CN115676352A - 基板传输装置及传输方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种基板传输装置及传输方法，该基板传输装置包括：机械臂；承载组件，承载组件包括承载底板，承载底板与机械臂连接，承载底板具有与机械臂连接的第一端和与第一端相对的第二端，第一端和第二端的上表面均设有纵向基板卡合部；其中，纵向基板卡合部具有第一倾斜面和与第一倾斜面连接的第一承放面，位于第一端和第二端的纵向基板卡合部相对设置以形成用于承放基板的卡槽。本发明的基板传输装置能够避免基板在传输过程中发生位置偏移，避免基板在传输过程中发生碰撞导致破碎和下一工序发生对位异常，能够避免基板在传输过程中发生下垂并消除静电。

Description

基板传输装置及传输方法

技术领域

本发明涉及显示器件技术领域，特别是涉及一种基板传输装置及传输方法。

背景技术

在OLED、QLED等显示器件的制作过程中，基板的传输是必不可少的操作过程，基板的传输通常使用机械手臂去执行相应的指令，从而实现传输的生产自动化。

在本行业中，现阶段很多机械臂采用简化的方式，相当于用一个托盘去承接基板，这种方式存在很多弊端。例如，在机械臂承接基板并进行传输的过程中，基板很容易发生位置偏移，若位置偏移过大，基板在传输过程中容易发生碰撞导致基板破碎，或者在下一个工艺中(如蒸镀、打印等)发生对位异常。

此外，现在面板行业发展迅速，基板尺寸也越来越大，基板自身的重量也逐渐增大，传统的基板传输装置在传输过程中基板的中部受力较大容易下垂并产生位置的滑动，当下垂幅度过大时，容易发生碰撞而导致基板破碎。再者，基板在传输过程中可能会产生部分静电，从而导致基板存在粘贴现象。

因此，亟需开发一种新型的基板传输装置，以解决上述问题，提高OLED、QLED等显示器件的生产过程中基板传输的自动化稳定性。

发明内容

基于此，有必要针对传统的基板传输装置在传输过程中基板容易发生位置偏移的问题，提供一种基板传输装置及传输方法。

本发明解决上述技术问题的技术方案如下：

一种基板传输装置，包括：

机械臂；

承载组件，所述承载组件包括承载底板，所述承载底板与所述机械臂连接，所述承载底板具有与所述机械臂连接的第一端和与所述第一端相对的第二端，所述第一端和所述第二端的上表面均设有纵向基板卡合部；

其中，所述纵向基板卡合部具有第一倾斜面和与所述第一倾斜面连接且用于承放基板的第一承放面，位于所述第一端的所述纵向基板卡合部和所述第二端的所述纵向基板卡合部相对设置以形成用于承放基板的卡槽。

在其中一些实施例中，所述第一倾斜面与所述第一承放面之间形成75°～85°夹角；和/或

所述第一承放面的高度高于所述承载底板的高度。

在其中一些实施例中，所述承载组件还包括：

多个承载爪，多个所述承载爪分别间隔连接于所述承载底板的两侧，所述承载爪具有与所述承载底板连接的连接端和与所述连接端相对的自由端，所述自由端朝向所述承载底板的外侧延伸。

在其中一些实施例中，所述承载爪的所述自由端的上表面设有横向基板卡合部，位于所述承载底板两侧的所述承载爪上的所述横向基板卡合部相对设置以形成用于承放基板的卡槽。

在其中一些实施例中，所述横向基板卡合部包括相连接的第二倾斜面和第二承放面，所述第二倾斜面与所述第二承放面之间形成75°～85°夹角；和/或

所述第二承放面的高度高于所述承载爪的高度，且所述第二承放面的高度与所述第一承放面的高度齐平。

在其中一些实施例中，所述承载底板和/或所述承载爪上设有静电消除组件，所述静电消除组件包括支撑弹簧和支撑钢球，所述支撑弹簧设于所述承载底板和/或所述承载爪上，所述支撑钢球与所述支撑弹簧的上端连接。

