CN116121736A - 一种采用羰基法于粉体表面包覆金属镀层的装置及其使用方法 - Google Patents

一种采用羰基法于粉体表面包覆金属镀层的装置及其使用方法 Download PDF

Info

Publication number
CN116121736A
CN116121736A CN202310198445.4A CN202310198445A CN116121736A CN 116121736 A CN116121736 A CN 116121736A CN 202310198445 A CN202310198445 A CN 202310198445A CN 116121736 A CN116121736 A CN 116121736A
Authority
CN
China
Prior art keywords
gas
metal
bin
carbonyl
metal carbonyl
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202310198445.4A
Other languages
English (en)
Inventor
杜昊
刘德彬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Foshan Jinci Technology Co ltd
Original Assignee
Foshan Jinci Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Foshan Jinci Technology Co ltd filed Critical Foshan Jinci Technology Co ltd
Priority to CN202310198445.4A priority Critical patent/CN116121736A/zh
Publication of CN116121736A publication Critical patent/CN116121736A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/02Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition
    • C23C18/08Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of metallic material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F1/00Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
    • B22F1/17Metallic particles coated with metal
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F1/00Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
    • B22F1/18Non-metallic particles coated with metal
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/10Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working

Abstract

本发明公开了一种采用羰基法于粉体表面包覆金属镀层的装置,属于气相沉积制备包覆层装置技术领域。本发明的采用羰基法于粉体表面包覆金属镀层的装置,包括密闭仓室和位于其中心的羰基金属气体通入仓、载气罐体、羰基金属气体罐体以及与两罐体分别相联的载气和羰基金属气体回收装置、冷却液体罐体。本发明装置和方法解决了羰基法于粉体表面包覆镍、铁镀层过程中粉末有效加热以及原料循环利用问题,不仅保证了镀层的高纯度,而且工艺节能、原料利用率高,显著降低了镀层处理工艺的成本,具有批处理能力。

