CN115851135A - 一种不锈钢抛光液及其制备方法和用途 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种不锈钢抛光液及其制备方法和用途，所述不锈钢抛光液的组分包括氧化铝、分散剂、硅溶胶、茶多酚和水。所述制备方法包括如下步骤：在搅拌条件下混合水和氧化铝，再在持续搅拌条件下依次加入分散剂、硅溶胶和茶多酚，得到所述不锈钢抛光液。本发明提供的不锈钢抛光液通过加入茶多酚，其不仅起到抗氧化的作用而且与硅溶胶相互作用形成稳定的颗粒体系，使抛光液分散均匀，不采用腐蚀性溶液也能使抛光过程中平整度和磨削量优良。
Description
技术领域
本发明涉及化学机械抛光技术领域，尤其涉及一种不锈钢抛光液及其制备方法和用途。
背景技术
不锈钢材料因其良好的机械耐磨性、耐化学腐蚀以及易加工等特点，被广泛应用在化学工业、纺织工业、仪表、食品机械、医疗机械、航天航空、原子能、军工、轻工、建材和太阳能利用等行业。不锈钢材料在加工过程中大都是高温过程，表面往往有一层灰色氧化膜或毛刺，即较厚的氧化皮，而且在切割和焊接等加工过程中进一步产生新的黑色氧化皮，不仅影响到不锈钢产品的外观，也会影响到产品的质量。因此在之前，需要进行抛光处理。在进行切削或热处理等工序时，会使零件的表面粗糙度较大，并且不可避免的产生一些毛刺。
传统的不锈钢抛光方法主要包括化学抛光、电解抛光以及机械抛光等，但这些抛光方法大都存在一定限制。据了解，化学抛光和电解抛光可对多种形状不规则的不锈钢进行抛光，但抛光所采用的抛光液(或电解液)大都具有强酸性，对操作人员及加工环境都有很大危害。机械抛光虽然污染小但所用的抛光耗材并不能满足高精密抛光要求。化学机械抛光则针对上述抛光方法的不足，提出了一种低污染、高效的抛光方法。
但目前业内不锈钢化学机械抛光主要通过调节添加剂的用量来改善不锈钢抛光效果等问题，仍以酸性抛光液为主，对人员及操作设备方面还存在一定危害，且所得的表面效果也不是很理想。比如CN114438499A公开了一种磁力研磨机用不锈钢抛光液，所述磁力研磨机用不锈钢抛光液由硼酸、十二水合磷酸钠、九水合硅酸钠、表面活性剂以及磷酸组成，所述硼酸的浓度为2.3-4g/L，所述十二水合磷酸钠的浓度为2.5-5.5g/L，所述九水合硅酸钠的浓度2-3.5g/L，所述表面活性剂的浓度为15-23ml/L，经过添加所述磷酸调节pH至2.5-3.5。
CN113444456A公开了一种不锈钢表面加工用抛光液，按重量百分比由以下组分组成：纳米氧化铝5-10％，分散剂0.01-2％，光亮剂0.05-3％，缓蚀剂0.05-1％，pH值调节剂0.05-2％，余量为去离子水。
CN113150695A公开了一种环保不锈钢抛光液，其主要由以下重量份的原料制备而成：抛光料5份-10份，表面活性剂1-3份，增稠剂0.5-1份，碱0.1-0.3份，缓蚀剂0.1份-1份，乙醇10份-20份，水70份-90份；所述抛光料为纳米四氧化三铁包覆的多巴胺改性金刚石粉，所述多巴胺改性金刚石粉。
综上可知，上述抛光液均加入有缓蚀剂或酸液，虽然可以提升抛光速率但会对导致酸性废液的产生且难以满足高精密的需求。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明提供一种不锈钢抛光液及其制备方法和用途，所述不锈钢抛光液在省略缓蚀剂或酸液的同时组合使用硅溶胶与茶多酚，以硅溶胶为主要磨料并利用茶多酚的抗氧化性提高不锈钢表面的抗氧化性能，同时提升硅溶胶和氧化铝的分散均匀性，所述不锈钢抛光液用在抛光过程中不锈钢表面平整度高，能够达到镜面效果。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
第一方面，本发明提供一种不锈钢抛光液，所述不锈钢抛光液的组分包括氧化铝、分散剂、硅溶胶、茶多酚和水。
