。所述调节螺杆与所述滑动升降连杆螺纹连接,且与所述第一振筛下料滑道转动连接,当所述调节螺杆转动时,所述滑动升降连杆相对于所述第一振筛下料滑道升降,以带动所述架体相对于所述第一振筛下料滑道升降。
根据本申请实施例的一个方面,所述振动机构还包括第一连接组件,所述架体通过所述第一连接组件与所述第二振筛下料滑道活动连接。所述第一连接组件包括连接柱和定位部。所述连接柱固定连接在所述架体上,所述连接柱能够插接进入所述第二振筛下料滑道。所述定位部活动连接在所述第二振筛下料滑道上,所述定位部能够与所述连接柱活动连接。
根据本申请实施例的一个方面,所述连接柱固定连接在所述架体的顶壁上。所述第二振筛下料滑道的底壁上设置有第一定位孔,所述连接柱能够通过所述第一定位孔插接进入所述第二振筛下料滑道。
根据本申请实施例的一个方面,所述第二振筛下料滑道的侧壁上设置有第二定位孔,所述定位部活动连接在所述第二定位孔内。
根据本申请实施例的一个方面,所述定位部包括第一活动连杆、挡环、第一弹性件和挡块;所述第一活动连杆活动连接在所述第二定位孔内,所述挡环和所述挡块沿所述第一活动连杆的延伸方向分别固定连接在所述第一活动连杆上;所述第一弹性件的一端与所述挡环抵接,所述第一弹性件的另一端与所述第二振筛下料滑道的侧壁抵接。所述第二定位孔设置有卡接槽和通槽;当所述第一活动连杆转动到第一位置时,所述挡块卡接在所述卡接槽内,所述第一弹性件处于压缩状态,当所述第一活动连杆转动到第二位置时,所述挡块与所述通槽对齐,所述第一弹性件驱动所述第一活动连杆相对于第二振筛下料滑道移动,以使所述第一活动连杆与所述连接柱连接。
根据本申请实施例的一个方面,所述振动机构还包括第二连接组件,所述架体通过所述第二连接组件与所述第一振筛下料滑道活动连接。所述第二连接组件包括第二活动连杆、固定套筒和第二弹性件;所述第一振筛下料滑道的侧壁上设置有第三定位孔,所述第二活动连杆活动连接在所述第三定位孔内,所述第二活动连杆的第一端用于与所述架体连接;所述固定套筒与所述第二活动连杆的第二端活动套接,且所述固定套筒固定设置在所述第一振筛下料滑道内;所述第二弹性件设置在所述固定套筒内,所述第二活动连杆的第二端与所述第二弹性件抵接。
根据本申请实施例的一个方面,所述架体的侧壁上设置有第四定位孔,所述第二活动连杆能够插接进入所述第四定位孔。
根据本申请实施例的一个方面,所述第二连接组件还包括推杆。所述第一振筛下料滑道上设置有第二滑槽,所述推杆穿设在所述第二滑槽内,且与所述第二活动连杆固定连接。
根据本申请实施例的一个方面,所述第二料仓外固定套设有固定环,所述固定环上固定连接有立柱。所述第二振筛下料滑道通过弹性结构与所述立柱连接。
本申请实施例提供的用于单晶炉的复投运料装置,具有第一料仓和第二料仓两个料仓,可以使用第一料仓和第二料仓分别对不同大小的物料进行下料,如使用第二料仓下小料块,使用第一料仓下大料块,实现对不同大小的物料分别控制下料,装置出料中的不同大小的物料的比例稳定,出料均匀。并且,第一料仓和第二料仓的出料口大小可以分别设置,可以分别适应不同大小的物料,避免出现卡料、出料速度不易控制等问题。此外,可以通过第二料仓先下小料块,小料块落入第二振筛下料滑道,继而落入第一振筛下料滑道,再通过第一料仓下大料块,即先使第一振筛下料滑道铺有小料块后,再下大料块,这样大料块会落在小料块上,而非直接落在第一振筛下料滑道上,可以避免大料块砸坏第一振筛下料滑道,可以提高装置可靠性,延长装置使用寿命。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案,下面将对本申请实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面所描述的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请实施例提供的用于单晶炉的复投运料装置的结构示意图;
图2为本申请实施例提供的用于单晶炉的复投运料装置的部分结构示意图;
图3为本申请实施例提供的用于单晶炉的复投运料装置的部分结构示意图;
