CN115597477B - 一种用于磁栅尺的单场扫描装置及扫描方法 - Google Patents
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Abstract
一种用于磁栅尺的单场扫描装置,由M组扫描探测单元组成,每组扫描探测单元由N个微尺度霍尔元件构成。N个微尺度霍尔元件(编号为A1,A2,...,AN)等间距地分布在一个磁栅尺栅距Λ内,编号相同的微尺度霍尔元件信号线连接在一起。扫描时把用于感知磁栅尺磁场变化的霍尔元件在空间彼此混合,最终输出的传感信号由多个具有不同空间位置、相同相位关系的微尺度霍尔元件共同产生,相比与现有磁栅尺四场扫描方式,其具有误差均化效应,当磁栅尺局部污染或个别感应元件失效时,本发明依旧可以输出高质量、高可靠性的传感信号,从而提高磁栅尺的服役精度和可靠性。
Description
技术领域
本发明涉及精密位移测量技术领域,特别涉及一种用于磁栅尺的单场扫描霍尔传感微阵列。
背景技术
以光栅尺、磁栅尺等为代表的大量程精密栅类传感器,是决定制造装备精度的关键传感部件之一。光栅尺的测量精度可达亚微米级,广泛应用于数控机床、电子制造装备、半导体装备等领域。但光栅尺基于光电扫描原理进行测量,对栅尺的局部污染、灰尘、震动等敏感,因此不适用于恶劣工况。
磁栅尺基于磁电扫描原理,通过磁感应线圈测头或霍尔元件感知磁场变化来测量位移,相比于光栅尺,其具有相对更好的抗震、耐腐蚀、耐污染等特点,在精度要求不高、服役环境恶劣的场合广泛应用,如冶金、机械、石化等行业。
磁栅尺传感信号质量,是制约磁栅尺精度提升的关键问题之一。传统磁栅尺采用传统四场扫描的读数方式,如图1所示,通过空间上相互独立的四个感应元件(磁感应线圈测头或霍尔元件)来感知磁场变化,输出四路正余弦传感信号S1~S4。以感应元件1为基准,感应元件2、3、4与感应元件1的间距分别为(L+1/4)Λ、(L+2/4)Λ、(L+3/4)Λ,其中L为整数且L≥1。传统四场扫描方式存在以下技术缺陷:1)磁栅尺的耐污染性虽优于光栅尺,但存在栅尺局部污染时,传感信号质量、特别是四路信号一致性,会受到严重影响,降低磁栅尺服役精度。2)当个别磁感应线圈测头或霍尔元件出现故障时,传感信号会出现很大误差乃至缺失,造成磁栅尺传感系统失效。
发明内容
为了克服上述现有技术的不足,本发明提供一种用于磁栅尺的单场扫描装置及扫描方法,相比于传统四场扫描的磁场探测方式(即通过四个独立的磁感应线圈测头或霍尔元件来感知磁场变化),当存在磁栅尺局部污染或个别感应元件失效时,其依旧可以输出高质量、高可靠性的传感信号,因此可以显著提高磁栅尺的服役精度和可靠性。
为了达到上述目的,本发明采取的技术方案为:
一种用于磁栅尺的单场扫描装置,所述扫描装置包括读数单元和数显装置,所述读数单元和数显装置通过数据线连接;所述读数单元和磁栅尺沿X向平行,两者沿Y向中心对齐且沿Z向间隙为0.3~2mm。所述读数单元的内部为单场扫描霍尔微阵列,所述单场扫描霍尔微阵列由M组扫描探测单元组成,每组扫描探测单元由N个微尺度霍尔元件构成,N个微尺度霍尔元件等间距地分布在一个磁栅尺栅距Λ内,每组扫描探测单元的N个微尺度霍尔元件的编号为A1,A2,...,AN,编号相同的微尺度霍尔元件通过一根信号线连接在一起。
进一步地,所述微尺度霍尔元件为线性霍尔元件,尺度为0.1~0.5mm。
进一步地,M为整数,取值为3、4、5或6。
进一步地,N为整数,取值为3或4。
一种基于磁栅尺的单场扫描装置的扫描方法,所述扫描方法包括如下步骤:
S1:将读数单元与磁栅尺平行放置,之后将读数单元沿X方向对磁栅尺进行扫描,单场扫描霍尔传感微阵列感知周期性磁场变化,编号为Ai的微尺度霍尔元件输出信号,该信号的表达式为:
公式(1)中,ε为信号幅值,Λ为磁栅尺栅距,N为每组扫描探测单元包含的微尺度霍尔元件数量,x为待测位移。
S2:所述单场扫描霍尔传感微阵列最终输出N路正弦波形电信号,第i路电信号Si为所有编号为Ai的微尺度霍尔元件输出信号Ii之和:
公式(2)中,i=1,2,...N。被测位移量x所引起的相位变化2πx/Λ,反映为单场扫描霍尔传感微阵列输出信号Si的强度变化。
S3:验证信号Si的质量:
当信号Si存在非理想特征时,就会引入位移测量误差。信号Si的质量,用李沙育图形来表示,理想李沙育图形是一个中心在原点的圆形,即李沙育圆,当存在非理想信号特征时,李沙育图形会偏离名义李沙育圆,若李沙育图形未偏离名义李沙育圆,则证明不存在非理想信号特征。
S4:通过对输出信号Si进行反正切细分、线性化细分等解调算法处理,获得被测位移值x。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:
1)本发明提出的单场扫描霍尔传感微阵列,实质是把用于感知磁场变化的霍尔元件在空间彼此混合,最终输出的传感信号由多个具有不同空间位置、相同相位关系的微尺度霍尔元件共同产生,相比与现有技术(即采用相互独立的分离传感元件来探测磁场变化),其具有误差均化效应。
2)现有分离传感元件探测方式,当磁栅尺存在局部污染时,输出信号质量、特别是多路信号一致性会受到严重影响。本发明的单场扫描霍尔传感微阵列,通过多个微尺度霍尔元件输出信号的平均作用,磁栅尺局部污染对输出信号质量及多路信号一致性的影响极为有限,进而保证了服役精度。
3)现有分离传感元件探测方式,当个别磁感应线圈测头或霍尔元件出现故障时,造成磁栅尺传感系统失效。本发明的单场扫描霍尔传感微阵列,当个别微尺度霍尔元件出现故障时,其它组微尺度霍尔元件依旧可以准确输出传感信号,提高了磁栅尺恶劣工况下的服役可靠性。
附图说明
图1为用于磁栅尺的传统四场扫描感应元件结构图;
图2为磁栅尺和读数单元的安装位置关系;
图3为本发明的用于磁栅尺的单场扫描霍尔微阵列结构图;
图4为单场扫描霍尔微阵列的结构图,其中:Λ=2mm,M=4,N=4;
图5为单场扫描霍尔微阵列的输出信号波形及其李沙育图;
图6为磁栅尺局部污染时,传统四场扫描方式输出信号的波形图;
图7为磁栅尺局部污染时,单场扫描方式输出信号的波形图。
图中标号:磁栅尺—1;读数单元—2;数显单元—3;感应元件—4;单场扫描霍尔微阵列—5;微尺度霍尔元件—6。
具体实施方式
下面对本发明的实施示例作详细说明,本实施示例在以本发明技术方案为前提下进行实施,给出了详细的实施方式和具体的操作过程,但本发明的保护范围不限于下述的实施例。
一种用于磁栅尺的单场扫描装置,如图2-3所示,所述扫描装置包括读数单元2和数显装置3,所述读数单元2和数显装置3通过数据线连接;所述读数单元2和磁栅尺1沿X向平行,两者沿Y向中心对齐且沿Z向间隙为0.3~2mm。所述读数单元2的内部为单场扫描霍尔微阵列5,所述单场扫描霍尔微阵列5由M组扫描探测单元组成,每组扫描探测单元由N个微尺度霍尔元件6构成,N个微尺度霍尔元件6等间距地分布在一个磁栅尺栅距Λ内,每组扫描探测单元的N个微尺度霍尔元件的编号为A1,A2,...,AN,编号相同的微尺度霍尔元件6通过一根信号线连接在一起。当磁栅尺1和读数单元2沿X向相对运动时,读数单元2输出与被测位移对应的正余弦电信号,通过对正余弦电信号的解调,求得被测位移量。
优选地,所述微尺度霍尔元件6为线性霍尔元件,尺度为0.1~0.5mm。
优选地,M为整数,取值为3、4、5、或6。
优选地,N为整数,取值为3或4。
如图4-7所示,一种基于磁栅尺的单场扫描装置的扫描方法,所述扫描方法包括如下步骤:
S1:将读数单元2与磁栅尺1平行放置,之后将读数单元2沿X方向对磁栅尺1进行扫描,单场扫描霍尔传感微阵列5感知周期性磁场变化,编号为Ai的微尺度霍尔元件输出信号,该信号的表达式为:
公式(1)中,ε为信号幅值,Λ为磁栅尺栅距,N为每组扫描探测单元包含的微尺度霍尔元件数量,x为待测位移。
S2:所述单场扫描霍尔传感微阵列5最终输出N路正弦波形电信号,第i路电信号Si为所有编号为Ai的微尺度霍尔元件输出信号Ii之和:
公式(2)中,i=1,2,...N。由公式(2)可以看出,被测位移量x所引起的相位变化2πx/Λ,反映为单场扫描霍尔传感微阵列输出信号Si的强度变化。
当磁栅尺存在局部污染时,对单场扫描霍尔传感微阵列输出的信号质量、特别是多路信号一致性的影响极为有限,进而保证了磁栅尺的服役精度;当单场扫描霍尔传感微阵列的个别微尺度霍尔元件出现故障时,其它组微尺度霍尔元件依旧可以准确输出传感信号,提高了磁栅尺恶劣服役工况下的可靠性。
S3:验证信号Si的质量:
当信号Si存在非理想特征时,就会引入位移测量误差。信号Si的质量,用李沙育图形来表示,如图5所示,理想李沙育图形是一个中心在原点的圆形,即李沙育圆,当存在非理想信号特征时,李沙育图形会偏离名义李沙育圆,若李沙育图形未偏离名义李沙育圆,则证明不存在非理想信号特征。
S4:通过对输出信号Si进行反正切细分、线性化细分等解调算法处理,获得被测位移值x。
实施例1
参考图4:磁栅尺栅距Λ=2mm;单场扫描霍尔传感微阵列,由M=4组扫描探测单元组成,每组扫描探测单元由N=4个微尺度霍尔元件构成。则当读数单元沿X方向对磁栅尺进行扫描时,单场扫描霍尔传感微阵列输出4路正余弦电信号Si(x),相邻信号之间的相位差为π/2,即:
公式(3)-(6)中,ε为单个微尺度霍尔元件输出信号的幅值。对4路正余弦电信号进行差分运算,如图4所示,最终得到两路正交信号Sa(x)和Sb(x):
由公式(7)和(8)可以看出,信号Sa(x)和Sb(x)的强度随被测位移量x而呈正余弦变化;且被测位移量x每移动一个栅距Λ,信号Sa(x)和Sb(x)变化一个正余弦周期。最为普遍地,通过对信号Sa(x)和Sb(x)进行反正切运算获得被测位移值x:
公式(9)中被测位移值x高精度解调的前提是:信号Sa(x)和Sb(x)是两路理想的相位正交(相位差π/2)的正余弦信号。因此,当信号Sa(x)和Sb(x)存在非理想特征时,就会引入位移测量误差。信号Sa(x)和Sb(x)的质量,可以用李沙育图形来表示,如图5所示,理想李沙育图形是一个中心在原点的圆形(名义李沙育圆)。当存在非理想信号特征时,李沙育图形会偏离名义李沙育圆。
图6为磁栅尺存在局部污染时,传统四场扫描方式输出信号的波形及其李沙育图。传感信号质量、特别是四路信号一致性受到严重影响,因此李沙育图形明显偏离名义李沙育圆。此外,针对传统四场扫描方式,当个别感应元件出现故障时,相应的传感信号会出现很大误差乃至缺失,造成磁栅尺传感系统失效。
图7为磁栅尺存在局部污染时,实施例1单场扫描方式输出信号的波形及其李沙育图。由于单场扫描霍尔微阵列的误差均化效应,四路信号波形及其一致性基本保持不变,因此李沙育图形与名义李沙育圆保持一致。此外,针对实施例1单场扫描方式,当个别感应元件出现故障时,其它组微尺度霍尔元件依旧可以准确输出传感信号,提高了磁栅尺恶劣工况下的服役可靠性。
以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (5)
1.一种用于磁栅尺的单场扫描装置,其特征在于,所述扫描装置包括读数单元(2)和数显装置(3),所述读数单元(2)和数显装置(3)通过数据线连接;所述读数单元(2)和磁栅尺(1)沿X向平行,两者沿Y向中心对齐且沿Z向间隙为0.3~2mm;所述读数单元(2)的内部为单场扫描霍尔传感微阵列(5),所述单场扫描霍尔传感微阵列(5)由M组扫描探测单元组成,每组扫描探测单元由N个微尺度霍尔元件(6)构成,N个微尺度霍尔元件(6)等间距地分布在一个磁栅尺栅距Λ内,每组扫描探测单元的N个微尺度霍尔元件的编号为A1,A2,...,AN,编号相同的微尺度霍尔元件(6)通过一根信号线连接在一起。
2.如权利要求1所述的一种用于磁栅尺的单场扫描装置,其特征在于,所述微尺度霍尔元件(6)为线性霍尔元件,尺度为0.1~0.5mm。
3.如权利要求1所述的一种用于磁栅尺的单场扫描装置,其特征在于,M为整数,取值为3、4、5或6。
4.如权利要求1所述的一种用于磁栅尺的单场扫描装置,其特征在于,N为整数,取值为3或4。
5.一种基于权利要求1-4中任意一项所述的单场扫描装置的扫描方法,其特征在于,所述扫描方法包括如下步骤:
S1:将读数单元(2)与磁栅尺(1)平行放置,之后将读数单元(2)沿X方向对磁栅尺(1)进行扫描,单场扫描霍尔传感微阵列(5)感知周期性磁场变化,编号为Ai的微尺度霍尔元件输出信号,该信号的表达式为:
公式(1)中,ε为信号幅值,Λ为磁栅尺栅距,N为每组扫描探测单元包含的微尺度霍尔元件数量,x为待测位移;
S2:所述单场扫描霍尔传感微阵列(5)最终输出N路正弦波形电信号,第i路电信号Si为所有编号为Ai的微尺度霍尔元件输出信号Ii之和:
公式(2)中,i=1,2,...N;被测位移量x所引起的相位变化2πx/Λ,反映为单场扫描霍尔传感微阵列输出信号Si的强度变化;
S3:验证信号Si的质量:
当信号Si存在非理想特征时,就会引入位移测量误差;信号Si的质量,用李沙育图形来表示,理想李沙育图形是一个中心在原点的圆形,即李沙育圆,当存在非理想信号特征时,李沙育图形会偏离名义李沙育圆,若李沙育图形未偏离名义李沙育圆,则证明不存在非理想信号特征;
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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GR01 | Patent grant | ||
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