CN116047699A - 一种光学二维精密调节机构 - Google Patents

Abstract

一种光学二维精密调节机构，包括：基座、第一方向调节组件和第二方向调节组件；第一方向调节组件沿第一方向可往复移动的设置于基座上；第二方向调节组件套设于第一方向调节组件上，并相对于第一方向调节组件且沿垂直于第一方向的第二方向往复移动；第一方向调节组件的操作面和第二方向调节组件的操作面均位于基座的同一个操作面上，以基于基座的同一个操作面对第一方向调节组件和第二方向调节组件进行操作，使得，基于基座的同一个操作面对第二方向调节组件上设置的待调节光学元件进行第一方向和第二方向的平移调节。在狭小的操作空间内通过一个操作方位对光学元件等设备进行二维平移调节，且在二维调整过程中不存在干涉现象，调节时耦合较小。

Description

一种光学二维精密调节机构

技术领域

本发明涉及光刻机技术领域，具体涉及一种光学二维精密调节机构。

背景技术

自由光瞳照明系统中空间狭小，镜组较多，各个镜组之间的位置精度要求高。当各个透镜组在光路系统中安装完成后，机械加工精度满足不了各个镜组之间的同轴要求，因此需要进行各个镜组之间的同轴调整。

关于光学元件的二维平移调整，有如下现有技术：

如CN213957707U公开的一种光学调整架二维精密调整装置，包括底部设置有限位固定框的装置本体，且限位固定框前后壁中间下部通过轴承固定安装有前后方向的前后螺纹杆；所述前后螺纹杆中间外部固定安装有左右方向的前后调节块，且前后螺纹杆前后端部均限位套装并通过螺栓固定安装有调节转动钮；所述限位固定框左右两侧壁顶部端面内侧中间均从上向下插入安装有上下方向的限位防脱块，且限位防脱块之间上部通过轴承固定安装有左右方向的左右螺纹杆。此方案能够实现光学件的二维平移调整。但是其前后左右螺纹杆需要四个方位进行调节，同时其螺纹杆占用了中心位置，此方案需要的操作空间较大。

如CN212947376U公开的一种透镜平面调整机构，包括透镜、透镜座和壳体，透镜安装在透镜座中，透镜座可移动安装在壳体中，壳体上安装有移动组件和锁定结构；移动组件包括导轨块、定位结构和推动结构，透镜座与导轨块连接，透镜座通过导轨块活动安装在壳体上，推动结构作用于透镜座，定位结构与推动结构配合对透镜座进行平面定位；锁定结构锁定导轨块和壳体。该方案实现了透镜在平面内精确的移动。但其调整方位分别在X、Y两个方位调整，这种结构也需要较大的操作空间。

由于自由光瞳照明系统光学系统较长，空间较小，只有一个方位可以进行操作，而现有的光学设备之间的位置调整绝大部分都是依靠调整螺杆在X、Y两个方向进行调整，这种结构需要的空间比较大，而且操作的空间也比较大，同时两个方向调整时会产生相互影响，可靠性和实用性不高，且在精度较高的照明系统中调整时需要反复调整。

发明内容

针对光刻机照明系统空间狭小，不能从各方位对光刻机照明系统中光学元件的空间位置进行调节的问题，本申请提供一种光学二维精密调节机构，在狭小的操作空间内实现通过一个操作方位对光学元件等设备进行二维平移调节。

本发明提供的技术方案如下：

本发明提供一种光学二维精密调节机构，所述光学二维精密调节机构用于在光刻机照明系统中通过一个操作面对待调节光学元件进行二维平移调节，所述光学二维精密调节机构包括：基座、第一方向调节组件和第二方向调节组件；

所述第一方向调节组件沿第一方向可往复移动的设置于所述基座上；

所述第二方向调节组件套设于所述第一方向调节组件上，并相对于所述第一方向调节组件且沿垂直于所述第一方向的第二方向往复移动；

所述第一方向调节组件的操作面和第二方向调节组件的操作面均位于所述基座的同一个操作面上，以基于所述基座的同一个操作面对所述第一方向调节组件和第二方向调节组件进行操作，使得，基于所述基座的同一个操作面对所述第二方向调节组件上设置的待调节光学元件进行第一方向和第二方向的平移调节。

