CN115978989B - 一种陶瓷电路元件生产用的快速辊道炉 - Google Patents

一种陶瓷电路元件生产用的快速辊道炉 Download PDF

Info

Publication number
CN115978989B
CN115978989B CN202211558489.5A CN202211558489A CN115978989B CN 115978989 B CN115978989 B CN 115978989B CN 202211558489 A CN202211558489 A CN 202211558489A CN 115978989 B CN115978989 B CN 115978989B
Authority
CN
China
Prior art keywords
furnace
roller
rotating shaft
central rotating
ball bearing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202211558489.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN115978989A (zh
Inventor
罗洪生
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ZHAOQING HONGHUA ELECTRONIC TECHNOLOGY CO LTD
Original Assignee
ZHAOQING HONGHUA ELECTRONIC TECHNOLOGY CO LTD
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ZHAOQING HONGHUA ELECTRONIC TECHNOLOGY CO LTD filed Critical ZHAOQING HONGHUA ELECTRONIC TECHNOLOGY CO LTD
Priority to CN202211558489.5A priority Critical patent/CN115978989B/zh
Publication of CN115978989A publication Critical patent/CN115978989A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN115978989B publication Critical patent/CN115978989B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/60Production of ceramic materials or ceramic elements, e.g. substitution of clay or shale by alternative raw materials, e.g. ashes

Landscapes

  • Tunnel Furnaces (AREA)

Abstract

本申请涉及一种陶瓷电路元件生产用的快速辊道炉,涉及辊道炉的技术领域,包括炉体以及设置在炉体内的炉内传送托架;炉内传送托架包括支撑架体以及沿支撑架体长度方向布设的若干个炉内托辊,炉内托辊包括中心转轴和套设在中心转轴上的辊套,中心转轴的两端转动连接在支撑架体的两个纵梁上,且中心转轴的一端穿过纵梁并连接有由链条驱动的驱动轮,中心转轴位于辊套和两个纵梁之间的位置设置有弹性缓冲机构。本申请能够对辊道炉内的辊棒进行保护,避免辊棒与辊棒支架发生刚性接触而造成损坏,使辊道炉内的辊棒能够正常使用,延长使用寿命。