Description

一种采用羰基法于粉体表面包覆金属镀层的装置及其使用方法
技术领域
本发明属于气相沉积制备包覆层装置技术领域,具体涉及一种采用羰基法于粉体表面包覆金属镀层的装置及其使用方法。
背景技术
粉体包覆改性的原理是在粉体颗粒的表面上均匀地引入一种或多种其他组分的物质,通过化学反应或者物理吸附作用形成一定厚度的吸附层或单层膜,从而改变粉体的表面特性或赋予粉体新的性能。
羰基法包覆粉体是利用化学迁移反应原理,通过金属与一氧化碳反应形成挥发性羰基金属气体,然后转移并控制温度使该气体在粉体表面分解为金属与一氧化碳。羰基法包覆粉体工艺的优点是:能源消耗低、材料用量少、包覆层纯度高且品种多、自动化程度高,实际上不产生废弃物并对环境无污染。不过,一些羰基金属气体是剧毒的,只有实现完全循环利用(不排放)才能实现无污染和进一步降低成本的优势。而且,如果不能控制羰基金属气体分解在较低的温度下进行将出现碳污染问题。CO是金属羰基物的分解产物之一,已有研究结果表明,温度高于704℃时将发生歧化反应生成CO2和C,即造成了碳污染问题。一般来说,为了减轻并消除产品的碳污染程度,一定要避免分解室内产生局部高温区域。
目前最常见的羰基金属是镍和铁。二者与很多金属以及非金属都有很好的亲和性能,是被广泛采用的主要合金元素。而且,金属镍还具有较高的抗氧化、耐腐蚀能力。已知在常压和40-200℃(镍是40-100℃;铁是150-200℃)的条件下,一氧化碳可与金属镍、铁反应,生成羰基镍、羰基铁无色液体。液体被加热至50-105℃(羰基镍汽化温度为42.5℃;羰基铁是103.6℃)将汽化,进一步加热至150-300℃时又可分解为金属镍或铁和一氧化碳,其反应如下:
Ni+4CO=Ni(CO)4(液);Ni(CO)4=Ni(固)+4CO↑
Fe+5CO=Fe(CO)5(液);Fe(CO)5=Fe(固)+5CO↑
为了发挥羰基法生产的镍、铁包覆粉末中表层的镍、铁纯度高,工艺节能、节材、优质,原料利用率高,工艺可控性强,有利于大批量生产等优势,所采用设备首先需要解决粉末有效加热以及原料循环利用两个主要问题。
发明内容
本发明提供一种采用羰基法于粉体表面包覆金属镀层的装置,包括密闭仓室和位于其中心的羰基金属气体通入仓、载气罐体、羰基金属气体罐体以及与两罐体分别相联的载气和羰基金属气体回收装置、冷却液体罐体。本发明装置解决了羰基法于粉体表面包覆镍、铁镀层过程中粉末有效加热以及原料循环利用问题,不仅保证了镀层的高纯度,而且工艺节能、原料利用率高,显著降低了镀层处理工艺的成本。
本发明采用的技术方案是:
一种采用羰基法于粉体表面包覆金属镀层的装置,包括密闭仓室和位于其中心的羰基金属气体通入仓、载气罐体、羰基金属气体罐体以及与两罐体分别相联的载气和羰基金属气体回收装置、冷却液体罐体。
进一步的,所述密闭仓室由加热仓和金属气体通入仓两部分组成,所述金属气体通入仓与羰基金属气体通入仓通过羰基金属气体通入仓壁面上的气孔联通;
所述加热仓、金属气体通入仓、羰基金属气体通入仓的中轴线与密闭仓室的中轴线重合;
所述金属气体通入仓顶部设置未完全反应气体出口,并通过控制阀门与载气和羰基金属气体回收装置相连;
所述载气罐体的载气通过控制阀门通入加热仓;
所述羰基金属气体罐体的羰基金属气体通过控制阀门与载气罐体管线支路相连,并将调控至合适比例的混合气体通入羰基金属气体通入仓。
进一步的,所述加热仓位于金属气体通入仓下部,由分别固定在所述密闭仓内壁和羰基金属气体通入仓外壁的倾斜通道隔开,二者体积比例为1:1-1:2(即加热部分占整个密闭仓室部分的1/3-1/2);倾斜通道与垂直密闭仓室器壁和羰基金属气体通入仓器壁方向夹角为5°-35°;
其中,所述倾斜通道固定在所述密闭仓室器壁端较低位置,并向金属气体通入仓开口,倾斜通道和羰基金属气体通入仓器壁固定点稍高,并向加热仓开口(避免粉末回流并能在处理仓内有效循环流动)。
进一步的,所述羰基金属气体通入仓内壁均匀布置冷却液环管,冷却液环管两端通过阀门与冷却液罐体相连;在所述羰基金属气体通入仓内部分的器壁上均匀分布孔径小于所处理粉末孔径的细孔,所述细孔分布在所述羰基金属气体通入仓在所述金属气体通入仓内部分高度的1/25-2/3处。