图4为本申请实施例提供的用于单晶炉的复投运料装置的部分结构示意图;
图5为本申请实施例提供的用于单晶炉的复投运料装置的部分结构示意图;
图6为本申请实施例提供的用于单晶炉的复投运料装置的部分结构示意图;
图7为图6中A处的放大图。
附图标记:
1-第一振筛下料滑道,2-石英坩埚,3-第一料仓,4-第二振筛下料滑道,5-第二料仓,6-支撑台,7-支撑柱,8-固定环,9-立柱,10-弹性结构,11-架体,12-振动器,13-安装环,14-固定架,15-连接柱,16-滑动升降连杆,17-螺纹环,18-第四定位孔,19-第一滑槽,20-第二滑槽,21-调节螺杆,22-转盘,23-第二弹性件,24-固定套筒,25-第二活动连杆,26-推杆,27-定位部,28-第一定位孔,29-通槽,30-卡接槽,31-转辊,32-连接孔,33-第二定位孔,34-第三定位孔,271-第一活动连杆,272-挡环,273-第一弹性件,274-挡块,275-把手。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本申请的实施方式作进一步详细描述。以下实施例的详细描述和附图用于示例性地说明本申请的原理,但不能用来限制本申请的范围,即本申请不限于所描述的实施例。
在本申请的描述中,需要说明的是,除非另有说明,术语“第一”和“第二”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性;“多个”的含义是两个或两个以上;术语“内”、“外”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。
请参阅图1,本申请实施例提供一种用于单晶炉的复投运料装置,包括第一运料机构、第二运料机构和振动机构。
第一运料机构包括第一料仓3和第一振筛下料滑道1,第一料仓3可以通过支撑架等固定设置在第一振筛下料滑道1的上方。第二运料机构包括第二料仓5和第二振筛下料滑道4,第二料仓5可以通过支撑架等固定设置在第二振筛下料滑道4的上方。第二振筛下料滑道4位于在第一振筛下料滑道1的上方,且第二振筛下料滑道4的第一端与第一振筛下料滑道1的第一端连接。具体设置时,第一料仓3可以靠近第一振筛下料滑道1的第一端设置,第二料仓5可以靠近第二振筛下料滑道4的第二端设置。图1中示例了第一振筛下料滑道1位于单晶炉的石英坩埚2的上方,物料(如硅料)可以由第一振筛下料滑道1的第二端落入石英坩埚2,进而进行后续生产。
振动机构包括振动器12和架体11,振动器12固定设置在架体11内,架体11活动连接在第一振筛下料滑道1的第一端,且架体11位于第二振筛下料滑道4的下方,架体11与第二振筛下料滑道4的第一端活动连接。振动器12可以带动第一振筛下料滑道1及第二振筛下料滑道4振动,使第二振筛下料滑道4上的物料落入第一振筛下料滑道1,以及使第一振筛下料滑道1上的物料落入石英坩埚2。
本申请实施例提供的用于单晶炉的复投运料装置,具有第一料仓3和第二料仓5两个料仓,可以使用第一料仓3和第二料仓5分别对不同大小的物料进行下料,例如,使用第二料仓5下小料块,使用第一料仓3下大料块,实现对不同大小的物料分别控制下料,装置出料中的不同大小的物料的比例稳定,出料均匀。并且,第一料仓3和第二料仓5的出料口大小可以分别设置,可以分别适应不同大小的物料,避免出现卡料、出料速度不易控制等问题。此外,可以通过第二料仓5先下小料块,小料块落入第二振筛下料滑道4,继而落入第一振筛下料滑道1,再通过第一料仓3下大料块,即先使第一振筛下料滑道1铺有小料块后,再下大料块,这样大料块会落在小料块上,而非直接落在第一振筛下料滑道1上,可以避免大料块砸坏第一振筛下料滑道1,也可以避免大料块砸坏石英坩埚2,可以提高装置可靠性,延长装置使用寿命。
具体实施时,第一振筛下料滑道1可以由支撑台6支撑,支撑台6可以由支撑柱7支撑。具体地,如图2所示,支撑台6上可以设置有多个转辊31,第一振筛下料滑道1可以由多个转辊31支撑,可以减小第一振筛下料滑道1与支撑台6之间的摩擦阻力,降低磨损,且提高第一振筛下料滑道1振动的平稳性,使得物料缓慢向下落入到石英坩埚2内以完成下料。第一振筛下料滑道1可以水平设置,或者第一振筛下料滑道1的第二端可以略低于第一端。