进一步优选的，所述基座包括：支撑板、沿所述支撑板一邻接两边设置的固定板和操作板；

所述固定板和操作板相互垂直，所述第一方向为垂直于所述固定板的方向，所述第二方向为垂直于所述操作板的方向；

所述第一方向调节组件分别与所述支撑板、固定板和操作板适配安装，所述第一方向调节组件相对于所述支撑板沿第一方向往复移动；

所述第二方向调节组件套设于所述第一方向调节组件上，所述套设使所述第一方向调节组件沿第一方向往复移动时带动所述第二方向调节组件沿第一方向往复移动，及使所述第二方向调节组件相对于所述第一方向调节组件沿垂直于所述第一方向的第二方向往复移动；

所述第一方向调节组件的操作面和所述第二方向调节组件的操作面均位于所述操作板上，使得，基于同一所述操作板对所述第一方向调节组件和第二方向调节组件进行操作。

进一步优选的，所述第一方向调节组件包括：第一调节支架、第一弹性部、第一驱动部和第一调节键；

所述第一调节支架设置于所述支撑板上；

所述第一弹性部、第一驱动部和第一调节键配合所述第一调节支架设置于所述支撑板、固定板、操作板上，所述配合使所述第一调节支架沿第一方向往复移动，其中：

所述第一弹性部的一端固定设置于所述固定板上，另一端限位于所述第一调节支架的一侧面；

所述第一驱动部与所述第一弹性部相对，位于所述第一调节支架的另一侧面并设置于所述支撑板上；

所述第一调节键设置于所述操作板上并与所述第一驱动部连接。

进一步优选的，所述第一驱动部包括连杆和凸轮；

所述凸轮设置于所述支撑板上，所述凸轮的边缘与所述第一调节支架的侧面接触；

所述连杆一端与所述凸轮连接，另一端与所述第一调节键连接；

所述第一调节键驱动所述连杆带动所述凸轮朝第一预设方向旋转时，所述凸轮驱动所述第一调节支架朝向所述第一弹性部移动；所述第一调节键驱动所述连杆带动所述凸轮朝第二预设方向旋转时，所述第一弹性部驱动所述第一调节支架朝向所述凸轮移动。

进一步优选的，所述第一驱动部还包括限位销，所述限位销相对所述凸轮设置于所述支撑板上，用于对所述凸轮的旋转角度进行限位。

进一步优选的，所述第一调节组件还包括用于引导所述第一调节支架沿第一方向往复移动的第一导向销，所述第一导向销固定于所述支撑板上，所述第一调节支架沿第一方向开设有与所述第一导向销匹配的第一导向槽，所述匹配使所述第一导向销在所述第一导向槽内引导所述第一调节支架沿第一方向往复移动，及在除第一方向之外的其他方向上对所述第一调节支架进行限位。

进一步优选的，所述第二方向调节组件包括：第二调节支架、第二弹性部和第二驱动部；

所述第二调节支架套设于所述第一调节支架上，且所述第二调节支架相对于所述第一调节支架上的所述第一驱动部和第一弹性部的安装位置分别留有相应的空缺位，以使所述第一驱动部和第一弹性部通过相应的空缺位与所述第一调节支架配合安装；

所述第二弹性部和第二驱动部配合所述第二调节支架设置，所述配合使所述第二调节支架沿第二方向往复移动，其中：

所述第二驱动部为调节螺杆，所述第二调节支架设有与所述调节螺杆匹配的螺纹孔，所述调节螺杆的一端设置于所述操作板上，另一端贯穿所述螺纹孔伸向所述第一调节支架；

所述第二弹性部与所述调节螺杆相对，固定设置于所述第二调节支架的侧面上，所述第二弹性部的另一端限位于所述第一调节支架的侧面上；

所述调节螺杆朝第一预设方向螺旋运动时，驱动所述第二调节支架朝向所述第二弹性部移动；所述调节螺杆朝第二预设方向螺旋运动时，所述第二弹性部驱动所述第二调节支架朝向所述调节螺杆移动。

