CN108946135B - 一种旋转式芯片吸取装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种旋转式芯片吸取装置，包括吸取杆、用于驱动吸取杆转动的旋转驱动机构以及用于驱动吸取杆做竖向运动的竖向驱动机构，所述旋转驱动机构包括安装座以及设置在安装座上的旋转驱动电机，其中，所述吸取杆转动连接在所述安装座上，所述旋转驱动电机的主轴与所述吸取杆连接。本发明的旋转式芯片吸取装置不仅可以带动芯片作竖向运动，而且还可以带动芯片作旋转运动，实现芯片的姿态调整。

Description

一种旋转式芯片吸取装置

技术领域

本发明涉及一种芯片加工设备，具体涉及一种旋转式芯片吸取装置。

背景技术

芯片作为电子类产品的核心部件，广泛地应用于物联网、智能卡等领域。其中，芯片的生产加工大都呈流水线式进行，该流水线上分布有检测工位、烧录工位、激光打码等多个加工工位，且相邻的两个加工工位之间都对应地设有芯片搬运装置，工作时，由该芯片搬运装置来负责芯片在相邻的两个加工工位之间的转移任务。

由于芯片的体积小，重量轻，因此在芯片的加工过程中，通常都要使用到吸取机构对芯片进行吸取和搬运。例如授权公告号为CN104835768的发明专利公开了“一种智能卡芯片搬运装置”，所述智能卡芯片搬运装置包括机架、芯片吸取机构和带动芯片吸取机构在X轴、Y轴以及Z轴上移动的移动机构，所述芯片吸取机构包括吸头、与吸头连接的真空装置以及用于安装吸头的安装架，所述安装架连接在移动机构上，所述移动机构设置在机架上；所述吸头上连接有翻转机构，该翻转机构包括作竖向直线运动的动力机构、设在吸头与安装架之间的铰接结构、设在动力机构与吸头之间的驱动连接结构以及连接在吸头和安装架之间的弹簧；其中，所述驱动连接结构包括设在吸头上的滑动槽以及设在动力机构上的程的两个端点时，所述驱动杆位于滑动槽的两端，且所述吸头的工作端面分别呈水平状态和竖直状态。所述智能卡芯片搬运装置可以实现芯片的吸取和搬运工作，具有结构简单、体积小、效率高、定位精度好等优点。

然而上述智能卡芯片搬运装置中的芯片吸取机构的功能单一，只能带动芯片做竖向运动。当需要将芯片旋转一定角度时，上述的芯片吸取机构无法满足加工需要。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足，提供一种旋转式芯片吸取装置，所述旋转式芯片吸取装置不仅可以带动芯片作竖向运动，而且还可以带动芯片作旋转运动，实现芯片的姿态调整。

本发明解决上述技术问题的技术方案是：

一种旋转式芯片吸取装置，包括吸取杆、用于驱动吸取杆转动的旋转驱动机构以及用于驱动吸取杆做竖向运动的竖向驱动机构，

所述旋转驱动机构包括安装座以及设置在安装座上的旋转驱动电机，其中，所述吸取杆转动连接在所述安装座上，所述旋转驱动电机的主轴与所述吸取杆连接。

优选的，所述竖向驱动机构包括竖向驱动电机以及丝杆传动机构，其中，所述丝杆传动机构包括丝杆以及丝杆螺母；所述竖向驱动电机安装在机架上，该竖向驱动电机的主轴与所述丝杆连接，所述丝杆螺母安装在所述安装座上。

优选的，所述吸取杆内设置有沿其轴线方向延伸的通气管，所述吸取杆在所述通气管的下端形成吸嘴；所述吸取杆自所述安装座的上端竖直向下穿过该安装座，所述安装座在与所述吸取杆接触的位置处设置有避让孔，所述避让孔上设置有与所述吸取杆配合的轴承；所述吸取杆的上端通过气管与外部的负压装置连接。

优选的，所述吸取杆为两个。

优选的，所述旋转驱动机构还包括用于将旋转驱动电机的动力传递给吸取杆的传动机构，所述传动机构包括设置在所述旋转驱动电机的主轴上的主动齿轮以及分别设置在两个吸取杆上且分别与该主动齿轮啮合的从动齿轮。