本发明提供的不锈钢抛光液选择硅溶胶、氧化铝和茶多酚复配，三者相互协同，其中硅溶胶不仅起到精细磨料的作用，而且与茶多酚中的多元酚基作用，能够在中性环境下保障硅溶胶的粒径，同时硅溶胶颗粒外侧相互作用的茶多酚能够提高氧化铝粉末在悬浮液体系中的电势，从而提高体系中氧化铝粉末的分散稳定性，而在后续研磨过程中大颗粒高硬度的氧化铝粉末与细颗粒低硬度的硅溶胶相互组配，在无需表面活性剂和缓蚀剂等加入的情况下即可实现优异的抛光效果。
优选地，所述不锈钢抛光液中氧化铝的含量为0.1～10wt％，例如可以是0.1wt％、1.2wt％、2.3wt％、3.4wt％、4.5wt％、5.6wt％、6.7wt％、7.8wt％、8.9wt％或10wt％等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，所述氧化铝的粒径为0.1～2μm，例如可以是0.1μm、0.4μm、0.6μm、0.8μm、1μm、1.2μm、1.4μm、1.6μm、1.8μm或2μm等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，所述不锈钢抛光液中分散剂的含量为0.1～5wt％，例如可以是0.1wt％、0.7wt％、1.2wt％、1.8wt％、2.3wt％、2.9wt％、3.4wt％、4wt％、4.5wt％或5wt％等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，所述分散剂为甲基丙烯酸钠。
优选地，所述不锈钢抛光液中硅溶胶的含量为10～50wt％，例如可以是10wt％、15wt％、19wt％、24wt％、28wt％、33wt％、37wt％、42wt％、46wt％或50wt％等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，所述硅溶胶的粒径为100～120nm，例如可以是100nm、103nm、105nm、107nm、109nm、112nm、114nm、116nm、118nm或120nm等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，所述不锈钢抛光液中茶多酚的含量为0.01～10wt％，例如可以是0.01wt％、1.12wt％、2.23wt％、3.34wt％、4.45wt％、5.56wt％、6.67wt％、7.78wt％、8.89wt％或10wt％等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，所述茶多酚与硅溶胶的质量比为0.01～0.2:1，例如可以是0.01:1、0.04:1、0.06:1、0.08:1、0.1:1、0.12:1、0.14:1、0.16:1、0.18:1或0.2:1等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
本发明优选严格控制茶多酚与硅溶胶的质量比为0.01～0.2:1，使茶多酚上的活性基团与硅溶胶相互作用，避免硅溶胶后续在中性环境下的聚集和沉降，同时茶多酚形成的溶液体系有利于氧化铝粉末表面电势的形成，也提高了氧化铝粉末分散的均匀性，但二者质量比不在上述范围内时容易导致硅溶胶在中性环境下的聚沉。
优选地，所述氧化铝与硅溶胶的质量比为0.01～0.8:1，例如可以是0.01:1、0.02:1、0.03:1、0.04:1、0.05:1、0.08:1、0.1:1、0.2:1、0.25:1、0.3:1、0.35:1、0.4:1、0.56:1、0.6:1、0.7:1或0.8:1等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
本发明优选将氧化铝与硅溶胶的质量比控制在上述范围内，一方面二者均作为磨料可以起到粗磨和精磨相配合的作用，从而更好地保障不锈钢表面的镜面效果和磨削速率；另一方面，控制硅溶胶的含量大于氧化铝，能够保障更好地分散效果以及抛光效果。
优选地，所述不锈钢抛光液中还包括pH调节剂。
优选地，所述pH调节剂为硝酸。本发明对所述硝酸的浓度没有特殊限制。