进一步优选的，所述第二调节组件还包括用于引导所述第二调节支架沿第二方向往复移动的第二导向销，所述第二导向销的一端固定于所述第二调节支架的底部，另一端伸向所述第一调节支架，所述第一调节支架沿第二方向开设有与所述第二导向销匹配的第二导向槽，所述匹配使所述第二导向销伸向所述第二导向槽内引导所述第二调节支架沿第二方向往复移动，及在除第二方向之外的其他方向上对所述第二调节支架进行限位。

进一步优选的，所述第二调节支架沿第二方向的横截面呈匚型，所述第一调节支架沿第二方向的横截面呈几字型。

进一步优选的，所述第一调节支架的顶部和第二调节支架的顶部分别开设有用于容置待调节光学元件的容置口。

依据上述实施例的光学二维精密调节机构，由于将第一方向调节组件的操作面和第二方向调节组件的操作面均设于基座的同一面上，以基于基座的同一面对第一方向调节组件和第二方向调节组件进行操作，使得，基于基座的同一面对第二方向调节组件上设置的待调节光学元件进行第一方向和第二方向的平移调节，以实现在狭小的操作空间内通过一个操作方位对光学元件等设备进行二维平移调节。

进一步，通过第一方向调节组件、第二方向调节组件以及基座的结构配合设计，通过导向销不仅可以对第一方向调节组件和第二方向调节组件的移动进行导向，还能对第一方向调节组件和第二方向调节组件的其他移动方向进行限位，使得，在二维调整过程中第一方向调节组件和第二方向调节组件之间不存在干涉现象，调节时耦合较小。

进一步，通过一个操作方位对光学元件等设备进行二维平移调节，与现有多个操作方位对光学元件进行调节相比，一个操作方位在调整过程中没有调整间隙，调整精度高，可靠性好，导向性好。

附图说明

图1为光学二维精密调节机构示意图；

图2为基座示意图；

图3为第一方向调节组件与基座配合安装示意图；

图4为图3的另一方位示意图；

图5为第一方向调节组件导向示意图；

图6为第二方向调节组件装配示意图；

图7为第二方向调节组件导向示意图；

图8为第二调节支架示意图；

图9为第一调节支架示意图；

图10为光学二维精密调节机构使用状态示意图。

具体实施方式

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本发明的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。

因光刻机自由光瞳照明系统空间狭小，只有一个方位可以进行操作，而现有的光学设备之间的位置调整绝大部分都是在X、Y两个方向进行调整，基于此，本实施例提供一种光学二维精密调节机构，该光学二维精密调节机构能够在光刻机照明系统的狭小操作空间内实现通过一个操作面对光学元件等设备进行二维平移调节。

如图1所示，本实施例提供的光学二维精密调节机构包括：基座100、第一方向调节组件200和第二方向调节组件300，第一方向调节组件200沿第一方向可往复移动的设置于基座100上；第二方向调节组件300套设于第一方向调节组件200上，并相对于第一方向调节组件200且沿垂直于第一方向的第二方向往复移动；第一方向调节组件200的操作面和第二方向调节组件300的操作面均位于基座100的同一个操作面上，以基于基座100的同一个操作面对第一方向调节组件200和第二方向调节组件300进行操作，使得，基于基座100的同一个操作面对第二方向调节组件300上设置的待调节光学元件进行第一方向和第二方向的平移调节。

本实施例通过设计基座100、第一方向调节组件200和第二方向调节组件300之间的结构配合，使第一方向调节组件200和第二方向调节组件300的操作面均位于基座100的同一个操作面上，以实现基于基座100的同一个操作面对光学元件进行二维平移调节，下面对基座100、第一方向调节组件200及第二方向调节组件300的具体结构及相互之间的配合进行具体描述。

如图2所示，基座100包括：支撑板101、沿支撑板101一邻接两边设置的固定板102和操作板103，支撑板101的另一邻接两边为空缺，以使光学二维精密调节机构通过该空缺与光刻机自由光瞳照明系统中的光路相配合工作，以及与光刻机整机相配合工作；例如，通过固定板102将光学二维精密调节机构安装于自由光瞳照明系统的相应位置片，该光学二维精密调节机构通过基座100的一空缺处与自由光瞳照明系统的光路相通，以使自由光瞳照明系统光路中的光束射入光学二维精密调节机构所调节的光学元件上，而通过另一空缺处与光刻机的整机部分相通。

在描述第一方向调节组件200和第二方向调节组件300之前，先对第一方向和第二方向进行解释说明：第一方向可以是X方向也可以是Y方向，第二方向可以是Y方向也可以是X方向，总之，第一方向与第二方向是相互垂直的两个方向；而为了方便清楚地描述第一方向调节组件200和第二方向调节组件300，本实施例中的第一方向是Y方向，第二方向是X方向，请继续参数图2，固定板102和操作板103相互垂直，第一方向为垂直于固定板102的方向，第二方向为垂直于操作板103的方向；本实施例的光学二维精密调节机构就是实现在操作板103的一面对光学元件进行X方向和Y方向的平移调节。

基于基座100的结构设计，第一方向调节组件200与基座100的配合安装方式是：如图3和图4所示，第一方向调节组件200分别与支撑板101、固定板102和操作板103适配安装，第一方向调节组件200相对于支撑板101沿第一方向往复移动；具体的：第一方向调节组件200包括：第一调节支架201、第一弹性部202、第一驱动部203和第一调节键204；第一调节支架201设置于支撑板101上；第一弹性部202、第一驱动部203和第一调节键204配合第一调节支架201设置于支撑板101、固定板102、操作板103上，该配合使第一调节支架201沿第一方向往复移动，其中：

第一弹性部202的一端固定设置于固定板102上，另一端限位于第一调节支架201的一侧面；

第一驱动部203与第一弹性部202相对，位于第一调节支架201的另一侧面并设置于支撑板101上；

第一调节键204设置于操作板103上并与第一驱动部203连接。

进一步优选的，第一驱动部203包括连杆2031和凸轮2032；

凸轮2032设置于支撑板101上，凸轮2032的边缘与第一调节支架201的侧面接触；

连杆2031一端与凸轮2032连接，另一端与第一调节键204连接；

第一调节键204驱动连杆2031带动凸轮2032朝第一预设方向旋转时，凸轮2032驱动第一调节支架201朝向第一弹性部202移动；第一调节键204驱动连杆2031带动凸轮2032朝第二预设方向旋转时，第一弹性部202驱动第一调节支架201朝向凸轮2032移动。

请继续参考图4，在本实施例中，连杆2031为联动的两连杆结构，凸轮2032设有限位槽，进一步，第一驱动部203还包括限位销2033，限位销2033位于凸轮2032的限位槽内并设置于支撑板101上，用于对凸轮2032的旋转角度进行限位，例如，限位销2033将凸轮2032的旋转角度限定为60°范围内、80°范围内。限位销2033限制凸轮2032的转动角度，避免凸轮2032出现死点和反方向转动，保证调整过程的连续性，同避免出现间隙。

在本实施例中，第一调节键204可以是手轮，手轮设置于操作板103上，通过调节手轮驱动第一调节支架201在Y方向上移动，具体的，通过调节手轮的转动使连杆2031前后移动，带动凸轮2032转动；凸轮2032外边缘与第一调节支架201紧密接触，凸轮2032逆时针转动时压紧第一调节支架201，使第一调节支架201沿Y向朝第一弹性部202的方向运动，当凸轮2032顺时针转动时，在第一弹性部202的压力下第一调节支架201朝凸轮2032的方向运动。

进一步，为了使第一调节支架201在自由光瞳照明系统的狭小空间内顺利移动，如图5所示，第一调节组件200还包括用于引导第一调节支架201沿第一方向往复移动的第一导向销205，第一导向销205固定于支撑板101上，第一调节支架沿201第一方向开设有与第一导向销205匹配的第一导向槽2011，该匹配使第一导向销205在第一导向槽2011内引导第一调节支架201沿第一方向往复移动，及在除第一方向之外的其他方向上对第一调节支架201进行限位；例如，第一导向销205在第一导向槽2011内引导第一调节支架201沿Y方向往复移动，而在X方向上对第一调节支架201限位。