在具体实施中,如图3所示,第二料仓5外固定套设有固定环8,固定环8上固定连接有立柱9。第二振筛下料滑道4通过弹性结构10与立柱9连接,实现第二振筛下料滑道4悬挂在第二料仓5下方,便于振动器12带动第二振筛下料滑道4振动。第二振筛下料滑道4可以水平设置,或者第二振筛下料滑道4的第一端可以略低于第二端。
在具体实施中,如图4所示,架体11上固定连接有固定架14,固定架14上固定连接有安装环13,振动器12固定套设在安装环13内,实现振动器12与架体11的固定连接。
作为一种可能的实施方式,振动机构还包括升降组件,架体11通过升降组件与第一振筛下料滑道1活动连接。具体实施时,结合图4和图5所示,升降组件包括滑动升降连杆16和调节螺杆21。第一振筛下料滑道1上设置有第一滑槽19,具体地,第一滑槽19设置在第一振筛下料滑道1的侧壁上。滑动升降连杆16穿设在第一滑槽19内,且与架体11固定连接,实现架体11连接在第一振筛下料滑道1上。
调节螺杆21与滑动升降连杆16螺纹连接,具体地,滑动升降连杆16上设置有螺纹环17,调节螺杆21连接在螺纹环17内,以与滑动升降连杆16螺纹连接。并且,调节螺杆21与第一振筛下料滑道1转动连接,具体地,调节螺杆21穿设在第一振筛下料滑道1的底壁上。
当调节螺杆21转动时,滑动升降连杆16相对于第一振筛下料滑道1升降,以带动架体11相对于第一振筛下料滑道1升降。具体地,调节螺杆21的一端与滑动升降连杆16螺纹连接,调节螺杆21的另一端设置有转盘22,实际使用时,可以转动转盘22以驱动调节螺杆21转动。
作为一种可能的实施方式,振动机构还包括第一连接组件,架体11通过第一连接组件与第二振筛下料滑道4活动连接。具体实施时,结合图4和图6所示,第一连接组件包括连接柱15和定位部27。连接柱15固定连接在架体11上,当架体11相对于第一振筛下料滑道1上升到第一高度时,连接柱15能够插接进入第二振筛下料滑道4。具体地,连接柱15固定连接在架体11的顶壁上,第二振筛下料滑道4的底壁上设置有第一定位孔28,连接柱15能够通过第一定位孔28插接进入第二振筛下料滑道4。
定位部27活动连接在第二振筛下料滑道4上。具体地,第二振筛下料滑道4的侧壁上设置有第二定位孔33,定位部27活动连接在第二定位孔33内。定位部27能够与连接柱15活动连接。具体地,连接柱15上设置有连接孔32,定位部27插接在连接孔32内,以与连接柱15连接。
在具体实施中,如图7所示,定位部27包括第一活动连杆271、挡环272、第一弹性件273和挡块274。第一活动连杆271活动连接在第二定位孔33内,第一活动连杆271的第一端用于与连接柱15连接。挡环272和挡块274沿第一活动连杆271的延伸方向分别固定连接在第一活动连杆271上。第一弹性件273的一端与挡环272抵接,第一弹性件273的另一端与第二振筛下料滑道4的侧壁抵接。
第二定位孔33设置有卡接槽30和通槽29,当第一活动连杆271转动到第一位置时,挡块274卡接在卡接槽30内,第一弹性件273处于压缩状态,当第一活动连杆271转动到第二位置时,挡块274与通槽29对齐,第一弹性件273驱动第一活动连杆271相对于第二振筛下料滑道4移动,以使第一活动连杆271与连接柱15连接。具体地,第一活动连杆271的第二端设置有把手275,以便于转动第一活动连杆271。
前述实施方式示例了架体11通过升降组件与第一振筛下料滑道1连接,架体11通过第一连接组件与第二振筛下料滑道4连接,可以实现架体11同时与第一振筛下料滑道1和第二振筛下料滑道4连接,振动器12可以同时带动第一振筛下料滑道1和第二振筛下料滑道4振动。实际应用时,当需要运送两种不同大小的物料时,如需要运送小料块与大料块或中料块时,小料块可以由第二料仓5落入第二振筛下料滑道4,继而落入第一振筛下料滑道1,大料块或中料块可以由第一料仓3落入第一振筛下料滑道1,小料块与大料块或中料块一并由第一振筛下料滑道1落入石英坩埚2,实现两种物料复投。或者,当需要运送大料块时,为了避免大料块砸坏第一振筛下料滑道1,可以同时运送小料块,此时,小料块可以由第二料仓5落入第二振筛下料滑道4,继而落入第一振筛下料滑道1,大料块可以由第一料仓3落入第一振筛下料滑道1,小料块与大料块一并由第一振筛下料滑道1落入石英坩埚2。
