CN115707157A - 红外线加热器、固定构造及干燥炉 - Google Patents

Abstract

本发明涉及红外线加热器、固定构造、干燥炉。红外线加热器具备被加热时辐射红外线的发热体、将发热体收容于内部并与发热体一起构成发热单元的内管、将发热单元装卸自如地收容于内部的外管，内管及外管是作为吸收6μm以上波长的红外线的低通滤波器发挥功能的绝缘性无机材料管，外管具有设有供插入发热单元的插入口的第一端部，发热单元具有配置于第一端部侧并安装有向发热体供电的电源供给部的第三端部，内管具有配置于第三端部侧并具有比内管的外径大的直径的第一凸缘部，外管的插入口具有在发热单元收容于外管的内部的状态下与第一凸缘部抵接的第二凸缘部，内管与外管之间形成有供冷却流体流通的空间，在外管具备流体供给口和流体排出口。

Description

红外线加热器、固定构造及干燥炉

技术领域

本发明涉及红外线加热器、红外线加热器的固定构造及具备红外线加热器的干燥炉。

背景技术

一直以来，已知有用于锂离子电池用电极涂膜或太阳能发电用电极涂膜等涂膜的连续干燥的干燥炉。如上所述的涂膜的成分包含分子间具有氢键的水或有机溶剂等。因此，为了提高干燥炉的生产率，需要从红外线加热器向炉内辐射大量的热量，使工件所含有的水或有机溶剂迅速蒸发。

因此，已知一种干燥炉，抑制炉内温度的上升，对工件集中地辐射切断分子间的氢键的能力优异的近红外线，由此能够高效地连续加热干燥涂膜(例如，JP2012132662A)。

发明内容

发明所要解决的课题

由于这种干燥炉所使用的红外线加热器的发热体是消耗品，因此要求容易维护，诸如容易更换发热体。

本发明的目的在于提供一种红外线加热器、该红外线加热器的固定构造及具备该红外线加热器的干燥炉，该红外线加热器抑制炉内温度的上升，对工件集中地辐射切断分子间的氢键的能力优异的近红外线，由此能够高效地加热干燥涂膜，并且容易维护。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，本发明所涉及的第一方式的红外线加热器是一种红外线加热器(1)，具备：发热体(2)，在被加热时辐射红外线；内管(4)，将所述发热体收容于内部，并与所述发热体一起构成发热单元(3)；及外管(5)，将所述发热单元装卸自如地收容于内部，所述红外线加热器的特征在于，所述内管和/或所述外管是作为吸收6μm以上的波长的红外线的低通滤波器发挥功能的绝缘性无机材料管，所述外管具有：第一端部(5a)，设有供插入所述发热单元的插入口(51)；及第二端部(5b)，位于与所述第一端部相反的一侧，所述发热单元具有：第三端部(3a)，配置于所述第一端部侧，安装有用于向所述发热体供电的电源供给部(91)；及第四端部(3b)，配置于所述第二端部侧，没有安装电源供给部，所述内管具有第一凸缘部(41)，该第一凸缘部(41)配置于所述第三端部侧，并具有比所述内管的外径(r1)大的直径(r2)，所述外管的插入口具有第二凸缘部(52)，该第二凸缘部(52)在所述发热单元收容于所述外管的内部的状态下与所述第一凸缘部抵接，在所述发热单元收容于所述外管的内部的状态下，在所述内管与所述外管之间形成有供冷却流体流通的空间(50)，在所述外管具备用于从外部向所述空间供给冷却流体的流体供给口(53)和用于从所述空间向外部排出冷却流体的流体排出口(54)。

本发明的第二方式的特征在于，在第一方式的红外线加热器中，所述内管和/或所述外管是作为吸收4.7μm以上的波长的红外线的低通滤波器发挥功能的绝缘性无机材料管。

本发明的第三方式的特征在于，在第一方式的红外线加热器中，所述外管在所述第二端部的内侧具备供所述发热单元的第四端部插入的圆筒状的插入孔(55)，所述插入孔具有比所述外管的第二端部的内径(r3)小且比所述发热单元的第四端部的外径大的内径(r4)。

本发明的第四方式的特征在于，在第一方式的红外线加热器中，所述红外线加热器还具备O形环，该O形环配置在所述内管的第一凸缘部与所述外管的第二凸缘部之间，用于密封所述插入口。

本发明的第五方式的特征在于，在第一方式的红外线加热器中，所述内管和/或所述外管具备反射膜(6)，该反射膜(6)用于反射从所述发热体照射的红外线而限制红外线的照射方向。

本发明的第六方式的特征在于，在第五方式的红外线加热器中，在所述内管及所述外管的径向的剖视下，所述反射膜的设置范围的中心角α为90°以上且180°以下。

本发明的第七方式的特征在于，在第五方式的红外线加热器中，所述内管及所述外管为石英管，所述反射膜为金膜或铝膜。

本发明的第八方式的特征在于，在第一方式的红外线加热器中，在所述外管的外表面具备用于安装热电偶的安装孔(7)。

本发明的第九方式的特征在于，在第八方式的红外线加热器中，所述内管和所述外管在径向的剖视下配置成同心圆状，所述内管和/或所述外管具备反射膜(6)，该反射膜(6)用于反射从所述发热单元照射的红外线而限制红外线的照射方向，所述安装孔(7)被设置为，在所述径向的剖视下，以所述反射膜的端部(6a)为基准，中心角β为45°以下。

本发明的第十方式的特征在于，在第九方式的红外线加热器中，所述安装孔(7)被设置为，在所述径向的剖视下，以所述反射膜的端部(6a)为基准，中心角β为22.5°以下。

本发明的第十一方式的特征在于，在第一方式的红外线加热器中，所述流体供给口及所述流体排出口具有直线状或L字状的构造，且所述流体供给口及所述流体排出口的安装位置在所述内管及所述外管的径向的剖视下具有0°、90°或180°的角度。

本发明的第十二方式的特征在于，在第一方式的红外线加热器中，所述红外线加热器具备：管(93)，用于覆盖所述发热单元的所述电源供给部及与该电源供给部连接的电气配线(92)；及正压产生装置(94)，与所述管连接，用于使所述管的内部成为正压。

本发明的第十三方式为一种固定构造，将第一方式至第十二方式中任一方式所述的红外线加热器固定于炉体，所述固定构造的特征在于，具有：U字状部件(97)，在表面具有耐热性弹性部件；及固定部件(99)，将所述U字状部件的开放端(98)固定于炉体(10)，在将所述红外线加热器插入到所述U字状部件的U字状的凹部中的状态下，由所述凹部支承所述红外线加热器的外管的外周面，并利用所述固定部件将该U字状部件固定于炉体。

本发明的第十四方式为一种干燥炉，具备第一方式至第十二方式中任一方式所述的红外线加热器。

发明效果

本发明所涉及的红外线加热器中，由于所述内管及所述外管是作为吸收6μm以上的波长的红外线的低通滤波器发挥功能的绝缘性无机材料管，因此能够抑制炉内温度的上升，对工件集中地辐射切断分子间的氢键的能力优异的近红外线。另外，本发明所涉及的红外线加热器的外管将发热单元装卸自如地收容于内部，但在收容发热单元时，内管的第一凸缘部与外管的第二凸缘部抵接而将供冷却流体流通的空间密闭，并且在更换发热单元时，由于发热单元的电源供给部仅设置于所述外管的插入口侧，因此容易将发热单元从外管拔出，容易维护，诸如容易更换发热单元等。

附图说明

图1是本发明的实施方式所涉及的干燥炉的说明图。

图2是该干燥炉所使用的红外线加热器的侧视图。

图3是该红外线加热器的发热单元的侧视图。

图4是该红外线加热器的外管的侧视图。

图5是图1的A－A’线剖视图。

图6是本发明的变形例所涉及的红外线加热器的外管的侧视图。

图7是本发明的其他变形例所涉及的红外线加热器的外管的主视图。

图8是将该红外线加热器固定于干燥炉的炉体的固定构造的说明图。

具体实施方式

以下详细说明本发明的实施方式。本发明并不限定于图示的实施方式，只要在不脱离各请求保护的范围所记载的技术范围的范围内，就能够任意地进行设计变更。图1是表示本发明的实施方式所涉及的干燥炉的图。10是对涂膜进行干燥的涂膜干燥炉的炉体，薄膜状的工件W在该炉体的内部一边向一个方向连续地移动一边被连续地干燥。在薄膜状的工件W的表面，形成有具有小于6μm的电磁波的吸收光谱且具有氢键的涂膜。在本实施方式中，涂膜为锂离子电池用电极涂膜。

锂离子电池的电极是将作为正极材料或负极材料的活性物质的粉末(电极材料)与粘结剂、导电材料和溶剂一起混炼而成的电极材料膏涂布在铝或铜等金属片上，形成厚度为100μm～300μm左右的涂膜，然后使其干燥而制造的。电极材料一般是作为正极材料的钴酸锂、作为粘结剂的PVDF、作为导电材料的碳、作为溶剂的NMP。在本实施方式中，作为正极用的电极材料使用了钴酸锂，但也可以是镍酸锂、锰酸锂。另外，负极用的电极材料例如为石墨。它们都是微细的粉末。

如上所述，粘结剂是用于将电极材料与作为导电材料的碳粉末粘接的成分，在本实施方式中为PVDF(聚偏二氟乙烯)。在本实施方式中，溶剂是NMP(N-甲基吡咯烷酮)。但是，粘结剂或溶剂的种类并不限定于此，作为锂离子电池用电极涂膜的构成材料可以使用公知的各种物质。

在本实施方式的涂膜干燥炉10中，将图1所示的第一区域11设为初期状态，将第二区域12设为中期状态，并将第三区域13和第四区域14设为终期状态，来进行锂离子电池用电极涂膜的干燥。在第一区域11和第二区域12的炉内顶面，以适当的间隔配置有红外线加热器1。另外，在第一区域11和第二区域12的炉内配置有大量的用于向锂离子电池用电极涂膜吹送热风的热风狭缝18。顶面部的热风狭缝18配置成从红外线加热器1之间吹送热风。下侧的热风狭缝19向锂离子电池用电极涂膜的下表面吹送热风。另外，当然可以单独地控制各区域中的红外线加热器1的温度、热风温度等。

红外线加热器1具备：灯丝2，作为在被加热时辐射红外线的发热体；内管4，将灯丝2收容于内部，并与灯丝2一起构成发热单元3；及外管5，将发热单元3装卸自如地收容于内部。

内管4及外管5是作为吸收6μm以上的波长的红外线的低通滤波器发挥功能的绝缘性无机材料管。作为内管4及外管5，例如可以使用公知的石英玻璃或硼硅酸盐冕玻璃等。作为耐热性、耐热冲击性、经济性优异的内管4及外管5，优选使用石英玻璃管。由于石英玻璃管作为高效地吸收4.7μm以上的波长的红外线的低通滤波器发挥功能，因此能够更有效地抑制炉内温度的上升，高效地加热干燥涂膜。

外管5具有：第一端部5a，设有供插入发热单元3的插入口51(参照图8)；及第二端部5b，位于与第一端部5a相反的一侧。发热单元3具有：第三端部3a，配置于第一端部5a侧，安装有用于向灯丝2供电的电源供给部91；及第四端部3b，配置于第二端部5b侧，没有安装电源供给部91。由于电源供给部91仅安装于第三端部3a侧，因此无需拆下与电源供给部91连接的电气配线等，就能够将发热单元3从外管5拔出，容易更换发热单元3。为了形成为仅在第三端部3a侧安装有电源供给部91的构造，红外线加热器1成为如下构造：将内管4的内部用在内管4的长度方向上延伸的石英玻璃等绝缘体31分隔成两个区域，在一个区域(在图3中，为绝缘体31的上侧的区域)中使灯丝2从第三端部3a侧通至第四端部3b侧后，经由设置于绝缘体31的孔使灯丝2通到另一个区域(在图3中，为绝缘体31的下侧的区域)侧，进一步使灯丝2从第四端部3b侧通到第三端部3a侧。