Description

一种陶瓷电路元件生产用的快速辊道炉
技术领域
本申请涉及辊道炉的技术领域,尤其是涉及一种陶瓷电路元件生产用的快速辊道炉。
背景技术
辊道炉全称是辊棒式遂道炉,又称辊底窑。由于把产品放置在间隔很密的水平陶瓷辊上,靠辊棒的转动使产品从窑炉的进口传送到窑体的出口,所以此种称为辊棒式遂道炉。
辊道炉的工作原理是:把产品直接或间接地放置在辊棒上,通过辊棒的不断转动,可使烧制品依序前进。每根辊棒的端部通过链轮,由链条带动进行运转,为了传动更加平稳、安全,常将链条分成多组进行传动。低温处的辊棒用耐热的镍铬合金钢等材料制成,高温处则以耐高温的氧化铝或者碳化硅陶瓷棒作为辊棒。利用煤气或电热元件硅碳棒、硅钼棒、电阻丝为加热源。
但是由于辊道炉内的温度较高,辊棒会因为温度的高低变化而发生热胀冷缩,使辊棒外层结构与辊棒两端的支架发生刚性接触,造成辊棒发生损坏甚至断裂,而影响产品的传送。
发明内容
本申请的目的是提供一种陶瓷电路元件生产用的快速辊道炉,能够对辊道炉内的辊棒进行保护,避免辊棒与辊棒支架发生刚性接触而造成损坏,使辊道炉内的辊棒能够正常使用,延长使用寿命。
本申请提供的一种陶瓷电路元件生产用的快速辊道炉,采用如下的技术方案:
一种陶瓷电路元件生产用的快速辊道炉,包括炉体以及设置在炉体内的炉内传送托架;
炉内传送托架包括支撑架体以及沿支撑架体长度方向布设的若干个炉内托辊,炉内托辊包括中心转轴和套设在中心转轴上的辊套,中心转轴的两端转动连接在支撑架体的两个纵梁上,且中心转轴的一端穿过纵梁并连接有由链条驱动的驱动轮,中心转轴位于辊套和两个纵梁之间的位置设置有弹性缓冲机构。
通过采用上述技术方案,产品进入到炉体内,炉内托辊会在动力件的驱动下转动,带动产品向前移动并进行加热,当辊套发生热涨时,辊套会向两端挤压弹性缓冲机构,弹性缓冲机构的压缩来抵消辊套发生的形变,避免辊套与纵梁发生刚性接触,有效地避免了辊套被挤压变形甚至断裂,使炉体能够正常传送产品。
可选的,弹性缓冲机构包括抵接在纵梁上的第一推力球轴承、抵接在辊套端部的第二推力球轴承以及设置在第一推力球轴承和第二推力球轴承之间的缓冲弹簧,第一推力球轴承、第二推力球轴承和缓冲弹簧均套设于中心转轴上。
通过采用上述技术方案,利用缓冲弹簧的形变来抵消辊套的热胀冷缩变形,缓冲弹簧与辊套之间设置第二推力球轴承,使缓冲弹簧不会随着辊套的转动而转动,避免缓冲弹簧发生扭曲变形,缓冲弹簧与纵梁之间设置第一推力球轴承,即使缓冲弹簧在中心转轴的带动下发生转动,转动的扭矩不会传递给纵梁,避免纵梁对缓冲弹簧施加扭力造成缓冲弹簧变形。
可选的,所述第二推力球轴承靠近第一推力球轴承的一侧座垫上连接有上支杆,多个上支杆之间通过同步杆连接。
通过采用上述技术方案,利用同步杆将多个第二推力球轴承的座垫连接起来,使多个第二推力球轴承能够同步沿着中心转轴移动,进而限制辊套的初始位置,使多个辊套初始位置相同。
可选的,所述纵梁上连接有上托杆,多个上托杆之间连接有上托梁,上托梁与同步杆之间设置有若干距离调节组件。
通过采用上述技术方案,利用距离调节组件方便调节第二推力球轴承与纵梁之间的距离。
可选的,所述距离调节组件包括依次穿过同步杆和上托梁的调节螺栓、螺纹连接在调节螺栓端部的调节螺母以及套设于调节螺栓上的顶簧,顶簧的两端分别抵接在同步杆和上托梁上。
通过采用上述技术方案,转动调节螺母,调节螺母在调节螺栓上的位置发生变化,顶黄被压缩或者伸长,实现同步杆与上托梁之间的距离调节。
可选的,所述同步杆上连接有将辊套和弹性缓冲机构分隔开的隔热罩,隔热罩表面设置有隔热涂层。
通过采用上述技术方案,隔热罩将弹性缓冲机构与炉体内的加热部分隔开,避免弹性缓冲机构温度过高而发生损坏,保护弹性缓冲机构能够正常工作,起到对辊套的保护作用。