进一步的,所述金属气体通入仓顶部靠近器壁位置设置未完全反应气体出口,并通过控制阀门与载气和羰基金属气体回收装置相联;所述载气和羰基金属气体回收装置前端管线四壁包饶导热盘管,温度由其内部流动的导热液体或气体控制在0-100℃,管线倾斜向下,用于收集获得的液化的羰基金属液体并通入相应羰基金属液体存储装置(经处理后通入羰基金属气体罐体);靠近尾端处设置载气出口并通过控制阀门与处理装置相联,用于回收载气及后续处理并通入载气罐体。
进一步的,所述加热仓内均匀分布2-4排共n个加热丝,n为8-24偶数;
所述金属气体通入仓在侧壁靠近顶部1/5-1/4处布置2-8偶数个粉体进口,通过密封法兰和控制阀门调节开闭,在侧壁靠近底部1/5-1/10处布置2-8偶数个粉体出口,通过密封法兰和控制阀门调节开闭;
所述来自载气罐体的载气经控制阀门通过一次加热装置后通入加热仓;
所述来自羰基金属气体罐体的羰基金属气体通过控制阀门与阀门控制的载气罐体管线支路相联,调控两种气体至合适比例的混合气体通入羰基金属气体通入仓。
进一步的,所述密闭仓室为包括圆柱体、长方体、正方体在内的具有轴对称形状几何体;位于其中心的羰基金属气体通入仓为圆柱体。
所述羰基金属气体为羰基镍、羰基铁气体。
所述的采用羰基法于粉体表面包覆金属镀层的装置的使用方法,包括如下步骤:
(1)装料:关闭粉体出口,打开粉体入口,将待处理粉体输运至金属气体通入仓,之后关闭粉体入口;
(2)开启加热装置:打开一次加热装置;打开加热丝控制电源,逐渐增大加热电流至设定值;
(3)通入加热用载气:预先调节由载气罐体输出的气体温度至预定羰基金属气体分解温度,打开载气控制阀门使载气进入加热仓;
(4)通入分解用羰基金属气体:打开冷却液环管两端与冷却液罐体相联阀门并控制合适流速;控制载气分支阀门及与羰基金属气体罐体连接的阀门,将羰基金属气体与载气按照合适比例混合后通入羰基金属气体通入仓;
(5)启动回收装置:打开未完全反应气体出口,控制阀门并启动载气和羰基金属气体回收装置;将导热盘管调节至合适温度,使液化的羰基金属液体快速与载气分离;
(6)逆序依次关闭载气和羰基金属气体回收装置、未完全反应气体出口、载气分支阀门及与羰基金属气体罐体连接的阀门、冷却液环管两端与冷却液罐体相联阀门、载气控制阀门和一次加热装置,打开粉体出口并取出处理后粉体。
采用上述方案后,本发明具有的有益效果是:
本发明装置和方法解决了羰基法于粉体表面包覆镍、铁镀层过程中粉末有效加热以及原料循环利用问题,不仅保证了镀层的高纯度,而且工艺节能、原料利用率高,显著降低了镀层处理工艺的成本,具有批处理能力。
附图说明
图1为本发明采用羰基法在粉体表面包覆金属镀层的装置。
具体附图标记:
1、加热仓加热载气入口;2、羰基金属气体通入仓气体入口;3、加热丝;4、分隔加热仓和金属气体通入仓的倾斜通道(放大结构见附图1左上角图);5、粉体出口;6、粉体入口;7、羰基金属气体通入仓壁细孔;8、未完全反应气体出口;9、导热盘管。
具体实施方式
以下结合实施例和附图对本发明做进一步的描述。
一种采用羰基法于粉体表面包覆镍、铁镀层的装置,包括密闭仓室(内设加热仓、金属气体通入仓、连接金属气体通入仓底部与加热仓顶部的防反流循环通道)和位于其中心的羰基金属气体通入仓、载气罐体、羰基金属气体罐体以及与两罐体分别相联的载气和羰基金属气体回收装置、冷却液体罐体;所述加热仓、金属气体通入仓、羰基金属气体通入仓的中轴线与密闭仓室的中轴线重合;所述金属气体通入仓顶部设置未完全反应气体出口并与载气和羰基金属气体回收装置相联;所述载气和羰基金属气体回收装置前端管线四壁包饶温度可控的导热盘管(流有导热液体或气体);所述金属气体通入仓的两端分别布置粉体进口(高端)和出口(低端);所述来自载气罐体的载气经一次加热装置后通过控制阀门通入加热仓;所述来自羰基金属气体罐体的羰基金属气体通过控制阀门与载气罐体支线相联,并调控合适比例的混合气体通入羰基金属气体通入仓。
具体的:
本发明的一种采用羰基法于粉体表面包覆金属镀层的装置,包括密闭仓室和位于其中心的羰基金属气体通入仓、载气罐体、羰基金属气体罐体以及与两罐体分别相联的载气和羰基金属气体回收装置、冷却液体罐体。
具体的:
所述密闭仓室由加热仓和金属气体通入仓两部分组成,所述金属气体通入仓与羰基金属气体通入仓通过羰基金属气体通入仓壁面上的气孔联通。
并且,密闭仓室为包括圆柱体、长方体、正方体在内的具有轴对称形状几何体;位于其中心的羰基金属气体通入仓为圆柱体。
