CN115647740A - 光刻机运动台加工方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开光刻机运动台加工方法，初步抛光，将工件置于研磨机的加工台上，利用砂轮机打磨工件的焊缝处，使得焊接处保持平整，同时对初步打磨后的工件进行热处理操作，去除工件表面应力，工件打磨，通过升降卡座带动砂轮机下移，使得砂轮机的砂轮贴在工件的表面，通过滑动基板带动加工台，使得加工台带动加工台移动，配合砂轮的转动；根据运动台使用的特殊性，采用振动时效及深冷处理相结合的处理工艺，利用振动时效消除零件内部的加工应力，通过深冷处理提高零件的使用性能，在加工气浮面时利用三坐标的高精度性能人工研磨成型，加工分为二次完成，中间间隔48小时，使零件充分散热及消除第一次加工产生的加工应力，提升其稳定性。

Description

光刻机运动台加工方法

技术领域

本发明属于光刻机零部件加工技术领域，更具体的是光刻机运动台加工方法。

背景技术

光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等，是制造芯片的核心装备，它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，光刻机的种类可分为：接触式曝光、接近式曝光、投影式曝光，而光刻机运动台是光刻机的零部件之一，起到移动材料的作用。

专利文件CN113176713A公开了一种光刻机运动台系统，包括基座以及位于基座上方的运动台，所述基座的上表面两侧均安装有防扩罩，所述防扩罩为两侧通风结构，且防扩罩的内部安装有并排的收风组件，所述收风组件包括固定在防扩罩内部的中轴，所述中轴的圆周外部转动安装有安装筒，所述安装筒的外部均匀的安装有扇叶，其有益效果是，在运动台运动的过程中产生的气流可推动扇叶，使得扇叶与安装筒能够发生转动，这样可消耗气流，可避免气流外扩，影响外部传感器的运行，在基座上设置了镂空部，镂空部能够溢出部分气流，进一步避免气流影响基座与运动台上的传感器的运行，设置了减振橡胶，保证了运动台的稳定运行。

运动台是光刻机的重要组成部件在生产加工中难度大稳定性差，其中重要指标为机台整体平面度，国内现有加工方案效率低、加工成本高，高度依赖加工设备或直接委托外资生产。

发明内容

本发明的目的在于提供光刻机运动台加工方法，可以解决现有的问题。

本发明解决的问题是：

1、现有加工方案效率低、加工成本高，高度依赖加工设备，且其所加工出的光刻机运动台平整度较差；

2、传统加工方法在进行光刻机运动台加工操作时，受砂轮高速转动影响，使得工件个砂轮之间容易产生金属火花，且砂轮打磨时产生的沙粒不及时清理，容易令工件表面出现拉毛现象，降低了其良品率；

3、其次上述加工方法利用传统磨床对光刻机运动台表面进行打磨抛光操作，使得光刻机运动台在移动给料时容易出现振动现象，光刻机运动台的振动之间影响其表面打磨的平整度，降低了传统加工方法的稳定性。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

光刻机运动台加工方法，包括以下在步骤：

步骤一，工件焊接，按图纸打磨工件的焊接坡口，焊接各部件，焊接前各部件校正、矫直，焊接牢固，无气孔砂眼，保证各部尺寸，利用工装固定焊接的各工件；

步骤二，初步抛光，将工件置于研磨机的加工台上，利用砂轮机打磨工件的焊缝处，使得焊接处保持平整，同时对初步打磨后的工件进行热处理操作，去除工件表面应力；

步骤三，工件打磨，通过升降卡座带动砂轮机下移，使得砂轮机的砂轮贴在工件的表面，通过滑动基板带动加工台，使得加工台带动加工台移动，配合砂轮的转动，完成对工件的移动打磨操作；

步骤四，冷却操作，利用喷头将冷却液喷在工件表面，以便将浮动的砂粒冲掉，降低工件表面温度；

步骤五，深冷处理，将打磨后的工件置于深冷机内，将深冷机温度调至零下160°运转4小时，再将温度升高至150°运行五小时，循环运行三次；

步骤六，工件打磨，将砂轮机的砂轮更换为棕刚玉砂轮，利用研磨机对工件进行二次打磨操作，同时研磨工件的三处气浮面，制成光刻机运动台。

作为本发明的进一步技术方案，在工件焊接操作时，先焊接横梁上板，打磨表面焊缝平整后，再对其进行组装操作，同时点焊其余部件，固定后，再组装焊接中间左、右肋板、支撑肋板、大气浮导向板各部件，焊接气浮板时，在背板后面焊接，氩弧焊打底焊接后，电焊焊接时焊缝衔接处及焊条更换时应打磨至材料本色再焊接，内腔焊接完后，打磨表面焊缝平整，去除尖角、毛刺，清除油污，涂钝化膏，清除焊接氧化面再继续焊接其余部件。