可选的,所述隔热罩包括立面板和连接在立面板上下两侧的上顶板和下底板,立面板开设有辊套穿过的通孔,上顶板固定连接在同步杆顶面。
通过采用上述技术方案,隔热罩的立面板能够挡在辊套的端部,既能够起到隔绝热量的作用,同时还能作为辊套两端的限位导向结构,对辊套上移动的产品起到导向作用,防止产品在移动过程中因震动跑偏。
可选的,所述上顶板滑动接触在上托梁顶面,下底板与纵梁之间设置有间隙。
通过采用上述技术方案,上托梁对上顶板起到托举作用,隔热罩能够随着第二推力球轴承的移动而移动。
可选的,还包括设置在炉体进口端的入料仓、入料横推机构和设置在炉体出口端的出料仓和出料横推机构,入料仓和出料仓内均设置有炉内传送托架高度相同的送料托架。
通过采用上述技术方案,入料横推机构可以将产品送入到入料仓中,产品再经入料仓进入到炉体中进行加热,随着炉内传送托架的传送,加热完成进入到出料仓中,再经过后出料横推机构传输出去。
可选的,所述入料横推机构的一端与入料仓连接,另一端设置有与炉内传送托架平行的回转托架,出料横推机构的一端与出料仓连接,另一端连接在回转托架的端部。
通过采用上述技术方案,增加回转托架,使整个辊道炉形成一个闭环生产线,将待加工的产品放到回转托架上,逐步送入到炉体内进行加热,加热完成的产品逐步又传送回回转托架上,回转托架方便整个过程的取料放料。
综上所述,本申请包括以下至少一种有益技术效果:
1.辊套发生热涨时,辊套会向两端挤压弹性缓冲机构,弹性缓冲机构的压缩来抵消辊套发生的形变,避免辊套与纵梁发生刚性接触,有效地避免了辊套被挤压变形甚至断裂,使炉体能够正常传送产品。
2.隔热罩将弹性缓冲机构与炉体内的加热部分隔开,避免弹性缓冲机构温度过高而发生损坏,保护弹性缓冲机构能够正常工作,起到对辊套的保护作用。
3.隔热罩的立面板能够挡在辊套的端部,既能够起到隔绝热量的作用,同时还能作为辊套两端的限位导向结构,对辊套上移动的产品起到导向作用,防止产品在移动过程中因震动跑偏。
附图说明
图1是本申请实施例辊道炉的整体结构示意图;
图2是本申请实施例中炉内传送托架的局部结构示意图;
图3是本申请实施例中弹性缓冲机构的安装结构示意图;
图中,1、炉体;2、支撑架体;21、纵梁;22、上托杆;23、上托梁;3、炉内托辊;31、中心转轴;32、辊套;4、弹性缓冲机构;41、第一推力球轴承;42、第二推力球轴承;43、缓冲弹簧;44、上支杆;45、同步杆;46、调节螺栓;47、调节螺母;48、顶簧;5、隔热罩;51、立面板;52、上顶板;53、下底板;54、通孔;6、入料仓;7、入料横推机构;8、出料仓;9、出料横推机构;10、回转托架。
具体实施方式
以下结合附图1-附图3,对本申请作进一步详细说明。
实施例:本申请提出一种陶瓷电路元件生产用的快速辊道炉,参照图1,该辊道炉包括炉体1、炉内传送托架、入料仓6、入料横推机构7、出料仓8、出料横推机构9和回转托架10。炉体1两端分别设置进料口和出料口,用于对产品进行加热,其内部设置有加热装置,炉内传送托架沿着炉体1的长度方向布置在炉体1的空间内,并且延伸至炉体1的进料口和出料口。
入料仓6设置在炉体1的进料口一端,入料横推机构7设置在入料仓6远离炉体1的一侧,需要加热的产品放到入料横推机构7上进行转运,推入到入料仓6内,然后经入料仓6进入到炉体1内,落到炉内传送托架上,入料仓6内设置有由链条传送的送料托架,送料托架上设置有多个托辊,高度与炉内传送托架高度相同。出料仓8设置在炉体1的出料口一端,出料横推机构9设置在出料仓8远离炉体1的一侧,加热完成的产品从炉体1内传送出来进入到出料仓8内,出料仓8内也设置有炉内传送托架高度相同的送料托架,由送料托架将产品传送到出料横推机构9上,并由出料横推机构9传送走。