所述加热仓位于金属气体通入仓下部,由分别固定在所述密闭仓内壁和羰基金属气体通入仓外壁的倾斜通道隔开,二者体积比例为1:1-1:2(即加热部分占整个密闭仓室部分的1/3-1/2);倾斜通道与垂直密闭仓室器壁和羰基金属气体通入仓器壁方向夹角为5°-35°。
其中,所述倾斜通道固定在所述密闭仓室器壁端较低位置,并向金属气体通入仓开口,倾斜通道和羰基金属气体通入仓器壁固定点稍高,并向加热仓开口(避免粉末回流并在处理仓内有效循环流动)。
所述羰基金属气体通入仓内壁均匀布置冷却液环管,冷却液环管两端通过阀门与冷却液罐体相连;在所述羰基金属气体通入仓内部分的器壁上均匀分布孔径小于所处理粉末孔径的细孔,所述细孔分布在所述羰基金属气体通入仓在所述金属气体通入仓内部分高度的1/25-2/3处。
所述加热仓、金属气体通入仓、羰基金属气体通入仓的中轴线与密闭仓室的中轴线重合;所述加热仓内均匀分布2-4排共n个加热丝,n为8-24偶数。
所述金属气体通入仓顶部设置未完全反应气体出口,并通过控制阀门与载气和羰基金属气体回收装置相连;金属气体通入仓在侧壁靠近顶部1/5-1/4处布置2-8偶数个粉体进口,在侧壁靠近底部1/5-1/10处布置2-8偶数个粉体出口,均通过密封法兰和控制阀门调节开闭。
所述金属气体通入仓顶部靠近器壁位置设置未完全反应气体出口,并通过控制阀门与载气和羰基金属气体回收装置相联;所述载气和羰基金属气体回收装置前端管线四壁包饶导热盘管,温度由其内部流动的导热液体或气体控制在0-100℃,管线倾斜向下,用于收集获得的液化的羰基金属液体并通入相应羰基金属液体存储装置(经处理后通入羰基金属气体罐体);靠近尾端处设置载气出口并通过控制阀门与处理装置相联,用于回收载气及后续处理并通入载气罐体。
所述载气罐体的载气通过控制阀门通入加热仓;所述羰基金属气体罐体的羰基金属气体通过控制阀门与载气罐体管线支路相连,并将调控至合适比例的混合气体通入羰基金属气体通入仓。
更具体的,所述载气罐体的载气经控制阀门通过一次加热装置后通入加热仓;所述羰基金属气体罐体的羰基金属气体通过控制阀门与阀门控制的载气罐体管线支路相联,调控两种气体至合适比例的混合气体通入羰基金属气体通入仓。
采用上述羰基法于粉体表面包覆金属镀层的装置的使用方法,包括如下步骤:
(1)装料:关闭粉体出口,打开粉体入口,将待处理粉体输运至金属气体通入仓,之后关闭粉体入口;
(2)开启加热装置:打开一次加热装置;打开加热丝控制电源,逐渐增大加热电流至设定值;
(3)通入加热用载气:预先调节由载气罐体输出的气体温度至预定羰基金属气体分解温度,打开载气控制阀门使载气进入加热仓;
(4)通入分解用羰基金属气体:打开冷却液环管两端与冷却液罐体相联阀门并控制合适流速;控制载气分支阀门及与羰基金属气体罐体连接的阀门,将羰基金属气体与载气按照合适比例混合后通入羰基金属气体通入仓;
(5)启动回收装置:打开未完全反应气体出口,控制阀门并启动载气和羰基金属气体回收装置;将导热盘管调节至合适温度,使液化的羰基金属液体快速与载气分离;
(6)逆序依次关闭载气和羰基金属气体回收装置、未完全反应气体出口、载气分支阀门及与羰基金属气体罐体连接的阀门、冷却液环管两端与冷却液罐体相联阀门、载气控制阀门和一次加热装置,打开粉体出口并取出处理后粉体。
以上所述是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种采用羰基法于粉体表面包覆金属镀层的装置,其特征在于:包括密闭仓室和位于其中心的羰基金属气体通入仓、载气罐体、羰基金属气体罐体以及与两罐体分别相联的载气和羰基金属气体回收装置、冷却液体罐体。
2.根据权利要求1所述的采用羰基法于粉体表面包覆金属镀层的装置,其特征在于:所述密闭仓室由加热仓和金属气体通入仓两部分组成,所述金属气体通入仓与羰基金属气体通入仓通过羰基金属气体通入仓壁面上的气孔联通;
所述加热仓、金属气体通入仓、羰基金属气体通入仓的中轴线与密闭仓室的中轴线重合;
所述金属气体通入仓顶部设置未完全反应气体出口,并通过控制阀门与载气和羰基金属气体回收装置相连;
所述载气罐体的载气通过控制阀门通入加热仓;
所述羰基金属气体罐体的羰基金属气体通过控制阀门与载气罐体管线支路相连,并将调控至合适比例的混合气体通入羰基金属气体通入仓。
3.根据权利要求2所述的采用羰基法于粉体表面包覆金属镀层的装置,其特征在于:所述加热仓位于金属气体通入仓下部,由分别固定在所述密闭仓内壁和羰基金属气体通入仓外壁的倾斜通道隔开,二者体积比例为1:1-1:2(即加热部分占整个密闭仓室部分的1/3-1/2);倾斜通道与垂直密闭仓室器壁和羰基金属气体通入仓器壁方向夹角为5°-35°;