优选地，所述pH调节剂调节不锈钢抛光液至pH为6～8，例如可以是6、6.3、6.5、6.7、6.9、7.2、7.4、7.6、7.8或8等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
本发明仅需稍微添加pH调节剂将不锈钢抛光液的pH调节至中性，而且还能保障硅溶胶的分散效果属于绿色环保的不锈钢抛光液。
第二方面，本发明提供一种第一方面所述的不锈钢抛光液的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：
在搅拌条件下混合水和氧化铝，再在持续搅拌条件下依次加入分散剂、硅溶胶和茶多酚，得到所述不锈钢抛光液。
本发明提供的制备方法严格控制分散剂、硅溶胶和茶多酚的加入顺序，从而能够保障硅溶胶在水中的分散效果。
优选地，所述搅拌条件的转速为30～50r/min，例如可以是30r/min、33r/min、35r/min、37r/min、39r/min、42r/min、44r/min、46r/min、48r/min或50r/min等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，混合所述水和氧化铝后，先保持搅拌10～20min，例如可以是10min、12min、13min、14min、15min、16min、17min、18min、19min或20min等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，加入分散剂后先保持搅拌10～20min，再加入硅溶胶，例如可以是10min、12min、13min、14min、15min、16min、17min、18min、19min或20min等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，所述硅溶胶的原始浓度为20～70wt％，例如可以是20wt％、22wt％、25wt％、30wt％、35wt％、40wt％、45wt％、50wt％、55wt％、60wt％、65wt％或70wt％等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，加入硅溶胶后在搅拌条件下匀速滴入茶多酚。
优选地，所述茶多酚在3～5min内匀速滴入，例如可以是3min、3.3min、3.5min、3.7min、3.9min、4.2min、4.4min、4.6min、4.8min或5min等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
本发明中茶多酚采用匀速滴入的方式进行添加，可有效避免一次性加入茶多酚后部分硅溶胶和氧化铝粉末表面聚集过多的茶多酚部分硅溶胶表面无茶多酚的情况，从而在后续加入pH调节剂后分散的更均匀。
优选地，所述制备方法还包括：在加入茶多酚之后，先保持搅拌5～10min，再加入pH调节剂，例如可以是5min、5.6min、6.2min、6.7min、7.3min、7.8min、8.4min、8.9min、9.5min或10min等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，加入pH调节剂后再继续搅拌5～10min，得到所述不锈钢抛光液，例如可以是5min、5.6min、6.2min、6.7min、7.3min、7.8min、8.4min、8.9min、9.5min或10min等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
第三方面，本发明提供一种第一方面所述的不锈钢抛光液在化学机械抛光中的用途。
本发明提供的不锈钢抛光液抛光效果优良，能够较好地应用在不锈钢的化学机械抛光中。
本发明中不锈钢的材质包括200系列不锈钢、300系列不锈钢或400系列不锈钢中的任意一种或至少两种的组合，尤其针对304不锈钢或316L不锈钢。