入料横推机构7与出料横推机构9之间设置有回转托架10,回转托架10的长度大于炉体1的长度两端延伸至入料横推机构7与出料横推机构9,回转托架10与炉内传送托架平行,包括支撑架和平行布设的托辊,托辊由链条驱动,将待加工的产品放到回转托架10上,经过入料横推机构7和入料仓6逐步送入到炉体1内进行加热,加热完成的产品经过出料仓8和出料横推机构9逐步又传送回回转托架10上。
参照图2和3,炉内传送托架的布置形式与回转托架10的布置形式相似,包括支撑架体2以及沿支撑架体2长度方向密布排列的若干个炉内托辊3。支撑架体2包括两个平行布置的纵梁21,两个纵梁21下侧均安装有支腿,纵梁21之间通过若干横梁连接。每个纵梁21上表面沿长度方向垂直连接有若干个上托杆22,多个上托杆22顶部连接在同一个上托梁23上,上托梁23与纵梁21保持平行。
炉内托辊3包括中心转轴31和套设在中心转轴31上的辊套32,中心转轴31的两端转动连接在两个纵梁21上,中心转轴31的一端穿过纵梁21并连接有驱动轮,驱动轮设置为链轮,多个中心转轴31通过链条驱动转动,辊套32套设在中心转轴31中部,辊套32两端和两个纵梁21之间设置有间隙,两个间隙内均设置有一组弹性缓冲机构4,弹性缓冲机构4利用自身的压缩来抵消辊套32发生的热胀冷缩形变。
一组弹性缓冲机构4包括第一推力球轴承41、第二推力球轴承42、缓冲弹簧43、上支杆44、同步杆45和距离调节组件。第一推力球轴承41和第二推力球轴承42的结构相同,均有两个座垫、一个滚珠保持架和若干滚珠组成,并套设在中心转轴31上,第一推力球轴承41抵接在纵梁21侧面上,第二推力球轴承42抵接在辊套32端面上,缓冲弹簧43始终处于压缩状态,设置在第一推力球轴承41和第二推力球轴承42之间,也套设在中心转轴31上,辊套32热涨时,压缩缓冲弹簧43来抵消形变,辊套32冷缩时,缓冲弹簧43伸长,保持第二推力球轴承42抵接辊套32端部。
本实施例中第二推力球轴承42的初始位置可调节,第二推力球轴承42靠近第一推力球轴承41的一侧座垫外周面顶部沿径向方向连接有上支杆44,多个上支杆44的高度相同,顶部连接到同一个同步杆45上,同步杆45高度与上托梁23的高度相同,且与上托梁23保持平行,上托梁23与同步杆45之间通过若干组距离调节组件连接。
距离调节组件包括调节螺栓46、调节螺母47和顶簧48,调节螺栓46依次穿过同步杆45和上托梁23,螺帽卡在同步杆45上,调节螺母47设置为蝶形螺母,螺纹连接在调节螺栓46的端部,并抵接在上托梁23上,顶簧48套设在调节螺栓46上,顶簧48的两端分别抵接在同步杆45上和上托梁23上。在上托梁23位置不变的情况下,通过旋转调节螺母47,带动同步杆45靠近或者远离上托梁23,进而带动第二推力球轴承42靠近或者远离纵梁21。
同步杆45上连接有隔热罩5,隔热罩5将辊套32和弹性缓冲机构4分隔开,降低炉内高位对弹性缓冲机构4性能的影响,本实施例中隔热罩5设置为侧放的U形板材结构,内外侧表面设置有隔热涂层。
隔热罩5的开口方向朝向背离辊套32,隔热罩5包括立面板51和垂直连接在立面板51上下两侧的上顶板52和下底板53,上顶板52的宽度大于下底板53的宽度,立面板51上开设有通孔54,通孔54的直径大于辊套32使辊套32能够穿过通孔54,在辊套32进行热胀冷缩时,不会受到隔热罩5的影响。上顶板52焊接固定在同步杆45顶部,同时上顶板52滑动接触在上托梁23的顶面上,下底板53高度低于辊套32的高度,下底板53与纵梁21之间设置有间隙,使隔热罩5能够靠近或者远离纵梁21移动,随着第二推力球轴承42的移动而移动。
本申请实施例的实施原理为:当辊套32发生热涨时,辊套32会向两端膨胀,推动两个第二推力球轴承42挤压缓冲弹簧43,利用缓冲弹簧43的压缩来抵消辊套32发生的形变,避免辊套32与纵梁21发生刚性接触,当辊套32发生冷缩时,缓冲弹簧43回顶,反向推动第二推力球轴承42抵接辊套32端面。