其中,所述倾斜通道固定在所述密闭仓室器壁端较低位置,并向金属气体通入仓开口,倾斜通道和羰基金属气体通入仓器壁固定点稍高,并向加热仓开口(避免粉末回流并能在金属气体通入仓内有效循环流动)。
4.根据权利要求3所述的采用羰基法于粉体表面包覆金属镀层的装置,其特征在于:所述羰基金属气体通入仓内壁均匀布置冷却液环管,冷却液环管两端通过阀门与冷却液罐体相连;在所述羰基金属气体通入仓内部分的器壁上均匀分布孔径小于所处理粉末孔径的细孔,所述细孔分布在所述羰基金属气体通入仓在所述金属气体通入仓内部分高度的1/25-2/3处。
5.根据权利要求4所述的采用羰基法于粉体表面包覆金属镀层的装置,其特征在于:所述金属气体通入仓顶部靠近器壁位置设置未完全反应气体出口,并通过控制阀门与载气和羰基金属气体回收装置相联;所述载气和羰基金属气体回收装置前端管线四壁包饶导热盘管,温度由其内部流动的导热液体或气体控制在0-100℃,管线倾斜向下,用于收集获得的液化的羰基金属液体并通入相应羰基金属液体存储装置(经处理后通入羰基金属气体罐体);靠近尾端处设置载气出口并通过控制阀门与处理装置相联,用于回收载气及后续处理并通入载气罐体。
6.根据权利要求5所述的采用羰基法于粉体表面包覆金属镀层的装置,其特征在于:所述加热仓内均匀分布2-4排共n个加热丝,n为8-24偶数;
所述金属气体通入仓在侧壁靠近顶部1/5-1/4处布置2-8偶数个粉体进口,通过密封法兰和控制阀门调节开闭,在侧壁靠近底部1/5-1/10处布置2-8偶数个粉体出口,通过密封法兰和控制阀门调节开闭;
所述载气罐体的载气经控制阀门通过一次加热装置后通入加热仓;
所述羰基金属气体罐体的羰基金属气体通过控制阀门与阀门控制的载气罐体管线支路相联,调控两种气体至合适比例的混合气体通入羰基金属气体通入仓。
7.根据权利要求6所述的采用羰基法于粉体表面包覆金属镀层的装置,其特征在于:所述密闭仓室为包括圆柱体、长方体、正方体在内的具有轴对称形状几何体;位于其中心的羰基金属气体通入仓为圆柱体。
8.根据权利要求7所述的采用羰基法于粉体表面包覆金属镀层的装置的使用方法,其特征在于:包括如下步骤:
(1)装料:关闭粉体出口,打开粉体入口,将待处理粉体输运至金属气体通入仓,之后关闭粉体入口;
(2)开启加热装置:打开一次加热装置;打开加热丝控制电源,逐渐增大加热电流至设定值;
(3)通入加热用载气:预先调节由载气罐体输出的气体温度至预定羰基金属气体分解温度,打开载气控制阀门使载气进入加热仓;
(4)通入分解用羰基金属气体:打开冷却液环管两端与冷却液罐体相联阀门并控制合适流速;控制载气分支阀门及与羰基金属气体罐体连接的阀门,将羰基金属气体与载气按照合适比例混合后通入羰基金属气体通入仓;
(5)启动回收装置:打开未完全反应气体出口,控制阀门并启动载气和羰基金属气体回收装置;将导热盘管调节至合适温度,使液化的羰基金属液体快速与载气分离;
(6)逆序依次关闭载气和羰基金属气体回收装置、未完全反应气体出口、载气分支阀门及与羰基金属气体罐体连接的阀门、冷却液环管两端与冷却液罐体相联阀门、载气控制阀门和一次加热装置,打开粉体出口并取出处理后粉体。
CN202310198445.4A 2023-03-03 2023-03-03 一种采用羰基法于粉体表面包覆金属镀层的装置及其使用方法 Pending CN116121736A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202310198445.4A CN116121736A (zh) 2023-03-03 2023-03-03 一种采用羰基法于粉体表面包覆金属镀层的装置及其使用方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202310198445.4A CN116121736A (zh) 2023-03-03 2023-03-03 一种采用羰基法于粉体表面包覆金属镀层的装置及其使用方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN116121736A true CN116121736A (zh) 2023-05-16