与现有技术相比，本发明至少具有以下有益效果：
(1)本发明提供的不锈钢抛光液去除速率高、平化效率好，镜面效果优异，且PH为中性，相较于传统强酸性抛光液，该抛光液腐蚀性弱，对设备、操作人员及环境的危害都比较小；
(2)本发明提供的不锈钢抛光液选择茶多酚作为抗氧化剂，不仅能够防止不锈钢返锈而且茶多酚中的酚基能够与硅溶胶相互作用，从而能够避免硅溶胶和氧化铝粉末的团聚，提高了抛光液中研磨料的分散均匀性，不锈钢抛光液平均磨削速率优选在5.8μm/min以上，且得到的产品粗糙度优选可控制在0.5nm以内，放置10天后无返锈情况，；
(3)本发明提供的不锈钢抛光液的制备方法通过严格控制物质的加入顺序实现硅溶胶和氧化铝粉末的有效分散，提高了抛光液的抛光效果。
具体实施方式
为便于理解本发明，本发明列举实施例如下。本领域技术人员应该明了，所述实施例仅仅是帮助理解本发明，不应视为对本发明的具体限制。
实施例1
本实施例提供一种不锈钢抛光液，所述不锈钢抛光液按质量分数包括如下组分：
本实施例还提供所述不锈钢抛光液的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：
在45r/min搅拌条件下混合水和氧化铝粉末，先保持搅拌15min，加入甲基丙烯酸钠后先保持搅拌15min，再加入浓度为35wt％的硅溶胶，再立刻在40r/min搅拌条件下在4min内匀速滴入茶多酚，先保持搅拌5min，再加入pH调节剂调节pH至7.0，再继续搅拌6min，得到所述不锈钢抛光液。
实施例2
本实施例提供一种不锈钢抛光液，所述不锈钢抛光液按质量分数包括如下组分：
本实施例还提供所述不锈钢抛光液的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：
在40r/min搅拌条件下混合水和氧化铝粉末，先保持搅拌20min，加入甲基丙烯酸钠后先保持搅拌20min，再加入浓度为35wt％的硅溶胶，再立刻在40r/min搅拌条件下在4min内匀速滴入茶多酚，先保持搅拌5min，再加入pH调节剂调节pH至6.8，再继续搅拌6min，得到所述不锈钢抛光液。
实施例3
本实施例提供一种不锈钢抛光液，所述不锈钢抛光液按质量分数包括如下组分：
本实施例还提供所述不锈钢抛光液的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：
在30r/min搅拌条件下混合水和氧化铝粉末，先保持搅拌10min，加入甲基丙烯酸钠后先保持搅拌10min，再加入浓度为55wt％的硅溶胶，再立刻在35r/min搅拌条件下在5min内匀速滴入茶多酚，先保持搅拌10min，再加入pH调节剂调节pH至6.5，再继续搅拌10min，得到所述不锈钢抛光液。
实施例4
本实施例提供一种不锈钢抛光液，所述不锈钢抛光液按质量分数包括如下组分：
本实施例还提供所述不锈钢抛光液的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：
在50r/min搅拌条件下混合水和氧化铝粉末，先保持搅拌18min，加入甲基丙烯酸钠后先保持搅拌18min，再加入浓度为25wt％的硅溶胶，再立刻在50r/min搅拌条件下在3min内匀速滴入茶多酚，先保持搅拌5min，再加入pH调节剂调节pH至7.2，再继续搅拌5min，得到所述不锈钢抛光液。
实施例5
本实施例提供一种不锈钢抛光液，所述不锈钢抛光液中茶多酚的量调整为1wt％，并相应减少水的量以保持其他组分的质量分数不变外，其余均与实施例1相同。
实施例6
本实施例提供一种不锈钢抛光液，所述不锈钢抛光液中茶多酚的量调整为0.2wt％，并相应增加水的量以保持其他组分的质量分数不变外，其余均与实施例1相同。
实施例7
本实施例提供一种不锈钢抛光液，所述不锈钢抛光液中氧化铝的量调整为22wt％，并相应减少水的量以保持其他组分的质量分数不变外，其余均与实施例1相同。
实施例8