在其他可能的实施方式中,振动机构还包括第二连接组件,架体11通过第二连接组件与第一振筛下料滑道1活动连接。具体实施时,结合图4和图5所示,第二连接组件包括第二活动连杆25、固定套筒24和第二弹性件23。第一振筛下料滑道1的侧壁上设置有第三定位孔34,第二活动连杆25活动连接在第三定位孔34内,第二活动连杆25的第一端用于与架体11连接。固定套筒24与第二活动连杆25的第二端活动套接,且固定套筒24固定设置在第一振筛下料滑道1内。第二弹性件23设置在固定套筒24内,第二活动连杆25的第二端与第二弹性件23抵接。
在具体实施中,架体11的侧壁上设置有第四定位孔18,当架体11相对于第一振筛下料滑道1下降到第二高度时,连接柱15与第一定位孔28分离,即架体11与第二振筛下料滑道4分离,此时,第四定位孔18可以与第三定位孔34对齐,第二活动连杆25能够插接进入第四定位孔18,以锁定架体11与第一振筛下料滑道1。
在具体实施中,第二连接组件还包括推杆26。第一振筛下料滑道1上设置有第二滑槽20,具体地,第二滑槽20设置在第一振筛下料滑道1的底壁上。推杆26穿设在第二滑槽20内,且推杆26与第二活动连杆25固定连接。当对推杆26施加远离架体11方向的推力时,第二活动连杆25随推杆26一并移动,第二弹性件23被压缩,当撤销该推力时,第二活动连杆25在第二弹性件23的驱动下可以插接进入第四定位孔18。
前述实施方式示例了架体11通过升降组件与第一振筛下料滑道1连接,架体11与第二振筛下料滑道4解除连接,架体11通过第二连接组件与第一振筛下料滑道1锁定,振动器12可以仅带动第一振筛下料滑道1振动,降低能耗。实际应用时,当需要运送小料块或中料块时,小料块或中料块可以由第一料仓3落入第一振筛下料滑道1,继而由第一振筛下料滑道1落入石英坩埚2。
本领域内的技术人员应明白,以上所述,仅为本申请的具体实施方式,但本申请的保护范围并不局限于此。显然,本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的精神和范围。这样,倘若本申请的这些修改和变型属于本申请权利要求及其等同技术的范围之内,则本申请也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种用于单晶炉的复投运料装置,其特征在于,包括第一运料机构、第二运料机构和振动机构;
所述第一运料机构包括第一料仓(3)和第一振筛下料滑道(1),所述第一料仓(3)固定设置在所述第一振筛下料滑道(1)的上方;
所述第二运料机构包括第二料仓(5)和第二振筛下料滑道(4),所述第二料仓(5)固定设置在所述第二振筛下料滑道(4)的上方,所述第二振筛下料滑道(4)位于在所述第一振筛下料滑道(1)的上方,且所述第二振筛下料滑道(4)的第一端与所述第一振筛下料滑道(1)的第一端连接;
所述振动机构包括振动器(12)和架体(11),所述振动器(12)固定设置在所述架体(11)内,所述架体(11)活动连接在所述第一振筛下料滑道(1)的第一端,且所述架体(11)位于所述第二振筛下料滑道(4)的下方,所述架体(11)与所述第二振筛下料滑道(4)的第一端活动连接。
2.根据权利要求1所述的用于单晶炉的复投运料装置,其特征在于,所述振动机构还包括升降组件,所述架体(11)通过所述升降组件与所述第一振筛下料滑道(1)活动连接;
所述升降组件包括滑动升降连杆(16)和调节螺杆(21);
所述第一振筛下料滑道(1)上设置有第一滑槽(19),所述滑动升降连杆(16)穿设在所述第一滑槽(19)内,且与所述架体(11)固定连接;