Family

ID=86311840

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202310198445.4A Pending CN116121736A (zh) 2023-03-03 2023-03-03 一种采用羰基法于粉体表面包覆金属镀层的装置及其使用方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN116121736A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117070913A (zh) * 2023-10-12 2023-11-17 广州航海学院 一种多孔金属的表面包覆装置及其使用方法和应用

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117070913A (zh) * 2023-10-12 2023-11-17 广州航海学院 一种多孔金属的表面包覆装置及其使用方法和应用
CN117070913B (zh) * 2023-10-12 2024-01-26 广州航海学院 一种多孔金属的表面包覆装置及其使用方法和应用

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN116121736A (zh) 一种采用羰基法于粉体表面包覆金属镀层的装置及其使用方法
CN105951058B (zh) 一种基于流化床的纳米颗粒空间隔离原子层沉积设备及方法
JPS62158874A (ja) 薄膜多層構造の形成方法
JP5905958B2 (ja) 固体プロセスバルブ
CN203174200U (zh) 等离子体增强原子层沉积设备
CN202090045U (zh) 一种处理制备cigs太阳能电池吸收层的硒化炉
CN103343331A (zh) 化学气相沉积反应的装置
CN109609931A (zh) 原子层沉积装置及方法
CN102502745B (zh) 一种纳米氧化铝粉体的制造装置
CN205856602U (zh) 一种高效节能式硒化锌气相沉积炉
CN113912008B (zh) 一种焦炉煤气的变压吸附制氢方法
CN115743846B (zh) 一种固态前驱体源瓶及其使用方法
CN212673860U (zh) 正极材料气氛炉氧气回收系统
CN109628909A (zh) 一种制备Co-Re合金涂层的化学气相沉积方法
CN102978582B (zh) 一种纯钨毛细管的生产装置
CN113046728B (zh) 一种适用于粉末样品的原子层沉积装置、沉积方法
CN109775690A (zh) 一种连续制备碳纳米管阵列的方法
KR101625195B1 (ko) 다공성 그래핀 필터의 제조 방법, 이를 이용하여 제조된 다공성 그래핀 필터 및 이를 이용한 필터 장치
CN111383886B (zh) 防刻蚀气体供应管道腐蚀的系统及等离子反应器运行方法
CN110343555A (zh) 一种液态合金催化裂解生物质制备高氢燃气的方法与系统
CN220669195U (zh) 一种用于原子层沉积设备的前驱体输运管路结构
CN219174455U (zh) 一种高炉煤气防结露干法脱硫装置
CN107740066A (zh) 一种高纯气瓶内壁mocvd镀镍装置及方法
CN115465840B (zh) 一种高纯金属硫化物及其制备方法和应用
CN114349052B (zh) 一种连续微球气相碳包覆生产工艺

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination