CN115602508A - 一种精密静电聚焦型封闭式微焦点ⅹ射线管 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种精密静电聚焦型封闭式微焦点Ⅹ射线管,包括柱形的真空壳体、电子发射极、加速及静电聚焦极、阳极,所述电子发射极、加速及静电聚焦极、阳极安装在真空壳体内,且依真空壳体中心线为轴对称,呈线性分布;所述真空壳体的端部设置有引线芯柱,所述引线芯柱与真空壳体内的电子发射极、加速及静电聚焦极上的引脚连接,所述阳极接入高压;所述电子发射极发射出电子,所述加速及静电聚焦极对电子聚集形成电子束,并对电子束进行加速和聚焦,射向阳极,电子束轰击在阳极上形成X射线。本申请阴极发射电子,在加速及静电聚焦极作用下进行聚集、加速和聚焦,形成一个精细的高能电子束,轰击阳极靶形成微焦点,从而产生高分辨率的X射线。
Description
技术领域
本发明涉及X射线管的技术领域,尤其是涉及一种精密静电聚焦型封闭式微焦点Ⅹ射线管。
背景技术
国内传统的X射线管,它的射线发射点(也称焦点)其点面积较大,一般直径为毫米级。
根据几何光学成像原理,光源直径越小,成形图像清晰度越高,此原理也适用于X射线,当射线管的焦点越小,射线成像就越清晰。反之,焦点越大,成像的清晰度越低。
传统X射线管的焦点直径为毫米级,这就无法使小于毫米的物件清晰成像。在精密检测中,要检测精细的物件,这就需要小焦点或微焦点的X射线管。为了获得微焦点,需对电子束聚焦,常用磁场聚焦法,但是磁聚焦体积大,结构复杂,且成本高。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种精密静电聚焦型封闭式微焦点Ⅹ射线管,其具有结构简单、实施方便、成本低和可靠性高的特点。
为了解决上述技术问题,本发明的技术方案为:
一种精密静电聚焦型封闭式微焦点Ⅹ射线管,其特征在于:包括柱形的真空壳体、电子发射极、加速及静电聚焦极、阳极,所述电子发射极、加速及静电聚焦极、阳极安装在真空壳体内,且依真空壳体中心线为轴对称,呈线性分布;
所述真空壳体的端部设置有引线芯柱,所述引线芯柱与真空壳体内的电子发射极、加速及静电聚焦极上的引脚连接,所述阳极接入高压;
所述电子发射极发射出电子,所述加速及静电聚焦极对电子聚集形成电子束,并对电子束进行加速和聚焦,射向阳极,电子束轰击在阳极上形成X射线。
进一步的,所述电子发射极包括灯丝和阴极,所述阴极为金属筒状结构,所述阴极的端面外涂有易发射电子的材料,所述灯丝位于阴极内。
进一步的,所述加速及静电聚焦极包括接入不同电压且依次排列的第一电极、第二电极和第三电极,所述第一电极的一端套在阴极上,所述第一电极、第二电极和第三电极上开设有供电子束穿过的透孔。
进一步的,所述第三电极的数量为一个或两个。
进一步的,所述阳极为圆柱状结构,所述阳极位于真空壳体内的一端为倾斜面。
进一步的,所述真空壳体为玻璃或陶瓷结构的壳体。
进一步的,所述阳极包括基体和轰击靶面,所述基体由铜材质制成,所述轰击靶面承受电子束轰击,材质为耐高温及抗电轰击的钨或钨合金。
使用时,灯丝通电后产生热量,使得阴极表面的电子获得能量,逸出表面,在第一电极的作用下,对逸散的电子进行聚集,形成电子束,射向阳极,第二电极和第三电极接入不同电压后,对电子束进行加速及控制流量,同时,形成静电场并构成电子透镜,电子束穿过静电场时,产生折射形成电子束聚焦,电子束在阳极上形成微焦点,阳极接入高压,使得电子束获得能量,电子束轰击阳极产生X射线,且对电子轰击中产生的能量进行散热。
综上所示,本申请包括以下至少一种有益技术效果:
1、采用静电聚焦方法,产生并获得微焦点,使X射线的焦点直径成为微米级,使检测精度从毫米级提高到微米级,从而大大提高了检测精度。
2、采用静电场聚焦方法,结构简单,实施方便,制作成本低,可靠性高。
3、采用了封闭式真空密封管结构,避免开放式真空管在运行时所需的高价辅助装置(如分子泵等),故使用简单,易于推广,性价比高。
附图说明
图1为本发明的整体的结构示意图。
图中:1、真空壳体;2、灯丝;3、阴极;4、第一电极;5、第二电极;6、第三电极;7、阳极;8、引线芯柱;9、电子束轨迹;10、X射线;11、微焦点。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。
本申请公开了一种精密静电聚焦型封闭式微焦点Ⅹ射线管。
如图1所示,精密静电聚焦型封闭式微焦点Ⅹ射线管,包括柱形的真空壳体1,真空壳体1为圆柱形壳体结构,在真空壳体1内安装有呈线性分布的电子发射极、加速及静电聚焦极、阳极7,且阳极7的一端位于真空壳体1外。电子发射级发射电子,电子在加速及静电聚焦极的作用下,形成电子束,并对电子束进行加速和聚焦,射向阳极7,形成电子束轨迹9,由此聚合成一个精细的高能电子束聚焦点,轰击阳极7靶上的微焦点11上,从而产生X射线10。
具体的,电子发射极包括灯丝2和阴极3,灯丝2位于阴极3内,阴极3为圆柱形金属筒状结构,阴极3的端面外涂有易发射电子的材料。使用时,灯丝2通电后产生热量,为阴极3上的电子提供逸出能量,电子逸出并跃入至真空空间,当空间电子形成一定浓度,在外部电场的作用下会形成射向阳极7的定向电子束。
在本实施例中,阴极3与真空壳体1同轴设置,灯丝2沿着真空壳体1的轴线设置,在真空壳体1的端部安装有引线芯柱8,引线芯柱8与灯丝2和阴极3上的引脚连接。
另外,加速及静电聚焦极包括接入不同电压且依次排列的第一电极4、第二电极5和第三电极6,第一电极4、第二电极5和第三电极6上的引脚与引线芯柱8连接,第一电极4、第二电极5和第三电极6与真空壳体1同轴,且在第一电极4、第二电极5和第三电极6的中心开设有供电子束穿过的透孔。
第一电极4为带有中心透孔的金属圆盘结构,第一电极4的一端开设有与其同轴的圆槽,阴极3的一端插入第一电极4的槽内。第一电极4接入电压后,作用于阴极3端部逸出的电子,对电子进行聚集,形成射向阳极7的定向电子束。
第二电极5和第三电极6均为金属圆盘结构,第二电极5和第三电极6加上不同电压后,对电子束进行加速及控制其流量,同时,形成静电场并构成电子透镜,当电子束穿过该静电场时,产生折射,形成电子束聚焦,使得电子束在阳极7上形成微焦点11。其中,第一电极4、第二电极5、第三电极6上接入不同的电压,且第一电极4、第二电极5、第三电极6上的电压逐渐增加。
此外,第三电极6的数量一般选用为一个,根据实际需要,第三电极6的数量也可选用为两个。
在本实施例中,阳极7位于真空壳体1内的一端为倾斜面,使得电子束的方向跟X射线的方向接近垂直,去除了两者相互干扰。
阳极7包括基体和轰击靶面,轰击靶面为倾斜面,基体由铜材质制成,轰击靶面承受电子束轰击,材质为耐高温及抗电轰击的钨或钨合金。阳极7加上高压后,使电子束获得高能量,通过电子束轰击阳极7上的轰击靶面,形成微焦点11,从而产生高分辨率的X射线10。同时,阳极7的基体为铜,对电子轰击中产生的热量,进行散热。
真空壳体1为玻璃或陶瓷结构的壳体,可在壳体安装各工作电极,通过端部引线芯柱8把管内各电极连至各引脚;通过抽真空及密封,使壳体内能长期保持高真空度。