在其中一些实施例中，所述机械臂包括：

伸缩机构，与所述承载组件连接，以驱动所述承载组件在水平面内伸出或缩回；

旋转机构，与所述伸缩机构连接，以驱动所述伸缩机构在水平面内移动；及

升降机构，与所述旋转机构连接，以驱动所述旋转机构上升或下降。

在其中一些实施例中，所述升降机构包括：

基座；及

升降臂，可升降地安装于所述基座上，所述升降臂的上端与所述旋转机构连接。

在其中一些实施例中，所述旋转机构包括：

第一旋转臂，所述第一旋转臂的一端与所述升降臂的上端连接；

第二旋转臂，与所述第一旋转臂的另一端铰接，所述第二旋转臂能够相对于所述第一旋转臂水平转动；及

第三旋转臂，与所述第二旋转臂远离所述第一旋转臂的一端铰接，所述第三旋转臂能够相对于所述第二旋转臂水平转动；

其中，所述第一旋转臂与所述第二旋转臂的铰接处、所述第二旋转臂与所述第三旋转臂的铰接处分别设置有旋转伺服机构。

在其中一些实施例中，所述伸缩机构包括：

支撑升降旋转臂，与所述第三旋转臂连接，所述支撑升降旋转臂能够相对于所述第三旋转臂升降和在水平面内旋转；

伸缩臂，所述伸缩臂的一端与所述支撑升降旋转臂远离所述第三旋转臂的一端连接，所述伸缩臂的另一端与所述承载底板连接，所述伸缩臂能够相对于所述支撑升降旋转臂在水平面内伸缩；及

承载旋转机构，设于所述承载底板与所述伸缩臂之间，所述承载旋转机构能够驱动所述承载底板绕其自身的纵向轴线旋转。

在其中一些实施例中，所述承载底板上设有基板吸盘。

一种基板传输方法，采用本发明上述的基板传输装置，包括如下步骤：

所述基板传输装置接收传输基板的信号；

所述机械臂根据所述传输基板的信号将所述承载组件移动至待传输的基板下方；

所述机械臂驱动所述承载组件向上运动，使所述基板落在所述承载底板上的所述卡槽内，并通过所述卡槽将所述基板进行卡合定位；

所述机械臂驱动所述承载组件动作，将所述基板取出。

本发明的基板传输装置，通过在承载底板的第一端和第二端的上表面均设置纵向基板卡合部，纵向基板卡合部具有第一倾斜面和第一承放面，并且将位于第一端和第二端的纵向基板卡合部相对设置以形成用于承放基板的卡槽；在基板传输时，可将基板的两端放置在相对设置的纵向基板卡合部内，第一承放面可以起到承放支撑定位基板的作用，而第一倾斜面则起到使基板通过其自身重力进行卡位的作用。通过上述结构设置，避免了基板在传输过程中发生纵向位移，避免基板在传输过程中碰撞破碎或在下一工序时发生对位异常。

附图说明

图1为本发明一实施例的基板传输装置的结构示意图；

图2为本发明的基板传输装置中纵向基板卡合部的结构示意图；

图3为本发明的基板传输装置中横向基板卡合部的结构示意图；

图4为本发明的基板传输装置中静电消除组件的结构示意图；

图5为本发明另一实施例的基板传输装置的结构示意图；

图6为本发明的基板传输装置中升降机构的结构示意图；

图7为本发明的基板传输装置中旋转机构的部分结构示意图；

图8为本发明的基板传输装置中伸缩机构的结构示意图；

图9为本发明的基板传输装置中基板吸盘的结构示意图；

图10为两种不同尺寸的基板的结构示意图。

附图标记说明：

10、机械臂；11、伸缩机构；12、旋转机构；13、升降机构；20、承载组件；21、承载底板；22、纵向基板卡合部；23、承载爪；24、横向基板卡合部；25、静电消除组件；26、基板吸盘；111、支撑升降旋转臂；112、伸缩臂；113、承载旋转机构；114、伸缩旋转伺服机构；121、第一旋转臂；122、第二旋转臂；123、第三旋转臂；124、旋转伺服机构；131、基座；132、升降臂；221、第一倾斜面；222、第一承放面；241、第二倾斜面；242、第二承放面；251、支撑弹簧；252、支撑钢球；261、第一吸盘；262、第二吸盘。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参阅图1，本发明的一种实施方式提供了一种基板传输装置，该基板传输装置包括机械臂10和承载组件20。