优选的，所述安装座包括固定座以及水平设置在固定座上的安装板，其中，所述固定座包括与安装板垂直的竖直延伸部以及与安装板平行的水平延伸部，所述吸取杆自所述安装座的上端竖直向下依次穿过安装板以及固定座的水平延伸部，所述固定座的水平延伸部与所述吸取杆之间设置有直线滑动轴承。

优选的，还包括缓冲机构，所述缓冲机构包括设置在从动齿轮与所述吸取杆之间的缓冲套以及弹簧，其中，所述从动齿轮安装在所述缓冲套上，所述缓冲套套在所述吸取杆上，该缓冲套上设置有沿其轴线方向延伸的异形孔，所述吸取杆的上端设置有与所述异形孔配合的配合部，该吸取杆上设置有卡环，所述卡环设置在所述安装板和所述水平延伸部之间；所述弹簧设置在所述吸取杆上且位于所述卡环和所述安装板的下表面之间。

优选的，所述固定座的竖直延伸部与所述机架之间还设置有滑动机构，所述滑动机构包括设置在固定座的竖直延伸部上的滑块以及设置在机架上的滑轨，其中，所述滑轨竖直延伸，所述滑块安装在所述滑轨上。

进一步地，所述滑动机构为两组。

本发明的旋转式芯片吸取装置的工作原理是：

工作时，竖向驱动电机带动安装座向下运动，使得吸取杆与芯片接触并将芯片吸附在该吸取杆上。接着，竖向驱动电机带动安装座向上运动，从而实现芯片的吸取。当需要将芯片旋转一定角度时，由于所述吸取杆转动连接在所述安装座上，因此所述旋转驱动电机直接可以带动吸取杆以及吸取杆吸附的芯片转动。

本发明与现有技术相比具有以下的有益效果：

1、本发明的旋转式芯片吸取装置的吸取杆转动连接在所述安装座上，因此所述旋转驱动电机只需通过传动机构将动力传递给吸取杆，就可以带动吸取杆以及吸取杆吸附的芯片转动。

2、本发明的旋转式芯片吸取装置不仅可以实现对芯片的搬运，而且还可以实现对芯片的姿态的调整。

附图说明

图1-图3为本发明的旋转式芯片吸取装置的第一个具体实施方式的结构示意图，其中，图1为主视图，图2为侧视图，图3为立体结构示意图。

图4为爆炸视图。

图5为本发明的旋转式芯片吸取装置的第二个具体实施方式的立体结构示意图。

图6为图5中的芯片定位分离座的立体结构示意图。

图7为图6的爆炸图。

图8为图6中第二定位组件的剖视图。

图9为图8中I处的局部放大图。

图10为图6中第一定位组件的剖视图。

图11为当固定板上设有两组四爪气缸及第一定位组件、第二定位组件支撑件时的立体结构示意图。

图12为图11的爆炸视图。

具体实施方式

下面结合实施例及附图对本发明作进一步详细的描述，但本发明的实施方式不限于此。

实施例1

参见图1-图4，本发明的旋转式芯片吸取装置包括吸取杆4、用于驱动吸取杆4转动的旋转驱动机构2以及用于驱动吸取杆4做竖向运动的竖向驱动机构3。

参见图1-图4，所述旋转驱动机构2包括安装座1以及设置在安装座1上的第一电机固定板2-2以及旋转驱动电机2-1，其中，所述吸取杆4转动连接在所述安装座1上，所述旋转驱动电机2-1安装在第一电机固定板2-2上；所述旋转驱动电机2-1的主轴与所述吸取杆4连接。

参见图1-图4，所述竖向驱动机构3包括第二电机固定板3-2、竖向驱动电机3-1以及丝杆传动机构，其中，所述丝杆传动机构包括丝杆3-3以及丝杆螺母3-4；所述竖向驱动电机3-1安装在第二电机固定板3-2上，所述第二电机固定板3-2安装在机架上。所述竖向驱动电机3-1的主轴与所述丝杆3-3连接，所述丝杆螺母3-4安装在所述安装座1上。通过竖向驱动电机3-1带动丝杆3-3转动，从而带动丝杆螺母3-4以及安装座1竖向运动，这样就实现了吸取杆4的竖向运动。此外，所述竖向驱动机构3也可以是气缸。