作为本发明的进一步技术方案，冷却操作时，初步抛光操作时，将工件置于加工台的电磁吸盘上，利用电磁吸盘吸附固定工件底部，通过启动第三电机，使得第三电机驱动传动丝杆转动，利用传动丝杆和螺纹套之间的螺纹结构，使得螺纹套驱动滑动基板横移，令滑动基板带动加工台，完成对工件的横向移料操作。

作为本发明的进一步技术方案，在打磨操作时，通过启动第一电机，使得第一电机驱动丝杆转动，利用丝杆配合升降滑块驱动升降卡座下移，使得升降卡座带动砂轮机上下移动，令砂轮机对工件纵向给量。

作为本发明的进一步技术方案，在打磨操作时，使用者通过启动第二电机，使得第二电机配合齿轮驱动伸缩柱移动，使得伸缩柱在升降卡座上横向移动砂轮机，令砂轮机对工件横向给量。

作为本发明的进一步技术方案，在冷却操作时，利用泵体配合连通管回收回流槽处的冷却液，冷却液通过泵体注入至滤渣箱，利用滤渣箱过滤掉冷却液中的细沙，同时配合过滤棒对冷却液进行二次过滤，配合风机对冷却液进行降温，降温后的冷却液通过连通管重新由喷头喷出。

作为本发明的进一步技术方案，在研磨机使用时，利用伸缩柱的拼接卡槽固定砂轮机，在砂轮机使用结束后，将拼接卡槽的挡块取下，将砂轮机换成金刚石精修砂轮，对工件进行精修打磨操作。

作为本发明的进一步技术方案，研磨机包括固定底座和滑动基台，所述滑动基台固定安装在固定底座的上端外表面，所述滑动基台的上端外表面活动安装有加工台，所述滑动基台的上端设有配合加工台使用的滑槽，所述加工台的上端外表面固定安装有电磁吸盘，且加工台的上端位于电磁吸盘的一侧设有喷头；

作为本发明的进一步技术方案，加工台的上端位于电磁吸盘的另一侧设有固定挡板，电磁吸盘的上端外表面围绕电磁吸盘设有回流槽，固定底座的一侧固定安装有降温件，降温件的内侧套接有过滤箱，过滤箱和回流槽以及过滤箱和喷头之间均通过连通管贯通连接，固定底座的后端中部位置固定安装有固定柱；

所述固定柱的侧边外表面活动安装有升降卡座，所述升降卡座的一侧活动安装有砂轮机，升降卡座的内侧设有用来驱动砂轮机的伸缩柱，伸缩柱和砂轮机之间通过拼接卡槽拼接固定，拼接卡槽的一侧设有挡块；

所述升降卡座的上部设有第二电机，所述伸缩柱的端部固定安装有限位卡盘，所述限位卡盘和固定柱之间通过升降滑块滑动连接，滑动基台和加工台之间通过滑动基板活动连接，所述滑动基板的下端中部设有传动丝杆，滑动基板和传动丝杆之间通过螺纹套对接；

螺纹套的一端安装有第三电机；滑动基板的底部位于传动丝杆的两侧均设有限位滑杆，限位滑杆和滑动基板之间通过滑动卡套滑动对接，所述过滤箱的内部安装有泵体和滤渣箱，泵体设置在滤渣箱的一侧；

滤渣箱的输出端设有过滤棒，过滤箱和滤渣箱之间通过拼接卡座拼接固定。

本发明的有益效果：

1、通过设置升降卡座，在使用者通过该加工方法对光刻机运动台进行加工操作时，使用者将所需加工的光刻机运动台工件置于研磨机的加工台上，通过启动第二电机，使得第二电机配合齿轮驱动伸缩柱移动，使得伸缩柱在升降卡座上横向移动砂轮机，令砂轮机对工件横向给量，从而横向调节光刻机运动台的打磨位置，其次通过启动第一电机，使得第一电机驱动丝杆转动，利用丝杆配合升降滑块驱动升降卡座下移，使得升降卡座带动砂轮机上下移动，令砂轮机对工件纵向给量，同时利用伸缩柱的拼接卡槽固定砂轮机，在砂轮机使用结束后，将拼接卡槽的挡块取下，将砂轮机换成金刚石精修砂轮，对工件进行精修打磨操作，超精磨削是利用磨粒微刃在工件表面切除微薄余量，利用伸缩柱的拼接卡槽将砂轮机换成棕刚玉砂轮，采用棕刚玉砂轮粒度在60-80的中软树脂粘接的砂轮进行无火花磨削，其主要磨削机理是，应用升降卡座的使用实现较小的修整导程、修整进给量和精细修整砂轮，使得磨粒微细破碎而产生微刃，要保证微刃在砂轮表面分布呈等高性，分布在砂轮表层同一深度层，微刃数要多且等高，为达到这一要求，除修整用量小外，还要控制机床的振动、精度等来实现，砂轮刚修整后的微刃比较锋利，切削作用强，随着磨削时间的增加，微刃逐渐被磨钝，这时微刃的等高性进一步提高，切削作用减弱，而摩擦抛光作用增强，磨削温度使金属软化钝化的微刃在工件表面滑动摩擦与挤压，表面细小凸锋被碾平，可以控制磨削用量，以此达到超精磨削，提升该光刻机运动台加工方法的磨削精度，以此提升光刻机运动台表面平整度。

2、通过设置降温件和滤渣箱，在该光刻机运动台加工方法进行磨削加工操作时，利用降温件和滤渣箱使得其可以在光刻机运动台磨削操作时同步进行滤渣及降温操作，首先用金刚石笔进行精修，再用磨削长度和工件近似一致的心轴进行锥度调整后，就可用砂轮棒细修整砂轮，细修时采用GC60K-L5B的砂轮，直径在d90mm左右，先把砂轮夹紧在一根心轴上，然后在精密车床上用两顶尖顶住进行精车外圆，以消除偏摆，之后将其顶在磨床的两顶尖间，便可进行细修砂轮，即用砂轮精磨砂轮，修整时，修整砂轮由头架带着转，其转速约为70～100r/min，进给量要小，约为0.025mm/往复一次，往返速度低于0.3m/min，需经多次往返修整，修整砂轮与被修整砂轮旋转方向应相同，即接触点的线速度方向相反，通过喷头将冷却液喷出，降低工件表面温度的同时，可以清洗掉砂轮打磨时产生的细砂，工件表面要冷却要充分，以便将浮动的砂粒冲掉，防止磨削过程中有掉砂拉毛工件表面的现象，用上述方法修整后，在砂轮的表面上可形成大量的等高微刃，砂轮修整后，用手刷去掉被修整砂轮表面砂粒，磨削前，利用滤渣箱和过滤棒对冷却液进行严格过滤，磨削时，利用喷头喷洒冷却液对工件表面进行降温，避免工件表面出现拉毛现象，提升其良品率。

3、通过设置限位滑杆和滑动基板，在该光刻机运动台加工方法进行磨削加工操作时，利用限位滑杆在滑动基板的下部形成移动辅助结构，可以有效降低工件移动时的震感，操作时，第一电机，使得第一电机驱动丝杆转动，利用丝杆配合升降滑块驱动升降卡座下移，使得升降卡座带动砂轮机上下移动，令砂轮机对工件纵向给量，利用两根限位滑杆配合滑动卡套，可以使得滑动基板在滑动基台上的移动操作更加平稳，令工件的打磨更加稳定，降低其震感，提升该光刻机运动台加工方法的使用效果。

附图说明

下面结合附图对本发明作进一步的说明。

图1是本发明光刻机运动台加工方法的流程图；

图2是本发明光刻机运动台加工方法中研磨机的整体结构示意图；

图3是本发明光刻机运动台加工方法中升降卡座的整体结构图；

图4是本发明光刻机运动台加工方法中加工台的整体结构图；

图5是本发明光刻机运动台加工方法中滑动基板的整体结构图；

图6是本发明光刻机运动台加工方法中过滤箱的整体结构图。

图中：1、固定底座；2、过滤箱；3、降温件；4、喷头；5、固定柱；6、第一电机；7、升降卡座；8、砂轮机；9、电磁吸盘；10、回流槽；11、加工台；12、滑动基台；13、拼接卡槽；14、升降滑块；15、限位卡盘；16、第二电机；17、伸缩柱；18、固定挡板；19、连通管；20、拼接卡座；21、泵体；22、滑动卡套；23、限位滑杆；24、传动丝杆；25、螺纹套；26、第三电机；27、滑动基板；28、滤渣箱；29、过滤棒。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明为实现预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。

如图1-6所示，光刻机运动台加工方法，包括以下在步骤：

步骤一，工件焊接，按图纸打磨工件的焊接坡口，焊接各部件，焊接前各部件校正、矫直，焊接牢固，无气孔砂眼，保证各部尺寸，利用工装固定焊接的各工件；

步骤二，初步抛光，将工件置于研磨机的加工台11上，利用砂轮机8打磨工件的焊缝处，使得焊接处保持平整，同时对初步打磨后的工件进行热处理操作，去除工件表面应力；

步骤三，工件打磨，通过升降卡座7带动砂轮机8下移，使得砂轮机8的砂轮贴在工件的表面，通过滑动基板27带动加工台11，使得加工台11带动加工台11移动，配合砂轮的转动，完成对工件的移动打磨操作；

步骤四，冷却操作，利用喷头4将冷却液喷在工件表面，以便将浮动的砂粒冲掉，降低工件表面温度；

步骤五，深冷处理，将打磨后的工件置于深冷机内，将深冷机温度调至零下160°运转4小时，再将温度升高至150°运行五小时，循环运行三次；

步骤六，工件打磨，将砂轮机8的砂轮更换为棕刚玉砂轮，利用研磨机对工件进行二次打磨操作，同时研磨工件的三处气浮面，制成光刻机运动台。

在工件焊接操作时，先焊接横梁上板，打磨表面焊缝平整后，再对其进行组装操作，同时点焊其余部件，固定后，再组装焊接中间左、右肋板、支撑肋板、大气浮导向板各部件，焊接气浮板时，在背板后面焊接，氩弧焊打底焊接后，电焊焊接时焊缝衔接处及焊条更换时应打磨至材料本色再焊接，内腔焊接完后，打磨表面焊缝平整，去除尖角、毛刺，清除油污，涂钝化膏，清除焊接氧化面再继续焊接其余部件。

冷却操作时，初步抛光操作时，将工件置于加工台11的电磁吸盘9上，利用电磁吸盘9吸附固定工件底部，通过启动第三电机26，使得第三电机26驱动传动丝杆24转动，利用传动丝杆24和螺纹套25之间的螺纹结构，使得螺纹套25驱动滑动基板27横移，令滑动基板27带动加工台11，完成对工件的横向移料操作。

在打磨操作时，通过启动第一电机6，使得第一电机6驱动丝杆转动，利用丝杆配合升降滑块14驱动升降卡座7下移，使得升降卡座7带动砂轮机8上下移动，令砂轮机8对工件纵向给量，进给量每次只能是0.0025-0.005mm，纵向进给速度为40-100mm/min，在修整砂轮过程中，要注意以听到均匀的“沙沙沙……”声响为最佳，若听到忽高忽低、渐高、渐低的不正常响声时，就该检查工作台是否爬行，冷却液是否充足，金刚石笔是否锋利，工作台爬行时，应打开排气阀排除液压缸内空气，这样工作台往复运动就平稳了，经金刚石笔精修后，再用油石进行细修，但油石要在平面磨床上磨平，细修时，油石必须与砂轮圆圈表面平行，轻微接触，缓慢地纵向移动2-4次即可，经过精、细修整后，取砂轮最低旋转速度，可用手指顺着砂轮的旋转方向，轻轻靠近砂轮工作面，并作纵向移动，应有平整光滑的感觉。若有磨粒刺手感觉时，可用剪去二分之三长度毛的漆刷，轻轻刷去砂轮表面浮砂屑，为防止砂轮端面不平或振动而拉毛工件表面，砂轮两端修整成凸型；

工件纵向进给量Fa与工件表面粗糙度关系中所示当砂轮经过精细修整后，切削能力较差，当纵向进给量Fa增大时，工件易产生烧伤，出现螺旋形和多角形等缺陷，纵向进给量Fa太低又会影响生产效率，因此，在保证不产生螺旋形的条件下，Fa适当选大些，开始磨削阶段，宜采用较大的纵向进给量Fa＝025～05mm/r，磨削一段时间后，再采用较小的纵向进给量，一般取Fa＝0.08～0.225mm/r，这样即可提高磨削效率，又可得到较好的磨削表面质量；

在打磨操作时，使用者通过启动第二电机16，使得第二电机16配合齿轮驱动伸缩柱17移动，使得伸缩柱17在升降卡座7上横向移动砂轮机8，令砂轮机8对工件横向给量。

在冷却操作时，利用泵体21配合连通管19回收回流槽10处的冷却液，冷却液通过泵体21注入至滤渣箱28，利用滤渣箱28过滤掉冷却液中的细沙，同时配合过滤棒29对冷却液进行二次过滤，配合风机对冷却液进行降温，降温后的冷却液通过连通管19重新由喷头4喷出。

在研磨机使用时，利用伸缩柱17的拼接卡槽13固定砂轮机8，在砂轮机8使用结束后，将拼接卡槽13的挡块取下，将砂轮机8换成金刚石精修砂轮，对工件进行精修打磨操作；

对超精度磨削，为避免切深过大，使工件烧伤和产生螺旋形及破坏砂轮的微刃横向进给量不宜过大，特别是第一次进刀时，应严格控制，如果第一次进刀太大，不仅使工件造成烧伤和螺旋形，而且破坏了砂轮的微刃，所以横向进给量Fr的选择原则是不能超过微刃的高度，一般用Fr≤0.0025～0.005mm/st(st为往复行程)。

进给次数的选择，主要是根据工件余量及尺寸精度要求和表面粗糙度来确定，超精度磨削主要用于降低工件表面粗糙度，因此对于一般工件，其磨削余量不能留得过大，一般直径余量为0.002-0.004mm磨削时进刀次数为2-3次。在超精度磨削时，余量留得过大，将影响生产效率和生产成本，因为它不但增加磨削时间，而且砂轮在一次修整中，所磨削工件的个数也将大为减少。

研磨机包括固定底座1和滑动基台12，滑动基台12固定安装在固定底座1的上端外表面，滑动基台12的上端外表面活动安装有加工台11，滑动基台12的上端设有配合加工台11使用的滑槽，加工台11的上端外表面固定安装有电磁吸盘9，且加工台11的上端位于电磁吸盘9的一侧设有喷头4，加工台11的上端位于电磁吸盘9的另一侧设有固定挡板18，电磁吸盘9的上端外表面围绕电磁吸盘9设有回流槽10，固定底座1的一侧固定安装有降温件3，降温件3的内侧套接有过滤箱2，过滤箱2和回流槽10以及过滤箱2和喷头4之间均通过连通管19贯通连接；

固定底座1的后端中部位置固定安装有固定柱5，固定柱5的侧边外表面活动安装有升降卡座7，升降卡座7的一侧活动安装有砂轮机8，升降卡座7的内侧设有用来驱动砂轮机8的伸缩柱17，伸缩柱17和砂轮机8之间通过拼接卡槽13拼接固定，拼接卡槽13的一侧设有挡块，升降卡座7的上部设有第二电机16，伸缩柱17的端部固定安装有限位卡盘15，限位卡盘15和固定柱5之间通过升降滑块14滑动连接，滑动基台12和加工台11之间通过滑动基板27活动连接，滑动基板27的下端中部设有传动丝杆24，滑动基板27和传动丝杆24之间通过螺纹套25对接，螺纹套25的一端安装有第三电机26，滑动基板27的底部位于传动丝杆24的两侧均设有限位滑杆23，限位滑杆23和滑动基板27之间通过滑动卡套22滑动对接，过滤箱2的内部安装有泵体21和滤渣箱28，泵体21设置在滤渣箱28的一侧，滤渣箱28的输出端设有过滤棒29，过滤箱2和滤渣箱28之间通过拼接卡座20拼接固定；

为降低表面粗糙度，往往需要增加光磨次数，光磨时，砂轮与工件间仍保持一定压力，以充分发挥半钝化微刃的摩擦抛光作用，超精度磨削时，光磨的行程数与工件表面粗糙度关系中可见光磨初始阶段，工件表面粗糙度随光磨次数的增加而降低，但经过几个光磨行程后，工件表面粗糙度降低不大，这是因为超精度磨削，主要是靠微刃摩擦抛光作用，光磨时间太长，微刃钝化工件表面易烧伤，影响表面粗糙度，影响生产效率和成本，一般只需光磨4-7个行程就可达到Ra＝0.05～0.025um。