其中，承载组件20包括承载底板21，承载底板21与机械臂10相连接。

该承载底板21具有与机械臂10连接的第一端和与该第一端相对的第二端；在第一端和第二端的上表面均设置有纵向基板卡合部22。请参阅图2，纵向基板卡合部22具有第一倾斜面221和与该第一倾斜面221连接且用于承放基板的第一承放面222，并且位于第一端和第二端上的纵向基板卡合部22相对设置以形成用于承放基板的卡槽。

上述的基板传输装置，通过在承载底板21的第一端和第二端的上表面设置纵向基板卡合部22，纵向基板卡合部22具有第一倾斜面221和与该第一倾斜面221连接的第一承放面222，且位于第一端和第二端上的纵向基板卡合部22相对设置形成卡槽；在基板传输时，可将基板的两端放置在相对设置的纵向基板卡合部22内，第一承放面222可以起到承放支撑定位基板的作用，而第一倾斜面221则可以起到使基板通过其自身重力进行卡位的作用。通过上述的纵向基板卡合部22可以承放基板，并对基板的两端进行卡合定位，避免基板在传输过程中发生纵向位移，避免基板在传输过程中发生碰撞导致破碎，或者在下一工艺中(如蒸镀、打印等)发生对位异常。

可以理解，位于第一端和第二端上的纵向基板卡合部22相对设置，即两端的纵向基板卡合部22中的两个第一倾斜面221的倾斜方向相反，且两个第一承放面222正对设置。可理解，第一倾斜面221可为倾斜平面或倾斜曲面。

在其中一些实施例中，位于第一端的第一倾斜面221朝向第二端向下倾斜设置，第一承放面222与该第一倾斜面221的下端连接且朝向第二端水平延伸；位于第二端的第一倾斜面221则朝向第一端向下倾斜设置，第一承放面222与该第一倾斜面221的下端连接且朝向第一端水平延伸；第一倾斜面221和第一承放面222之间形成夹角η1(如图2中所示)。进一步地，夹角η1为75°～85°。

具体来说，在本实施例中，第一承放面222设于承载底板21上，以使第一承放面222的上表面与承载底板21的上表面之间具有高度差。进一步地，该高度差即为第一承放面222的高度a，如图2中a所示。如此，当基板放置在第一承放面222上后，基板的背面与承载底板21之间具有一定的间隙。

在其中一些实施例中，承载组件20还包括多个承载爪23，多个承载爪23分别间隔连接于承载底板21的两侧。该承载爪23具有与承载底板21连接的连接端和与该连接端相对的自由端，其中自由端沿承载底板21的侧面朝向承载底板21的外侧延伸。如此，通过在承载底板21的两侧分别连接多个向外侧延伸的承载爪23，可以更好地对基板的两侧进行承载。

具体地，承载爪23的连接端可以是搭接在承载底板21上，从而承载爪23的上表面高度高于承载底板21的上表面。

进一步地，在承载爪23的自由端的上表面设置有横向基板卡合部24，并且位于承载底板21两侧的承载爪23上的横向基板卡合部24相对设置以形成用于承放基板的卡槽。该横向基板卡合部24的结构与纵向基板卡合部22的结构相类似，但是其布置方向不同。横向基板卡合部24是沿承载底板21的横向相对地设置在两侧的承载爪23上，而纵向基板卡合部22则是沿承载底板21的纵向相对地设置在承载底板21的两端。通过该横向基板卡合部24可以对基板的两侧进行承托和卡位，避免基板在传输过程中发生横向移位。该横向基板卡合部24与纵向基板卡合部22可以进一步提高基板传输过程的稳定性，更好地避免发生碰撞导致破碎和对位异常。

具体来说，在本实施例中，横向基板卡合部24包括相连接的第二倾斜面241和第二承放面242，位于连接端的第二倾斜面241朝向自由端向下倾斜设置，第二承放面242与该第二倾斜面241的下端连接且朝向自由端水平延伸；位于自由端的第二倾斜面241则朝向连接端向下倾斜设置，第二承放面242与该第二倾斜面241的下端连接且朝向连接端水平延伸。第二倾斜面241与第二承放面242之间形成一个75°～85°的夹角(如图3中η2所示)。