第二方向调节组件300的具体安装方式是：如图6所示，第二方向调节组件300套设于第一方向调节组件200上，该套设使第一方向调节组件200沿第一方向往复移动时带动第二方向调节组件300沿第一方向往复移动，及使第二方向调节组件300相对于第一方向调节组件200沿垂直于第一方向的第二方向往复移动；

具体的，第二方向调节组件300包括：第二调节支架301、第二弹性部302和第二驱动部303；

第二调节支架301套设于第一调节支架201上，且第二调节支架301相对于第一调节支架201上的第一驱动部203和第一弹性部202的安装位置分别留有相应的空缺位，以使第一驱动部203和第一弹性部202通过相应的空缺位与第一调节支架201配合安装；

第二弹性部302和第二驱动部303配合第二调节支架301设置，该配合使第二调节支架301沿第二方向往复移动，其中：

第二驱动部302为调节螺杆，第二调节支架301设有与调节螺杆匹配的螺纹孔，调节螺杆的一端设置于操作板103上，另一端贯穿螺纹孔伸向第一调节支架201；

第二弹性部302与调节螺杆相对，固定设置于第二调节支架301的侧面上，第二弹性部302的另一端限位于第一调节支架201的侧面上；

调节螺杆朝第一预设方向螺旋运动时，驱动第二调节支架301朝向第二弹性部302移动；调节螺杆朝第二预设方向螺旋运动时，第二弹性部302驱动第二调节支架301朝向调节螺杆移动。例如，逆时针旋转调节螺杆时，第二调节支架301朝向第二弹性部302移动，而顺时针旋转调节螺杆时，第二调节支架301朝向调节螺杆移动。

由图3和图6可知，第一调节支架201在第一驱动部203释放驱动力的情况下通过第一弹性部202施加的压力进行反向平移，及第二调节支架301在第二驱动部303释放驱动力的情况下通过第二弹性部302施加的压力进行反向平移，在本实施例中，第一弹性部202和第二弹性部302具体选为压簧，第一调节支架201和第二调节支架301分别通过相应压簧的压力进行反向平移。

进一步，为了使第二调节支架301在自由光瞳照明系统的狭小空间内顺利移动，如图7所示，第二调节组件300还包括用于引导第二调节支架301沿第二方向往复移动的第二导向销304，第二导向销304的一端固定于第二调节支架301的底部，另一端伸向第一调节支架201，第一调节支架201沿第二方向开设有与第二导向销304匹配的第二导向槽2012，该匹配使第二导向销304伸向第二导向槽2012内引导第二调节支架301沿第二方向往复移动，及在除第二方向之外的其他方向上对第二调节支架302进行限位。例如，第二导向销304在第二导向槽2012内引导第二调节支架301沿X方向往复移动，而在Y方向上对第二调节支架301限位。

在本实施例中，通过设计第一调节支架201和第二调节支架301的配合结构，并通过引入第一导向销205和第二导向销304，使第一调节支架201沿第一方向移动时，通过第二导向销304对第二调节支架301的限位带动第二调节支架301一起沿第一方向移动，及第二调节支架301沿第二方向移动时，通过第一导向销205对第一调节支架201的限位，仅有第二调节支架301沿第二方向移动，例如，第一调节支架201沿Y方向移动的同时通过第二导向销304带动第二调节支架201也沿Y方向移动，而当第二调节支架301沿X方向移动时，因第一调节支架201设置有第二导向槽2012，第二调节支架301沿该第二导向槽2012移动，所以，第一调节支架201是静止的。也即是，通过第一导向销205和第二导向销304的配合，能够实现二维调整过程中第一调节支架201和第二调节支架301之间不存在干涉现象，调整时耦合较小。

第二调节支架301套设于第一调节支架201，且第一调节支架201平移时带动第二调节支架301平移，而第二调节支架301平移时，第一调节支架201是处于静止的，基于此，本实施例对第一调节支架301和第二调节支架201的结构进行了匹配设计，其中，第二调节支架301沿第二方向的横截面呈匚型结构，第一调节支架201沿第二方向的横截面呈几字型结构，第二调节支架301的结构外型如图8所示，第一调节支架301的结构外型如图9所示，第二调节支架301套设于第一调节支架201的结构图请参考图7。