本实施例提供一种不锈钢抛光液，所述不锈钢抛光液中氧化铝的量调整为0.2wt％，并相应增加水的量以保持其他组分的质量分数不变外，其余均与实施例1相同。
实施例9
本实施例提供一种不锈钢抛光液，所述不锈钢抛光液中茶多酚不采用匀速滴入而是直接一次性倒入外，其余均与实施例1相同。
实施例10
本实施例提供一种不锈钢抛光液，所述不锈钢抛光液中在混合水和氧化铝后就先加pH调节剂硝酸，再依次加入甲基丙烯酸钠、硅溶胶和茶多酚外，其余均与实施例1相同。具体方法如下：
在45r/min搅拌条件下混合水和氧化铝粉末，先保持搅拌15min，加入与实施例1相同量的硝酸，继续搅拌6min，再加入甲基丙烯酸钠后先保持搅拌15min，再加入浓度为35wt％的硅溶胶，再立刻在40r/min搅拌条件下在4min内匀速滴入茶多酚，先保持搅拌5min，再得到所述不锈钢抛光液。
对比例1
本实施例提供一种不锈钢抛光液，所述不锈钢抛光液中先加入茶多酚再加入硅溶胶外，其余均与实施例1相同。具体方法如下：
在45r/min搅拌条件下混合水和氧化铝粉末，先保持搅拌15min，加入甲基丙烯酸钠后先保持搅拌15min，再在40r/min搅拌条件下在4min内匀速滴入茶多酚，再立刻加入浓度为35wt％的硅溶胶，先保持搅拌5min，再加入pH调节剂调节pH至7.0，再继续搅拌6min，得到所述不锈钢抛光液。
对比例2
本实施例提供一种不锈钢抛光液，所述不锈钢抛光液中先加入硅溶胶和茶多酚再加入甲基丙烯酸钠外，其余均与实施例1相同。具体方法如下：
在45r/min搅拌条件下混合水和氧化铝粉末，先保持搅拌15min，再加入浓度为35wt％的硅溶胶，再立刻在40r/min搅拌条件下在4min内匀速滴入茶多酚，先保持搅拌5min，再加入甲基丙烯酸钠后先保持搅拌15min，再加入pH调节剂调节pH至7.0，再继续搅拌6min，得到所述不锈钢抛光液。
对比例3
本实施例提供一种不锈钢抛光液，所述不锈钢抛光液中不加入茶多酚外，其余均与实施例1相同。
对比例4
本实施例提供一种不锈钢抛光液，所述不锈钢抛光液中茶多酚替换为生育酚外，其余均与实施例1相同。
对比例5
本实施例提供一种不锈钢抛光液，所述不锈钢抛光液中茶多酚替换为植酸(环己六醇六磷酸)外，其余均与实施例1相同。
对比例6
本实施例提供一种不锈钢抛光液，所述不锈钢抛光液中硅溶胶替换为氧化铝粉末外，其余均与实施例1相同。
应用方法：在9B精密双面研磨抛光机上用于抛光，工件为4in的不锈钢圆片，抛光压力200g/cm2，下盘转速50RPM，齿轮转速比0.3，抛光液流速10ml/min。
测试方法：采用原子力显微镜测试不锈钢表面的粗糙度，每个样品取样5个点并计算平均粗糙度。将抛光后的不锈钢样品干燥后置于25℃，50％湿度环境下保持10天观察其表面返锈情况。以上实施例和对比例的测试结果如表1所示。
表1
从表1可以看出如下几点：
(1)综合实施例1～4可以看出，本发明提供的不锈钢抛光液平均磨削速率高，在5.8μm/min以上，且得到的产品粗糙度可控制在0.5nm以内，放置10天后无返锈情况，而且该抛光液呈中性，避免了酸性废液的产生；
(2)综合实施例1和对比例3～5可以看出，实施例1中加入茶多酚作为抗氧化剂，相较于对比例3中不加茶多酚，对比例4～5中加入其它抗氧化剂而言，实施例1中由于抛光液中磨料的分散均匀性和粒径均匀性都更好，其平均磨削速率为6.7μm/min的同时最终不锈钢产品的粗糙度仅为0.4nm，而对比例3中产品的粗糙度高达92nm，对比例4～5中产品的粗糙度也分别达到102nm和89nm，由此表明本发明通过茶多酚的加入不仅起到了防止生锈的作用，而且能够与硅溶胶相互作用起到稳定颗粒的作用降低抛光后不锈钢表面的粗糙度；
(3)综合实施例1和对比例6可以看出，实施例1中选择硅溶胶与氧化铝粉末复配作为磨料，相较于对比例6中仅选用氧化铝粉末而言，实施例1不仅磨削速率高且抛光后不锈钢表面的粗糙度低，而对比例6抛光后不锈钢表面的粗糙度高达365nm，而且放置10天后存在轻微返锈的情况，由此表明，本发明通过优选硅溶胶与氧化铝粉末复配作为磨料，在保障抛光速率的同时能够降低表面粗糙度；