在其中一些实施例中，第二承放面242的高度高于承载爪23的高度，其高度差如图3中b所示。如此，当基板放置在第二承放面242上后，基板的背面与承载爪23之间具有一定的间隙。而且，第二承放面242的高度与第一承放面222的高度齐平，以确保基板能够平稳地放置在第一承放面222和第二承放面242上。

在其中一个具体示例中，纵向基板卡合部22为一个具有阶梯面的块体，该块体上具有高度不同的两个平面，两个平面之间通过一个斜面相连接。可以理解，位于下方的平面即为第一承放面222，而连接两个平面之间的斜面即为第一倾斜面221。该纵向基板卡合部22镶嵌在承载底板21上。同样地，横向基板卡合部24也为一个具有阶梯面的块体，该块体上具有高度不同的两个平面，两个平面之间通过一个斜面相连接。位于下方的平面即为第二承放面242，而连接这两个平面之间的斜面即为第二倾斜面241。该横向基板卡合部24镶嵌在承载爪23上。

具体地，承载爪23的形状为具有一定厚度的长梯形立体状，其宽度由靠近连接端的一侧至靠近自由端的一侧逐渐减小。可以理解，承载爪23的形状也可以是长条形等其他形状；承载爪23的厚度可以根据实际情况具体设置。

在其中一些实施例中，在承载爪23上还设置有静电消除组件25。当基板放置在承载爪23上以后，该消除静电组件25可以对基板的背面起到一定的支撑作用，避免基板由于其自身重量较大且与承载爪23之间存在一定间距而中部发生下垂的情况；并且可以消除基板的静电，避免基板出现粘贴现象。除此之外，该静电消除组件25也可以设置在承载底板21上，或者在承载爪23上和承载底板21上同时设置静电消除组件25。优选地，静电消除组件25设置在承载爪23的连接端。

请参阅图4，在其中一个具体示例中，该静电消除组件25包括支撑弹簧251和支撑钢球252。具体地，在承载爪23上设置有一个安装孔，支撑弹簧251镶嵌设置在承载爪23的安装孔内，支撑弹簧251的下端与承载爪23固定连接，支撑钢球252与支撑弹簧251的上端相连接，且支撑钢球252部分置于该安装孔内，使得支撑钢球252可以随着支撑弹簧251的伸缩在安装孔内上下运动。

如此设置，在自然状态下支撑钢球252凸出于承载爪23，当放置基板后，在基板的自重作用下支撑钢球252在安装孔内向下运动，通过该支撑钢球252和支撑弹簧251可以对基板起到一定的支撑作用，并且可以对基板上的静电进行引导消除。与此类似地，当在承载底板21上设置上述的静电消除组件25时，也可以采用上述的通过设置安装孔镶嵌的方式。但是，由于承载爪23的高度高于承载底板21的上表面，可以将承载底板21上的安装孔的孔口高度设置的略高于承载底板21，以使支撑钢球252在自然状态下能够凸出于承载爪23。

请参阅图5，在本发明的另外一些实施例中，承载底板21采用框架式结构。具体地，可以采用如图5中所示的“8”字形框架结构。采用这种框架式结构的承载底板21，承载底板21的宽度更宽，可以不再设置承载爪23。框架式结构的具体形式不限于上述的“8”字形结构，也可以是井字形等其他类似结构。

具体来说，在上述框架式结构的承载底板21中，多个纵向基板卡合部22在承载底板21的宽度方向(横向)上间隔分布，以尽量能支撑基板为准。例如，多个纵向基板卡合部22的分布宽度可以尽量与基板的宽度同宽。

在其中一些实施例中，机械臂10包括伸缩机构11、旋转机构12和升降机构13。其中，伸缩机构11与承载组件20相连接，用于驱动承载组件20在水平面内伸出或缩回以及在水平面内转动；旋转机构12与该伸缩机构11相连接，用于驱动伸缩机构11在水平面内移动；升降机构13与旋转机构12相连接，用于驱动旋转机构12上升或下降。