参见图1-图4，所述吸取杆4内设置有沿其轴线方向延伸的通气管，所述通气管在所述吸取杆4的下端形成吸嘴；所述吸取杆4自所述安装座1的上端竖直向下穿过该安装座1，所述安装座1在与所述吸取杆4接触的位置处设置有避让孔1-2，所述避让孔1-2上设置有与所述吸取杆4配合的轴承；所述吸取杆4的上端通过气管与外部的负压装置连接。这样，通过负压装置在吸取杆4的吸嘴处形成负压，从而实现芯片的吸附。

参见图1-图4，本实施例中的吸取杆4为两个，通过两个吸取杆4可以同时吸取和搬运两张芯片，从而提高搬运效率。

参见图1-图4，所述旋转驱动机构2还包括用于将旋转驱动电机2-1的动力传递给吸取杆4的传动机构，所述传动机构包括设置在所述旋转驱动电机2-1的主轴上的主动齿轮2-3以及分别设置在两个吸取杆4上且分别与该主动齿轮2-3啮合的从动齿轮2-4。这样，通过旋转驱动电机2-1带动主动齿轮2-3转动，从而带动与主动齿轮2-3啮合的从动齿轮2-4以及吸取杆4做旋转运动。此外，所述传动机构也可以是同步带传动机构。

参见图1-图4，所述安装座1包括固定座1-3以及水平设置在固定座1-3上的安装板1-1，其中，所述固定座1-3包括与安装板1-1垂直的竖直延伸部以及与安装板1-1平行的水平延伸部，所述吸取杆4自所述安装座1的上端竖直向下依次穿过安装板1-1以及固定座1-3的水平延伸部，所述固定座1-3的水平延伸部与所述吸取杆4之间设置有直线滑动轴承。

参见图1-图4，本发明的旋转式芯片吸取装置还包括缓冲机构6，所述缓冲机构6包括设置在从动齿轮2-4与所述吸取杆4之间的缓冲套6-1以及弹簧6-3，其中，所述从动齿轮2-4安装在所述缓冲套6-1上，所述缓冲套6-1套在所述吸取杆4上，该缓冲套6-1上设置有沿其轴线方向延伸的异形孔，所述吸取杆4的上端设置有与所述异形孔配合的配合部，该吸取杆4上设置有卡环6-2，所述卡环6-2设置在所述安装板1-1和所述水平延伸部之间；所述弹簧6-3设置在所述吸取杆4上且位于所述卡环6-2和所述安装板1-1的下表面之间。当竖向驱动机构3带动吸取杆4竖向运动至所述吸嘴与芯片接触时，所述芯片对吸嘴具有一个反作用力，使得所述吸取杆4具有向上运动的趋势。由于所述吸取杆4与所述固定座1-3的水平延伸部之间设置有直线滑动轴承，且该吸取杆4的上端套在所述缓冲套6-1内，因此，所述吸取杆4可以在安装座1上竖向滑动，因此，所述吸取杆4克服弹簧6-3的弹力向上运动一段距离，从而避免吸取杆4下端的吸嘴直接与芯片碰撞，从而保护芯片。另外，由于缓冲套6-1与吸取杆4通过异形孔配合，因此，吸取杆4与缓冲套6-1之间不仅可以相对滑动，而且缓冲套6-1转动的同时也可以带动吸取杆4转动。

参见图1-图4，所述固定座1-3的竖直延伸部与所述机架之间还设置有滑动机构5，所述滑动机构5包括设置在固定座1-3的竖直延伸部上的滑块5-1以及设置在机架上的滑轨5-2，其中，所述滑轨5-2竖直延伸，所述滑块5-1安装在所述滑轨5-2上。这就保证竖向驱动机构3在带动安装座1做竖向运动的过程中不会发生偏移，使得吸取杆4能够准确地将芯片吸附在吸嘴上，从而提高搬运精度。

参见图1-图4，本实施例中的滑动机构5为两组。

参见图1-图4，本发明的旋转式芯片吸取装置的工作原理是：

工作时，竖向驱动电机3-1带动安装座1向下运动，使得吸取杆4与芯片接触并将芯片吸附在该吸取杆4上。接着，竖向驱动电机3-1带动安装座1向上运动，从而实现芯片的吸取。当需要将芯片旋转一定角度时，由于所述吸取杆4转动连接在所述安装座1上，因此所述旋转驱动电机2-1直接可以带动吸取杆4以及吸取杆4吸附的芯片转动。