使用时,灯丝2通电后产生热量,使得阴极3表面的电子获得能量,在第一电极4的作用下,形成射向阳极7的定向电子束,电子束沿着电子束轨迹9运行,第二电极5和第三电极6接入不同电压后,对电子束进行加速及控制流量,同时,形成静电场并构成电子透镜,电子束穿过静电场时,产生折射形成电子束聚焦,电子束在阳极7的轰击面上形成微焦点11,阳极7接入高压,使得电子束获得能量,电子束轰击阳极7产生X射线10,且对电子轰击中产生的能量进行散热。
在实际使用中,根据需要,阳极7被施加上几十至几佰千伏(KⅤ)电压。在巨大的电场作用下,电子被迅速加速,并使电子能级提高,当这高速高能量的电子轰击阳极7上的轰击靶面时,轰击点上会产生电离辐射线,其中能量的1%转变为X射线。阳极7电压越高,产生的X射线10能级也越高,其对物体的穿透性也越强,由于阳极7被轰击点上,承受的轰击电子的能量密度极高,故该阳极7靶材需采用耐高温及抗电轰击的钨或钨合金。
本申请技术方案采用静电聚焦方法,产生并获得微焦点11,使X射线的焦点直径成为微米级,使检测精度从毫米级提高到微米级,从而大大提高了检测精度。采用了封闭式真空密封管(闭管)结构,避免开放式真空管(开管)在运行时所需的高价辅助装置(如分子泵等),故结构简单,实施方便,制作成本低,可靠性高,易于推广,性价比高。
本申请实施例的工作原理为:
通电后,阴极3发射电子,形成电子束;电子束经过多个控制极,先进行加速,然后在聚焦极的静电场力作用下进行聚焦,由此聚合成一个精细的高能电子束聚焦点,轰击阳极7靶,从而产生X射线10,该轰击靶点就是射线焦点,电子聚焦点越小,则X射线检测分辨率也越高。
以上所述,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种精密静电聚焦型封闭式微焦点Ⅹ射线管,其特征在于:包括柱形的真空壳体(1)、电子发射极、加速及静电聚焦极、阳极(7),所述电子发射极、加速及静电聚焦极、阳极(7)安装在真空壳体(1)内,且依真空壳体(1)中心线为轴对称,呈线性分布;
所述真空壳体(1)的端部设置有引线芯柱(8),所述引线芯柱(8)与真空壳体(1)内的电子发射极、加速及静电聚焦极上的引脚连接,所述阳极(7)接入高压;
所述电子发射极发射出电子,所述加速及静电聚焦极对电子聚集形成电子束,并对电子束进行加速和聚焦,射向阳极(7),电子束轰击在阳极(7)上形成X射线。
2.根据权利要求1所述的一种精密静电聚焦型封闭式微焦点Ⅹ射线管,其特征在于:所述电子发射极包括灯丝(2)和阴极(3),所述阴极(3)为金属筒状结构,所述阴极(3)的端面外涂有易发射电子的材料,所述灯丝(2)位于阴极(3)内。
3.根据权利要求1所述的一种精密静电聚焦型封闭式微焦点Ⅹ射线管,其特征在于:所述加速及静电聚焦极包括接入不同电压且依次排列的第一电极(4)、第二电极(5)和第三电极(6),所述第一电极(4)的一端套在阴极(3)上,所述第一电极(4)、第二电极(5)和第三电极(6)上开设有供电子束穿过的透孔。
4.根据权利要求1所述的一种精密静电聚焦型封闭式微焦点Ⅹ射线管,其特征在于:所述第三电极(6)的数量为一个或两个。
5.根据权利要求1所述的一种精密静电聚焦型封闭式微焦点Ⅹ射线管,其特征在于:所述阳极(7)为圆柱状结构,所述阳极(7)位于真空壳体(1)内的一端为倾斜面。
6.根据权利要求1所述的一种精密静电聚焦型封闭式微焦点Ⅹ射线管,其特征在于:所述真空壳体(1)为玻璃或陶瓷结构的壳体。
7.根据权利要求1所述的一种精密静电聚焦型封闭式微焦点Ⅹ射线管,其特征在于:所述阳极(7)包括基体和轰击靶面,所述基体由铜材质制成,所述轰击靶面承受电子束轰击,材质为耐高温及抗电轰击的钨或钨合金。
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