本具体实施方式的实施例均为本申请的较佳实施例,并非依此限制本申请的保护范围,其中相同的零部件用相同的附图标记表示。故:凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化,均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种陶瓷电路元件生产用的快速辊道炉,其特征在于,包括炉体(1)以及设置在炉体(1)内的炉内传送托架;
炉内传送托架包括支撑架体(2)以及沿支撑架体(2)长度方向布设的若干个炉内托辊(3),炉内托辊(3)包括中心转轴(31)和套设在中心转轴(31)上的辊套(32),中心转轴(31)的两端转动连接在支撑架体(2)的两个纵梁(21)上,且中心转轴(31)的一端穿过纵梁(21)并连接有由链条驱动的驱动轮,中心转轴(31)位于辊套(32)和两个纵梁(21)之间的位置设置有弹性缓冲机构(4);
所述弹性缓冲机构(4)包括抵接在纵梁(21)上的第一推力球轴承(41)、抵接在辊套(32)端部的第二推力球轴承(42)以及设置在第一推力球轴承(41)和第二推力球轴承(42)之间的缓冲弹簧(43),第一推力球轴承(41)、第二推力球轴承(42)和缓冲弹簧(43)均套设于中心转轴(31)上;
所述第二推力球轴承(42)靠近第一推力球轴承(41)的一侧座垫上连接有上支杆(44),多个上支杆(44)之间通过同步杆(45)连接;
所述纵梁(21)上连接有上托杆(22),多个上托杆(22)之间连接有上托梁(23),上托梁(23)与同步杆(45)之间设置有若干距离调节组件。
2.根据权利要求1所述的一种陶瓷电路元件生产用的快速辊道炉,其特征在于,所述距离调节组件包括依次穿过同步杆(45)和上托梁(23)的调节螺栓(46)、螺纹连接在调节螺栓(46)端部的调节螺母(47)以及套设于调节螺栓(46)上的顶簧(48),顶簧(48)的两端分别抵接在同步杆(45)和上托梁(23)上。
3.根据权利要求1所述的一种陶瓷电路元件生产用的快速辊道炉,其特征在于,所述同步杆(45)上连接有将辊套(32)和弹性缓冲机构(4)分隔开的隔热罩(5),隔热罩(5)表面设置有隔热涂层。
4.根据权利要求3所述的一种陶瓷电路元件生产用的快速辊道炉,其特征在于,所述隔热罩(5)包括立面板(51)和连接在立面板(51)上下两侧的上顶板(52)和下底板(53),立面板(51)开设有辊套(32)穿过的通孔(54),上顶板(52)固定连接在同步杆(45)顶面。
5.根据权利要求4所述的一种陶瓷电路元件生产用的快速辊道炉,其特征在于,所述上顶板(52)滑动接触在上托梁(23)顶面,下底板(53)与纵梁(21)之间设置有间隙。
6.根据权利要求1所述的一种陶瓷电路元件生产用的快速辊道炉,其特征在于,还包括设置在炉体(1)进口端的入料仓(6)、入料横推机构(7)和设置在炉体(1)出口端的出料仓(8)和出料横推机构(9),入料仓(6)和出料仓(8)内均设置有炉内传送托架高度相同的送料托架。
7.根据权利要求6所述的一种陶瓷电路元件生产用的快速辊道炉,其特征在于,所述入料横推机构(7)的一端与入料仓(6)连接,另一端设置有与炉内传送托架平行的回转托架(10),出料横推机构(9)的一端与出料仓(8)连接,另一端连接在回转托架(10)的端部。
CN202211558489.5A 2022-12-06 2022-12-06 一种陶瓷电路元件生产用的快速辊道炉 Active CN115978989B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202211558489.5A CN115978989B (zh) 2022-12-06 2022-12-06 一种陶瓷电路元件生产用的快速辊道炉