通过设置上述的伸缩机构11、旋转机构12和升降机构13，将伸缩机构11与承载组件20相连接，可以通过升降机构13驱动伸缩机构11、旋转机构12和承载组件20整体上升或下降，通过旋转机构12驱动伸缩机构11和承载组件20整体在水平面内移动，通过伸缩机构11驱动承载组件20在水平面内伸缩和转动。通过伸缩机构11、旋转机构12和升降机构13的协同作用，可以灵活地调节承载组件20的高度和位置，对基板进行传输。

请参阅图6，在其中一个具体示例中，升降机构13包括基座131和升降臂132。其中，基座131为一个磁流体装置，套设在升降臂132的外侧，能够确保基座131对于升降臂132具有良好的密封性和支撑作用。升降臂132可升降地安装于基座131上，该升降臂132的上端与旋转机构12相连接。通过升降臂132的升降，可以使机械臂10和承载组件20能够达到所要求的高度位置，其上下可移动范围可以根据实际情况进行设置，如0～30cm。

请参阅图7，在其中一个具体示例中，旋转机构12包括第一旋转臂121、第二旋转臂122和第三旋转臂123。其中，第一旋转臂121的一端与升降臂132的上端连接；第一旋转臂121的另一端与第二旋转臂122的一端铰接，第二旋转臂122的另一端与第三旋转臂123的一端铰接；并且，第二旋转臂122能够相对于第一旋转臂121水平转动；第三旋转臂123的另一端与伸缩机构11连接，第三旋转臂123能够相对于第二旋转臂122水平转动。这样，通过使第二旋转臂122相对于第一旋转臂121水平转动，第三旋转臂123相对于第二旋转臂122水平转动，即可带动伸缩机构11和承载组件20整体在水平面内移动。

具体地，请参阅图7，可以在第一旋转臂121与第二旋转臂122的铰接处、第二旋转臂122与第三旋转臂123的铰接处分别设置一个旋转伺服机构124，通过该旋转伺服机构124来驱动第二旋转臂122和第三旋转臂123旋转。第一旋转臂121与第二旋转臂122之间转动、第二旋转臂122与第三旋转臂123之间转动分别形成的夹角为0°～180°。另外，可以在旋转伺服机构124与各旋转臂的连接处设置磁流体装置进行密封；旋转伺服机构124应当可以顺时针和逆时针两个方向旋转。

请参阅图8，在其中一个具体示例中，伸缩机构11包括支撑升降旋转臂111、伸缩臂112和承载旋转机构113。其中，支撑升降旋转臂111与第二旋转臂122相连接，该支撑升降旋转臂111能够相对于第二旋转臂122升降和在水平面内旋转；伸缩臂112的一端与支撑升降旋转臂111远离第三旋转臂122的一端相连接，伸缩臂112的另一端与承载底板21相连接，该伸缩臂112能够相对于支撑升降旋转臂111在水平面内伸出或缩回。具体地，支撑升降旋转臂111可以通过一个伸缩旋转伺服机构114与第三旋转臂123相连接；伸缩旋转伺服机构114处还可以设置磁流体装置进行密封和支撑。

如此，通过支撑升降旋转臂111的升降和旋转，可以驱动承载底板21进行一定高度的升降，并可调节承载底板21在水平面内的朝向；通过伸缩臂112可以驱动承载底板21在水平面内伸出或缩回，以使承载底板21能够伸入到基板存放区中待传输的基板的正下方。该伸缩臂112可以是呈长条形插设在支撑升降旋转臂111内，可以避免在传输基板的过程中出现抖动现象。

请参阅图5，在本发明的一些实施例中，承载底板21上还设置有多个基板吸盘26。通过该基板吸盘26可以从基板的背面将基板吸住，进一步提高基板在传输过程中的稳定性。并且，如果设置有上述的基板吸盘26，则可以不设置横向基板卡合部24。这种设置有基板吸盘26的基板传输装置，可以适用于基板朝上传输的工况，也可适用于基板朝下传输的工况。当基板需要正面朝下传输时，只需通过基板吸盘26吸住基板，然后再将基板转动至正面朝下即可。

具体地，基板吸盘26镶嵌在承载底板21内，并且基板吸盘26的上表面与承载底板21的高度齐平。该基板吸盘26内嵌设有第一吸盘261和多个第二吸盘262，多个第二吸盘262围绕设置在第一吸盘261的周围。请参阅图9，整个基板吸盘26的直径为c1，而第一吸盘261的直径为c2，第二吸盘262的直径为c3，其中c1大于c2，c2大于c3。c1、c2和c3的具体值可以根据实际情况进行设置。第一吸盘261和第二吸盘262均可采用现有的吸盘结构。通过上述的基板吸盘26可以很好地对基板进行吸附固定。