该光刻机运动台加工方法，通过设置升降卡座7，在使用者通过该加工方法对光刻机运动台进行加工操作时，使用者将所需加工的光刻机运动台工件置于研磨机的加工台11上，通过启动第二电机16，使得第二电机16配合齿轮驱动伸缩柱17移动，使得伸缩柱17在升降卡座7上横向移动砂轮机8，令砂轮机8对工件横向给量，从而横向调节光刻机运动台的打磨位置，其次通过启动第一电机6，使得第一电机6驱动丝杆转动，利用丝杆配合升降滑块14驱动升降卡座7下移，使得升降卡座7带动砂轮机8上下移动，令砂轮机8对工件纵向给量，同时利用伸缩柱17的拼接卡槽13固定砂轮机8，在砂轮机8使用结束后，将拼接卡槽13的挡块取下，将砂轮机8换成金刚石精修砂轮，对工件进行精修打磨操作，超精磨削是利用磨粒微刃在工件表面切除微薄余量，利用伸缩柱17的拼接卡槽13将砂轮机8换成棕刚玉砂轮，采用棕刚玉砂轮粒度在60-80的中软树脂粘接的砂轮进行无火花磨削，其主要磨削机理是，应用升降卡座7的使用实现较小的修整导程、修整进给量和精细修整砂轮，使得磨粒微细破碎而产生微刃，要保证微刃在砂轮表面分布呈等高性，分布在砂轮表层同一深度层，微刃数要多且等高，为达到这一要求，除修整用量小外，还要控制机床的振动、精度等来实现，砂轮刚修整后的微刃比较锋利，切削作用强，随着磨削时间的增加，微刃逐渐被磨钝，这时微刃的等高性进一步提高，切削作用减弱，而摩擦抛光作用增强，磨削温度使金属软化钝化的微刃在工件表面滑动摩擦与挤压，表面细小凸锋被碾平，可以控制磨削用量，以此达到超精磨削，提升该光刻机运动台加工方法的磨削精度，以此提升光刻机运动台表面平整度；

通过设置降温件3和滤渣箱28，在该光刻机运动台加工方法进行磨削加工操作时，利用降温件3和滤渣箱28使得其可以在光刻机运动台磨削操作时同步进行滤渣及降温操作，首先用金刚石笔进行精修，再用磨削长度和工件近似一致的心轴进行锥度调整后，就可用砂轮棒细修整砂轮，细修时采用GC60K-L5B的砂轮，直径在d90mm左右，先把砂轮夹紧在一根心轴上，然后在精密车床上用两顶尖顶住进行精车外圆，以消除偏摆，之后将其顶在磨床的两顶尖间，便可进行细修砂轮，即用砂轮精磨砂轮，修整时，修整砂轮由头架带着转，其转速约为70～100r/min，进给量要小，约为0.025mm/往复一次，往返速度低于0.3m/min，需经多次往返修整，修整砂轮与被修整砂轮旋转方向应相同，即接触点的线速度方向相反，通过喷头4将冷却液喷出，降低工件表面温度的同时，可以清洗掉砂轮打磨时产生的细砂，工件表面要冷却要充分，以便将浮动的砂粒冲掉，防止磨削过程中有掉砂拉毛工件表面的现象，用上述方法修整后，在砂轮的表面上可形成大量的等高微刃，砂轮修整后，用手刷去掉被修整砂轮表面砂粒，磨削前，利用滤渣箱28和过滤棒29对冷却液进行严格过滤，磨削时，利用喷头4喷洒冷却液对工件表面进行降温，避免工件表面出现拉毛现象，提升其良品率；

通过设置限位滑杆23和滑动基板27，在该光刻机运动台加工方法进行磨削加工操作时，利用限位滑杆23在滑动基板27的下部形成移动辅助结构，可以有效降低工件移动时的震感，操作时，第一电机6，使得第一电机6驱动丝杆转动，利用丝杆配合升降滑块14驱动升降卡座7下移，使得升降卡座7带动砂轮机8上下移动，令砂轮机8对工件纵向给量，利用两根限位滑杆23配合滑动卡套22，可以使得滑动基板27在滑动基台12上的移动操作更加平稳，令工件的打磨更加稳定，降低其震感，提升该光刻机运动台加工方法的使用效果；

