CN115799126B

CN115799126B - 光刻胶固化工艺过程中的uv灯冷却控制方法和装置

Info

Publication number: CN115799126B
Application number: CN202310051372.6A
Authority: CN
Inventors: 阮正华; 孙文彬
Original assignee: Jiangsu Yiwen Microelectronics Technology Co Ltd; Advanced Materials Technology and Engineering Inc
Current assignee: Wuxi Yiwen Microelectronics Technology Co ltd; Jiangsu Yiwen Microelectronics Technology Co Ltd
Priority date: 2023-02-02
Filing date: 2023-02-02
Publication date: 2023-04-14
Anticipated expiration: 2043-02-02
Also published as: CN115799126A

Abstract

本申请提供一种光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法和装置，所述方法包括：基于光刻胶固化工艺流程确定各UV灯不进行冷却时的原始温度曲线，基于原始温度曲线确定温度超过第一阈值的第一类UV灯；基于各第一类UV灯温度达到第二阈值的时刻开启风冷并更新温度曲线；基于更新的温度曲线确定是否需要开启水冷，若需要，基于更新的温度曲线开启水冷，关闭风冷，并更新温度曲线，基于更新的温度曲线关闭水冷并更新温度曲线；若不需要，基于更新的温度曲线关闭风冷并更新温度曲线；基于各UV灯的当前温度曲线确定后续工艺中是否存在第一类UV灯，并基于判断结果继续执行相应冷却操作，能在保证安全性的同时降低噪音和维护成本。

Description

光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法和装置

技术领域

本申请涉及紫外固化技术领域，尤其涉及一种光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法和装置。

背景技术

在晶圆的加工过程中，UV（Ultraviolet，紫外线）机台是部分生产工艺中不可或缺的设备，使用UV机台中的UV灯对晶圆表面的光刻胶进行照射以实现固化，能够防止刻蚀时光刻胶出现塌陷现象。UV灯在工作过程中需要进行物理降温以避免UV灯在发出紫外光的过程中产生的热能损坏UV灯。

现有的UV灯冷却方式包括风冷和水冷两种，其中风冷方式的优点在于工作稳定，且维护成本低，但风冷方式噪音大，且冷却效果易受环境影响；而水冷方式恰恰具备冷却效果好且噪音小的优点，但水冷方式易发生漏水、冰冻、结垢等问题，工作稳定性相对较差且维护成本较高。基于此，如何在保证UV灯工作安全性的基础上最大限度降低噪音和维护成本，成为目前业界亟待解决的技术问题。

发明内容

本申请提供一种光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法和装置，以在保证UV灯工作安全性的基础上最大限度降低噪音和维护成本。

本申请提供一种光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法，所述方法包括：

S1，基于当前批次晶圆的光刻胶固化工艺流程确定各UV灯不进行冷却的情况下对应的原始温度曲线，基于各UV灯的原始温度曲线确定工艺过程中温度超过第一阈值的第一类UV灯；

S2，基于各第一类UV灯的当前温度曲线确定各第一类UV灯温度达到第二阈值的时刻，基于各第一类UV灯温度达到第二阈值的时刻开启风冷系统并更新各UV灯的温度曲线；基于更新的温度曲线确定是否需要开启水冷，若需要，执行S4，若不需要，执行S3；

S3，基于更新的温度曲线确定风冷系统的关闭时刻，在所述风冷系统的关闭时刻关闭风冷系统并更新各UV灯的温度曲线，跳转至S5；

S4，基于更新的温度曲线确定水冷系统的开启时刻，在所述水冷系统的开启时刻开启水冷系统，关闭风冷系统，并更新各UV灯的温度曲线；基于更新的温度曲线确定水冷系统的关闭时刻，在所述水冷系统的关闭时刻关闭水冷系统并更新各UV灯的温度曲线，执行S5；

S5，基于各UV灯的当前温度曲线确定后续工艺中是否存在所述第一类UV灯，若是，跳转至S2；若否，执行S6；

S6，在判断工艺结束时输出指示信息。

根据本申请提供的一种光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法，所述方法还包括：

基于UV机台工艺腔中目标点的温度采样值确定各UV灯的温度曲线修正量，并基于所述温度曲线修正量对各UV灯的温度曲线进行持续修正。

根据本申请提供的一种光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法，所述基于当前批次晶圆的光刻胶固化工艺流程确定各UV灯不进行冷却的情况下对应的原始温度曲线，具体包括：