内管4具有第一凸缘部41，该第一凸缘部41配置于第三端部3a侧，并具有比内管4的外径r1大的直径r2。外管5的插入口51具有第二凸缘部52，该第二凸缘部52在发热单元3收容于外管5的内部的状态下与第一凸缘部41抵接。第一凸缘部41和第二凸缘部52在抵接的状态下被未图示的夹子固定。在发热单元3收容于外管5的内部的状态下，在内管4与外管5之间形成有供冷却流体流通的空间50，在外管5具备用于从外部向空间50供给冷却流体的流体供给口53和用于从空间50向外部排出冷却流体的流体排出口54。

另外，优选具备O形环，该O形环配置在内管4的第一凸缘部41与外管5的第二凸缘部52之间，用于密封插入口51。通过在第一凸缘部41与第二凸缘部52之间配置O形环，能够更可靠地确保第一凸缘部41与第二凸缘部52之间的密闭性。

另外，外管5在第二端部5b的内侧具备供发热单元3的第四端部3b插入的圆筒状的插入孔55。插入孔55具有比外管5的第二端部5b的内径r3小且比发热单元3的第四端部3b的外径r1大的内径r4。通过这样的构造，能够将发热单元3的第四端部3b插入到外管5的插入孔55，并由插入孔55支承发热单元3的第四端部3b，因此能够将发热单元3更可靠地定位并固定于外管5的内部。

图5是图2的A－A’线剖视图。在图5中省略表示灯丝2及绝缘体31。如图5所示，内管4具备用于反射从灯丝2照射的红外线而限制红外线的照射方向的反射膜6。在本实施方式中，示出了在内管4的内周面设置有反射膜6的例子，但也可以在外管5设置反射膜。作为反射膜6，可以使用金膜或铝膜。通过设置反射膜6，能够更有效地向工件W的方向照射红外线。另外，在内管4及外管5的径向的剖视下，反射膜6的设置范围的中心角α优选为90°以上且180°以下。如果反射膜6的设置范围的中心角α不足90°，则不能向工件W的方向照射的红外线的量过多，如果超过180°，则成本效益降低。

另外，红外线加热器1在外管5的外表面具备用于安装热电偶的安装孔7。这样，通过在外管5的外表面设置热电偶，能够准确地测定红外线加热器的表面温度，因此，例如即使在起火性的有机溶剂从工件W挥发出的情况下，也能够更可靠地进行控制，以使红外线加热器的表面不会达到有机溶剂的起火温度。如图5所示，安装孔7优选设置成，在径向的剖视下，以反射膜6的端部6a为基准，中心角β为45°以下，更优选设置成22.5°以下。另外，在图5中，示出了将安装孔7设置于外管5的左侧的例子，但也可以设置于右侧。通过将热电偶的安装孔7的位置限制在这样的范围内，能够防止在灯丝2与工件W之间配置热电偶的情况，由此防止在成为热电偶的影子的位置配置工件W的情况，因此能够更有效地向工件W照射红外线。

在本实施方式中，流体供给口53及流体排出口54具有L字状的构造，但如图6所示，也可以根据冷却流体的供给方向、排出方向而将流体供给口53及流体排出口54形成为直线状。另外，在本实施方式中，流体供给口53及流体排出口54的安装位置在径向的剖视下相互具有180°的角度(图4所示的安装位置)，但根据冷却流体的流路的配置，也可以在径向的剖视下形成为0°的角度(图6所示的安装位置)，另外，也可以在径向的剖视下形成为90°的角度(图7所示的安装位置)。