进一步，为了能够安装待调节光学元件，第一调节支架201的顶部和第二调节支架301的顶部分别开设有用于容置待调节光学元件的容置口；优选的，为了能够适应安装不同高度的待调节光学元件，支撑板101也开设有相应的容置口，以使待调节光学元件通过容置口伸入支撑板101的下方。

根据实际应用，将待调节光学元件400安装于第二调节支架301的顶部，安装后的结构图如图10所示，由于第一方向调节组件200的第一调节键204和第二方向调节组件300的第二驱动部303均位于操作板103上，使得，基于同一操作板103对第一方向调节组件200和第二方向调节组件300进行操作，以实现在同一面对待调节光学元件400进行二维平移调节。

本实施例提供的光学二维精密调节机构，由于将第一方向调节组件的操作面和第二方向调节组件的操作面均设于基座的同一面上，以基于基座的同一面对第一方向调节组件和第二方向调节组件进行操作，使得，基于基座的同一面对第二方向调节组件上设置的待调节光学元件进行第一方向和第二方向的平移调节，以实现在狭小的操作空间内通过一个操作方位对光学元件等设备进行二维平移调节。

进一步，通过第一方向调节组件、第二方向调节组件以及基座的结构配合设计，通过导向销不仅可以对第一方向调节组件和第二方向调节组件的移动进行导向，还能对第一方向调节组件和第二方向调节组件的其他移动方向进行限位，使得，在二维调整过程中第一方向调节组件和第二方向调节组件之间不存在干涉现象，调节时耦合较小。

进一步，通过一个操作方位对光学元件等设备进行二维平移调节，与现有多个操作方位对光学元件进行调节相比，一个操作方位在调整过程中没有调整间隙，调整精度高，可靠性好，导向性好。

以上应用了具体个例对本发明进行阐述，只是用于帮助理解本发明，并不用以限制本发明。对于本发明所属技术领域的技术人员，依据本发明的思想，还可以做出若干简单推演、变形或替换。

Claims (10)

1.一种光学二维精密调节机构，其特征在于，所述光学二维精密调节机构用于在光刻机照明系统中通过一个操作面对待调节光学元件进行二维平移调节，所述光学二维精密调节机构包括：基座、第一方向调节组件和第二方向调节组件；

所述第一方向调节组件沿第一方向可往复移动的设置于所述基座上；

所述第二方向调节组件套设于所述第一方向调节组件上，并相对于所述第一方向调节组件且沿垂直于所述第一方向的第二方向往复移动；

所述第一方向调节组件的操作面和第二方向调节组件的操作面均位于所述基座的同一个操作面上，以基于所述基座的同一个操作面对所述第一方向调节组件和第二方向调节组件进行操作，使得，基于所述基座的同一个操作面对所述第二方向调节组件上设置的待调节光学元件进行第一方向和第二方向的平移调节。

2.如权利要求1所述的光学二维精密调节机构，其特征在于，所述基座包括：支撑板、沿所述支撑板一邻接两边设置的固定板和操作板；

所述固定板和操作板相互垂直，所述第一方向为垂直于所述固定板的方向，所述第二方向为垂直于所述操作板的方向；

所述第一方向调节组件分别与所述支撑板、固定板和操作板适配安装，所述第一方向调节组件相对于所述支撑板沿第一方向往复移动；

所述第二方向调节组件套设于所述第一方向调节组件上，所述套设使所述第一方向调节组件沿第一方向往复移动时带动所述第二方向调节组件沿第一方向往复移动，及使所述第二方向调节组件相对于所述第一方向调节组件沿垂直于所述第一方向的第二方向往复移动；