所述调节螺杆(21)与所述滑动升降连杆(16)螺纹连接,且与所述第一振筛下料滑道(1)转动连接,当所述调节螺杆(21)转动时,所述滑动升降连杆(16)相对于所述第一振筛下料滑道(1)升降,以带动所述架体(11)相对于所述第一振筛下料滑道(1)升降。
3.根据权利要求1所述的用于单晶炉的复投运料装置,其特征在于,所述振动机构还包括第一连接组件,所述架体(11)通过所述第一连接组件与所述第二振筛下料滑道(4)活动连接;
所述第一连接组件包括连接柱(15)和定位部(27);
所述连接柱(15)固定连接在所述架体(11)上,所述连接柱(15)能够插接进入所述第二振筛下料滑道(4);
所述定位部(27)活动连接在所述第二振筛下料滑道(4)上,所述定位部(27)能够与所述连接柱(15)活动连接。
4.根据权利要求3所述的用于单晶炉的复投运料装置,其特征在于,所述连接柱(15)固定连接在所述架体(11)的顶壁上;
所述第二振筛下料滑道(4)的底壁上设置有第一定位孔(28),所述连接柱(15)能够通过所述第一定位孔(28)插接进入所述第二振筛下料滑道(4)。
5.根据权利要求3或4所述的用于单晶炉的复投运料装置,其特征在于,所述第二振筛下料滑道(4)的侧壁上设置有第二定位孔(33),所述定位部(27)活动连接在所述第二定位孔(33)内。
6.根据权利要求5所述的用于单晶炉的复投运料装置,其特征在于,所述定位部(27)包括第一活动连杆(271)、挡环(272)、第一弹性件(273)和挡块(274);所述第一活动连杆(271)活动连接在所述第二定位孔(33)内,所述挡环(272)和所述挡块(274)沿所述第一活动连杆(271)的延伸方向分别固定连接在所述第一活动连杆(271)上;所述第一弹性件(273)的一端与所述挡环(272)抵接,所述第一弹性件(273)的另一端与所述第二振筛下料滑道(4)的侧壁抵接;
所述第二定位孔(33)设置有卡接槽(30)和通槽(29);当所述第一活动连杆(271)转动到第一位置时,所述挡块(274)卡接在所述卡接槽(30)内,所述第一弹性件(273)处于压缩状态,当所述第一活动连杆(271)转动到第二位置时,所述挡块(274)与所述通槽(29)对齐,所述第一弹性件(273)驱动所述第一活动连杆(271)相对于第二振筛下料滑道(4)移动,以使所述第一活动连杆(271)与所述连接柱(15)连接。
7.根据权利要求1所述的用于单晶炉的复投运料装置,其特征在于,所述振动机构还包括第二连接组件,所述架体(11)通过所述第二连接组件与所述第一振筛下料滑道(1)活动连接;
所述第二连接组件包括第二活动连杆(25)、固定套筒(24)和第二弹性件(23);所述第一振筛下料滑道(1)的侧壁上设置有第三定位孔(34),所述第二活动连杆(25)活动连接在所述第三定位孔(34)内,所述第二活动连杆(25)的第一端用于与所述架体(11)连接;所述固定套筒(24)与所述第二活动连杆(25)的第二端活动套接,且所述固定套筒(24)固定设置在所述第一振筛下料滑道(1)内;所述第二弹性件(23)设置在所述固定套筒(24)内,所述第二活动连杆(25)的第二端与所述第二弹性件(23)抵接。
8.根据权利要求7所述的用于单晶炉的复投运料装置,其特征在于,所述架体(11)的侧壁上设置有第四定位孔(18),所述第二活动连杆(25)能够插接进入所述第四定位孔(18)。
9.根据权利要求7或8所述的用于单晶炉的复投运料装置,其特征在于,所述第二连接组件还包括推杆(26);
所述第一振筛下料滑道(1)上设置有第二滑槽(20),所述推杆(26)穿设在所述第二滑槽(20)内,且与所述第二活动连杆(25)固定连接。
10.根据权利要求1所述的用于单晶炉的复投运料装置,其特征在于,所述第二料仓(5)外固定套设有固定环(8),所述固定环(8)上固定连接有立柱(9);
所述第二振筛下料滑道(4)通过弹性结构(10)与所述立柱(9)连接。
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