(4)综合实施例1和对比例1～2以及实施例10可以看出，物料的加入顺序对于硅溶胶颗粒的悬浮稳定性能影响较大，本发明优选依次加入甲基丙烯酸钠、硅溶胶、茶多酚和pH调节剂的方式，能够得到粒径在100～120nm范围内的硅溶胶颗粒，且可提升氧化铝粉末的分散均匀性，最终提高抛光效果；
(5)综合实施例1和5～8可以看出，本发明通过严格控制硅溶胶、氧化铝和茶多酚的配比，三者相互协同，其中硅溶胶不仅起到精细磨料的作用，而且与茶多酚中的酚基作用，提高体系中氧化铝粉末的分散稳定性，而在研磨过程中大颗粒高硬度的氧化铝粉末与细颗粒低硬度的硅溶胶相互组配，在无需表面活性剂和缓蚀剂加入的情况下即可实现优异的抛光效果；
(6)综合实施例1和实施例9可以看出，实施例1中通过均匀滴入茶多酚的方式制备抛光液，相较于实施例9中一次性直接倒入而言，实施例1中硅溶胶的颗粒粒径为100～105nm，而实施例9中硅溶胶的粒径范围达到80～155nm，粒径分布显著增加导致抛光后不锈钢表面的粗糙度显著增加，由此表明，本发明优选采用匀速滴加的方式，能够更好地控制硅溶胶的粒径，提高抛光效果。
本发明通过上述实施例来说明本发明的详细工艺设备和工艺流程，但本发明并不局限于上述详细工艺设备和工艺流程，即不意味着本发明必须依赖上述详细工艺设备和工艺流程才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本发明的任何改进，对本发明产品各原料的等效替换及辅助成分的添加、具体方式的选择等，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。
Claims (10)
1.一种不锈钢抛光液，其特征在于，所述不锈钢抛光液的组分包括氧化铝、分散剂、硅溶胶、茶多酚和水。
2.根据权利要求1所述的不锈钢抛光液，其特征在于，所述不锈钢抛光液中氧化铝的含量为0.1～10wt％；
优选地，所述氧化铝的粒径为0.1～2μm。
3.根据权利要求1或2所述的不锈钢抛光液，其特征在于，所述不锈钢抛光液中分散剂的含量为0.1～5wt％；
优选地，所述分散剂为甲基丙烯酸钠。
4.根据权利要求1～3任一项所述的不锈钢抛光液，其特征在于，所述不锈钢抛光液中硅溶胶的含量为10～50wt％；
优选地，所述硅溶胶的粒径为100～120nm。
5.根据权利要求1～4任一项所述的不锈钢抛光液，其特征在于，所述不锈钢抛光液中茶多酚的含量为0.01～10wt％；
优选地，所述茶多酚与硅溶胶的质量比为0.01～0.2:1。
6.根据权利要求1～5任一项所述的不锈钢抛光液，其特征在于，所述不锈钢抛光液中还包括pH调节剂；
优选地，所述pH调节剂为硝酸；
优选地，所述pH调节剂调节不锈钢抛光液至pH为6～8。
7.一种根据权利要求1～6任一项所述的不锈钢抛光液的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：
在搅拌条件下混合水和氧化铝，再在持续搅拌条件下依次加入分散剂、硅溶胶和茶多酚，得到所述不锈钢抛光液。
8.根据权利要求1～7任一项所述的制备方法，其特征在于，所述搅拌条件的转速为30～50r/min；
优选地，混合所述水和氧化铝后，先保持搅拌10～20min；
优选地，加入分散剂后先保持搅拌10～20min，再加入硅溶胶；
优选地，加入硅溶胶后在搅拌条件下匀速滴入茶多酚；
优选地，所述茶多酚在3～5min内匀速滴入。
9.根据权利要求1～8任一项所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法还包括：在加入茶多酚之后，先保持搅拌5～10min，再加入pH调节剂；
优选地，加入pH调节剂后再继续搅拌5～10min，得到所述不锈钢抛光液。
10.一种根据权利要求1～6任一项所述的不锈钢抛光液在化学机械抛光中的用途。
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