所述第一方向调节组件的操作面和所述第二方向调节组件的操作面均位于所述操作板上，使得，基于同一所述操作板对所述第一方向调节组件和第二方向调节组件进行操作。

3.如权利要求2所述的光学二维精密调节机构，其特征在于，所述第一方向调节组件包括：第一调节支架、第一弹性部、第一驱动部和第一调节键；

所述第一调节支架设置于所述支撑板上；

所述第一弹性部、第一驱动部和第一调节键配合所述第一调节支架设置于所述支撑板、固定板、操作板上，所述配合使所述第一调节支架沿第一方向往复移动，其中：

所述第一弹性部的一端固定设置于所述固定板上，另一端限位于所述第一调节支架的一侧面；

所述第一驱动部与所述第一弹性部相对，位于所述第一调节支架的另一侧面并设置于所述支撑板上；

所述第一调节键设置于所述操作板上并与所述第一驱动部连接。

4.如权利要求3所述的光学二维精密调节机构，其特征在于，所述第一驱动部包括连杆和凸轮；

所述凸轮设置于所述支撑板上，所述凸轮的边缘与所述第一调节支架的侧面接触；

所述连杆一端与所述凸轮连接，另一端与所述第一调节键连接；

所述第一调节键驱动所述连杆带动所述凸轮朝第一预设方向旋转时，所述凸轮驱动所述第一调节支架朝向所述第一弹性部移动；所述第一调节键驱动所述连杆带动所述凸轮朝第二预设方向旋转时，所述第一弹性部驱动所述第一调节支架朝向所述凸轮移动。

5.如权利要求4所述的光学二维精密调节机构，其特征在于，所述第一驱动部还包括限位销，所述限位销相对所述凸轮设置于所述支撑板上，用于对所述凸轮的旋转角度进行限位。

6.如权利要求3所述的光学二维精密调节机构，其特征在于，所述第一调节组件还包括用于引导所述第一调节支架沿第一方向往复移动的第一导向销，所述第一导向销固定于所述支撑板上，所述第一调节支架沿第一方向开设有与所述第一导向销匹配的第一导向槽，所述匹配使所述第一导向销在所述第一导向槽内引导所述第一调节支架沿第一方向往复移动，及在除第一方向之外的其他方向上对所述第一调节支架进行限位。

7.如权利要求3所述的光学二维精密调节机构，其特征在于，所述第二方向调节组件包括：第二调节支架、第二弹性部和第二驱动部；

所述第二调节支架套设于所述第一调节支架上，且所述第二调节支架相对于所述第一调节支架上的所述第一驱动部和第一弹性部的安装位置分别留有相应的空缺位，以使所述第一驱动部和第一弹性部通过相应的空缺位与所述第一调节支架配合安装；

所述第二弹性部和第二驱动部配合所述第二调节支架设置，所述配合使所述第二调节支架沿第二方向往复移动，其中：

所述第二驱动部为调节螺杆，所述第二调节支架设有与所述调节螺杆匹配的螺纹孔，所述调节螺杆的一端设置于所述操作板上，另一端贯穿所述螺纹孔伸向所述第一调节支架；

所述第二弹性部与所述调节螺杆相对，固定设置于所述第二调节支架的侧面上，所述第二弹性部的另一端限位于所述第一调节支架的侧面上；

所述调节螺杆朝第一预设方向螺旋运动时，驱动所述第二调节支架朝向所述第二弹性部移动；所述调节螺杆朝第二预设方向螺旋运动时，所述第二弹性部驱动所述第二调节支架朝向所述调节螺杆移动。

8.如权利要求7所述的光学二维精密调节机构，其特征在于，所述第二调节组件还包括用于引导所述第二调节支架沿第二方向往复移动的第二导向销，所述第二导向销的一端固定于所述第二调节支架的底部，另一端伸向所述第一调节支架，所述第一调节支架沿第二方向开设有与所述第二导向销匹配的第二导向槽，所述匹配使所述第二导向销伸向所述第二导向槽内引导所述第二调节支架沿第二方向往复移动，及在除第二方向之外的其他方向上对所述第二调节支架进行限位。

9.如权利要求7所述的光学二维精密调节机构，其特征在于，所述第二调节支架沿第二方向的横截面呈匚型，所述第一调节支架沿第二方向的横截面呈几字型。

10.如权利要求7所述的光学二维精密调节机构，其特征在于，所述第一调节支架的顶部和第二调节支架的顶部分别开设有用于容置待调节光学元件的容置口。

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