另外，红外线加热器1具备：管93，用于覆盖发热单元3的电源供给部91及与该电源供给部91连接的电气配线92；及正压产生装置94，与管93连接，用于使管93的内部成为正压。通过利用正压产生装置94使红外线加热器1的空间50成为正压，能够防止挥发有机溶剂流入到空间50内而使挥发有机溶剂起火的情况。

图8是将红外线加热器1固定于干燥炉的炉体10的固定构造的说明图。另外，在图8中，示出了将发热单元3从外管5拔出的状态。固定构造具有：U字状部件97，在表面具有耐热性弹性部件；及固定部件99，将U字状部件97的开放端98固定于炉体10。在将红外线加热器1插入到U字状部件97的U字状的凹部中的状态下，用凹部支承红外线加热器1的外管5的外周面，由此使用固定部件99将U字状部件97固定于炉体10。根据本实施方式所涉及的红外线加热器1，在将红外线加热器1固定于干燥炉的炉体10的状态下，能够将发热单元3从外管5拔出而更换发热单元3，因此容易维护。

接着，对本发明的干燥的机制进行说明。在规定了起因于产品物性的上限温度的干燥炉内，进行控制以使被认为对涂膜的干燥有效的短波长(小于6μm)的红外线辐射占支配地位实际上并不容易。作为其理由，可举出如下方面：根据普朗克辐射定律，以该波长区域为主体的辐射体的温度最低为超过700℃的高温。在通常的干燥炉内，不允许与起火性的挥发有机溶剂接触的加热器的表面温度超过700℃，即使允许，从辐射的理论方面也可推测出如下的问题。首先，从该高温的辐射体确实优先辐射短波长的辐射，另一方面，根据斯蒂芬-玻耳兹曼定律，每单位面积的辐射能量也变得巨大。这样一来，最终在炉内各部导致必要以上的温度上升，特别是从节能性、输送停止时的产品的耐热性的方面出发，作为大量生产目的的干燥工艺不可能成立。

与此相对，在本发明所涉及的红外线加热器1中，由于辐射体形成为细的灯丝形状，所以辐射面积及热容量都小，在从每一根加热器来看的情况下，意味着具有作为“辐射少量短波长的红外线”的辐射源的特征。即，该灯丝自身的温度容易上升，通过变更该灯丝的温度，进一步调整加热器设置根数(间距)，由此炉内单位体积中的辐射面积(总能量生成量)的控制也容易。另外，以700℃～1200℃通电的灯丝如果停止通电则温度瞬间降低，因此输送停止时的安全性也极高。通过在该特征的基础上进一步导入管的冷却机构，上述各问题被消除，能够进行以广泛的用途为前提的干燥炉内的辐射的波长控制。

灯丝2被通电加热到700～1200℃，辐射波长在3μm附近具有峰值的红外线，但石英玻璃或硼硅酸盐冕玻璃等具有作为使小于6μm的波长的红外线透过、吸收6μm以上的波长的红外线的低通滤波器的功能，因此内管4及外管5选择性地使从灯丝2辐射的电磁波中的波长小于6μm的红外线透过而供给到炉内。该波长区域的红外线能量容易直接被NMP等溶剂吸收而转换为热量，另外，也与溶剂或水的分子间的氢键的振动频率一致，因此能够高效地使锂离子电池用电极涂膜干燥。

但是，内管4和外管5在6μm以上的长波长区域中相反地成为辐射的吸收体，通过吸收红外线能量，其自身升温。从上述温度下的灯丝2也辐射相当量的6μm以上的长波长区域的红外线，因此在该状态下管温度(与起火性的挥发有机溶剂之间的接点的温度)有可能上升。另外，其结果是，管自身也成为红外线的辐射体，主要将6μm以上的长波长的红外线二次辐射到炉内。这种长波长的红外线与3μm附近的红外线相比，不仅认为对干燥效果的贡献稍微降低，而且经由因炉内壁中的该红外线的吸收引起的壁温度上升而使炉内流体温度也上升，在锂离子电池用电极涂膜中，有可能使炉内各部的温度上升到溶剂的着火点以上。

因此，在本发明中，在发热单元3收容于外管5的内部的状态下，在内管4与外管5之间形成有供冷却流体流通的空间50，能够使冷却流体流过空间50，将暂时被内管4及外管5吸收的长波长区域的红外线的能量以对流热传递的形式转换而传递到上述流体，并将其去除到系统外。其结果是，将最终供给到炉内的红外线的波长限定为短波长区域，并且即使在灯丝2以高温被持续地通电加热的状况下，在内管4及外管5、特别是锂离子电池用电极涂膜中，也能够将与挥发有机溶剂直接接触的外管5维持在安全温度即(溶剂的着火点以下)200℃以下、更优选维持在150℃以下。冷却流体例如是空气、非活性气体等，但在本实施方式中从流体供给口53吹入空气，从流体排出口54取出经加热的空气。

这种构造的红外线加热器1能够选择性地向炉内供给波长小于6μm的红外线，而且红外线加热器1的表面温度保持为例如200℃以下的低温，因此能够使炉内温度为200℃以下，更优选为150℃以下。因此，不用担心溶剂的着火或爆炸等。另外，如果由红外线辐射率小的反射性材料构成炉体10的内壁，则能够更有效地抑制炉壁的升温。作为这种材料，例如可以使用具有光泽的不锈钢板。

另外，由于太阳光发电用电极涂膜也是具有小于6μm的电磁波的吸收光谱且具有氢键的涂膜，因此与上述锂离子电池用电极涂膜同样地能够用本发明的涂膜干燥炉进行干燥。

另外，在本发明中，也能够任意地控制流体的种类或流量。通过增减流体的流量，能够变更红外线加热器1的表面温度，调整6μm以上的辐射光谱。利用这一点，能够使红外线加热器1的辐射波长相同，并且在炉体的长度方向上使温度平衡变化。例如，在需要主动地切断分子间的氢键的区域中，能够进行强化红外线加热器1的冷却而向工件W辐射近红外线，之后缓和冷却而使工件整体升温这样的区分使用。

本实施方式所涉及的红外线加热器1中，由于内管4及外管5为作为吸收6μm以上的波长的红外线的低通滤波器发挥功能的绝缘性无机材料管，因此能够抑制炉内温度的上升，对工件集中地辐射切断分子间的氢键的能力优异的近红外线。另外，红外线加热器1的外管5将发热单元3装卸自如地收容于内部，但在收容发热单元3时，内管4的第一凸缘部41与外管5的第二凸缘部抵接52而将供冷却流体流通的空间50密闭，并且在更换发热单元3时，由于发热单元3的电源供给部91仅设置于外管5的插入口51侧，因此容易将发热单元3从外管5拔出，容易维护，诸如容易更换发热单元3等。

符号说明

1 红外线加热器

2 灯丝(发热体)

3 发热单元

3a 第三端部

3b 第四端部

4 内管

5 外管

5a 第一端部

5b 第二端部

6 反射膜

6a 反射膜的端部

7 安装孔

10 炉体

41 第一凸缘部

50 供冷却流体流通的空间

51 插入口

52 第二凸缘部

53 流体供给口

54 流体排出口

55 插入孔

91 电源供给部

92 电气配线

93 管

94 正压产生装置

97 U字状部件

98 U字状部件的开放端

99 固定部件。

Claims (14)

1.一种红外线加热器，该红外线加热器(1)具备：发热体(2)，在被加热时辐射红外线；内管(4)，将所述发热体收容于内部，并与所述发热体一起构成发热单元(3)；及外管(5)，将所述发热单元装卸自如地收容于内部，

所述红外线加热器的特征在于，

所述内管和/或所述外管是作为吸收6μm以上的波长的红外线的低通滤波器发挥功能的绝缘性无机材料管，

所述外管具有：第一端部(5a)，设有供插入所述发热单元的插入口(51)；及第二端部(5b)，位于与所述第一端部相反的一侧，

所述发热单元具有：第三端部(3a)，配置于所述第一端部侧，安装有用于向所述发热体供电的电源供给部(91)；及第四端部(3b)，配置于所述第二端部侧，没有安装电源供给部，

所述内管具有第一凸缘部(41)，该第一凸缘部(41)配置于所述第三端部侧，并具有比所述内管的外径(r1)大的直径(r2)，

所述外管的插入口具有第二凸缘部(52)，该第二凸缘部(52)在所述发热单元收容于所述外管的内部的状态下与所述第一凸缘部抵接，

在所述发热单元收容于所述外管的内部的状态下，在所述内管与所述外管之间形成有供冷却流体流通的空间(50)，在所述外管具备用于从外部向所述空间供给冷却流体的流体供给口(53)和用于从所述空间向外部排出冷却流体的流体排出口(54)。

2.根据权利要求1所述的红外线加热器，其特征在于，

所述内管和/或所述外管是作为吸收4.7μm以上的波长的红外线的低通滤波器发挥功能的绝缘性无机材料管。

3.根据权利要求1所述的红外线加热器，其特征在于，

所述外管在所述第二端部的内侧具备供所述发热单元的第四端部插入的圆筒状的插入孔(55)，

所述插入孔具有比所述外管的第二端部的内径(r3)小且比所述发热单元的第四端部的外径大的内径(r4)。

4.根据权利要求1所述的红外线加热器，其特征在于，

所述红外线加热器还具备O形环，该O形环配置在所述内管的第一凸缘部与所述外管的第二凸缘部之间，用于密封所述插入口。

5.根据权利要求1所述的红外线加热器，其特征在于，

所述内管和/或所述外管具备反射膜(6)，该反射膜(6)用于反射从所述发热体照射的红外线而限制红外线的照射方向。

6.根据权利要求5所述的红外线加热器，其特征在于，

在所述内管及所述外管的径向的剖视下，所述反射膜的设置范围的中心角α为90°以上且180°以下。

7.根据权利要求5所述的红外线加热器，其特征在于，

所述内管及所述外管为石英管，

所述反射膜为金膜或铝膜。

8.根据权利要求1所述的红外线加热器，其特征在于，

在所述外管的外表面具备用于安装热电偶的安装孔(7)。

9.根据权利要求8所述的红外线加热器，其特征在于，

所述内管和所述外管在径向的剖视下配置成同心圆状，

所述内管和/或所述外管具备反射膜(6)，该反射膜(6)用于反射从所述发热单元照射的红外线而限制红外线的照射方向，

所述安装孔(7)被设置为，在所述径向的剖视下，以所述反射膜的端部(6a)为基准，中心角β为45°以下。

10.根据权利要求9所述的红外线加热器，其特征在于，

所述安装孔(7)被设置为，在所述径向的剖视下，以所述反射膜的端部(6a)为基准，中心角β为22.5°以下。

11.根据权利要求1所述的红外线加热器，其特征在于，

所述流体供给口及所述流体排出口具有直线状或L字状的构造，且所述流体供给口及所述流体排出口的安装位置在所述内管及所述外管的径向的剖视下具有0°、90°或180°的角度。

12.根据权利要求1所述的红外线加热器，其特征在于，

所述红外线加热器具备：管(93)，用于覆盖所述发热单元的所述电源供给部及与该电源供给部连接的电气配线(92)；及正压产生装置(94)，与所述管连接，用于使所述管的内部成为正压。

13.一种固定构造，将权利要求1至12中任一项所述的红外线加热器固定于炉体，

所述固定构造的特征在于，

具有：U字状部件(97)，在表面具有耐热性弹性部件；及固定部件(99)，将所述U字状部件的开放端(98)固定于炉体(10)，

在将所述红外线加热器插入到所述U字状部件的U字状的凹部中的状态下，由所述凹部支承所述红外线加热器的外管的外周面，并利用所述固定部件将该U字状部件固定于炉体。

14.一种干燥炉，其特征在于，具备权利要求1至12中任一项所述的红外线加热器。

Images