请参阅图5，在其中一个具体示例中，承载底板21与伸缩臂112之间还设置有承载旋转机构113，该承载旋转机构113的一端与承载底板21相连接，另一端与伸缩臂112相连接。该承载旋转机构113能够驱动承载底板21绕其自身的纵向轴线旋转。如此，当需要使基板正面朝下进行传输时，只需先通过基板吸盘26吸住基板，然后通过承载旋转机构113驱动承载底板21和基板整体向下旋转180°，使基板的正面朝下即可。该承载旋转机构113可以采用电机等现有的旋转驱动机构。

需要说明的是，承载底板21的纵向轴线即从承载底板21的第一端至第二端的延伸方向的轴线。

本发明的一个实施例中，提供了一种基板传输方法，该方法包括如下步骤S100至步骤S400：

步骤S100：本发明上述的基板传输装置接收传输基板的信号。

步骤S200：机械臂10根据传输基板的信号将承载组件20移动至待传输的基板下方。即机械臂10中的升降臂132动作，将承载组件20移动至基板存放区内待传输的基板下方指定高度处；旋转机构12中的第二旋转臂122、第三旋转臂123以及伸缩机构11中的支撑升降旋转臂111动作，使承载组件20移动至基板下方指定位置，并使承载底板21位于基板的正下方。

步骤S300：机械臂驱动承载组件向上运动，使基板落在承载底板上的卡槽内，并通过卡槽将基板进行卡合定位。即升降臂132驱动承载组件20向上移动，使基板落在承载底板21上的纵向基板卡合部22和横向基板卡合部24形成的卡槽中，并通过各个卡合部对基板进行卡合定位。

步骤S400：机械臂驱动承载组件动作，将基板取出。即伸缩臂112动作，将基板从基板存放区内取出，将基板传输至下一个工序。

上述的基板传输方法为基板正面朝上的传输方式，不能适用于需要将基板正面朝下进行传输的场合。其所用的基板传输装置可以是设置有基板吸盘26和承载旋转机构113的基板传输装置，也可以是不设置基板吸盘26和承载旋转机构113的基板传输装置。

本发明的另外一个实施例中，还提供了另一种基板传输方法，该方法包括如下步骤S100至步骤S600：

步骤S100：具有基板吸盘26和承载旋转机构113的基板传输装置接收传输基板的信号。

步骤S200：机械臂10根据传输基板的信号将承载组件20移动至待传输的基板下方。即机械臂10中的升降臂132动作，将承载组件20移动至基板存放区内待传输的基板下方指定高度处；旋转机构12中的第二旋转臂122、第三旋转臂123以及伸缩机构11中的支撑升降旋转臂111动作，使承载组件20移动至基板下方指定位置，并使承载底板21位于基板的正下方。

步骤S300：机械臂10驱动承载组件20向上运动，使基板落在承载底板21上的卡槽内，并通过卡槽将基板进行卡合定位。即升降臂132驱动承载组件20向上移动，使基板落在承载底板21上的纵向基板卡合部22和横向基板卡合部24形成的卡槽中，并通过各个卡合部对基板进行卡合定位。

步骤S400：机械臂10驱动承载组件20动作，将基板取出。即伸缩臂112动作，将基板从基板存放区内取出。

步骤S500：基板吸盘26吸附固定住基板。

步骤S600：承载旋转机构113驱动承载组件20和基板一起向下转动，使基板的正面朝下，将基板传输至下一个工序。

上述的基板传输方法为基板正面朝下的传输方式。其所用的基板传输装置为本发明中的设置有基板吸盘26和承载旋转机构113的基板传输装置。该传输方法可适用于某些需要将基板正面朝下进行传输的场合。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准，说明书及附图可以用于解释权利要求的内容。

Claims (12)

1.一种基板传输装置，其特征在于，包括：

机械臂；

承载组件，所述承载组件包括承载底板，所述承载底板与所述机械臂连接，所述承载底板具有与所述机械臂连接的第一端和与所述第一端相对的第二端，所述第一端和所述第二端的上表面均设有纵向基板卡合部；