基于当前批次晶圆的光刻胶固化工艺流程，确定各UV灯的开闭时序以及开启阶段对应的运行功率；

基于各UV灯的开闭时序以及开启阶段对应的运行功率确定各UV灯的实时热力模型，并基于各UV灯的实时热力模型构建UV机台工艺腔的实时热力模型；

基于所述UV机台工艺腔的实时热力模型确定各UV灯不进行冷却的情况下对应的原始温度曲线。

根据本申请提供的一种光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法，所述基于各第一类UV灯温度达到第二阈值的时刻开启风冷系统并更新各UV灯的温度曲线，具体包括：

基于各第一类UV灯温度达到第二阈值的时刻确定时序最靠前的第一目标时刻，并将所述第一目标时刻作为风冷系统的开启时刻；

在所述风冷系统的开启时刻开启风冷系统，并基于所述风冷系统的开启时刻以及对应的运行参数更新各UV灯的温度曲线。

根据本申请提供的一种光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法，所述基于更新的温度曲线确定是否需要开启水冷，具体包括：

基于更新的温度曲线确定风冷开启后各第一类UV灯的温度是否降低，若是，则判断不需要开启水冷，若否，则判断需要开启水冷。

根据本申请提供的一种光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法，所述基于更新的温度曲线确定水冷系统的开启时刻，具体包括：

基于更新的温度曲线确定第一类UV灯中温度超过第一阈值的目标UV灯及各目标UV灯温度达到第一阈值的时刻；

基于各目标UV灯温度达到第一阈值的时刻确定时序最靠前的第二目标时刻，并将所述第二目标时刻之前预设时段的起始时刻作为水冷系统的开启时刻。

根据本申请提供的一种光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法，所述基于更新的温度曲线确定风冷系统的关闭时刻，具体包括：

基于更新的温度曲线确定各第一类UV灯的温度均不超过第三阈值的第三目标时刻，并将所述第三目标时刻作为风冷系统的关闭时刻；

相应的，所述基于更新的温度曲线确定水冷系统的关闭时刻，具体包括：

基于更新的温度曲线确定各目标UV灯的温度均不超过第三阈值的第四目标时刻，并将所述第四目标时刻作为水冷系统的关闭时刻；

其中，所述第一阈值、第二阈值和第三阈值依次减小。

本申请还提供一种光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制装置，所述装置用于执行以下步骤：

S6，在判断工艺结束时输出指示信息。

本申请还提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法的步骤。

本申请还提供一种计算机程序产品，包括计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法的步骤。

本申请提供的光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法和装置，包括：S1，基于当前批次晶圆的光刻胶固化工艺流程确定各UV灯不进行冷却的情况下对应的原始温度曲线，基于各UV灯的原始温度曲线确定工艺过程中温度超过第一阈值的第一类UV灯； S2，基于各第一类UV灯的当前温度曲线确定各第一类UV灯温度达到第二阈值的时刻，基于各第一类UV灯温度达到第二阈值的时刻开启风冷系统并更新各UV灯的温度曲线；基于更新的温度曲线确定是否需要开启水冷，若需要，执行S4，若不需要，执行S3；S3，基于更新的温度曲线确定风冷系统的关闭时刻，在所述风冷系统的关闭时刻关闭风冷系统并更新各UV灯的温度曲线，跳转至S5；S4，基于更新的温度曲线确定水冷系统的开启时刻，在所述水冷系统的开启时刻开启水冷系统，关闭风冷系统，并更新各UV灯的温度曲线；基于更新的温度曲线确定水冷系统的关闭时刻，在所述水冷系统的关闭时刻关闭水冷系统并更新各UV灯的温度曲线，执行S5；S5，基于各UV灯的当前温度曲线确定后续工艺中是否存在所述第一类UV灯，若是，跳转至S2；若否，执行S6；S6，在判断工艺结束时输出指示信息，采用风冷和水冷两套冷却系统能够最大限度保证冷却效果，同时，通过风冷系统和水冷系统开闭时序的准确控制，能够在保证UV灯工作安全性的基础上最大限度降低噪音和维护成本。

附图说明

为了更清楚地说明本申请或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请提供的光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法的流程示意图；

图2是本申请提供的原始温度曲线的确定流程示意图；

图3是本申请提供的风冷系统的开启流程示意图；

图4是本申请提供的水冷系统的开启时刻的确定流程示意图；

图5是本申请提供的电子设备的结构示意图。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请中的附图，对本申请中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