实施例2

参见图5-图12，本实施例与实施例1的不同之处在于：

本发明的旋转式芯片吸取装置还包括设置在所述吸取杆4下方的芯片定位分离座A，所述芯片定位分离座A包括固定板10a、设置在固定板10a上的用于对芯片1a进行支撑的支撑件2a、用于对芯片1a的一组侧面进行定位的第一定位组件、用于对芯片1a的另一组侧面进行定位和限位的第二定位组件以及用于驱动第一定位组件和第二定位组件运动的定位驱动机构。

本实施例中的芯片定位分离座A为两个，且与吸取杆4一一对应。

参见图5-图12，所述第一定位组件包括两个相对设置的第一定位件3a，两个第一定位件3a上均设有用于与芯片1a接触对芯片1a进行定位的第一定位面5a；所述第二定位组件包括两个相对设置的第二定位件4a，两个第二定位件4a上均设有用于与芯片1a接触对芯片1a进行定位的第二定位面6a和用于对芯片1a在竖直方向上进行限位的限位面7a，当所述第一定位件3a和第二定位件4a对芯片1a进行定位时，所述限位面7a位于芯片1a的上方。

参见图5-图12，所述第一定位件3a和第二定位件4a分别由第一定位块和第二定位块构成，其中，所述第一定位块上设有用于对芯片1a定位的定位部3-1a和用于与定位驱动机构连接的连接部3-2a，所述第一定位块自连接部3-2a向定位部3-1a逐渐内缩；第二定位块上设有用于对芯片1a定位的定位部4-1a和用于与定位驱动机构连接的连接部4-2a；所述第二定位块自连接部4-2a向定位部4-1a逐渐内缩。这样设置的目的在于，由于芯片1a的尺寸较小，因此第一定位件3a和第二定位件4a在作相互靠近的定位运动中，相邻的第一定位块和第二定位块之间会相互干涉限位，导致第一定位块和第二定位块的定位运动无法继续进行，而通过上述内缩设置后，第一定位块和第二定位块的定位端的尺寸大大减小，因此在作芯片1a的靠近定位运动中不会发生相互干涉，从而保证了定位工作的顺利进行。

参见图5-图12，所述第一定位块上的定位部的端面构成所述第一定位面5a，所述第二定位块上的定位部的端面构成所述第二定位面6a，该第二定位面6a的上部设有向外突出的限位凸体8a，该限位凸体8a的底面构成所述限位面7a。

参见图5-图12，所述第一定位件驱动机构和第二定位件驱动机构由四爪气缸11a构成，该四爪气缸11a的其中一对气缸爪9a分别通过螺钉与两个第一定位块的连接部连接，另一对气缸爪9a分别通过螺钉与两个第二定位块的连接部连接。工作时，气缸同时驱动四个气缸爪9a作相互靠近或远离运动来带动第一定位块和第二定位块进行夹卡运动或者松卡运动，从而实现对芯片的定位。

参见图5-图12，所述固定板10a上设有避障槽，所述四爪气缸11a安装在固定板10a的下方，所述第一定位件3a和第二定位件4a的定位部穿过所述避障槽后位于所述固定板10a的上方，所述支撑件2a设置在固定板10a的上方位于固定板10a的中心位置处，支撑件2a的上表面构成用于对芯片1a进行支撑的支撑面。通过上述设置，能够实现各组件的安装固定。

参见图5-图12，作为本方案的优选方案，所述固定板10a上并排设有两组四爪气缸11a，每组四爪气缸11a的四个气缸爪9a上分别设有所述第一定位件3a和第二定位件4a，每组四爪气缸11a的中心位置处对应设有支撑件2a。工作时，由两组四爪气缸11a及第一定位件3a、第二定位件4a以及支撑件2a构成的芯片定位分离座能够完成两组芯片1a的定位和分离任务，从而能够提高工作效率。