其中，所述纵向基板卡合部具有第一倾斜面和与所述第一倾斜面连接且用于承放基板的第一承放面，位于所述第一端的所述纵向基板卡合部和所述第二端的所述纵向基板卡合部相对设置以形成用于承放基板的卡槽。

2.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，所述第一倾斜面与所述第一承放面之间形成75°～85°夹角；和/或

所述第一承放面的高度高于所述承载底板的高度。

3.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，所述承载组件还包括：

多个承载爪，多个所述承载爪分别间隔连接于所述承载底板的两侧，所述承载爪具有与所述承载底板连接的连接端和与所述连接端相对的自由端，所述自由端朝向所述承载底板的外侧延伸。

4.根据权利要求3所述的基板传输装置，其特征在于，所述承载爪的所述自由端的上表面设有横向基板卡合部，位于所述承载底板两侧的所述承载爪上的所述横向基板卡合部相对设置以形成用于承放基板的卡槽。

5.根据权利要求4所述的基板传输装置，其特征在于，所述横向基板卡合部包括相连接的第二倾斜面和第二承放面，所述第二倾斜面与所述第二承放面之间形成75°～85°夹角；和/或

所述第二承放面的高度高于所述承载爪的高度，且所述第二承放面的高度与所述第一承放面的高度齐平。

6.根据权利要求3所述的基板传输装置，其特征在于，所述承载底板和/或所述承载爪上设有静电消除组件，所述静电消除组件包括支撑弹簧和支撑钢球，所述支撑弹簧设于所述承载底板和/或所述承载爪上，所述支撑钢球与所述支撑弹簧的上端连接。

7.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，所述机械臂包括：

伸缩机构，与所述承载组件连接，以驱动所述承载组件在水平面内伸出或缩回；

旋转机构，与所述伸缩机构连接，以驱动所述伸缩机构在水平面内移动；及

升降机构，与所述旋转机构连接，以驱动所述旋转机构上升或下降。

8.根据权利要求7所述的基板传输装置，其特征在于，所述升降机构包括：

基座；及

升降臂，可升降地安装于所述基座上，所述升降臂的上端与所述旋转机构连接。

9.根据权利要求8所述的基板传输装置，其特征在于，所述旋转机构包括：

第一旋转臂，所述第一旋转臂的一端与所述升降臂的上端连接；

第二旋转臂，与所述第一旋转臂的另一端铰接，所述第二旋转臂能够相对于所述第一旋转臂水平转动；及

第三旋转臂，与所述第二旋转臂远离所述第一旋转臂的一端铰接，所述第三旋转臂能够相对于所述第二旋转臂水平转动；

其中，所述第一旋转臂与所述第二旋转臂的铰接处、所述第二旋转臂与所述第三旋转臂的铰接处分别设置有旋转伺服机构。

10.根据权利要求9所述的基板传输装置，其特征在于，所述伸缩机构包括：

支撑升降旋转臂，与所述第三旋转臂连接，所述支撑升降旋转臂能够相对于所述第三旋转臂升降和在水平面内旋转；

伸缩臂，所述伸缩臂的一端与所述支撑升降旋转臂远离所述第三旋转臂的一端连接，所述伸缩臂的另一端与所述承载底板连接，所述伸缩臂能够相对于所述支撑升降旋转臂在水平面内伸缩；及

承载旋转机构，设于所述承载底板与所述伸缩臂之间，所述承载旋转机构能够驱动所述承载底板绕其自身的纵向轴线旋转。

11.根据权利要求1至10任一项所述的基板传输装置，其特征在于，所述承载底板上设有基板吸盘。

12.一种基板传输方法，其特征在于，采用权利要求1至11任一项所述的基板传输装置，包括如下步骤：

所述的基板传输装置接收传输基板的信号；

所述机械臂根据所述传输基板的信号将所述承载组件移动至待传输的基板下方；

所述机械臂驱动所述承载组件向上运动，使所述基板落在所述承载底板上的所述卡槽内，并通过所述卡槽将所述基板进行卡合定位；

所述机械臂驱动所述承载组件动作，将所述基板取出。

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