图1为本申请提供的光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法的流程示意图，如图1所示，该方法包括：

步骤S1，基于当前批次晶圆的光刻胶固化工艺流程确定各UV灯不进行冷却的情况下对应的原始温度曲线，基于各UV灯的原始温度曲线确定工艺过程中温度超过第一阈值的第一类UV灯；

具体的，本申请实施例采用的UV机台包括晶圆传输机构以及工艺腔，所述晶圆传输机构用于将待工艺的晶圆送入工艺腔中进行光刻胶固化工艺并将完成工艺的晶圆从工艺腔中取出；所述工艺腔中包括晶圆放置区域、多个UV灯、集成设置的水冷和风冷系统，所述晶圆放置区域用于放置待工艺的晶圆，所述UV灯用于对晶圆放置区域的待工艺晶圆进行固化，所述水冷和风冷系统用于在工艺过程中对所述UV灯进行冷却。通过晶圆传输机构、工艺腔中UV灯和冷却系统的协同工作，即可完成晶圆光刻胶固化工艺的连续作业。

可以理解的是，由于不同批次晶圆的工艺要求可能存在差异，因此，晶圆的光刻胶固化工艺通常是分批次进行。所述光刻胶工艺流程中包括当前批次晶圆中各晶圆的工艺时序以及对应的工艺条件，所述工艺条件包括各UV灯的开闭状态以及运行功率。基于此，本申请实施例即可基于当前批次晶圆的光刻胶固化工艺流程确定各UV灯不进行冷却的情况下对应的原始温度曲线，进而基于各UV灯的原始温度曲线确定工艺过程中温度超过第一阈值的第一类UV灯，以便在工艺过程中进行准确的UV灯冷却控制。所述第一阈值为可能对UV灯造成损坏的温度阈值，其可以通过预先测试确定，也可以采用经验值，本申请实施例对此不作具体限定。还可以理解的是，所述第一类UV灯可能为一个，也可能为多个。若基于各UV灯的原始温度曲线确定工艺过程中不存在温度超过第一阈值的第一类UV灯，则无需进行冷却，在实际工艺过程中，该情形基本不会发生，因此本申请实施例对其不作详细说明。

需要注意的是，现有技术对于工艺过程中UV灯的温度通常采用预设的温度传感器进行采集，而由于UV灯的数量众多，且分布区域较大，要实现温度的精确采集需要设置大量温度传感器，这将导致UV机台的制造成本大大增加，因此，本申请实施通过采用基于当前批次晶圆的光刻胶固化工艺流程确定各UV灯不进行冷却的情况下对应的原始温度曲线的方式，不但能够准确预测工艺过程中的UV灯温度变化，也大大降低了UV机台的制造成本。图2是本申请提供的原始温度曲线的确定流程示意图，如图2所示，所述基于当前批次晶圆的光刻胶固化工艺流程确定各UV灯不进行冷却的情况下对应的原始温度曲线，具体包括：

步骤101，基于当前批次晶圆的光刻胶固化工艺流程，确定各UV灯的开闭时序以及开启阶段对应的运行功率；

步骤102，基于各UV灯的开闭时序以及开启阶段对应的运行功率确定各UV灯的实时热力模型，并基于各UV灯的实时热力模型构建UV机台工艺腔的实时热力模型；

步骤103，基于所述UV机台工艺腔的实时热力模型确定各UV灯不进行冷却的情况下对应的原始温度曲线。

具体的，根据前述内容可知，基于当前批次晶圆的光刻胶固化工艺流程，即可确定各UV灯的开闭状态以及运行功率，进而确定各UV灯的开闭时序以及开启阶段对应的运行功率。基于各UV灯的开闭时序以及开启阶段对应的运行功率以及UV灯的运行功率与产热量的对应关系，即可确定各UV灯的实时热力模型，所述各UV灯的实时热力模型中包括UV灯照射范围内各点的实时热力值。可以理解的是，在实际工艺过程中，由于各UV灯的照射范围存在重叠，相应的，重叠区域的热力值也会叠加，基于此，即可基于各UV灯的实时热力模型构建UV机台工艺腔的实时热力模型，所述UV机台工艺腔的实时热力模型中包括工艺腔中各点的实时热力值。基于此，即可基于所述UV机台工艺腔的实时热力模型确定工艺腔中各点的实时热力值，进而基于工艺腔中各点的实时热力值确定各UV灯不进行冷却的情况下对应的原始温度曲线。通过所述原始温度曲线，本申请实施例能够准确预测在工艺过程中不进行冷却的情况下，各UV灯的实时温度变化，进而确定工艺过程中温度超过第一阈值的第一类UV灯。