参见图5-图12，所述支撑件2a由圆柱体构成，其中，圆柱体的顶面构成所述支撑面，该支撑面的宽度大于芯片1a的宽度，圆柱体的侧面构成用于对第一定位块和第二定位块上进行限位的支撑件2a限位面；当两个第一定位块和两个第二定位块均作相互靠近运动至定位终点位置时，第一定位块与支撑件2a之间以及第二定位块与支撑件2a之间存留有第一安全间隙12a，且吸取杆4与限位凸体之间存留有第二安全间隙13a。通过设置所述第一安全间隙12a，能够防止第一定位件3a和第二定位件4a在作相互靠近的定位运动时与支撑件2a之间发生碰撞而对定位件和支撑件2a造成损坏，而通过将支撑面的宽度大于芯片1a的宽度后，即使在出错的情况下第一定位件3a或第二定位件4a与支撑件2a发生了碰撞，由于芯片1a的宽度小于支撑面的宽度，亦即小于两个第一定位件3a和两个第二定位件4a之间的距离，因此芯片1a不会被第一定位件3a和第二定位件4a夹伤。而由于吸取杆4与限位凸体之间存留有第二安全间隙13a，因此限位凸体在随第一定位件3a和第二定位件4a运动至定位终点位置时也不会与吸取杆4发生碰撞，从而能够保证吸取杆4的上下运动能够正常进行。需要说明的是，所述第一间隙的尺寸很小，因此不会影响芯片1a的定位精度。

参见图5-图12，所述支撑件2a由圆柱体构成，该圆柱体的侧面构成用于对第一定位块的定位部和第二定位块上的定位部进行限位的支撑件限位面，当所述第一定位块定位部和第二定位块上的定位部与所述支撑件限位面接触时，芯片位于所述支撑面内。这样设置的好处在于，通过对第一限位块和第二限位块进行限位，能够防止两个第一定位面和两个第二定位面在作相互靠近的运动中距离较近而对芯片造成夹持损伤。

参见图5-图12，本发明的芯片定位分离座A的工作原理是：

工作时，芯片定位分离座A上的第一定位件3a和第二定位件4a之间处于打开状态，在相应驱动机构的驱动下，吸取杆4带动芯片1a一起向下运动至支撑面上方的定位空间内，接着第一定位件3a驱动机构驱动两个第一定位件3a作相互靠近运动，将芯片1a定位在两个第一定位件3a中间，从而完成了芯片1a在一个方向上的定位任务。

与此同时，第二定位件驱动机构驱动两个第二定位件4a作相互靠近运动，将芯片1a定位在两个第二定位件4a中间，完成定位后，芯片1a在水平方向上处于整个定位空间的中心位置处，即实现了整个芯片1a的定位任务。

之后，吸取杆4带动芯片1a向上运动，在运动的过程中，芯片1a与限位面7a接触，限位面7a对芯片1a有向下的按压力，芯片1a在该按压力下能够克服吸取杆4向上的吸附力，与吸取杆4发生分离，从而不需要电磁阀就能够实现将芯片1a从吸取杆4上取下的任务。

实施例3

本实施例与实施例2的不同之处在于，所述第一定位件3a的第一定位面5a的上部也设有所述用于对芯片1a在竖直方向上进行限位的限位面7a，第一定位件3a上的限位面7a与第二定位件4a上的限位面7a处于同一水平面上。工作时，第一定位面5a上的限位面7a和第二定位面6a上的限位面7a之间相互配合，共同对向上运动的芯片1a施加向下的按压力，由于该按压力均匀地作用在芯片1a的四条边上，因此能够更好地抵抗吸取杆4向上的吸附力，从而使得与吸取杆4分离时芯片1a的形变量更小。

本实施例上述以外的其它实施方式参见实施例2实施。

上述为本发明较佳的实施方式，但本发明的实施方式并不受上述内容的限制，其他的任何未背离本发明的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种旋转式芯片吸取装置，包括吸取杆、用于驱动吸取杆转动的旋转驱动机构以及用于驱动吸取杆做竖向运动的竖向驱动机构，其特征在于，所述旋转驱动机构包括安装座以及设置在安装座上的旋转驱动电机，其中，所述吸取杆转动连接在所述安装座上，所述旋转驱动电机的主轴与所述吸取杆连接；

还包括设置在吸取杆下方的芯片定位分离座，所述芯片定位分离座包括固定板、设置在固定板上的用于对芯片进行支撑的支撑件、用于对芯片的一组侧面进行定位的第一定位组件、用于对芯片的另一组侧面进行定位和限位的第二定位组件以及用于驱动第一定位组件和第二定位组件运动的定位驱动机构；