根据运动台使用的特殊性，采用振动时效及深冷处理相结合的处理工艺，利用振动时效消除零件内部的加工应力，通过深冷处理提高零件的使用性能，在加工气浮面时利用三坐标的高精度性能人工研磨成型，同时可以设计气动夹具在零件不受力的情况下磨削磁浮面，加工分为二次完成，中间间隔48小时，使零件充分散热及消除第一次加工产生的加工应力。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本发明，任何本领域技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简介修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (7)

1.光刻机运动台加工方法，其特征在于，包括以下在步骤：

步骤一，工件焊接，按图纸打磨工件的焊接坡口，焊接各部件，焊接前各部件校正、矫直，利用工装固定焊接的各工件；

步骤二，初步抛光，将工件置于研磨机的加工台(11)上，利用砂轮机(8)打磨工件的焊缝处，使得焊接处保持平整，同时对初步打磨后的工件进行热处理操作，去除工件表面应力；

步骤三，工件打磨，通过升降卡座(7)带动砂轮机(8)下移，使得砂轮机(8)的砂轮贴在工件的表面，通过滑动基板(27)带动加工台(11)，使得加工台(11)带动加工台(11)移动，配合砂轮的转动，完成对工件的移动打磨操作；

步骤四，冷却操作，利用喷头(4)将冷却液喷在工件表面，以便将浮动的砂粒冲掉，降低工件表面温度；

步骤五，深冷处理，将打磨后的工件置于深冷机内，将深冷机温度调至零下160°运转4小时，再将温度升高至150°运行五小时，循环运行三次；

步骤六，工件打磨，将砂轮机(8)的砂轮更换为棕刚玉砂轮，利用研磨机对工件进行二次打磨操作，同时研磨工件的三处气浮面，制成光刻机运动台。

2.根据权利要求1所述的光刻机运动台加工方法，其特征在于，在工件焊接操作时，先焊接横梁上板，打磨表面焊缝平整后，再对其进行组装操作，同时点焊其余部件，固定后，再组装焊接中间左、右肋板、支撑肋板、大气浮导向板各部件，焊接气浮板时，在背板后面焊接，氩弧焊打底焊接后，电焊焊接时焊缝衔接处及焊条更换时应打磨至材料本色再焊接，内腔焊接完后，打磨表面焊缝平整，去除尖角、毛刺，清除油污，涂钝化膏，清除焊接氧化面再继续焊接其余部件。

3.根据权利要求1所述的光刻机运动台加工方法，其特征在于，冷却操作时，初步抛光操作时，将工件置于加工台(11)的电磁吸盘(9)上，利用电磁吸盘(9)吸附固定工件底部，通过启动第三电机(26)，使得第三电机(26)驱动传动丝杆(24)转动，利用传动丝杆(24)和螺纹套(25)之间的螺纹结构，使得螺纹套(25)驱动滑动基板(27)横移，令滑动基板(27)带动加工台(11)，完成对工件的横向移料操作。

4.根据权利要求1所述的光刻机运动台加工方法，其特征在于，在打磨操作时，通过启动第一电机(6)，使得第一电机(6)驱动丝杆转动，利用丝杆配合升降滑块(14)驱动升降卡座(7)下移，使得升降卡座(7)带动砂轮机(8)上下移动，令砂轮机(8)对工件纵向给量。

5.根据权利要求4所述的光刻机运动台加工方法，其特征在于，在打磨操作时，使用者通过启动第二电机(16)，使得第二电机(16)配合齿轮驱动伸缩柱(17)移动，使得伸缩柱(17)在升降卡座(7)上横向移动砂轮机(8)，令砂轮机(8)对工件横向给量。

6.根据权利要求5所述的光刻机运动台加工方法，其特征在于，在冷却操作时，利用泵体(21)配合连通管(19)回收回流槽(10)处的冷却液，冷却液通过泵体(21)注入至滤渣箱(28)，利用滤渣箱(28)过滤掉冷却液中的细沙，同时配合过滤棒(29)对冷却液进行二次过滤，配合风机对冷却液进行降温，降温后的冷却液通过连通管(19)重新由喷头(4)喷出。

7.根据权利要求1所述的光刻机运动台加工方法，其特征在于，在研磨机使用时，利用伸缩柱(17)的拼接卡槽(13)固定砂轮机(8)，在砂轮机(8)使用结束后，将拼接卡槽(13)的挡块取下，将砂轮机(8)换成金刚石精修砂轮，对工件进行精修打磨操作。

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