步骤S2，基于各第一类UV灯的当前温度曲线确定各第一类UV灯温度达到第二阈值的时刻，基于各第一类UV灯温度达到第二阈值的时刻开启风冷系统并更新各UV灯的温度曲线；基于更新的温度曲线确定是否需要开启水冷，若需要，执行S4，若不需要，执行S3；

具体的，所述第二阈值为低于前述第一阈值的预设值，由于本申请实施例采用的UV机台集成了风冷系统和水冷系统，考虑到水冷系统的维护成本较高，因此本申请实施例在判断需要进行冷却的情况下会优先考虑开启风冷系统，在风冷系统的制冷量无法满足降温需求的情况下再及时开启水冷系统，以确保UV灯工作的安全性。基于此，即可在保证UV灯工作安全性的基础上最大限度降低噪音和维护成本。所述第二阈值的取值可以预先测试确定，以确保能够准确评估风冷系统的制冷量是否满足降温需求，进而确保水冷系统的及时开启，避免对UV灯造成损坏。

可以理解的是，当开启风冷或水冷系统时，需要对UV灯的温度曲线进行更新以确保UV灯温度预测的准确性，进而保证冷却系统开闭控制时机的准确性。还可以理解的是，当冷却系统开启时，UV灯的温度会逐渐降低，但当冷却系统关闭时，UV灯的温度又会逐渐升高，因此，在当前批次晶圆的光刻胶固化工艺过程中可能存在多次冷却过程，相应的，也存在多次温度曲线更新过程，基于此，步骤S2中的当前温度曲线可能为原始温度曲线，也可能为基于上一轮冷却过程更新的温度曲线。对于任意依次冷却过程，在确定了工艺过程中温度超过第一阈值的第一类UV灯之后，即可基于各第一类UV灯的当前温度曲线确定各第一类UV灯温度达到第二阈值的时刻，进而基于各第一类UV灯温度达到第二阈值的时刻开启风冷系统并更新各UV灯的温度曲线。图3是本申请提供的风冷系统的开启流程示意图，如图3所示，所述基于各第一类UV灯温度达到第二阈值的时刻开启风冷系统并更新各UV灯的温度曲线，具体包括：

步骤201，基于各第一类UV灯温度达到第二阈值的时刻确定时序最靠前的第一目标时刻，并将所述第一目标时刻作为风冷系统的开启时刻。

具体的，可以理解的是，风冷系统和水冷系统一旦开启将会对全部UV灯同时进行冷却，而水冷系统由于自身特性，从开启到实现制冷之间会存在一段延时时间，为了在风冷系统无法满足制冷需求的情况下为水冷系统的开启预留足够的延时时间，本申请实施例基于各第一类UV灯温度达到第二阈值的时刻确定时序最靠前的第一目标时刻，并将所述第一目标时刻作为风冷系统的开启时刻。当然，出于进一步降低风冷噪声和冷却控制精度的考虑，本申请实施例也可以采用分布式的风冷系统，所述分布式的风冷系统包括多个风冷子系统，基于此，可以基于各风冷子系统的风冷作用范围，在各第一类UV灯温度达到第二阈值的时刻开启对应的风冷子系统以进行针对性冷却。

步骤202，在所述风冷系统的开启时刻开启风冷系统，并基于所述风冷系统的开启时刻以及对应的运行参数更新各UV灯的温度曲线。

具体的，确定了风冷系统的开启时刻之后，即可在所述风冷系统的开启时刻开启风冷系统，并基于所述风冷系统的开启时刻以及对应的运行参数更新各UV灯的温度曲线。所述运行参数主要包括运行功率，基于风冷系统运行功率与制冷量的对应关系即可确定对应的制冷量，进而基于所述风冷系统的开启时刻以及对应的制冷量更新各UV灯的温度曲线，以便确定是否需要开启水冷系统。相应的，所述基于更新的温度曲线确定是否需要开启水冷，具体包括：