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202211558489.5A CN115978989B (zh) 2022-12-06 2022-12-06 一种陶瓷电路元件生产用的快速辊道炉

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN115978989A CN115978989A (zh) 2023-04-18
CN115978989B true CN115978989B (zh) 2023-07-28

Family

ID=85957130

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202211558489.5A Active CN115978989B (zh) 2022-12-06 2022-12-06 一种陶瓷电路元件生产用的快速辊道炉

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN115978989B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117109293A (zh) * 2023-10-23 2023-11-24 江苏博涛智能热工股份有限公司 一种辊棒组件、辊道炉及辊棒组件在辊道炉上的安装方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06265273A (ja) * 1993-03-12 1994-09-20 Murata Mfg Co Ltd 炉内ローラ外端部のシール構造
CN106440776A (zh) * 2016-11-17 2017-02-22 苏州汇科机电设备有限公司 一种辊道炉辊棒的双弹簧驱动结构
CN109458837A (zh) * 2018-12-25 2019-03-12 苏州博涛机电设备有限公司 一种全自动高效辊道炉设备
JP6883718B1 (ja) * 2021-01-29 2021-06-09 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 連続焼成炉

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06265273A (ja) * 1993-03-12 1994-09-20 Murata Mfg Co Ltd 炉内ローラ外端部のシール構造
CN106440776A (zh) * 2016-11-17 2017-02-22 苏州汇科机电设备有限公司 一种辊道炉辊棒的双弹簧驱动结构
CN109458837A (zh) * 2018-12-25 2019-03-12 苏州博涛机电设备有限公司 一种全自动高效辊道炉设备
JP6883718B1 (ja) * 2021-01-29 2021-06-09 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 連続焼成炉

Also Published As

Publication number Publication date
CN115978989A (zh) 2023-04-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN115978989B (zh) 一种陶瓷电路元件生产用的快速辊道炉
AU2005248980B2 (en) Apparatus for conveying coils of metal strip on pallets
AU2014249913B2 (en) Glass sheet support structure
EP3371113B1 (en) Glass sheet processing system having cooling of conveyor roller ends
US2788957A (en) Refractory roller furnace conveyor system
US6578383B2 (en) Apparatus and method for roll bending heated glass sheets
WO2013071830A1 (zh) 一种辊道式太阳电池硅片烧结炉
CA1084263A (en) Apparatus for heat treatment of material
US4111676A (en) Adaptation of glass shaping means for tempering flat glass
US4233048A (en) Removing fragments of fractured glass sheets during tempering
US5088921A (en) Heat treatment furnace
KR101080369B1 (ko) 가열로 대차
KR101500156B1 (ko) 선재코일 냉각장치
JPH074470Y2 (ja) 搬送装置
US4057411A (en) Heat treating glass sheets on a roller hearth conveyor
RU2246085C2 (ru) Устройство для транспортирования длинномерных изделий через термическую печь
CN220597308U (zh) 一种防飞散钢化玻璃淬火炉
SU372284A1 (ru) Всесоюзная
CN202074817U (zh) 一种无缝钢管加工用环形炉出料台
CN219136659U (zh) 一种玻璃灯管切断设备
CN216049098U (zh) 一种用于光伏太阳能硅片的烧结传输机构
CN211920082U (zh) 一种隔热板的气动推料装置
CN219620140U (zh) 一种一体成型的传输辊轴及辊轴传输装置
JP5336166B2 (ja) 冷却床
CN212610818U (zh) 一种钛无缝管冷轧退火辅助装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant