CN115692280A - 传送机以及传送系统 - Google Patents

Abstract

公开一种传送机，所述传送机，包括：底座部；上下轨道部，从所述底座部向上延长；机体，可沿所述上下轨道部上下移动；以及臂，具备：结合部，结合于所述机体、突出部，结合于所述结合部，向所述机体的前方突出、以及吸附部，形成在所述突出部的前端，用于吸附对象，其中，所述臂可相对于所述机体相对旋转。

Description

传送机以及传送系统

技术领域

本发明涉及一种传送机以及传送系统。

背景技术

对预定对象(例如，蓝宝石晶圆)进行背面减薄时，为了生产性，在块体上排列多个晶圆，由此一次同时加工多个晶圆，随此安装晶圆的块体也被大型化。

在安装7个4寸晶圆时，块体的大小为360派，由于是陶瓷材质，因此，重量也超过10公斤。为了在自动化工艺中传送块体，需要传送机器人，当使用普通多关节机器人作为传送机器人时，必须使用大型且非常昂贵的机器人。

本发明的背景技术已公开于韩国专利公开第10-2018-0096121号公报中。

发明内容

本发明是为了解决现有技术问题而提出的，其目的在于，提供一种与现有技术相比小型且可以传送对象的传送机以及传送系统。

然而，本发明的实施例所要达成的技术问题不限于如上所述的技术问题，还可能存在其他的技术问题。

作为达成所述技术课题的技术手段，根据本发明的第一方面的传送机，其中，包括：底座部；上下轨道部，从所述底座部向上延长；机体，可沿所述上下轨道部上下移动；以及臂，具备：结合部，结合于所述机体、突出部，结合于所述结合部，向所述机体的前方突出、以及吸附部，形成在所述突出部的前端，用于吸附对象，其中，所述臂可相对于所述机体相对旋转。

根据本发明的一体现例的传送机，还包括真空形成结构，在所述吸附部可以形成有向下开口的一个以上的吸附口、以及用于连通所述一个以上的吸附口与所述真空形成结构的气体移动通道。

根据本发明的一体现例的传送机，还包括设置在所述吸附部的下表面的吸附引导部件，在所述吸附引导部件可以朝上下方向贯穿形成有与所述吸附口连通的连通口。

在根据本发明的一体现例的传送机中，所述吸附部吸附对象的中心区域，所述突出部的长度可长于从所述对象的面向所述机体的边缘部分到所述中心区域的最外围部分的长度。

在根据本发明的一体现例的传送机中，所述对象，可以具备：圆形块体、以及在所述块体上沿所述块体的圆周方向设置的多个晶圆。

根据本发明的一体现例的传送机，还可以包括加强部，用于在所述机体的下侧支撑所述机体。

根据本发明的一体现例的传送机，还可以包括用于引导所述上下轨道部对所述底座部的相对旋转的旋转结构。

根据本发明的第一方面的传送系统，包括：传送部，用于沿长度方向传送对象；多个处理装置，在所述传送部的宽度方向的一侧沿所述长度方向相隔开间隔布置；以及传送结构，在所述传送部的宽度方向的一侧设置在所述传送部和所述多个处理装置之间，所述传送结构，包括：轨道，沿所述长度方向延长；以及传送机，被设置成可沿所述轨道移动，其中所述传送机可以在所述传送部和所述处理装置之间传送对象。

在根据本发明的一体现例的传送系统中，所述传送结构可以包括多个所述传送机。

在根据本发明的一体现例的传送系统中，可以将所述多个处理装置分为多个组，并且所述多个传送机的每一个可相对于所述多个组的每一个执行传送。

在根据本发明的一体现例的传送系统中，所述传送机，包括：上下轨道，从所述底座部向上延长；机体，可沿所述上下轨道上下移动；以及臂，具备：结合部，结合于所述机体、突出部，从所述结合部向所述机体的前方突出、以及吸附部，形成在所述突出部的前端，用于吸附对象，其中，所述臂可相对于所述机体相对旋转。

在根据本发明的一体现例的传送系统中，所述传送部可以具备多个高度不同的多个传送装置，所述多个传送装置中的一个可以装载从所述传送部向所述处理装置移动的对象，所述多个传送装置中的另一个可以装载从所述处理装置向所述传送部移动的对象。

上述的问题解决手段仅为示例性的，不应被解释为限制本发明。除了上述示例性实施例之外，附图和详细描述中可能存在附加实施例。

发明效果

根据上述本发明的课题解决手段，可以实现即使不具有多关节结构，也可以传送对象，并且，可以翻转对象的传送机以及包含其的传送系统。因此，可以实现在减薄工艺、研磨工艺、DMP工艺、CMP工艺等中可用于传送对象的低成本、有效空间的自动化。

还可以确保空间效率。

附图说明

图1是根据本发明的一实施例的传送机的概略立体图。

图2是根据本发明的一实施例的传送机的从与图1不同的角度观察的立体图。

图3是根据本发明的一实施例的传送机的臂的一部分的放大图。

图4是根据本发明的一实施例的传送系统的概略概念立体图。

图5是根据本发明的一实施例的传送系统的其他例的概略概念立体图。

图6是根据本发明的一实施例的传送系统的其他另一例的概略概念俯视图。

图中：

1：传送机，11：底座部，12：上下轨道部，13：机体，131：外壳，132：方管部，133：耦合部，14：臂，141：结合部，1411：耦合单元，1412：结合单元，142：突出部，143：吸附部，151：管部件，16：吸附引导部件，17：加强部，18：旋转结构，5：传送结构，51：轨道，6：处理装置，7：装载部，8：传送部，81：传送装置，82：传送装置，9：对象，91：块体，92：晶圆。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的一实施例进行详细说明，使得本发明所属技术领域的普通技术人员可以容易实施本发明。但本发明可实现为多种不同的形态，并不局限于在此说明的实施例。而且，为在附图中对本发明进行明确的说明，省略了与说明无关的部分，在整篇说明书中，对于相似的部分采用了相似的附图标记。

在本发明的整篇说明书中，当说明某一部分与另一部分“连接”时，这不仅包括“直接连接”的情况，还包括它们之间存在其他的元件来以“电性连接”或“间接连接”的情况。

在本发明的整篇说明书中，当说明某一部件位于另一部件的“上”、“上部”、“上端”、“下”、“下部”、“下端”时，这不仅包括某一部件与另一部件相接触的情况，还包括两个部件之间存在其他部件的情况。

在本发明的整篇说明书中，当说明某一部分“包含”某一构成要素时，除非另有特别相反的记载，是指还可以包括其他的构成要素，而不是排除其他构成要素。

另外，关于本发明的实施方式的说明中与方向或位置相关的术语(上侧、上表面、下侧等)是基于图中所示的各构成的配置状态而设定的。例如，参考图1，整体上12点方向可以为上侧，整体上面向12点方向的面可以是上表面，整体上6点方向可以为下侧等。

本发明涉及一种传送机以及传送系统。

首先，说明根据本发明的一实施例的传送机(以下，称为“本传送机”)1。此外，传送机可以使用与传送机器人具有相同或相似的含义的传送机。作为参考，本传送机1可以与后述的本发明的一实施例的传送系统共享内容。

参考图1，本传送机1包括底座部11。

此外，本传送机1包括上下轨道部12。上下轨道部12从底座部11向上延长。

此外，本传送机1包括机体13，所述机体13可以沿着上下轨道部12上下移动。

此外，本传送机1包括臂14。臂14，具备：结合部141，结合在机体13；突出部142，结合于结合部141，向机体13的前方突出；以及吸附部143，形成于突出部142的前端，用于吸附对象9。

臂14可相对于机体13相对旋转。

参考图2，例如，结合部141，可以包括：结合单元1412，具有圆形截面，结合于机体13；以及耦合单元1411，设置于结合单元1412的前端，来握持突出部142的后端，并与突出部142的后端部相结合，机体13，可以包括：外壳131，朝前后方延长；方管部132，设置于外壳131的内部，朝前后方延长；以及耦合部133，朝前后延长设置于方管部132的内部，并围绕结合部141的结合单元1412。结合单元1412可以结合于耦合部133，使得对耦合部133限制前后方移动的同时，以前后方为轴进行旋转。例如，虽未图示，结合单元1412可具有圆形截面，朝前后方向延长，但在所述结合单元1412的外表面可以形成一个以上向外突出或向内突出的阶梯部，在耦合部133的内表面可以形成与所述结合单元1412的外表面相啮合的凹陷部或阶梯部，通过所述一个以上的阶梯部限制结合单元1412的前后移动的同时，可以以前后方为轴进行旋转。由此可以进行臂4的旋转。

通过所述臂14的结构，本传送机1可以容易地移动和翻转重量大的块体。

此外，当臂14吸附对象9时，吸附部143可以为与对象9的被吸附部分相对的部分。下面，说明吸附部143。

本传送机1可以包括真空形成结构。例如，真空形成结构可以包括真空形成部以及管部件151。

另外，吸附部143，可以形成有一个以下向下开口的吸附口、以及用于连通一个以上的吸附口和真空形成结构的气体移动通道。气体移动通道可以与管部件151相连通。因此，真空形成部可以与吸附口相连通，当真空形成部吸入气体(真空形成)时，在吸附口的内部形成真空(负压)，从而，可以进行吸附，当真空形成部停止吸气时，可以中断吸附。

此外，气体移动通道和管部件151可以直接连接或间接连接。例如，在气体移动通道可以直接连通管部件151，或者以形成突出部142的一端与气体移动通道连通，而另一端与管部件151连通的附加通道的形式间接连通气体移动通道和管部件151。

此外，本传送机1可以包括设置在吸附部143的下表面上的吸附引导部件16。

吸附引导部件16可以由具有弹性的材料而制成，例如，柔性材料。例如，吸附引导部件16可以由包括橡胶、硅胶等中的一种以上的材料而制成。另外，在吸附引导部件16可以形成朝上下方向贯穿并与吸附口相连通的连通口。因此，当吸附部143进行吸附时，吸附力可以通过吸附口和与吸附口连通的连通口作用吸附对象，当吸附这些对象时，吸附引导部件16可以弹性变形来减少施加在对象的冲击力。

此外，参考图1，吸附部143可以吸附对象的中心区域。

参考图1，例如，对象9可以包括圆形块体91、以及在块体91上沿块体91的圆周方向布置的多个晶圆92。因此，块体91的中心区域可以为被多个晶圆91包围而未配置晶圆91的区域，吸附部143可以吸附所述块体91的中心区域。

作为参考，在本传送机中，对象，可以包括：在晶圆减薄(thinning)时，被引入减薄处理装置的由陶瓷或者蓝宝石材料制成的块体、以及沿块体的圆周方向布置在块体上的多个晶圆。

此外，突出部142的长度a可以长于从对象9的面向机体13的边缘部分到中心区域的最外围部分的长度。当对象9包括圆形块体91和多个晶圆92时，对象9的边缘部分可以是指在对象9的上表面的外周中面向突出部142的长度a方向的部分(即，面向机体13的部分)，并且，突出部142的长度可以长于在对象9的上表面的外周中从面向突出部142的长度a方向的部分到中心区域的外周的长度。由此，臂14的吸附部143可以覆盖对象9的中心区域的同时吸附中心区域。

此外，机体13的面向轨道部12的部分可相对于轨道部12上下移动地安装于轨道部12。所述部分可以称为安装部。

此外，在机体13的下侧支撑机体13的加强部17，例如加强部17的面向轨道部12的部分可上下移动地安装于轨道部12。由此，加强部17可以支撑机体13，并且，随着机体13的上下移动而移动。

此外，参考图2，本传送机1可以包括用于引导上下轨道部12对底座部11的相对旋转的旋转结构18。例如，旋转结构18，可以包括：主齿条，从上下轨道部12向下延长，并位于底座部11的下方；小齿轮，位于底座部11的下侧，并与主齿条相啮合；辅助齿条，位于底座部11的下部，并与小齿轮相啮合；以及动力提供部(包括马达)，用于旋转辅助齿条。当动力提供部旋转辅助齿条时，小齿轮随此进行旋转，随着小齿轮的旋转，主齿条可在上下轨道部12的圆周方向上旋转，由此，完成上下轨道部12的旋转。

如上所述，本传送机1可以吸附对象9的中央区域拾取后进行传送并放置。此时，由于本传送机1的臂14的结构，即使对象9包括块体91和设置在块体91上的多个晶圆92，而重量重，也可以利用小型规模容易拾取和传送对象9。

此外，根据本传送机1，由于臂14可相对于机体13进行相对旋转，因此，臂14可以拾取对象9并将其翻转。

下面，说明根据本发明的一实施例的传送系统(以下，称为“本传送系统”)。然而，本传送系统可以包括上述的本传送机。因此，可以与本传送机共享内容。在此，关于本传送系统的说明，对于与上述本传送机中说明的结构相同或相似的构成要素使用相同的附图标记，并简化或省略重复的说明。

参考图4及图5，本传送系统包括用于向长度方向传送对象9的传送部8。传送部8可以包括传送装置81。例如，传送装置81可以包括传送带和用于旋转传送带的旋转装置(例如，可以包括2个以上的滑轮)。对象9可以装载在传送带上，并且可以通过旋转装置旋转传送带来传送传送带上的对象9。由于这种传送装置81的结构对于本领域的普通技术人员来说是显而易见的，因此，省略对其的详细说明。

此外，参考图4及图5，本传送系统可以包括装载部7，在该装载部7中准备着对象9。传送部8可以从装载部7接收对象9进行传送。例如，装载部7可以位于传送装置81的长度方向的一侧，对象9可以从装载部7装载到传送装置81，并沿传送装置81的长度方向(通过传送带的旋转)传送。

此外，参考图4及图5，传送部8可以包括高度不同的多个传送装置81、82。换言之，传送部8可以包括多个传送装置81、82，并且，多个传送装置81、82可以向上下方向布置。因此，传送部8可以包括第一传送装置81、及位于第一传送装置81的下方的第二传送装置82。第一传送装置81及第二传送装置82中的一个可以从装载部7接收对象9并将其传送到要移动对象9的处理装置6侧，另一个接收从处理装置6传送而来的对象9并传送到装载部7。因此，第一传送装置81及第二传送装置82移动对象的方向可以相反，随此，第一传送装置81及第二传送装置82各自的传送带的旋转方向可以不同(相反的方向)。

此外，参考图4及图5，本传送系统包括多个处理装置6。多个处理装置6在传送部8的宽度方向的一侧沿着传送部8的长度方向隔开间隔布置。作为参考，处理装置6可以是指对对象执行处理工艺的装置，例如，处理装置6可以为对对象进行研磨的研磨机。或者，处理装置6可以为进行减薄加工的处理装置。或者，处理装置6可以为DMP设备、CMP设备、Waxmounter等中的一个。

例如，参考图4，2个处理装置6可以沿传送部8的长度方向隔开间隔布置在传送部8的宽度方向的一侧。另外，参考图5，也可以在传送部8的宽度方向的一侧沿传送部8的长度方向隔开间隔配置2个以上的处理装置6。以这种方式，可以具备多种数量的处理装置6。

此外，参考图4及图5，本传送系统包括传送结构5，所述传送结构5在传送部8的宽度方向的一侧配置在传送部8和多个处理装置6之间。

传送结构5，包括：沿传送部8的长度方向延长的轨道51、以及沿轨道51可移动地设置的上述的本传送机1。

本传送机1可以在传送部8和处理装置6之间传送对象9。换言之，本传送机1从传送部8拾取对象9并将其放置在处理装置6上，或者从处理装置6拾取对象9并将其放置在传送部8。

如上所述，传送部8可以包括第一传送装置81及第二传送装置82，并且，在第一传送装置81和第二传送装置82中的一个可以从装载部7接收对象9并且将其传送至要移动对象9的处理装置6侧，另一个可以装载从处理装置6传送的对象9，并传送到装载部7，考虑到这一点，本传送机1可以从所述一个传送结构拾取对象9并传送至处理装置6侧进行放置，可以从处理装置6拾取经处理的对象并用另一个传送结构传送进行放置。

此外，参考图4及图5，传送结构5可以包括一个以上的本传送机1。参考图4，当本传送机1为一个时，一个本传送机1可以对多个处理装置6执行传送。例如，当本传送机1为一个，处理装置6为2个时，本传送机1可以对在2个处理装置6之一和传送部8之间移动对象，在2个处理装置6中的另一个和传送部8之间移动对象9。例如，本传送机1可以对一个处理装置6传送对象9之后，在一个处理装置6对对象9执行处理工艺的过程中，可以在另一个处理装置6和传送部8之间传送对象9(例如，可以从传送部8向另一个处理装置6传送对象9、或者可以从另一个处理装置6向传送部8传送对象9)。

另外，参考图5，传送结构5可以包括多个本传送机1。此时，本传送机1的数量可以小于处理装置6的数量。因此，多个处理装置6可分为多个组，多个本传送机的每一个可以对多个组进行传送。在这种情况下，分组数量可以对应于本传送机1的数量。例如，当处理装置6设有4个，本传送机1设有2个时，4个处理装置6可分为2个组，每组有2个处理装置，对每个2组，本传送机1负责传送。即，一个本传送机1可以在一组中的2个处理装置6中的每一个与传送部8之间传送对象9。

因此，本传送机1可以从传送部8拾取对象9并将其放置在分组中的一个处理装置6上，然后在一个处理装置6处理对象9的过程中，拾取另一个对象9，并放置在分组中的另一个处理装置6上，由此，即使每个处理装置6都不具备本传送机，也可以传送对象9，而不会发生延迟。

此外，本传送机1包括底座部11。

此外，本传送机1包括上下轨道部12。上下轨道部12从底座部11向上延长。

此外，本传送机1，包括可沿上下轨道部12上下移动的机体13。

此外，本传送机1包括臂14。臂14，包括：结合部141，结合于机体13、突出部142，从结合部141向机体13的前方突出；以及吸附部143，形成于突出部的前端，用于吸附对象9。臂14可相对于主体13相对旋转。

由于上面已经描述了本传送机1，因此，将省略详细描述。

另外，本传送系统可以包括在传送部8的宽度方向的另一侧向传送部8的长度方向隔开间隔配置的多个处理装置6。另外，本传送系统包括在传送部8的宽度方向的另一侧布置在传送部8和多个处理装置6之间的传送结构5。

配置在所述传送部8的宽度方向的另一侧的多个处理装置6和传送结构5与配置在上述的传送部8的宽度方向的一侧的多个处理装置6与传送结构5相对应乃至相同，因此，将省略详细描述。

另外，参考图6，作为本传送系统的另一例，本传送系统，可以包括：本传送机1；2个处理装置6，分别位于本传送机1的一侧和另一侧；以及装载部7，位于本传送机1的前方。在这种情况下，本传送机1可以从装载部7拾取对象9，并将其传送到2个处理装置6中的一个，在一个处理装置6执行处理工艺的过程中，从另一个处理装置6拾取对象9并将其放置在装载部7上，或者从装载部7拾取对象9并将其放置在另一个处理装置6上。

本发明的以上说明是示例性的，应理解本发明所属技术领域的普通技术人员在不改变本发明的技术思想或必要特征的情况下可容易变形实施为其他的具体形态。因此，以上所述的实施例是在所有方面都是示例性的，而不是限制性的。例如，描述为单一形态的每个构成要素可以分散实施，同样地，描述为分散形态的构成要素也可以以组合形式实施。

本发明的范围由权利要求范围而决定而不是发明的内容来决定，并且应解释为从权利要求范围的含义和范围及其等同概念得出的所有变更或变形的形态均包括在本发明的范围内。

Claims (7)

1.一种传送机，其中，包括：

底座部；

上下轨道部，从所述底座部向上延长；

机体，可沿所述上下轨道部上下移动；以及

臂，具备：结合部，结合于所述机体、突出部，结合于所述结合部，向所述机体的前方突出、以及吸附部，形成在所述突出部的前端，用于吸附对象，

其中，所述臂可相对于所述机体相对旋转。

2.根据权利要求1所述的传送机，其中，还包括真空形成结构，所述吸附部，形成有向下开口的一个以上的吸附口、以及用于连通所述一个以上的吸附口与所述真空形成结构的气体移动通道。

3.根据权利要求2所述的传送机，其中，还包括设置在所述吸附部的下表面的吸附引导部件，

在所述吸附引导部件中朝上下方向贯穿形成有与所述吸附口连通的连通口。

4.根据权利要求2所述的传送机，其中，所述吸附部吸附对象的中心区域，

所述突出部的长度长于从所述对象的面向所述机体的边缘部分到所述中心区域的最外围部分的长度。

5.根据权利要求4所述的传送机，其中，所述对象，具备：圆形块体、以及沿所述块体的圆周方向设置在所述块体上的多个晶圆。

6.根据权利要求1所述的传送机，其中，还包括加强部，用于在所述机体的下侧支撑所述机体。

7.根据权利要求1所述的传送机，其中，还包括用于引导所述上下轨道部对所述底座部的相对旋转的旋转结构。

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