具体的，若各第一类UV灯的温度降低，说明风冷系统的制冷量满足制冷需求，因此，采用风冷系统进行冷却即可，而不需要开启水冷；相反，若各第一类UV灯中存在温度继续升高的UV灯，则说明风冷系统的制冷量不满足制冷需求，需要开启水冷。基于此，可以对风冷系统和水冷系统的开启进行精确控制，以在确保UV灯工作安全性的基础上，最大限度降低噪声和维护成本。

步骤S3，基于更新的温度曲线确定风冷系统的关闭时刻，在所述风冷系统的关闭时刻关闭风冷系统并更新各UV灯的温度曲线，跳转至S5；

具体的，在判断不需要开启水冷的情况下，本申请实施例则基于更新的温度曲线确定风冷系统的关闭时刻，在所述风冷系统的关闭时刻关闭风冷系统并更新各UV灯的温度曲线即完成了当前轮次的冷却。完成当前轮次的冷却之后，即可进入下一轮冷却的判断（即跳转执行步骤S5）。所述基于更新的温度曲线确定风冷系统的关闭时刻，具体包括：

基于更新的温度曲线确定各第一类UV灯的温度均不超过第三阈值的第三目标时刻，并将所述第三目标时刻作为风冷系统的关闭时刻。

需要注意的是，所述第一阈值、第二阈值和第三阈值依次减小，基于此，可以延迟下一轮冷却中冷却系统的开启时间，以避免在工艺过程中需要频繁开闭冷却系统，进而降低冷却系统的使用频率，进而提高冷却系统的使用寿命，降低维护成本。所述第三阈值的具体取值可以根据实际需要进行设定，本申请实施例对此不作具体限定。还需要注意的是，若所述风冷系统的关闭时刻晚于当前批次晶圆的工艺结束时刻，即在工艺结束时刻关闭风冷系统。

步骤S4，基于更新的温度曲线确定水冷系统的开启时刻，在所述水冷系统的开启时刻开启水冷系统，关闭风冷系统，并更新各UV灯的温度曲线；基于更新的温度曲线确定水冷系统的关闭时刻，在所述水冷系统的关闭时刻关闭水冷系统并更新各UV灯的温度曲线，执行S5；

具体的，在判断需要开启水冷的情况下，本申请实施例则基于更新的温度曲线确定水冷系统的开启时刻，在所述水冷系统的开启时刻开启水冷系统，关闭风冷系统，并更新各UV灯的温度曲线。需要注意的是，水冷系统的制冷量一定是满足制冷需求的，即水冷系统一旦开启，UV灯的温度必然会下降，基于此，本申请实施例在开启水冷系统时会关闭风冷系统以在保证UV灯工作安全性的基础上降低风冷系统的噪声影响。图4是本申请提供的水冷系统的开启时刻的确定流程示意图，如图4所示，所述基于更新的温度曲线确定水冷系统的开启时刻，具体包括：

步骤301，基于更新的温度曲线确定第一类UV灯中温度超过第一阈值的目标UV灯及各目标UV灯温度达到第一阈值的时刻；

步骤302，基于各目标UV灯温度达到第一阈值的时刻确定时序最靠前的第二目标时刻，并将所述第二目标时刻之前预设时段的起始时刻作为水冷系统的开启时刻。

具体的，所述目标UV灯即风冷开启的情况下温度仍然超过第一阈值的第一类UV灯，基于风冷开启后更新的温度曲线，本申请实施例能够快速准确确定所述目标UV灯及各目标UV灯温度达到第一阈值的时刻。可以理解的是，一旦某一个UV灯的温度超过第一阈值，将可能造成UV灯的损坏，因此，本申请实施例基于各目标UV灯温度达到第一阈值的时刻确定时序最靠前的第二目标时刻，并将所述第二目标时刻之前预设时段（即前述延时时间对应的时段）的起始时刻作为水冷系统的开启时刻，基于此，能够确保水冷系统开启后能够对目标UV灯进行有效降温，进而最大限度确保UV灯工作的安全性。

在所述水冷系统的开启时刻开启水冷系统，关闭风冷系统，并更新各UV灯的温度曲线之后，即可基于更新的温度曲线确定水冷系统的关闭时刻，在所述水冷系统的关闭时刻关闭水冷系统并更新各UV灯的温度曲线即完成了当前轮次的冷却。完成当前轮次的冷却之后，即可进入下一轮冷却的判断（即执行步骤S5）。与风冷系统的关闭时刻的确定流程类似的，所述基于更新的温度曲线确定水冷系统的关闭时刻，具体包括：

基于更新的温度曲线确定各目标UV灯的温度均不超过第三阈值的第四目标时刻，并将所述第四目标时刻作为水冷系统的关闭时刻。

需要注意的是，若所述水冷系统的关闭时刻晚于当前批次晶圆的工艺结束时刻，即在工艺结束时刻关闭水冷系统。

步骤S5，基于各UV灯的当前温度曲线确定后续工艺中是否存在所述第一类UV灯，若是，跳转至S2；若否，执行S6；

具体的，基于前述内容可知，执行完步骤S3或S4即代表当前轮次的冷却过程已结束，即可执行步骤S5以进入下一轮冷却的判断，即基于各UV灯的当前温度曲线（即步骤S3或S4得到的更新的温度曲线）确定后续工艺中是否存在所述第一类UV灯，若是，则跳转执行步骤S2以进行下一轮冷却过程。若否，说明后续工艺过程无需冷却，则执行步骤S6，确定工艺是否结束。

步骤S6，在判断工艺结束时输出指示信息。

具体的，UV机台的后台软件会实时监控当前工艺进度以判断当前批次晶圆的工艺是否结束，基于此，可以在判断工艺结束时，可以输出相应指示信息以提醒相关人员进行工艺后处理。

本申请实施例提供的方法，包括：S1，基于当前批次晶圆的光刻胶固化工艺流程确定各UV灯不进行冷却的情况下对应的原始温度曲线，基于各UV灯的原始温度曲线确定工艺过程中温度超过第一阈值的第一类UV灯； S2，基于各第一类UV灯的当前温度曲线确定各第一类UV灯温度达到第二阈值的时刻，基于各第一类UV灯温度达到第二阈值的时刻开启风冷系统并更新各UV灯的温度曲线；基于更新的温度曲线确定是否需要开启水冷，若需要，执行S4，若不需要，执行S3；S3，基于更新的温度曲线确定风冷系统的关闭时刻，在所述风冷系统的关闭时刻关闭风冷系统并更新各UV灯的温度曲线，跳转至S5；S4，基于更新的温度曲线确定水冷系统的开启时刻，在所述水冷系统的开启时刻开启水冷系统，关闭风冷系统，并更新各UV灯的温度曲线；基于更新的温度曲线确定水冷系统的关闭时刻，在所述水冷系统的关闭时刻关闭水冷系统并更新各UV灯的温度曲线，执行S5；S5，基于各UV灯的当前温度曲线确定后续工艺中是否存在所述第一类UV灯，若是，跳转至S2；若否，执行S6；S6，在判断工艺结束时输出指示信息，采用风冷和水冷两套冷却系统能够最大限度保证冷却效果，同时，通过风冷系统和水冷系统开闭时序的准确控制，能够在保证UV灯工作安全性的基础上最大限度降低噪音和维护成本。

基于上述实施例，所述方法还包括：

具体的，考虑到UV机台工艺腔中的温度还会受到环境以及工艺腔内的固化反应影响（通常情况下，工艺腔内各点的温度会低于预测值），基于此，为了进一步保证工艺过程中冷却系统的控制精度，本申请实施例会在工艺腔中的目标点设置少量温度传感器，并在工艺过程中基于UV机台工艺腔中目标点的温度采样值确定各UV灯的温度曲线修正量，并基于所述温度曲线修正量对各UV灯的温度曲线进行持续修正。基于此，将进一步保证风冷系统和水冷系统开闭时机的准确性，进而确保光刻胶固化工艺过程中UV灯的冷却控制精度。

本申请实施例提供的方法，基于UV机台工艺腔中目标点的温度采样值确定各UV灯的温度曲线修正量，并基于所述温度曲线修正量对各UV灯的温度曲线进行持续修正，以进一步确保光刻胶固化工艺过程中UV灯的冷却控制精度。

下面对本申请提供的光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制装置进行描述，下文描述的光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制装置与上文描述的光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法可相互对应参照。

基于上述任一实施例，本申请提供的光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制装置用于执行以下步骤：