其中，所述第一定位组件包括两个相对设置的第一定位件，两个第一定位件上均设有用于与芯片接触对芯片进行定位的第一定位面；所述第二定位组件包括两个相对设置的第二定位件，两个第二定位件上均设有用于与芯片接触对芯片进行定位的第二定位面和用于对芯片在竖直方向上进行限位的限位面，当所述第一定位件和第二定位件对芯片进行定位时，所述限位面位于芯片的上方；所述定位驱动机构包括用于驱动两个第一定位件同时作相互靠近或远离运动的第一定位件驱动机构和用于驱动两个第二定位件同时作相互靠近或远离运动的第二定位件驱动机构；

所述第一定位件和第二定位件均分别由第一定位块和第二定位块构成，其中，所述第一定位块上设有用于对芯片定位的定位部和用于与定位驱动机构连接的连接部，所述第一定位块自连接部向定位部逐渐内缩；第二定位块上设有用于对芯片定位的定位部和用于与定位驱动机构连接的连接部；所述第二定位块自连接部向定位部逐渐内缩；

所述支撑件由圆柱体构成，其中，圆柱体的顶面构成所述支撑面，该支撑面的宽度大于芯片的宽度，圆柱体的侧面构成用于对第一定位块和第二定位块上进行限位的支撑件限位面；当两个第一定位块和两个第二定位块均作相互靠近运动至定位终点位置时，第一定位块与支撑件之间以及第二定位块与支撑件之间存留有第一安全间隙，且吸取杆与限位凸体之间存留有第二安全间隙；所述第二定位面的上部设有向外突出的限位凸体，该限位凸体的底面构成所述限位面。

2.根据权利要求1所述的旋转式芯片吸取装置，其特征在于，所述竖向驱动机构包括竖向驱动电机以及丝杆传动机构，其中，所述丝杆传动机构包括丝杆以及丝杆螺母；所述竖向驱动电机安装在机架上，该竖向驱动电机的主轴与所述丝杆连接，所述丝杆螺母安装在所述安装座上。

3.根据权利要求2所述的旋转式芯片吸取装置，其特征在于，所述吸取杆内设置有沿其轴线方向延伸的通气管，所述吸取杆在所述通气管的下端形成吸嘴；所述吸取杆自所述安装座的上端竖直向下穿过该安装座，所述安装座在与所述吸取杆接触的位置处设置有避让孔，所述避让孔上设置有与所述吸取杆配合的轴承；所述吸取杆的上端通过气管与外部的负压装置连接。

4.根据权利要求3所述的旋转式芯片吸取装置，其特征在于，所述吸取杆为两个。

5.根据权利要求4所述的旋转式芯片吸取装置，其特征在于，所述旋转驱动机构还包括用于将旋转驱动电机的动力传递给吸取杆的传动机构，所述传动机构包括设置在所述旋转驱动电机的主轴上的主动齿轮以及分别设置在两个吸取杆上且分别与该主动齿轮啮合的从动齿轮。

6.根据权利要求5所述的旋转式芯片吸取装置，其特征在于，所述安装座包括固定座以及水平设置在固定座上的安装板，其中，所述固定座包括与安装板垂直的竖直延伸部以及与安装板平行的水平延伸部，所述吸取杆自所述安装座的上端竖直向下依次穿过安装板以及固定座的水平延伸部，所述固定座的水平延伸部与所述吸取杆之间设置有直线滑动轴承。

7.根据权利要求6所述的旋转式芯片吸取装置，其特征在于，还包括缓冲机构，所述缓冲机构包括设置在从动齿轮与所述吸取杆之间的缓冲套以及弹簧，其中，所述从动齿轮安装在所述缓冲套上，所述缓冲套套在所述吸取杆上，该缓冲套上设置有沿其轴线方向延伸的异形孔，所述吸取杆的上端设置有与所述异形孔配合的配合部，该吸取杆上设置有卡环，所述卡环设置在所述安装板和所述水平延伸部之间；所述弹簧设置在所述吸取杆上且位于所述卡环和所述安装板的下表面之间。

8.根据权利要求7所述的旋转式芯片吸取装置，其特征在于，所述固定座的竖直延伸部与所述机架之间还设置有滑动机构，所述滑动机构包括设置在固定座的竖直延伸部上的滑块以及设置在机架上的滑轨，其中，所述滑轨竖直延伸，所述滑块安装在所述滑轨上。

9.根据权利要求8所述的旋转式芯片吸取装置，其特征在于，所述滑动机构为两组。