S6，在判断工艺结束时输出指示信息。

本申请实施例提供的装置，用于执行以下步骤：S1，基于当前批次晶圆的光刻胶固化工艺流程确定各UV灯不进行冷却的情况下对应的原始温度曲线，基于各UV灯的原始温度曲线确定工艺过程中温度超过第一阈值的第一类UV灯； S2，基于各第一类UV灯的当前温度曲线确定各第一类UV灯温度达到第二阈值的时刻，基于各第一类UV灯温度达到第二阈值的时刻开启风冷系统并更新各UV灯的温度曲线；基于更新的温度曲线确定是否需要开启水冷，若需要，执行S4，若不需要，执行S3；S3，基于更新的温度曲线确定风冷系统的关闭时刻，在所述风冷系统的关闭时刻关闭风冷系统并更新各UV灯的温度曲线，跳转至S5；S4，基于更新的温度曲线确定水冷系统的开启时刻，在所述水冷系统的开启时刻开启水冷系统，关闭风冷系统，并更新各UV灯的温度曲线；基于更新的温度曲线确定水冷系统的关闭时刻，在所述水冷系统的关闭时刻关闭水冷系统并更新各UV灯的温度曲线，执行S5；S5，基于各UV灯的当前温度曲线确定后续工艺中是否存在所述第一类UV灯，若是，跳转至S2；若否，执行S6；S6，在判断工艺结束时输出指示信息。采用风冷和水冷两套冷却系统能够最大限度保证冷却效果，同时，通过风冷系统和水冷系统开闭时序的准确控制，能够在保证UV灯工作安全性的基础上最大限度降低噪音和维护成本。

基于上述任一实施例，所述光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制装置还用于执行以下步骤：

基于上述任一实施例，所述基于当前批次晶圆的光刻胶固化工艺流程确定各UV灯不进行冷却的情况下对应的原始温度曲线，具体包括：

基于上述任一实施例，所述基于各第一类UV灯温度达到第二阈值的时刻开启风冷系统并更新各UV灯的温度曲线，具体包括：

基于上述任一实施例，所述基于更新的温度曲线确定是否需要开启水冷，具体包括：

基于上述任一实施例，所述基于更新的温度曲线确定水冷系统的开启时刻，具体包括：

基于上述任一实施例，所述基于更新的温度曲线确定风冷系统的关闭时刻，具体包括：

其中，所述第一阈值、第二阈值和第三阈值依次减小。

图5示例了一种电子设备的实体结构示意图，如图5所示，该电子设备可以包括：处理器(processor)401、通信接口(Communications Interface)402、存储器(memory)403和通信总线404，其中，处理器401，通信接口402，存储器403通过通信总线404完成相互间的通信。处理器401可以调用存储器403中的逻辑指令，以执行上述各方法所提供的光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法，所述方法包括：S1，基于当前批次晶圆的光刻胶固化工艺流程确定各UV灯不进行冷却的情况下对应的原始温度曲线，基于各UV灯的原始温度曲线确定工艺过程中温度超过第一阈值的第一类UV灯； S2，基于各第一类UV灯的当前温度曲线确定各第一类UV灯温度达到第二阈值的时刻，基于各第一类UV灯温度达到第二阈值的时刻开启风冷系统并更新各UV灯的温度曲线；基于更新的温度曲线确定是否需要开启水冷，若需要，执行S4，若不需要，执行S3；S3，基于更新的温度曲线确定风冷系统的关闭时刻，在所述风冷系统的关闭时刻关闭风冷系统并更新各UV灯的温度曲线，跳转至S5；S4，基于更新的温度曲线确定水冷系统的开启时刻，在所述水冷系统的开启时刻开启水冷系统，关闭风冷系统，并更新各UV灯的温度曲线；基于更新的温度曲线确定水冷系统的关闭时刻，在所述水冷系统的关闭时刻关闭水冷系统并更新各UV灯的温度曲线，执行S5；S5，基于各UV灯的当前温度曲线确定后续工艺中是否存在所述第一类UV灯，若是，跳转至S2；若否，执行S6；S6，在判断工艺结束时输出指示信息。

此外，上述的存储器403中的逻辑指令可以通过软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本申请的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备（可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等）执行本申请各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器（ROM，Read-Only Memory）、随机存取存储器（RAM，Random Access Memory）、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

另一方面，本申请还提供一种计算机程序产品，所述计算机程序产品包括计算机程序，计算机程序可存储在非暂态计算机可读存储介质上，所述计算机程序被处理器执行时，计算机能够执行上述各方法所提供的光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法，所述方法包括：S1，基于当前批次晶圆的光刻胶固化工艺流程确定各UV灯不进行冷却的情况下对应的原始温度曲线，基于各UV灯的原始温度曲线确定工艺过程中温度超过第一阈值的第一类UV灯； S2，基于各第一类UV灯的当前温度曲线确定各第一类UV灯温度达到第二阈值的时刻，基于各第一类UV灯温度达到第二阈值的时刻开启风冷系统并更新各UV灯的温度曲线；基于更新的温度曲线确定是否需要开启水冷，若需要，执行S4，若不需要，执行S3；S3，基于更新的温度曲线确定风冷系统的关闭时刻，在所述风冷系统的关闭时刻关闭风冷系统并更新各UV灯的温度曲线，跳转至S5；S4，基于更新的温度曲线确定水冷系统的开启时刻，在所述水冷系统的开启时刻开启水冷系统，关闭风冷系统，并更新各UV灯的温度曲线；基于更新的温度曲线确定水冷系统的关闭时刻，在所述水冷系统的关闭时刻关闭水冷系统并更新各UV灯的温度曲线，执行S5；S5，基于各UV灯的当前温度曲线确定后续工艺中是否存在所述第一类UV灯，若是，跳转至S2；若否，执行S6；S6，在判断工艺结束时输出指示信息。

又一方面，本申请还提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现以执行上述各方法提供的光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法，所述方法包括：S1，基于当前批次晶圆的光刻胶固化工艺流程确定各UV灯不进行冷却的情况下对应的原始温度曲线，基于各UV灯的原始温度曲线确定工艺过程中温度超过第一阈值的第一类UV灯； S2，基于各第一类UV灯的当前温度曲线确定各第一类UV灯温度达到第二阈值的时刻，基于各第一类UV灯温度达到第二阈值的时刻开启风冷系统并更新各UV灯的温度曲线；基于更新的温度曲线确定是否需要开启水冷，若需要，执行S4，若不需要，执行S3；S3，基于更新的温度曲线确定风冷系统的关闭时刻，在所述风冷系统的关闭时刻关闭风冷系统并更新各UV灯的温度曲线，跳转至S5；S4，基于更新的温度曲线确定水冷系统的开启时刻，在所述水冷系统的开启时刻开启水冷系统，关闭风冷系统，并更新各UV灯的温度曲线；基于更新的温度曲线确定水冷系统的关闭时刻，在所述水冷系统的关闭时刻关闭水冷系统并更新各UV灯的温度曲线，执行S5；S5，基于各UV灯的当前温度曲线确定后续工艺中是否存在所述第一类UV灯，若是，跳转至S2；若否，执行S6；S6，在判断工艺结束时输出指示信息。

以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，其中所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。本领域普通技术人员在不付出创造性的劳动的情况下，即可以理解并实施。

通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员可以清楚地了解到各实施方式可借助软件加必需的通用硬件平台的方式来实现，当然也可以通过硬件。基于这样的理解，上述技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品可以存储在计算机可读存储介质中，如ROM/RAM、磁碟、光盘等，包括若干指令用以使得一台计算机设备（可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等）执行各个实施例或者实施例的某些部分所述的方法。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围。

Claims

1.一种光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法，其特征在于，所述方法包括：

S6，在判断工艺结束时输出指示信息。

2.根据权利要求1所述的光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法，其特征在于，所述方法还包括：

3.根据权利要求1所述的光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法，其特征在于，所述基于当前批次晶圆的光刻胶固化工艺流程确定各UV灯不进行冷却的情况下对应的原始温度曲线，具体包括：

4.根据权利要求1所述的光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法，其特征在于，所述基于各第一类UV灯温度达到第二阈值的时刻开启风冷系统并更新各UV灯的温度曲线，具体包括：

5.根据权利要求4所述的光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法，其特征在于，所述基于更新的温度曲线确定是否需要开启水冷，具体包括：

6.根据权利要求5所述的光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法，其特征在于，所述基于更新的温度曲线确定水冷系统的开启时刻，具体包括：

7.根据权利要求6所述的光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法，其特征在于，所述基于更新的温度曲线确定风冷系统的关闭时刻，具体包括：

其中，所述第一阈值、第二阈值和第三阈值依次减小。

8.一种光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制装置，其特征在于，所述装置用于执行以下步骤：

S6，在判断工艺结束时输出指示信息。

9.一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述程序时实现如权利要求1至7任一项所述光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法的步骤。

10.一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至7任一项所述光刻胶固化工艺过程中的UV灯冷却控制方法的步骤。